JP4021191B2 - 輪帯状ndフィルター及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【技術分野】
本発明は、中心部程光透過率を小さくした輪帯状NDフィルター及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来技術およびその問題点】
例えば、CCTV用レンズでは、機械的な小絞(大F値)の限界以上に光量を減少させ、見かけ上大きなF値を得るため、輪帯状のNDフィルター10が用いられている。図10、図11はその概念図であり、透明基板11の中心部上に、段階的に径の小さくなる円形NDフィルター膜(光吸収膜)12、13、14を、蒸着により同心状に積層形成してなっている。透明基板11の厚さは、通常0.5mm前後、各円形NDフィルター膜12〜14の厚さは、10分の数μmオーダである。この輪帯状NDフィルター10によると、機械絞が小絞になる程、透過光量が減少するため、見かけ上の大F値を得ることができる。
【0003】
ところが、この輪帯状NDフィルター10を有するレンズにおいて、機械絞の開放時と最小絞時とで像性能を比較すると、僅かながらピント移動が生じ、像性能が悪化することが明らかとなった。
【0004】
この問題点を解決するため、本出願人は既に、微視的に階段状をなす同心状の積層円形NDフィルターの外囲の空間を、NDフィルター膜と似た屈折率の透明接着剤で埋めると、ピント移動が改善されることを見出し、特許出願した(特開平11‐23810号公報)。同心状に積層形成される円形NDフィルターは上述のようにμmオーダーのきわめて薄いものであるが、輪帯状NDフィルター全体として見たときには、中心部のみに積層厚が段階的に変化する屈折率が1.3〜2.6程度のNDフィルター膜が存在するから、これがレンズ作用をしてピント移動の原因となる。NDフィルター膜の外囲を透明接着剤で埋めると、このレンズ作用をなくし、ピント移動を防止できるのである。
【0005】
積層NDフィルターの外囲を透明接着剤で埋めるには、積層NDフィルターを二枚の透明基板で挟むのが実際的である。ところが、この構造において新たな問題が指摘されるに至った。すなわち、図12に示すように、積層NDフィルター10は、一方の透明基板11の中心部にNDフィルター膜12、13、14を順次蒸着形成し、その後、これらのNDフィルター膜の外囲に接着剤16を位置させて、他方の透明基板15を接着する。このとき、従来は単に透明基板11を水平面上に置いて自重により透明基板15を重ねていた。しかし、NDフィルター膜12〜14は透明基板11の中心部のみに存在しているため、図に誇張して示すように、透明基板15が透明基板11に対して傾斜してしまい、平行度が損なわれる場合があることが判明した。両円形基板11と15の平行度が損なわれると、明らかに光学性能が悪化する。
【0006】
【発明の目的】
本発明は、従って、透明基板の中心部に、微視的に階段状をなす積層円形NDフィルター膜を同心状に積層形成し、この積層円形NDフィルター膜の外囲に位置させた透明接着剤を介して別の透明基板を接着してなる輪帯状NDフィルターにおいて、一対の円形透明基板の平行度を容易に保証できる輪帯状NDフィルター及びその製造方法を得ることを目的とする。
【0007】
【発明の概要】
本発明は、透明基板の中心部に、微視的に階段状をなす積層円形NDフィルター膜を同心状に積層形成し、この積層円形NDフィルター膜の外囲に位置させた透明接着剤を介して別の透明基板を接着してなる輪帯状NDフィルターにおいて、上記透明基板の周縁部が、上記積層円形NDフィルター膜と同心の円状をなし、上記一対の透明基板の間の周縁部に位置させて、中心部の積層円形NDフィルター膜の積層厚と同等以上の積層厚を有し、かつ、上記円状の周縁部の周方向に並ぶ互いに不連続な3箇所以上の不連続スペーサ膜を形成したことを特徴としている。
このように周縁部に不連続スペーサ膜を形成すれば、一対の透明基板の平行性を確保することができ、光学性能の悪化を防ぐことができる。
【0008】
本発明は、透明基板の中心部に、微視的に階段状をなす積層円形NDフィルター膜を同心状に積層形成するステップ;上記透明基板における上記積層円形NDフィルター膜と同心の円状をなす周縁部に、上記積層円形NDフィルター膜と同等以上の厚さを有し、かつ、上記円状の周縁部の周方向に並ぶ互いに不連続な3箇所以上の不連続スペーサ膜を形成するステップ;及び上記積層円形NDフィルター膜と不連続スペーサ膜との間に接着剤を位置させて、上記透明基板上に別の円形透明基板を接着するステップ;を有することを特徴とする。
【0009】
積層円形NDフィルター膜を形成するステップと、周縁スペーサ膜を形成するステップとは、別々の蒸着ステップとすることも可能であるが、同一の蒸着ステップで同一の材料を用いて実行するのが実際的である。
【0010】
不連続スペーサ膜として構成する場合には、積層円形NDフィルター膜を順次積層形成するとき、各層が少なくとも一部がオーバラップする態様で形成すればよい。また、周縁スペーサ膜は、積層円形NDフィルター膜と同時に同一の材料により形成するのが実際的である。
【0011】
積層円形NDフィルター膜及び周縁スペーサ膜と透明接着剤は屈折率がほぼ等しい材料を選択することが好ましい。NDフィルター膜の屈折率が通常1.3〜2.6であることを考慮すると、透明接着剤も、1.3〜2.6の屈折率のものを用いることが好ましい。
【0012】
透明接着剤は、例えば、同心状の積層円形NDフィルターの外囲にスピンコート法によって形成することができる。
【0013】
本発明の輪帯状NDフィルターは、機械的開口径を開放状態から最小絞状態の間で変化させる機械絞機構と併用して効果がある。
【0014】
【発明の実施形態】
図1、図2は、本発明による輪帯状NDフィルター100の第一の実施形態を示す。図10、図11の従来例と同一の構成要素には同一の符号を付すと、円形をなす透明基板11上には、その中心部にNDフィルター膜(光吸収膜)12、13、14が蒸着形成され、周縁部に、円形NDフィルター膜12〜14と同心の全環状をなす環状スペーサ膜22、23、24が蒸着形成されている。これら全環状周縁スペーサ膜22〜24は、NDフィルター膜12〜14の蒸着形成工程と同一の工程において形成され、従って、その各膜厚及び合計膜厚は等しい。この円形NDフィルター膜12〜14と、全環状周縁スペーサ膜22〜24との間の空間には、透明接着剤16が充填され、別の円形透明基板15が接着されている。
【0015】
以上の輪帯状NDフィルター100は、例えば次の工程によって製造される。
透明基板11上に、円形NDフィルター膜12〜14と全環状周縁スペーサ膜22〜24とを同時に蒸着によって形成する工程;
円形NDフィルター膜12〜14と、環状周縁スペーサ膜22〜24との間の空間に、例えばスピンコート法により正しく秤量した透明接着剤16を充填する工程;及び
透明接着剤16上に透明基板15を接着する工程;
である。
【0016】
このように、透明基板11の周縁に環状周縁スペーサ膜22〜24が存在すると、透明基板15が透明基板11に対して傾く(平行度が損なわれる)ことがなく、光学性能が悪化することがない。環状周縁スペーサ膜22〜24は、NDフィルターとして用いるとき、機械絞機構が最大開口(開放状態)に設定されるときにおいても光束が通過しない部分(非使用部分)に形成される。別言すると、機械絞機構の最大開口(開放状態)では、全環状周縁スペーサ膜22〜24のすぐ内側までが輪帯状NDフィルターとして使用される。
【0017】
図3、図4は、本発明の別の実施形態を示す。この実施形態は、全環状環状スペーサ膜22〜24に代えて、不連続スペーサ膜22A、23A、24Aを形成した実施形態である。透明基板15の平面は、3点で決定されるから、不連続スペーサ膜22A〜24Aは、3箇所以上に、好ましくは等角度間隔で形成するのがよい。このように不連続スペーサ膜22A〜24Aとすると、透明接着剤16が余分であったとき、余分な透明接着剤16を隣り合う不連続スペーサ膜22A〜24Aの間から外部に排出することができる。
【0018】
図5、図6は、本発明のさらに別の実施形態を示す。この実施形態では、不連続スペーサ膜22B、23B、24Bを積層形成する際、蒸着マスクの位置ずれ(回転位相ずれ)を考慮して、周方向長さを十分確保し、各層の少なくとも一部を確実にオーバラップさせている。図5にダブルハッチングを付した部分が、不連続スペーサ膜22B〜24Bのオーバラップ部分である。なお、不連続スペーサ膜を形成する際の蒸着マスクの位置ずれ(回転位相ずれ)を防止するために、透明基板11に、図9に示すような位相合わせマーク(凹部)11Aを形成し、この位相合わせマーク11Aを利用して蒸着マスクとの位相合わせを行うことができる。
【0019】
以上の各実施形態ではいずれも、周縁スペーサ膜22〜24(22A〜24A)を円形NDフィルター膜12〜14の蒸着と同時に形成しており、従って周縁スペーサ膜と円形NDフィルター膜12〜14の膜厚とは等しい。これに対し、図7、図8に示す実施形態は、全環状周縁スペーサ膜25を、円形NDフィルター膜12〜14とは独立した単層として、かつその膜厚を円形NDフィルター膜12〜14の合計膜厚より大きくした実施形態である。この実施形態によっても透明基板11と透明基板15の平行度を保持することができる。この実施形態では、円形NDフィルター膜12〜14の上に微小厚の透明接着剤16が存在することになり、僅かにしろ、光路長を変化させるから、円形NDフィルター膜12〜14の厚さはできるだけ小さいこと(つまり、円形NDフィルター膜12〜14の合計膜厚と単層周縁スペーサ膜25の膜厚差ができるだけ小さいこと)が望ましい。全環状周縁スペーサ膜25を不連続スペーサ膜としてもよいことは勿論である。
【0020】
透明接着剤16の屈折率は、理想的にはNDフィルター膜(光吸収膜)円形NDフィルター膜12〜14の屈折率と同一であることが好ましいが、階段状の空間が似た屈折率の物質(透明接着剤16)で満たされることにより、機械絞の開放状態と最小絞状態での光路長の差は大きなものではなくなる。以上のいずれの実施形態によっても、問題のレンズ作用は小さくなり、ピント移動は無視できるレベルになる。
【0021】
【発明の効果】
本発明によれば、透明基板の中心部に、微視的に階段状をなす積層円形NDフィルター膜を同心状に積層形成し、この積層円形NDフィルター膜の外囲に位置させた透明接着剤を介して別の透明基板を接着してなる輪帯状NDフィルターにおいて、一対の円形透明基板の平行度を容易に保証し、機械絞の開放状態と最小絞状態でのピント移動を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に輪帯状NDフィルターの一実施形態を示す平面図である。
【図2】図1のII−II線に沿う模式断面図である。
【図3】本発明に輪帯状NDフィルターの一実施形態を示す平面図である。
【図4】図3のIV−IV線に沿う模式断面図である。
【図5】本発明に輪帯状NDフィルターの一実施形態を示す平面図である。
【図6】図5のVI−VI線に沿う模式断面図である。
【図7】本発明に輪帯状NDフィルターの一実施形態を示す平面図である。
【図8】図7のVIII−VIII線に沿う模式断面図である。
【図9】同正面図である。
【図10】従来の輪帯状NDフィルターの一例を示す平面図である。
【図11】図10のXI−XI線に沿う模式断面図である。
【図12】別の従来例を示す模式断面図である。
【符号の説明】
100 輪帯状NDフィルター
11 15 透明基板
12 13 14 円形NDフィルター膜
16 透明接着剤
22 23 24 全環状周縁スペーサ膜
22A 23A 24A 不連続周縁スペーサ膜
22B 23B 24B 不連続周縁スペーサ膜
25 単層周縁スペーサ膜
Claims (8)
- 透明基板の中心部に、微視的に階段状をなす積層円形NDフィルター膜を同心状に積層形成し、この積層円形NDフィルター膜の外囲に位置させた透明接着剤を介して別の透明基板を接着してなる輪帯状NDフィルターにおいて、
上記透明基板の周縁部が、上記積層円形NDフィルター膜と同心の円状をなし、
上記一対の透明基板の間の周縁部に位置させて、中心部の積層円形NDフィルター膜の積層厚と同等以上の積層厚を有し、かつ、上記円状の周縁部の周方向に並ぶ互いに不連続な3箇所以上の不連続スペーサ膜を形成したことを特徴とする輪帯状NDフィルター。 - 請求項1記載の輪帯状NDフィルターにおいて、上記不連続スペーサ膜は、積層円形NDフィルター膜を順次積層形成するとき、各層が少なくとも一部がオーバラップする態様で形成されている輪帯状NDフィルター。
- 請求項1または2記載の輪帯状NDフィルターにおいて、上記不連続スペーサ膜は、積層円形NDフィルター膜と同時に同一の材料により形成されている輪帯状NDフィルター。
- 請求項1ないし3のいずれか1項記載の輪帯状NDフィルターにおいて、積層円形NDフィルター膜及び不連続スペーサ膜と透明接着剤は屈折率がほぼ等しい材料が選択されている輪帯状NDフィルター。
- 透明基板の中心部に、微視的に階段状をなす積層円形NDフィルター膜を同心状に積層形成するステップ;
上記透明基板における上記積層円形NDフィルター膜と同心の円状をなす周縁部に、上記積層円形NDフィルター膜と同等以上の厚さを有し、かつ、上記円状の周縁部の周方向に並ぶ互いに不連続な3箇所以上の不連続スペーサ膜を形成するステップ;及び
上記積層円形NDフィルター膜と不連続スペーサ膜との間に接着剤を位置させて、上記透明基板上に別の円形透明基板を接着するステップ;
を有することを特徴とする輪帯状NDフィルターの製造方法。 - 請求項5記載の輪帯状NDフィルターの製造方法において、上記積層円形NDフィルター膜を形成するステップと、不連続スペーサ膜を形成するステップとは、同一の蒸着工程で同一の材料を用いて実行される輪帯状NDフィルターの製造方法。
- 請求項5または6記載の輪帯状NDフィルターの製造方法において、上記不連続スペーサ膜は、積層円形NDフィルター膜を順次積層形成するとき、各層の少なくとも一部がオーバラップする態様で形成されている輪帯状NDフィルターの製造方法。
- 請求項5ないし7のいずれか1項記載のNDフィルターの製造方法において、透明接着剤は、同心状の積層円形NDフィルターの外囲にスピンコート法によって形成されている輪帯状NDフィルターの製造方法。
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