JP2008275406A - プローブ装置及び検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】フィルムタイププローブの各接触子と被検査体の電極とを確実に接触させる。
【解決手段】本体フレーム側に固定されるプローブベースと、フィルムタイププローブを支持して被検査体の電極に電気的に接触させるプローブブロックと、前記フィルムタイププローブの各接触子が被検査体の電極に接触した状態でこのフィルムタイププローブを均一な圧力で加圧する加圧機構とを備え、前記加圧機構が、前記フィルムタイププローブに直接に接触してこのフィルムタイププローブの各接触子が前記被検査体の電極に接触した状態でこのフィルムタイププローブを加圧する先端加圧部を備え、前記先端加圧部が、前記フィルムタイププローブを加圧する加圧プレートと、当該加圧プレートによる圧力を均等にならす弾性体と、前記フィルムタイププローブの前記接触子側に設けられ前記弾性体と相まって前記各接触子に付加される圧力を均一にするサポートフィルムとから構成した。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶パネル、集積回路等の平板状の被検査体の検査に用いるプローブ装置及び検査装置に関する。

液晶パネル等の平板状の被検査体は、一般に、プローブカードのようなプローブ装置を用いて検査される。この種のプローブ装置の１つとして、互いに平行に伸びる複数の配線を電気絶縁性フィルムの一方の面に形成し、各配線の一部をプローブ要素として利用するプローブシートを用いるものがある。この例としては特許文献１がある。この特許文献１の発明を以下に概説する。

プローブ装置１は、図２に示すように、プローブブロック２を含んで構成されている。プローブブロック２は、図示の例では、プローブシート３と、プローブシート３に接続されたシート状の第１の接続シート４と、第１の接続シート４に接続された第２の接続シート５と、それらシート３，４及び５が装着されたプローブホルダ６とにより形成されている。

プローブシート３は、その前端部を図３に示すように、互いに並列的に前後方向へ伸びる複数の配線８を電気絶縁性フィルム９の一方の面に形成したフィルムタイププローブユニットである。配線８の配列ピッチは、液晶パネル１０の電極１１（図２参照）の配列ピッチと同じである。

プローブシート３は、また、突起電極１３を各配線８の前端部に有する。各突起電極１３は半球状の形状を有する。

第１の接続シート４は、図４に示すように、複数の配線１５及び１６を電気絶縁性フィルム１７の一方の面に形成したタブ（ＴＡＢ）であり、また配線１５，１６に電気的に接続された駆動用集積回路１８を一方の面に有する。

第１の接続シート４の各配線１５は、プローブシート３の配線８に一対一の形に対応されており、対応する配線８に電気的に接続されている。集積回路１８は、液晶パネル１０の駆動に用いられ、駆動用制御信号を配線１６から受けて、駆動信号を配線１５に出力する。

第２の接続シート５は、複数の配線１９を電気絶縁性フィルム２０の一方の面に形成したフラットケーブル（ＦＰＣ）である。第２の接続シート５の各配線１９は、第１の接続シート４の配線１６に一対一の形に対応されており、対応する配線１６に電気的に接続されている。

プローブホルダ６は、図５に示すように、板状部２２と取付部２３とにより形成されている。プローブシート３は、その前端部が取付部２３の前方へ突出しかつ配線８がフィルム９より下方となる状態に、フィルム９において取付部２３の下面に装着されている。接続シート４及び５は、配線１６及び１９が下側となる状態に、フィルム１７において板状部２２の下面に装着されている。

各配線８の前端部、その前端部に対応するフィルム９の部位及び突起電極１３は、プローブ要素として作用する。したがって、プローブシート３の前端部、特に突起電極１３が形成された領域は、プローブ領域として作用する。

プローブ装置１は、また、プローブホルダ６が結合された板状のブロックホルダすなわちプローブベース２５と、複数のねじ部材によりプローブベース２５の下側に結合された配線部材２６と、プローブベース２５に連結されたアーム２７と、アーム２７の前端部に配置されてプローブシート３の前端部を下方へ押圧する押圧機構２８と、押圧機構２８がプローブシート３を押圧している状態に解除可能にアーム２７を維持するねじ部材２９とを含む。

配線部材２６は、図４に示すように、複数の配線３１を電気絶縁性基板３２の一方の面に平行に形成した接続基板である。配線部材２６は、図５に示すように、配線３１が下方となる状態にプローブベース２５の下面にスペーサ３４を介して組み付けられている。

配線部材２６の各配線３１は、第２の接続シート５の対応する配線１９に電気的に接続されている。

アーム２７はプローブベース２５に結合され、ねじ部材２９が貫通する穴を後部に有する。ねじ部材２９は、プローブベース２５に形成されたねじ穴に螺合されている。

押圧機構２８は、図６に示すように、アーム２７の先端部下側に配置されたベース部材３５と、アーム２７の前端部を上下方向に貫通してベース部材３５に螺合する１以上の調整ねじ(図示せず)と、アーム２７とベース部材３５との間に配置されてベース部材３５をアーム２７に対し下方へ付勢する１以上の第１の弾性体３６と、ベース部材３５に配置されてプローブシート３の前端部上面に接触する第２の弾性体３７と、調整ねじを間にして左右方向に間隔をおいて上下方向へ伸びる複数のガイドピン３８とを備える。

ベース部材３５は、左右方向へ伸びており、また調整ねじ及びガイドピン３８によりアーム２７に上下方向へ移動可能に組み付けられている。ガイドピン３８は、アーム２７及びベース部材３５のいずれか一方に支持されていると共にアーム２７及びベース部材３５の他方に上下方向へ相対的移動可能に受け入れられており、また第１の弾性体３６を貫通して伸びている。
特開２００１−１４１７４７号公報 特開平８−２５４６７７号公報

ところで、前記押圧機構２８では、図６に示すように、第２の弾性体３７が第１の弾性体３６で加圧されて、各突起電極１３を液晶パネル１０の各電極１１に押圧する。このとき、一列に並んだ各突起電極１３が半割の円柱状の弾性体３７で加圧されることで、この各突起電極１３が液晶パネル１０の各電極１１に均一の圧力で押圧されて電気的に接続される。

しかし、各突起電極１３が一列でなく、図７に示すように交互にずれた配置（２列千鳥）や、図８の３列千鳥、図９の４列千鳥、その他の多数列千鳥の場合は、半割の円柱状の弾性体３７で均一に加圧することはできない。

このような場合に対応する策として特許文献２に、シート状の弾性フィルムを用いて複数の接触子を均一に加圧することが提案されている。具体的には、図９及び図１０に示すように、加圧プレート４０とフィルムタイププローブ４１の間に弾性フィルム４２を設けて、フィルムタイププローブ４１を均一な力で加圧することが提案されている。

しかしこの場合、多数列千鳥状に配設された接触子４３をシート状の弾性フィルム４２で加圧すると、図１１に示すように、複数配設された接触子４３の領域のうち中央部では各接触子４３が押圧力を受け持つが、周縁部では、接触子４３が少なくなり又は無くなって、均一に加わる押圧力でフィルムタイププローブ４１が撓んでしまい、中央部の各接触子４３Ａが浮いて接触不良を起こすことがあるという問題がある。

本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、千鳥状等の変則的な並びの各接触子に対して均一に押圧して各接触子を各電極に確実に接触させることができるプローブ装置及び検査装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決するために本発明に係るプローブ装置は、本体フレーム側に固定されるプローブベースと、フィルムタイププローブを支持して被検査体の電極に電気的に接触させるプローブブロックと、前記フィルムタイププローブの各接触子が被検査体の電極に接触した状態でこのフィルムタイププローブを均一な圧力で加圧する加圧機構とを備え、前記加圧機構が、前記フィルムタイププローブに直接に接触してこのフィルムタイププローブの各接触子が前記被検査体の電極に接触した状態でこのフィルムタイププローブを加圧する先端加圧部を備え、前記先端加圧部が、前記フィルムタイププローブを加圧する加圧プレートと、当該加圧プレートによる圧力を均等にならす弾性体と、前記フィルムタイププローブの前記接触子側に設けられ前記弾性体と相まって前記各接触子に付加される圧力を均一にするサポートフィルムとから構成されたことを特徴とする。

前記構成により、前記加圧機構の前記先端加圧部が、その加圧プレートで弾性体を加圧し、この弾性体が圧力を均等にならし各接触子に均一な圧力を加える。さらに、サポートフィルムが前記フィルムタイププローブの前記接触子側からフィルムタイププローブを支持して、前記各接触子に付加される圧力を均一にする。

前記サポートフィルムは、前記フィルムタイププローブの接触子側の、ひとかたまりの接触子の周囲に設けられることが望ましい。これにより、前記弾性体による圧力をひとかたまりの接触子とその周囲のサポートフィルムとで支持して各接触子に付加される圧力を均一にする。

被検査体を外部から搬入し、検査終了後に外部へ搬送するセット部と、当該セット部から渡された被検査体を支持して試験する測定部とを備えて、被検査体の検査に用いる検査装置においては、前記測定部のプローブ装置として、前記プローブ装置を用いることが望ましい。

以上のように、前記弾性体による圧力を各接触子とサポートフィルムとで支持して各接触子に付加される圧力を均一にするため、前記フィルムタイププローブの各接触子と前記被検査体の電極とを確実に接触させることができる。

以下、本発明の実施形態に係るプローブ装置及び検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。本実施形態の検査装置は、前記従来の検査装置とほぼ同様であるため、ここではプローブ装置を中心に説明する。なお、検査装置としては、本実施形態に係るプローブ装置を用いることができる装置すべてに適用することができる。

本実施形態のプローブ装置１は、液晶パネルの検査装置に用いられる装置である。液晶パネルは、長方形の形状をしており、また複数の電極(図示せず)を長方形の隣り合う２つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。

プローブ装置５１は、図１２〜１４に示すように、プローブベース５２と、プローブブロック５３と、加圧機構５４とを備えて構成されている。

プローブベース５２は、検査装置の本体フレーム側に固定される部材である。プローブベース５２は、本体フレーム側に固定された状態で、プローブブロック５３及び加圧機構５４を支持している。プローブベース５２の下側面には、プローブブロック５３の凸部６５が嵌合するガイド５６が設けられている。

プローブベース５２の上側面には、プローブブロック固定ネジ５７と、ネジ穴５８と、ヒンジ受け部５９とが設けられている。プローブブロック固定ネジ５７は、その頭部がプローブブロック５３の凸部６５内に設けられた嵌合溝６６に嵌合してプローブブロック５３をプローブベース５２に固定するためのネジである。ネジ穴５８は、後述する加圧機構５４の固定ネジ８２がねじ込まれるためのネジ穴である。ヒンジ受け部５９は、後述する加圧アーム８１の基端平板部８５のヒンジ嵌合部８９が嵌合する部分である。

プローブブロック５３は、その先端等でプローブを支持して液晶パネル６１の電極(図示せず)に電気的に接触させるための部材である。プローブブロック５３は主に、ＦＰＣプレート６２と、配線部材６３とを備えて構成されている。ＦＰＣプレート６２は、プローブベース５２の下側面のガイド５６に嵌合する凸部６５、この凸部６５内に設けられた嵌合溝６６、凸部６５がガイド５６に嵌合した状態でプローブベース５２の縁部に当接してプローブブロック５３の位置決めをするストッパ６７等を備えている。

配線部材６３は、液晶パネル６１の制御信号や検出信号等をやり取りする外部装置と、液晶パネル６１の表面に形成された回路とを電気的に接続するための部材である。配線部材６３は主に、ベース側基板７０と、ＦＰＣ７１と、ＦＰＣ基板７２と、フィルムタイププローブ７３とを備えて構成されている。

ベース側基板７０は、プローブベース５２側に取り付けられて、前記外部装置に電気的に接続されている。ＦＰＣ７１は、ベース側基板７０とフィルムタイププローブ７３とを、ＦＰＣ基板７２を介して電気的に接続するための部材である。ＦＰＣ７１の基端部は、ＦＰＣプレート６２の基端部に設けられた円柱状の弾性体７４によって、ベース側基板７０に接続されている。具体的には、ＦＰＣ７１の配線側の接点と、ベース側基板７０の配線側の接点とが互いに当接された状態で、前記弾性体７４によってＦＰＣ７１側から押圧されて、互いに電気的に接続されている。ＦＰＣ基板７２は、駆動用集積回路７５等を搭載した基板である。ＦＰＣ基板７２は、ＦＰＣ７１の途中に設けられている。

フィルムタイププローブ７３は、液晶パネル６１の各電極に電気的に接続するための部材である。フィルムタイププローブ７３は、ＦＰＣ７１の先端部に設けられている。フィルムタイププローブ７３は図１に示すように主に、基板７７と、接触子７８とから構成されている。基板７７は、ＦＰＣ７１の一部をそのまま利用して構成されている。ＦＰＣ７１を用いることで柔軟に撓み得る基板となっている。接触子７８は、基板７７の下側面の、液晶パネル６１の各電極に対応する位置に設けられている。接触子７８は具体的には、図１，７に示すように、交互にずれた配置（２列千鳥）や、図８の３列千鳥、図９の４列千鳥に適宜配設される。

加圧機構５４は、プローブブロック５３のフィルムタイププローブ７３の接触子７８が液晶パネル６１の電極に接触した状態でこのフィルムタイププローブ７３を均一な圧力で加圧するための機構である。千鳥状に配設された接触子７８全体を覆う範囲を加圧範囲８０（図７，８参照）として、加圧機構５４は、この範囲を加圧するように設定されている。加圧機構５４は、図１３，１４に示すように、加圧アーム８１と、固定ネジ８２と、先端加圧部８３とから構成されている。

加圧アーム８１は、先端加圧部８３を支持して、この先端加圧部８３を介して前記フィルムタイププローブ７３を加圧するための部材である。加圧アーム８１は、基端平板部８５と、斜板部８６と、先端押圧板部８７とから構成されている。

基端平板部８５は、プローブベース５２に回転可能に支持される部材である。基端平板部８５の基端には、ヒンジ嵌合部８９が設けられている。このヒンジ嵌合部８９がプローブベース５２のヒンジ受け部５９に嵌合することによって基端平板部８５はプローブベース５２に対して回動可能に取り付けられている。

斜板部８６は、先端押圧板部８７を支持する部材である。斜板部８６は、その基端を基端平板部８５に支持されてその先端で先端押圧板部８７を支持している。

先端押圧板部８７は、先端加圧部８３を支持する部材である。この先端押圧板部８７は、前記加圧範囲８０を覆う寸法の長方形状に形成されて、フィルムタイププローブ７３に面して位置する先端加圧部８３を支持する。

固定ネジ８２は、加圧アーム８１を設定位置で固定するためのネジである。本実施形態では、加圧アーム８１の基端平板部８５がプローブベース５２の上側面に当接した状態で、固定ネジ８２が、加圧アーム８１を固定している。

先端加圧部８３は、前記フィルムタイププローブ７３に直接に接触してこのフィルムタイププローブ７３の接触子７８が前記液晶パネル６１の電極に接触した状態でこのフィルムタイププローブ７３を加圧するための部材である。この先端加圧部８３は、図１に示すように、加圧プレート９１と、弾性支持部９２と、弾性体９３と、サポートフィルム９４とから構成されている。

加圧プレート９１は、弾性体９３を介して前記フィルムタイププローブ７３を加圧するための部材である。加圧プレート９１は、加圧範囲８０に合わせた寸法の長方形状に形成されている。加圧プレート９１には、後述する弾性支持部９２のスライドピン９７がねじ込まれるネジ穴９６が３つ設けられている。

弾性支持部９２は、加圧プレート９１を弾性的に支持するための部材である。弾性支持部９２は、スライドピン９７と、バネ９８とから構成されている。スライドピン９７は、加圧アーム８１の先端押圧板部８７に設けられたピン穴９９にスライド可能に挿入されている。スライドピン９７の先端には、加圧プレート９１のネジ穴５８にねじ込まれるネジ山が設けられている。

バネ９８は、前記先端押圧板部８７に支持されて加圧プレート９１を液晶パネル６１側へ押圧するための部材である。バネ９８はスライドピン９７に取り付けられている。この状態でスライドピン９７が加圧プレート９１のネジ穴９６にねじ込まれることによって、前記バネ９８は、その基端が先端押圧板部８７に支持されて先端で加圧プレート９１を液晶パネル６１側へ押圧している。

弾性支持部９２は、先端押圧板部８７に３つ並んで配設されている。この弾性支持部９２の配置位置は、弾性体９３を介して全ての接触子７８を各電極に対して均一な圧力で加圧できるように配置される。具体的には、各接触子７８の座標上の位置を基にして統計的に求めた各接触子７８の中心位置に弾性支持部９２が設定されている。例えば各接触子７８を複数のグループに分けて、各グループ毎に各接触子７８の統計的な中心位置を特定して、その位置に弾性支持部９２を設けている。

弾性体９３は、加圧プレート９１側の圧力を均等にならし各接触子７８に均一な圧力を加えるための部材である。弾性体９３は、弾性を有するシート状部材で構成されている。例えば、絶縁性のシート状エラストマー等の高分子材料を用いることができる。

サポートフィルム９４は、弾性体９３と相まってフィルムタイププローブ７３の各接触子７８に付加される圧力を均一にするための部材である。このサポートフィルム９４は、フィルムタイププローブ７３の基板７７の接触子７８側の、近くに集まったひとかたまりの接触子７８の周囲に設けられている。サポートフィルム９４は、弾性体９３で押圧されるフィルムタイププローブ７３の基板７７のうち撓みやすい周囲（接触子７８が少ない、又はない部分）を支持して、フィルムタイププローブ７３の基板７７の撓み（図１１参照）を抑えて、図１５，１６に示すように、各接触子７８に付加される圧力を均一にする。サポートフィルム９４の厚さは、各接触子７８の高さとほぼ同じ高さに設定する。

サポートフィルム９４の位置は、図１５のように、各接触子７８を挟んだ両側（図７，８の左右両側）に細長く配設されている。また、サポートフィルム９４の配設位置としては、図１７に示すように、フィルムタイププローブ７３の両側のＦＰＣ７１まで広げて、広い範囲をサポートするようにしてもよい。さらに、サポートフィルム９４の内側端の位置は、図１５に示すように、弾性体９３の周縁部よりも内側に位置するようにしてもよく、図１７，１８に示すように、弾性体９３の周縁部よりも外側に位置するように設けてもよい。特に、図１７の４列千鳥のように接触子７８の数が多い場合は、サポートフィルム９４の内側端の位置が、弾性体９３の周縁部よりも外側に位置するように設けて、弾性体９３からの圧力が、サポートフィルム９４の内側で基板７７を加圧し、各接触子７８に集中させるようにすることが望ましい。この場合、弾性体９３による圧力を、多くの接触子７８が広い範囲で支持して、基板７７が図１１のように撓む可能性が低いため、弾性体９３による圧力を各接触子７８に集中させるのが望ましい。このため、サポートフィルム９４の内側端の位置を、弾性体９３の周縁部よりも外側に位置するように設定する。なお、接触子７８の形状としては、図１５，１６のように尖ったものや、図１７，１８のように丸くしたもの等がある。

サポートフィルム９４は、絶縁性のシート状エラストマー等の高分子材料で構成されている。サポートフィルム９４の硬さは、加圧プレート９１による圧力に対して僅かに押し潰れる程度に設定されている。これにより、サポートフィルム９４は、弾性体９３が基板７７を介して各接触子７８を充分な圧力で押圧した状態で、基板７７の周縁部（各接触子７８の外側）が撓むのを抑えて、各接触子７８に付加される圧力を均一にする。

以上のように構成されたプローブ装置５１では、液晶パネル６１がワークテーブルに載置されて、各接触子７８と液晶パネル６１の各電極とが互いに接触された状態で、オーバードライブが掛けられると、弾性支持部９２で弾性的に支持された弾性体９３でフィルムタイププローブ７３の基板７７が均等に加圧される。そして、均等に加圧された基板７７は、各接触子７８とサポートフィルム９４とを加圧する。そして、ひとかたまりの各接触子７８の周囲をサポートフィルム９４で支持するため、基板７７は撓むことがなく、各接触子７８を加圧する。そして、この弾性体９３での加圧は、基板７７に均等にかかるため、各接触子７８に同じ圧力が作用する。

これにより、各接触子７８は均一な圧力で加圧され、すべての接触子７８が液晶パネル６１の各電極に確実に接触し、高い精度で液晶パネル６１を検査することができる。

［変形例］
前記実施形態では、サポートフィルム９４を弾性を有する部材で構成したが、サポートフィルム９４を、厚さが接触子７８の高さよりも僅かに薄い寸法に設定して、ほとんど弾性を有さない部材で構成してもよい。この場合、図１６の状態のとき、各接触子７８の周囲がサポートフィルム９４で支持されてほとんど撓まないため、フィルムタイププローブ７３の基板７７のうちサポートフィルム９４の内側が重点的に加圧され、各接触子７８が液晶パネル６１の各電極に十分な力で押し付けられる。これにより、各接触子７８を液晶パネル６１の電極に確実に接触させることができる。

前記サポートフィルム９４は、ひとかたまりの接触子７８の周囲の一部に設けてもよく、全周を覆うように設けてもよい。前記サポートフィルム９４は、フィルムタイププローブ７３の基板７７の撓みやすい部分に設ける。

本発明の実施形態に係るプローブ装置の要部を示す側面断面図である。 従来の検査装置のプローブ装置のプローブブロックを示す斜視図である。 従来の検査装置のプローブ装置のプローブシートを示す斜視図である。 従来の検査装置のプローブ装置を示す裏面図である。 従来の検査装置のプローブ装置を示す側面断面図である。 従来の検査装置のプローブ装置を示す要部断面図である。 従来の検査装置のプローブ装置の突起電極の配列例を示す底面図である。 従来の検査装置のプローブ装置の突起電極の配列例を示す底面図である。 従来の検査装置のプローブ装置の接触子の部分を示す要部拡大図である。 従来の検査装置のプローブ装置の要部を示す側面断面図である。 従来の検査装置のプローブ装置の接触子の部分を示す要部拡大図である。 本発明の実施形態に係る検査装置のプローブ装置を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る検査装置のプローブ装置を示す分解斜視図である。 本発明の実施形態に係る検査装置のプローブ装置を示す一部破断側面図である。 本発明の実施形態に係る検査装置のプローブ装置の接触子の部分を示す要部拡大図である。 本発明の実施形態に係る検査装置のプローブ装置の接触子の部分を示す要部拡大図である。 本発明の実施形態に係る検査装置のプローブ装置に広いサポートフィルムを取り付けた例を示す要部拡大図である。 図１７のサポートフィルムと弾性体との境界部分を示す要部拡大図である。

符号の説明

５１：プローブ装置、５２：プローブベース、５３：プローブブロック、５４：加圧機構、５６：ガイド、５７：プローブブロック固定ネジ、５８：ネジ穴、５９：ヒンジ受け部、６１：液晶パネル、６２：ＦＰＣプレート、６３：配線部材、６５：凸部、６６：嵌合溝、６７：ストッパ６７、７０：ベース側基板、７１：ＦＰＣ、７２：ＦＰＣ基板、７３：フィルムタイププローブ、７４：弾性体、７５：駆動用集積回路、７７：基板、７８：接触子、８１：加圧アーム、８２：固定ネジ、８３：先端加圧部、８５：基端平板部、８６：斜板部、８７：先端押圧板部、８９：ヒンジ嵌合部、９１：加圧プレート、９２：弾性支持部、９３：弾性体、９４：サポートフィルム、９６：ネジ穴、９７：スライドピン、９８：バネ。

Claims (3)

1. 本体フレーム側に固定されるプローブベースと、フィルムタイププローブを支持して被検査体の電極に電気的に接触させるプローブブロックと、前記フィルムタイププローブの各接触子が被検査体の電極に接触した状態でこのフィルムタイププローブを均一な圧力で加圧する加圧機構とを備え、
   前記加圧機構が、前記フィルムタイププローブに直接に接触してこのフィルムタイププローブの各接触子が前記被検査体の電極に接触した状態でこのフィルムタイププローブを加圧する先端加圧部を備え、
   前記先端加圧部が、前記フィルムタイププローブを加圧する加圧プレートと、当該加圧プレートによる圧力を均等にならす弾性体と、前記フィルムタイププローブの前記接触子側に設けられ前記弾性体と相まって前記各接触子に付加される圧力を均一にするサポートフィルムとから構成されたことを特徴とするプローブ装置。
2. 請求項１に記載のプローブ装置において、
   前記サポートフィルムが、前記フィルムタイププローブの接触子側の、ひとかたまりの接触子の周囲に設けられ、前記弾性体による圧力をひとかたまりの接触子とその周囲のサポートフィルムとで支持して各接触子に付加される圧力を均一にすることを特徴とするプローブ装置。
3. 被検査体の検査に用いる検査装置であって、
   被検査体を外部から搬入し、検査終了後に外部へ搬送するセット部と、当該セット部から渡された被検査体を支持して試験する測定部とを備え、
   前記測定部のプローブ装置として、請求項１又は２に記載のプローブ装置を用いたことを特徴とする検査装置。

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