JP4126461B2 - プラズマプロセス装置用部材 - Google Patents
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表1に示すような種々の酸化物からなる焼結体試料を作製した。これらの試料は、母相となるAl 2 O 3 の高純度粉末(99.9%以上)又はNiAl 2 O 4 にMgO、NiOを加えて混合し、プレス成形した後、1300〜1800℃で焼成した相対密度98%以上の焼結体である。また、比較例として、SiO 2 を加えた試料を準備した。また、試料のプラズマ照射面はあらかじめ鏡面処理を施し表面粗さ1μm以下とした。これらの試料をRIEプラズマエッチング装置内に設置して、この装置内にHClガスを導入し、高周波にてプラズマを発生させ、室温(25℃)で塩素プラズマ照射テストを行なった。装置内圧力は10Paに保持し、13.56MHz、1kWの高周波を利用した。上記の条件下で、3時間エッチング処理を行った後の表面状態を目視および光学顕微鏡で観察し、その結果を表1に示した。なお粒界相の成分についてはX線マイクロアナライザーによって同定した。テスト結果を表1に示す。
実施例1と同様にして作製した表2の各試料に対して、RIEプラズマエッチング装置内にHBrガスを導入し、高周波にてプラズマを発生させ、室温で臭素プラズマ照射テストを行なった。装置内圧力は10Paに保持し、13.56MHz、1kWの高周波を利用した。評価法は実施例1と同様である。テスト結果を表2に示す。
実施例1と同様にして作製した表3の各試料に対して、RIEプラズマエッチング装置内にHIガスを導入し、高周波にてプラズマを発生させ、室温でヨウ素プラズマ照射テストを行なった。装置内圧力は10Paに保持し、13.56MHz、1kWの高周波を利用した。評価法は実施例1と同様である。テスト結果を表3に示す。
Claims (2)
- ハロゲン系腐食ガスのプラズマに曝される部位を、Al 2 O 3 からなる主結晶相と、NiAl 2 O 4 からなる粒界相とを具備するセラミック焼結体により構成したことを特徴とするプラズマプロセス装置用部材。
- ハロゲン系腐食ガスのプラズマに曝される部位を、NiAl 2 O 4 からなる主結晶相と、MgOからなる粒界相とを具備するセラミック焼結体により構成したことを特徴とするプラズマプロセス装置用部材。
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