JP3950713B2

JP3950713B2 - Circuit wiring inspection method and apparatus

Info

Publication number: JP3950713B2
Application number: JP2002054237A
Authority: JP
Inventors: 義典佐藤
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2002-02-28
Filing date: 2002-02-28
Publication date: 2007-08-01
Anticipated expiration: 2022-02-28
Also published as: JP2003255007A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路配線検査方法およびその装置に関し、さらに詳しく言えば、幹配線から分岐されている複数の枝配線間の短絡および各枝配線の断線の有無を検査する回路配線の検査技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
回路配線の検査項目の一つに配線パターンの断線（オープン）検査と、隣接する配線パターン間の短絡（ショート）検査とがある。
【０００３】
図５に模式的に示すように、回路基板に２つの配線パターンＡ，Ｂが隣接して形成されているとして、断線検査は、配線パターンＡの端点Ａａ，Ａｂ間、配線パターンＢの端点Ｂａ，Ｂｂ間の各抵抗値Ｒを測定することにより行われる。Ｒ≒０であれば断線なし、Ｒ≒∞であれば断線ありと判定される。
【０００４】
配線パターンＡ，Ｂ間の短絡検査は、例えば配線パターンＡの一方の端点Ａａと配線パターンＢの一方の端点Ｂａとの間の抵抗値Ｒを測定し、Ｒ≒∞であればパターン間に短絡なし、Ｒ≒０であればパターン間に短絡ありと判定される。
【０００５】
また、パターンによっては、図６に示すように幹配線Ｍから複数の枝配線Ｐ１〜ＰＮが分岐している回路がある。この場合、枝配線Ｐ１〜ＰＮはそれらの各一端（幹側端点）が幹配線Ｍにより相互に接続されているが、やはり抵抗測定により各枝配線の断線検査と枝配線間の短絡検査とが行われる。
【０００６】
例えば、隣接する枝配線Ｐ１とＰ２の断線・短絡を検査するには、それらの反幹側端点Ｐ１ａとＰ２ａ間の抵抗値を低抵抗測定器にて測定する。そして、その測定値Ｒと、あらかじめ設定されている所定のしきい値±Ｔｈとを比較することにより、断線・短絡の有無が検査される。なお、しきい値±Ｔｈは良品基板から得た基準値に基づいて設定される。
【０００７】
すなわち、図７に示すように、枝配線Ｐ１，Ｐ２間が短絡していると、抵抗値Ｒが低くなり、しきい値±Ｔｈから外れる。これにより、枝配線間に短絡ありと判定される。また、図８に示すように、いずれか一方の枝配線（この例では枝配線Ｐ２）が断線していればＲ≒∞となるため、これをもって断線ありと判定される。
【０００８】
抵抗測定は、抵抗測定器の測定プローブを配線パターンの端点に接触させることにより行われるが、図９に模式的に示すように、例えば端点Ｐ１ａに対するプローブの接触位置が、良品基板から基準値を得た際には図示実線位置であるのに対して、実際の検査時に図示鎖線位置のようにずれると、プローブ間の抵抗値が変わってしまうため、正確な測定ができず判定ミスが生ずることがある。
【０００９】
また、プローブの接触位置に上記のようなずれがなく、正確に配線パターンの抵抗値が測定できたとしても、配線パターン形成時の製造誤差（線幅のばらつきなど）が大きいと、基準値に対する最適なしきい値を設定することが困難となる。
【００１０】
ちなみに、配線パターン形成時の製造誤差により、例えば線幅が広く形成された場合には、短絡してしまっているパターンの抵抗値とほぼ同値になることがあり、このような場合には、しきい値を設定できなくなる。
【００１１】
一例として、配線パターンの抵抗値１００ｍΩを基準として、そのしきい値を±１０％の９０〜１１０ｍΩに設定したとして、例えば１２０ｍΩ位の抵抗値をもつ配線パターンが隣の配線パターンと短絡して１１０ｍΩになると、短絡しているにもかかわらず良品と判断されることになる。
【００１２】
また、上記従来例ではしきい値を設定するうえで、あらかじめ良品である配線パターンをもった回路基板をビジュアル検査などにより探し出して、その抵抗値を測定しておく必要があるため、作成された回路基板の検査を１枚目から行うことができない。
【００１３】
さらに、抵抗測定による短絡検出は微小な抵抗変化を捉える必要があるため、測定プローブの接触抵抗の影響が問題となる。そのため、微小抵抗の測定には４端子法が用いられるが、４端子法の測定プローブは他のプローブよりも高価であり、また、狭いピッチの配線パターンへのプロービングが困難となる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明の課題は、配線パターンの端点に対するプロービング位置によって検査精度が左右されることがなく、また、あらかじめ良品基板から判定基準となるデータを収集する必要をなくして、作成された回路基板の１枚目から隣接パターンの断線・短絡検査を行えるようにすることにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本願の第１発明は、幹配線と、それぞれ一方の端点（幹側端点）が上記幹配線に接続された複数の枝配線とを有する回路配線の上記枝配線間の短絡および上記各枝配線の断線の有無を検査する回路配線検査方法において、隣接する所定の第１および第２枝配線を検査するにあたって、測定信号発生源より上記第１枝配線の他方の端点（反幹側端点）に測定信号を印加した状態の下で、上記幹配線の上記第２枝配線の幹側端点よりも反第１枝配線側の所定箇所を電圧測定基準点として、電圧測定手段にて上記第２枝配線の反幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧Ｖ１と、上記第２枝配線の幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧Ｖ２とを測定し、Ｖ１＝Ｖ２（ただし、Ｖ１，Ｖ２がともに０Ｖのときを除く）のとき良品と判定することを特徴としている。
【００１６】
なお、Ｖ１＝Ｖ２以外の場合、すなわちＶ１≠Ｖ２（ただし、Ｖ１，Ｖ２の少なくとも一方が０Ｖもしくは読み値不定のときを除く）のときには短絡ありと判定でき、Ｖ１，Ｖ２の少なくとも一方が０Ｖもしくは読み値不定のとき断線ありと判定することができる。
【００１７】
このように、本発明によれば、２つの電圧Ｖ１，Ｖ２を比較するだけでよいため、配線パターンの端点に対するプロービング位置によって検査精度が左右されることがない。また、あらかじめ良品基板から判定基準となるデータを収集する必要もなく、作成された回路基板の１枚目から隣接パターンの断線・短絡検査を行うことができる。
【００１８】
さらには、測定プローブの接触抵抗による影響を受けないため、通常の安価な測定プローブを使用でき、しかも４端子法のように１ラインに付き４本の測定プローブをプロービングする必要もないため、狭いピッチの配線パターンの測定も容易にできる。
【００１９】
上記測定信号発生源は、直流または交流のいずれであってもよい。また、測定信号も電圧もしくは電流のいずれであってもよい。すなわち、直流電圧発生器，直流電流発生器，交流電圧発生器，交流電流発生器のすべてが使用可能である。
【００２０】
また、上記第２枝配線の反幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧Ｖ１を測定する電圧測定手段と、上記第２枝配線の幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧Ｖ２を測定する電圧測定手段を別々に備えていてもよいが、電圧検出手段を一つとして、上記電圧Ｖ１，Ｖ２のいずれか一方の電圧を測定した後、いずれか他方の電圧を測定するようにしてもよい。
【００２１】
上記第１枝配線の反幹側端点に対する測定信号印加用のプローブおよび上記第２枝配線の幹側端点，反幹側端点に対する電圧測定用のプローブは可動プローブで、上記電圧測定基準点に対する電圧測定用のプローブには固定プローブを用いることにより、実質的に２本の可動プローブで本発明の検査が可能となり、複雑なプローブ駆動機構を必要としない。
【００２２】
また、本願の第２発明は上記第１発明を装置化したもので、幹配線と、それぞれ一方の端点（幹側端点）が上記幹配線に接続された複数の枝配線とを有する回路配線の上記枝配線間の短絡および上記各枝配線の断線の有無を検査する回路配線検査装置において、隣接する所定の第１および第２枝配線の内の上記第１枝配線の他方の端点（反幹側端点）に測定信号を印加する測定信号発生源と、上記幹配線の上記第２枝配線の幹側端点よりも反第１枝配線側の所定箇所を電圧測定基準点として、上記第２枝配線の反幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧Ｖ１と、上記第２枝配線の幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧Ｖ２とを測定する電圧測定手段と、上記電圧Ｖ１，Ｖ２により上記枝配線間の短絡および上記各枝配線の断線の有無を判定する制御手段とを備えていることを特徴としている。
【００２３】
この第２発明において、上記制御手段は上記第１発明と同様に、Ｖ１＝Ｖ２（ただし、Ｖ１，Ｖ２がともに０Ｖのときを除く）のとき良品と判定し、それ以外のとき、すなわちＶ１≠Ｖ２（ただし、Ｖ１，Ｖ２の少なくとも一方が０Ｖもしくは読み値不定のときを除く）のときには短絡ありと判定し、Ｖ１，Ｖ２の少なくとも一方が０Ｖもしくは読み値不定のとき断線ありと判定する。
【００２４】
【発明の実施の形態】
次に、図１ないし図４により、本発明の実施形態について説明する。この実施形態は、先の図６で説明した幹配線Ｍと、幹配線Ｍから分岐された複数の枝配線Ｐ１〜ＰＮとを有する回路配線の枝配線の断線および枝配線間の短絡を検査する場合についてのもので、説明の便宜上、幹配線Ｍに対する各枝配線Ｐ１〜ＰＮの接続点を幹側端点とする。
【００２５】
図１に示すように、この実施形態に係る回路配線検査装置１０は、測定信号発生源としての直流電圧発生器１１と、第１および第２の２つの電圧計２１，２２と、制御手段としてのＣＰＵ３１と、検査結果を表示する表示器３２とを備えている。
【００２６】
複数ある枝配線Ｐ１〜ＰＮのうち、隣接する２つの枝配線として枝配線Ｐ１，Ｐ２を例にして、配線の断線検査および配線間の短絡検査を行う場合について説明する。この検査には、４本の測定プローブＱ１〜Ｑ４が用いられる。
【００２７】
図２（ａ）を参照して、直流電圧発生器１１の正極側を測定プローブＱ１を介して一方の第１枝配線Ｐ１の反幹側端点Ｐ１ａに接触させる。第１電圧計２１の一方の入力端子を測定プローブＱ２を介して他方の第２枝配線Ｐ２の反幹側端点Ｐ２ａに接触させる。第２電圧計２２の一方の入力端子を測定プローブＱ３を介して第２枝配線Ｐ２の幹側端点Ｐ２ｂに接触させる。
【００２８】
そして、直流電圧発生器１１の負極側，第１電圧計２１の他方の入力端子および第２電圧計２２の他方の入力端子をともに測定プローブＱ４に接続し、測定プローブＱ４を幹配線Ｍの電圧測定基準点Ｘに接触させる。この電圧測定基準点Ｘは、測定電流の流れる方向から見て、第２枝配線Ｐ２のの幹側端点Ｐ２ｂよりも下流側の任意の箇所であってよい。
【００２９】
なお、この実施形態とは異なり、直流電圧発生器１１をその正極と負極とを入れ替えて用いる場合には、電圧測定基準点Ｘは、そのときの電流の流れる方向から見て、第２枝配線Ｐ２の幹側端点Ｐ２ｂよりも上流側の任意の箇所に設定されることになる。
【００３０】
すなわち、第１枝配線Ｐ１側から測定信号を印加するにしても、反対に電圧測定基準点Ｘ側から測定信号を印加するにしても、電圧測定基準点Ｘは、その電圧測定基準点Ｘと第１枝配線Ｐ１との間に第２枝配線Ｐ２が存在するような位置に設定される。
【００３１】
ＣＰＵ３１は、直流電圧発生器１１より第１枝配線Ｐ１の反幹側端点Ｐ１ａに所定の電圧を印加した状態での第１電圧計２１と第２電圧計２２の測定値を読み込んで、短絡・断線の有無を判定する。図２（ａ）の回路を抵抗で表した等価回路を図２（ｂ）に示す。
【００３２】
第１枝配線Ｐ１と第２枝配線Ｐ２間が短絡していない場合、電流は第１枝配線Ｐ１の反幹側端点Ｐ１ａから第１枝配線Ｐ１および幹配線Ｍを通って電圧測定基準点Ｘに流れ込む。なお、電圧計２１（２２）は入力インピーダンスが高いため、第２枝配線Ｐ２には電流が流れない。
【００３３】
これにより、第１電圧計２１と第２電圧計２２はともに、第２枝配線Ｐ２の幹側端点Ｐ２ｂと電圧測定基準点Ｘとの間に存在する抵抗ＲＸで生ずる電圧を測定することになる。したがって、第１電圧計２１の測定値Ｖ１と第２電圧計２２の測定値Ｖ２はＶ１＝Ｖ２（同値）で、これをもってＣＰＵ３１は短絡なし（良品）と判定し、必要に応じてその結果を表示器３２に表示する。
【００３４】
なお、ここで言うＶ１＝Ｖ２（同値）とは、完全同値に限られるものでなく、上記電圧Ｖ１，Ｖ２がともに実質的に良品と見なしてよいしきい値幅内に存在する場合も含む。すなわち、良品基準値をＶｒｅｆ、そのしきい値を±αとした場合、Ｖ１，Ｖ２がともにＶｒｅｆ±αの範囲内であれば良品としてよい。
【００３５】
次に、図３に示すように、第１枝配線Ｐ１と第２枝配線Ｐ２との間がＡｓ−Ｂｓ点間で短絡している場合、反幹側端点Ｐ１ａから第１枝配線Ｐ１に流れる電流は、Ａｓ点で幹側端点Ｐ１ｂに至る電流と、Ａｓ−Ｂｓ間を経由して第２枝配線Ｐ２の一部分を通ってその幹側端点Ｐ２ｂに至る電流とに分流される。
【００３６】
ここで、第２枝配線Ｐ２において、その反幹側端点Ｐ２ａとＢｓ点との間の抵抗をＲＢ１とし、Ｂｓ点と幹側端点Ｐ２ｂとの間の抵抗をＲＢ２とすると、上記したように電圧計２１は入力インピーダンスが高いため、抵抗ＲＢ１には電流が流れない。
【００３７】
したがって、第１電圧計２１は抵抗（ＲＢ２＋ＲＸ）に生ずる電圧を測定し、第２電圧計２２は抵抗ＲＸに生ずる電圧を測定することになり、第１電圧計２１の測定値Ｖ１と第２電圧計２２の測定値Ｖ２はＶ１≠Ｖ２となる。これにより、ＣＰＵ３１は短絡あり（不良品）と判断して、その結果を表示器３２に表示する。
【００３８】
次に、断線の場合について説明する。図４（ａ）に示すように、第１枝配線Ｐ１が断線している場合には、第１電圧計２１の測定値Ｖ１と第２電圧計２２の測定値Ｖ２はともに０〔Ｖ〕となる。
【００３９】
これに対して、図４（ｂ）に示すように、第２枝配線Ｐ２が断線している場合には、第２電圧計２２の測定値Ｖ２はＶ２≠０〔Ｖ〕であるが、第１電圧計２１の測定値Ｖ１は読み値が不定（デジタル表示値がちらついて定まらない状態）となる。
【００４０】
すなわち、電圧計は一般的に内部抵抗が高いため、第１電圧計２１の測定電圧は０〔Ｖ〕にならず不安定に電圧になるからである。しかしながら、この読み値不定も良品・不良品の判断材料となり、この現象が生じた場合には、断線ありと判定することができる。
【００４１】
このように、Ｖ１，Ｖ２がともに０〔Ｖ〕もしくはそのいずれか一方の読み値が不定のとき、ＣＰＵ３１は断線あり（不良品）と判断して、その結果を表示器３２に表示する。第１枝配線Ｐ１と第２枝配線Ｐ２の検査が終了したら、次に例えば枝配線Ｐ２，Ｐ３に測定プローブをずらしてすべての隣り合う配線の短絡・断線検査を行う。
【００４２】
なお、上記実施形態では測定信号発生源に直流電圧発生器１１を用いているが、直流電流発生器，交流電圧発生器，交流電流発生器などを採用してもよい。また、２台の電圧計２１，２２を用いているが、電圧計を例えば一方の電圧計２１のみとし、その測定プローブＱ２を反幹側端点Ｐ２ａに接触させて電圧Ｖ１を測定した後、測定プローブＱ２を幹側端点Ｐ２ｂ側に接触させて電圧Ｖ２を測定するようにしてもよく、これによれば電圧計１台，測定プローブ３本で済ませられる。
【００４３】
なお、電圧測定基準点Ｘをすべての枝配線に対して共通の箇所に設定すれば、その測定プローブＱ４は動かす必要がないため、固定式の測定プローブとしてもよい。これによれば、可動プローブ２本で検査が可能となる。
【００４４】
また、各枝配線の検査ポイントに測定プローブを配置してなるピンボードを作製して、それらの測定プローブを同時に各枝配線の検査ポイントに接触させるようにしてもよい。この場合には、多数の測定プローブが必要となるが、高速検査が可能となる点でメリットがある。
【００４５】
上記実施形態では、隣接する２つの枝配線の検査が終了したら、測定プローブの位置をずらして、次の隣接する２つの枝配線の検査を行うようにしているが、別の手順として、すべての枝配線について、まず例えば電圧Ｖ１を測定してそのデータを保持し、その後にすべての枝配線について電圧Ｖ２を測定しながら、電圧Ｖ１と比較するようにしてもよい。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、幹配線と、それぞれ一方の端点（幹側端点）が幹配線に接続された複数の枝配線とを有する配線パターンの隣接する枝配線間の短絡および各枝配線の断線を検査するにあたって、測定信号発生源より一方の枝配線の反幹側端点に測定信号を印加した状態の下で、幹配線上の所定箇所に電圧測定基準点を設定し、電圧測定手段にて他方の枝配線の反幹側端点と電圧測定基準点との間の電圧Ｖ１と、同じく他方の枝配線の幹側端点と電圧測定基準点との間の電圧Ｖ２とを測定し、これらの電圧Ｖ１，Ｖ２により短絡・断線の有無を判断するようにしたことにより、配線パターンの端点に対するプロービング位置によって検査精度が左右されることなく、高精度の検査を行うことができる。
【００４７】
また、あらかじめ良品基板から判定基準となるデータを収集する必要がないため、作成された回路基板の１枚目から隣接パターンの断線・短絡検査を行うことができる。
【００４８】
さらには、測定プローブの接触抵抗による影響を受けないため、通常の安価な測定プローブを使用でき、しかも４端子法のように１ラインに付き４本の測定プローブをプロービングする必要もないため、狭いピッチの配線パターンの測定も容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を説明するための模式図。
【図２】上記実施形態で良品パターン時の場合を説明するための模式図。
【図３】上記実施形態で短絡パターン時の場合を説明するための模式図。
【図４】上記実施形態で断線パターン時の場合を説明するための模式図。
【図５】一般的な隣接配線パターン間の短絡および断線検査を説明するための模式図。
【図６】幹配線から分岐された枝配線の従来技術による短絡・断線検査を説明するための模式図。
【図７】上記枝配線間が短絡している場合の説明図。
【図８】上記枝配線が断線している場合の説明図。
【図９】上記従来技術における問題点を説明するための説明図。
【符号の説明】
１０回路配線検査装置
１１直流電圧発生器
２１，２２電圧計
３１ＣＰＵ
３２表示器
Ｍ幹配線
Ｐ１〜ＰＮ枝配線
Ｐ１ａ，Ｐ２ａ反幹側端点
Ｐ１ｂ，Ｐ２ｂ幹側端点
Ｑ１〜Ｑ４測定プローブ
Ｘ電圧測定基準点[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a circuit wiring inspection method and an apparatus therefor, and more particularly to a circuit wiring inspection technique for inspecting a short circuit between a plurality of branch wirings branched from a trunk wiring and a disconnection of each branch wiring. It is.
[0002]
[Prior art]
One inspection item of circuit wiring is a wiring pattern disconnection (open) inspection and a short-circuit inspection between adjacent wiring patterns.
[0003]
As schematically shown in FIG. 5, assuming that two wiring patterns A and B are formed adjacent to each other on the circuit board, the disconnection inspection is performed between the end points Aa and Ab of the wiring pattern A and the end point Ba of the wiring pattern B. , Bb by measuring each resistance value R. If R≈0, it is determined that there is no disconnection, and if R≈∞, it is determined that there is a disconnection.
[0004]
In the short circuit inspection between the wiring patterns A and B, for example, a resistance value R between one end point Aa of the wiring pattern A and one end point Ba of the wiring pattern B is measured. If none and R≈0, it is determined that there is a short circuit between the patterns.
[0005]
Further, depending on the pattern, there is a circuit in which a plurality of branch lines P1 to PN branch from the trunk line M as shown in FIG. In this case, each of the branch wirings P1 to PN is connected to the trunk wiring M at one end thereof (the trunk side end point). However, the disconnection inspection of each branch wiring and the short-circuit inspection between the branch wirings are also performed by resistance measurement. Done.
[0006]
For example, in order to inspect the disconnection / short circuit of the adjacent branch wirings P1 and P2, the resistance value between the anti-trunk end points P1a and P2a is measured with a low resistance measuring instrument. Then, by comparing the measured value R with a predetermined threshold value ± Th set in advance, the presence / absence of disconnection / short circuit is inspected. The threshold value ± Th is set based on a reference value obtained from a non-defective substrate.
[0007]
That is, as shown in FIG. 7, when the branch wirings P1 and P2 are short-circuited, the resistance value R becomes low and deviates from the threshold value ± Th. Thereby, it is determined that there is a short circuit between the branch wirings. In addition, as shown in FIG. 8, if any one of the branch wirings (branch wiring P2 in this example) is disconnected, R≈∞, so that it is determined that there is a disconnection.
[0008]
The resistance measurement is performed by bringing the measurement probe of the resistance measuring instrument into contact with the end point of the wiring pattern. As schematically shown in FIG. 9, for example, the contact position of the probe with respect to the end point P1a is a reference value from the non-defective substrate. When it is obtained, it is the position of the solid line in the figure, but if it shifts like the position of the chain line in the actual inspection, the resistance value between the probes changes, so that accurate measurement cannot be performed and a determination error occurs. There is.
[0009]
Further, even if the probe contact position does not have the above-described deviation and the resistance value of the wiring pattern can be measured accurately, if a manufacturing error (such as variation in line width) at the time of wiring pattern formation is large, It becomes difficult to set an optimum threshold value.
[0010]
By the way, due to manufacturing errors at the time of wiring pattern formation, for example, when the line width is wide, it may be almost the same as the resistance value of the short-circuited pattern. The threshold cannot be set.
[0011]
As an example, if the resistance value of a wiring pattern is set to 100 mΩ as a reference and the threshold value is set to 90 to 110 mΩ of ± 10%, for example, a wiring pattern having a resistance value of about 120 mΩ is short-circuited to an adjacent wiring pattern to 110 mΩ. If it becomes, it will be judged that it is non-defective although it is short-circuited.
[0012]
In addition, the above conventional example was created because it was necessary to find a circuit board with a non-defective wiring pattern in advance by visual inspection etc. and to measure its resistance value when setting the threshold value. The circuit board cannot be inspected from the first sheet.
[0013]
Furthermore, since the short circuit detection by resistance measurement needs to capture a minute resistance change, the influence of the contact resistance of the measurement probe becomes a problem. For this reason, the four-terminal method is used for measuring minute resistance, but the measurement probe of the four-terminal method is more expensive than other probes, and probing to a wiring pattern with a narrow pitch becomes difficult.
[0014]
[Problems to be solved by the invention]
Therefore, the problem of the present invention is that the inspection accuracy is not affected by the probing position with respect to the end point of the wiring pattern, and it is not necessary to collect data as a judgment criterion from a non-defective substrate in advance. It is to be able to perform the disconnection / short circuit inspection of the adjacent pattern from the first sheet.
[0015]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problem, the first invention of the present application is that between the branch wirings of a circuit wiring having a trunk wiring and a plurality of branch wirings each having one end point (stem-side end point) connected to the trunk wiring. In the circuit wiring inspection method for inspecting the presence or absence of a short circuit and the disconnection of each branch wiring, when inspecting predetermined first and second branch wirings adjacent to each other, the other end point of the first branch wiring ( Under a state in which a measurement signal is applied to the non-trunk side end point), the voltage measuring means uses a predetermined location on the side opposite to the first branch wiring from the trunk side end of the second branch wiring as the voltage measurement reference point. To measure a voltage V1 between the opposite end of the second branch line and the voltage measurement reference point, and a voltage V2 between the second end of the second line and the voltage measurement reference point. V1 = V2 (except when V1 and V2 are both 0V It is characterized by determining a non-defective when.
[0016]
When V1 = V2 is not satisfied, that is, when V1 ≠ V2 (except when at least one of V1 and V2 is 0V or the reading value is undefined), it can be determined that there is a short circuit, and at least one of V1 and V2 is 0V or When the reading is indefinite, it can be determined that there is a disconnection.
[0017]
As described above, according to the present invention, since only the two voltages V1 and V2 need to be compared, the inspection accuracy is not affected by the probing position with respect to the end point of the wiring pattern. In addition, it is not necessary to collect data that is a criterion for determination from non-defective substrates in advance, and disconnection / short-circuit inspection of adjacent patterns can be performed from the first circuit board that is created.
[0018]
Furthermore, since it is not affected by the contact resistance of the measurement probe, a normal inexpensive measurement probe can be used, and it is not necessary to probe four measurement probes per line as in the 4-terminal method, so that it is narrow. Pitch wiring patterns can be easily measured.
[0019]
The measurement signal generation source may be either direct current or alternating current. Also, the measurement signal may be either voltage or current. That is, a DC voltage generator, a DC current generator, an AC voltage generator, and an AC current generator can all be used.
[0020]
Also, voltage measuring means for measuring a voltage V1 between the opposite end point of the second branch wiring and the voltage measurement reference point, and between the trunk end point of the second branch wiring and the voltage measurement reference point Voltage measuring means for measuring the voltage V2 may be provided separately, but one voltage detecting means is used, and after measuring one of the voltages V1 and V2, the other voltage is measured. You may make it do.
[0021]
The measurement signal application probe for the anti-trunk end point of the first branch wiring and the voltage measurement probe for the stem end point and the anti-end end point of the second branch wiring are movable probes, and the voltage with respect to the voltage measurement reference point. By using a fixed probe as the measurement probe, the inspection of the present invention can be performed with substantially two movable probes, and a complicated probe driving mechanism is not required.
[0022]
The second invention of the present application is an implementation of the first invention. A circuit wiring having a trunk wiring and a plurality of branch wirings each having one end point (stem-side end point) connected to the trunk wiring. In a circuit wiring inspection apparatus for inspecting the presence or absence of a short circuit between the branch wirings and the disconnection of each branch wiring, the other end point (anti-trunk) of the first branch wiring among the adjacent first and second branch wirings. A measurement signal generating source for applying a measurement signal to a side end point), and a second portion of the trunk wire on the side opposite to the first branch wiring from the trunk side end point of the second branch wiring as a voltage measurement reference point. Voltage measuring means for measuring a voltage V1 between an anti-trunk end point of the wiring and the voltage measurement reference point, and a voltage V2 between the trunk end point of the second branch wiring and the voltage measurement reference point; Due to the voltages V1 and V2, there is a short circuit between the branch wires and disconnection of the branch wires. It is characterized by comprising a determining control means.
[0023]
In the second invention, as in the first invention, the control means determines that the product is non-defective when V1 = V2 (except when V1 and V2 are both 0V), and otherwise, that is, V1 ≠. When V2 (however, at least one of V1 and V2 is 0V or when reading is undefined), it is determined that there is a short circuit, and when at least one of V1 and V2 is 0V or reading is undefined, it is determined that there is a break.
[0024]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In this embodiment, the disconnection of the branch wiring of the circuit wiring having the trunk wiring M described in FIG. 6 and the plurality of branch wirings P1 to PN branched from the trunk wiring M and the short circuit between the branch wirings are inspected. For convenience of explanation, the connection points of the branch wirings P1 to PN with respect to the trunk wiring M are defined as trunk-side end points.
[0025]
As shown in FIG. 1, a circuit wiring inspection apparatus 10 according to this embodiment includes a DC voltage generator 11 as a measurement signal generation source, first and second voltmeters 21 and 22, and control means. CPU 31 and a display 32 for displaying the inspection result.
[0026]
A case will be described in which a wiring disconnection inspection and a short-circuit inspection between wirings are performed by using branch wirings P1 and P2 as two adjacent branch wirings among a plurality of branch wirings P1 to PN. For this inspection, four measurement probes Q1 to Q4 are used.
[0027]
Referring to FIG. 2 (a), the positive electrode side of DC voltage generator 11 is brought into contact with the non-stem side end point P1a of one first branch wiring P1 through measurement probe Q1. One input terminal of the first voltmeter 21 is brought into contact with the opposite side end point P2a of the other second branch wiring P2 through the measurement probe Q2. One input terminal of the second voltmeter 22 is brought into contact with the trunk-side end point P2b of the second branch wiring P2 via the measurement probe Q3.
[0028]
Then, the negative electrode side of the DC voltage generator 11, the other input terminal of the first voltmeter 21 and the other input terminal of the second voltmeter 22 are all connected to the measurement probe Q4, and the measurement probe Q4 is connected to the voltage of the main wiring M. The measurement reference point X is brought into contact. The voltage measurement reference point X may be an arbitrary location downstream of the trunk side end point P2b of the second branch wiring P2 when viewed from the direction in which the measurement current flows.
[0029]
Unlike this embodiment, when the DC voltage generator 11 is used with its positive and negative electrodes interchanged, the voltage measurement reference point X is the second branch wiring as viewed from the current flowing direction at that time. It is set at an arbitrary location upstream of the trunk side end point P2b of P2.
[0030]
That is, even if the measurement signal is applied from the first branch wiring P1 side, or the measurement signal is applied from the voltage measurement reference point X side, the voltage measurement reference point X is the same as the voltage measurement reference point X. The position is set such that the second branch wiring P2 exists between the first branch wiring P1.
[0031]
The CPU 31 reads the measured values of the first voltmeter 21 and the second voltmeter 22 in a state in which a predetermined voltage is applied from the DC voltage generator 11 to the anti-trunk end point P1a of the first branch wiring P1, and short-circuit / Determine if there is a break. FIG. 2B shows an equivalent circuit in which the circuit of FIG.
[0032]
When the first branch wiring P1 and the second branch wiring P2 are not short-circuited, the current is measured from the opposite end P1a of the first branch wiring P1 through the first branch wiring P1 and the main wiring M to the voltage measurement reference point X. Flow into. Since the voltmeter 21 (22) has a high input impedance, no current flows through the second branch wiring P2.
[0033]
Thus, both the first voltmeter 21 and the second voltmeter 22 measure the voltage generated at the resistor RX existing between the trunk side end point P2b of the second branch wiring P2 and the voltage measurement reference point X. . Therefore, the measured value V1 of the first voltmeter 21 and the measured value V2 of the second voltmeter 22 are V1 = V2 (same value), and with this, the CPU 31 determines that there is no short circuit (non-defective product), and the result is obtained if necessary. This is displayed on the display 32.
[0034]
Here, V1 = V2 (same value) is not limited to the completely same value, but includes the case where both of the voltages V1 and V2 exist within a threshold width that can be regarded as substantially non-defective products. That is, assuming that the non-defective product reference value is Vref and the threshold value is ± α, a non-defective product may be used as long as both V1 and V2 are within the range of Vref ± α.
[0035]
Next, as shown in FIG. 3, when the first branch wiring P1 and the second branch wiring P2 are short-circuited between the As-Bs points, the anti-trunk end point P1a flows to the first branch wiring P1. The current is divided into a current that reaches the trunk end point P1b at the As point and a current that passes through a portion of the second branch wiring P2 via As-Bs and reaches the trunk end point P2b.
[0036]
Here, in the second branch wiring P2, when the resistance between the opposite trunk side end point P2a and the Bs point is RB1, and the resistance between the Bs point and the trunk side end point P2b is RB2, the voltage is as described above. Since the total 21 has a high input impedance, no current flows through the resistor RB1.
[0037]
Therefore, the first voltmeter 21 measures the voltage generated in the resistor (RB2 + RX), and the second voltmeter 22 measures the voltage generated in the resistor RX. The measured value V1 and the second voltage of the first voltmeter 21 are measured. The measured value V2 of the total 22 is V1 ≠ V2. As a result, the CPU 31 determines that there is a short circuit (defective product) and displays the result on the display 32.
[0038]
Next, the case of disconnection will be described. As shown in FIG. 4A, when the first branch wiring P1 is disconnected, the measured value V1 of the first voltmeter 21 and the measured value V2 of the second voltmeter 22 are both 0 [V]. Become.
[0039]
On the other hand, as shown in FIG. 4B, when the second branch wiring P2 is disconnected, the measured value V2 of the second voltmeter 22 is V2 ≠ 0 [V]. 1 The measured value V1 of the voltmeter 21 is indeterminate (the digital display value flickers and is not determined).
[0040]
That is, since the voltmeter generally has a high internal resistance, the measurement voltage of the first voltmeter 21 does not become 0 [V] but becomes an unstable voltage. However, this indeterminate reading value is also a material for determining whether the product is good or defective, and if this phenomenon occurs, it can be determined that there is a disconnection.
[0041]
Thus, when both V1 and V2 are 0 [V] or any one of the readings is indefinite, the CPU 31 determines that there is a disconnection (defective product) and displays the result on the display 32. After the inspection of the first branch wiring P1 and the second branch wiring P2, the measurement probe is shifted to the branch wirings P2 and P3, for example, and a short circuit / disconnection inspection of all adjacent wirings is performed.
[0042]
In the above embodiment, the DC voltage generator 11 is used as the measurement signal generation source, but a DC current generator, an AC voltage generator, an AC current generator, or the like may be employed. In addition, although two voltmeters 21 and 22 are used, for example, the voltmeter is only one voltmeter 21, and the measurement probe Q2 is brought into contact with the opposite end P2a to measure the voltage V1, and then measured. The voltage V2 may be measured by bringing the probe Q2 into contact with the trunk end point P2b side. According to this, one voltmeter and three measurement probes are sufficient.
[0043]
Note that if the voltage measurement reference point X is set at a common location for all branch wirings, the measurement probe Q4 does not need to be moved, and may be a fixed measurement probe. According to this, it becomes possible to inspect with two movable probes.
[0044]
Further, a pin board in which measurement probes are arranged at the inspection points of the branch wirings may be manufactured, and these measurement probes may be brought into contact with the inspection points of the branch wirings at the same time. In this case, a large number of measurement probes are required, but there is an advantage in that high-speed inspection is possible.
[0045]
In the above embodiment, when the inspection of the two adjacent branch wirings is completed, the position of the measurement probe is shifted and the next two adjacent branch wirings are inspected. For the branch wiring, first, for example, the voltage V1 may be measured and the data may be held, and thereafter, the voltage V2 may be measured for all the branch wirings and compared with the voltage V1.
[0046]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a short circuit between adjacent branch lines of a wiring pattern having a trunk line and a plurality of branch lines each having one end point (trunk side end point) connected to the trunk line and In inspecting the disconnection of each branch wiring, under the state where a measurement signal is applied from the measurement signal generating source to the opposite trunk side end point of one branch wiring, a voltage measurement reference point is set at a predetermined location on the trunk wiring, The voltage measurement means measures the voltage V1 between the opposite trunk end point of the other branch wiring and the voltage measurement reference point, and the voltage V2 between the trunk end point of the other branch wiring and the voltage measurement reference point. In addition, by determining whether or not there is a short circuit / disconnection based on these voltages V1 and V2, it is possible to perform a highly accurate inspection without being influenced by the probing position with respect to the end point of the wiring pattern.
[0047]
In addition, since it is not necessary to collect data that is a criterion for determination from non-defective substrates in advance, it is possible to perform a disconnection / short circuit inspection of an adjacent pattern from the first circuit board that is created.
[0048]
Furthermore, since it is not affected by the contact resistance of the measurement probe, a normal inexpensive measurement probe can be used, and it is not necessary to probe four measurement probes per line as in the 4-terminal method, so that it is narrow. Pitch wiring patterns can be easily measured.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram for explaining an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic diagram for explaining a case of a non-defective pattern in the embodiment.
FIG. 3 is a schematic diagram for explaining a case of a short-circuit pattern in the embodiment.
FIG. 4 is a schematic diagram for explaining a case of a disconnection pattern in the embodiment.
FIG. 5 is a schematic diagram for explaining a short circuit and a disconnection inspection between general adjacent wiring patterns.
FIG. 6 is a schematic diagram for explaining a short-circuit / disconnection inspection according to the prior art of a branch wiring branched from a trunk wiring.
FIG. 7 is an explanatory diagram when the branch wiring is short-circuited.
FIG. 8 is an explanatory diagram when the branch wiring is disconnected.
FIG. 9 is an explanatory diagram for explaining a problem in the prior art.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Circuit wiring inspection apparatus 11 DC voltage generator 21, 22 Voltmeter 31 CPU
32 Display M Trunk wiring P1 to PN Branch wiring P1a, P2a Anti-trunk side end points P1b, P2b Trunk side end points Q1 to Q4 Measurement probe X Voltage measurement reference point

Claims

幹配線と、それぞれ一方の端点（幹側端点）が上記幹配線に接続された複数の枝配線とを有する回路配線の上記枝配線間の短絡および上記各枝配線の断線の有無を検査する回路配線検査方法において、
隣接する所定の第１および第２枝配線を検査するにあたって、測定信号発生源より上記第１枝配線の他方の端点（反幹側端点）に測定信号を印加した状態の下で、上記幹配線の上記第２枝配線の幹側端点よりも反第１枝配線側の所定箇所を電圧測定基準点として、電圧測定手段にて上記第２枝配線の反幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧Ｖ１と、上記第２枝配線の幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧Ｖ２とを測定し、Ｖ１＝Ｖ２（ただし、Ｖ１，Ｖ２がともに０Ｖのときを除く）のとき良品と判定することを特徴とする回路配線検査方法。A circuit for inspecting the presence or absence of a short circuit between the branch wirings of the circuit wiring having a trunk wiring and a plurality of branch wirings each having one end point (trunk side end point) connected to the trunk wiring and the disconnection of each branch wiring. In the wiring inspection method,
In inspecting predetermined first and second branch wirings adjacent to each other, the trunk wiring is in a state in which a measurement signal is applied from the measurement signal generation source to the other end point (counter-end side end point) of the first branch wiring. The voltage measurement means uses a predetermined location on the side opposite to the first branch wiring from the trunk side end point of the second branch wiring as a voltage measurement reference point, and the voltage measurement means uses the anti-trunk side end point of the second branch wiring and the voltage measurement reference point And a voltage V2 between the trunk-side end point of the second branch wiring and the voltage measurement reference point are measured, and V1 = V2 (except when V1 and V2 are both 0V) A circuit wiring inspection method characterized in that a non-defective product is determined.

上記電圧Ｖ１と上記電圧Ｖ２とが、Ｖ１≠Ｖ２（ただし、Ｖ１，Ｖ２の少なくとも一方が０Ｖもしくは読み値不定のときを除く）のとき短絡ありと判定し、Ｖ１，Ｖ２の少なくとも一方が０Ｖもしくは読み値不定のとき断線ありと判定する請求項１に記載の回路配線検査方法。It is determined that there is a short circuit when the voltage V1 and the voltage V2 are V1 ≠ V2 (except when at least one of V1 and V2 is 0V or reading is undefined), and at least one of V1 and V2 is 0V or The circuit wiring inspection method according to claim 1, wherein it is determined that there is a disconnection when the reading value is indefinite.

上記測定信号発生源として、直流または交流の電圧もしくは電流発生手段が用いられる請求項１または２に記載の回路配線検査方法。3. The circuit wiring inspection method according to claim 1, wherein a DC or AC voltage or current generating means is used as the measurement signal generating source.

上記電圧検出手段が一つであって、上記電圧Ｖ１，Ｖ２のいずれか一方の電圧を測定した後、いずれか他方の電圧を測定する請求項１，２または３に記載の回路配線検査方法。4. The circuit wiring inspection method according to claim 1, wherein the voltage detecting means is one, and the voltage of either one of the voltages V1 and V2 is measured and then the other voltage is measured.

上記第１枝配線の反幹側端点に対する測定信号印加用のプローブおよび上記第２枝配線の幹側端点，反幹側端点に対する電圧測定用のプローブは可動プローブで、上記電圧測定基準点に対する電圧測定用のプローブには固定プローブを用いる請求項１，２，３または４に記載の回路配線検査方法。The measurement signal application probe for the anti-trunk end point of the first branch wiring and the voltage measurement probe for the stem end point and the anti-end end point of the second branch wiring are movable probes, and the voltage with respect to the voltage measurement reference point. 5. The circuit wiring inspection method according to claim 1, wherein a fixed probe is used as the measurement probe.

幹配線と、それぞれ一方の端点（幹側端点）が上記幹配線に接続された複数の枝配線とを有する回路配線の上記枝配線間の短絡および上記各枝配線の断線の有無を検査する回路配線検査装置において、
隣接する所定の第１および第２枝配線の内の上記第１枝配線の他方の端点（反幹側端点）に測定信号を印加する測定信号発生源と、
上記幹配線の上記第２枝配線の幹側端点よりも反第１枝配線側の所定箇所を電圧測定基準点として、上記第２枝配線の反幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧Ｖ１と、上記第２枝配線の幹側端点と上記電圧測定基準点との間の電圧Ｖ２とを測定する電圧測定手段と、
上記電圧Ｖ１，Ｖ２により上記枝配線間の短絡および上記各枝配線の断線の有無を判定する制御手段とを備え、
上記制御手段は、Ｖ１＝Ｖ２（ただし、Ｖ１，Ｖ２がともに０Ｖのときを除く）のとき良品と判定し、それ以外のとき不良品と判定することを特徴とする回路配線検査装置。A circuit for inspecting the presence or absence of a short circuit between the branch wirings of the circuit wiring having a trunk wiring and a plurality of branch wirings each having one end point (trunk side end point) connected to the trunk wiring and the disconnection of each branch wiring. In wiring inspection equipment,
A measurement signal generating source for applying a measurement signal to the other end point (the non-trunk side end point) of the first branch wiring among the predetermined first and second branch wirings adjacent to each other;
A predetermined location on the side opposite to the first branch wiring from the trunk-side end point of the second branch wiring of the trunk wiring is defined as a voltage measurement reference point, and between the anti-trunk side end point of the second branch wiring and the voltage measurement reference point. Voltage measuring means for measuring the voltage V1 of the second branch wiring and the voltage V2 between the trunk-side end point of the second branch wiring and the voltage measurement reference point;
Control means for determining the presence or absence of a short circuit between the branch wirings and a disconnection of each branch wiring by the voltages V1 and V2,
A circuit wiring inspection apparatus characterized in that the control means determines a non-defective product when V1 = V2 (except when both V1 and V2 are 0 V), and determines a defective product otherwise.