JP2000082608A - 感圧抵抗体及び感圧センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電気抵抗値の変化を高感度に行うことがで
き，かつ，再現性および耐久性に優れた感圧抵抗体を提
供すること。 【解決手段】 ショア硬度がＪＩＳ Ａ５０以上，ＪＩ
Ｓ Ｄ８０以下の範囲内にある樹脂よりなるベースポリ
マー１０と，導電材料２と，ベースポリマー１０よりも
弾性率が高く，かつ，狙い膜厚に対する平均粒径の比が
０．２５〜２の充填材３とからなり，導電材料２及び充
填材３とがベースポリマー１０内に分散され，膜状に形
成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【技術分野】本発明は，感圧センサ等の圧力変換装置に
用いられる感圧抵抗体，特にその感度および信頼性を向
上させた感圧抵抗体に関する。

【０００２】

【従来技術】従来，圧力により電気抵抗値を変化させる
圧力変換装置としては，例えば電極間に介在させた抵抗
体の体積抵抗変化を利用するもの，あるいは，電気的接
点間の表面接触抵抗変化を利用するものがある。前者
は，上記抵抗体として導電フィラーを分散させた導電性
ゴムを使用したものが代表的である。後者は，例えば特
公平５−２２３９８号公報に示されているごとく，電気
的接点の一方に，半導体物質層を設けたものがある。

【０００３】

【解決しようとする課題】しかしながら，上記従来の圧
力変換装置においては，次の問題がある。即ち，従来の
圧力変換装置は，圧力に対する感度が未だ低く，また，
検出できる圧力範囲（荷重範囲）も狭い。そのため，上
記圧力変換装置をスイッチ等に利用することは可能であ
るが，リニアに荷重を検知する感圧センサとしての使用
には十分な性能を発揮し得ない。また，導電性ゴムを用
いた上記体積抵抗変化を利用したものにおいては，再現
性および耐久性にも劣る。そこで，従来より，感圧セン
サとして利用可能な優れた圧力変換装置を構成すべく，
優れた特性を有する感圧抵抗体の開発が望まれていた。

【０００４】本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので，電気抵抗値の変化を高感度に行うことが
でき，かつ，再現性および耐久性に優れた感圧抵抗体を
提供しようとするものである。

【０００５】

【課題の解決手段】請求項１に記載の発明は，ショア硬
度がＪＩＳ Ａ５０以上，ＪＩＳ Ｄ８０以下の範囲内
にある樹脂よりなるベースポリマーと，導電材料と，前
記ベースポリマーよりも弾性率が高く，かつ，狙い膜厚
に対する平均粒径の比が０．２５〜２の充填材とからな
り，前記導電材料及び前記充填材とが上記ベースポリマ
ー内に分散され，膜状に形成されることを特徴とする感
圧抵抗体にある。

【０００６】本発明において最も注目すべきことは，ベ
ースポリマーとして上記特定の硬度を有する樹脂を用い
ていると共に，これに，上記特性を有する充填材を分散
させたことである。

【０００７】上記ベースポリマーのショア硬度がＪＩＳ
Ａ５０未満の場合には，上記感圧抵抗体の塑性変形が
生じやすくなり，十分な耐久性が得られないという問題
がある。一方，ＪＩＳ Ｄ８０を超える場合には，例え
ば上記感圧抵抗体を膜状に形成した場合にこれを屈曲さ
せることが困難であるという問題がある。

【０００８】上記充填材の特性の１つを特定するための
弾性率とは，応力と歪みの比例係数である。つまり，こ
の弾性率が大きいほど，同じ応力が作用した際の歪みが
小さいことを意味する。したがって，ベースポリマーと
充填材とに同じ応力が作用した場合には，ベースポリマ
ーの方が大きく歪む。

【０００９】また，上記充填材としては，感圧抵抗体の
狙い膜厚に対する平均粒径の比が０．２５〜２のものを
用いる。この感圧抵抗体の狙い膜厚に対する平均粒径の
比が０．２５未満の充填材を用いると，上記感圧抵抗体
の表面粗度が小さくなりすぎるとともに，後述する充填
材添加による効果が発現しないという問題がある。一
方，感圧抵抗体の狙い膜厚に対する平均粒径の比が２よ
り大きい充填材を用いると，上記感圧抵抗体の表面粗度
が大きくなりすぎて，感圧抵抗体への接触が不充分とな
るという問題がある。さらに，上記充填材はベースポリ
マー内において分散される。ここでいう分散とは，上記
充填材の凝集が少なく，単独で分散している状態を言
う。

【００１０】次に，上記請求項１に記載した感圧抵抗体
の作用効果について説明する。上記感圧抵抗体を感圧セ
ンサにおける電気的接点間に介在させた場合を考える
と，印加される荷重が低荷重域であるとき，上記接点間
において感圧抵抗体の表面での接触状態が変化して表面
接触抵抗値が変化する。

【００１１】この場合において，感圧抵抗体の狙い膜厚
に対する平均粒径の比が０．２５〜２である充填材の分
散により，感圧抵抗体の表面は，適度に表面粗度が増大
した状態となっている。このため，荷重の増加による接
触面積の急激な増加を和らげることができる。これによ
り，上記感圧抵抗体は，低荷重域において，印加荷重の
変化に対する抵抗値変化を緩やかにすることができる。

【００１２】また，高荷重域においては，上記接触面積
の増大が飽和した後に，感圧抵抗体自体の変形による内
部抵抗の変化が始まる。このときの内部抵抗の変化を，
上記充填材の存在によって大きくすることができる。す
なわち，充填材の弾性率は，ベースポリマーのそれより
も高いので，感圧抵抗体の変形は，充填材の周囲に集中
した状態で生じる。これにより，充填材の周囲に位置す
る多数の導電材料は，荷重の変化に応じて互いの接触状
態に大きな変化を生じる。この結果，ベースポリマー中
に分散する導電材料による導電ネットワーク状態が変化
し，抵抗値が減少する。それ故，上記感圧抵抗体は，高
荷重域においても，荷重変化に対する電気抵抗変化の感
度を高感度にすることができる。

【００１３】上記のように，感圧抵抗体は，低荷重域か
ら高荷重域に渡って，荷重の変化に対する電気抵抗変化
の感度を高感度に維持することができ，かつ，その再現
性を得ることができる。

【００１４】次に，請求項２に記載のように，前記膜状
に形成される感圧抵抗体の表面粗度は，Ｒｚ５〜２０μ
ｍの範囲内の値であることが好ましい。これにより，低
荷重域における荷重の変化に対する電気抵抗変化の感度
を実用レベルに維持することができる。

【００１５】また，請求項３に記載のように，前記ベー
スポリマーはポリエステル樹脂あるいはエポキシ樹脂の
いずれかであることが好ましい。この場合には，上記ベ
ースポリマーのショア硬度の範囲を容易に確保すること
ができる。そして，上述した硬度を有するポリエステル
樹脂やエポキシ樹脂のような熱硬化性合成樹脂を用いる
ことにより，塑性変形しにくく，優れた耐久性を有する
感圧抵抗体を得ることができる。

【００１６】また，請求項４に記載のように，前記導電
部材としては，カーボンブラックを用いることができ
る。また，請求項５に記載のように，前記カーボンブラ
ックはアセチレンブラックあるいはファーネスブラック
等の導電性カーボンを用いることができる。

【００１７】また，請求項６に記載のように，前記導電
部材の平均粒径は，２０〜１００ｎｍであることが好ま
しい。導電部材の平均粒径が２０ｎｍ未満の場合には，
導電性のぱらつきが大きいという問題が生ずるおそれが
あり，一方，１００ｎｍを超える場合には，感圧抵抗体
の膜がもろくなるおそれが生じる。

【００１８】また，請求項７に記載するように，前記充
填材としては，球状シリコシ樹脂を用いることができ
る。球状シリコン樹脂は，硬化したシリコン樹脂の塊を
微粒子化処理することにより得ることができる。

【００１９】また，請求項８に記載のように，前記充填
材の添加量は，５〜４０重量％であることが好ましい。
上記充填材の添加重が５重量％未満の場合には，上記充
填材添加の効果が十分に発現しないとの問題がある。一
方，充填材の添加重が４０重量％を超える場合には，上
記感圧抵抗体への接触が不充分となり，良好な感圧特性
が得られないという問題が生じる。

【００２０】次に，請求項９に記載の発明は，請求項１
〜８のいずれか１項に記載の感圧抵抗体を所定のギャッ
プを介して対向配置するとともに，前記対向配置された
感圧抵抗体を両側から挟むように配置された一対の電極
と，前記一対の電極を両側から挟むように配置されたフ
ィルムとからなることを特徴とする感圧センサにある。

【００２１】また，請求項１０に記載の発明は，第１の
フィルム上に形成された請求項１〜８のいずれか１項に
記載の感圧抵抗体と，前記感圧抵抗体と所定のギャップ
を介して配置される複数の電極と，前記複数の電極を支
持する第２のフィルムとからなることを特徴とする感圧
センサにある。

【００２２】また，請求項１１に記載の発明は，所定の
ギャップを介して配置された一対の感圧抵抗体と，前記
対向配置された一対の感圧抵抗体を両側から挟むように
配置された一対の電極と，前記一対の電極を両側から挟
むように配置されたフィルムとからなり，前記フィルム
に印加される荷重が低荷重範囲にあるとき，その印加荷
重の増加に応じて一対の感圧抵抗体の接触面積が徐々に
増加し，前記フィルムに印加される荷重が高荷重範囲と
なり，前記一対の感圧抵抗体の接触面積の増加が飽和し
た後には，印加荷重の増加に応じて前記一対の感圧抵抗
体自体の変形により内部抵抗を減少させるように構成さ
れることを特徴とする感圧センサにある。

【００２３】また，請求項１２に記載の発明は，第１の
フィルム上に形成された感圧抵抗体と，前記感圧抵抗体
と所定のギャップを介して配置される少なくとも２個の
電極と，前記複数の電極を支持する第２のフィルムとか
らなり，前記第１及び第２のフィルムの少なくとも一方
に印加される荷重が低荷重範囲にあるとき，その印加荷
重の増加に応じて前記２個の電極と感圧抵抗体との接触
面積が徐々に増加し，前記第１及び第２のフィルムの少
なくとも一方に印加される荷重が高荷重範囲となり，前
記２個の電極と感圧抵抗体との接触面積の増加が飽和し
た後には，印加荷重の増加に応じて前記感圧抵抗体自体
の変形により内部抵抗を減少させるように構成されるこ
とを特徴とする感圧センサにある。

【００２４】そして，上記請求項９から請求項１２に記
載した感圧センサを構成することにより，低荷重域から
高荷重域に渡って，荷重の変化に対する電気抵抗変化の
感度を高感度に維持することが可能な感圧センサを得る
ことができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】実施形態例１ 本発明の実施形態例にかかる感圧抵抗体につき，図１〜
図３を用いて説明する。本例の感圧抵抗体１は，図１に
示すごとく，ショア硬度がＪＩＳ Ａ５０以上，ＪＩＳ
Ｄ８０以下の範囲内にある熱硬化性の合成樹脂よりな
るベースポリマー１０と，カーボンブラックよりなる導
電材料２と，上記ベースポリマー１０よりも弾性率が高
くかつ感圧抵抗体１の狙い膜厚に対する平均粒径の比が
０．２５〜２である球状シリコン樹脂よりなる充填材３
とからなる。かつ，該充填材３は上記ベースポリマー１
０内に均一に分散している。

【００２６】この感圧抵抗体１の作製は次のように行っ
た。まず，ベースポリマー１０としては，硬化後のショ
ア硬度がＪＩＳ Ａ６０となるポリエステル樹脂を準備
した。また，導電材料２としてのアセチレンブラック
と，充填材３としての感圧抵抗体１の狙い膜厚に対する
平均粒径の比が１．５の球状シリコン樹脂を準備した。
充填剤３は，硬化したシリコン樹脂の塊を微粒子化する
ことにより得たものである。

【００２７】次に，得られる感圧抵抗体１における配合
率が，ベースポリマー１０が８０重量部，導電材料２が
２０重量部，充填材３が１０重量部となるように，これ
ら原料を配合する。このとき，溶剤，界面活性剤等を適
量添加することもできる。次いで，これらの原料を３本
ロールミル等により分散処理を行い，ペースト状の感圧
抵抗体（以下，感圧抵抗ペーストという）を作製する。

【００２８】この感圧抵抗ペーストにおいては，上記球
状シリコン樹脂よりなる充填材３が均一に分散した状態
となる。これは，上記のごとく，球状シリコン樹脂を上
記微粒子化して得たことによって，球状単分散の微粉末
とすることができ，凝集を少なくできるためであると考
えられる。

【００２９】次いで，ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレ
ート），ＰＥＩ（ポリエーテルイミド）等よりなるフィ
ルム５を準備し，このフィルム上に上記感圧抵抗ペース
トを所望のパターンとなるようスクリーン印刷法等によ
って配設する。次いで，熱風循環路において，温度１２
０〜１５０℃に１〜２時間保持することにより，図１に
示すごとき感圧抵抗体１が得られた。なお，このときの
感圧抵抗体１の表面粗度は，感圧抵抗体１の狙い膜厚に
対する平均粒径の比が１．５の球状シリコン樹脂を分散
させたことにより，表面粗度として好ましい範囲である
Ｒｚ５〜２０μｍに含まれている。

【００３０】次に，本例の作用効果につき説明する。本
例の感圧抵抗体１においては，図２に示すごとく，上記
特定のサイズの球状シリコン樹脂よりなる充填材３をベ
ースポリマー内に略均一に分散させてあるので，感圧抵
抗体１の表面は，適度に表面粗度が増大した状態とな
る。

【００３１】ここで，図２に示すごとく，２枚の感圧抵
抗体を感圧センサにおける電気的接点間に介在させた場
合を考える。この場合において，荷重を加えていくと，
上記適度な面粗度の影響により，凸部から徐々に接触面
積が増加するので接触面積の急激な増加が和らげるられ
る。それ故，感圧抵抗体１においては，荷重に対する表
面接触抵抗値の変化が穏やかとなり，低荷重域における
荷重に対する電気抵抗値変化の感度が実用的な状態に維
持される。

【００３２】また，高荷重域においては，上記接触面積
の増大が飽和した後に，感圧抵抗体自体の変形による内
部抵抗の変化が始まる。このとき，充填材３は球状シリ
コン樹脂よりなり，その弾性率はベースポリマー１０よ
りも高い。そのため，図３（ａ）（ｂ）に示すごとく，
感圧抵抗体１の変形は，充填材３自体はあまり変形せ
ず，その周囲に集中した状態で生じる。

【００３３】これにより，図３（ｂ）に示すごとく，充
填材３の周囲に位置するカーボンブラックよりなる多数
の導電材料２は，荷重の変化に応じて，互いの接触状態
に大きな変化を起こし，例えば新しい導電ネットワーク
ｅ（図３（ｂ））を形成する。それ故，感圧抵抗体１
は，高荷重域においても，荷重の変化に対する電気抵抗
変化を感度の高いものとすることができる。

【００３４】このように，本例の感圧抵抗体１は，低荷
重域から高荷重域まで高感度の特性を維持することがで
き，かつ，その再現性を得ることができる。また，感圧
抵抗体１は，ベースポリマー１０として上記硬度特性を
有する熱硬化性のポリエステル樹脂を用いていので，塑
性変形しにくく，優れた耐久性を得ることができる。

【００３５】実施形態例２ 本例においては，実施形態例１の感圧抵抗体１（試料Ｅ
１）を用いて感圧センサ７を作製し，その性能を評価し
た。また，本例においては，各成分の配合料，硬度等を
変更した感圧抵抗体を複数準備し（試料Ｅ２〜Ｅ５，Ｃ
１，Ｃ２），同様に評価した。

【００３６】準備した各感圧抵抗体の成分配合料等を表
１に示す。試料Ｅ１は，上記のごとく実施形態例１にお
ける感圧抵抗体１である。試料Ｅ２は，試料Ｅ１の充填
材３の配合量を１０重量部増やしたものである。試料Ｅ
３は，試料Ｅ２における充填材３のサイズを感圧抵抗体
１の狙い膜厚に対する平均粒径の比が０．６となるよう
にしたものである。

【００３７】試料Ｅ４は，試料Ｅ１におけるベースポリ
マー１０をショア硬度がＪＩＳ Ａ８０のエポキシ樹脂
に変更すると共にその配合量を８５重量部まで増加し，
さらにアセチレンブラックの配合量を１５重量部まで減
少させたものである。試料Ｅ５は，試料Ｅ１におけるベ
ースポリマー１０をショア硬度がＪＩＳ Ｄ７０のエポ
キシ樹脂に変更したものである。上記試料Ｅ１〜Ｅ５は
いずれも本発明品であり，上記特徴以外は試料Ｅ１と同
様である。

【００３８】試料Ｃ１は，試料Ｅ１における充填材３の
配合量を０とした比較例である。試料Ｃ２は，一般に感
圧抵抗体として販売されている市販品（商品名：ＦＳＲ
ＰＡＲＴ＃３０２（インターリンク社製））の比較品で
ある。

【００３９】次に，上記各感圧抵抗体（Ｅ１〜Ｅ５，Ｃ
１，Ｃ２）を用いて感圧センサ７を作製した。感圧セン
サ７は，図４に示すごとく，ＰＥＴ，ＰＥＩ等よりなる
ベースフィルム７１上にレジンＡｇよりなる導体部（電
極）７２を設け，さらに導体部７２上に感圧抵抗体１を
設けた。そして，２組の感圧抵抗体１をスペーサ７５を
介して対面させることにより，空間層７０を有する対面
電極型の感圧センサ７を構成した。なお，各感圧抵抗体
１の配設方法は，実施形態例１と同様である。

【００４０】次に，上記各感圧センサ７を用いて感圧感
度を測定した。感圧感度は，感圧センサ７７に矢印Ａ
（図４）方向の荷重を加え，その荷重に対する電気抵抗
値の変化の傾きにより求めた。また，電気抵抗値の測定
は，図４に示すごとく，各導体部７２のリード部Ｒ１，
Ｒ２より行った。

【００４１】測定結果を表１に示す。表１より知られる
ごとく，本発明品（Ｅ１〜Ｅ５）は，いずれも比較品
（Ｃ１，Ｃ２）よりも優れた感圧感度特性を示した。こ
の結果から，本発明の構成が感圧抵抗体の特性向上に非
常に有効であることが分かる。

【００４２】

【表１】

【００４３】なお，本例においては，上記のごとく対面
電極側の感圧センサ７（図４）を用いたが，これに代え
て図５に示すごときショーティングバー型感圧センサ８
を用いた場合にも同様の作用効果が得られる。このショ
ーティングバー型感圧センサ８は，同図に示すごとく，
ベースフィルム８１上に直接感圧抵抗体１を設け，これ
に対向して，ベースフィルム８１上に導体部（電極）８
２を分割配置したものである。なお，符号８５はスペー
サである。

【００４４】このショーティングバー型感圧センサにお
いては，一対の電極がくし歯形状に配置されており，荷
重を受けることによって，その一対の電極と感圧抵抗体
１との接触面横が増加するものである。上述の実施形態
例１，２では，充填材３として球状シリコン樹脂を用い
たが，これに限らず，上述した特性を有するものであれ
ば他の材料のものを用いても良い。例えば，熱膨張カプ
セル（マイクロバルーン）や，シリコン樹脂以外の樹脂
を使用しても良い。

【００４５】また，上述の実施形態例においては，感圧
抵抗体１の膜厚は，感圧センサ７の厚みを薄く形成する
ため，５〜２０μｍの範囲の任意の値を狙い膜厚とす
る。そして，感圧抵抗体１に分散される充填材３の平均
粒径は，その狙い膜厚に応じて５〜４０μｍの範囲に設
定することにより，感圧抵抗体１の狙い膜厚に対する充
填材３の平均粒径の比を０．２５〜２の範囲とすること
ができる。さらに，感圧抵抗体１の膜厚を５〜２０μｍ
の範囲の任意の値とし，かつ，充填材３の平均粒径を５
〜４０μｍに設定することにより，感圧抵抗体１の表面
粗度を，Ｒｚ５〜２０μｍとすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態例１における，感圧抵抗体の構成を示
す説明図。

【図２】実施形態例１における，感圧抵抗体の表面状態
を示す説明図。

【図３】実施形態例１における，（ａ）加圧前，（ｂ）
加圧後，における導電材料による導電ネットワーク状態
を示す説明図。

【図４】実施形態例２における，感圧センサの構成を示
す説明図。

【図５】実施形態例２における，他の感圧センサの構成
を示す説明図。

【符号の説明】

１．．．感圧抵抗体， １０．．．ベースポリマー， ２．．．導電材料（カーボンブラック）， ３．．．充填材（球状シリコン樹脂），

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ショア硬度がＪＩＳ Ａ５０以上，ＪＩ
   Ｓ Ｄ８０以下の範囲内にある樹脂よりなるベースポリ
   マーと，導電材料と，前記ベースポリマーよりも弾性率
   が高く，かつ，狙い膜厚に対する平均粒径の比が０．２
   ５〜２の充填材とからなり，前記導電材料及び前記充填
   材とが上記ベースポリマー内に分散され，膜状に形成さ
   れることを特徴とする感圧抵抗体。
2. 【請求項２】 請求項１において，前記膜状に形成され
   る感圧抵抗体の表面粗度は，Ｒｚ５〜２０μｍの範囲内
   の値であることを特徴とする感圧抵抗体。
3. 【請求項３】 請求項１又は２において，前記ベースポ
   リマーはポリエステル樹脂あるいはエポキシ樹脂のいず
   れかであることを特徴とする感圧抵抗体。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれか１項において，
   前記導電部材はカーボンブラックであることを特徴とす
   る感圧抵抗体。
5. 【請求項５】 請求項４において，前記カーボンブラッ
   クはアセチレンブラックあるいはファーネスブラックの
   いずれかであることを特徴とする感圧抵抗体。
6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれか１項において，
   前記導電部材の平均粒径は，２０〜１００ｎｍであるこ
   とを特徴とする感圧抵抗体。
7. 【請求項７】 請求項１〜６のいずれか１項において，
   前記充填材は球状シリコシ樹脂であることを特徴とする
   感圧抵抗体。
8. 【請求項８】 請求項１〜７のいずれか１項において，
   前記充填材の添加量は，５〜４０重量％であることを特
   徴とする感圧抵抗体。
9. 【請求項９】 請求項１〜８のいずれか１項に記載の感
   圧抵抗体を所定のギャップを介して対向配置するととも
   に，前記対向配置された感圧抵抗体を両側から挟むよう
   に配置された一対の電極と，前記一対の電極を両側から
   挟むように配置されたフィルムとからなることを特徴と
   する感圧センサ。
10. 【請求項１０】 第１のフィルム上に形成された請求項
    １〜８のいずれか１項に記載の感圧抵抗体と，前記感圧
    抵抗体と所定のギャップを介して配置される複数の電極
    と，前記複数の電極を支持する第２のフィルムとからな
    ることを特徴とする感圧センサ。
11. 【請求項１１】 所定のギャップを介して配置された一
    対の感圧抵抗体と，前記対向配置された一対の感圧抵抗
    体を両側から挟むように配置された一対の電極と，前記
    一対の電極を両側から挟むように配置されたフィルムと
    からなり，前記フィルムに印加される荷重が低荷重範囲
    にあるとき，その印加荷重の増加に応じて一対の感圧抵
    抗体の接触面積が徐々に増加し，前記フィルムに印加さ
    れる荷重が高荷重範囲となり，前記一対の感圧抵抗体の
    接触面積の増加が飽和した後には，印加荷重の増加に応
    じて前記一対の感圧抵抗体自体の変形により内部抵抗を
    減少させるように構成されることを特徴とする感圧セン
    サ。
12. 【請求項１２】 第１のフィルム上に形成された感圧抵
    抗体と，前記感圧抵抗体と所定のギャップを介して配置
    される少なくとも２個の電極と，前記複数の電極を支持
    する第２のフィルムとからなり，前記第１及び第２のフ
    ィルムの少なくとも一方に印加される荷重が低荷重範囲
    にあるとき，その印加荷重の増加に応じて前記２個の電
    極と感圧抵抗体との接触面積が徐々に増加し，前記第１
    及び第２のフィルムの少なくとも一方に印加される荷重
    が高荷重範囲となり，前記２個の電極と感圧抵抗体との
    接触面積の増加が飽和した後には，印加荷重の増加に応
    じて前記感圧抵抗体自体の変形により内部抵抗を減少さ
    せるように構成されることを特徴とする感圧センサ。