JP3951997B2 - 液体移送装置 - Google Patents
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Description
キャビティプレートとの間で圧電アクチュエータプレートを挟むようにしてバックアッププレートが配置され、バックアッププレートは少なくともキャビティ間に位置する部分であるキャビティの周縁部に対応する部分で圧電アクチュエータプレートに接合されていることにより、キャビティ間に位置する部分における、圧電アクチュエータプレートの剛性を増大させて、撓み層がキャビティ間に位置する部分において撓むことを防ぐことができ、クロストークを低減することができる。しかも、撓み層およびバックアッププレートは、熱膨張率が互いに同一の材料にて形成されていることにより、温度変化によってこれらに接合された圧電材料層に応力が発生することを防ぐことができる。
撓み層のキャビティに対応する部分に薄肉部が形成され、圧電材料層が薄肉部に積層されてバックアッププレートとの間に隙間が設けられていることにより、バックアッププレートが圧電アクチュエータプレートのキャビティに対応する部分を拘束することがなく、キャビティに対応する部分の撓みが妨げられることがない。また、撓み層のキャビティに対応する部分に薄肉部が形成されているため、撓み層の剛性が低下し、キャビティに対応する部分における撓み量を増加させることができる。
バックアッププレートは圧電アクチュエータプレート側が全面に亘って平坦面であることにより、その製造が容易で製造コストを低減できる。また、バックアッププレートを圧電材料層に接合する場合に、正確な位置決めを行う必要がない。また、バックアッププレートの剛性が高いため、クロストークを防ぐ効果を大きくすることができる。更に、バックアッププレートにより圧電材料層の全面を覆っているため、作業者あるいは異物が、運搬時等に圧電材料層に触れて、これを劣化させることがない。
バックアッププレートには、キャビティに対応する部分に貫通孔が形成されていることにより、バックアッププレートのキャビティに対応する部分の剛性を増加させることがなく、キャビティに対応する部分の撓みが妨げられることがない。また、バックアッププレートに形成された貫通孔により、液体移送装置の完成後において、装置内部の目視検査を行い易くなる。
バックアッププレートの圧電材料層へ接合される側の端面の内で、キャビティに対応する部分に窪み部が形成されていることにより、圧電材料層に凹部を形成しなくとも、バックアッププレートとの間に隙間を形成することができる。また、窪み部の形成により、圧電アクチュエータプレートのキャビティに対応する部分を拘束することがなく、キャビティに対応する部分の撓みが妨げられることがない。更に、バックアッププレートにより圧電材料層の全面を覆っているため、作業者あるいは異物が、運搬時等に圧電材料層に触れて、これを劣化させることがない。
撓み層およびバックアッププレートは互いに同一の材質によって形成されていることにより、撓み層およびバックアッププレートの互いの熱膨張率を等しくすることができ、温度変化があっても、双方に接合された圧電材料層に応力が発生することを防ぐことができる。
撓み層は導電性材料にて形成され、圧電材料層に電界を印加させるための一方の電極としても利用されていることにより、一方の電極を特別に設ける必要がなく、製造コストの面で有利となる。
圧電材料層はエアロゾルデポジション法によって撓み層上に形成されることにより、短時間で形成することができる。
圧電材料層は、溶液の塗布および加熱による圧電体膜形成工程によって撓み層上に形成されることにより、均一に形成することができる。
圧電材料層は、スパッタリングによって撓み層上に形成されることにより、均一に形成することができる。
圧電材料層は導電性接着剤によって撓み層に接合されることにより、撓み層を導電性材料にして、一方の電極として使用することができる。
本発明の第1実施形態を図1乃至図4に基づいて説明する。以下の説明において、図1における上方を上方とし、他の実施形態においても同様とする。また、図3の左半分は図2の平面図を示し、右半分は図2の圧力室21aの高さにおいて切断した横断面図を示している。図1および図2において、液体移送装置1は噴射される液体が収容される複数の圧力室21a(本発明のキャビティに該当する)が配列される流路ユニット20(本発明のキャビティプレートに該当する)と、流路ユニット20上に圧力室21aを閉じるように重ね合わせて接合された圧電アクチュエータプレート10とによって構成されている。
次に図5および図6に基づいて、本発明の第2実施形態による液体移送装置1Aついて、その第1実施形態によるものとの相違点を中心に説明する。本実施形態においては、圧電材料層12上に接合されたバックアッププレート4の、圧力室21aに対応する部分に貫通孔4aが形成されている。図6に示すように、貫通孔4aは上方から見て、圧力室21aよりも一回り大きい略小判状をしている。第1実施形態によるバックアッププレート2と同様に、バックアッププレート4は、本発明のキャビティの周縁部に対応する部分に該当するところの、圧電材料層12の圧力室21aの側壁に対応する部分R(圧力室21aの間に位置する部分)に接合され、流路ユニット20との間で圧電アクチュエータプレート10を挟んでいる。バックアッププレート4の貫通孔4aは、機械加工あるいはエッチングによって形成される。
次に図7に基づいて、本発明の第3実施形態による液体移送装置1Bについて、その第1実施形態によるものとの相違点を中心に説明する。本実施形態において、流路ユニット20に圧力室21aを閉じるように接合された振動板33は、第1実施形態による振動板13のように圧力室21aに対応する部分に薄肉部13aを備えたものではなく、一定の厚みを持った完全な平板状をしたものである。
本発明は上述した記載および図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、以下の記載以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
(1)上部電極を駆動回路のグランドに接続し、振動板を駆動回路のプラス(+)電源に接続してもよい。
(2)本発明による液体移送装置は、圧力室に連なる開孔から、滴状、霧状等を含むあらゆる状態の液体を外部に移送するものを含み、また、液体の移送形態は吐出、噴出、噴射等のあらゆる形態を含むものとする。
(3)バックアッププレートが接合される圧電材料層の部分は、クロストークを低減する効果が維持されるならば、圧力室の側壁に対応する部分のみでなく、圧力室の外周部に対応する部分を含んでいてもよい。
(4)本発明に使用する圧電アクチュエータプレートは、圧電材料層への電界の印加によって、圧力室と反対側に撓むものであってもよい。
(5)本発明に使用する圧電材料層は、電界の印加によって、どのような方向へ変形するものであってもよい。
(6)本発明はプリンタのインク吐出用のヘッド、検査試薬の噴射装置など、あらゆる種類の液体の移送装置に利用できる。
(7)電極として使用しない場合、振動板には金属材料のみでなく、圧電アクチュエータプレートが撓み可能な材料であれば、合成樹脂材料、セラミックス材料等のあらゆる材料が使用可能である。
2、4、6…バックアッププレート
4a…貫通孔
6a…窪み部
10、30…圧電アクチュエータプレート
12、32…圧電材料層
12a…凹部
13、33…振動板
13a…薄肉部
20…流路ユニット
21a…圧力室
R…圧力室の側壁に対応する部分
Claims (11)
- 電界の印加によって変形する圧電材料層とその変形に伴って撓み変形する撓み層とを積層してなる圧電アクチュエータプレートを、複数のキャビティを配列してなるキャビティプレートに重ね合わせ、前記圧電アクチュエータプレートのうちの前記キャビティに対応する部分の前記圧電材料層に選択的に電界を印加して前記撓み層を撓み変形させることによって所要のキャビティ内に充填されている液体を移送させる液体移送装置において、
前記キャビティプレートとの間で前記圧電アクチュエータプレートを挟むようにしてバックアッププレートが配置され、前記撓み層および前記バックアッププレートは、熱膨張率が互いに同一の材料にて形成され、前記バックアッププレートは、少なくとも前記キャビティの周縁部に対応する部分で前記圧電アクチュエータプレートに接合されていることを特徴とする液体移送装置。 - 前記撓み層の前記キャビティに対応する部分に薄肉部が形成され、前記圧電材料層は前記薄肉部に積層されて前記バックアッププレートとの間に隙間が設けられていることを特徴とする請求項1記載の液体移送装置。
- 前記バックアッププレートは前記圧電アクチュエータプレート側が全面に亘って平坦面であることを特徴とする請求項2記載の液体移送装置。
- 前記バックアッププレートには、前記キャビティに対応する部分に貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の液体移送装置。
- 前記バックアッププレートの前記圧電材料層へ接合される側の端面の内で、前記キャビティに対応する部分に窪み部が形成されていることを特徴とする請求項1記載の液体移送装置。
- 前記撓み層および前記バックアッププレートは互いに同一の材質によって形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の液体移送装置。
- 前記撓み層は導電性材料にて形成され、前記圧電材料層に電界を印加させるための一方の電極としても利用されていることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の液体移送装置。
- 前記圧電材料層はエアロゾルデポジション法によって前記撓み層上に形成されたことを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の液体移送装置。
- 前記圧電材料層は、溶液の塗布および加熱による圧電体膜形成工程によって前記撓み層上に形成されたことを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の液体移送装置。
- 前記圧電材料層は、スパッタリングによって前記撓み層上に形成されたことを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の液体移送装置。
- 前記圧電材料層は導電性接着剤によって前記撓み層に接合されたことを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の液体移送装置。
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