JP2003279726A - 赤外線カットフィルタ付き光学ローパスフィルタ - Google Patents
赤外線カットフィルタ付き光学ローパスフィルタInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 反りが抑制されかつ所望の赤外線カット特性
が得られた状態の赤外線カットフィルタが形成された光
学ローパスフィルタを提供する。 【解決手段】 基板１０１の一方に、二酸化シリコン
（ＳｉＯ2）からなる低屈折率層１２２と、五酸化ニオ
ブ（Ｎｂ2Ｏ5）からなる高屈折率層１２３とを交互に２
０層積層した入射側多層膜１０２を備え、基板１０１の
他方に、二酸化シリコン（ＳｉＯ2）からなる低屈折率
層１３２と、五酸化ニオブ（Ｎｂ2Ｏ5）からなる高屈折
率層１３３とを交互に１９層積層した出射側多層膜１０
３を備える。
が得られた状態の赤外線カットフィルタが形成された光
学ローパスフィルタを提供する。 【解決手段】 基板１０１の一方に、二酸化シリコン
（ＳｉＯ2）からなる低屈折率層１２２と、五酸化ニオ
ブ（Ｎｂ2Ｏ5）からなる高屈折率層１２３とを交互に２
０層積層した入射側多層膜１０２を備え、基板１０１の
他方に、二酸化シリコン（ＳｉＯ2）からなる低屈折率
層１３２と、五酸化ニオブ（Ｎｂ2Ｏ5）からなる高屈折
率層１３３とを交互に１９層積層した出射側多層膜１０
３を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＣＤイメージセ
ンサやＣＭＯＳイメージセンサなどの固体撮像素子を用
いた撮像装置に用いられる赤外線カットフィルタ付き光
学ローパスフィルタに関する。
ンサやＣＭＯＳイメージセンサなどの固体撮像素子を用
いた撮像装置に用いられる赤外線カットフィルタ付き光
学ローパスフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えばＣＣＤイメージセンサでは、光の
入力量に応じて蓄電容量が変化するシリコンフォトダイ
オードからなる受光セル（画素）を、マトリクス状の複
数配列している。このような固体撮像素子で受光セルの
配列間隔に相当する空間周波数成分を有する像を撮像す
ると、得られた画素にモアレ状のノイズが発生する。ま
た、固体撮像素子は、人間には見えない赤外線まで感知
するため、一般的な撮像においては、赤外線がノイズと
なってしまう。このため、固体撮像素子を用いた撮像装
置では、固体撮像素子に光学像を結像するための光学系
の所定の箇所に、光学ローパスフィルタと赤外線カット
フィルタとを設けるようにしている。
入力量に応じて蓄電容量が変化するシリコンフォトダイ
オードからなる受光セル（画素）を、マトリクス状の複
数配列している。このような固体撮像素子で受光セルの
配列間隔に相当する空間周波数成分を有する像を撮像す
ると、得られた画素にモアレ状のノイズが発生する。ま
た、固体撮像素子は、人間には見えない赤外線まで感知
するため、一般的な撮像においては、赤外線がノイズと
なってしまう。このため、固体撮像素子を用いた撮像装
置では、固体撮像素子に光学像を結像するための光学系
の所定の箇所に、光学ローパスフィルタと赤外線カット
フィルタとを設けるようにしている。
【０００３】光学ローパスフィルタは、空間周波数の高
い成分を除去するフィルタであり、例えば、複屈折性を
もつ水晶などから構成され、光学的に入射点光を分離
し、空間周波数の高い成分の像を故意にぼかすようにし
ている。また、赤外線カットフィルタは、固体撮像素子
に入ってくる赤外光を除去するフィルタであり、厚さと
添加した成分とにより透過特性を変化させて用いるガラ
スタイプと、無機材料の多層膜をガラスなどの透明板に
形成して層数と光学膜厚とにより透過特性を変化させて
用いるコーティングタイプとがある。
い成分を除去するフィルタであり、例えば、複屈折性を
もつ水晶などから構成され、光学的に入射点光を分離
し、空間周波数の高い成分の像を故意にぼかすようにし
ている。また、赤外線カットフィルタは、固体撮像素子
に入ってくる赤外光を除去するフィルタであり、厚さと
添加した成分とにより透過特性を変化させて用いるガラ
スタイプと、無機材料の多層膜をガラスなどの透明板に
形成して層数と光学膜厚とにより透過特性を変化させて
用いるコーティングタイプとがある。
【０００４】一方、固体撮像素子を利用した撮像装置の
小型化が進行する中で、撮像装置の光学系も、小型化が
進んできている。このような中で、上述したような光学
フィルタも、より薄く小さいものが要求されるようにな
ってきている。このため、厚みがあって光学軸方向に配
置領域を必要とするガラスタイプに比較し、非常に薄く
配置領域を必要としないコーティングタイプが有望とな
ってきている。コーティングタイプであれば、前述した
光学ローパスフィルタとして用いる水晶の表面に形成し
て用いることが可能となるため、ガラスタイプを用いる
場合に比較し、光学系をより小型化することが可能とな
る。
小型化が進行する中で、撮像装置の光学系も、小型化が
進んできている。このような中で、上述したような光学
フィルタも、より薄く小さいものが要求されるようにな
ってきている。このため、厚みがあって光学軸方向に配
置領域を必要とするガラスタイプに比較し、非常に薄く
配置領域を必要としないコーティングタイプが有望とな
ってきている。コーティングタイプであれば、前述した
光学ローパスフィルタとして用いる水晶の表面に形成し
て用いることが可能となるため、ガラスタイプを用いる
場合に比較し、光学系をより小型化することが可能とな
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、近年、より
一層の小型化が要求される中で、赤外線カットフィルタ
を形成した光学ローパスフィルタの反りが問題となって
きている。従来では、光学ローパスフィルタの厚さが
０．８ｍｍ以上あり、赤外線カットフィルタとなる多層
膜が形成されたときに発生する反りが、あまり問題とは
ならなかった。しかしながら、より薄い光学ローパスフ
ィルタに赤外線カットフィルタを形成しようとすると、
赤外線カットフィルタを形成する基板となる光学ローパ
スフィルタの反りが、大きな問題となってきている。
一層の小型化が要求される中で、赤外線カットフィルタ
を形成した光学ローパスフィルタの反りが問題となって
きている。従来では、光学ローパスフィルタの厚さが
０．８ｍｍ以上あり、赤外線カットフィルタとなる多層
膜が形成されたときに発生する反りが、あまり問題とは
ならなかった。しかしながら、より薄い光学ローパスフ
ィルタに赤外線カットフィルタを形成しようとすると、
赤外線カットフィルタを形成する基板となる光学ローパ
スフィルタの反りが、大きな問題となってきている。
【０００６】上述した基板の反りは、一方の面に赤外線
カットフィルタの層を形成していたため、形成したフィ
ルタ層により応力が発生し、この結果発生していた。し
たがって、単純には、基板の両面に赤外線カットフィル
タ層を形成することで、基板の反りの問題は解消するこ
とができる。しかしながら、水晶基板からなる光学ロー
パスフィルタの両面に単純に赤外線カットフィルタ層を
形成しても、赤外光の除去効果が所望の通りに得られな
いと言う問題があった。
カットフィルタの層を形成していたため、形成したフィ
ルタ層により応力が発生し、この結果発生していた。し
たがって、単純には、基板の両面に赤外線カットフィル
タ層を形成することで、基板の反りの問題は解消するこ
とができる。しかしながら、水晶基板からなる光学ロー
パスフィルタの両面に単純に赤外線カットフィルタ層を
形成しても、赤外光の除去効果が所望の通りに得られな
いと言う問題があった。
【０００７】本発明は、以上のような問題点を解消する
ためになされたものであり、反りが抑制されかつ所望の
赤外線カット特性が得られた状態の赤外線カットフィル
タが形成された光学ローパスフィルタを提供することを
目的とする。
ためになされたものであり、反りが抑制されかつ所望の
赤外線カット特性が得られた状態の赤外線カットフィル
タが形成された光学ローパスフィルタを提供することを
目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係る赤外線カッ
トフィルタ付き光学ローパスフィルタは、複屈折特性を
もつ結晶からなる透明な基板と、基板の一方の面に形成
された第１の多層膜と、基板の他方の面に形成された第
２の多層膜とから構成され、第１の多層膜は、高屈折材
料からなる透明薄膜と低屈折率材料からなる透明薄膜と
が交互に例えば２０層重ねられ、第２の多層膜は、低屈
折率材料からなる透明薄膜と高屈折材料からなる透明薄
膜とが交互に、例えば１９層重ねられたものである。な
お、透明薄膜の総層数は、２８層以上３９層以下であれ
ばよい。この赤外線カットフィルタ付き光学ローパスフ
ィルタは、基板の両面に形成された２つの多層膜で、所
望とする赤外線カット特性が得られる。
トフィルタ付き光学ローパスフィルタは、複屈折特性を
もつ結晶からなる透明な基板と、基板の一方の面に形成
された第１の多層膜と、基板の他方の面に形成された第
２の多層膜とから構成され、第１の多層膜は、高屈折材
料からなる透明薄膜と低屈折率材料からなる透明薄膜と
が交互に例えば２０層重ねられ、第２の多層膜は、低屈
折率材料からなる透明薄膜と高屈折材料からなる透明薄
膜とが交互に、例えば１９層重ねられたものである。な
お、透明薄膜の総層数は、２８層以上３９層以下であれ
ばよい。この赤外線カットフィルタ付き光学ローパスフ
ィルタは、基板の両面に形成された２つの多層膜で、所
望とする赤外線カット特性が得られる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図を参照して説明する。図１は、本発明の実施の形態
における赤外線カットフィルタ付き光学ローパスフィル
タの層構成を概略的に示す構成図である。この赤外線カ
ットフィルタ付き光学ローパスフィルタは、水晶からな
る基板１０１の一方の面に、総膜厚が２．４μｍ程度の
入射側多層膜（第１の多層膜）１０２が形成され、基板
１０１の他方の面に、総膜厚が２．０μｍ程度の出射側
多層膜（第２の多層膜）１０３が形成されている。
て図を参照して説明する。図１は、本発明の実施の形態
における赤外線カットフィルタ付き光学ローパスフィル
タの層構成を概略的に示す構成図である。この赤外線カ
ットフィルタ付き光学ローパスフィルタは、水晶からな
る基板１０１の一方の面に、総膜厚が２．４μｍ程度の
入射側多層膜（第１の多層膜）１０２が形成され、基板
１０１の他方の面に、総膜厚が２．０μｍ程度の出射側
多層膜（第２の多層膜）１０３が形成されている。
【００１０】基板１０１が、光学ローパスフィルタであ
り、入射側多層膜１０２と出射側多層膜１０３とにより
赤外線カットフィルタが構成され、これらで赤外線カッ
トフィルタ付き光学ローパスフィルタとなる。また、入
射側多層膜１０２の総膜厚と出射側多層膜１０３の総膜
厚との差が、０．４μｍ以下となるように形成されてお
り、入射側と出射側を入れ替えて用いるようにしてもよ
い。なお、基板１０１は、水晶に限るものではなく、ニ
オブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3），タンタル酸リチウム
（ＬｉＴａＯ3），四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）な
ど、他の複屈折特性をもつ結晶から構成するようにして
もよい。
り、入射側多層膜１０２と出射側多層膜１０３とにより
赤外線カットフィルタが構成され、これらで赤外線カッ
トフィルタ付き光学ローパスフィルタとなる。また、入
射側多層膜１０２の総膜厚と出射側多層膜１０３の総膜
厚との差が、０．４μｍ以下となるように形成されてお
り、入射側と出射側を入れ替えて用いるようにしてもよ
い。なお、基板１０１は、水晶に限るものではなく、ニ
オブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3），タンタル酸リチウム
（ＬｉＴａＯ3），四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）な
ど、他の複屈折特性をもつ結晶から構成するようにして
もよい。
【００１１】入射側多層膜１０２は、基板１０１上に、
二酸化シリコン（ＳｉＯ2）からなる低屈折率層１２２
と、五酸化ニオブ（Ｎｂ2Ｏ5）からなる高屈折率層１２
３とを交互に２０層積層したものである。したがって、
入射側多層膜１０２は、高屈折率層１２３の面で基板１
０１に当接し、また、低屈折率層１２２が最表面で露出
している。また、出射側多層膜１０３は、二酸化シリコ
ンからなる低屈折率層１３２と、五酸化ニオブからなる
高屈折率層１３３とを交互に１９層積層したものであ
る。したがって、出射側多層膜１０３は、低屈折率層１
３２の面で基板１０１に当接し、かつ、低屈折率層１３
２が最表面で露出している。
二酸化シリコン（ＳｉＯ2）からなる低屈折率層１２２
と、五酸化ニオブ（Ｎｂ2Ｏ5）からなる高屈折率層１２
３とを交互に２０層積層したものである。したがって、
入射側多層膜１０２は、高屈折率層１２３の面で基板１
０１に当接し、また、低屈折率層１２２が最表面で露出
している。また、出射側多層膜１０３は、二酸化シリコ
ンからなる低屈折率層１３２と、五酸化ニオブからなる
高屈折率層１３３とを交互に１９層積層したものであ
る。したがって、出射側多層膜１０３は、低屈折率層１
３２の面で基板１０１に当接し、かつ、低屈折率層１３
２が最表面で露出している。
【００１２】なお、上述では、高屈折材料として五酸化
ニオブを用いるようにしたが、これに限るものではな
く、二酸化チタン（ＴｉＯ2）や五酸化タンタル（Ｔａ2
Ｏ5）を用いてもよい。また、上述では、低屈折率材料
として二酸化シリコンを用いるようにしたが、フッ化マ
グネシウム（ＭｇＦ2）を用いるようにしてもよい。
ニオブを用いるようにしたが、これに限るものではな
く、二酸化チタン（ＴｉＯ2）や五酸化タンタル（Ｔａ2
Ｏ5）を用いてもよい。また、上述では、低屈折率材料
として二酸化シリコンを用いるようにしたが、フッ化マ
グネシウム（ＭｇＦ2）を用いるようにしてもよい。
【００１３】入射側多層膜１０２および出射側多層膜１
０３は、水晶からなる基板１０１に、二酸化シリコンの
薄膜と五酸化ニオブの薄膜とを、真空蒸着法により交互
に形成することで製造できる。以下、この製造方法につ
いて簡単に説明すると、まず、水晶基板を真空蒸着装置
の真空容器内に設けられたドーム状の取り付け治具に固
定する。また、ペレット状または粒状の五酸化ニオブと
二酸化シリコンの蒸着源を、上記真空容器内に設けられ
た２つの電子ビーム蒸着源容器に各々収容し、真空容器
内を真空排気する。
０３は、水晶からなる基板１０１に、二酸化シリコンの
薄膜と五酸化ニオブの薄膜とを、真空蒸着法により交互
に形成することで製造できる。以下、この製造方法につ
いて簡単に説明すると、まず、水晶基板を真空蒸着装置
の真空容器内に設けられたドーム状の取り付け治具に固
定する。また、ペレット状または粒状の五酸化ニオブと
二酸化シリコンの蒸着源を、上記真空容器内に設けられ
た２つの電子ビーム蒸着源容器に各々収容し、真空容器
内を真空排気する。
【００１４】真空容器内の圧力が１×１０-3Ｐａ以下に
なったら、電子ビーム蒸着源容器内の蒸着源に電子ビー
ムを照射し、五酸化ニオブと二酸化シリコンとを各々加
熱して蒸発させる。２つの蒸着源の直上には、各々開閉
可能なシャッターが設けられ、五酸化ニオブの蒸着時に
は、五酸化ニオブ側のシャッターを開き、かつ二酸化シ
リコン側のシャッターを閉じる。また、二酸化シリコン
の蒸着時には、二酸化シリコン側のシャッターを開き、
かつ五酸化ニオブ側のシャッターを閉じる。これらを、
所定回数交互に繰り返すことで、所望とする多層膜が形
成できる。
なったら、電子ビーム蒸着源容器内の蒸着源に電子ビー
ムを照射し、五酸化ニオブと二酸化シリコンとを各々加
熱して蒸発させる。２つの蒸着源の直上には、各々開閉
可能なシャッターが設けられ、五酸化ニオブの蒸着時に
は、五酸化ニオブ側のシャッターを開き、かつ二酸化シ
リコン側のシャッターを閉じる。また、二酸化シリコン
の蒸着時には、二酸化シリコン側のシャッターを開き、
かつ五酸化ニオブ側のシャッターを閉じる。これらを、
所定回数交互に繰り返すことで、所望とする多層膜が形
成できる。
【００１５】各薄膜の膜厚は、取り付け治具の頭部に設
けられた開口部の直上に配置された膜厚モニターによ
り、蒸着がされている間測定され、所定の膜厚で対応す
るシャッターを閉じるようにすることで制御している。
なお、必要により、蒸着終了後に、多層膜が形成された
水晶基板を所定時間加熱し、蒸着された薄膜の結晶化を
促進させ、形成した多層膜の各薄膜の特性を向上させる
ようにしてもよい。
けられた開口部の直上に配置された膜厚モニターによ
り、蒸着がされている間測定され、所定の膜厚で対応す
るシャッターを閉じるようにすることで制御している。
なお、必要により、蒸着終了後に、多層膜が形成された
水晶基板を所定時間加熱し、蒸着された薄膜の結晶化を
促進させ、形成した多層膜の各薄膜の特性を向上させる
ようにしてもよい。
【００１６】以上のことにより製造した赤外線カットフ
ィルタ付き光学ローパスフィルタの層構成例を以下の表
１，２に示す。
ィルタ付き光学ローパスフィルタの層構成例を以下の表
１，２に示す。
【００１７】
【表１】
【００１８】
【表２】
【００１９】このように各層を構成した入射側多層膜１
０２と出射側多層膜１０３とからなる赤外線カットフィ
ルタの特性は、図２に示すようになり、充分な赤外線カ
ット特性が得られている。また、水晶基板の入射側およ
び出射側の多層膜は、反射防止膜の機能もかねるので、
反射防止膜を新たに形成する必要が無くなる。
０２と出射側多層膜１０３とからなる赤外線カットフィ
ルタの特性は、図２に示すようになり、充分な赤外線カ
ット特性が得られている。また、水晶基板の入射側およ
び出射側の多層膜は、反射防止膜の機能もかねるので、
反射防止膜を新たに形成する必要が無くなる。
【００２０】また、以下の表３，４に示す層構成として
もよい。
もよい。
【００２１】
【表３】
【００２２】
【表４】
【００２３】このように各層を構成した入射側多層膜１
０２と出射側多層膜１０３とからなる赤外線カットフィ
ルタの特性は、図３に示すようになり、充分な赤外線カ
ット特性が得られている。また、この場合においても、
水晶基板の入射側および出射側の多層膜は、反射防止膜
の機能もかねるので、反射防止膜を新たに形成する必要
が無くなる。
０２と出射側多層膜１０３とからなる赤外線カットフィ
ルタの特性は、図３に示すようになり、充分な赤外線カ
ット特性が得られている。また、この場合においても、
水晶基板の入射側および出射側の多層膜は、反射防止膜
の機能もかねるので、反射防止膜を新たに形成する必要
が無くなる。
【００２４】以上説明したように、本実施の形態の赤外
線カットフィルタ付き光学ローパスフィルタは、光学ロ
ーパスフィルタとなる基板の両面に、異なる層数で各々
多層膜を形成し、これら２つの多層膜で赤外線カットフ
ィルタの機能を発現させるようにした。従来では、水晶
基板の入射側に赤外線カットフィルタを形成し、水晶基
板の出射側に反射防止膜を形成していたが、コーティン
グタイプの赤外線カットフィルタは、総膜厚が約５μｍ
程度となり、反射防止膜は０．３μｍ程度となる。この
ため、従来では、反りが発生していた。
線カットフィルタ付き光学ローパスフィルタは、光学ロ
ーパスフィルタとなる基板の両面に、異なる層数で各々
多層膜を形成し、これら２つの多層膜で赤外線カットフ
ィルタの機能を発現させるようにした。従来では、水晶
基板の入射側に赤外線カットフィルタを形成し、水晶基
板の出射側に反射防止膜を形成していたが、コーティン
グタイプの赤外線カットフィルタは、総膜厚が約５μｍ
程度となり、反射防止膜は０．３μｍ程度となる。この
ため、従来では、反りが発生していた。
【００２５】これに対し、本実施の形態の赤外線カット
フィルタ付き光学ローパスフィルタでは、水晶基板の両
側に、総膜厚がほぼ同じになるように多層膜を形成し、
これら２つの多層膜で赤外線カットフィルタの機能をも
たせるようにしたので、反りが抑制できるようになる。
低屈折率層と高屈折率層との層数を、入射側が２０層、
出射側が１９層とすることで、総膜厚がほぼ同じとな
り、かつ所望の赤外線カット特性が得られるようにな
る。
フィルタ付き光学ローパスフィルタでは、水晶基板の両
側に、総膜厚がほぼ同じになるように多層膜を形成し、
これら２つの多層膜で赤外線カットフィルタの機能をも
たせるようにしたので、反りが抑制できるようになる。
低屈折率層と高屈折率層との層数を、入射側が２０層、
出射側が１９層とすることで、総膜厚がほぼ同じとな
り、かつ所望の赤外線カット特性が得られるようにな
る。
【００２６】ところで、上述では、多層膜の層数とし
て、両面合わせた総層数が３９層の構成を示したが、こ
れに限るものではない。図４に３９層（実線）と２８層
（点線）との分光透過率特性の比較を示すように、２８
層以上であれば、薄膜材料又は成膜条件を変えることに
より透明薄膜の屈折率を変化させ、同様の分光透過特性
を得られる。ただし、層数の上限は製造のしやすさや製
造コストなど製造上の理由で決定されるが、実用上は３
９層が望ましい。
て、両面合わせた総層数が３９層の構成を示したが、こ
れに限るものではない。図４に３９層（実線）と２８層
（点線）との分光透過率特性の比較を示すように、２８
層以上であれば、薄膜材料又は成膜条件を変えることに
より透明薄膜の屈折率を変化させ、同様の分光透過特性
を得られる。ただし、層数の上限は製造のしやすさや製
造コストなど製造上の理由で決定されるが、実用上は３
９層が望ましい。
【００２７】赤外線カットフィルタは、高屈折率材料と
低屈折率材料とを交互に２８層以上重ね合わせることで
作製すれば、従来よりあるＣＣＤなどの固体撮像素子に
おいては、２８層で充分使用することが可能であった。
ところが、近年の高画素化にともない、１１００ｎｍ付
近までの赤外線カットが必要となる場合がある。このよ
うな要求に対しても、図４に示すように、少なくとも２
８層あれば、要求特性を満たした状態となっている。
低屈折率材料とを交互に２８層以上重ね合わせることで
作製すれば、従来よりあるＣＣＤなどの固体撮像素子に
おいては、２８層で充分使用することが可能であった。
ところが、近年の高画素化にともない、１１００ｎｍ付
近までの赤外線カットが必要となる場合がある。このよ
うな要求に対しても、図４に示すように、少なくとも２
８層あれば、要求特性を満たした状態となっている。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、低屈
折率層と高屈折率層との層数を、例えば第１の多層膜が
２０層、第２の多層膜が１９層とすることで、各々の総
膜厚をほぼ同じとして基板両面における応力の釣り合い
をとるとともに、所望の赤外線カット特性を得るように
した。この結果、本発明によれば、反りを抑制しかつ所
望の赤外線カット特性が得られた状態の赤外線カットフ
ィルタが形成された光学ローパスフィルタが提供できる
というすぐれた効果が得られる。
折率層と高屈折率層との層数を、例えば第１の多層膜が
２０層、第２の多層膜が１９層とすることで、各々の総
膜厚をほぼ同じとして基板両面における応力の釣り合い
をとるとともに、所望の赤外線カット特性を得るように
した。この結果、本発明によれば、反りを抑制しかつ所
望の赤外線カット特性が得られた状態の赤外線カットフ
ィルタが形成された光学ローパスフィルタが提供できる
というすぐれた効果が得られる。
【図１】 本発明の実施の形態における赤外線カットフ
ィルタ付き光学ローパスフィルタの層構成を概略的に示
す構成図である。
ィルタ付き光学ローパスフィルタの層構成を概略的に示
す構成図である。
【図２】 図１に示す赤外線カットフィルタ付き光学ロ
ーパスフィルタの、入射側多層膜１０２と出射側多層膜
１０３とからなる赤外線カットフィルタの特性を示す特
性図である。
ーパスフィルタの、入射側多層膜１０２と出射側多層膜
１０３とからなる赤外線カットフィルタの特性を示す特
性図である。
【図３】 他の形態における入射側多層膜１０２と出射
側多層膜１０３とからなる赤外線カットフィルタの特性
を示す特性図である。
側多層膜１０３とからなる赤外線カットフィルタの特性
を示す特性図である。
【図４】 ３９層（実線）と２８層（点線）との分光透
過率特性の比較を示す特性図である。
過率特性の比較を示す特性図である。
１０１…基板、１０２…入射側多層膜（第１の多層
膜）、１０３…出射側多層膜（第２の多層膜）、１２２
…低屈折率層、１２３…高屈折率層、１３２…低屈折率
層、１３３…高屈折率層。
膜）、１０３…出射側多層膜（第２の多層膜）、１２２
…低屈折率層、１２３…高屈折率層、１３２…低屈折率
層、１３３…高屈折率層。
Claims (2)
- 【請求項１】 複屈折特性をもつ結晶からなる透明な基
板と、 前記基板の一方の面に高屈折材料からなる透明薄膜と低
屈折率材料からなる透明薄膜とが交互に重ねて形成され
た第１の多層膜と、 前記基板の他方の面に高屈折材料からなる透明薄膜と低
屈折率材料からなる透明薄膜とが交互に重ねて形成され
た第２の多層膜とから構成され、 前記透明薄膜の総層数は、２８層以上３９層以下である
ことを特徴とする赤外線カットフィルタ付き光学ローパ
スフィルタ。 - 【請求項２】 請求項１記載の赤外線カットフィルタ付
き光学ローパスフィルタにおいて、 前記第１の多層膜は、高屈折材料からなる透明薄膜と低
屈折率材料からなる透明薄膜とが交互に２０層重ねら
れ、 前記第２の多層膜は、低屈折率材料からなる透明薄膜と
高屈折材料からなる透明薄膜とが交互に１９層重ねられ
たものであることを特徴とする赤外線カットフィルタ付
き光学ローパスフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002077718A JP2003279726A (ja) | 2002-03-20 | 2002-03-20 | 赤外線カットフィルタ付き光学ローパスフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002077718A JP2003279726A (ja) | 2002-03-20 | 2002-03-20 | 赤外線カットフィルタ付き光学ローパスフィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003279726A true JP2003279726A (ja) | 2003-10-02 |
| JP2003279726A5 JP2003279726A5 (ja) | 2005-09-08 |
Family
ID=29228086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002077718A Pending JP2003279726A (ja) | 2002-03-20 | 2002-03-20 | 赤外線カットフィルタ付き光学ローパスフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003279726A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2002
- 2002-03-20 JP JP2002077718A patent/JP2003279726A/ja active Pending
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