JP4058402B2 - 光導波回路 - Google Patents
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Description
また、第2の発明の光導波回路によれば、光導波路と、前記光導波路を伝搬する光の放射損失を生じさせる、前記光導波路からクラッドの一部およびコアの一部が除去された溝または前記光導波路と他の光導波路との交差である第1損失要素と、前記第1損失要素の前段または後段の少なくとも一方の側に設けられ、前記光導波路を伝搬する光に対し、前記第1損失要素の放射損失よりも小さな放射損失を生じさせ、前記光導波路と他の光導波路との交差である第2損失要素とを備え、前記第1損失要素と前記第2損失要素とが、一方の損失要素を通過した光波が完全に放射に転じる前に他方の損失要素に到達できる距離に配置されていることを特徴とする。
また、第3の発明の光導波回路によれば、光導波路と、前記光導波路を伝搬する光の放射損失を生じさせる、前記光導波路からクラッドの一部およびコアの一部が除去された溝または前記光導波路と他の光導波路との交差である第1損失要素と、前記第1損失要素の前段または後段の少なくとも一方の側に設けられ、前記光導波路を伝搬する光に対し、前記第1損失要素の放射損失よりも小さな放射損失を生じさせ、前記光導波路のコアの一部を縞状にクラッドで置き換えた縞状コアである第2損失要素とを備え、前記第1損失要素と前記第2損失要素とが、一方の損失要素を通過した光波が完全に放射に転じる前に他方の損失要素に到達できる距離に配置されていることを特徴とする。
また、第4の発明の光導波回路によれば、光導波路と、前記光導波路を伝搬する光の放射損失を生じさせる、前記光導波路からクラッドの一部およびコアの一部が除去された溝または前記光導波路と他の光導波路との交差である第1損失要素と、前記第1損失要素の前段または後段の少なくとも一方の側に設けられ、前記光導波路を伝搬する光に対し、前記第1損失要素の放射損失よりも小さな放射損失を生じさせ、前記光導波路のコアの一部を縞状にクラッドで置き換えた縞状コアである第2損失要素とを備え、前記第1損失要素と前記第2損失要素とが、一方の損失要素を通過した光波が完全に放射に転じる前に他方の損失要素に到達できる距離に配置されていることを特徴とする。
また、第6の発明の光導波回路によれば、第1〜4の発明において、前記導波路は、第1の幅および第1の厚みを有する第1光導波路と、第2の幅および第2の厚みを有する第2光導波路と、第3の幅および第3の厚みを有する第3光導波路と、前記第1光導波路と前記第2光導波路との間に結合され、前記第1の幅および前記第1の厚みを前記第2の幅および前記第2の厚みに変換する第1テーパ部と、前記第2光導波路と前記第3光導波路との間に結合され、前記第2の幅および前記第2の厚みを前記第3の幅および前記第3の厚みに変換する第2テーパ部と、を含み、前記第1及び第2の損失要素は、前記第2光導波路を伝搬する光の放射損失を生じさせることを特徴とする。
また、第7の発明の光導波回路によれば、第1〜6の発明において、前記光導波路は、石英系ガラスからなるクラッドおよびコアを備えることを特徴とする。
また、第8の発明の光導波回路によれば、第1〜7の発明において、前記溝には、前記コアとは異なる材料が充填されていることを特徴とする。
また、第10の発明の光導波回路によれば、第1〜7の発明において、前記溝には、所定の機能を有する素子が挿入されていることを特徴とする。
また、第11の発明の光導波回路によれば、第10の発明において、前記素子は、前記溝中に充填された接着剤によって固定されていることを特徴とする。
また、第12の発明の光導波回路によれば、第10、11の発明において、前記素子は、半波長板であることを特徴とする。
また、第14の発明の光導波回路によれば、第7〜13の発明において、前記光導波路は複数のアレイ導波路を備え、前記溝は前記アレイ導波路を横切って形成され、前記アレイ導波路の両端にそれぞれ接続されたスラブ導波路をさらに備えていることを特徴とする。
また、第15の発明の光導波回路によれば、第7〜13の発明において、前記光導波路は長さの異なる2本のアーム導波路を備え、前記溝は少なくとも一方のアーム導波路を横切って形成され、前記アーム導波路の両端にそれぞれ接続された方向性結合器をさらに備えていることを特徴とする。
また、第16の発明の光導波回路によれば、第7〜13の発明において、前記光導波路に設けられた光誘起グレーティングと、前記光導波路の端部に搭載された半導体レーザダイオードとを備え、前記溝は前記光誘起グレーティングと前記半導体レーザダイオードとの間の光導波路を横切って形成されていることを特徴とする。
また、第17の発明の光導波回路によれば、第1、3、4の発明において、前記光導波路はスラブ導波路であることを特徴とする。
また、第18の発明の光導波回路によれば、第17の発明において、前記スラブ導波路は、石英系ガラスからなるクラッドおよびコアを備えていることを特徴とする。
また、第19の発明の光導波回路によれば、第17、18の発明において、前記溝中には、前記コアとは異なる材料の物質が充填されていることを特徴とする。
また、第20の発明の光導波回路によれば、第19の発明において、前記溝中に充填される物質の屈折率温度依存性は、前記スラブ導波路の実効屈折率の温度係数とは反対符号を有することを特徴とする。
また、第21の発明の光導波回路によれば、第17、18の発明において、前記溝には、所定の機能を有する素子が挿入されていることを特徴とする。
また、第22の発明の光導波回路によれば、第21の発明において、前記素子は、前記溝中に充填された接着剤によって固定されていることを特徴とする。
また、第23の発明の光導波回路によれば、第21、22の発明において、前記素子は、半波長板であることを特徴とする。
また、第24の発明の光導波回路によれば、第18〜23の発明において、前記光導波路回路は第1および第2の2つのスラブ導波路を有し、前記第1および第2のスラブ導波路の一端同士を接続するアレイ導波路と、当該第1および第2のスラブ導波路の他端のそれぞれに接続された入出力導波路とを備え、前記溝が前記2つのスラブ導波路のうちの少なくとも一方を横切るように形成されていることを特徴とする。
(第1の実施形態)
図23(a)は、本発明の第1実施形態に係る光導波路の構成を示す平面図、図23(b)は、図23(a)のA1−A1線で切断した断面図、図24(a)は、図23(a)のB1−B1線で切断した断面図、図24(b)は、図23(a)のC1−C1線で切断した断面図、図24(c)は、図23(a)のD1−D1線で切断した断面図である。なお、この第1実施形態は、第1損失要素として、溝4に充填された温度補償材料5を用いるとともに、第2損失要素として、溝4の前段に導波路間隙6を設けるようにしたものである。
図25(a)は、本発明の第2実施形態に係る光導波路の構成を示す平面図、図25(b)は、図25(a)のA2−A2線で切断した断面図である。なお、この第2実施形態は、第1損失要素として、溝14に充填された温度補償材料15を用いるとともに、第2損失要素として、溝14の前段および後段に導波路間隙16a、16bをそれぞれ設けるようにしたものである。
図26(a)は、本発明の第3実施形態に係る光導波路の構成を示す平面図、図26(b)は、図26(a)のA3−A3線で切断した断面図である。なお、この第3実施形態は、第1損失要素として、溝24に充填された温度補償材料25を用いるとともに、第2損失要素として、溝24の前段および後段に複数の導波路間隙26a〜26c、26d〜26fをそれぞれ設けるようにしたものである。
図27(a)は、本発明の第4実施形態に係る光導波路の構成を示す平面図、図27(b)は、図27(a)のA4−A4線で切断した断面図、図28(a)は、図27(a)のB4−B4線で切断した断面図、図28(b)は、図27(a)のC4−C4線で切断した断面図である。なお、この第4実施形態は、第1損失要素として、溝34に充填された温度補償材料35を用いるとともに、第2損失要素として、溝34の前段および後段に導波路間隙36a、36bをそれぞれ設け、さらに、溝34および導波路間隙36a、36bで分断される光導波路33の幅を拡大するようにしたものである。
図29(a)は、本発明の第5実施形態に係る光導波路の構成を示す平面図、図29(b)は、図29(a)のA5−A5線で切断した断面図である。なお、この第5実施形態は、第1損失要素として、複数の溝44a〜44dに充填された温度補償材料45a〜45dを用いるとともに、第2損失要素として、溝44a〜44dの前段および後段に導波路間隙46a、46bをそれぞれ設けるようにしたものである。
図30(a)は、本発明の第6実施形態に係る光導波路の構成を示す平面図、図30(b)は、図30(a)のA6−A6線で切断した断面図である。なお、この第6実施形態は、第1損失要素として、複数の溝54a〜54dに充填された温度補償材料55a〜55dを用いるとともに、第2損失要素として、溝54a〜54dの前段および後段に導波路間隙56a、56bをそれぞれ設け、さらに、溝54a〜54dおよび導波路間隙56a、56bで分断される光導波路53の幅を拡大するようにしたものである。
図31は、本発明の第7実施形態に係る光導波路回路の概略構成を示す平面図である。なお、この第7実施形態は、第1損失要素として、溝70に充填された温度補償材料が設けられるとともに、第2損失要素として、溝70の前段および後段に導波路間隙71a、71bがそれぞれ設けられた特性補償領域69を、アレイ光導波路回折格子に組み込むようにしたものである。
本発明の第8の実施形態に係る光導波路の概略構成を示す平面図は、第7実施形態の図31と同様である。図32は、この第8実施形態において図31のアレイ光導波路回折格子における特性補償領域を拡大して示す平面図である。なお、この第8実施形態は、第1損失要素として、複数の溝82a〜82nに充填された温度補償材料83a〜83nが設けられるとともに、第2損失要素として、溝82a〜82nの前段および後段に導波路間隙84a、84bがそれぞれ設けられた特性補償領域を、アレイ光導波路回折格子に組み込むようにしたものである。
2a〜82nは、アレイ導波路81からクラッドおよびコアの一部を除去することにより形成することができる。
本発明の第9の実施形態に係る光導波路の概略構成を示す平面図は、第7実施形態の図31と同様である。図33は、この第9実施形態において図31のアレイ光導波路回折格子における特性補償領域を拡大して示す平面図である。なお、この第9実施形態は、第1損失要素として、複数の溝92a〜92nに充填された温度補償材料93a〜93nが設けられるとともに、第2損失要素として、溝92a〜92nの前段および後段に導波路間隙94a、94bがそれぞれ設けられ、さらに、溝92a〜92nおよび導波路間隙94a、94bで分断される光導波路91の幅が拡大された特性補償領域を、アレイ光導波路回折格子に組み込むようにしたものである。
図34は、本発明の第10実施形態に係る光導波回路の概略構成を示す平面図である。なお、この第10実施形態は、第1損失要素として、溝110に充填された温度補償材料が設けられるとともに、第2損失要素として、溝110の前段および後段に導波路間隙111a、111bがそれぞれ設けられた特性補償領域109を、熱光学スイッチに組み込むようにしたものである。
本発明の第11の実施形態に係る光導波路の概略構成を示す平面図は、第10実施形態の図34と同様である。図35は、この第11実施形態において図34の熱光学スイッチにおける特性補償領域を拡大して示す平面図である。なお、この第11実施形態は、第1損失要素として、複数の溝122a〜122nに充填された温度補償材料123a〜123nが設けられるとともに、第2損失要素として、溝122a〜122nの前段および後段に導波路間隙124a、124bがそれぞれ設けられ、さらに、溝122a〜122nおよび導波路間隙124a、124bで分断されるアーム導波路121の幅が拡大された特性補償領域を、熱光学スイッチに組み込むようにしたものである。
図36は、本発明の第12実施形態に係る光導波路回路の概略構成を示す平面図である。なお、この第12実施形態は、第1損失要素として、溝137に充填された温度補償材料が設けられるとともに、第2損失要素として、溝137の前段および後段に導波路間隙138a、138bがそれぞれ設けられた特性補償領域136を、外部共振器型周波数安定化レーザに組み込むようにしたものである。
本発明の第13の実施形態に係る光導波路の概略構成を示す平面図は、第12実施形態の図36と同様である。また、図37は、この第13実施形態において図36の外部共振器型周波数安定化レーザにおける特性補償領域を拡大して示す平面図である。なお、この第13実施形態は、第1損失要素として、複数の溝142a〜142nに充填された温度補償材料143a〜143nが設けられるとともに、第2損失要素として、溝142a〜142nの前段および後段に導波路間隙144a、144bがそれぞれ設けられ、さらに、溝142a〜142nおよび導波路間隙144a、144bで分断される光導波路141の幅が拡大された特性補償領域を、外部共振器型周波数安定化レーザに組み込むようにしたものである。
図38は、本発明の第14実施形態に係る光導波回路の構成を示す平面図である。なお、第14実施形態は、光導波路の交差部の前段および後段に、ダミー導波路を交差させるようにしたものである。
図39は、本発明の第15の実施形態に係る光導波路の概略構成を示す平面図、図40は、図39のスラブ導波路の一方413a近傍を拡大して示す平面図である。なお、この第15実施形態は、第一損失要素として、複数の溝418a〜418nに充填された温度補償材料419a〜419nを用いるともに、第2損失要素として、溝418a〜418nの前段および後段に導波路間隙420aおよび420nがそれぞれ設けられた特性補償領域を、アレイ導波路回折格子に組み込むようにしたものである。
図41(a)は、本発明の第16の実施形態に係る光導波路の構成を示す平面図、図41(b)は、図41(a)のA14−A14で切断した断面図である。なお、この第16実施形態は、第一損失要素として、溝504に挿入された波長選択フィルタ507、および波長選択フィルタ507を固定するために充填された接着剤505を用いるともに、第2損失要素として、溝504の前段および後段に導波路間隙506a、506bがそれぞれ設けられ、さらに、溝504、および、導波路間隙506a、506bで分断される光導波路503の幅を拡大するようにしたものであり、所定の波長を透過するフィルタ機能を有する光導波路である。
図42は、本発明の第17の実施形態に係る光導波路の概略構成を示す平面図、図43は、図42のアレイ導波路近傍を拡大して示す平面図である。なお、この第17実施形態は、第一損失要素として、溝560に充填された半波長板563および半波長板563を固定するために充填された接着剤561を用いるともに、第2損失要素として、溝560の前段および後段に導波路間隙562a、562bがそれぞれ設けられた特性補償領域を、アレイ導波路回折格子に組み込むようにしたものである。半波長板563は通過する光波の偏光状態を90度回転する機能を有しており、この特性補償領域を組み込むことで、アレイ導波路回折格子の透過特性の偏光依存性が補償される。
図44は、本発明の第18の実施形態に係る光導波路の概略構成を示す平面図、図45(a)は、図44の領域603あるいは604を拡大して示す平面図、図45(b)は、図45(a)のA15−A15で切断した断面図である。なお、この第18実施形態は、第一損失要素として、光導波路601の、光導波路602との交差を用いるともに、第2損失要素として、この交差の前段および後段に縞状コア部605を設けたものである。
本発明の第19の実施形態に係る光導波路の概略構成を示す平面図は、第18実施形態の図44と同様である。
図47(a)は、本発明の第20の実施形態に係る光導波路の構成を示す平面図、図47(b)は、図47(a)のA17−A17で切断した断面図である。なお、この第20実施形態は、第一損失要素として、溝704に充填された温度補償材料705を用いるともに、第2損失要素として、溝704の前段および後段に同様の温度補償材料が充填された溝706a、706bがそれぞれ設けられ、さらに、溝704、および、溝706a、706bで分断される光導波路703の幅を拡大するようにしたものである。
図48は、本発明の第21の実施形態に係る光導波路の構成を示す平面図である。なお、この第21実施形態は、第一損失要素として、溝804に挿入された波長選択フィルタ807および波長選択フィルタ807を固定するために充填された接着剤805を用いるともに、第2損失要素として、溝804の前段および後段にクラッド屈折率誘起領域806a、806b、806c、806dがそれぞれ設けられ、さらに溝804で分断される光導波路803の幅を拡大するようにしたものであり、所定の波長を透過するフィルタ機能を有する光導波路である。
2、12、22、32、42、52、502、607、610、702 クラッド層
3、13、23、33、43、53、64、121、133、141、151、152、241、233、251、503、601、602、703、803 光導波路
4、14、24、34、44a〜44d、54a〜54d、82a〜82e、92a〜92e、122a〜122e、142a〜142e、242、237、252a〜252n、305、418a〜418n、504、560、704、706a、706b、804 溝
5、15、25、35、45a〜45d、55a〜55d、70、83a〜83e、93a〜93e、110、123a〜123e、137、143a〜143e、238、306、419a〜419n、705 温度補償材料
6、16a、16b、26a〜26f、36a、36b、46a、46b、56a、56b、71a、71b、84a、84b、94a、94b、111a、111b、124a、124b、138a、138b、144a、144b、420a、420b、506a、506b、562a、562b 導波路間隙
33c、53c、91c、121c、141c、241c、233c、251c、503c、552c、703c、803c 幅広部
33a、33e、53a、53e、91a、91e、121a、121e、141a、141e、241a、241e、233a、233e、251a、251e、503a、503e、552a、552e、703a、703e、803a、803e 幅狭部
33b、33d、53b、53d、91b、91d、121b、121d、141b、141d、241b、241d、233b、233d、251b、251d、503b、503d、552b、552d、703b、703d、803b、803d テーパ部
62a、102a、102b、234a 入力導波路
62b、106a、106b、234b 出力導波路
63a 入力側スラブ導波路
63b 出力側スラブ導波路
65a、65b 光ファイバ
66a、66b 光ファイバコネクタ
67a、67b 光ファイバ接続部品
68 回路ケース
69、109、136、421、558 特性補償領域
81、91 光導波路群
103、105 方向性結合器
104a、104b アーム導波路
107 薄膜ヒータ
108a、108b 配線
132 半導体レーザ
134 光誘起グレーティング
135 シリコンテラス
153、154 ダミー導波路
236、251、302、412、552 アレイ導波路
235a、235b、303a、303b、413a、413b、553a、553b スラブ導波路
304a、304b、414a、414b、554a、554b 入出力導波路
414a、414b、555a、555b 光ファイバコネクタ
416a、416b、556a、556b 光ファイバ
417a、417b、557a、557b 光ファイバ接続部品
422、559 回路ケース
507、807 波長選択フィルタ
505、561、805 接着剤
563 半波長板
603、604 領域
605 縞状コア部
608 分布コア部
806a〜806d クラッド屈折率誘起領域
Claims (24)
- 光導波路と、
前記光導波路を伝搬する光の放射損失を生じさせる、前記光導波路からクラッドの一部およびコアの一部が除去された溝または前記光導波路と他の光導波路との交差である第1損失要素と、
前記第1損失要素の前段または後段の少なくとも一方の側に設けられ、前記光導波路を伝搬する光に対し、前記第1損失要素の放射損失よりも小さな放射損失を生じさせ、前記光導波路のコアの一部をクラッドで置き換えることにより構成された単一の導波路間隙である第2損失要素と
を備え、前記第1損失要素と前記第2損失要素とが、一方の損失要素を通過した光波が完全に放射に転じる前に他方の損失要素に到達できる距離に配置されていることを特徴とする光導波回路。 - 光導波路と、
前記光導波路を伝搬する光の放射損失を生じさせる、前記光導波路からクラッドの一部およびコアの一部が除去された溝または前記光導波路と他の光導波路との交差である第1損失要素と、
前記第1損失要素の前段または後段の少なくとも一方の側に設けられ、前記光導波路を伝搬する光に対し、前記第1損失要素の放射損失よりも小さな放射損失を生じさせ、前記光導波路と他の光導波路との交差である第2損失要素と
を備え、前記第1損失要素と前記第2損失要素とが、一方の損失要素を通過した光波が完全に放射に転じる前に他方の損失要素に到達できる距離に配置されていることを特徴とする光導波回路。 - 光導波路と、
前記光導波路を伝搬する光の放射損失を生じさせる、前記光導波路からクラッドの一部およびコアの一部が除去された溝または前記光導波路と他の光導波路との交差である第1損失要素と、
前記第1損失要素の前段または後段の少なくとも一方の側に設けられ、前記光導波路を伝搬する光に対し、前記第1損失要素の放射損失よりも小さな放射損失を生じさせ、前記光導波路のコアの一部を縞状にクラッドで置き換えた縞状コアである第2損失要素と
を備え、前記第1損失要素と前記第2損失要素とが、一方の損失要素を通過した光波が完全に放射に転じる前に他方の損失要素に到達できる距離に配置されていることを特徴とする光導波回路。 - 光導波路と、
前記光導波路を伝搬する光の放射損失を生じさせる、前記光導波路からクラッドの一部およびコアの一部が除去された溝または前記光導波路と他の光導波路との交差である第1損失要素と、
前記第1損失要素の前段または後段の少なくとも一方の側に設けられ、前記光導波路を伝搬する光に対し、前記第1損失要素の放射損失よりも小さな放射損失を生じさせ、前記光導波路のコアの一部を点状にクラッドで置き換えた分布コアである第2損失要素と
を備え、前記第1損失要素と前記第2損失要素とが、一方の損失要素を通過した光波が完全に放射に転じる前に他方の損失要素に到達できる距離に配置されていることを特徴とする光導波回路。 - 前記導波路は、
第1の幅および第1の厚みを有する第1光導波路と、
第2の幅および第2の厚みを有する第2光導波路と、
前記第1光導波路と前記第2光導波路との間に結合され、前記第1の幅および前記第1の厚みを前記第2の幅および前記第2の厚みに変換するテーパ部と
を含み、
前記第1及び第2損失要素は、前記第2光導波路を伝搬する光の放射損失を生じさせることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の光導波回路。 - 前記導波路は、
第1の幅および第1の厚みを有する第1光導波路と、
第2の幅および第2の厚みを有する第2光導波路と、
第3の幅および第3の厚みを有する第3光導波路と、
前記第1光導波路と前記第2光導波路との間に結合され、前記第1の幅および前記第1の厚みを前記第2の幅および前記第2の厚みに変換する第1テーパ部と、
前記第2光導波路と前記第3光導波路との間に結合され、前記第2の幅および前記第2の厚みを前記第3の幅および前記第3の厚みに変換する第2テーパ部と、
を含み、
前記第1及び第2の損失要素は、前記第2光導波路を伝搬する光の放射損失を生じさせることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の光導波回路。 - 前記光導波路は、石英系ガラスからなるクラッドおよびコアを備えることを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の光導波回路。
- 前記溝には、前記コアとは異なる材料が充填されていることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の光導波回路。
- 前記溝に充填された材料は、前記光導波路の実効屈折率の温度係数と異なる符合の屈折率温度係数を有することを特徴とする請求項8に記載の光導波回路。
- 前記溝には、所定の機能を有する素子が挿入されていることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の光導波回路。
- 前記素子は、前記溝中に充填された接着剤によって固定されていることを特徴とする請求項10に記載の光導波回路。
- 前記素子は、半波長板であることを特徴とする請求項10または11に記載の光導波回路。
- 前記素子は、所定の波長の光のみを透過する波長選択フィルタであることを特徴とする請求項10または11に記載の光導波回路。
- 前記光導波路は複数のアレイ導波路を備え、
前記溝は前記アレイ導波路を横切って形成され、
前記アレイ導波路の両端にそれぞれ接続されたスラブ導波路をさらに備えていることを特徴とする請求項7乃至13の何れか1項に記載の光導波回路。 - 前記光導波路は長さの異なる2本のアーム導波路を備え、
前記溝は少なくとも一方のアーム導波路を横切って形成され、
前記アーム導波路の両端にそれぞれ接続された方向性結合器をさらに備えていることを特徴とする請求項7乃至13の何れか1項に記載の光導波回路。 - 前記光導波路に設けられた光誘起グレーティングと、
前記光導波路の端部に搭載された半導体レーザダイオードと
を備え、
前記溝は前記光誘起グレーティングと前記半導体レーザダイオードとの間の光導波路を横切って形成されていることを特徴とする請求項7乃至13の何れか1項に記載の光導波回路。 - 前記光導波路はスラブ導波路であることを特徴とする請求項1、3、4の何れか1項に記載の光導波回路。
- 前記スラブ導波路は、石英系ガラスからなるクラッドおよびコアを備えていることを特徴とする請求項17に記載の光導波回路。
- 前記溝中には、前記コアとは異なる材料の物質が充填されていることを特徴とする請求項17または18に記載の光導波回路。
- 前記溝中に充填される物質の屈折率温度依存性は、前記スラブ導波路の実効屈折率の温度係数とは反対符号を有することを特徴とする請求項19に記載の光導波回路。
- 前記溝には、所定の機能を有する素子が挿入されていることを特徴とする請求項17または18に記載の光導波回路。
- 前記素子は、前記溝中に充填された接着剤によって固定されていることを特徴とする請求項21に記載の光導波回路。
- 前記素子は、半波長板であることを特徴とする請求項21または22に記載の光導波回路。
- 前記光導波路回路は第1および第2の2つのスラブ導波路を有し、前記第1および第2のスラブ導波路の一端同士を接続するアレイ導波路と、当該第1および第2のスラブ導波路の他端のそれぞれに接続された入出力導波路とを備え、前記溝が前記2つのスラブ導波路のうちの少なくとも一方を横切るように形成されていることを特徴とする請求項18乃至23の何れか1項に記載の光導波回路。
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