TWI221126B

TWI221126B - Discharge device, control method thereof, discharge method, method for manufacturing micro-lens array, and method for manufacturing electro-optic device

Info

Publication number: TWI221126B
Application number: TW091116267A
Authority: TW
Inventors: Hidenori Usuda
Original assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2001-07-23
Filing date: 2002-07-22
Publication date: 2004-09-21
Also published as: JP4126976B2; US7073727B2; KR100493553B1; JP2003320291A; US20030071138A1; CN1208191C; KR20030011569A; CN1398723A

Description

1221126 A7 一 —_B7_ 五、發明説明（彳）【發明所屬技術領域】 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係有關吐出樹脂等之液狀粘性物的吐出裝置及該控制方法，使用此吐出裝置之吐出方法，及利用此吐出方法之微透鏡陣列，彩色濾色片基板、以及光電裝置之製造方法。【先前技術】以往，於液晶顯示裝置，將入射之光線有效利用於畫素範圍所採用微透鏡，係於透明基板上將感光性樹脂以旋轉塗佈法加以塗佈之後，經由將此利用光蝕刻技術圖案化加以製造。在此，例如以噴墨印表機及噴墨繪圖機所採用之吐出方式，將透明樹脂（液狀粘性物），吐出成矩陣狀後，硬化此等，形成微透鏡時，大幅提升微透鏡陣列之生產效 ° 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製又，將晶片間以光線連接之光互連裝置中，亦使用微透鏡陣列，製造如此微透鏡陣列時，以上述吐出方式將透明樹脂成爲矩陣狀吐出之後，硬化此等，形成微透鏡，大幅提升該生產效率。而且，根據此吐出方式，無需模具及後加工之故，適於製造種光學零件。更且，於液晶裝置之彩色濾色片基板，著色層係使用微縮術技術加以形成，著色層亦以上述之吐出方式製造時，可提升彩色濾色片基板之生產效率。更甚者，近年以來，使用螢光性有機化合物之有機電本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ 1221126 A7 B7 五、發明説明（2 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 激發光元素倍受矚目，製造此有機電激發光元半中，在以往經由藉由金屬光罩之部分蒸著’將螢光性有機化合物層形成於所定範圍。爲此’難以進行高精密化、大面積化、生產效率之提升，於如此螢光性有機化合物層之形成，適用上述吐出方式時’可進行高精密化 '大面積化、生產效率之提升。【發明欲解決之課題】但是，雖然期望於微透鏡等’各微透鏡間’在於透鏡特性上無參差，但於吐出裝置之所有透鏡之壓力產生元件，施加同一之驅動信號之構成中，在噴頭之構造上，在藉由噴嘴位置吐出之液狀粘性物的重量，吐出速度等上，無法避免產生參差。結果，產生了斑駁，有無法形成均勻形狀之微透鏡陣列，或安定特性之彩色瀘色片基板及有機電激發光元件的問題點。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製例如，於設置噴頭之複數噴嘴間，於同一列內，由於將壓力產生元件陣列，黏著於噴頭之框體的方法，或噴頭之框體之各部之剛性差等，經由噴嘴位置，於吐出之液狀粘狀物之重量、吐出速度產生參差。又，於不同之列間，於噴頭之框體之位置，經由黏著壓力產生元件陣列等，產生發熱量之不同等的結果，經由噴嘴位置，於吐出之液狀粘狀物之重量、吐出速度則產生參差。如此於同一列內之參差或列間參差超過限制者，經由不做爲噴頭使用，可某種程度防止如此因素所成吐出裝置的吐出量的斑駁等。但本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5- 1221126 A7 B7 五、發明説明（3 ) 是，如此之對策中，無法避免於製造之噴頭之檢查階段，使產率下降。又，於同一之吐出裝置，有交換噴頭之情形 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 〇本發明係有鑑於上述情事，例如提供可將微透鏡等之高精度形成之吐出裝置、吐出方法，及使用此之微透鏡陣列、彩色濾色片基板、以及光電裝置之製造方法爲目的。【內容】【爲解決課題之手段】爲解決上述之問題，本發明中在於對象物爲吐出液狀黏性物之吐出裝置，具有：備有各別對應於複數之噴嘴的複數之壓力產生元件的噴頭，和產生包含複數之驅動脈衝所成驅動信號的驅動信號產生手段，和輸出規定前述複數之驅動脈衝之中，將何者之驅動脈衝施加於前述壓力產生元件的波形選擇資料的控制手段，和自前述複數之驅動脈衝選擇所定之驅動脈衝，施加於前述壓力產生元件的開關手段爲特徵者。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本發明中，根據自控制手段輸出之波形選擇資料，開關手段係自共通之驅動信號選擇所定之驅動脈衝，施加於壓力產生元件之故，可修正液狀粘性物之噴嘴間重量的不均。因此，自各噴嘴吐出液狀粘性物之時，每一點之重量於噴嘴間不會不均之故，可進行高精度之吐出。又，本發明中，包含於前述驅動信號之不同複數周期的複數之驅動脈衝爲不相同爲特徵者。經由成爲有關之構本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - 1221126 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（4 ) 成，可將液狀粘性物之重量不均以更高精度加以修正。在此，於前述對象物吐出前述液狀黏性物時，前述驅動信號之複數周期設定成爲吐出前述液狀黏性物之動作的單位亦可。更且，於前述對象物吐出前述液狀黏性物時，對於前述驅動信號之特定之第1周期的特定之周期時間位置係將前述驅動周期之1周期做爲單位可加以調整爲佳。又，本發明中，於前述對象物吐出前述液狀黏性物時，對於1個前述壓力產生元牟的前述驅動脈衝的施加，係例如爲於前述驅動信號之1周期內進行者。取而代之，本發明中，於前述對象物吐出前述液狀黏性物時，對於1個前述壓力產生元件的前述驅動脈衝的施加’係可跨過前述驅動信號之複數之周期而進行者。於本發明中，前述複數之驅動脈衝係具備可各將前述液狀黏性物以不同的重量加以吐出的波形，前述開關手段係根據前述波形選擇資料，自前述複數之驅動脈衝選擇1 個之驅動脈衝，施加於所定之前述壓力產生元件者。取而代之，本發明中，前述複數之驅動脈衝係具備可各將前述液狀黏性物以不同的重量加以吐出的波形，前述開關手段係根據前述波形選擇資料，自前述複數之驅動脈衝’選擇複數之驅動脈衝，施加於所定之前述壓力產生元件。於本發明中，前述控制手段係具備於前述複數之壓力產生元件’施加同一波形之驅動脈衝時，記錄對應於自各本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】0'乂297公釐） ---豸-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、言

1221126 A7 B7 五、發明説明（5 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 前述複數之噴頭吐出之前述液狀黏性物之重置參差的噴嘴資料的記錄部，根據記錄於前述記錄部之前述噴嘴資料，生成前述波形選擇資料而輸出。於本發明中，前述複數之噴頭係於前述壓力產生元件施加同一波形之驅動脈衝時，對應吐出之前述液狀黏性物之重量，分爲複數之等級，該分等級的結果則做爲前述噴嘴資料記錄於前述記錄部。取而代之，本發明中，前述噴嘴資料係對於各前述複數之噴頭，記錄於前述記錄部亦可。於本發明中，於前述噴頭中，可採用雖附予對於形成於該噴頭之前述噴頭的、前述噴嘴資料，該噴嘴資料係自計測前述重量參差的噴頭檢查裝置，輸入至前述記錄部之構成等。’ 做爲有關本發明之吐出裝置之控制方法，採用至少具有使用第1之驅動脈衝吐出液狀黏性物之第1之工程，和根據吐出之前述液狀黏性物之吐出重量之測定結果，修正前述第1之驅動脈衝的第2之工程的手段。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製然而，於此吐出裝置之控制方法，可採用直到自吐出裝置之各噴嘴所吐出之前述液狀黏性物之吐出量幾近成爲均勻爲止，重覆前述第1之工程和前述第2之工程的手段〇又，於有關本發明之吐出裝置之控制方法中，決定形成於前述噴頭之前述之複數之噴頭之各噴嘴資料中，具有施加成爲基準之波形之驅動脈衝時的吐出重量從目標重量本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） Z ' 1221126 A7 ____B7____ 五、發明説明（6 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 偏移時，決定吐出重量成爲前述目標重量之波形的第1工程，和將求得之波形之驅動信號施加於前述壓力產生元件 ’計測此時之吐出重量的第2工程，和比較前述吐出重量和前述目標重量，當前述吐出重量和前述目標重量爲一致時，確定前述噴嘴資料的第3工程；前述吐出重量自前述目標重量偏移之時，再度重覆前述第1工程、前述第2工程及前述第3工程。此時，訂定重覆前述第1工程、第2工程及前述第3 工程的上限次數，直到該上限次數，重覆前述第1工程、前述第2工程及前述第3工程，仍無法確定前述噴嘴資料時，令前述噴頭判斷爲規格外品爲佳。適用本發明之吐出裝置係例如可使用於在做爲前述對象物之基板上，將爲形成複數之微透鏡之樹脂，做爲前述液狀粘性物加以吐出的微透鏡陣列之製造工程。又，適用本發明之光電裝置之製造方法，係於做爲前述對象物之基板上，將包含光電物質之液體，做爲前述液狀黏性物加以吐出之工程爲特徵。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製更且，適用本發明之光電裝置之製造方法，可使用於前述對象物之基板上，做爲包含光電物質之液體，做爲前述液狀黏性物加以吐出之光電裝置之製造工程。在此前述光電物質係除了液晶之外，可爲產生電激發光之螢光性有機化合物。【實施方式】本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） I ' — 1221126 A7 B7 五、發明説明（7 ) 【發明之實施形態】參照圖面，對於本發明之實施形態詳細加以說明。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) [吐出裝置之整體構成] 圖1係顯示本發明之一實施形態所成吐出裝置之整體構成的槪略斜視圖。圖2係示於圖1之吐出裝置之機能方塊圖。如圖1所示，本實施形態之吐出裝置1係如由噴墨式吐出裝置之吐出裝置本體1 A和電腦1 B構成。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製吐出裝置本體1A係具有噴頭10、X方向驅動軸4、X 方向驅動馬達2、Y方向導引軸5、Y方向驅動馬達3、控制裝置40、平台7、淸潔機構部8、及基台9。又，電腦1B 係具備可輸入以吐出裝置本體1 A對於對象物W，於那個位置，吐出液狀粘狀物等之吐出條件的鍵盤71的同時，具備記錄、保存藉由此鍵盤7 1或FD等之記錄媒體輸入之吐出條件的記錄部72，對於記錄於此記錄部72之吐出條件，可藉由鍵盤71等加以選擇、指示。又，於記錄部72，如後所述，亦記錄有爲修正設於噴頭1 0之複數噴嘴間之吐出重量的參差的噴嘴資料。在此，噴嘴資料係供予每噴頭1 0之故，於安裝吐出裝置1時，作業者係將附加於搭載之噴頭1 0之噴嘴資料，例如藉由鍵盤71，輸入至記錄部72。又，噴嘴資料於噴頭10 條碼顯示之時，將噴嘴資料光學性讀取，輸入至記錄部72 亦可。更且，噴嘴資料如後所述，可爲自各形成於各噴頭 1 〇之噴頭，吐出液狀粘性物，經由計測該重量而決定之故 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1221126 A7 B7 五、發明説明（8 ) ，計測此重量參差，由求得噴嘴資料之噴頭桃查裝置（圖示省略），直接向記錄部72加以輸入之構成。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 於吐出裝置本體1 A，噴頭1 0係自貯藏樹脂等之液狀粘性物之液槽（未圖示）’將藉由管線（液供給路）供給之液狀粘性物，由該噴嘴吐出者。於本實施形態中’做爲液狀粘性物，使用了樹脂等，樹脂係較印表機等使用之墨水’粘度高得多。在此，於本實施形態中’於液槽、管線、噴頭1 〇中，設有加熱器（省略圖示）’經由加溫液狀粘性物’使粘度下降加以使用。然而，於本發明中使用之液狀粘性物則不限於粘性高者，例如可爲墨水，或含有金屬微粒子之液狀體。平台7係爲爲載置吐出液狀粘性物之對象的基板W者。具有將此基板w固定於所定之基準位置的機構。X方向驅動軸4係由球狀螺絲等所構成，於端部連接X方向驅動馬達2。X方向驅動馬達2係步進馬達等’由控制裝置40 供給X軸方向之驅動信號時，旋轉X方向驅動軸4。旋轉 X方向驅動軸4時，噴頭1 〇於X方向驅動軸4上向X方向經濟部智慧財產局員工消費合作社印製移動。 γ方向導引軸5亦由球狀螺絲等所構成’固定於基台9 上之所定位置。於此Y方向導引軸5上’配置平台7 ’此平台7係具備Y方向驅動馬達。Y方向驅動馬達3爲步進馬達等，當自控制裝置40，Y軸方向之驅動信號供予Y方向驅動馬達3時，平台7係邊導引至Y方向導引軸5 ’向Y 方向移動。使用有關之X方向驅動馬達2及Y方向驅動馬 -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1221126 A7 B7 五、發明説明（9 ) 達3 ’構成將噴頭1 〇向基板上之任意處移動的噴頭移動機構6 〇於圖2中，吐出裝置本體1A之控制裝置40係具備由電腦1 B收訊吐出條件等之界面43，進行各種資料之記錄的 RAM44 ，和言己錄爲進行各種資料處理之常式等之ROM45 ^ 和CPU等所成裝置本體側控制部46，和振盪電路47，和產生供予噴頭10之驅動信號COM的驅動信號生成部48，和界面49。界面49係將展開於點圖案資料之吐出資料，向噴頭1 〇輸出的同時，將驅動信號向噴頭移動機構6之X方向驅動馬達2及Y方向驅動馬達3輸出。於以上構成之吐出裝置1中，裝置本體側控制部46和電腦1 B係如以下所說明，做爲吐出裝置1整體之控制手段 1 2加以工作。於吐出裝置1中，由電腦1 B送出之吐出條件 1乃藉由界面43保持於吐出裝置內部之收訊緩衝器44A。保持於收訊緩衝益4 4 A之資料乃進fj命令解析之後，送至中間緩衝器44B。於中間緩衝器44B內中，經由裝置本體側控制部46，保持做爲變換爲中間碼之中間形式的資料，附加液狀粘性物之吐出位置等之資訊的處理經由鋁配線3 6 加以執行。接著，裝置本體側控制部46係解析中間緩衝器 44B內之資料解碼之後，將點圖案資料於輸出緩衝器44C 解壓，記錄。得到相當於噴頭1 0之一掃瞄份的點圖案資料時，此點圖案資料乃藉由界面49，向噴頭1 0串列傳送。由輸出緩衝器44C輸出相當於一掃瞄份的點圖案資料時，中間緩衝器本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） II^—一iNrII (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -轉經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12- 1221126 A7 B7 五、發明説明（10) 44B之內容則被消除，進行下個中間碼變換。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 噴頭1 0係由後述之各噴嘴，以所定時間吐出液狀粘性物者，於驅動信號生成部48生成之驅動信號則藉由界面49 向噴頭1 0輸出。又解壓成點圖案資料之吐出資料SI係同步於自振盪電路47之時脈信號CLK，藉由界面49，向構成於噴頭10之噴頭驅動電路11串列輸出。在此，解壓於點圖案資料的吐出資料SI中，包含規定由形成於噴頭1 〇之何者噴嘴吐出液狀粘性物的噴嘴選擇資料的同時，亦包含規定自各噴嘴吐出液狀粘性物，使用何者驅動脈衝的波形選擇資料。噴頭驅動電路11係包含第1偏移暫存器1 3 A、第2偏移暫存器13B、第1閂鎖電路14A、第2閂鎖電路14B、解碼器15、位準偏移器16、開關電路18(開關元件18-1、18-2、...、18-N)及控制邏輯19而構成。又，於開關電路18，於各開關元件18-1、18-2、…、18-N之輸出側，連接做爲壓力產生元件17(17-1、17-2、…、17-N)之壓電振盪子。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製於此噴頭驅動電路11，自控制裝置40輸出之吐出資料 (SI)係首先，向做爲「串列/平行變換手段」之第1偏移暫存器13A、及第2偏移暫存器13B，串列傳送。在此，吐出資料之上位位元之資料，輸入至第2偏移暫存器1 3B，下位位元之資料，輸入至第1偏移暫存器13A。偏移暫存器13A、13B係各連接做爲「問鎖手段」之第 1閂鎖電路14A及第2閂鎖電路14B。自吐出裝置本體1A 之閂鎖信號（LAT)則輸入至各閂鎖電路14A、14B時，閂鎖 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1221126 A7 B7 五、發明説明（Ή ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 電路14A、14B係經由各偏移暫存器13a、13B，各閃鎖平行變換之吐出資料SI。因此，於第1閂鎖電路丨4 a，閂鎖吐出資料SI之下位位元之資料，於第2閂鎖電路14B，閂鎖吐出資料SI之上位位元。在此，第1偏移暫存器丨3 A及第1閂鎖電路14 A、第2偏移暫存器13 B及第2閂鎖電路 1 4B則各構成「記憶電路」，經由此等之2個之記憶電路，構成「記憶手段」。經濟部智慧財£馬員工消費合作杜印製以各閂鎖電路14A、14B閂鎖之吐出資料si係輸入至解碼器1 5。此解碼器1 5係經由自控制邏輯1 9之信號，將 2位兀之吐出貪料SI翻譯爲4位兀之吐出資料SI。因此，經由解碼器1 5及控制邏輯19，構成「翻譯手段」。經由解碼器1 5等翻譯之吐出資料SI係經由電壓增幅器之位準偏移器1 6，昇壓至可驅動開關電路1 8之電壓，例如昇壓至數十伏特程度之所定之電壓値。昇壓至所定之電壓値之吐出資料SI係供予做爲「開關手段」之開關電路1 8。於開關電路 18中，於各開關元件18-1、18-2、…、18-N之輸入側，施加自驅動信號生成部48之驅動信號COM，於各開關元件 18-1、18-2、…、18-N之輸出側，連接壓力產生元件17(17-1、17-2、…、17-N)。吐出資料SI係將開關電路1 8之動作，於各開關元件 18-1、18-2、…、18-N加以控制。例如，附加於各開關元件 18-1、18-2、...、18-N之吐出資料SI爲「1」之期間中，驅動信號COM施加於壓力產生元件17(17-1、17-2、…、17-N) 。對應此驅動信號COM，外部連接端子1 7則展開。另一方 -14- 本纸張又度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1221126 A7 _______ B7_ 五、發明説明（12 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 面，附加於各開關元件18-1、18-2、…、18-N之吐出資料 SI爲「〇」之期間中，遮蔽外部連接端子17之驅動信號 COM之供給。在此，自控制裝置40之吐出資料Si係例如如（10)、 (〇1)待，於各噴嘴，以上位之位元1及下位之位元0之合計 2位元資料加以控制。然後，對於所有之噴嘴之位元〇之資料則輸入至第1偏移暫存器1 3 A，對於所有之噴嘴之位元1 之資料則輸入至第2偏移暫存器13B。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製輸入於各偏移暫存器13A、13B之各噴嘴之吐出資料SI ’閂鎖於各閂鎖電路14A、14B，輸入至解碼器15。解碼器 1 5係根據自控制邏輯19之信號，將2位元之吐出資料SI 翻譯爲4位元之吐出資料SI。然後附加於開關電路1 8之各開關元件18-1，18-2、…、18-N的位元資料爲「1」之時，驅動信號COM直接施加於壓力產生元件17-1、17-2、...、 Π-Ν，各壓力產生元件17-1、17-2、…、17-N係對應於驅動信號COM之信號波形而變位。相反地，附加於開關電路 18之各開關元件18-1，18-2、…、18-N的位元資料爲「〇」之時，各壓力產生元件17-1、17-2、…、17-N之驅動信號 COM被切斷，各壓力產生元件17-1、17-2、…、17-N係保持之前的電荷。【噴頭10之構成】圖3戚顯示圖1所示之吐出裝置之噴頭之構成的分解斜視圖。又，圖4係爲說明噴頭10之圖，（A)係形成於圖3 -15 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2!〇'乂297公釐） 1221126 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（13) 所示噴頭的結構截面圖，（b)係施加於使用於（a)所示之結構的壓力產生元件的驅動信號之基本波形圖。噴頭1 〇係例如如圖3及圖4所示，具備噴嘴形成板210、壓力產生室形成板220、及振動板230。噴嘴形成板210係於對於各形成於壓力產生室形成板 220之壓力產生室221的位置，定位噴嘴211地，於壓力產生室形成板220之一方之面，以有機系或無機系之黏著劑加以貼合。貼合噴嘴形成板210之壓力產生室形成板220 係更收容於框體225，構成噴頭10。振動板230係由可變形彈性之薄板所構成，於壓力產生室形成板220之另一方之面，以有機系或無機系之黏著劑加以貼合。，於對應於振動板230之各壓力產生室221之位置部分，設置做爲壓力產生元件17之壓電振動子（PZT)。在此，壓力產生元件1 7係不限於縱振動橫效果之PZT ，可爲彎曲振動型之PZT。又，做爲壓力產生元件17不限於壓電振動乃，例如使用磁伸元件等之其他元件亦可。又，經由加熱器等之熱源，加熱液狀粘性物，經由加熱產生氣泡，變化壓力地加以構成亦可。即，對應由外部供予之信號，可於後述之壓力產生室內，使用產生壓力變化之元件。【驅動脈衝之基本波形】接著，參照圖4(B)，說明構成驅動信號COM之驅動脈衝之基本波形。於圖4(B)中，爲作動壓力產生元件Π之驅 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) ,裝· 訂趣- 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16- 1221126 A 7 B7 五、發明説明（14 ) 動信號C0M，基本上，該電壓値由中間電位Vm開始之後（保持脈衝311)、由時間T1至時間T2，直至最大電位VPS，以一定之斜率上昇（充電脈衝312)，由時間T2至日#間T3，將最大電位VPS僅維持所定之時間（保持脈衝313)。接著，於時間T3至時間T4間，直至最低電位VLS，以一定之斜率下降後（放電脈衝314)，由時間T4至時間T5，將最低電位VLS僅維持所定之時間（保持脈衝315)。然後，於由時間 T5至時間T6，直至中間電位Vm，以一定之斜率上昇（充電脈衝316)。因此，於圖4 (A )、（ B)中，充電脈衝3 1 2施加於壓力產生元件17時，壓力產生元件17係向膨脹壓力產生室221 之容積方向彎曲，於壓力產生室221產生負壓。結果，彎月面由噴嘴211縮入，接著，施加放電脈衝3 14時，壓力產生元件17係向收縮壓力產生室221之容積之方向彎曲，於壓力產生室221產生正壓。結果，由噴嘴211吐出液滴。然後，施加保持脈衝3 1 5後，施加充電脈衝3 1 6，抑制彎月面之振動。因此，例如最大電位VPS愈高，或放電脈衝 314之斜率愈陡峭，由噴嘴211吐出之液狀粘性物的1點的重量會愈大。【驅動信號生成部48之構成】接著，對於驅動信號生成部48，參照圖5〜圖7加以說明。圖5係顯示驅動信號生成部48之構成的方塊圖。圖6 係顯示於驅動信號生成部48中生成包含驅動信號COM之 ——.-------^ II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） -17- 經濟部智慧財產局工消費合作社印製 1221126 A7 B7_ 五、發明説明（15 ) 驅動脈衝的過程圖。圖7係顯示於驅動信號生成部4 8中，使用資料信號，於記憶體設定電位差（Δν)時之各信號之時間的時間圖。如圖5所示，驅動信號生成部48係具備接受自裝置本體控制部46之信號加以記錄之記憶體8 1、讀取此記憶體 81之內容，暫時保持之第1之閂鎖8 2、加算此第1之閂鎖 82之輸出和後述之另一之第2之閂鎖84之輸出的加法器 83、將第2之閂鎖84之輸出變換爲類比資料之D/A變換器 86、及將變換之類比信號，增幅至驅動信號之電壓的電壓增幅器88的同時，各具備對於由電壓增幅器88輸出之驅動信號的電壓增幅器89。記憶體81係記錄決定驅動信號COM之波形之所定參數的波形資料記錄部。驅動信號COM之波形係經由預先自裝置本體控制部46接受之所定參數加以決定。即，驅動信號生成部48係接受時脈信號801、802、803，資料信號830 、位址信號810、811、812、813、重置信號820及允許信號 840。於如此構成之驅動信號生成部4 8中，如圖6所示，於驅動信號COM之生成之前，顯示裝置本體控制部46之電壓變化量之數個資料信號，和該資料信號之位址，則同步於時脈信號801，向驅動信號生成部4 8之記憶體81輸出。資料信號830係如圖7所示，經由將時脈信號801成爲同步信號的串列傳送，成爲處理資料之構成。即，傳送由裝置本體控制部46之所定之電壓變化量時 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -18- 1221126 A7 _______B7_ 五、發明説明（16 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，首先，同步於時脈信號80 1，輸出複數位元之資料信號，之後，將收容此資料之位址’同步於允許信號8 4 0，做爲位址信號810〜813加以輸出。記憶體81係於此允許信號840 被輸出之時間讀取位址信號，將接受之資料寫入該位址。位址信號810〜8 13係4位元之信號之故，最大可記錄16種之電壓變化量於記憶體81。然後，資料之上位位元乃做爲符號加使用。然而，上述位址信號810〜813之位元數非限定於4位元，可設定爲5位元以上。即，經由更增加位址信號810〜813之位元數，可將超越16種之電壓變化量，記錄於記憶體81，因此，可擴展電壓變化量之設定寬度。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製各位址A、B、...之電壓變化量之設定終了後，例如位址B輸出至位址信號810〜813時，經由最初之時脈信號802 ，對應於此位址B之電壓變化量Δνΐ，經由第1之閂鎖82 加以保持。於此狀態，接著輸出時脈信號803時，於第2 之閂鎖84之輸出，加算第1之閂鎖82之輸出的値，則保持於第2之閂鎖84。即如圖6所示，一旦選擇對應於位址信號之電壓變化量時，之後，每當接受時脈信號803，第2 之閂鎖84之輸出則根據該電壓變化量而增減。經由收容於記憶體81之位址Β的電壓變化量AV1和時脈信號803之單位時間ΔΤ，決定驅動波形之通過速率。然而，增加或減少，係經由收容於各位址之資料之符號所決定。圖6所示之例子中，於位址A ’做爲電壓變化量收容有0値，即收容維持電壓時之値。因此，經由時脈信號8 0 2 位址A成爲有效時，驅動信號之波形則保持於不增減之平本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) Μ規格（210X 297公釐） _ 19 _ 1221126 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（17) 坦狀態。又，於位址c，爲決定驅動波形之通過速度’收容每單位時間ΔΤ之電壓變化量AV2。因此，經由時脈信號 802，使位址C成爲有效之後，電壓AV2之量使電壓下降。如此，僅由裝置本體控制部46輸出位址信號和時脈信號，可將驅動信號COM之波形自由地控制，於本實施形態中，做爲驅動信號COM，如圖8所示，於1吐出周期內’生成包含4個驅動脈衝之驅動信號COM。圖8係顯示將本發明之一實施形態所成吐出裝置1所使用之共通之驅動信號COM之波形，包含於此驅動驅動信號COM之各驅動脈衝，施加於壓力產生元件17之時，根據自噴嘴2 11吐出之液狀粘性物之點的大小關係，以及根據吐出資料SI選擇一個自驅動信號COM之驅動脈衝，施加於壓力產生元件17之方法的說明圖。又，圖9係（A)、（B) 、（C)、（D)、（E)係顯示各選擇本發明之一實施形態所成吐出裝置1所使用之共通之驅動信號COM之波形、於自共通之驅動驅動信號選擇第1驅動脈衝時施加於壓力產生元件 1 7之信號波形、於自共通之驅動驅動信號選擇第2驅動脈衝時施加於壓力產生元件17之信號波形、於自共通之驅動驅動信號選擇第3驅動脈衝時施加於壓力產生元件1 7之信號波形、及於自共通之驅動驅動信號選擇第4驅動脈衝時施加於壓力產生元件17之信號波形的說明圖。如圖8所示，於驅動信號COM，在1吐出周期內，包含4個驅動脈衝COM 1、COM2、COM3、COM4，第1驅動脈衝COM1、第2驅動脈衝COM2及第3驅動脈衝COM3係 — I:---1----^ — I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -罐- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 20- 1221126 A7 B7 五、發明説明（18) 參照圖4( B)充加以說明之最大電位VPS則依第1驅動脈衝 C0M1、第2驅動脈衝COM2及第3驅動脈衝COM3之順序而降低。因此，將第1驅動脈衝COM 1、第2驅動脈衝 COM2及第3驅動脈衝COM3，施加於同一之壓力產生元件 17時，自噴嘴吐出之液狀粘性物之每一點的重量會成爲「大」、「中」、「小」。因此，對於第1驅動脈衝C0M1、第2驅動脈衝COM2 及第3驅動脈衝COM3，可各做爲大點脈衝、中點脈衝、小點脈衝加以表現。在此，重量爲「大」、「中」、「小」中，例如有數％程度之差異。然而，第4驅動脈衝COM4係微振動噴嘴2 11附近之液狀粘性物，可防止液狀粘性物之粘度之增大或硬化，經由此第4驅動脈衝COM4，不會吐出液狀粘性物。因此，第4驅動脈衝COM4係可做爲「微振動脈衝」加以表現。接著，將由以上構成之驅動信號COM，選擇第 1驅動脈衝C0M1 (大點脈衝）、第2驅動脈衝C〇M2(中點脈衝）、第 3驅動脈衝C0M3(小點脈衝），防止噴嘴間之吐出重量之不均的方法，參照圖8及圖9等加以說明。在此，參照圖2 加以說明，本實施形態中，自解碼器1 5附加於開關電路1 8 之吐出資料SI的位元爲「1」之期間中，驅動信號COM透加於壓力產生元件17，壓力產生元件17係對應驅動信號 COM之波形伸縮。另一方面，吐出資料s;[的位元爲「〇」之期間中，則切斷對壓力產生元件17之驅動信號COM之供給，壓力產生元件17則保持於之前的狀態。因此，將吐本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -21 - 1221126 A7 B7 五、發明説明（19) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 出資料SI之位元同步於第1〜第4驅動脈衝COM 1〜COM4之產生時間，選擇第1〜第4驅動脈衝C0M1〜COM中之一個，而施加於壓力產生元件1 7。在此，於本實施形態中，施加同一之驅動脈衝時，於較平均少量吐出之噴嘴2 1 1、平均重量吐出之噴嘴2 1 1、以及較平均多量吐出之噴嘴2 1 1間，可解決吐出重量之不均之故，於對應於較平均少量吐出之噴嘴211之壓力產生元件1 7，施加第1驅動脈衝c0M 1 (大點脈衝），於對應於平均重量吐出之噴嘴2 11之壓力產生元件1 7，施加第2驅動脈衝C0M2(中點脈衝），於對應於較平均多量吐出之噴嘴211 之壓力產生元件17，施加第1驅動脈衝COM3(小點脈衝）。在適用如此驅動方法時，詳細部分述於後，於形成於噴頭1 0之各壓力產生元件1 7，施加同一波形之驅動脈衝，預先計測自各噴嘴2 11吐出峙液狀粘性物之每一點的重量，。然後，由該計測結果，將各噴嘴2 1 1，分爲較平均爲少之吐出群、吐出平均重量之群、較平均爲多之吐出群，將該分群之結果，做爲噴嘴資料，輸入至電腦1 B之記錄部72 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製〇然後，於電腦1 B中，指定對於對象物W之液狀粘性物之吐出圖案時，此吐出圖案係記錄於記錄部7 2之噴嘴資料的问時’於吐出裝置本體1 A ’做爲吐出條件加以輸出。然後，於吐出裝置本體1 A中，經由裝置本體控制部46，吐出圖案解壓於圖圖案資料時，於吐出資料SI，對應於噴嘴資料，附加規定施加對應於噴嘴資料自包含於之驅動信號本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22- 1221126 A7 B7 五、發明説明（2〇 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) COM之驅動脈衝COM 1〜COM4施加哪一個驅動脈衝的波形選擇資料。在此，波形選擇資料係做爲2位元之呈出資料 (00)、（01)、（10)、（11)加以顯示，此2位元之吐出資料乃經由解碼器1 5，翻譯爲4位元資料，此4位元資料與含於驅動信號COM之驅動脈衝COM 1〜COM4之產生同步。例如，2位元之資料（00)係經由解碼器15，解碼爲4位元資料（1000)的結果，爲驅動對應於此資料之噴嘴211的壓力產生元件17時，如圖9(D)所示，僅施加第3驅動脈衝 COM3。更且，2位元之資料（11)，係經由解碼器15，解碼爲4位元資料（0001)的結果，爲驅動對應於此資料之噴嘴 211的壓力產生元件17時，如圖9(E)所示，僅施加第4驅動脈衝COM4。如此，於每驅動脈衝COM 1〜COM4，分配1位元之資料經濟部智慧財產局員工消費合作社印製，構成吐出資料SI時，經由各位元之値，可僅選擇所期望之驅動脈衝COM 1〜COM4。因此，於本實施形態中，施加同一之驅動脈衝時，於對應較平均少吐出之噴嘴2 11的壓力產生元件17，可施加第1驅動脈衝COM 1 (大點脈衝），於對應吐出平均重量之噴嘴2 11的壓力產生元件1 7，可施加第 2驅動脈衝COM2(中點脈衝），於對應較平均多吐出之噴嘴 211的壓力產生元件17，可施加第3驅動脈衝COM3(小點脈衝）之故，可平均化自各噴嘴2 11吐出之液狀粘性物之每一點的重量。由此，製造後述之微透鏡陣列之時，亦不會有各微透鏡之透鏡特性之參差不齊。 -23- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐） 1221126 A7 ______ B7 五、發明説明（21 ) 【噴嘴資料之決定方法】 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 接著’參照圖10及圖丨i，說明於噴頭檢查裝置，決定噴頭之各噴嘴資料的方法。然而，於檢查裝置中，搭載有 CPU、RAM及ROM等，根據收容於ROM之程式，進行以下之工程。圖1 0係顯示決定噴嘴資料之手續的流程圖。又，圖i丄係以圖1 1所示之手續，決定噴嘴資料時所使用之表的說明圖’顯示最高電壓之不同各種波形之驅動脈衝，和將此驅動脈衝施加於壓力.產生元件時，自噴頭吐出之液狀粘性物之重量的關係。本實施形態中，製作於進行圖1 〇所示各工程之前’如圖1 1所示，顯示最高電壓VH19.2V至20.8，以〇. 2刻度相異之各種波形之驅動脈衝，和將驅動脈衝施加於壓力產生元件17诗，自噴嘴211吐出峙液狀粘性物之重量關係表。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製然後’於圖10中，開始噴嘴資料之決定作業時，將顯示後述之重覆數的變數η，設定於「1」等，啓始化各參數（步驟ST 1)。接著，於壓力產生元件，施加最高電壓VH例如20.0V之波形之驅動脈衝，計測自該噴頭吐出之重量iw( 步驟ST2)。接著，於步驟ST3，確認吐出重量Iw是否爲 lO.Ong(目標重量），吐出重量iw爲l〇.〇ng之時，確定噴嘴 ID爲「5」（步驟ST4)。對此’於步驟ST3，吐出重量Iw判斷由目標重量之 10. Ong偏離時，由圖丨丨所示表，於最高電壓VH爲20 V之列’發現該吐出重量Iw之噴嘴ID，以此噴嘴ID，吐出重 -24- 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X297公釐） Ϊ221126 A7 ----__ 五、發明説明（22 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 量Iw發現成爲目標重量之l〇.〇ng之最高電壓VH(步驟ST5: 第1工程）。例如，以步驟S2於壓力產生元件，施加最高電壓VH爲20V之波形驅動脈衝時，由噴頭吐出之重量1〜爲 9.6ng時，於最局電壓VH爲20V之列，吐出重量I w 9.6之噴嘴ID爲「3」之故（參照框B)，決定此噴嘴ID之吐出重量Iw成爲lO.Ong之最高電壓VH爲20.4。（參照框C)。接著，將最高電壓VH爲20.4V之波形之驅動脈衝，施加於壓力產生元件，計測由此時噴頭吐出之重量Iw(步驟 S6:第2工程）。接著，於步驟S7，確認吐出重量Iw是否爲目標重量之lO.Ong，是爲吐出重量Iw爲lO.Ong之時，將噴嘴ID確定爲例如「2」（步驟S8)。由此，於步驟S7，判斷吐出重量Iw非爲吐出重量Iw之lO.Ong時，於步驟S9確認是否重覆數η爲S，重覆數η不是S之時，將重覆數η提升 1，再回到步驟S5，重覆同樣之工程。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製然而，步驟S10重覆數η爲S之時，於步驟S11判斷噴頭爲規格外品（步驟S 11)，終止噴嘴資料之決定作業（步驟 ST 12)。因此，定數S係規定重覆數Ν之上限。如此，對於形成於1個之噴頭1 0的複數噴嘴2 11，求得噴嘴2 11，將具有對應於此噴嘴ID之最高電壓VH之波形的驅動脈衝（參照圖8及圖9)，施加於壓力產生元件時，可自所有噴嘴211，吐出lO.Ong之液狀粘性物。在此，將噴嘴ID本身做爲噴嘴資料加以使用亦可’於本實施形態中，參照圖8及圖9而說明，使用包含最高電壓VH爲不同之3個驅動脈衝COM 1、COM2、COM3之驅動 -25- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1221126 A7 _B7 _ 五、發明説明（23 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 信號COM。因此，如圖11所示，將噴嘴ID「1」〜「9」，於群1、2、3加以分群，群1、2、3中，選擇做爲噴嘴資料使用屬於何者之群者。因此，噴嘴ID對於「1」〜「3」之噴嘴211而言，施加同一之驅動脈衝時，較平均爲少吐出地，將群1做等級分級，屬於群1之噴頭乃以最高電壓Η 爲20.6V之第1驅動脈衝COM 1 (大點脈衝）加以驅動。又，如圖11所示，對噴嘴ID爲「4」〜「6」之噴嘴 2 11而言，施加同一之驅動脈衝時，以平均重量吐出地，將群2做等級分級，屬於群2之噴頭乃以最高電壓Η爲20.0V 之第2驅動脈衝COM2(中點脈衝）加以驅動。更且’如圖11 所示，噴嘴ID對於「7」〜「9」之噴嘴211而言，施加同一之驅動脈衝時，較平均爲多吐出地，將群3做等級分級，屬於群3之噴頭乃以最高電壓Η爲19.4V之第3驅動脈衝COM3(小點脈衝）加以驅動。 .【其他之實施形態】經濟部智慧財產局員工消費合作社印製然而，於上述實施形態中，於驅動信號之1周期內，做爲吐出用之驅動脈衝，雖使用包含3個之驅動脈衝COM 1 、（:OM2、COM3之驅動信號COM，對於脈衝之數，非限定於3個。例如。於1周期內，使用包含9個之脈衝之驅動信號COM亦可。此時，不群分割噴嘴211地，將附予各噴嘴211之噴嘴ID(「1」〜「9」）本身，做爲噴嘴資料加以使用時，經由各噴嘴2 11之特性可施加合適之驅動脈衝之故，噴嘴間之吐出重量之不均可更確實地被解決。 -26- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1221126 A7 B7 五、發明説明（24 ) 又，於上述實施形態中，於驅動信號COM之1周期內 ’有由包含此之3個驅動脈衝COM 1、COM2、COM3，選擇 1個之脈衝的構成，亦可爲根據噴嘴資料，選擇複數之驅動脈脈，吐出點亦可。更且，於上述實施形態中，於驅動信號COM之1周期內，雖有由包含此之3個驅動脈衝COM 1 、COM2、COM3，成爲選擇1個之脈衝的構成，如圖12所示，跨過驅動信號COM之複數周期，例如跨過2個周期，選擇1個脈衝或複數之脈衝，吐出點之構成亦可。圖1 2係顯示使用本發明之其他之實施形態所成吐出裝置的驅動信號之波形說明圖。更且，於圖12所示之例中，包含於驅動信號之COM 之1周期分之時間的驅動脈衝C0M1〜COM4之波形係與重合鄰接之2個之周期波形一致的波形。但是，將包含於驅動信號COM之1周期分之時間的脈衝波形，於每驅動信號 COM之周期娛化的構成亦可。圖1 3係顯示做爲在於每驅動信號COM之周期變化脈衝波形之驅動信號COM之波形之例，於鄰接之2個周期間，變化波形之驅動信號COM之波形的說明圖。然而，如此，非僅於2個周期間，變化脈衝波形，更且於多周期中，變化脈衝波形當然也是可以的。圖13所示例中，時間tl〜t2期間T10之驅動信號COM 的波形爲與圖12所示波形相同之波形，即包含驅動脈衝 C0M1〜COM4之波形。但是，時間t2〜t3期間丁11之驅動信號COM的波形爲與期間T10之驅動信號COM之波形不同，成爲包含驅動脈衝C0M5〜驅動脈衝C0M8的波形。如前本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝_ 、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 - 27- 1221126 A7 B7 五、發明説明（25 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 所述，第1驅動脈衝COM 1〜第3驅動脈衝COM3乃依第1 驅動脈衝C0M1、第2驅動脈衝COM2、及第3驅動脈衝 COM3之順序將最大電位順序降低設定，COM4乃微振動噴嘴211附近之液狀粘性物，防止液狀粘性物之粘度的量大或硬化。然後，圖13所示驅動脈衝C0M5〜驅動脈衝C0M7 係不具有如第1驅動脈衝COM 1〜第3驅動脈衝COM3順序降低最大電位VPS的規則性，設定爲將與此不同之規則性具備於波形形狀，任意之波形形狀者。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製如此地，於每驅動信號COM之1周期，使驅動信號 COM之波形變得不同乃是將來自各噴嘴2 11吐出之點的吐出重量之不均，高密度地加以修正，確保安定之吐出量的同時，提升吐出重量之解像度者。即，使用圖1 2所示驅動信號COM時，於複數之周期，選擇同一之脈衝時，僅能獲得大點脈衝、中點脈衝、或小點脈衝之各整數倍的吐出重量。又，使用如圖12所示之驅動信號COM時，於每周期選擇不同之脈衝時，僅能獲得以大點脈衝、中點脈衝、或小點脈衝之組合所得之吐出重量，修正噴嘴間之吐出重量之不均的同時，在於提升解像度上，並不充分。對此，本實施形態中，如圖13所示，於每驅動信號 COM之1周期，生成波形不同之驅動信號COM，可吐出大點脈衝、中點脈衝、或小點脈衝所吐出之重量以外之重量。選擇包含於複數之周期之脈衝之哪一個，則對應預先測定之噴嘴之吐出重量之不均加以設定。爲此，可安定高精度修正噴嘴之吐出重量之不均。本k張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ ~ 1221126 A7 B7 五、發明説明（26) 又，於複數之周期選擇任意之脈衝時，爲增大吐出重量之組合種類，可提升解像度。更且’於如圖1 3所示之例中中，由包含於期間T10內之3個驅動脈衝COM 1、COM2 、（:〇M3，選擇複數之脈衝，又，由包含於期間Til內之3 個驅動脈衝C〇M5、COM6、COM7，選擇複數之脈衝，吐出點亦可。如以上所述，經由將脈衝組合對應於噴嘴重量之不均加以變更，可安定且高精度修正各噴嘴之吐出重量，做爲其絡果，可高精度形成微透鏡等。更且，如圖13所示，於各期間T10及期間T1 1，一個一個地（複數），選擇脈衝，吐出液狀粘性物之時中，令期間 T10之驅動信號COM做爲基準，控制與包含於期間T10之驅動脈衝 C0M1、COM2、COM3不同之包含驅動脈衝 C0M5〜C0M7之期間T11之時間位置亦可。即，例如將噴頭以一定速度移動，由各噴嘴吐出液狀粘性物時，經由調整對於期間T10之期間T11之時間位置，可將於各期間吐出之液狀粘性物之吐出位置變得不同。做爲該結果，對於液狀粘性物之吐出範圍，可無斑駁地均勻吐出液狀粘性物之故，在製造高精度之彩色濾色片、微透鏡等上爲適切的。更且，於圖12及圖13所示例中，雖將驅動信號COM之1 周期做爲吐出液狀粘性物之動作單位，將合倂驅動信號 COM之複數周期（例如圖13所示期間T10和期間T11)的期間，做爲吐出液狀粘性物之動作單位亦可。【吐出裝置之使用例1】 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -29- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1221126 A7 __ B7 _ _ 五、發明説明（27 ) 圖14及圖15乃各使用示於圖1之吐出裝置1所製造的光互連裝置用之微透鏡之說明圖。於吐出裝置1，於由圖 14及圖15所示之透明基板所成對象物W之所定位置，由噴頭1 0吐出感光性之透明樹脂（液狀粘性物）之後，紫外線硬化，於透明基板上之所定位置，形成所定大剃之微透鏡 D時，可製造光互連裝置用之微透鏡陣列100A、100B。在此，圖14所示微透鏡陣列100A中，微透鏡D於X 方向及Y方向排列成矩陣狀。又，圖15所示微透鏡陣列 100B中，微透鏡D於X方向及Y方向不規則分散形成。然而，微透鏡陣列係除了光互連裝置之外，亦用於液晶面板 ’於製造此液晶裝置用之微透鏡中，使用帝用本發明之吐出裝置時，無需使用光蝕刻技術之故，可提升微透鏡陣列之生產效率。【吐出裝置之使用例2】圖1 6係模式性顯示使用圖1所示吐出裝置1製造之彩色濾色片基板的液晶裝置之構成的截面圖，圖17(A)、（B) 係各顯示彩色濾色片基板之各色配置的說明圖。於圖1 6中，液晶裝置300之中，例如彩色濾色片350和TFT陣列基板3 60藉由所定間隙加以貼合，且於此等之基板間，做爲光電物質封入液晶370。於TFT陣列基板360，於透明基板 361之內側面，畫素開關用之TFT(未圖示）及畫素電極362 則配置成爲矩陣狀，於該表面，形成配向膜3 6 3。對此，於彩色濾色片350中，於透明基板351中，於對向於畫素電本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

30- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1221126 A7 B7 五、發明説明（28 ) 極3 62之位置，形成R、G、B之彩色濾色片層320R、320G 、320B，於該表面形成平坦化膜3 5 3、對向電極354、配向膜 3 5 5。於彩色濾色片3 50，彩色濾色片層320R、320G、320B 乃以周圍1階或附有階段之儲存區3 5 2包圍，形成於此儲存區3 52之內側。在此，彩色濾色片層320R、320G、320B 係配置成爲圖17(A)所示△排列、或圖17(B)所示條紋排列等所定之佈局。製造如此構成之彩色濾色片350之時，首先於透明基板351之表面，形成儲存區3 5 2之後，使用參照圖1等說明之吐出裝置1，於各儲存區352之內側供給所定色之樹脂 (液狀粘性物）後，進行紫外線硬化或熱硬化，形成彩色濾色片層320R、320G、320B。因此，可不使用微縮術技術，可形成彩色濾色片層320R、320G、320B之故，可提升彩色濾色片350之生產性。【吐出裝置之使用例3】圖1 8乃利用有機電激發光元件之顯示裝置中，模式性顯示構成各畫素之有機電激發光元件之構成的部分截面圖。於此圖18所示之發光裝置400中，於基板401上，形成顯示元件4 1 2，於其上，形成封閉部（圖示省圖5)。基板40 1 係於玻璃等所成透明基體403上，形成電路構成部404地加以構成。於上述電路構成部404中，於基板401上形成矽氧化 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度通用中國國家襟準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -31 - 1221126 A7 B7 五、發明説明（29 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 物所成基材保護膜405，於此基材保護膜405上，形成多結晶矽所成島狀之半導體膜406。於電路構成部404中，形成具有以下構成之薄膜電晶體407。於半導體膜406中，源極範圍406a及沒極範圍406b經由植入高濃度P離子而形成。又，未導入P離子之部分乃成爲通道範圍406c。於電路構成部404形成被覆基材保護膜405及半導體膜406之，於此閘極絕緣膜408上，形成Al、Mo、Ta、Ti 、W等所成之閘極電極409，於此閘極電極409及閘極絕緣膜408上形成透明之第1層間絕緣膜410和第2層間絕緣膜 411。閘極電極409係設於對應於半導體膜406之通道範圍 406c之位置。於第1及第2層間絕緣膜410，411，形成各別連接半導體膜40 6之源極、汲極範圍406a、406b的連接孔412， 413。形成於第2層間絕緣膜411之連接孔412係連接於設於第2層間絕緣膜411上之畫素電極414。形成於第1層間絕緣膜410之連接孔413係連接於電源線415。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製顯示元件402係具備複數之畫素電極414，和設於其上之發光元件部416,和設於其上之陰極417(對向電極）。畫素電極414係例如由ITO所形成，平面視之略呈矩形地加以圖案化而形成。此畫素電極414之厚度係50〜220nm之範圍爲佳，尤其150程度者爲佳。發光元件部416係令各別形成於畫素電極4 1 4上之機能層4 1 8，和畫分各機能層4 1 8 之儲存區部4 19爲主體加以構成。上述機能層418係由堆積於畫素電極414上正孔植入/ -32- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1221126 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（30 ) 輸送層4 1 8a，和鄰接於正孔植入/輸送層4 1 8a形成之發光層 4 1 8b所構成。將此機能層4 1 8，使用適用本發明之吐出裝置加以形成。正孔植入/輸送層418a係爲提高發光層418b 之發光效率，壽命等之元件特性者，具有將正孔植入機能層418之機能的同時，具有將正孔於正孔植入/輸送層418a 之內部加以輸送的機能。做爲正孔植入/輸送層418a之材料，可使用例如聚孔烯二羥基噻吩等之聚噻吩衍生物，和聚苯乙烯磺酸等之添合物。發光層418b係再結合自正孔植入/輸送層418a注入之正孔，和自陰極417注入之電子，而得到發光。然而，發光層418b係由紅色發光層R和綠色發光層G和藍色發光層 B所構成。做爲此發光層41 8b，可使用有機發光材料，例如三（8- 啉酚）鋁錯體（Alq)等。無機物儲存區部419乃堆積位於基板401側之無機物儲存區層41 9a(第1儲存區），和位於由基板401離開之有機物儲存區層41 9b(第2儲存區）加以構成。無機物儲存區層 419a之一部分，以及有機物儲存區層419b之一部分係形成於畫素電極414之周緣部上。即，無機物儲存區層419a係平面性重疊於畫素電極414之周緣部地加以形成。有機物儲存區層419b亦同樣，平面重疊於畫素電極414之周緣部而形成。無機物儲存區層419a係較有機物儲存區層419b更達到晝素電極414之中央側地加以形成。上述無機物儲存區層419a係例如由SiCh、TiCh等之無機材料所成爲佳。此無機物儲存區層419a之厚度係較佳爲 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝·

、1T -样本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -33- 1221126 A7 _ B7 五、發明説明（3彳） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 50〜200nm之範圍，尤其以150nm程度爲佳。有機物儲存區層419b係由具有耐熱性、耐溶媒性之材料例如丙烯酸樹脂、聚醯亞胺樹脂等所形成。此有機物儲存區層419b之厚度係較佳爲0.1〜3.5 μιη範圍，尤以2 μιη程度爲佳。【吐出裝置之使用例4】圖19係利用有機電激發光元件之顯示裝置中，模式性顯示構成各畫素之有機電激發光元件之其他構成的部分截面圖。如圖19所示，本有機電激發光裝置Ε係由配置薄膜電晶體（TFT)之基板502側，取出光線的形態。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製有機電激發光裝置E係具有基板502，和設於基板502 上之發光元件（有機電激發光元件）503和TFT504。發光元件 503係具有由銦錫氧化物（ITO)等之透明電極材料所成畫素電極（陽極）503，由該畫素電極523可輸送正孔之正孔輸送層570,和包含有機發光材料之有機發光層560,和設於該有機發光層560上面之電子輸送層550，各設於電子輸送層 5 50上面之鋁（A1)或鎂（Mg)、金（Au)、銀（Ag)、鈣（Ca)等所成對向電極（陰極）522。然後，將有機發光層560、正孔輸送層570等，使用適用本發明之吐出裝置加以形成。 TFT5 04乃藉由Si〇2爲主體之基材保護層581，設於基板5 02之表面。此TFT5 04係具備形成於基材保護層581之上層的矽層541，和被覆該矽層541地，設於基材保護層 581之上層的閘極絕緣層5 82，和設於對向於該閘極絕緣層 5 82之上面中之矽層541的部分的閘極電極542，和被覆該 -34- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1221126 A7 _______B7 五、發明説明（32 ) 閘極電極5 4 2地，設於聞極絕緣層5 8 2之上層的第1層間絕緣層5 83，於上述閘極絕緣層5 82及第1層間絕緣層583 藉由開孔之連接孔與矽層541連接的源極電極543，和設於挾著閘極電極542與源極電極543對向之位置，於閘極絕緣層5 82及第1層間絕緣層5 8 3藉由開孔之連接孔與矽層 541連接的汲極電極544，和被覆源極電極543及汲極電極 544地，設於第1層間絕緣層5 83之上層的第2層間絕緣層 584 ° 然後，於第2層間絕緣層5 84上面，配置畫素電極523 ，畫素電極5 23和汲極電極544乃藉由設於第2層間絕緣層5 84之連接孔523a加以連接。又，於第2層間絕緣層 5 84之表面中設有發光元件（有機EL元件）之外的部分和對向電極522間，設置合成樹脂等所成儲存區層521。然而，矽層541中，挾持閘極絕緣層582與閘極電極 542重疊之範圍則成爲通道範圍。又，矽層541中，於通道範圍之源極側，設置源極範圍，另一方面於於通道範圍之汲極側，設置汲極範圍。其中，源極範圍於閘極絕緣層5 82 和第1層間絕緣層5 83藉由開孔之連接孔，連接於源極電極543。另一方面，汲極範圍於閘極絕緣層5 82和第1層間絕緣層5 83藉由開孔之連接孔，連接於與源極電極543同一層所成汲極電極544。畫素電極523係藉由汲極電極544 連接於矽層541之汲極範圍。本例中，由設置TFT504之基板502側取出發光光線地加以構成之故，基板502爲透明或半透明爲佳’攸爲此時本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -35- 1221126 A7 B7 五、發明説明（33 ) 之基材材料，使用玻璃或石英' 樹脂等之透明度高者（即，光透過率高）。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，於基板，配置包含色濾色片膜或發光性物質之色變換膜或介電質反射膜，控制發光色亦可。另一方面，亦可將發光層之發光光線由與設置TFT之基板相反側取出之構成。將發光光線由與基板相反側取出之構成時，基板502汞爲不透明，此時可使用於氧化鋁等之陶瓷、不鏽鋼等之金屬薄片，施以表面氧化等之絕緣處理者，熱硬化性樹脂、熱塑性樹脂。【發明之效果】如以上之說明，本發明中，根據由控制手段輸出之波形選擇資料，開關電路係自共通之驅動信號選擇所定之驅動脈衝，施加於壓力產生元件之故，可修正液狀粘性物之噴嘴間之重量不均。因此，自各噴嘴吐出液狀粘性物之時，每1點之重量，於噴嘴間不會產生不均之故，例如可形成高精度之微透鏡等。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製【圖面之簡單說明】【圖1】顯示本發明之實施形態所成吐出裝置之整體構成的槪略斜視圖【圖2】示於圖1之吐出裝置之機能方塊圖。【圖3】顯示示於圖1之吐出裝置之噴頭之構成的分解斜視圖。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ 1221126 A7 B7 五、發明説明（34 ) 【圖4】爲說明噴頭10之圖，（A)係形成於圖3所示噴頭的結構之截面圖’（b)係施加於使用示於U)之結構的壓力產生元件17的驅動信號之基本波形圖。【圖5】顯示驅動信號生成部48之構成的方塊圖。【圖6】顯示於驅動信號生成部48中，生成包含於驅動信號COM之驅動脈衝的過程說明圖。【圖7】顯示於驅動信號生成部48中，使用資料信號 ’於記憶體設定電位差時之各信號之時間的時間圖。【圖8】顯示以本發明所成實施形態所成吐出裝置1所使用之共通驅動信號COM之波形、將包含於此驅動信號 COM之各驅動脈衝施加於壓力產生元件17時，自噴嘴211 吐出之液狀粘性物之點之大小關係、及根據吐出資料SI，自驅動信號COM選擇1個驅動脈衝，施加於壓力產生元件 17之方法的說明圖。【圖9】（A)(B)(C)(D)(E)係各顯示以圖1所示吐出裝置所使用之共通驅動信號COM之波形、由共通之驅動信號選擇第2驅動脈衝時，施加於壓力產生元件之驅動信號之波形、由共通之驅動信號選擇第3驅動脈衝時，施加於壓力產生元件之驅動信號之波形、由共通之驅動信號選擇第4 驅動脈衝時，施加於壓力產生元件之驅動信號之波形的說明圖。【圖10】顯示於複數噴頭決定噴嘴資料之手續的流程圖。【圖1 1】以圖1 0所示手續決定噴嘴所使用之表的說明 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -37- 1221126 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（35 ) 圖。【圖1 2】顯示以本發明之其他之實施形態所成吐出裝置所使用之驅動信號之波形的說明圖。【圖1 3】顯示於每驅動信號COM之周期，變化脈衝波形時之驅動信號COM之波形的一例說明圖。【圖14】微透鏡陣列之第1例之說明圖。【圖1 5】微透鏡陣列之第2例之說明圖。【圖1 6】模示性顯示使用彩色濾色片基板之液晶裝置之構成的截面圖。【圖17】（A)(B)係各顯示圖15所示之彩色濾色片基板之各色配置的說明圖。【圖1 8】模式性顯示利用有機電激發光元件之顯示裝置中，構成各畫素之有機電激發光元件之構成的截面圖。【圖19】模式性顯示利用有機電激發光元件之顯示裝置中，構成各畫素之有機電激發光元件之其他構成的截面圖。【符號說明】 1 吐出裝置 1A 裝置本體 1B 電腦（控制手段） 2 X方向驅動馬達 3 Y方向驅動馬達 4 X方向驅動軸 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 38- 1221126 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（36 ) 5 Y方向導引軸 6 噴頭移動機構 7 平台 8 淸潔機構部 9 基台 10 噴頭 11 噴頭驅動電路 40 控制裝置 4 3 界面 44 RAM 45 ROM 48 驅動信號生成部 49 界面 100A、100B 微透鏡陣列 CLK 時脈信號 COM 驅動信號 COM1〜com8 驅動脈衝 D 微透鏡 SI 吐出資料 W 對象物 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -39-

Claims

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製六、申請專利範圍第9 1 1 1 6267號專利申請案中文申請專利範圍修正本民國92年12月12日修正 1. 一種吐出裝置，屬於在於對象物爲吐出液狀黏性物之吐出裝置，其特徵係具有：備有各別對應於複數之噴嘴的複數之壓力產生元件的噴頭，和產生包含複數之驅動脈衝所成驅動信號的驅動信號產生手段，和輸出規定前述複數之驅動脈衝之中，將何者之驅動脈衝施加於前述壓力產生元件的波形選擇資料的控制手段和自前述複數之驅動脈衝選擇所定之驅動脈衝，施加於前述壓力產生元件的開關手段者。 2. 如申請專利範圍第1項之吐出裝置，其中，包含於前述驅動信號之不同複數周期的複數之驅動脈衝爲不相同者。 . 3. 如申請專利範圍第1項或第2項之吐出裝置，其中 ’於前述對象物吐出前述液狀黏性物時，前述驅動信號之複數周期設定成爲吐出前述液狀黏性物之動作的單位。 4·如申請專利範圍第2項之吐出裝置，其中，於前述對象物吐出前述液狀黏性物時，對於前述驅動信號之特定之第1周期的特定之周期時間位置係將前述驅動周期之1 本紙張尺國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐Ϊ ~ ~ L-------^丨-φ-裝----·--IT------φ 線 (請先閲脅背面之注意事項再填寫本頁) 1221126 A8 B8 C8 _ D8 六、申請專利範圍周期做爲單位可加以調整者。 5. 如申請專利範圍第1項或第2項之吐出裝置，其中，於前述對象物吐出前述液狀黏性物時，對於1個前述壓力產生元牟的前述驅動脈衝的施加，係於前述驅動信號之！周期內進行者。 6. 如申請專利範圍第1項或第2項之吐出裝置，其中，於前述對象物吐出前述液狀黏性物時，對於]個前述壓力產生元件的前述驅動脈衝的施加，係跨過前述驅動信號之複數之周期而進行者。. 7 ·如申請專利範圍第‘ 1項或第2項之吐出裝置，其中，自前述複數之驅動脈衝選擇1個之驅動脈衝，施加於所定之前述壓力產生元件者。 8·如申請專利範圍第1項或第2項之吐出裝置，其中，前述複數之驅動脈衝係具備可各將前述液狀黏性物以不同的重量加以吐出的波形，前述開關手段係根據前述波形選擇資料，自前述複數之驅動脈衝，選擇複數之驅動脈衝，施加於所定之前述壓力產生元件。 9·如申請專利範圍第1項或第2項之吐出裝置，其中，前述控制手段係具備於前述複數之壓力產生元件，施加同一波形之驅動脈衝時，記錄對應於自各前述複數之噴頭吐出之前述液狀黏性物之重置參差的噴嘴資料的記錄部，根據記錄於前述記錄部之前述噴嘴資料，生成前述波形g 擇資料而輸出。本纸張尺度逆用中國國家禕丰（CNS )以規恭ί' C請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1221126 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 10·如申請專利範圍第9項之吐出裝置，其中，前述複數之噴頭係於前述壓力產生元件施加同一波形之驅動脈衝時，對應吐出之前述液狀黏性物之重量，分爲複數之等級’該分等級的結果則做爲前述噴嘴資料記錄於前述記錄部。 11·如申請專利範圍第9項之吐出裝置，其中，前述噴嘴資料係於前述壓力產生元件，施加同一波形之驅動脈衝時，對應吐出之前述液狀黏性物之重量，對於各前述複數之噴頭，記錄於前述記錄部。 12.如申請專利範圍第9項之吐出裝置，其中，前述噴頭中，伴隨附予對於形成於該噴頭之前述噴頭的、前述噴嘴資料，該噴嘴資料係自計測前述重量參差的噴頭檢查裝置，輸入至前述記錄部。 1 3 · —種吐出裝置之控制方法，屬於吐出液狀黏性物之吐出裝置之控制方法，其特徵係至少具有使用第1之驅動脈衝吐出液狀黏性物之第1之工程，和根據吐出之前述液狀黏性物之吐出重量之測定結果，修正前述第1之驅動脈衝的第2之工程。 14.如申請專利範圍第1 3項之吐出裝置之控制方法，其中，直到自吐出裝置之各噴嘴所吐出之前述液狀黏性物之吐出量幾近成爲均勻爲止，重覆前述第1之工程和前述第.2之工程。 15· —種吐出裝置之控制方法，屬於在於對象物吐出本纸張尺度適用中國國家標準（CNS_) A4規格（210X；297公楚) - — ~ Ί ----裝----·--·訂------癱線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1221126 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍液狀黏性物之吐出裝置之控制方法，其特徵係具有施加成爲基準之波形之驅動脈衝時的吐出重量從目標重量偏移時，決定吐出重量成爲前述目標重量之波形的第1 工程，和將求得之波形之驅動信號施加於前述壓力產生元件，計測此時之吐出重量的第2工程，和比較前述吐出重量和前述目標重量，當前述吐出重量和前述目標重量爲一致時，確定前述噴嘴資料的第3工程；前述吐出重量自前述目標重量偏移之時，再度重覆前述第1工程、前述第2工程及前述第3工程。 16. 如申請專利範圍第1 5項之吐出裝置之控制方法，其中，訂定重覆前述第1工程、第2工程及前述第3工程的上限次數，直到該上限次數，重覆前述第1工程、前述第2工程及前述第3工程，仍無法確定前述噴嘴資料時，令前述噴頭判斷爲規格外品。 17. —種吐出方法，屬於爲了由具備各對應於複數之噴嘴之複數之壓力產生元件的噴頭，向對象物上之特定位置，吐出液狀粘性物之吐出方法，其特徵係具有生成包含複數之驅動脈衝所成驅動信號之工程，和由前述複數之驅動脈衝，選擇特定之驅動脈衝，施加於前述壓力產生元件之工程，和根據施加於前述壓力產生元件之前述驅動脈衝，吐出特定量之前述液狀粘性物之工程。本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4洗格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂---- _線 1221126 A8 B8 C8 -- 六、申請專利範圍 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 1 8· 一種微透鏡陣列之製造方法，其特徵係使用如申 S靑專利範圍第1 7項所述之吐出方法，於做爲前述對象物之基板上’將爲形成複數之微透鏡的樹脂，做爲前述液狀黏性物加以吐出。 19. 一種光電裝置之製造方法，其特徵係使用如申請專利範圍第1 7項所述之吐出方法，於做爲前述對象物之基板上，將爲形成彩色濾色片的樹脂，做爲前述液狀黏性物加以吐出。 20. —種光電裝置之製造方法，其特徵係使用如申請專利範圍第17項所述之吐出方法，於做爲前述對象物之基板上，將包含光電物質之液體，做爲前述液狀黏性物加以吐出。 21. 如申請專利範圍第20項之光電裝置之製造方法，其中，前述光電物質係爲產生電激發光之螢光性有機化合物0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS )六衫尤格（210Χ 297公釐）