JP4556692B2 - 電気光学装置の製造方法、および液滴吐出装置 - Google Patents
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また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置の製造方法であって、少なくとも前記第1液状物は、前記組成物の構成材料を含み、前記第2液状物は、前記第1液状物よりも沸点が高い液状物であることを特徴とする。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置の製造方法であって、前記第2液状物は、前記第1液状物に用いられている溶媒よりも沸点が高い高沸点溶媒からなることを特徴とする。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置の製造方法であって、前記第2液状物は、沸点が200℃以上の有機溶剤を含んでいることを特徴とする。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置の製造方法であって、前記第1液状物は、前記組成物が溶媒に溶解または分散されてなることを特徴とする。
上記の課題を解決するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、複数の画素の各々にノズル開口から液滴を吐出する液滴吐出工程と、前記液滴を乾燥させて前記複数の画素の各々に画素構成要素を形成する乾燥工程とを有する電気光学装置の製造方法において、前記液滴吐出工程は、前記複数の画素のうち第1の画素に、第1液状物の液滴を吐出する工程と、前記第1の画素とは異なる第2の画素に、前記第1液状物とは組成が異なる第2液状物を吐出する工程と、前記第1の画素に、乾燥速度を調整する第3液状物の液滴を吐出する工程と、を有することを特徴とする。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置の製造方法であって、前記第1液状物は、前記第2液状物よりも乾燥速度が速いことを特徴とする。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置の製造方法であって、前記第1液状物は、前記第2液状物よりも沸点が低いことを特徴とする。
上記の課題を解決するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、複数の画素の各々にノズル開口から液滴を吐出する液滴吐出工程と、前記液滴を乾燥させて前記複数の画素の各々に画素構成要素を形成する乾燥工程とを有する電気光学装置の製造方法において、前記液滴吐出工程は、前記画素構成要素の構成材料を含む第1液状物の液滴を前記複数の画素の各々に吐出する第1の液滴吐出工程と、前記複数の画素のうち所定の画素に、前記第1液状物の液滴の乾燥速度を調整する第2液状物の液滴を吐出する第2の液滴吐出工程と、を有し、前記乾燥工程において、前記所定の画素とは異なる画素と、前記所定の画素との乾燥速度差を調整することを特徴とする。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置の製造方法であって、前記加熱工程の後、各組成物の膜厚を計測し、前記膜厚の計測結果に基づいて、前記第2液状物の液滴を吐出すべき位置および量のうちの少なくとも一方を決定することを特徴とする。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置の製造方法であって、前記電気光学装置は、有機エレクトロルミネッセンス装置であり、前記画素構成要素は、有機エレクトロルミネッセンスの発光層であることを特徴とする。
上記の課題を解決するために、本発明では、ノズル開口から液滴を吐出する液滴吐出工程と、前記液滴を乾燥させて媒体上に組成物を形成する加熱工程とを有する組成物の製造方法において、前記液滴吐出工程は、前記組成物の構成材料を含む第1液状物の液滴を前記媒体上の複数の位置に吐出する第1の液滴吐出工程と、前記第1液状物の液滴が吐出された各位置と同一位置に、前記第1液状物の液滴の乾燥速度を調整する第2液状物の液滴を吐出する第2の液滴吐出工程とを有することを特徴とする。
図1は、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。なお、液滴吐出装置によってカラー印刷やカラーの表示装置を製造する場合、通常、R、G、Bの3色の絵素を形成する必要がある。従って、液滴吐出装置については、1台で各色に対応する液滴を吐出可能に構成するか、所定の色に対応するものを複数台、準備することになるが、以下の説明では、前者を例に説明する。
図2(A)、(B)はそれぞれ、液滴吐出ヘッド22の構成を示す説明図である。図3(A)、(B)、(C)はそれぞれ、液滴吐出ヘッド22の内部構造を模式的に示す説明図、撓み振動モードの圧力発生素子の説明図、および縦振動モードの圧力発生素子の説明図である。
図4は、図1に示す液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。図5および図6は、図1に示す液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドのヘッド駆動部の電気的構成を示す説明図、およびヘッド駆動部を構成する素子の説明図である。なお、図4に示す例では、制御系をコンピュータ本体部側に構成した例を示してあるが、その一部については、液滴吐出装置本体側に構成してもよい。
図7は、図1に示す液滴吐出装置に用いた駆動信号の一例を示す波形図である。図3(A)および図7において、圧力発生素子39に印加される駆動信号COMは、吐出すべき液状物Mの粘度などに応じて最適な波形に設定されるが、ここに示す駆動信号COMは、中間電位Vmから最高電位VPSまで電位を変化させて圧力発生室33を初期状態から膨張させる吐出用膨張要素S1と、最高電位VPSを保持して圧力発生室33の膨張状態を保持する吐出用ホールド要素S2と、最高電位VPSから最低電位VLSまで電位を変化させて膨張状態にある圧力発生室33を収縮させて液滴M0を吐出させる吐出用収縮要素S3と、最低電位VLSを保持して圧力発生室33の収縮状態を保持する制振用ホールド要素S4と、最低電位VLSから中間電位Vmに変化させて収縮状態にある圧力発生室33を初期状態にまで復帰させる制振用膨張要素S5と、中間電位Vmを保持するホールド要素S6とを含んでいる。
以上説明したように、本形態の液滴吐出装置10では、液状物貯留部37、圧力発生室33、ノズル開口27および圧力発生素子39などによって液滴吐出機構が構成されているが、本形態では、図2(A)に示すように、4系列の液滴吐出機構11R、11G、11B、11Tに系列化され、それに伴って、図3(A)に示す液状物Mの流路、図5および図6に示す駆動回路の一部も系列化されている。ここで、各系列の液滴吐出機構11R、11G、11B、11Tの液状物貯留部37には液状物Mとして、組成の異なる液状物MR、MG、MB、MTが貯留されており、4系列の液滴吐出機構11R、11G、11B、11Tのノズル開口27は各々、液滴M0として、異なる組成の液滴MR0、MG0、MB0、MT0を吐出することになる。また、以下に説明するように、4系列の液滴吐出機構11R、11G、11B、11Tのうち、液滴吐出機構11R、11G、11Bは、後述する発光層(組成物)を形成するための組成物(第1組成物)を吐出する第1の液滴吐出機構であり、液滴吐出機構11Tは、液滴吐出機構11R、11G、11Bが吐出した液滴のうち、所定の液滴の乾燥速度を調整するための組成物(第2組成物)を吐出する第2の液滴吐出機構である。
赤色(R)の発光層形成材料の1,2,3,4−テトラメチルベンゼン溶液
を吐出するための系列として利用される。
緑色(G)の発光層形成材料のシクロヘキシルベンゼン溶液
を吐出するための系列として利用される。
青色(B)の発光層形成材料のシクロヘキシルベンゼン溶液
を吐出するための系列として利用される。
液状物MR<液状物MG、MB<液状物MT
であり、
各液状物に用いた溶媒の蒸発速度は、
液状物MR>液状物MG、MB>液状物MT
である。
図2(A)に示す形態では、4系列の液滴吐出機構11R、11G、11B、11Tの圧力発生室33、ノズル開口27および圧力発生素子39を全て共通の液滴吐出ヘッド22に構成した例であったが、図2(B)に示すように、4系列の液滴吐出機構11R、11G、11B、11Tの圧力発生室33、ノズル開口27および圧力発生素子39を各々、別の液滴吐出ヘッド22R、22G、22B、22Tに構成されている構成を採用してもよい。この場合も、4つの液滴吐出ヘッド22R、22G、22B、22Tを共通のキャリッジ26(図1参照)に搭載しておけばよい。また、4つの液滴吐出ヘッド22R、22G、22B、22Tの吐出ヘッドが各々、別のキャリッジ26に搭載されている構成、さらには、4つの液滴吐出ヘッド22R、22G、22B、22Tの各々に対して駆動系や制御系が構成されている構成を採用してもよい。また、本形態では、液状物MR、MG、MB、MTの溶媒が全て有機溶剤であったが、溶媒の一部として水を用いた場合に本発明を適用してもよい。
以下、上記の液滴吐出装置10を用いて組成物ドットを製造する方法の一例として、有機EL装置(電気光学装置)の発光層(組成物ドット)を形成する例を説明する。
以上説明したように、本形態では、ノズル開口27から液状物Mの液滴M0を透明基板502上にドット状に吐出する液滴吐出工程と、透明基板502に吐出した液状物Mの液滴M0を乾燥させて透明基板502上に発光層513b(組成物)をドット状に定着させる加熱工程とを有する有機EL装置10の製造方法において、液滴吐出工程では、ドット形成用液状物MR、MG、MBの液滴MR0、MG0、MB0を透明基板502上の異なる位置にドット状に吐出するドット形成用液滴吐出工程(図10(A)に示す工程)と、ドット形成用液状物MR、MG、MBの液滴MR0、MG0、MB0のうち、所定の液滴MR0(沸点が低くて乾燥速度の速い赤色(R)用のドット形成用液状物MRの液滴MR0)と透明基板502上の同一位置に乾燥速度調整用液状物MTの液滴MT0を吐出して加熱工程での各液滴の乾燥速度の差を圧縮するための乾燥速度調整用液滴吐出工程(図10(B)に示す工程)とを行う。このため、加熱工程を行う際、各液滴MR0、MG0、MB0の乾燥速度の差が圧縮されている。このため、ドット形成用液状物MR、MG、MBの液滴MR0、MG0、MB0を透明基板502上にドット状に吐出した後、一括加熱することにより生産性を高めた場合でも、各液滴MR0、MG0、MB0の乾燥速度が等しいので、液滴MR0、MG0、MB0を安定した状態に乾燥、定着させることができる。それ故、赤色(R)用のドット形成用液状物MRの液滴MR0単独では加熱工程の温度が高すぎる場合でも、赤色(R)用の発光層513bにおいて、画素内での厚さばらつきの発生を防止することができる。
上記形態では、乾燥速度調整用液状物MTの液滴MT0の吐出すべき量を予め設定しておいたが、加熱工程の後、画素内における発光層513bの膜厚分布を触針検査装置などで計測し、その計測結果に基づいて、それ以降の発光層513bの製造工程において、乾燥速度調整用液状物MTの液滴MT0の吐出すべき量を決定してもよい。このような方法を採用した場合には、乾燥速度調整用液状物MTの液滴MT0の吐出量を最適化できるので、各液滴の乾燥速度を確実に等しくできる。それ故、液滴を安定した状態に乾燥させることができる。
上記形態では、本発明を有機EL装置の製造工程に用いた例であったが、液晶表示装置のカラーフィルタ(画素構成要素)の形成などに本発明を適用してもよい。また、インクジェットプリンタと称せられる液滴吐出装置に本発明を適用してもよい。
Claims (14)
- 複数の画素の各々にノズル開口から液滴を吐出する液滴吐出工程と、前記液滴を乾燥させて前記複数の画素の各々に画素構成要素を形成する乾燥工程とを有する電気光学装置の製造方法において、
前記液滴吐出工程は、
前記画素構成要素の構成材料を含む第1液状物の液滴を前記複数の画素の各々に吐出する第1の液滴吐出工程と、
前記複数の画素の各々に、前記第1液状物の液滴の乾燥速度を調整する第2液状物の液滴を吐出する第2の液滴吐出工程と、
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項1において、少なくとも前記第1液状物は、前記組成物の構成材料を含み、
前記第2液状物は、前記第1液状物よりも沸点が高い液状物であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項2において、前記第2液状物は、前記第1液状物に用いられている溶媒よりも沸点が高い高沸点溶媒からなることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
- 請求項2または3において、前記第2液状物は、沸点が200℃以上の有機溶剤を含んでいることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
- 前記第1液状物は、前記組成物が溶媒に溶解または分散されてなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電気光学装置の製造方法。
- 複数の画素の各々にノズル開口から液滴を吐出する液滴吐出工程と、前記液滴を乾燥させて前記複数の画素の各々に画素構成要素を形成する乾燥工程とを有する電気光学装置の製造方法において、
前記液滴吐出工程は、
前記複数の画素のうち第1の画素に、第1液状物の液滴を吐出する工程と、
前記第1の画素とは異なる第2の画素に、前記第1液状物とは組成が異なる第2液状物を吐出する工程と、
前記第1の画素に、乾燥速度を調整する第3液状物の液滴を吐出する工程と、
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 前記第1液状物は、前記第2液状物よりも乾燥速度が速いことを特徴とする請求項6に記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記第1液状物は、前記第2液状物よりも沸点が低いことを特徴とする請求項6に記載の電気光学装置の製造方法。
- 複数の画素の各々にノズル開口から液滴を吐出する液滴吐出工程と、前記液滴を乾燥させて前記複数の画素の各々に画素構成要素を形成する乾燥工程とを有する電気光学装置の製造方法において、
前記液滴吐出工程は、
前記画素構成要素の構成材料を含む第1液状物の液滴を前記複数の画素の各々に吐出する第1の液滴吐出工程と、
前記複数の画素のうち所定の画素に、前記第1液状物の液滴の乾燥速度を調整する第2液状物の液滴を吐出する第2の液滴吐出工程と、を有し、
前記乾燥工程において、前記所定の画素とは異なる画素と、前記所定の画素との乾燥速度差を調整する
ことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 前記加熱工程の後、各組成物の膜厚を計測し、前記膜厚の計測結果に基づいて、前記第2液状物の液滴を吐出すべき位置および量のうちの少なくとも一方を決定することを特徴とする請求項9に記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記電気光学装置は、有機エレクトロルミネッセンス装置であり、
前記画素構成要素は、有機エレクトロルミネッセンスの発光層であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の電気光学装置の製造方法。 - 液状物を貯留しておく液状物貯留部と、該液状物貯留部に連通する圧力発生室で開口するノズル開口と、前記圧力発生室を膨張、収縮させて前記ノズル開口から前記液状物の液滴を媒体上に吐出させる圧力発生素子とを備えた液滴吐出機構を有する液滴吐出装置において、
前記液滴吐出機構として、第1液状物の液滴を前記媒体上の複数の位置に吐出する第1の液滴吐出機構と、前記第1液状物の液滴と前記媒体上の同一位置に当該第1液状物の液滴の乾燥速度を調整する第2液状物の液滴を吐出する第2の液滴吐出機構とを有していることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項12において、前記第2の液滴吐出機構は、前記第1液状物の各液滴のうち、所定の液滴と前記媒体上の同一位置に前記第2液状物の液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項13において、前記第1の液滴吐出機構は、前記第1液状物として組成の相違する複数種類の第1の液状物を吐出し、
前記第2の液滴吐出機構は、前記複数種類の第1液状物のうち、所定の第1液状物の液滴と前記媒体上の同一位置に前記第2液状物の液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005030115A JP4556692B2 (ja) | 2005-02-07 | 2005-02-07 | 電気光学装置の製造方法、および液滴吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005030115A JP4556692B2 (ja) | 2005-02-07 | 2005-02-07 | 電気光学装置の製造方法、および液滴吐出装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006212589A JP2006212589A (ja) | 2006-08-17 |
JP2006212589A5 JP2006212589A5 (ja) | 2008-02-28 |
JP4556692B2 true JP4556692B2 (ja) | 2010-10-06 |
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ID=36976234
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005030115A Expired - Fee Related JP4556692B2 (ja) | 2005-02-07 | 2005-02-07 | 電気光学装置の製造方法、および液滴吐出装置 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4556692B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US9640592B2 (en) | 2014-04-30 | 2017-05-02 | Joled Inc. | Method for forming functional layer of organic light-emitting device and method for manufacturing organic light-emitting device |
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-
2005
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006212589A (ja) | 2006-08-17 |
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