JP4082696B2 - 積層型電子部品及びその製造方法 - Google Patents
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Description
酸化亜鉛系材料層と、少なくとも一対の内部電極層とを含む素子本体を有する積層型電子部品であって、
前記素子本体は、前記酸化亜鉛系材料層を介して積層方向に隣り合う2つの内部電極層の間であって、かつ平面視したときに内部電極層の重なり部分の端部より内側に形成される領域Aと、該領域A以外の領域Bとで構成されており、
前記各領域の比誘電率を、領域A:εA及び領域B:εBとしたときに、(εA/εB)>1.4の関係を満足することを特徴とする積層型電子部品が提供される。
酸化亜鉛系材料層と、少なくとも一対の内部電極層とを含み、表面から内部に向けてアルカリ金属が拡散された素子本体を有する積層型電子部品であって、
前記素子本体は、前記酸化亜鉛系材料層を介して積層方向に隣り合う2つの内部電極層の間であって、かつ平面視したときに内部電極層の重なり部分の端部より内側に形成される領域Aと、該領域A以外の領域Bとで構成されており、
前記各領域のアルカリ金属と亜鉛とのイオン強度比(アルカリ金属/Zn)を、領域A:dA及び領域B:dBとしたときに、(dA/dB)<0.04の関係を満足することを特徴とする積層型電子部品が提供される。
図1は本発明の一実施形態に係る積層型チップバリスタの概略断面図、図2は図1の積層型チップバリスタを各領域に区分けした概略断面図、図3は本発明の一実施形態に係る積層型チップバリスタの製造工程を示すフローチャート図、図4は積層型チップバリスタにおける全静電容量の構成を説明する図である。
図1に示すように、積層型電子部品の一例としての積層型チップバリスタ10は、素子本体12を有する。素子本体12の内部には、層間電圧非直線性抵抗体層1を介して互いに対向して積層されるとともに、かつ平面視したときに重なり部分2aを持つ一対の内部電極層2が配置されている。内部電極層2は、その各一端が、一層おきに、素子本体12の対向する各側端面に引き出されている。その引き出された内部電極層2の各一端は、それぞれの外部端子電極3に接続してあり、バリスタ回路を形成している。
SIMSは、表面層からミクロンオーダで、深さ方向のイオン濃度分布を高感度で測定できる方法である。高エネルギー(数keV〜20keV)のイオンビームを固体表面に照射すると、スパッタ現象により試料構成原子が中性子またはイオンとして放出される。このようにして、二次的に放出されるイオンを質量分析計で、質量・電荷の比に分けて、試料表面の元素分析及び化合物分析を行う方法がSIMSである。
次に、図3に基づいて、本発明に係る積層型チップバリスタ10の製造工程の一例を説明する。
まず、図3に示す工程a〜c及び通常方法に従い、1608形状(外形寸法、縦1.6mm×横0.8mm×厚み0.8mm)サイズの素子本体12となるチップ素体を形成した。チップ素体の非直線性抵抗体層1及び最外層1aは、酸化亜鉛系材料で構成してあり、具体的には、純度99.9%のZnO(99.725モル%)に、Prを0.5モル%、Coを1.5モル%、Alを0.005モル%、Kを0.05モル%、Crを0.1モル%、Caを0.1モル%、Siを0.02モル%、の割合で添加したもので構成した。内部電極層2はPdで構成し、表1に示す重なり部分2aの面積を持つように構成した。
Li2 CO3 の代わりに、Na2 CO3 、K2 CO3 、Rb2 CO3 、Cs2 CO3 を用い、実施例1と同様の条件で、素子を作製し、同様の評価を行った。その結果、実施例1と同様の結果が得られた。
1a… 外側電圧非直線性抵抗体層
2… 内部電極層
2a… 重なり部分
3… 外部端子電極
10… 積層型チップバリスタ
12… 素子本体
Claims (5)
- 酸化亜鉛系材料層と、少なくとも一対の内部電極層とを含む素子本体を有すると共に、前記一対の内部電極層の内のいずれかにそれぞれ接続するように前記素子本体の外面に形成してある一対の端子電極を有する積層型電子部品であって、
前記素子本体は、前記酸化亜鉛系材料層を介して積層方向に隣り合う2つの内部電極層の間であって、かつ平面視したときに内部電極層の重なり部分の端部より内側に形成される領域Aと、該領域A以外の領域Bとで構成されており、
前記領域Aと領域Bとは同じ酸化亜鉛系材料層で構成してあり、
前記領域Bでは、アルカリ金属が前記内部電極層の重なり部分の端部近傍にまで拡散しており、
前記各領域のアルカリ金属と亜鉛とのイオン強度比(アルカリ金属/Zn)を、領域A:dA及び領域B:dBとしたときに、(dA/dB)<0.04の関係を満足し、
前記各領域の比誘電率を、領域A:εA及び領域B:εBとしたときに、(εA/εB)>1.4の関係を満足することを特徴とする積層型電子部品。 - 前記アルカリ金属が、Li,Na,K,Rb,Csのうちの少なくとも1つである請求項1に記載の積層型電子部品。
- 前記酸化亜鉛系材料層が、酸化亜鉛系電圧非直線性抵抗体層であり、前記積層型電子部品が、積層型チップバリスタである請求項1または2に記載の積層型電子部品。
- 酸化亜鉛系材料層と、少なくとも一対の内部電極層とを含む素子本体を有する積層型電子部品を製造する方法であって、
前記酸化亜鉛系材料層を介して積層方向に隣り合う2つの内部電極層の間であって、かつ平面視したときに内部電極層の重なり部分の端部より内側に形成される領域Aと、該領域A以外の領域Bとで構成されている前記素子本体の表面に、アルカリ金属の化合物の粉体を付着させた状態で熱処理し、
前記素子本体の表面から、前記重なり部分の端部近傍にまで、アルカリ金属を拡散させ、
前記各領域の比誘電率を、領域A:εA及び領域B:εBとしたときに、(εA/εB)>1.4の関係を満足させ、
前記各領域のアルカリ金属と亜鉛とのイオン強度比(アルカリ金属/Zn)を、領域A:dA及び領域B:dBとしたときに、(dA/dB)<0.04の関係を満足させることを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 - 前記素子本体の表面から、前記重なり部分の端部近傍にまで、アルカリ金属を拡散させた後に、前記素子本体の外面に前記内部電極層に接続する外部端子電極を形成する請求項4に記載の積層型電子部品の製造方法。
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