JP4905414B2 - 液状体吐出装置、液状体の吐出方法および電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、電気的な駆動信号により液状体を吐出するノズル群を備えた液状体吐出装置、液状体の吐出方法および電気光学装置の製造方法に関する。

例えば、液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の機能膜の成膜などの分野に液状体吐出装置が利用されている。液状体吐出装置は、液滴吐出ヘッドと呼ばれる液滴吐出機構を有している。この液滴吐出ヘッドには、複数のノズルが規則的に形成されている。液状体吐出装置では、これらのノズルから機能性材料を含む液状体を液滴として吐出することにより、基板等からなる被吐出物の上に液状体からなるパターンを形成する。

近年、表示装置は高画質化、高精細化が進んでおり、それに伴い形成されるパターンの精度が重要になってきている。パターンの精度を向上させるためには、液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出量を適正な値に管理することが重要となる。機能性材料を含む液状体は、温度によって粘度等の特性が変動する。液状体吐出装置において、液状体の特性が変動すると、液滴吐出ヘッドからの液状体の吐出特性が変動して吐出量がばらつく虞がある。そこで、液状体吐出装置をチャンバ内に設置して雰囲気の温度を略一定に維持するとともに、吐出重量を測定して、その測定結果に基づいて吐出量を調整する液滴吐出システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００４−２０９４２９号公報

液状体吐出装置は、当該液状体吐出装置を駆動する様々な駆動源を備えている。その多くは熱源となって熱を放出して、液状体吐出装置の温度を変動させる。例えば、液滴吐出ヘッドを駆動する圧電素子は、圧電素子に加えられるエネルギーの一部が熱に変換し、液滴吐出ヘッドの温度を上昇させる。この液滴吐出ヘッドの温度上昇は、圧電素子が駆動される頻度、換言すると、液状体が吐出される吐出頻度によって異なる。すなわち、形成されるパターンに対応して割り当てられたノズルを含むノズル群ごとに、温度上昇が異なる可能性がある。

上述の液滴吐出システムは、雰囲気の温度を略一定に維持しても、吐出頻度により液滴吐出ヘッドもしくはノズル群ごとに温度が異なる可能性がある。ノズル群ごとに温度が異なると、ノズル群ごとに液状体の吐出量がばらついてしまう。その結果、形成されるパターンに、液状体の吐出量の差によっていわゆるムラが発生する虞がある。液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の機能膜等の薄膜（パターン）にムラが発生すると、製造された表示装置の画像品質が低下してしまうという課題があった。

本発明の液状体吐出装置は、上述の課題の少なくとも一部を解決するために、液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出装置であって、前記所定のパターンに応じて、前記吐出手段から前記被吐出物に前記液状体を配置するために用いられる配置情報を生成する配置情報生成部と、前記配置情報に基づき、前記吐出手段の単位時間当たりの吐出回数を算出する情報取得手段と、前記情報取得手段により取得した前記単位時間当たりの吐出回数から前記所定のパターンの形成時における前記吐出手段の予測温度を算出する温度算出手段と、前記温度算出手段により算出した前記予測温度に前記吐出手段の温度を調整する温度調整手段と、を備えることを特徴とする。
本発明の液状体吐出装置は、上記の液状体吐出装置であって、前記温度算出手段は、前記所定のパターンの形成時に前記吐出手段の温度が略一定に到達する温度を算出してもよい。
本発明の液状体吐出装置は、上記の液状体吐出装置であって、前記温度調整手段は、前記吐出手段から前記液状体が吐出されないように、電気的な駆動信号を前記吐出手段に供給して、温度調整を行なってもよい。
本発明の液状体吐出装置は、上記の液状体吐出装置であって、前記温度調整手段は、複数の駆動信号を記憶する記憶手段と、前記吐出手段の単位時間当たりに応じて前記複数の駆動信号から１つの駆動信号を選択して前記吐出手段に設定する設定手段と、を有してもよい。
本発明の液状体吐出装置は、上記の液状体吐出装置であって、前記温度調整手段は、前記吐出手段から前記液状体が吐出されていないときに、前記吐出手段の温度を調整してもよい。
本発明の液状体吐出装置は、上記の液状体吐出装置であって、前記温度調整手段は、前記吐出手段から前記被吐出物への前記液状体の吐出が開始される前に、前記吐出手段の温度を調整してもよい。
本発明の液状体の吐出方法は、上述の課題の少なくとも一部を解決するために、液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体の吐出方法であって、前記所定のパターンに応じて、前記吐出手段から前記被吐出物に前記液状体を配置するために用いられる配置情報を生成する配置情報生成工程と、前記配置情報に基づき、前記吐出手段の単位時間当たりの吐出回数を算出する算出工程と、前記単位時間当たりの吐出回数から前記所定のパターンの形成時における前記吐出手段の予測温度を算出する温度算出工程と、前記温度算出工程で算出した前記予測温度に前記吐出手段の温度を調整する温度調整工程と、を有することを特徴とする。
本発明の液状体の吐出方法は、上記の液状体の吐出方法であって、前記温度算出工程では、前記所定のパターンの形成時に前記吐出手段の温度が略一定の温度となる飽和温度を予測温度として算出してもよい。
本発明の液状体の吐出方法は、上記の液状体の吐出方法であって、前記温度調整工程は、前記吐出手段から前記液状体が吐出されないように、電気的な駆動信号を前記吐出手段に供給して、前記吐出手段の温度を調整してもよい。
本発明の液状体の吐出方法は、上記の液状体の吐出方法であって、前記温度調整工程は、前記吐出手段の単位時間当たりに応じて、記憶手段に記憶された複数の駆動信号から１つの駆動信号を選択して前記吐出手段に供給して行われてもよい。
本発明の液状体の吐出方法は、上記の液状体の吐出方法であって、前記温度調整工程では、前記吐出手段から前記液状体が吐出されていないときに、前記吐出手段の温度を調整してもよい。
本発明の液状体の吐出方法は、上記の液状体の吐出方法であって、前記温度調整工程では、前記吐出手段から前記被吐出物への前記液状体の吐出が開始される前に、前記吐出手段の温度を調整してもよい。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

（適用例１）液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出装置であって、前記パターン形成時における前記吐出手段の仕事量情報を取得する情報取得手段と、前記情報取得手段により取得した前記仕事量情報から前記パターン形成時における前記吐出手段の予測温度を算出する温度算出手段と、前記温度算出手段により算出した前記予測温度に前記吐出手段の温度を調整する温度調整手段と、を備えることを特徴とする液状体吐出装置。

吐出手段としての液滴吐出ヘッドおよびノズル群は、受け持つパターンによって、仕事量が異なり、温度変化も異なる。また、吐出手段から吐出される液状体は温度によって特性が変動する。液状体の特性が変動すると、吐出手段の吐出特性も変動し吐出量がばらつく。ところが、吐出手段としての液滴吐出ヘッドおよびノズル群は、一定の吐出割合で液状体の吐出を続けると、略一定の温度に到達し熱的に安定しその温度が維持される。

この構成によれば、液状体吐出装置は、所定のパターンを形成するときに吐出手段の仕事量を情報として取得することができ、その仕事量からこのパターンを形成するときに吐出手段が到達し略安定する温度を予測温度として算出することができる。そして、温度調整手段により、吐出手段の温度を予測温度に調整することができる。そのため、吐出作業当初から吐出手段の温度を略安定する温度に調整し温度変動を低減させることができ、液状体の吐出量のばらつきを低減させることができる。その結果、被吐出物に吐出される液状体の量のばらつきを低減させることができ、形成されるパターンの厚さのムラやばらつきを低減させることができる。従って、ムラやばらつきの低減されたパターン（薄膜）を形成することができる。

（適用例２）前記吐出手段は、電気的な駆動信号により前記液状体を吐出するノズル群を有し、前記温度算出手段は、前記液状体の吐出により前記ノズル群の温度が到達する略一定の温度を算出することを特徴とする上記の液状体吐出装置。

この構成によれば、液状体吐出装置の温度調整手段は、所定のパターン形成に際して、吐出手段としてのノズル群が到達する略一定の温度を予測することができる。

（適用例３）前記情報取得手段は、前記パターンが形成される前記被吐出物と前記ノズル群との相対移動において、少なくとも、前記ノズル群から前記液状体が吐出される吐出割合を情報として取得することを特徴とする上記の液状体吐出装置。

この構成によれば、液状体吐出装置の情報取得手段は、所定のパターン形成に際して、吐出手段としてのノズル群の、仕事量としての吐出割合を情報として取得することができる。

（適用例４）前記温度調整手段は、前記駆動信号を制御する駆動制御手段であって、前記ノズル群から前記液状体が吐出されない程度の前記駆動信号を前記ノズル群に供給して温度調整を行うことを特徴とする上記の液状体吐出装置。

この構成によれば、液状体吐出装置の温度調整手段は、ノズル群に駆動信号を供給する駆動制御手段を用い、ノズル群が液状体を吐出しない程度の強さの駆動信号をノズル群に供給して、ノズル群の温度を調整することができる。そのため、あらたな温度調整手段を付加することなしにノズル群の温度を調整することができる。

（適用例５）前記温度調整手段は、前記パターンの前記吐出割合に対応した複数の前記駆動信号を記憶する記憶手段を有し、取得された前記パターンの情報に基づいて、前記記憶手段に記憶された前記パターンに対応する前記駆動信号を選択し前記ノズル群に供給することを特徴とする上記の液状体吐出装置。

この構成によれば、液状体吐出装置の温度調整手段は、形成するパターン（吐出割合）に対応し、複数の温度調整用の駆動信号をあらかじめ記憶手段に記憶することができる。そして、ノズル群が形成するパターンに対応して、記憶された複数の駆動信号から適用する駆動信号を選択しノズル群に供給して温度調整を行うことができる。そのため、ノズル群ごとに温度調整を行うことができる。その結果、ノズル群ごとの液状体の吐出量のばらつきを低減させることができる。

（適用例６）前記温度調整手段は、取得された前記パターンの前記吐出割合に基づいて、演算処理を行い前記パターンに対応する前記駆動信号を生成し前記ノズル群に供給することを特徴とする上記の液状体吐出装置。

この構成によれば、液状体吐出装置の温度調整手段は、形成するパターン（吐出割合）に対応し、基本となる駆動信号に対して演算処理を行い供給すべき駆動信号を生成し、ノズル群に供給して温度調整を行うことができる。そのため、ノズル群ごとに温度調整を行うことができる。その結果、ノズル群ごとの液状体の吐出量のばらつきを低減させることができる。

（適用例７）前記温度調整手段は、前記ノズル群から前記液状体が吐出されていないときに、前記ノズル群の温度を調整することを特徴とする上記の液状体吐出装置。

この構成によれば、液状体吐出装置の温度調整手段は、ノズル群から液状体が吐出されていないときに、温度調整することができる。そのため、ノズル群からの液状体の吐出作業に影響を与えることがなく温度調整を行うことができる。

（適用例８）前記温度調整手段は、前記ノズル群から前記被吐出物への前記液状体の吐出が開始される前に、前記ノズル群の温度を調整することを特徴とする上記の液状体吐出装置。

この構成によれば、液状体吐出装置の温度調整手段は、ノズル群から被吐出物へ液状体が吐出される段階で、ノズル群の温度を略安定温度に温度調整することができる。そのため、ノズル群からの液状体の吐出作業の当初から、液状体の吐出量のばらつきを低減させることができる。

（適用例９）液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体の吐出方法であって、前記パターン形成時における前記吐出手段の仕事量情報を取得する情報取得工程と、前記情報取得工程で取得した前記仕事量情報から前記パターン形成時における前記吐出手段の予測温度を算出する温度算出工程と、前記温度算出工程で算出した前記予測温度に前記吐出手段の温度を調整する温度調整工程と、を有することを特徴とする液状体の吐出方法。

この方法によれば、所定のパターンを形成するときに吐出手段の仕事量を情報として取得することができ、その仕事量からこのパターンを形成するときに吐出手段が到達し略安定する温度を予測温度として算出することができる。そして、温度調整工程により、吐出手段の温度を予測温度に調整することができる。そのため、吐出作業当初から吐出手段の温度を略安定する温度に調整し温度変動を低減させることができ、液状体の吐出量のばらつきを低減させることができる。その結果、被吐出物に吐出される液状体の量のばらつきを低減させることができ、形成されるパターンの厚さのムラやばらつきを低減させることができる。従って、ムラやばらつきの低減されたパターン（薄膜）を形成することができる。

（適用例１０）前記吐出手段は、電気的な駆動信号により前記液状体を吐出するノズル群を有し、前記温度算出工程では、前記液状体の吐出により前記ノズル群の温度が略一定の温度となる飽和温度を予測温度として算出することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。

この方法によれば、温度算出工程において、所定のパターン形成に際して、吐出手段としてのノズル群が到達する略一定の温度を予測することができる。

（適用例１１）前記情報取得工程では、前記パターンを形成する前記被吐出物と前記ノズル群との相対移動において、少なくとも、前記ノズル群から前記液状体が吐出される吐出割合を情報として取得することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。

この方法によれば、情報取得工程において、所定のパターン形成に際して、吐出手段としてのノズル群の、仕事量としての吐出割合を情報として取得することができる。

（適用例１２）前記温度調整工程は、前記駆動信号を制御する駆動制御工程を含み、前記駆動制御工程では、前記ノズル群から前記液状体が吐出されない程度の前記駆動信号を前記ノズル群に供給することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。

この方法によれば、温度調整工程において、ノズル群が液状体を吐出しない程度の強さの駆動信号をノズル群に供給して、ノズル群の温度を調整することができる。そのため、あらたな温度調整装置を付加することなしにノズル群の温度を調整することができる。

（適用例１３）前記温度調整工程は、前記パターンの前記吐出割合に対応した複数の前記駆動信号を記憶する記憶手段を有し、前記温度調整工程では、取得された前記パターンの情報に基づいて、前記記憶手段に記憶された前記パターンに対応する前記駆動信号を選択し前記ノズル群に供給することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。

この方法によれば、温度調整工程において、形成するパターン（吐出割合）に対応し、複数の温度調整用の駆動信号をあらかじめ記憶手段に記憶することができる。そして、ノズル群が形成するパターンに対応して、記憶された複数の駆動信号から適用する駆動信号を選択しノズル群に供給して温度調整を行うことができる。そのため、ノズル群ごとに温度調整を行うことができる。その結果、ノズル群ごとの液状体の吐出量のばらつきを低減させることができる。

（適用例１４）前記駆動制御工程では、取得された前記パターンの前記吐出割合に基づいて、演算処理を行い前記パターンに対応する前記駆動信号を生成し、前記温度調整工程は、前記駆動制御工程で生成された前記駆動信号を前記ノズル群に供給することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。

この方法によれば、駆動制御工程において、形成するパターン（吐出割合）に対応し、基本となる駆動信号に対して演算処理を行い供給すべき駆動信号を生成し、温度調整工程において、ノズル群に供給して温度調整を行うことができる。そのため、ノズル群ごとに温度調整を行うことができる。その結果、ノズル群ごとの液状体の吐出量のばらつきを低減させることができる。

（適用例１５）前記温度調整工程では、前記ノズル群から前記液状体が吐出されていないときに、前記ノズル群の温度を調整することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。

この方法によれば、温度調整工程において、ノズル群から液状体が吐出されていないときに、温度調整することができる。そのため、ノズル群からの液状体の吐出作業に影響を与えることがなく温度調整を行うことができる。

（適用例１６）前記温度調整工程では、前記ノズル群から前記被吐出物への前記液状体の吐出が開始される前に、前記ノズル群の温度を調整することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。

この方法によれば、温度調整工程において、ノズル群から被吐出物へ液状体が吐出される段階で、ノズル群の温度を略安定温度に温度調整することができる。そのため、ノズル群からの液状体の吐出作業の当初から、液状体の吐出量のばらつきを低減させることができる。

（適用例１７）少なくとも一方の基板上に配置された隔壁部によって区画された複数の色要素領域を有する電気光学パネルを備えた電気光学装置の製造方法であって、上記の液状体吐出装置もしくは上記の液状体の吐出方法を適用して、前記基板上の前記複数の色要素領域に、色要素形成材料を含む複数種の液状体を吐出して複数種の色要素を描画する色要素描画工程と、描画された色要素を乾燥して成膜化する成膜工程と、を備えたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。

この方法によれば、色要素描画工程では、上記発明の液状体吐出装置もしくは液状体の吐出方法を適用して、基板上の複数の色要素領域に、色要素形成材料を含む複数種の液状体を、吐出量のばらつきを低減させて吐出し描画することができる。そして、成膜工程では、描画された色要素を乾燥して成膜化する。そのため、膜厚のムラの少ない高い表示品質を有する電気光学装置を製造することができる。

本実施形態を、液状体吐出装置を用いて着色層を備えたカラーフィルタを製造する場合を例にとり説明する。なお、説明に用いる図面では、説明および図示の便宜上、部材および部分の縦横の縮尺を適宜設定している。

（第１実施形態）
（液状体吐出装置の構成について）
まず、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを備えた液状体吐出装置について図１を参照して説明する。図１は、液状体吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
図１に示すように、液状体吐出装置１０は、被吐出物としてのワークＷを主走査方向に移動させるワーク移動機構２０と、複数の液滴吐出ヘッドを有するヘッドユニット９を副走査方向に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。この液状体吐出装置１０は、ワークＷとヘッドユニット９との相対位置を変化させつつ、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出して、ワークＷに液状体で所定のパターンを形成するものである。なお、図中のＸ方向はワークＷの移動方向すなわち主走査方向を示し、Ｙ方向はヘッドユニット９の移動方向すなわち副走査方向を示し、Ｚ方向は、Ｘ方向とＹ方向とに直交する方向を示している。

このような液状体吐出装置１０は、例えば、各種の表示装置のカラー表示を可能にするカラーフィルタの製造に適用され得る。例えば、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造する場合は、液状体吐出装置１０の各々の液滴吐出ヘッドから、赤、緑および青の３色の液状体のいずれかをワークＷに液滴として吐出して、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントのパターンを形成する。

ここで、液状体吐出装置１０の各構成について説明する。
ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上にワークＷを吸着固定可能に載置するステージ５とを備えている。移動台２２は、ガイドレール２１の内部に設けられた図示しないエアスライダとリニアモータによりＸ方向（主走査方向）に移動する。

ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する移動台３２とを備えている。移動台３２にはキャリッジ８が設けられ、キャリッジ８には複数の液滴吐出ヘッド５０（図２参照）を搭載したヘッドユニット９が取り付けられている。そして、移動台３２は、キャリッジ８をＹ方向（副走査方向）に移動させてヘッドユニット９をワークＷに対してＺ方向に所定の間隔をあけて対向配置する。

液状体吐出装置１０は、液滴吐出ヘッド５０もしくはノズルごとに吐出された液状体を受けて、その吐出重量を計測する電子天秤などの計測器を有する吐出量計測機構６０を備えている。液状体吐出装置１０は、液滴吐出ヘッド５０の温度を検出する温度計測機構７０（図４参照）を備えている。温度計測機構７０は、例えば、熱電対を液滴吐出ヘッドに取り付け液滴吐出ヘッドの温度を測定してもよいし、非接触の赤外線温度検出装置を適用して液状体が吐出される周辺の温度、例えばノズルプレート５１（図２参照）を計測してもよい。

また、液状体吐出装置１０は、上記構成の他にも、液滴吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構や、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０のノズルの目詰まりの解消などのメンテナンスを行うメンテナンス機構が設けられている。これらの各機構は、制御部４（図４参照）によって制御される。図１では、制御部４、温度計測機構７０、液状体供給機構およびメンテナンス機構は、図示省略した。

（液滴吐出ヘッドについて）
ここで吐出手段としてのノズル群を有する液滴吐出ヘッドについて図２および図３を参照して説明する。図２は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。（ａ）は概略分解斜視図、（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図である。図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、ワークＷに対向する側から見た図である。なお、図３に示すＸ方向、Ｙ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向と同一な方向を示す。

図２（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、液滴Ｄが吐出される複数のノズル５２を有するノズルプレート５１と、複数のノズル５２がそれぞれ連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有するキャビティプレート５３と、各キャビティ５５に対応する駆動素子としての振動子５９を有する振動板５８とが、順に積層され接合された構造となっている。

キャビティプレート５３は、ノズル５２に連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４と、キャビティ５５に液状体を充填するための流路５６，５７とを有している。流路５７は、ノズルプレート５１と振動板５８とによって挟まれ、出来上がった空間が、液状体が貯留されるリザーバの役目を果たす。液状体は、液状体供給機構から配管を通じて供給され、振動板５８に設けられた供給孔５８ａを通じてリザーバに貯留された後に、流路５６を通じて各キャビティ５５に充填される。

図２（ｂ）に示すように、振動子５９は、ピエゾ素子５９ｃと、ピエゾ素子５９ｃを挟む一対の電極５９ａ，５９ｂとからなる圧電素子である。外部から一対の電極５９ａ，５９ｂに、駆動信号としての駆動波形が印加されることにより接合された振動板５８を変形させる。これにより隔壁５４で仕切られたキャビティ５５の体積が増加して、液状体がリザーバからキャビティ５５に吸引される。そして、駆動波形の印加が終了すると、振動板５８は元に戻り充填された液状体を加圧する。これにより、ノズル５２から液状体を液滴Ｄとして吐出できる構造となっている。ピエゾ素子５９ｃへ印加される駆動波形を制御することにより、それぞれのノズル５２に対して液状体の吐出制御を行うことができる。

また、ノズル５２から液状体が吐出されない程度の強さの駆動波形をピエゾ素子５９ｃへ印加することにより、キャビティ５５内の液状体を振動させ、キャビティ５５内に滞留する液状体の粘度の増加を低減させたり、ノズル５２の液状体吐出口のメニスカスを最適に保つことができる。さらには、ピエゾ素子５９ｃに加えられる駆動波形のエネルギーの一部が熱に変換することを利用して、液滴吐出ヘッド５０の温度を調整することができる。

図３に示すように、上述の液滴吐出ヘッド５０は、ヘッドユニット９のヘッドプレート９ａに配置される。ヘッドプレート９ａには、３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０Ａの液滴吐出ヘッド５０（ヘッドＲ１）とヘッド群５０Ｂの液滴吐出ヘッド５０（ヘッドＲ２）とは同種の液状体を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。

各液滴吐出ヘッド５０は、一定のピッチＰで配設された複数（１８０個）のノズル５２からなるノズル列５２ａを有している。そのため、１つの各液滴吐出ヘッド５０は長さＬなる吐出幅を有している。また、このノズル列５２ａを構成する複数のノズル５２は、図２に示す流路５７を共通にしており、本実施例において１つのノズル群５２ｂを構成している。ヘッドＲ１とヘッドＲ２とは、主走査方向（Ｘ方向）から見て隣り合うノズル列５２ａが主走査方向と直交する副走査方向（Ｙ方向）に１ピッチＰを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。そのため、ヘッドＲ１およびヘッドＲ２は、長さ２Ｌの吐出幅を有している。

本実施形態では、ノズル列５２ａが１列の場合について説明しているがこれに限定されない。液滴吐出ヘッド５０は、複数のノズル列５２ａが図中Ｘ方向に一定の間隔をおいて、Ｙ方向に１／２ピッチ（Ｐ／２）ずれて配列されていてもよい。このようにすることにより、実質的なピッチＰが狭くなり、高精細に液滴Ｄを吐出することができる。

（液状体吐出装置の制御系について）
次に液状体吐出装置１０の制御系について図４を参照して説明する。図４は、液状体吐出装置の制御系を示すブロック図である。
図４に示すように、液状体吐出装置１０の制御系は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０等を駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液状体吐出装置１０を制御する制御部４とを備えている。駆動部４６は、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッドドライバ４８と、液滴吐出ヘッド５０の温度を検出する温度計測機構７０を制御する温度計測用ドライバ６８と、吐出量計測機構６０を制御する吐出量計測用ドライバ４９と、メンテナンス機構の各メンテナンス用ユニットを駆動制御する図示しないメンテナンス用ドライバとを備えている。

制御部４は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピュータ１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。

ＲＡＭ４３は、ワークＷにパターンを描画するパターンデータを記憶するパターンデータ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバ等が接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うとともに、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス４５に取り込むとともに、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１等からバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。

そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ４３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６等に各種の制御信号を出力することにより、液状体吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９とワークＷとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９とワークＷとの相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からワークＷに液状体を液滴Ｄとして吐出してパターンを形成する。この場合、Ｘ方向へのワークＷの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｙ方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の液状体吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向へのワークＷの移動に限らず、ワークＷを往復させて行うこともできる。

上位コンピュータ１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を液状体吐出装置１０に送出するだけでなく、これらの制御情報を修正することもできる。また、ノズル５２のノズル情報（例えば、ノズル５２の位置情報など）に基づいて、基板上の吐出領域ごとに必要量の液状体を液滴Ｄとして配置する配置情報を生成する配置情報生成部としての機能を有している。配置情報は、吐出領域における液滴Ｄの吐出位置（言い換えれば、ワークＷとノズル５２との相対位置）、液滴Ｄの配置数（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数、吐出割合）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ、吐出タイミングなどの情報を、例えば、ビットマップとして現したものである。

（液滴吐出ヘッドの駆動制御について）
次に、液滴吐出ヘッドの駆動制御について図５および図６を参照して説明する。図５は、液滴吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図である。図６は、駆動信号および制御信号のタイミング図である。
図５に示すように、ヘッドドライバ４８は、液滴吐出ヘッド５０を制御する駆動信号ＣＯＭを生成するＤ／Ａコンバータ（以降、ＤＡＣと称す）７１と、ＤＡＣ７１が生成する駆動信号ＣＯＭのスルーレートデータ（以下、波形データＷＤと称す）の格納メモリを内部に有する波形データ選択回路７２と、Ｐ−ＣＯＮ４４（図４参照）を介して上位コンピュータ１１から送信される吐出制御データを格納するためのデータメモリ７３と、を備えている。ＣＯＭラインに、ＤＡＣ７１で生成された駆動信号ＣＯＭがそれぞれ出力される。

各液滴吐出ヘッド５０には、ノズル５２ごとに設けられた振動子５９（図２参照）への駆動信号ＣＯＭの印加をＯＮ／ＯＦＦするスイッチング回路７４を備えている。ノズル５２において、振動子５９の一方の電極５９ｂは、ＤＡＣ７１のグランドライン（ＧＮＤ）に接続されている。また、振動子５９の他方の電極５９ａ（以下、セグメント電極５９ａと称す）は、スイッチング回路７４を介して、ＣＯＭラインに電気的に接続されている。また、スイッチング回路７４、波形データ選択回路７２には、クロック信号（ＣＬＫ）や各吐出タイミングに対応したラッチ信号（ＬＡＴ）が入力されるようになっている。
データメモリ７３には、液滴吐出ヘッド５０の駆動タイミングごとに各振動子５９への駆動信号ＣＯＭの印加（ＯＮ／ＯＦＦ）を規定する吐出データＤＡと、ＤＡＣ７１に入力される波形データＷＤの種別を規定する波形番号データＷＮとが格納されている。

上述の構成において、各吐出タイミングに係る駆動制御は次のように行われる。図６に示すように、タイミングｔ１〜ｔ２の期間において、吐出データＤＡ、波形番号データＷＮが、それぞれシリアル信号化されて、スイッチング回路７４、波形データ選択回路７２に送信される。そして、タイミングｔ２において各データがラッチされることで、吐出（ＯＮ）に係る各振動子５９のセグメント電極５９ａが、ＣＯＭラインに接続された状態となる。ＤＡＣ７１の生成に係る駆動信号の波形データＷＤは設定される。

タイミングｔ３〜ｔ４の期間においては、タイミングｔ２で設定された波形データＷＤに従い、それぞれ電位上昇、電位保持、電位降下の一連のステップで駆動信号ＣＯＭが生成される。そして、ＣＯＭラインと接続された状態にある振動子５９に、生成された駆動信号ＣＯＭが供給され、ノズル５２に連通するキャビティ５５の容積（圧力）制御が行われる。
ここで、タイミングｔ３における電位上昇成分はキャビティ５５を膨張させ、液状体をキャビティ５５内に引き込む役割を果たしている。また、タイミングｔ４における電位降下成分は、キャビティ５５を収縮させ、液状体をノズル５２外に押し出して吐出させる役割を果たしている。

駆動信号ＣＯＭにおける電位上昇、電位保持、電位降下に係る時間成分、電圧成分は、その供給によって吐出される液状体の吐出量に密接に依存している。とりわけ、圧電方式の液滴吐出ヘッド５０では、電圧成分の変化に対して吐出量が良好な線形性を示すため、タイミングｔ３〜ｔ４における電圧成分の変化（電位差）を駆動電圧Ｖｈとして規定し、これを液滴吐出ヘッド５０の制御の条件として利用することができる。すなわち、駆動電圧Ｖｈは、本発明における温度調整手段を制御する駆動信号ＣＯＭの条件の一つである。なお、生成する駆動信号ＣＯＭは、本実施形態で示すような単純な矩形波に限られるものではなく、例えば、台形波など公知の様々な形状の波形を適宜採用することも可能である。また、駆動信号のパルス幅（時間成分）を温度調整手段の条件として利用することも可能である。

本実施形態では、駆動電圧Ｖｈを段階的に違えた複数種の波形データＷＤを用意し、ＤＡＣ７１にそれぞれ独立した波形データＷＤを入力することにより、ＣＯＭラインにそれぞれ異なる駆動電圧Ｖｈの駆動信号ＣＯＭを出力することが可能である。例えば、図６に示す駆動電圧Ｖｈ１である駆動信号ＣＯＭ１や、駆動信号ＣＯＭ１より電位差が小さい駆動電圧Ｖｈ２である駆動信号ＣＯＭ２を選択して出力することが可能である。なお、用意できる波形データＷＤは、波形番号データＷＮにより制御される。

かくして、本実施形態の液状体吐出装置１０は、ノズル５２ごとに駆動信号の種類（駆動電圧Ｖｈ）との対応関係を規定する波形番号データＷＮとを適切に設定することにより、液滴Ｄの吐出量を調整して液状体を吐出することや、液状体がノズル５２から吐出されない程度の強さの駆動電圧Ｖｈに設定された駆動信号をピエゾ素子５９ｃへ印加することにより、液状体を吐出せずに駆動信号のエネルギーの一部を熱に変換して、液滴吐出ヘッド５０の温度を調整することができる。

（液状体の吐出方法について）
次いで、液状体の吐出方法について、図７および図８を参照して説明する。図７は、液滴吐出ヘッドとワークとの関係を示す図である。図８は、液状体の吐出方法の流れを説明するフローチャートである。

図７に示すように、ヘッドプレート９ａに搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０は、ノズル５２から液状体が吐出される吐出幅Ｌを有しており、ヘッドプレート９ａ全体では、それぞれの液滴吐出ヘッド５０のノズル列５２ａの吐出幅Ｌが合算され１つの描画ライン（２×Ｌ）を構成している。図７は、説明をわかりやすくするために液滴吐出ヘッド５０の大きさを誇張するとともに、数を減じて示している。また、図７のＸ方向、Ｙ方向は、図１のＸ方向、Ｙ方向と同一な方向を示す。

被吐出物としてのワークＷには、２種類のサイズの異なる４つの第１の被吐出領域Ｒと３つの第２の被吐出領域Ｑが形成されている。サイズの小さい第２の被吐出領域Ｑは、矩形の形成され、ワークＷのＹ方向の中央部に、Ｘ方向に沿って所定の間隔ｇ１をあけて配列されている。サイズの大きい第１の被吐出領域Ｒは、矩形に形成され、配列された第２の被吐出領域ＱのＹ方向の上下にそれぞれ２つずつＸ方向に沿って所定の間隔ｇ２をあけて配列されている。すなわち、ワークＷ上には、４つの第１の被吐出領域Ｒと３つの第２の被吐出領域Ｑとからなるパターンが配置される。

そして、液滴吐出ヘッド５０は、図１に示すヘッド移動機構３０により、ノズル５２がワークＷのパターンに対向するように配置される。次いでワークＷは、同じく図１に示すワーク移動機構２０によりＹ方向に搬送されながら、液滴吐出ヘッド５０から液状体が吐出され、第１の被吐出領域Ｒおよび第２の被吐出領域Ｑに液状体が塗布される。

このとき、図７に示すように、ヘッドＲ１のノズル列５２ａ１は、吐出幅Ｌ内に２つの間隔ｇ２を含み、ヘッドＲ２のノズル列５２ａ２は、吐出幅Ｌ内に１つの間隔ｇ１を含む。そのため、液滴吐出ヘッド５０のノズル列５２ａ、すなわちノズル群５２ｂに着目した場合、ノズル群５２ｂ１はノズル群５２ｂ２と比較して吐出回数が少ない。換言すると、１回の主走査方向への吐出作業において、ノズル群５２ｂ１は、ノズル群５２ｂ２と比較して吐出割合（単位時間当たりの吐出回数）が小さい。

前述のように、液滴吐出ヘッド５０は、ピエゾ素子５９ｃに加えられる駆動波形のエネルギーの一部が熱に変換し、液滴吐出ヘッド５０の温度を変動させる。また、機能性材料を含む液状体は、温度によって粘度等の特性が変動し、その結果として、液滴吐出ヘッド５０からの液状体の吐出特性も変動して吐出量がばらつく。そのため、ヘッドＲ１およびヘッドＲ２は、描画中に主走査方向の吐出割合に起因する温度変動が生じ、主走査方向において液状体の吐出量が変動するとともに、副走査方向においてもヘッドＲ１とヘッドＲ２の温度変動の傾きの違いによる液状体の吐出量が異なる可能性がある。本実施形態の液状体の吐出方法は、液滴吐出ヘッド５０によってパターンの描画が開始される段階で、液滴吐出ヘッド５０の温度を所定の温度に調整し、描画時における吐出量の変動を低減させるものである。

図８に示すステップＳ１のワークセット工程では、上述のワークＷを液状体吐出装置１０のステージ５にセットする。このとき、図７に示すように、ワークＷに形成されたパターンのレイアウトにより、液状体を吐出すべき液滴吐出ヘッド５０が割り当てられる。
次いで、ステップＳ２の仕事量情報取得工程において、割り当てられた液滴吐出ヘッド５０の仕事量としての吐出割合が求められる。本吐出割合は、上述のビットマップデータより、算出される。この吐出割合は、図４に示す上位コンピュータ１１で求められてもよいし、液状体吐出装置１０の制御部４で求められてもよい。この場合、制御部４などが情報取得手段に相当する。

また、同じくステップＳ２の温度算出工程において、液滴吐出ヘッド５０が調整される予測温度が算出される。本予測温度は、液滴吐出ヘッド５０が液状体を継続して吐出することにより、到達する略一定の温度、すなわち液滴吐出ヘッド５０の飽和温度が好ましい。液滴吐出ヘッド５０は、構成される部材や設置される位置により各々の液滴吐出ヘッド５０固有の飽和温度を有する場合がある。好ましくは、描画作業前に一定の時間液状体を吐出して、その飽和温度を求めることが望まれる。もしくは、後述する温調条件の設定方法を用いて算出する。液滴吐出ヘッド５０の温度としては、図４に示す温度計測機構７０を用い、液滴吐出ヘッド５０の部分であって、当該部分の温度の変動が、液滴吐出ヘッド５０が吐出する液状体に関連付けて測定可能な部分の温度を計測する。例えば、液滴吐出ヘッド５０の外壁面の温度や、図２に示すノズルプレート５１の温度や、振動板５８のキャビティ５５を構成する部分の温度などのいずれかを用いることができる。

液滴吐出ヘッド５０の外壁面や振動板５８のキャビティ５５の外壁の温度は、当該部分にヘッド温度センサを配設して測定することができる。振動板５８のキャビティ５５に関しては、振動子５９を構成する圧電材料を温度センサとして利用して測定することもできる。液滴吐出ヘッド５０の外壁面やノズルプレート５１の温度は、非接触の赤外線温度センサを用いて離れた位置から測定することもできる。予測温度としての飽和温度は、例えば、制御部４のＲＡＭ４３に記憶する。

次いで、図８に示すステップＳ３の温度調整条件設定工程では、到達するべき飽和温度に対応して、それぞれの吐出割合ごとに予め求められて入力され、制御部４のＲＡＭ４３などに記憶されている複数の駆動条件から最適な駆動条件を選択して用いる。なお、このときの駆動条件の設定については、後述する。
次いで、ステップＳ４の温度調整工程では、選択された温度調整条件（駆動条件）、すなわち、液状体がノズル５２から吐出されない程度の強さの駆動波形をピエゾ素子５９ｃへ印加することにより、ピエゾ素子５９ｃに加えられる駆動波形のエネルギーの一部を熱に変換し、描画前段階において液滴吐出ヘッド５０の温度が飽和温度近くになるように調整する。

次いで、ステップＳ５の塗布工程では、飽和温度近くの温度に調整された液滴吐出ヘッド５０からワークＷの第１の被吐出領域Ｒと第２の被吐出領域Ｑに向けて、液状体を吐出して所定のパターンを形成する。ステップＳ４において温度調整工程を実施することによって、塗布工程を開始する時点での液滴吐出ヘッド５０の温度は予測温度、すなわち飽和温度近くに調整されている。このため、塗布工程を実施する間の液滴吐出ヘッド５０の温度変動を低減させることができる。従って、液滴吐出ヘッド５０の温度の変動に起因する吐出量の変動をも低減させることができる。ステップＳ５の塗布工程を実施して本作業を終了する。
なお、塗布工程において、液滴吐出ヘッド５０が休止状態であるとき、すなわち、液滴吐出ヘッド５０が、被吐出領域間の間隔ｇ１，ｇ２に対向しているときも、ステップＳ４の温度調整工程を実施することが望ましい。

（温度調整条件の設定について）
次に、温度調整工程における温度調整条件（駆動条件）の設定方法について、図９を参照して説明する。図９は、温調条件の設定方法を説明する図であり、（ａ）は、液状体の吐出量とヘッド温度との関係を示すグラフであり、（ｂ）は、液状体の吐出を実施している時間とヘッド温度との関係を示すグラフであり、（ｃ）は、温度調整を行う駆動電圧を推定する方法を示すグラフである。

上述したように、液滴吐出ヘッド５０が吐出する機能性材料を含む液状体は、温度変動にともなって粘度が変動する。液状体吐出装置１０において、液状体の粘度が変動すると、液滴吐出ヘッド５０内の流路抵抗が変化して吐出量が変動する。すなわち、図９（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０の吐出量は、液滴吐出ヘッド５０の温度（以降、ヘッド温度Ｔと称す）に依存して変動する。

図９（ｂ）に示す温度曲線Ｃｃのように、液状体を吐出しているヘッド温度Ｔは、吐出開始時点Ｓから吐出時間が経過するとともに、初期温度Ｔ０から上昇して、液滴吐出ヘッド５０の飽和温度Ｔｈ近傍で略安定する。この場合、液滴吐出ヘッド５０が飽和温度Ｔｈ近傍で略安定するまでには、長い時間がかかってしまう。そのため、図９（ｂ）に示す温度曲線Ｃのように、液滴吐出ヘッド５０が吐出開始時点Ｓまでに、液滴吐出ヘッド５０に、液状体を吐出しない程度の強さの駆動電圧Ｖｍを供給して、ヘッド温度Ｔをあらかじめ飽和温度Ｔｈ近傍に温度調整しておくことが好ましい。なお、駆動電圧Ｖｍは、適正な吐出量が得られる設計上の駆動電圧Ｖのｍ％の駆動電圧である。

以下、この駆動電圧Ｖｍを求める算出方法を説明する。
図９（ｂ）に示す温度曲線Ｃａのように、適正な吐出量が得られる設計上の駆動電圧Ｖのａ％（ｍ＞ａ）の駆動電圧である駆動電圧Ｖａで予備加熱駆動（温度調整）をすると、ヘッド温度Ｔは、上昇して吐出開始時点ＳにおいてＴａ（Ｔｈ＞Ｔａ）となる。その後、液状体の吐出作業を開始すると、ヘッド温度Ｔは上昇して、飽和温度Ｔｈとなって略安定する。なお、温度曲線Ｃａの吐出開始時点Ｓにおける傾きを傾きａ１と表す。

また、温度曲線Ｃｂのように、適正な吐出量が得られる設計上の駆動電圧Ｖのｂ％（ｂ＞ｍ＞ａ）の駆動電圧である駆動電圧Ｖｂで予備加熱駆動（温度調整）をすると、ヘッド温度Ｔは、上昇して吐出開始時点ＳにおいてＴｂ（Ｔｂ＞Ｔｈ＞Ｔａ）となる。その後、液状体の吐出作業を開始すると、ヘッド温度Ｔは下降して、飽和温度Ｔｈとなって略安定する。なお、温度曲線Ｃｂの吐出開始時点Ｓにおける傾きを傾きｂ１と表す。

このとき、駆動電圧Ｖｍの値は、ＶａとＶｂとの間にある。換言するとｍはａとｂとの間の値である。図９（ｃ）に示すように、縦軸に傾きを、横軸に駆動電圧Ｖに乗ずるパーセンテージ（％）をとって、（ａ，ａ１）点および（ｂ，ｂ１）点をプロットし２点を通る直線を引く。この直線が横軸（駆動電圧）と交わる点、すなわち、傾きが０となる場合の値ｍを求める。そして、上記で求めた、適正な吐出量が得られる設計上の駆動電圧Ｖのｍ％の駆動電圧である駆動電圧Ｖｍで予備加熱駆動（温度調整）を実施する。このように温度調整をすることにより、ヘッド温度Ｔは、最短時間で飽和温度Ｔｈ近傍に到達する。また、吐出開始時点Ｓにおいてヘッド温度Ｔは飽和温度Ｔｈ近傍になっていると推定される。

ところが、ヘッド温度Ｔが略一定になる温度（飽和温度）は、液滴吐出ヘッド５０のノズル群５２ｂの吐出割合によって異なる。これは、例えば、吐出されずに液滴吐出ヘッド５０内に滞留する液状体の量などにより液滴吐出ヘッド５０もしくはノズル群５２ｂの熱容量が異なることや、液状体の流動による熱の拡散などが要因と考えられる。上述の温度調整工程の精度を向上させるためには、形成されるパターンに対応して吐出割合の異なるノズル群５２ｂごとに駆動電圧Ｖｍを微調整することが好ましい。

以下、駆動電圧の微調整の方法について図７および図１０を参照して説明する。図１０は、駆動電圧の微調整の方法を説明する図であり、（ａ）は、飽和温度（ヘッド温度）と吐出割合との関係を示す図、（ｂ）は、駆動電圧と飽和温度（ヘッド温度）との関係を示す図であり、（ｃ）は、温度調整後のヘッド温度と吐出時間との関係を示す図である。

図７に示すヘッドＲ１のノズル群５２ｂ１は、吐出幅Ｌ内に２つの間隔ｇ２を含み、ヘッドＲ２のノズル群５２ｂ２は、吐出幅Ｌ内に１つの間隔ｇ１を含む。そのため、ノズル群５２ｂ１はノズル群５２ｂ２と比較して吐出回数が少ない。１回の主走査方向への吐出作業において、ノズル群５２ｂ２は吐出割合ｆで液状体を吐出して、ノズル群５２ｂ１は吐出割合ｇ（ｇ＜ｆ）で液状体を吐出する。

発明者らは、実験の結果、ノズル群５２ｂの発熱量は吐出割合（単位時間当たりに駆動されるノズル５２の数）に略比例し、ノズル群５２ｂの飽和温度Ｔｈと吐出割合との関係は、図１０（ａ）に示す近似直線のようなることを見出した。すなわち、飽和温度Ｔｈは、対応するノズル群５２ｂの吐出割合に略比例する。従って、吐出割合を求めることにより、そのノズル群５２ｂが、到達すると予想される飽和温度Ｔｈｂを算出することができる。図１０（ａ）より、吐出割合ｆで液状体を吐出するノズル群５２ｂ２は飽和温度Ｔｈｆに到達しようとし、吐出割合ｇで液状体を吐出するノズル群５２ｂ１は飽和温度Ｔｈｇに到達しようとする。

また、図１０（ｂ）のグラフに示すように、液滴吐出ヘッド５０のヘッド温度Ｔは、印加される駆動電圧Ｖの値に略比例する。従って、到達させようとするヘッド温度Ｔから印加すべき駆動電圧Ｖの値、すなわち駆動電圧Ｖに乗ずるｍの値を算出することができる。図１０（ｂ）より、飽和温度Ｔｈｆに到達させようとするノズル群５２ｂ２には駆動電圧Ｖｍｆを印加し、飽和温度Ｔｈｇに到達させようとするノズル群５２ｂ１には駆動電圧Ｖｍｇを印加すべきことが好ましいことがわかる。

すなわち、図１０（ｃ）の温度曲線Ｃｇに示すように、吐出割合ｇのノズル群５２ｂ１には、駆動電圧Ｖｍｇを印加し温度調整を行い、吐出開始時点Ｓにおいて飽和温度Ｔｈｇに到達させ、ヘッド温度Ｔを略安定させ以降の吐出作業を行う。また、温度曲線Ｃｆに示すように、吐出割合ｆのノズル群５２ｂ２には駆動電圧Ｖｍｆを印加し温度調整を行い、吐出開始時点Ｓにおいて飽和温度Ｔｈｆに到達させ、ヘッド温度Ｔを略安定させ以降の吐出作業を行う。

以下、第１実施形態の効果を記載する。
（１）上述の液状体吐出装置１０は、所定のパターンを形成するときのノズル群５２ｂの吐出割合を情報として取得することができ、その吐出割合からノズル群５２ｂが到達し略安定するヘッド温度Ｔｈを算出することができる。また、その吐出割合からノズル群５２ｂを略安定するヘッド温度Ｔｈに温度調整するための駆動電圧Ｖｍを求めることができる。そして、駆動電圧Ｖｍでノズル群５２ｂを温度調整し、ノズル群５２ｂの温度をヘッド温度Ｔｈにすることができる。そのため、ノズル群５２ｂの温度を略安定させ温度変動を低減させることができ、液状体の吐出量のばらつきを低減させることができる。その結果、ワークＷに吐出される液状体の量のばらつきを低減させることができ、形成されるパターンの厚さのムラやばらつきを低減させることができる。従って、ムラやばらつきの低減されたパターン（薄膜）を形成することができる。

（２）上述の液状体吐出装置１０は、パターンに対応するノズル群５２ｂごとに、略安定するヘッド温度Ｔｈとそれに短時間で到達させる駆動電圧Ｖｍを求め温度調整することができる。そのため、様々な異なったパターンに対して、液状体の吐出量のばらつきを低減させパターンを形成することができる。

（３）上述の液状体吐出装置１０は、ノズル群５２ｂから液状体を吐出させない程度の駆動電圧Ｖｍを印加させることによってノズル群５２ｂの温度調整を行うことができる。そのため、特殊な温度調整手段を備える必要がなく装置を小型化することができる。また、ノズル群５２ｂから液状体を吐出させない程度の駆動電圧Ｖｍを印加させることによって、液滴吐出ヘッド５０内の液状体を振動させ滞留する液状体の粘度の増加を低減させたり、ノズル５２の液状体吐出口のメニスカスを最適に保ちつつ温度調整を行うことができる。

（４）上述の液状体吐出装置１０は、ノズル群５２ｂから液状体を吐出させない程度の駆動電圧Ｖｍを印加させることによって、吐出開始時点Ｓにおいてノズル群５２ｂの温度調整を行うことができる。そのため、ヘッド温度Ｔを、吐出作業の当初から略安定温度であるヘッド温度Ｔｈ近傍に調整することができ、吐出作業当初から液滴吐出ヘッド５０のヘッド温度Ｔが変動する可能性を低減することができる。

（第２実施形態）
上述の第１実施形態では、図８に示すステップＳ３の温度調整条件設定工程で、ノズル群５２ｂが形成するパターンの吐出割合に対応して、複数の吐出割合ごとに予め求められて入力され制御部４のＲＡＭ４３などに記憶されている複数の駆動電圧Ｖｍから最適な駆動電圧Ｖｍを選択してノズル群５２ｂに供給する場合について説明したがこれに限定されない。

図４に示す上位コンピュータ１１もしくはＣＰＵ４１などを用い、図１０（ａ）のヘッド温度Ｔｈと吐出割合との関係を示す近似式から、ノズル群５２ｂの吐出割合に基づいて、そのノズル群５２ｂが、到達し安定すると予想されるヘッド温度Ｔｈｂを演算して、図１０（ｂ）のヘッド温度Ｔｈと駆動電圧Ｖｍとの関係を示す近似式から、ヘッド温度Ｔｈに到達させるために印加すべき駆動電圧Ｖｍの値、すなわち、適正な吐出量が得られる設計上の駆動電圧Ｖに乗ずるｍの値を演算してノズル群５２ｂに供給してもよい。
この場合も、第１実施形態で説明した効果と同様な効果を奏することができる。

（第３実施形態）
次に第１もしくは第２実施形態の液状体吐出装置を用いた電気光学装置としての液晶表示装置の製造方法およびこの製造方法を用いて製造された液晶表示装置について説明する。

（液晶表示装置）
図１１は、液晶表示装置の構造を示す概略斜視図である。図１１に示すように、本実施形態の液晶表示装置５００は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）透過型の液晶表示パネル５２０と、液晶表示パネル５２０を照明する照明装置５１６とを備えている。液晶表示パネル５２０は、色要素としてのカラーフィルタを有する対向基板５０１と、画素電極５１０に３端子のうちの１つが接続されたＴＦＴ素子５１１を有する素子基板５０８と、両基板５０１，５０８によって挟持された液晶（図示省略）とを備えている。また、液晶表示パネル５２０の外面側となる両基板５０１，５０８の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板５１４と下偏光板５１５とが配設される。

対向基板５０１は、透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に隔壁部５０４によってマトリクス状に区画された複数の色要素領域に複数種の色要素としてＲＧＢ３色のカラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂが形成されている。隔壁部５０４は、Ｃｒなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなるブラックマトリクスと呼ばれる下層バンク５０２と、下層バンク５０２の上（図面では下向き）に形成された有機化合物からなる上層バンク５０３とにより構成されている。また対向基板５０１は、隔壁部５０４と隔壁部５０４によって区画されたカラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層（ＯＣ層）５０６と、ＯＣ層５０６を覆うように形成されたＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電膜からなる対向電極５０７とを備えている。カラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂは後述する液晶表示装置の製造方法を用いて製造されている。

素子基板５０８は、同じく透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に絶縁膜５０９を介してマトリクス状に形成された画素電極５１０と、画素電極５１０に対応して形成された複数のＴＦＴ素子５１１とを有している。ＴＦＴ素子５１１の３端子のうち、画素電極５１０に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極５１０を囲むように格子状に配設された走査線５１２とデータ線５１３とに接続されている。

照明装置５１６は、光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル５２０に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。

なお、液晶表示パネル５２０は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子に限らずＴＦＤ（Thin Film Diode）素子を有したものでもよく、さらには、少なくとも一方の基板にカラーフィルタを備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。また、上下偏光板５１４，５１５は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。

（液晶表示装置の製造方法）
次に本実施形態の液晶表示装置の製造方法について図１２および図１３に基づいて説明する。図１２は、液晶表示装置の製造方法を示すフローチャートである。図１３は、液晶表示装置の製造方法を示す概略断面図である。

図１２に示すように、本実施形態の液晶表示装置５００の製造方法は、対向基板５０１の表面に隔壁部５０４を形成する工程と、隔壁部５０４によって区画された色要素領域を表面処理する工程とを備えている。また、第１もしくは第２実施形態の液状体吐出装置１０を用いて表面処理された色要素領域に色要素形成材料としてのカラーフィルタ形成材料を含む３種（３色）の液状体を付与して、カラーフィルタ５０５を描画する色要素描画工程と、描画されたカラーフィルタ５０５を乾燥して成膜化する成膜工程とを備えている。さらに隔壁部５０４とカラーフィルタ５０５とを覆うようにＯＣ層５０６を形成する工程と、ＯＣ層５０６を覆うようにＩＴＯからなる透明な対向電極５０７を形成する工程とを備えている。

図１２のステップＳ１１は、隔壁部５０４を形成する工程である。ステップＳ１１では、図１３（ａ）に示すように、まずブラックマトリクスとしての下層バンク５０２を対向基板５０１上に形成する。下層バンク５０２の材料は、例えば、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を用いることができる。下層バンク５０２の形成方法としては、蒸着法あるいはスパッタ法で上記材料からなる膜を対向基板５０１上に成膜する。膜厚は、遮光性が保たれる膜厚を選定された材料に応じて設定すればよい。例えば、Ｃｒならば、１００〜２００ｎｍが好ましい。そして、フォトリソグラフィ法により開口部５０２ａに対応する部分以外をレジストで膜を覆い、上記材料に対応する酸等のエッチング液を用いて膜をエッチングする。これにより開口部５０２ａを有する下層バンク５０２が形成される。

次に上層バンク５０３を下層バンク５０２の上に形成する。上層バンク５０３の材料としては、アクリル系の感光性樹脂材料を用いることができる。また、感光性樹脂材料は、遮光性を有することが好ましい。上層バンク５０３の形成方法としては、例えば、下層バンク５０２が形成された対向基板５０１の表面に感光性樹脂材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、色要素領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを対向基板５０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク５０３を形成する方法が挙げられる。これにより対向基板５０１上に複数の色要素領域Ａをマトリクス状に区画する隔壁部５０４が形成される。そしてステップＳ１２へ進む。

図１２のステップＳ１２は、表面処理工程である。ステップＳ１２では、Ｏ₂を処理ガスとするプラズマ処理とフッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、色要素領域Ａが親液処理され、その後感光性樹脂からなる上層バンク５０３の表面（壁面を含む）が撥液処理される。そしてステップＳ１３へ進む。

図１２のステップＳ１３は、色要素としてのカラーフィルタの描画工程である。ステップＳ１３では、図１３（ｂ）に示すように、表面処理された各色要素領域Ａのそれぞれに、対応する液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを付与してカラーフィルタ５０５を描画する。液状体８０ＲはＲ（赤色）のカラーフィルタ形成材料を含むものであり、液状体８０ＧはＧ（緑色）のカラーフィルタ形成材料を含むものであり、液状体８０ＢはＢ（青色）のカラーフィルタ形成材料を含むものである。各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを付与する方法は、第１もしくは第２実施形態の液状体吐出装置１０を用い、液滴吐出ヘッド５０に各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを充填し、液滴として色要素領域Ａに着弾させる。各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂは、色要素領域Ａの面積に応じて必要量が付与され、色要素領域Ａに濡れ拡がり、表面張力によって盛り上がる。そしてステップＳ１４へ進む。

図１２のステップＳ１４は、描画されたカラーフィルタ５０５を乾燥して成膜化する工程である。ステップＳ１４では、図１３（ｃ）に示すように、吐出描画されたカラーフィルタ５０５を一括乾燥し、各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂから溶剤成分を除去してカラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを成膜する。乾燥方法としては、溶剤成分を均質に乾燥可能な減圧乾燥などの方法が望ましい。そしてステップＳ１５へ進む。

図１２のステップＳ１５は、ＯＣ層形成工程である。ステップＳ１５では、図１３（ｄ）に示すように、カラーフィルタ５０５と上層バンク５０３とを覆うようにＯＣ層５０６を形成する。ＯＣ層５０６の材料としては、透明なアクリル系樹脂材料を用いることができる。形成方法としては、スピンコート法、オフセット印刷などの方法が挙げられる。ＯＣ層５０６は、カラーフィルタ５０５が形成された対向基板５０１の表面の凹凸を緩和して、後にこの表面に膜付けされる対向電極５０７を平担化するために設けられている。また、対向電極５０７との密着性を確保するために、ＯＣ層５０６の上にさらにＳｉＯ₂などの薄膜を形成してもよい。そしてステップＳ１６へ進む。

図１２のステップＳ１６は、対向電極５０７を形成する工程である。ステップＳ１６では、図１３（ｅ）に示すように、スパッタ法や蒸着法を用いてＩＴＯなどの透明電極材料を真空中で成膜して、ＯＣ層５０６を覆うように全面に対向電極５０７を形成する。

このようにして出来上がった対向基板５０１と画素電極５１０およびＴＦＴ素子５１１を有する素子基板５０８とを接着剤を用いて所定の位置で接着し、両基板５０１，５０８との間に液晶を充填すれば、液晶表示装置５００が出来上がる。

以下、第３実施形態の効果を記載する。
（１）液晶表示装置５００の製造方法において、色要素描画工程では、液晶表示パネル５２０の対向基板５０１の色要素領域Ａに、第１もしくは第２実施形態の液状体吐出装置１０で３種の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを吐出して、３種の色要素としてのカラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂが形成されている。このとき、液滴吐出ヘッド５０は、形成されるパターンに対応してノズル群５２ｂの温度を略安定させ温度変動を低減させた状態で、３種の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを吐出することができる。そのため、３種の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂの吐出量のばらつきを低減させ、色要素領域Ａに吐出される液状体の量のばらつきを低減させることができる。従って、形成されるカラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂの厚さのムラやばらつきを低減させることができる。従って、ムラやばらつきの低減されたカラーフィルタ５０５を形成することができる。

（２）液晶表示装置５００は、上記液晶表示装置５００の製造方法を用いて製造されたカラーフィルタ５０５を有する対向基板５０１を備えているため、膜厚のばらつきおよびムラに起因するよる色ムラ等が目立ちにくい、見映えのよい表示品質を有する液晶表示装置５００を提供することができる。

（第４実施形態）
次に第１もしくは第２実施形態の液状体吐出装置を用いた電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置の製造方法およびこの製造方法を用いて製造された有機ＥＬ表示装置について説明する。

（有機ＥＬ表示装置）
図１４は、有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図である。図１４に示すように、本実施形態の電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置６００は、発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの色要素領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの色要素領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。本実施形態の有機ＥＬ表示装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に出射するものである。

封止基板６２０は、ガラス又は金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水又は酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水又は酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略しても良い。

本実施形態の素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の色要素領域Ａを有するものであって、複数の色要素領域Ａを区画する隔壁部としてのバンク６１８と、複数の色要素領域Ａに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の色要素領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する色要素としての発光素子部６０３を備えている。バンク６１８は、下層バンク６１８ａと色要素領域Ａを実質的に区画する上層バンク６１８ｂとからなり、下層バンク６１８ａは、色要素領域Ａの内側に張り出すように設けられて、電極６１３と各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとが直接接触して電気的に短絡することを防止するためにＳｉＯ₂等の無機絶縁材料により形成されている。

素子基板６０１は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等からなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され（電極形成工程）、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１４ではこれらの図示を省略している。

発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層６１７ｂ）と、上層バンク６１８ｂと発光層６１７ｂとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を出射させることができる。

有機ＥＬ表示装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、更に正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層６１７ｂは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ表示装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また発光層６１７ｂが液状体吐出装置１０を用いて描画形成されているため、描画時のスジムラによる発光ムラ、輝度ムラ等の表示不具合の少ない高い表示品質を有している。

（有機ＥＬ表示装置の製造方法）
次に本実施形態の有機ＥＬ表示装置の製造方法について図１５および図１６に基づいて説明する。図１５は、有機ＥＬ表示装置の製造方法を示すフローチャート、図１６は、有機ＥＬ表示装置の製造方法を示す概略断面図である。なお、図１６（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。

図１５に示すように、有機ＥＬ表示装置の製造方法は、素子基板６０１の複数の色要素領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるように下層バンク６１８ａを形成し、さらに下層バンク６１８ａ上に実質的に色要素領域Ａを区画するように上層バンク６１８ｂを形成するバンク（隔壁部）形成工程とを備えている。また上層バンク６１８ｂで区画された色要素領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された色要素領域Ａに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された色要素領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された色要素領域Ａに色要素形成材料としての発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して発光層６１７ｂを吐出描画する色要素描画工程としての発光層描画工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層６１７ｂを成膜する工程とを備えている。さらに、上層バンク６１８ｂと発光層６１７ｂを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。各液状体の色要素領域Ａへの付与は、液状体吐出装置１０を用いて行う。

図１５のステップＳ２１は、電極（陽極）形成工程である。ステップＳ２１では、図１６（ａ）に示すように、回路素子部６０２がすでに形成された素子基板６０１の色要素領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯ等の透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。また、フォトレジストで素子基板６０１を先に覆って、電極６１３を形成する領域が開口するように露光・現像する。そして開口部にＩＴＯ等の透明電極膜を形成し、残存したフォトレジストを除く方法でもよい。そしてステップＳ２２へ進む。

図１５のステップＳ２２は、バンク（隔壁部）形成工程である。ステップＳ２２では、図１６（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の一部を覆うように下層バンク６１８ａを形成する。下層バンク６１８ａの材料としては、無機材料である絶縁性のＳｉＯ₂（酸化珪素）を用いている。下層バンク６１８ａの形成方法としては、例えば、後に形成される発光層６１７ｂに対応して、各電極６１３の表面をレジスト等を用いてマスキングする。そしてマスキングされた素子基板６０１を真空装置に投入し、ＳｉＯ₂をターゲットあるいは原料としてスパッタリングや真空蒸着することにより下層バンク６１８ａを形成する方法が挙げられる。レジスト等のマスキングは、後に剥離する。なお、下層バンク６１８ａは、ＳｉＯ₂により形成されているため、その膜厚が２００ｎｍ以下であれば十分な透明性を有しており、後に正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが積層されても発光を阻害することはない。

続いて、各色要素領域Ａを実質的に区画するように下層バンク６１８ａの上に上層バンク６１８ｂを形成する。上層バンク６１８ｂの材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理によりテトラフルオロエチレン化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。上層バンク６１８ｂの形成方法としては、例えば、下層バンク６１８ａが形成された素子基板６０１の表面に感光性の前記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、色要素領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク６１８ｂを形成する方法が挙げられる。これにより下層バンク６１８ａと上層バンク６１８ｂとを有する隔壁部としてのバンク６１８が形成される。そして、ステップＳ２３へ進む。

図１５のステップＳ２３は、色要素領域Ａを表面処理する工程である。ステップＳ２３では、バンク６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ₂ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、下層バンク６１８ａの張り出し部および上層バンク６１８ｂの表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。つぎにＣＦ₄等のフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなる上層バンク６１８ｂの表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、ステップＳ２４へ進む。

図１５のステップＳ２４は、正孔注入／輸送層形成工程である。ステップＳ２４では、図１６（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体９０を色要素領域Ａに付与する。液状体９０を付与する方法としては、第１もしくは第２実施形態の液状体吐出装置１０を用いる。液滴吐出ヘッド５０のノズル５２から吐出された液状体９０は、液滴として素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は色要素領域Ａの面積に応じて必要量が液滴として吐出され表面張力で盛り上がった状態となる。液状体吐出装置１０により、１種の液状体９０を吐出して描画するので、少なくとも１回の主走査により吐出描画が可能である。そしてステップＳ２５へ進む。

図１５のステップＳ２５は、乾燥・成膜工程である。ステップＳ２５では、素子基板６０１を例えばランプアニール等の方法で加熱することにより、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３の下層バンク６１８ａにより区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料としてＰＥＤＯＴ（Polyethylene Dioxy Thiophene；ポリエチレンジオキシチオフェン）を用いた。なお、この場合、各色要素領域Ａに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後の発光層の形成材料に対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を色要素領域Ａごとに変えてもよい。そしてステップＳ２６へ進む。

図１５のステップＳ２６は、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された素子基板６０１を表面処理する工程である。ステップＳ２６では、上記の正孔注入／輸送層形成材料を用いて正孔注入／輸送層６１７ａを形成した場合、その表面が、次のステップＳ２７で用いられる３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂに対して撥液性を有するので、少なくとも色要素領域Ａの領域内を再び親液性を有するように表面処理を行う。表面処理の方法としては、３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂに用いられる溶媒を塗布して乾燥する。溶媒の塗布方法としては、スプレー法、スピンコート法等の方法が挙げられる。そしてステップＳ２７へ進む。

図１５のステップＳ２７は、ＲＧＢ発光層描画工程である。ステップＳ２７では、図１６（ｄ）に示すように、液状体吐出装置１０を用いて異なる液滴吐出ヘッド５０のノズル５２から複数の色要素領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する。液状体１００Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。着弾した各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂは、色要素領域Ａに濡れ拡がって断面形状が円弧状に盛り上がる。そして、ステップＳ２８へ進む。

図１５のステップＳ２８は、乾燥・成膜工程である。ステップＳ２８では、図１６（ｅ）に示すように、吐出描画された各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各色要素領域Ａの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜化する。各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが吐出描画された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度を略一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そしてステップＳ２９へ進む。

図１５のステップＳ２９は、陰極形成工程である。ステップＳ２９では、図１６（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと上層バンク６１８ｂの表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ等の金属やＬｉＦ等のフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層に近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌ等の膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等が挙げられる。特に発光層の熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。このようにして出来上がった素子基板６０１を用いて有機ＥＬ表示装置６００を製造する。

以下、第４実施形態の効果を記載する。
（１）有機ＥＬ表示装置６００の製造方法において、発光層描画工程では、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された素子基板６０１の色要素領域Ａに、第１もしくは第２実施形態の液状体吐出装置１０で３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを吐出して、３種の色要素としての発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが形成されている。このとき、液滴吐出ヘッド５０は、形成されるパターンに対応してノズル群５２ｂの温度を略安定させ温度変動を低減させた状態で、３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを吐出することができる。そのため、３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの吐出量のばらつきを低減させ、色要素領域Ａに吐出される液状体の量のばらつきを低減させることができる。従って、形成される発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの厚さのムラやばらつきを低減させることができる。従って、ムラやばらつきの低減された発光層６１７ｂを形成することができる。

（２）有機ＥＬ表示装置６００は、上記有機ＥＬ表示装置６００の製造方法を用いて製造された発光層６１７ｂを有する素子基板６０１を備えているため、膜厚のばらつきやムラによる発光ムラや輝度ムラ等が目立ちにくい、見映えのよい表示品質を有する有機ＥＬ表示装置６００を提供することができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。

（変形例１）上記実施形態では、液滴吐出ヘッド５０からワークＷへの吐出作業を開始する時点でのノズル群５２ｂの温度を調整する場合について説明したが、これに限定されない。塗布工程において、液滴吐出ヘッド５０が休止状態であるとき、すなわち、液滴吐出ヘッド５０が、例えば、図７に示す被吐出領域間の間隔ｇ１，ｇ２に対向しているときも、ノズル群５２ｂの温度調整を実施することが望ましい。このようにすることにより、塗布工程を実施する間の液滴吐出ヘッド５０の温度変動をさらに低減させることができる。

（変形例２）上記実施形態では、図７に示すようなサイズの異なる複数のパターンを有するワークＷに対して、液滴吐出ヘッド５０から液状体を吐出する場合について説明したが、これに限定されない。形成されるパターンは、如何なるものでもよい。受け持つパターンに対応してノズル群５２ｂの吐出割合を算出して、その吐出割合に基づいて、温度調整条件を設定して温度調整を行えばよい。

（変形例３）上記実施形態では、ノズル群５２ｂとして、図２に示す流路５７を共通にする複数のノズル５２、すなわちノズル列５２ａを構成する複数のノズル５２を例にとり説明したがこれに限定されない。一時に駆動制御することが可能なノズル５２の集合であればよい。また、個々のノズル５２とすることも可能である。

（変形例４）上記実施形態では、仕事量として、単位時間当たりの吐出回数である吐出割合を例にとり説明したがこれに限定されない。例えば、図２に示すキャビティ５５内に滞留する液状体の粘度の増加を低減させたり、ノズル５２の液状体吐出口のメニスカスを最適に保つために、ピエゾ素子５９ｃへ駆動信号を印加する回数をも含めることができる。

液状体吐出装置の構成を示す概略斜視図。 液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図。 液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。 液状体吐出装置の制御系を示すブロック図。 液滴吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図。 駆動信号および制御信号のタイミング図。 液滴吐出ヘッドとワークとの関係を示す図。 液状体の吐出方法の流れを説明するフローチャート。 温調条件の設定方法を説明する図。 駆動電圧の微調整の方法を説明する図。 液晶表示装置の構造を示す概略斜視図。 液晶表示装置の製造方法を示すフローチャート。 液晶表示装置の製造方法を示す概略断面図。 有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図。 有機ＥＬ表示装置の製造方法を示すフローチャート。 有機ＥＬ表示装置の製造方法を示す概略断面図。

符号の説明

４…制御部、９…ヘッドユニット、９ａ…ヘッドプレート、１０…液状体吐出装置、２０…ワーク移動機構、３０…ヘッド移動機構、４１…ＣＰＵ、４６…駆動部、４８…ヘッドドライバ、５０…液滴吐出ヘッド、５２…ノズル、５２ａ…ノズル列、５２ｂ…ノズル群、５９…振動子、５９ｃ…ピエゾ素子、６０…吐出量計測機構、７０…温度計測機構、５００…液晶表示装置、５０５…カラーフィルタ、６００…有機ＥＬ表示装置、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ，６１７ｂ…発光層。

Claims (13)

1. 液状体を液滴として吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出装置であって、
   前記所定のパターンに応じて、前記被吐出物に配置する液滴の配置数と吐出タイミングを含む配置情報を生成する配置情報生成部と、
   前記配置情報に基づき、前記吐出手段の単位時間当たりの吐出回数を算出する情報取得手段と、
   前記情報取得手段により取得した前記単位時間当たりの吐出回数から前記所定のパターンの形成時における前記吐出手段の予測温度を算出する温度算出手段と、
   前記温度算出手段により算出した前記予測温度に前記吐出手段の温度を調整する温度調整手段と、を備えることを特徴とする液状体吐出装置。
2. 前記温度算出手段は、前記所定のパターンの形成時に前記吐出手段の温度が略一定に到達する温度を算出することを特徴とする請求項１に記載の液状体吐出装置。
3. 前記温度調整手段は、前記吐出手段から前記液状体が吐出されないように、電気的な駆動信号を前記吐出手段に供給して、温度調整を行うことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液状体吐出装置。
4. 前記温度調整手段は、複数の駆動信号を記憶する記憶手段と、前記吐出手段の単位時間当たりの吐出回数に応じて前記複数の駆動信号から１つの駆動信号を選択して前記吐出手段に設定する設定手段と、
   を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
5. 前記温度調整手段は、前記吐出手段から前記液状体が吐出されていないときに、前記吐出手段の温度を調整することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
6. 前記温度調整手段は、前記吐出手段から前記被吐出物への前記液状体の吐出が開始される前に、前記吐出手段の温度を調整することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
7. 液状体を液滴として吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出装置であって、
   前記所定のパターンに応じて、前記被吐出物に配置する液滴の配置数と吐出タイミングを含む配置情報を生成する配置情報生成部と、
   前記配置情報に基づき、前記吐出手段の単位時間当たりの吐出回数を算出する情報取得手段と、
   前記配置情報に基づき、前記吐出手段の単位時間当たりの吐出回数を算出する算出工程と、
   前記単位時間当たりの吐出回数から前記所定のパターンの形成時における前記吐出手段の予測温度を算出する温度算出工程と、
   前記温度算出工程で算出した前記予測温度に前記吐出手段の温度を調整する温度調整工程と、を有することを特徴とする液状体の吐出方法。
8. 前記温度算出工程では、前記所定のパターンの形成時に前記吐出手段の温度が略一定の温度となる飽和温度を予測温度として算出することを特徴とする請求項７に記載の液状体の吐出方法。
9. 前記温度調整工程は、前記吐出手段から前記液状体が吐出されないように、電気的な駆動信号を前記吐出手段に供給して、前記吐出手段の温度を調整することを特徴とする請求項７または請求項８に記載の液状体の吐出方法。
10. 前記温度調整工程は、前記吐出手段の単位時間当たりの吐出回数に応じて、記憶手段に記憶された複数の駆動信号から１つの駆動信号を選択して前記吐出手段に供給して行われる、ことを特徴とする請求項７乃至９のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
11. 前記温度調整工程では、前記吐出手段から前記液状体が吐出されていないときに、前記吐出手段の温度を調整することを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
12. 前記温度調整工程では、前記吐出手段から前記被吐出物への前記液状体の吐出が開始される前に、前記吐出手段の温度を調整することを特徴とする請求項７乃至１１のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
13. 少なくとも一方の基板上に配置された隔壁部によって区画された複数の色要素領域を有する電気光学パネルを備えた電気光学装置の製造方法であって、
    請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液状体吐出装置もしくは請求項７乃至１２のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を適用して、前記基板上の前記複数の色要素領域に、色要素形成材料を含む複数種の液状体を吐出して複数種の色要素を描画する色要素描画工程と、
    描画された色要素を乾燥して成膜化する成膜工程と、を備えたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。

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