JP4126976B2 - 吐出装置及びその制御方法、吐出方法、マイクロレンズアレイの製造方法、並びに電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、樹脂等の液状粘性物を吐出する吐出装置及びその制御方法、この吐出装置を用いた吐出方法、及びこの吐出方法を利用したマイクロレンズアレイ、カラーフィルタ基板、並びに電気光学装置の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶表示装置において、入射した光を画素領域に有効に利用するのに用いられているマイクロレンズアレイは、透明基板上に感光性樹脂をスピンコ−ト法で塗布した後、それをフォトリソグラフィ技術を利用してパターニングすることにより製造されている。ここで、例えばインクジェットプリンタ及びインクジェットプロッタ等で採用されている吐出方式で透明樹脂（液状粘性物）をマトリクス状に吐出した後、それを硬化させてマイクロレンズを形成すれば、マイクロレンズアレイの生産効率を大幅に向上させることができる。
【０００３】
また、チップ間を光でつなぐための光インタコネクション装置にもマイクロレンズアレイが用いられており、このようなマイクロレンズアレイを製造するにあたっても、上記の吐出方式で透明樹脂をマトリクス状に吐出した後、それを硬化させてマイクロレンズを形成すれば、その生産効率を大幅に向上させることができる。しかも、上記の吐出方式によれば、金型及び後加工が不要であるため、各種光学部品を製造するのに適している。
【０００４】
更に、液晶装置のカラーフィルタ基板において、着色層は従来、フォトリソグラフィ技術を用いて形成されているが、着色層も上記の吐出方式で製造すれば、カラーフィルタ基板の生産効率を向上させることができる。
【０００５】
更に近年、蛍光性有機化合物を用いた有機エレクトロルミネッセンス素子が注目されているが、この有機エレクトロルミネッセンス素子を製造するにあたって、従来は、メタルマスクを介しての部分蒸着によって蛍光性有機化合物層を所定領域に形成している。このため、高精細化、大面積化、生産効率の向上が困難であったが、このような蛍光性有機化合物層の形成にも上記の吐出方式を適用すれば、高精細化、大面積化、生産効率の向上が可能となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、マイクロレンズアレイ等においては各マイクロレンズの間でレンズ特性にばらつきがないことが求められるが、吐出装置の全てのノズルの圧力発生素子に同一の駆動信号を印加する構成では、ヘッドの構造上、ノズル位置によって吐出される液状粘性物の重量、吐出スピード等にばらつきが生じるのを避けることができない。その結果、ムラが発生し、均一形状のマイクロレンズアレイ、又は、安定した特性のカラーフィルタ基板及び有機エレクトロルミネッセンス素子を形成できないという問題点がある。
【０００７】
例えば、ヘッドに設けられている複数のノズルの間において、同一列内では、圧力発生素子アレイをヘッドの筐体に接着する方法や、ヘッドの筐体の各部の剛性の差等から、ノズル位置によって、吐出される液状粘性物の重量、吐出スピードにばらつきが発生する。また、異なる列間において、ヘッドの筐体の何れの位置に圧力発生素子アレイが接着されるか等によって発熱量の違い等が生じる結果、ノズル位置によって、吐出される液状粘性物の重量、吐出スピードにばらつきが発生する。このような同一列内ばらつきや列間ばらつきが限度を超えたものについてはヘッドとして使用しないことにより、このような要因による吐出装置における吐出量のムラ等をある程度、防止することは可能である。しかしながら、このような対策では、製造されたヘッドの検査段階でヘッドの歩留まりが低下することを避けることができない。また、同一の吐出装置においてヘッドを交換する場合もある。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、例えばマイクロレンズ等を高い精度で形成することのできる吐出装置、吐出方法、及びそれを用いたマイクロレンズアレイ、カラーフィルタ基板、並びに電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明では、対象物に液状粘性物を吐出するための吐出装置において、複数のノズルに各々対応する複数の圧力発生素子を備えたヘッドと、複数の駆動パルスを含んでなる駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、前記複数の駆動パルスのうち、何れの駆動パルスを前記圧力発生素子に印加するかを規定する波形選択データを出力する制御手段と、前記複数の駆動パルスから所定の駆動パルスを選択して前記圧力発生素子に印加するスイッチ手段とを有し、前記駆動信号の異なる複数の周期に含まれる複数の駆動パルスは相違することを特徴とする。
本発明では、制御手段から出力された波形選択データに基づいて、スイッチ手段は、共通の駆動信号から所定の駆動パルスを選択して圧力発生素子に印加するので、液状粘性物のノズル間での重量ばらつきを補正できる。従って、各ノズルから液状粘性物を吐出させた場合、１ドット当たりの重量がノズル間でばらつかないので、高精度な吐出を行うことができる。
また、本発明は前記駆動信号の異なる複数の周期に含まれる複数の駆動パルスは相違する構成とすることで、液状粘性物の重量ばらつきをより高い精度で補正することができる。
ここで、前記対象物に前記液状粘性物を吐出する際、前記駆動信号の複数周期が前記液状粘性物を吐出させる動作の単位に設定されていても良い。
更に、前記対象物に前記液状粘性物を吐出する際、前記駆動信号の特定の第１周期に対する特定の周期の時間位置は、前記駆動信号の１周期を単位として調整可能であることが好ましい。
また、本発明において、前記対象物に前記液状粘性物を吐出する際、１つの前記圧力発生素子に対する前記駆動パルスの印加は、例えば、前記駆動信号の１周期内で行われる。
これに代えて、本発明では、前記対象物に前記液状粘性物を吐出する際、１つの前記圧力発生素子に対する前記駆動パルスの印加を、前記駆動信号の複数の周期に跨って行ってもよい。
本発明において、前記複数の駆動パルスはそれぞれ、前記液状粘性物を異なる重量で吐出可能な波形を備え、前記スイッチ手段は、前記波形選択データに基づいて、前記複数の駆動パルスから１つの駆動パルスを選択して所定の前記圧力発生素子に印加する。
これに代えて、本発明では、前記複数の駆動パルスはそれぞれ、前記液状粘性物を異なる重量で吐出可能な波形を備え、前記スイッチ手段は、前記波形選択データに基づいて、前記複数の駆動パルスから複数の駆動パルスを選択して所定の前記圧力発生素子に印加してもよい。
本発明において、前記制御手段は、例えば、前記複数の圧力発生素子に同一波形の駆動パルスを印加したときに前記複数のヘッドの各々から吐出される前記液状粘性物の重量ばらつきに対応するノズルデータを記録しておく記録部を備え、該記録部に記録されている前記ノズルデータに基づいて前記波形選択データを生成し、出力する。
本発明において、前記複数のヘッドは、例えば、前記圧力発生素子に同一波形の駆動パルスを印加したときに吐出される前記液状粘性物の重量に対応して複数にランク分けされ、該ランク分けされた結果が前記ノズルデータとして前記記録部に記録されている。
これに代えて、本発明では、前記ノズルデータが、前記複数のヘッドの各々について前記記録部に記録されている構成であってもよい。
本発明において、前記ヘッドには、該ヘッドに形成されている前記ヘッドについての前記ノズルデータが付与されるが、当該ノズルデータが前記重量ばらつきを計測したヘッド検査装置から前記ノズルデータが前記記録部に入力される構成等を採用することができる。
本発明に係る吐出装置の制御方法として、第１の駆動パルスを用いて液状粘性物を吐出する第一の工程と、吐出された前記液状粘性物の吐出重量の測定結果に基づいて、前記第１の駆動パルスを補正する第２の工程とを少なくとも有し、吐出装置の各ノズルから吐出される前記液状粘性物の吐出重量がほぼ均一になるまで前記第１の工程と前記第２の工程を繰り返すという手段を採用する。
また、本発明に係る吐出装置の制御方法において、前記ヘッドに形成されている前記複数のヘッドの各ノズルデータを決定するにあたっては、基準となる波形の駆動パルスを印加したときの吐出重量が目標重量からずれているときには、吐出重量が前記目標重量となる波形を決定する第１工程と、求めた波形の駆動信号を前記圧力発生素子に印加し、このときの吐出重量を計測する第２工程と、該吐出重量と前記目標重量とを比較して当該吐出重量と前記目標重量とが一致したときに前記ノズルデータを確定する第３工程とを有し、当該吐出重量が前記目標重量からずれているときには再度、前記第１工程、前記第２工程及び前記第３工程を繰り返す。
この場合、前記第１工程、第２工程及び前記第３工程を繰り返す上限回数を定めておき、当該上限回数まで前記第１工程、前記第２工程及び第３工程を繰り返しても前記ノズルデータを確定できない場合には、前記ヘッドを規格外品と判断することが好ましい。
本発明を適用した吐出装置は、 例えば前記対象物としての基板上に複数のマイクロレンズを形成するための樹脂を前記液状粘性物として吐出するマイクロレンズアレイの製造工程に用いることができる。
また、本発明を適用した電気光学装置の製造方法は、前記対象物としての基板上にカラーフィルタを形成するための樹脂を前記液状粘性物として吐出する工程を含むことを特徴としている。
更に、本発明を適用した吐出装置は、前記対象物としての基板上に電気光学物質を含む液を前記液状粘性物として吐出する電気光学装置の製造工程に用いることもできる。ここで、前記電気光学物質は、液晶の他、エレクトルミネッセンスを発生させるための蛍光性有機化合物等である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。
【００１１】
〔吐出装置の全体構成〕
図１は、本発明の一実施形態による吐出装置の全体構成を示す概略斜視図である。図２は、図１に示した吐出装置の機能ブロック図である。図１に示すように、本実施形態の吐出装置１は、例えばインクジェット式吐出装置である吐出装置本体１Ａとコンピュータ１Ｂとから構成されている。
【００１２】
吐出装置本体１Ａは、ヘッド１０、Ｘ方向駆動軸４、Ｘ方向駆動モータ２、Ｙ方向ガイド軸５、Ｙ方向駆動モータ３、制御装置４０、ステージ７、クリーニング機構部８、及び基台９を有している。また、コンピュータ１Ｂは、吐出装置本体１Ａで対象物Ｗに対して何れの位置に液状粘性物を吐出するか等の吐出条件を入力可能なキーボード７１を備えているとともに、このキーボード７１又はＦＤ等の記録媒体を介して入力された吐出条件を記録、保存しておく記録部７２を備えており、この記録部７２に記録されている吐出条件については、キーボード７１等を介して選択、指示可能である。また、記録部７２には、後述するように、ヘッド１０に設けられている複数のノズル間での吐出重量のばらつきを補正するためのノズルデータも記録されている。
【００１３】
ここで、ノズルデータは、ヘッド１０毎に付与されているので、吐出装置１を組み立てる際に、作業者は、搭載するヘッド１０に付されているノズルデータを、例えば、キーボード７１を介して記録部７２に入力する。また、ノズルデータがヘッド１０にバーコード表示されている場合には、ノズルデータを光学的に読み取って記録部７２に入力してもよい。更に、ノズルデータは、後述するように、各ヘッド１０に形成されているヘッドの各々から液状粘性物を吐出させ、その重量を計測することによって定めれるものであるため、この重量ばらつきを計測してノズルデータを求めるヘッド検査装置（図示省略）から記録部７２に直接、入力する構成であってもよい。
【００１４】
吐出装置本体１Ａにおいて、ヘッド１０は、樹脂等の液状粘性物が貯蔵されたタンク（図示せず）からパイプ（液供給路）を介して供給された液状粘性物をそのノズルから吐出するためのものである。本実施形態においては、液状粘性物として樹脂等を扱うが、樹脂はプリンタ等で用いられているインクと比較して粘度がかなり高い。そこで、本実施形態ではタンク、パイプ、ヘッド１０には、ヒータ（図示省略）が設けられており、液状粘性物を加温することにより粘度を下げて用いる。なお、本発明において使用される液状粘性物は粘性の高いものに限られず、例えばインクであったり、金属微粒子を含む液状体であってもよい。
【００１５】
ステージ７は、液状粘性物が吐出される対象となる基板Ｗを載置するためのものであり。この基板Ｗを所定の基準位置に固定する機構を有している。Ｘ方向駆動軸４はボールねじ等から構成され、端部にはＸ方向駆動モータ２が接続されている。Ｘ方向駆動モータ２はステッピングモータ等であり、制御装置４０からＸ軸方向の駆動信号が供給されると、Ｘ方向駆動軸４を回転させる。このＸ方向駆動軸４が回転すると、ヘッド１０がＸ方向駆動軸４上をＸ方向に移動する。
【００１６】
Ｙ方向ガイド軸５もボールねじ等から構成されているが、基台９上の所定位置に固定されている。このＹ方向ガイド軸５上にはステージ７が配置されており、このステージ７はＹ方向駆動モータ３を備えている。Ｙ方向駆動モータ３は、ステッピングモータ等であり、制御装置４０からＹ軸方向の駆動信号がＹ方向駆動モータ３に供給されると、ステージ７は、Ｙ方向ガイド軸５に案内されながらＹ方向に移動する。かかるＸ方向駆動モータ２及びＹ方向駆動モータ３を用いて、ヘッド１０を基板Ｗ上の任意の場所に移動させるヘッド移動機構６が構成されている。
【００１７】
図２において、吐出装置本体１Ａの制御装置４０は、コンピュータ１Ｂから吐出条件等を受信するインターフェイス４３と、各種データの記録を行うＲＡＭ４４と、各種データ処理を行うためのルーチン等を記録したＲＯＭ４５と、ＣＰＵ等からなる装置本体側制御部４６と、発振回路４７と、ヘッド１０に供給する駆動信号ＣＯＭを発生させる駆動信号生成部４８と、インターフェイス４９とを備えている。インタ−フェース４９は、ドットパターンデータに展開された吐出データをヘッド１０に出力するとともに、駆動信号をヘッド移動機構６のＸ方向駆動モータ２及びＹ方向駆動モータ３に出力する。
【００１８】
以上の構成の吐出装置１において、装置本体側制御部４６とコンピュータ１Ｂとは、以下に説明するように、吐出装置１全体の制御手段１２として機能する。吐出装置１において、コンピュータ１Ｂから送られた吐出条件は、インターフェイス４３を介して吐出装置内部の受信バッファ４４Ａに保持される。受信バッファ４４Ａに保持されたデータは、コマンド解析が行われてから中間バッファ４４Ｂへ送られる。中間バッファ４４Ｂ内では、装置本体側制御部４６によって中間コードに変換された中間形式としてのデータが保持され、液状粘性物の吐出位置等の情報を付加する処理が装置本体側制御部４６によって実行される。次に、装置本体側制御部４６は、中間バッファ４４Ｂ内のデータを解析してデコード化した後、ドットパターンデータを出力バッファ４４Ｃに展開し、記録させる。
【００１９】
ヘッド１０の１スキャン分に相当するドットパターンデータが得られると、このドットパターンデータは、インターフェイス４９を介してヘッド１０にシリアル転送される。出力バッファ４４Ｃから１スキャン分に相当するドットパターンデータが出力されると、中間バッファ４４Ｂの内容が消去されて、次の中間コード変換が行われる。
【００２０】
ヘッド１０は、後述する各ノズルから所定のタイミングで液状粘性物を吐出させるものであり、駆動信号生成部４８で生成された駆動信号ＣＯＭは、インターフェイス４９を介してヘッド１０に出力されている。また、ドットパターンデータに展開された吐出データＳＩは、発振回路４７からのクロック信号ＣＬＫに同期してインターフェイス４９を介してヘッド１０に構成されているヘッド駆動回路１１にシリアル出力される。ここで、ドットパターンデータに展開された吐出データＳＩには、ヘッド１０に形成されている何れのノズルから液状粘性物を吐出するかを規定するノズル選択データが含まれているとともに、各ノズルから液状粘性物を吐出するのに何れの駆動パルスを用いるかを規定する波形選択データも含まれている。
【００２１】
ヘッド駆動回路１１は、第１シフトレジスタ１３Ａ、第２シフトレジスタ１３Ｂ、第１ラッチ回路１４Ａ、第２ラッチ回路１４Ｂ、デコーダ１５、レベルシフタ１６、スイッチ回路１８（スイッチ素子１８−１，１８−２，…，１８−Ｎ）、及び制御ロジック１９を含んで構成されている。また、スイッチ回路１８において、各スイッチ素子１８−１，１８−２，…，１８−Ｎの出力側には圧力発生素子１７（１７−１，１７−２，…，１７−Ｎ）としての圧電振動子が接続されている。
【００２２】
このヘッド駆動回路１１において、制御装置４０から出力されてきた吐出データ（ＳＩ）は、まず、「シリアル／パラレル変換手段」としての第１シフトレジスタ１３Ａ、及び第２シフトレジスタ１３Ｂにシリアル伝送される。ここで、吐出データの上位ビットのデータが第２シフトレジスタ１３Ｂに入力され、下位ビットのデータが第１シフトレジスタ１３Ａに入力される。
【００２３】
シフトレジスタ１３Ａ，１３Ｂには、「ラッチ手段」としての第１ラッチ回路１４Ａ及び第２ラッチ回路１４Ｂがそれぞれ接続されている。吐出装置本体１Ａからのラッチ信号（ＬＡＴ）が各ラッチ回路１４Ａ，１４Ｂに入力されると、ラッチ回路１４Ａ，１４Ｂは、シフトレジスタ１３Ａ，１３Ｂ各々によってパラレル変換された吐出データＳＩをそれぞれラッチする。従って、第１ラッチ回路１４Ａには吐出データＳＩの下位ビットのデータがラッチされ、第２ラッチ回路１４Ｂには吐出データＳＩの上位ビットがラッチされる。ここで、第１シフトレジスタ１３Ａ及び第１ラッチ回路１４Ａ、第２シフトレジスタ１３Ｂ及び第２ラッチ回路１４Ｂが、それぞれ「記憶回路」を構成し、これら２個の記憶回路によって「記憶手段」が構成されている。
【００２４】
各ラッチ回路１４Ａ，１４Ｂでラッチされた吐出データＳＩは、デコーダ１５に入力される。このデコーダ１５は、制御ロジック１９からの信号によって、２ビットの吐出データＳＩを４ビットの吐出データＳＩに翻訳する。従って、デコーダ１５及び制御ロジック１９によって「翻訳手段」が構成される。デコーダ１５等によって翻訳された吐出データＳＩは、電圧増幅器たるレベルシフタ１６によって、スイッチ回路１８を駆動できる電圧、例えば数十ボルト程度の所定の電圧値まで昇圧される。所定の電圧値まで昇圧された吐出データＳＩは、「スイッチ手段」としてのスイッチ回路１８に与えられる。スイッチ回路１８において、各スイッチ素子１８−１，１８−２，…，１８−Ｎの入力側には、駆動信号生成部４８からの駆動信号ＣＯＭが印加されており、各スイッチ素子１８−１，１８−２，…，１８−Ｎの出力側には、圧力発生素子１７（１７−１，１７−２，…，１７−Ｎ）が接続されている。
【００２５】
吐出データＳＩは、スイッチ回路１８の動作を各スイッチ素子１８−１，１８−２，…，１８−Ｎ毎に制御する。例えば、各スイッチ素子１８−１，１８−２，…，１８−Ｎに加わる吐出データＳＩが「１」である期間中は、駆動信号ＣＯＭが圧力発生素子１７（１７−１，１７−２，…，１７−Ｎ）に印加され、この駆動信号ＣＯＭ応じて圧力発生素子１７は伸縮する。一方、各スイッチ素子１８−１，１８−２，…，１８−Ｎに加わる吐出データＳＩが「０」の期間中は、圧力発生素子１７への駆動信号ＣＯＭの供給が遮断される。
【００２６】
ここで、制御装置４０からの吐出データＳＩは、例えば（１０）、（０１）等の如く、各ノズル毎に、上位のビット１及び下位のビット０の合計２ビットデータで構成されている。そして、全てのノズルについてのビット０のデータが第１シフトレジスタ１３Ａに入力され、全てのノズルについてのビット１のデータが第２シフトレジスタ１３Ｂに入力される。
【００２７】
各シフトレジスタ１３Ａ，１３Ｂに入力された各ノズル毎の吐出データＳＩは、各ラッチ回路１４Ａ，１４Ｂにラッチされて、デコーダ１５に入力される。デコーダ１５は、制御ロジック１９からの信号に基づいて、２ビットの吐出データＳＩを４ビットの吐出データＳＩに翻訳する。そして、スイッチ回路１８の各スイッチ素子１８−１，１８−２，…，１８−Ｎに加わるビットデータが「１」の場合は、駆動信号ＣＯＭが圧力発生素子１７−１，１７−２，…，１７−Ｎに直接印加され、各圧力発生素子１７−１，１７−２，…，１７−Ｎは駆動信号ＣＯＭの信号波形に応じて変位する。逆に、各スイッチ素子１８−１，１８−２，…，１８−Ｎに加わるビットデータが「０」の場合は、各圧力発生素子１７−１，１７−２，…，１７−Ｎへの駆動信号ＣＯＭが遮断され、各圧力発生素子１７−１，１７−２，…，１７−Ｎは直前の電荷を保持する。
【００２８】
〔ヘッド１０の構成〕
図３は、図１に示した吐出装置のヘッドの構成を示す分解斜視図である。また、図４はヘッド１０を説明するための図であって、（Ａ）は図３に示すヘッドに形成されているアクチュエータの断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示したアクチュエータに用いた圧力発生素子に印加される駆動信号の基本波形図である。ヘッド１０は、例えば、図３及び図４に示すように、ノズル形成板２１０、圧力発生室形成板２２０、及び振動板２３０を備えている。圧力発生室形成板２２０は、圧力発生室２２１、側壁（隔壁）２２２、リザーバ２２３、及び導入路２２４を備えている。圧力発生室形成板２２０はシリコン等の基板をエッチングすることにより圧力発生室２２１等が形成され、圧力発生室２２１は吐出直前の液状粘性物を貯蔵する空間になっている。側壁２２１は圧力発生室２２１間を仕切るように形成され、リザーバ２２３は液状粘性物を各圧力発生室２２１に充たすための流路になっている。導入路２２４は、リザーバ２２３から各圧力発生室２２１に液状粘性物を導入可能に形成されている。
【００２９】
ノズル形成板２１０は、圧力発生室形成板２２０に形成された圧力発生室２２１の各々に対応する位置にノズル２１１が位置するよう、圧力発生室形成板２２０の一方の面に有機系又は無機系の接着剤で貼り合わされている。ノズル形成板２１０を貼り合わせた圧力発生室形成板２２０は、更に筐体２２５に納められてヘッド１０を構成している。振動板２３０は、弾性変形可能な薄板から構成され、圧力発生室形成板２２０の他方の面に有機系又は無機系の接着剤で貼り合わされている。振動板２３０の各圧力発生室２２１の位置に対応する部分には、圧力発生素子１７としての圧電振動子（ＰＺＴ）が設けられている。
【００３０】
ここで、圧力発生素子１７は、縦振動横効果のＰＺＴに限らず、撓み振動型のＰＺＴでもよい。また、圧力発生素子１７としては、圧電振動子に限らず、例えば磁歪素子等の他の素子を用いてもよい。また、ヒータ等の熱源によって液状粘性物を加熱させ、加熱により生じた気泡によって圧力を変化させる構成でもよい。要するに、外部から与えられる信号に応じて、後述する圧力発生室内に圧力変動を生じさせる素子であれば用いることができる。
【００３１】
〔駆動パルスの基本波形〕
次に、図４（Ｂ）を参照して駆動信号ＣＯＭを構成する駆動パルスの基本波形を説明する。図４（Ｂ）において、圧力発生素子１７を作動させるための駆動信号ＣＯＭは、基本的には、その電圧値が中間電位Ｖｍからスタートした後（ホールドパルス３１１）、時刻Ｔ１から時刻Ｔ２まで最大電位ＶＰＳまで一定の傾きで上昇し（充電パルス３１２）、時刻Ｔ２から時刻Ｔ３まで最大電位ＶＰＳを所定時間だけ維持する（ホールドパルス３１３）。次に、時刻Ｔ３から時刻Ｔ４までの間に最低電位ＶＬＳまで一定の傾きで下降した後（放電パルス３１４）、時刻Ｔ４から時刻Ｔ５まで最低電位ＶＬＳを所定時間だけ維持する（ホールドパルス３１５）。そして、時刻Ｔ５から時刻Ｔ６までに電圧値は中間電位Ｖｍまで一定の傾きで上昇する（充電パルス３１６）。
【００３２】
従って、図４（Ａ），（Ｂ）において、充電パルス３１２が圧力発生素子１７に印加されると、圧力発生素子１７は圧力発生室２２１の容積を膨張させる方に撓み、圧力発生室２２１に負圧を発生させる。その結果、メニスカスはノズル２１１から引っ込み、次に、放電パルス３１４を印加すると、圧力発生素子１７は圧力発生室２２１の容積を収縮させる方向に撓み、圧力発生室２２１に正圧が発生する。その結果、ノズル２１１から液滴が吐出される。そして、ホールドパルス３１５が印加された後、充電パルス３１６を印加してメニスカスの振動を抑える。従って、例えば、最大電位ＶＰＳが高いほど、又は放電パルス３１４の傾きが急峻なほど、ノズル２１１から吐出される液状粘性物の１ドット当たりの重量が大きい。
【００３３】
〔駆動信号生成部４８の構成〕
次に、駆動信号生成部４８について図５〜図７を参照して説明する。図５は、駆動信号生成部４８の構成を示すブロック図である。図６は、駆動信号生成部４８において駆動信号ＣＯＭに含まれる駆動パルスを生成していく過程を示す説明図である。図７は、駆動信号生成部４８においてデータ信号を用いてメモリに電位差（ΔＶ）を設定する場合の各信号のタイミングを示すタイミングチャートである。
【００３４】
図５に示したように、駆動信号生成部４８は、装置本体側制御部４６からの信号を受け取って記録するメモリ８１、このメモリ８１の内容を読み出して一時的に保持する第１のラッチ８２、この第１のラッチ８２の出力と後述するもう一つの第２のラッチ８４の出力とを加算する加算器８３、第２のラッチ８４の出力をアナログデータに変換するＤ／Ａ変換器８６、及び変換されたアナログ信号を駆動信号の電圧まで増幅する電圧増幅部８８を備えるとともに、電圧増幅部８８から出力された駆動信号に対する電流増幅器８９をそれぞれ備えている。
【００３５】
メモリ８１は、駆動信号ＣＯＭの波形を決める所定のパラメータを記録しておく波形データ記録部である。駆動信号ＣＯＭの波形は、予め装置本体側制御部４６から受け取った所定のパラメータにより決定される。即ち、駆動信号生成部４８は、クロック信号８０１，８０２，８０３、データ信号８３０、アドレス信号８１０，８１１，８１２，８１３、リセット信号８２０、及びイネーブル信号８４０を受け取る。
【００３６】
このように構成した駆動信号生成部４８においては、図６に示すように、駆動信号ＣＯＭの生成に先立って、装置本体側制御部４６の電圧変化量を示すいくつかのデータ信号と、そのデータ信号のアドレスとがクロック信号８０１に同期して、駆動信号生成部４８のメモリ８１に出力される。データ信号８３０は、図７に示すように、クロック信号８０１を同期信号とするシリアル転送により、データをやり取りする構成になっている。
【００３７】
即ち、装置本体側制御部４６から所定の電圧変化量を転送する場合には、まず、クロック信号８０１に同期して複数ビットのデータ信号を出力し、その後、このデータを格納するアドレスをイネーブル信号８４０に同期してアドレス信号８１０〜８１３として出力する。メモリ８１は、このイネーブル信号８４０が出力されたタイミングでアドレス信号を読み取り、受け取ったデータをそのアドレスに書き込む。アドレス信号８１０〜８１３は４ビットの信号であるため、最大１６種類の電圧変化量をメモリ８１に記録することができる。尚、データの上位のビットは符号として用いられている。なお、上記アドレス信号８１０〜８１３のビット数は４ビットに限定されるものではなく５ビット以上に設定しても良い。すなわち、アドレス信号８１０〜８１３のビット数をさらに増やすことにより、１６種類を越える電圧変化量をメモリ８１に記録することが可能となり、よって電圧変化量の設定幅を広げることができる。
【００３８】
各アドレスＡ，Ｂ，…への電圧変化量の設定が終了した後、例えばアドレスＢがアドレス信号８１０〜８１３に出力されると、最初のクロック信号８０２により、このアドレスＢに対応した電圧変化量ΔＶ１が第１のラッチ回路８２により保持される。この状態で、次にクロック信号８０３が出力されると、第２のラッチ回路８４の出力に第１のラッチ回路８２の出力が加算された値が、第２のラッチ回路８４に保持される。即ち、図６に示すように、一旦、アドレス信号に対応した電圧変化量が選択されると、その後、クロック信号８０３を受けるたびに、第２のラッチ回路８４の出力は、その電圧変化量に従って増減する。メモリ８１のアドレスＢに格納された電圧変化量ΔＶ１とクロック信号８０３の単位時間ΔＴにより駆動波形のスルーレートが決まる。尚、増加か減少かは、各アドレスに格納されたデータの符号により決定される。
【００３９】
図６に示した例では、アドレスＡには、電圧変化量として値０、即ち、電圧を維持する場合の値が格納されている。従って、クロック信号８０２によりアドレスＡが有効となると、駆動信号の波形は増減のないフラットな状態に保たれる。また、アドレスＣには、駆動波形のスルーレートを決定するために、単位時間ΔＴ当たりの電圧変化量ΔＶ２が格納されている。従って、クロック信号８０２によりアドレスＣが有効になった後は、この電圧ΔＶ２ずつ電圧が低下していくことになる。このように装置本体側制御部４６からアドレス信号とクロック信号とを出力するだけで、駆動信号ＣＯＭの波形を自由に制御でき、本実施形態では、駆動信号ＣＯＭとして、図８に示すように、１吐出周期内に４つの駆動パルスを含んでなる駆動信号ＣＯＭを生成する。
【００４０】
図８は、本発明の一実施形態による吐出装置１で用いられる共通の駆動信号ＣＯＭの波形、この駆動信号ＣＯＭに含まれる各駆動パルスを圧力発生素子１７に印加したときにノズル２１１から吐出される液状粘性物のドットの大小関係、及び吐出データＳＩに基づいて駆動信号ＣＯＭから駆動パルスを１つ選択して圧力発生素子１７に印加する方法を示す説明図である。また、図９は、（Ａ），（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ），（Ｅ）はそれぞれ、本実施形態の吐出装置で用いられる共通の駆動信号ＣＯＭの波形、共通の駆動信号ＣＯＭから第１駆動パルスを選択した際に圧力発生素子１７に印加される信号の波形、共通の駆動信号ＣＯＭから第２駆動パルスを選択した際に圧力発生素子１７に印加される信号の波形、共通の駆動信号ＣＯＭから第３駆動パルスを選択した際に圧力発生素子１７に印加される信号の波形、及び共通の駆動信号ＣＯＭから第４駆動パルスを選択した際に圧力発生素子１７に印加される信号の波形を示す説明図である。
【００４１】
図８に示すように、駆動信号ＣＯＭには、１吐出周期内に４つの駆動パルスＣＯＭ１，ＣＯＭ２，ＣＯＭ３，ＣＯＭ４が含まれており、第１駆動パルスＣＯＭ１、第２駆動パルスＣＯＭ２、及び第３駆動パルスＣＯＭ３は、図４（Ｂ）を参照して説明した最大電位ＶＰＳが第１駆動パルスＣＯＭ１、第２駆動パルスＣＯＭ２、及び第３駆動パルスＣＯＭ３の順に低くなっている。このため、第１駆動パルスＣＯＭ１、第２駆動パルスＣＯＭ２、及び第３駆動パルスＣＯＭ３を同一の圧力発生素子１７に印加した場合、ノズルから吐出される液状粘性物の１ドット当たりの重量は、「大」、「中」、「小」となる。
【００４２】
従って、第１駆動パルスＣＯＭ１、第２駆動パルスＣＯＭ２、第３駆動パルスＣＯＭ３についてはそれぞれ、大ドットパルス、中ドットパルス、小ドットパルスとして表現することもできる。ここで、重量は「大」、「中」、「小」で例えば数％程度の差がある。尚、第４駆動パルスＣＯＭ４は、ノズル２１１付近の液状粘性物を微振動させて液状粘性物の粘度の増大や硬化を防止するためのものであり、この第４駆動パルスＣＯＭ４によっては液状粘性物が吐出されることはない。従って、第４駆動パルスＣＯＭ４は「微振動パルス」として表現可能である。
【００４３】
次に、以上のように構成した駆動信号ＣＯＭから第１駆動パルスＣＯＭ１（大ドットパルス）、第２駆動パルスＣＯＭ２（中ドットパルス）、第３駆動パルスＣＯＭ３（小ドットパルス）を選択して、ノズル間の吐出重量のばらつきを防止する方法を、図８及び図９等を参照しつつ説明する。ここで、図２を参照して説明したように、本実施形態では、デコーダ１５からスイッチ回路１８に加わる吐出データＳＩのビットが「１」の期間中には、駆動信号ＣＯＭが圧力発生素子１７に印加され、圧力発生素子１７は駆動信号ＣＯＭの波形に応じて伸縮する。一方、吐出データのビットが「０」の期間中には、圧力発生素子１７への駆動信号ＣＯＭの供給が遮断され、圧力発生素子１７は直前の状態を保持する。従って、吐出データＳＩのビットを第１〜第４駆動パルスＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の発生タイミングに同期させれば、第１〜第４駆動パルスＣＯＭ１〜ＣＯＭ４のうちいずれか１つを選択して圧力発生素子１７に印加することができる。
【００４４】
そこで、本実施形態では、同一の駆動パルスを印加した場合、平均より少なめに吐出されるノズル２１１、平均重量で吐出されるノズル２１１、及び平均より多めに吐出されるノズル２１１の間で吐出重量がばらつくのを解消するために、平均より少なめに吐出されるノズル２１１に対応する圧力発生素子１７には第１駆動パルスＣＯＭ１（大ドットパルス）を、平均重量で吐出されるノズル２１１に対応する圧力発生素子１７には第２駆動パルスＣＯＭ２（中ドットパルス）を、平均より多めに吐出されるノズル２１１に対応する圧力発生素子１７には第３駆動パルスＣＯＭ３（小ドットパルス）をそれぞれ印加する。
【００４５】
このような駆動方法を適用するにあたっては、詳しくは後述するが、ヘッド１０に形成されている各圧力発生素子１７に同一波形の駆動パルスを印加し、各ノズル２１１から吐出される液状粘性物の１ドット当たりの重量を予め計測しておく。そして、その計測結果から各ノズル２１１を、平均より少なめに吐出されるグループ、平均重量が吐出されるグループ、平均より多めに吐出されるグループに分け、そのグループ分け結果をノズルデータとしてコンピュータ１Ｂに入力しておく。ここで入力されたノズルデータは、コンピュータ１Ｂの記録部７２に記録される。
【００４６】
そして、コンピュータ１Ｂにおいて、対象物Ｗに対する液状粘性物の吐出パターンが指定されたとき、この吐出パターンは、記録部７２に記録されていたノズルデータとともに、吐出装置本体１Ａに吐出条件として出力される。そして、吐出装置本体１Ａにおいて、装置本体側制御部４６により吐出パターンがドットパターンデータに展開される際、吐出データＳＩには、ノズルデータに対応して駆動信号ＣＯＭに含まれる駆動パルスＣＯＭ１〜ＣＯＭ４から何れの駆動パルスを印加するかを規定する波形選択データが付加される。ここで、波形選択データは、２ビットの吐出データ（００）、（０１）、（１０）、（１１）として表され、この２ビットの吐出データは、デコーダ１５によって４ビットデータに翻訳され、この４ビットのデータは、駆動信号ＣＯＭに含まれる駆動パルスＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の発生と同期させてある。
【００４７】
例えば、２ビットのデータ（００）は、デコーダ１５によって４ビットデータ（１０００）にデコードされる結果、このデータに対応するノズル２１１を駆動する圧力発生素子１７には、図９（Ｂ）に示すように、第１駆動パルスＣＯＭ１のみが印加される。また、２ビットのデータ（０１）は、デコーダ１５によって４ビットデータ（０１００）に翻訳（デコード）される結果、このデータに対応するノズル２１１を駆動する圧力発生素子１７には、図９（Ｃ）に示すように、第２駆動パルスＣＯＭ２のみが印加される。
【００４８】
更に、２ビットのデータ（１０）は、デコーダ１５によって４ビットデータ（００１０）にデコードされる結果、このデータに対応するノズル２１１を駆動する圧力発生素子１７には、図９（Ｄ）に示すように、第３駆動パルスＣＯＭ３のみが印加される。更にまた、２ビットのデータ（１１）は、デコーダ１５によって４ビットデータ（０００１）に翻訳（デコード）される結果、このデータに対応するノズル２１１を駆動する圧力発生素子１７には、図９（Ｅ）に示すように、第４駆動パルスＣＯＭ４のみが印加される。
【００４９】
このように、各駆動パルスＣＯＭ１〜ＣＯＭ４毎に１ビットのデータを割り当てて吐出データＳＩを構成すれば、各ビットの値によって所望の駆動パルスＣＯＭ１〜ＣＯＭ４のみを選択することができる。従って、本実施形態では、同一の駆動パルスを印加した場合、平均より少なめに吐出されるノズル２１１に対応する圧力発生素子１７に第１駆動パルスＣＯＭ１（大ドットパルス）を、平均重量で吐出されるノズル２１１に対応する圧力発生素子１７には第２駆動パルスＣＯＭ２（中ドットパルス）を、平均より多めに吐出されるノズル２１１に対応する圧力発生素子１７には第３駆動パルスＣＯＭ３（小ドットパルス）を印加することができるので、各ノズル２１１から吐出される液状粘性物の１ドット当たりの重量を平均化することができる。それ故、後述するマイクロレンズアレイ等を製造したときでも、各マイクロレンズのレンズ特性にばらつきが発生しない。
【００５０】
〔ノズルデータの決定方法〕
次に、図１０及び図１１を参照して、ヘッド検査装置において、ヘッドの各々のノズルデータを決定する方法を説明する。尚、この検査装置には、ＣＰＵ、ＲＡＭ、及びＲＯＭ等が搭載されており、ＲＯＭに格納されているプログラムに従って、以下の工程が行われる。
【００５１】
図１０は、ノズルデータを決定する手順を示すフローチャートである。また、図１１は、図１０に示す手順でノズルデータを決定するのに用いるテーブルの説明図であり、最高電圧の異なる各種波形の駆動パルスと、この駆動パルスを圧力発生素子に印加したときにヘッドから吐出される液状粘性物の重量との関係を示している。本実施形態では、図１０に示す各工程を行う前に、図１１に示すように、最高電圧ＶＨが１９．２Ｖから２０．８Ｖまで０．２Ｖ刻みで異なる各種波形の駆動パルスと、駆動パルスを圧力発生素子に印加したときにノズル２１１から吐出される液状粘性物の重量との関係を示すテーブルを作成しておく。
【００５２】
そして、図１０において、ノズルデータの決定作業を開始した際には、後述する繰り返し数を示す変数ｎを「１」に設定する等、各パラメーターを初期化する（ステップＳＴ１）。次に、圧力発生素子に最高電圧ＶＨが、例えば、２０．０Ｖの波形の駆動パルスを印加して、そのときヘッドから吐出される重量Ｉｗを計測する（ステップＳＴ２）。次に、ステップＳＴ３で吐出重量Ｉｗが１０．０ｎｇ（目標重量）であるか否かを確認し、吐出重量Ｉｗが１０．０ｎｇである場合には、ノズルＩＤを「５」と確定する（ステップＳＴ４）。
【００５３】
これに対して、ステップＳＴ３で吐出重量Ｉｗが、目標重量の１０．０ｎｇからずれていると判断された場合には、図１１に示すテーブルから最高電圧ＶＨが２０Ｖの列で、該当する吐出重量ＩｗのノズルＩＤを見つけ、このノズルＩＤで吐出重量Ｉｗが、目標重量の１０．０ｎｇとなる最高電圧ＶＨを見つける（ステップＳＴ５：第１工程）。例えば、ステップＳＴ２で圧力発生素子に最高電圧ＶＨが２０Ｖの波形の駆動パルスを印加したときヘッドから吐出される重量Ｉｗが９．６ｎｇであった場合、最高電圧ＶＨが２０Ｖの列で、吐出重量Ｉｗが９．６のノズルＩＤは「３」であるので（枠Ｂを参照）、このノズルＩＤで吐出重量Ｉｗが１０．０ｎｇとなる最高電圧ＶＨを２０．４Ｖと決定する（枠Ｃを参照）。
【００５４】
次に、最高電圧ＶＨが２０．４Ｖの波形の駆動パルスを圧力発生素子に印加し、そのときヘッドから吐出される重量Ｉｗを計測する（ステップＳＴ６：第２工程）。次に、ステップＳＴ７で吐出重量Ｉｗが、目標重量の１０．０ｎｇであるか否かを確認し、吐出重量Ｉｗが１０．０ｎｇである場合には、ノズルＩＤを例えば「３」と確定する（ステップＳＴ８：第３工程）。これに対して、ステップＳＴ７でも吐出重量Ｉｗが、目標重量の１０．０ｎｇでないと判断された場合には、ステップＳＴ９で繰り返し数ｎがＳであるか否かを確認し、繰り返し数ｎがＳでない場合には、繰り返し数ｎを１だけ繰り上げて（ステップＳＴ１０）、再度、ステップＳＴ５に戻る。
【００５５】
そして、圧力発生素子に最高電圧ＶＨが２０．４Ｖの波形の駆動パルスを印加したにもかかわらず、ヘッドから吐出される重量Ｉｗが９．８ｎｇであった場合、最高電圧ＶＨが２０．４Ｖの列で、吐出重量Ｉｗが９．８のノズルＩＤは「２」であるので（枠Ｄを参照）、このノズルＩＤで吐出重量Ｉｗが１０．０ｎｇとなる最高電圧ＶＨを２０．６Ｖと決定する（枠Ｄを参照）。
【００５６】
次に、求めた最高電圧ＶＨが２０．６Ｖの波形の駆動パルスを圧力発生素子に再度、印加し、そのときヘッドから吐出される重量Ｉｗを計測する（ステップＳＴ６）。次に、ステップＳＴ７で吐出重量Ｉｗが１０．０ｎｇであるか否かを確認し、吐出重量Ｉｗが１０．０ｎｇである場合には、ノズルＩＤを例えば「２」と確定する（ステップＳＴ８）。これに対して、ステップＳＴ７で吐出重量Ｉｗが１０．０ｎｇでないと判断された場合には、ステップＳＴ９で繰り返し数ｎがＳであるか否かを確認し、繰り返し数ｎがＳでない場合には、繰り返し数ｎを１だけ繰り上げて、再度ステップＳＴ５に戻り、同様な工程を繰り返す。
【００５７】
尚、ステップＳＴ１０で繰り返し数ｎがＳである場合には、ステップＳＴ１１でヘッドを規格外品であると判断し（ステップＳＴ１１）、ノズルデータの決定作業を終了する（ステップＳＴ１２）。従って、定数Ｓは、繰り返し数ｎの上限を規定することになる。このようにして、１つのヘッド１０に形成されている複数のノズル２１１の各々についてノズルＩＤを求め、このノズルＩＤに対応する最高電圧ＶＨの波形を有する駆動パルス(図８及び図９を参照)を圧力発生素子に印加すれば、全てのノズル２１１から１０．０ｎｇの液状粘性物を吐出することができる。
【００５８】
ここで、ノズルＩＤ自身をノズルデータとして用いてもよいが、本実施形態では、図８及び図９を参照して説明したように、最高電圧ＶＨが異なる３つの駆動パルスＣＯＭ１，ＣＯＭ２，ＣＯＭ３を含む駆動信号ＣＯＭを用いている。従って、図１１に示すように、ノズルＩＤ「１」〜「９」をグループ１、２、３にグループ分けし、グループ１、２、３のうち、何れのグループに属するかをノズルデータとして用いる。従って、ノズルＩＤが「１」〜「３」のノズル２１１については、同一の駆動パルスを印加した場合、平均より少なめに吐出されるとして、グループ１にランク分けされ、このグループ１に属するヘッドは、最高電圧ＶＨが２０．６Ｖの第１駆動パルスＣＯＭ１（大ドットパルス）で駆動される。
【００５９】
また、図１１に示すように、ノズルＩＤが「４」〜「６」のノズル２１１については、同一の駆動パルスを印加した場合、平均重量で吐出されるとして、グループ２にランク分けされ、このグループ２に属するヘッドは、最高電圧ＶＨが２０．０Ｖの第２駆動パルスＣＯＭ２（中ドットパルス）で駆動される。更に、図１１に示すように、ノズルＩＤが「７」〜「９」のノズル２１１については、同一の駆動パルスを印加した場合、平均より多めに吐出されるとして、グループ３にランク分けされ、このグループ３に属するヘッドは、最高電圧ＶＨが１９．４Ｖの第３駆動パルスＣＯＭ３（小ドットパルス）で駆動される。
【００６０】
〔その他の実施の形態〕
尚、上記実施形態では、駆動信号の１周期内に吐出用の駆動パルスとして、３つの駆動パルスＣＯＭ１，ＣＯＭ２，ＣＯＭ３を含む駆動信号ＣＯＭを用いたが、パルスの数については、３つに限定されるものではない。例えば、１周期内に９つのパルスを含む駆動信号ＣＯＭを用いてもよい。この場合、ノズル２１１をグループ分けせず、各ノズル２１１に付与されたノズルＩＤ（「１」〜「９」）自身をノズルデータとして用いれば、個々のノズル２１１の特性により合致した駆動パルスを印加することができるので、ノズル間での吐出重量のばらつきをより確実に解消することができる。
【００６１】
また、上記実施形態では、駆動信号ＣＯＭの１周期内において、それに含まれる３つの駆動パルスＣＯＭ１，ＣＯＭ２，ＣＯＭ３から１つのパルスを選択する構成であったが、ノズルデータに基づいて複数の駆動パルスを選択してドットを吐出してもよい。更に、上記実施形態では、駆動信号ＣＯＭの１周期内において３つの駆動パルスＣＯＭ１，ＣＯＭ２，ＣＯＭ３から１つのパルスを選択する構成であったが、図１２に示すように、駆動信号ＣＯＭの複数の周期、例えば、２つの周期に跨って１つのパルス、又は複数のパルスを選択して、ドットを吐出する構成であってもよい。図１２は、本発明の他の実施形態による吐出装置で用いる駆動信号の波形を示す説明図である。
【００６２】
更に、図１２に示した例では、駆動信号ＣＯＭの１周期分の時間に含まれる駆動パルスＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の波形は、隣接する２つの周期の波形を重ね合わせると一致する波形であった。しかしながら、駆動信号ＣＯＭの１周期分の時間に含まれるパルスの波形を駆動信号ＣＯＭの周期毎に変化させる構成であっても良い。図１３は、駆動信号ＣＯＭの周期毎にパルス波形を変化させる駆動信号ＣＯＭの波形の一例として、隣接する２つの周期の間でパルス波形を変化させた駆動信号ＣＯＭの波形を示す説明図である。なお、このように２つの周期の間でパルス波形を変化させるだけではなく、さらに多周期に亘ってパルス波形を変化させるようにしても良いことは勿論である。
【００６３】
図１３に示した例では、時刻ｔ１〜ｔ２の期間Ｔ１０における駆動信号ＣＯＭの波形は、図１２に示した波形と同一の波形、つまり駆動パルスＣＯＭ１〜ＣＯＭ４が含まれる波形である。しかしながら、時刻ｔ２〜ｔ３の期間Ｔ１１における駆動信号ＣＯＭの波形は期間Ｔ１０における駆動信号ＣＯＭの波形とは相違し、駆動パルスＣＯＭ５〜駆動パルスＣＯＭ８を含む波形となっている。前述した通り、第１駆動パルスＣＯＭ１〜第３駆動パルスＣＯＭ３は、最大電位ＶＰＳが第１駆動パルスＣＯＭ１、第２駆動パルスＣＯＭ２、及び第３駆動パルスＣＯＭ３の順に低く設定され、ＣＯＭ４はノズル２１１付近の液状粘性物を微振動させて液状粘性物の粘度の増大や硬化を防止するためのものであった。ところが、図１３に示した駆動パルスＣＯＭ５〜駆動パルスＣＯＭ７はその最大電位ＶＰＳが、第１駆動パルスＣＯＭ１〜第３駆動パルスＣＯＭ３のように順に低くなるような規則性は持たず、それとは異なった規則性を波形形状に持たせたり、任意の波形形状に設定されている。
【００６４】
このように、駆動信号ＣＯＭの１周期毎に駆動信号ＣＯＭの波形を異ならせるのは、各ノズル２１１から吐出されるドットの吐出重量のばらつきを高精度に補正して安定な吐出量を確保するとともに、吐出重量の分解能を向上させるためである。つまり、図１２に示した駆動信号ＣＯＭを用いる場合であって、複数の周期に亘って同一のパルスを選択したときには、大ドットパルス、中ドットパルス、又は小ドットパルス各々の整数倍の吐出重量しか得ることができない。また、図１２に示した駆動信号ＣＯＭを用いる場合であって、周期毎に異なるパルスを選択したときには、大ドットパルス、中ドットパルス、及び小ドットパルスの組み合わせで得られる吐出重量しか得られず、ノズル間での吐出重量のばらつきを補正するとともに、分解能の向上を図る上で十分ではない。
【００６５】
これに対して、本実施形態では、図１３に示したように、駆動信号ＣＯＭの１周期毎に波形の異なる駆動信号ＣＯＭを生成し、大ドットパルス、中ドットパルス、又は小ドットパルスで吐出される重量以外の重量を吐出できるようにしている。複数の周期に含まれるパルスの何れを選択するかは、予め測定したノズルの吐出重量のばらつきに応じて設定する。このために、ノズルの吐出重量のばらつきを安定して高精度に補正することが可能となる。
【００６６】
また、複数の周期で任意のパルスを選択した場合には、吐出重量の組み合わせの種類が増大するため、分解能を向上させることができる。更に、図１３に示した例においても、期間Ｔ１０内に含まれる３つの駆動パルスＣＯＭ１，ＣＯＭ２，ＣＯＭ３から複数のパルスを選択し、また、期間Ｔ１１内に含まれる３つの駆動パルスＣＯＭ５，ＣＯＭ６，ＣＯＭ７から複数のパルスを選択してドットを吐出するようにしても良い。以上のように、パルスの組み合わせをノズル重量のばらつきに応じて変更することにより、各ノズルの吐出重量を安定に且つ高精度で補正することができ、その結果としてマイクロレンズ等を高い精度で形成することができる。
【００６７】
更に、図１３に示したように、期間Ｔ１０及び期間Ｔ１１各々で１つ（又は複数）づつパルスを選択して液状粘性物を吐出する場合においては、期間Ｔ１０の駆動信号ＣＯＭを基準として、期間Ｔ１０に含まれる駆動パルスＣＯＭ１〜ＣＯＭ３とは異なる駆動パルスＣＯＭ５〜ＣＯＭ７を含む期間Ｔ１１の時間位置を制御するようにしてもよい。つまり、例えばヘッドを一定の速度で移動させつつ各ノズルから液状粘性物を吐出させる場合においては、期間Ｔ１０に対して期間Ｔ１１の時間位置を調整することにより、各期間において吐出される液状粘性物の吐出位置を異ならせることができる。その結果として、液状粘性物の吐出領域に対してほぼむらが無く均一に液状粘性物を吐出させることができるため、高精度のカラーフィルタ、マイクロレンズ等を製造する上で好適である。更に、図１２及び図１３に示した例では、駆動信号ＣＯＭの１周期を液状粘性物を吐出させる動作の単位としていたが、駆動信号ＣＯＭの複数周期（例えば、図１３に示した期間Ｔ１０と期間Ｔ１１）を合わせた期間を液状粘性物を吐出させる動作の単位とするようにしても良い。
【００６８】
［吐出装置の使用例１］
図１４及び図１５はそれぞれ、図１に示す吐出装置１を用いて製造した光インタコネクション装置用のマイクロレンズアレイの説明図である。吐出装置１において、図１４及び図１５に示す透明基板からなる対象物Ｗの所定の位置にヘッド１０から感光性の透明樹脂（液状粘性物）を吐出した後、紫外線硬化させて、透明基板上の所定位置に所定の大きさのマイクロレンズＤを形成すれば、光インタコネクション装置用のマイクロレンズアレイ１００Ａ、１００Ｂを製造することができる。
【００６９】
ここで、図１４に示すマイクロレンズアレイ１００Ａでは、マイクロレンズＤがＸ方向及びＹ方向にマトリクス状に配列されている。また、図１５に示すマイクロレンズアレイ１００Ｂでは、マイクロレンズＤがＸ方向及びＹ方向に不規則に分散して形成されている。尚、マクロレンズアレイは、光インタコネクション装置の他、液晶パネルにも用いられているが、この液晶装置用のマイクロレンズを製造するにあたっても、本発明を適用した吐出装置を用いれば、フォトリソグラフィ技術を用いる必要がないので、マイクロレンズアレイの生産効率を向上することができる。
【００７０】
［吐出装置の使用例２］
図１６は、図１に示す吐出装置１を用いて製造したカラーフィルタ基板を用いた液晶装置の構成を模式的に示す断面図であり、図１７（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ、カラーフィルタ基板における各色の配置を示す説明図である。図１６において、液晶装置３００では、例えば、カラーフィルタ基板３５０とＴＦＴアレイ基板３６０とが所定の間隙を介して貼り合わされ、かつ、これらの基板間には電気光学物質としての液晶３７０が封入されている。ＴＦＴアレイ基板３６０において、透明基板３６１の内側の面には、画素スイッチング用のＴＦＴ（図示せず）及び画素電極３６２がマトリクス状に配置され、その表面に配向膜３６３が形成されている。これに対して、カラーフィルタ基板３５０において、透明基板３５１には、画素電極３６２に対向する位置にＲ、Ｇ、Ｂのカラーフィルタ層３２０Ｒ、３２０Ｇ、３２０Ｂが形成され、その表面に平坦化膜３５３、対向電極３５４、及び配向膜３５５が形成されている。
【００７１】
カラーフィルタ基板３５０において、カラーフィルタ層３２０Ｒ、３２０Ｇ、３２０Ｂは、周りが１段又は段付きのバンク３５２で囲まれ、このバンク３５２の内側に形成されている。ここで、カラーフィルタ層３２０Ｒ、３２０Ｇ、３２０Ｂは、図１７（Ａ）に示すデルタ配列、又は図１７（Ｂ）に示すストライプ配列等、所定のレイアウトに配置される。
【００７２】
このような構成のカラーフィルタ基板３５０を製造するにあたっては、まず、透明基板３５１の表面にバンク３５２を形成した後、図１等を参照して説明した吐出装置１を用いて、各バンク３５２の内側に所定色の樹脂（液状粘性物）を供給した後、紫外線硬化又は熱硬化させて、カラーフィルタ層３２０Ｒ、３２０Ｇ、３２０Ｂを形成する。従って、フォトリソグラフィ技術を用いずにカラーフィルタ層３２０Ｒ、３２０Ｇ、３２０Ｂを形成できるので、カラーフィルタ基板３５０の生産性を向上することができる。
【００７３】
［吐出装置の使用例３］
図１８は、有機エレクトロルミネッセンスを利用した表示装置において、各画素を構成する有機エレクトロルミネッセンス素子の構成を模式的に示す部分断面図である。この図１８に示す発光装置４００では、基板４０１上に表示素子４１２が形成され、その上に封止部（図示略）が形成されている。基板４０１は、ガラス等からなる透明な基体４０３上に、回路素子部４０４が形成された構成となっている。
【００７４】
上記回路素子部４０４では、基体４０１上にシリコン酸化物からなる下地保護膜４０５が形成され、この下地保護膜４０５上に、多結晶シリコンからなる島状の半導体膜４０６が形成されている。回路素子部４０４には、以下の構成を有する薄膜トランジスタ４０７が形成されている。半導体膜４０６には、ソース領域４０６ａおよびドレイン領域４０６ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。また、Ｐイオンが導入されていない部分はチャネル領域４０６ｃとなっている。
【００７５】
回路素子部４０４には、下地保護膜４０５および半導体膜４０６を覆う透明なゲート絶縁膜４０８が形成され、このゲート絶縁膜４０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極４０９が形成され、このゲート電極４０９およびゲート絶縁膜４０８上には透明な第１層間絶縁膜４１０と第２層間絶縁膜４１１が形成されている。ゲート電極４０９は、半導体膜４０６のチャネル領域４０６ｃに対応する位置に設けられている。
【００７６】
第１および第２層間絶縁膜４１０，４１１には、半導体膜４０６のソース、ドレイン領域４０６ａ、４０６ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール４１２、４１３が形成されている。第２層間絶縁膜４１１に形成されたコンタクトホール４１２は、第２層間絶縁膜４１１上に設けられた画素電極４１４に接続されている。第１層間絶縁膜４１０に形成されたコンタクトホール４１３は、電源線４１５に接続されている。
【００７７】
表示素子４０２は、複数の画素電極４１４と、その上に設けられた発光素子部４１６と、その上に設けられた陰極４１７（対向電極）とを備えている。画素電極４１４は、例えばＩＴＯから形成され、平面視略矩形にパターニングされて形成されている。この画素電極４１４の厚さは、５０〜２００ｎｍの範囲が好ましく、特に１５０ｎｍ程度が望ましい。発光素子部４１６は、画素電極４１４上にそれぞれ形成された機能層４１８と、各機能層４１８を区画するバンク部４１９とを主体として構成されている。
【００７８】
上記機能層４１８は、画素電極４１４上に積層された正孔注入／輸送層４１８ａと、正孔注入／輸送層４１８ａ上に隣接して形成された発光層４１８ｂとから構成されている。この機能層４１８を、本発明を適用した吐出装置を用いて形成する。正孔注入／輸送層４１８ａは、発光層４１８ｂの発光効率、寿命等の素子特性を高めるためのもので、正孔を発光層４１８ｂに注入する機能を有するとともに、正孔を正孔注入／輸送層４１８ａ内部において輸送する機能を有する。正孔注入／輸送層４１８ａの材料としては、例えばポリエチレンジオキシチオフェン等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸等の混合物を用いることができる。
【００７９】
発光層４１８ｂは、正孔注入／輸送層４１８ａから注入された正孔と、陰極４１７から注入される電子とが再結合し、発光が得られるようになっている。なお、発光層４１８ｂは、赤色発光層Ｒと緑色発光層Ｇと青色発光層Ｂとから構成されている。この発光層４１８ｂの材料としては、有機発光材料、例えばトリス（８−キノリノール）アルミニウム錯体（Ａｌｑ）等を用いることができる。
【００８０】
無機物バンク部４１９は、基板４０１側に位置する無機物バンク層４１９ａ（第１バンク層）と、基板４０１から離れて位置する有機物バンク層４１９ｂ（第２バンク層）とが積層されて構成されている。無機物バンク層４１９ａの一部、および有機物バンク層４１９ｂの一部は、画素電極４１４の周縁部上に形成されている。すなわち、無機物バンク層４１９ａは、画素電極４１４の周縁部に平面的に重なるように形成されている。有機物バンク層４１９ｂも同様に、画素電極４１４の周縁部に平面的に重なる位置に形成されている。無機物バンク層４１９ａは、有機物バンク層４１９ｂよりも画素電極４１４の中央側に達するように形成されている。
【００８１】
上記無機物バンク層４１９ａは、例えば、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料からなることが好ましい。この無機物バンク層４１９ａの厚さは、５０〜２００ｎｍの範囲が好ましく、特に１５０ｎｍ程度が望ましい。有機物バンク層４１９ｂは、耐熱性、耐溶媒性のある材料、例えばアクリル樹脂、ポリイミド樹脂等から形成されている。この有機物バンク層４１９ｂの厚さは、０．１〜３．５μｍの範囲が好ましく、特に２μｍ程度が望ましい。
【００８２】
［吐出装置の使用例４］
図１９は、有機エレクトロルミネッセンスを利用した表示装置において、各画素を構成する有機エレクトロルミネッセンス素子の他の構成を模式的に示す部分断面図である。この図１９に示すように、本有機ＥＬ装置Ｅは、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ：Thin Film Transistor）が配置された基板５０２側から光を取り出す形態のものである。
【００８３】
本有機ＥＬ装置Ｅは、基板５０２と基板５０２上に設けられた発光素子（有機ＥＬ素子）５０３とＴＦＴ５０４とを有している。発光素子５０３は、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ：Indium Tin 0xide）等の透明電極材料からなる画素電極（陽極）５２３と、該画素電極５２３から正孔を輸送可能な正孔輸送層５７０と、有機発光材料を含む有機発光層５６０と、該有機発光層５６０の上面に設けられている電子輸送層５５０と、該電子輸送層５５０の上面に設けられているアルミニウム（Ａｌ）やマグネシウム（Ｍg）、金（Ａｕ）、銀（Ａg）、カルシウム（Ｃａ）等からなる対向電極（陰極）５２２とを有している。そして、有機発光層５６０、正孔輸送層５７０等を、本発明を適用した吐出装置を用いて形成する。
【００８４】
ＴＦＴ５０４は、ＳiＯ₂を主体とする下地保護層５８１を介して基板５０２の表面に設けられている。このＴＦＴ５０４は、下地保護層５８１の上層に形成されたシリコン層５４１と、該シリコン層５４１を覆うように下地保護層５８１の上層に設けられたゲート絶縁層５８２と、該ゲート絶縁層５８２の上面のうちシリコン層５４１に対向する部分に設けられたゲート電極５４２と、該ゲート電極５４２を覆うようにゲート絶縁層５８２の上層に設けられた第１層間絶縁層５８３と、上記ゲート絶縁層５８２及び第１層間絶縁層５８３にわたって開孔するコンタクトホールを介してシリコン層５４１と接続するソース電極５４３と、ゲート電極５４２を挾んでソース電極５４３と対向する位置に設けられ、ゲート絶縁層５８２及び第１層間絶縁層５８３にわたって開孔するコンタクトホールを介してシリコン層５４１と接続するドレイン電極５４４と、ソース電極５４３及びドレイン電極５４４を覆うように第１層間絶縁層５８３の上層に設けられた第２層間絶縁層５８４とを備えている。
【００８５】
そして、第２層間絶縁層５８４の上面に画素電極５２３が配置され、画素電極５２３とドレイン電極５４４とは、第２層間絶縁層５８４に設けられたコンタクトホール５２３ａを介して接続されている。また、第２層間絶縁層５８４の表面のうち発光素子（有機ＥＬ索子）が設けられている以外の部分と対向電極５２２との間には、合成樹脂などからなるバンク層５２１が設けられている。
【００８６】
なお、シリコン層５４１のうち、ゲート絶縁層５８２を挟んでゲート電極５４２と重なる領域がチャネル領域とされている。また、シリコン層５４１のうち、チャネル領域のソース側にはソース領域が設けられている一方、チャネル領域のドレイン側にはドレイン領域が設けられている。このうち、ソース領域が、ゲート絶縁層５８２と第１層間絶縁層５８３とにわたって開孔するコンタクトホールを介してソース電極５４３に接続されている。一方、ドレイン領域が、ゲート絶縁層５８２と第１層間絶縁層５８３とにわたって開孔するコンタクトホールを介して、ソース電極５４３と同一層からなるドレイン電極５４４に接続されている。画素電極５２３は、ドレイン電極５４４を介してシリコン層５４１のドレイン領域に接続されている。
【００８７】
本例では、ＴＦＴ５０４が設けられている基板５０２側から発光光を取り出す構成であるため、基板５０２は透明あるいは半透明であるものが好ましく、この場合の基板材料としてはガラスや石英、樹脂等の透明度の高い（つまり光透過率が高い）ものが用いられる。
また、基板に色フィルター膜や発光性物質を含む色変換膜あるいは誘電体反射膜を配置して、発光色を制御するようにしてもよい。
【００８８】
一方、発光層からの発光光をＴＦＴが設けられている基板とは反対側から取り出す構成とすることも可能である。発光光を基板とは反対側から取り出す構成とする場合、基板５０２は不透明であってもよく、その場合、アルミナ等のセラミック、ステンレス等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いることができる。
【００８９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、制御手段から出力された波形選択データに基づいて、スイッチ回路は、共通の駆動信号から所定の駆動パルスを選択して圧力発生素子に印加するので、液状粘性物のノズル間での重量ばらつきを補正できる。従って、各ノズルから液状粘性物を吐出させた場合、１ドット当たりの重量がノズル間でばらつかないので、例えばマイクロレンズ等を高い精度で形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施形態による吐出装置の全体構成を示す概略斜視図である。
【図２】 図１に示した吐出装置の機能ブロック図である。
【図３】 図１に示した吐出装置のヘッドの構成を示す分解斜視図である。
【図４】 ヘッド１０を説明するための図であって、（Ａ）は図３に示すヘッドに形成されているアクチュエータの断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示したアクチュエータに用いた圧力発生素子に印加される駆動信号の基本波形図である。
【図５】 駆動信号生成部４８の構成を示すブロック図である。
【図６】 駆動信号生成部４８において駆動信号ＣＯＭに含まれる駆動パルスを生成していく過程を示す説明図である。
【図７】 駆動信号生成部４８においてデータ信号を用いてメモリに電位差を設定する場合の各信号のタイミングを示すタイミングチャートである。
【図８】 本発明の一実施形態による吐出装置１で用いられる共通の駆動信号ＣＯＭの波形、この駆動信号ＣＯＭに含まれる各駆動パルスを圧力発生素子１７に印加したときにノズル２１１から吐出される液状粘性物のドットの大小関係、及び吐出データＳＩに基づいて駆動信号ＣＯＭから駆動パルスを１つ選択して圧力発生素子１７に印加する方法を示す説明図である。
【図９】 （Ａ），（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ），（Ｅ）はそれぞれ、図１に示す吐出装置で用いた共通の駆動信号の波形、共通の駆動信号から第１駆動パルスを選択した際に圧力発生素子に印加される駆動信号の波形、共通の駆動信号から第２駆動パルスを選択した際に圧力発生素子に印加される駆動信号の波形、共通の駆動信号から第３駆動パルスを選択した際に圧力発生素子に印加される駆動信号の波形、及び共通の駆動信号から第４駆動パルスを選択した際に圧力発生素子に印加される駆動信号の波形を示す説明図である。
【図１０】 複数のヘッドの各々にノズルデータを決定する手順を示すフローチャートである。
【図１１】 図１０に示す手順でノズルデータを決定するのに用いるテーブルの説明図である。
【図１２】 本発明の他の実施形態による吐出装置で用いる駆動信号の波形を示す説明図である。
【図１３】 駆動信号ＣＯＭの周期毎にパルス波形を変化させたときの駆動信号ＣＯＭの波形の一例を示す説明図である。
【図１４】 マイクロレンズアレイの第１例の説明図である。
【図１５】 マイクロレンズアレイの第２例の説明図である。
【図１６】 カラーフィルタ基板を用いた液晶装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図１７】 （Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、図１５に示すカラーフィルタ基板における各色の配置を示す説明図である。
【図１８】 有機エレクトロルミネッセンスを利用した表示装置において、各画素を構成する有機エレクトロルミネッセンス素子の構成を模式的に示す断面図である。
【図１９】 有機エレクトロルミネッセンスを利用した表示装置において、各画素を構成する有機エレクトロルミネッセンス素子の他の構成を模式的に示す部分断面図である。
【符号の説明】
１……吐出装置
１Ａ……装置本体
１Ｂ……コンピュータ（制御手段）
２……Ｘ方向駆動モータ
３……Ｙ方向駆動モータ
４……Ｘ方向駆動軸
５……Ｙ方向ガイド軸
６……ヘッド移動機構
７……ステージ
８……クリーニング機構部
９……基台
１０……ヘッド
１１……ヘッド駆動回路
４０……制御装置
４３……インターフェイス
４４……ＲＡＭ
４５……ＲＯＭ
４８……駆動信号生成部
４９……インターフェイス
１００Ａ，１００Ｂ……マイクロレンズアレイ
ＣＬＫ……クロック信号
ＣＯＭ……駆動信号
ＣＯＭ１〜ＣＯＭ８……駆動パルス
Ｄ……マイクロレンズ
ＳＩ……吐出データ
Ｗ……対象物

Claims (19)

1. 対象物に液状粘性物を吐出するための吐出装置において、
   複数のノズルに各々対応する複数の圧力発生素子を備えたヘッドと、
   複数の駆動パルスを含んでなる駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、
   前記複数の駆動パルスのうち、何れの駆動パルスを前記圧力発生素子に印加するかを規定する波形選択データを出力する制御手段と、
   前記複数の駆動パルスから所定の駆動パルスを選択して前記圧力発生素子に印加するスイッチ手段と
   を有し、
   前記駆動信号の異なる複数の周期に含まれる複数の駆動パルスは相違することを特徴とする吐出装置。
2. 請求項１において、前記対象物に前記液状粘性物を吐出する際、前記駆動信号の複数周期が前記液状粘性物を吐出させる動作の単位に設定されていることを特徴とする吐出装置。
3. 請求項１において、前記対象物に前記液状粘性物を吐出する際、前記駆動信号の特定の第１周期に対する特定の周期の時間位置は、前記駆動信号の１周期を単位として調整可能であることを特徴とする吐出装置。
4. 請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記対象物に前記液状粘性物を吐出する際、１つの前記圧力発生素子に対する前記駆動パルスの印加は、前記駆動信号の１周期内で行われることを特徴とする吐出装置。
5. 請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記対象物に前記液状粘性物を吐出する際、１つの前記圧力発生素子に対する前記駆動パルスの印加は、前記駆動信号の複数の周期に跨って行われることを特徴とする吐出装置。
6. 請求項１ないし５のいずれかにおいて、前記複数の駆動パルスはそれぞれ、前記液状粘性物を異なる重量で吐出可能な波形を備え、
   前記スイッチ手段は、前記波形選択データに基づいて、前記複数の駆動パルスから１つの駆動パルスを選択して所定の前記圧力発生素子に印加することを特徴とする吐出装置。
7. 請求項１ないし５のいずれかにおいて、前記複数の駆動パルスはそれぞれ、前記液状粘性物を異なる重量で吐出可能な波形を備え、
   前記スイッチ手段は、前記波形選択データに基づいて、前記複数の駆動パルスから複数の駆動パルスを選択して所定の前記圧力発生素子に印加することを特徴とする吐出装置。
8. 請求項１ないし７のいずれかにおいて、前記制御手段は、前記複数の圧力発生素子に同一波形の駆動パルスを印加したときに前記複数のヘッドの各々から吐出される前記液状粘性物の重量ばらつきに対応するノズルデータを記録しておく記録部を備え、該記録部に記録されている前記ノズルデータに基づいて前記波形選択データを生成し、出力することを特徴とする吐出装置。
9. 請求項８において、前記複数のヘッドは、前記圧力発生素子に同一波形の駆動パルスを印加したときに吐出される前記液状粘性物の重量に対応して複数にランク分けされ、該ランク分けされた結果が前記ノズルデータとして前記記録部に記録されていることを特徴とする吐出装置。
10. 請求項８において、前記ノズルデータは、前記圧力発生素子に同一波形の駆動パルスを印加したときに吐出される前記液状粘性物の重量に対応して前記複数のヘッドの各々について前記記録部に記録されていることを特徴とする吐出装置。
11. 請求項８ないし１０のいずれかにおいて、前記ヘッドには、該ヘッドに形成されている前記ヘッドについての前記ノズルデータが付与されるとともに、
    当該ノズルデータは、前記重量ばらつきを計測したヘッド検査装置から前記記録部に入力されることを特徴とする吐出装置。
12. 液状粘性物を吐出する吐出装置の制御方法であって、
    第１の駆動パルスを用いて液状粘性物を吐出する第一の工程と、
    吐出された前記液状粘性物の吐出重量の測定結果に基づいて、前記第１の駆動パルスを補正する第２の工程と
    を少なくとも有し、
    吐出装置の各ノズルから吐出される前記液状粘性物の吐出重量がほぼ均一になるまで前記第１の工程と前記第２の工程を繰り返すことを特徴とする吐出装置の制御方法。
13. 対象物に液状粘性物を吐出する吐出装置の制御方法であって、
    基準となる波形の駆動パルスを印加したときの吐出重量が目標重量からずれているときには、吐出重量が前記目標重量となる波形を決定する第１工程と、
    求めた波形の駆動信号を前記圧力発生素子に印加し、このときの吐出重量を計測する第２工程と、
    該吐出重量と前記目標重量とを比較して当該吐出重量と前記目標重量とが一致したときに前記ノズルデータを確定する第３工程とを有し、
    当該吐出重量が前記目標重量からずれているときには再度、前記第１工程、前記第２工程及び前記第３工程を繰り返すことを特徴とする吐出装置の制御方法。
14. 請求項１３において、前記第１工程、第２工程及び前記第３工程を繰り返す上限回数を定めておき、当該上限回数まで前記第１工程、前記第２工程及び第３工程を繰り返しても前記ノズルデータを確定できないときには、前記ヘッドを規格外品と判断することを特徴とする吐出装置の制御方法。
15. 請求項１ないし１１のいずれかに記載の吐出装置を用いた吐出方法であって、
    前記ヘッドは、前記対象物上の所定位置に前記液状粘性物を吐出することを特徴とする吐出方法。
16. 請求項１５に記載の吐出方法を用いて、前記対象物としての基板上に複数のマイクロレンズを形成するための樹脂を前記液状粘性物として吐出することを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
17. 請求項１５に記載の吐出方法を用いて、前記対象物としての基板上にカラーフィルタを形成するための樹脂を前記液状粘性物として吐出する工程を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
18. 請求項１５に記載の吐出方法を用いて、前記対象物としての基板上に、電気光学物質を含む液を前記液状粘性物として吐出することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
19. 請求項１８において、前記電気光学物質は、エレクトルミネッセンスを発生させるための蛍光性有機化合物であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。

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