JP3882973B2

JP3882973B2 - 角速度センサ

Info

Publication number: JP3882973B2
Application number: JP17458198A
Authority: JP
Inventors: 宗志峠
Original assignee: Aisin Seiki Co Ltd; Aisin Corp
Current assignee: Aisin Corp
Priority date: 1998-06-22
Filing date: 1998-06-22
Publication date: 2007-02-21
Anticipated expiration: 2018-06-22
Also published as: DE19928307A1; JP2000009472A; GB9914494D0; GB2338785B; GB2338785A; US6250157B1

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に対して浮動支持された振動体を備える角速度センサに関し、特に、これに限定する意図ではないが、半導体微細加工技術を用いて形成される浮動半導体薄膜を櫛歯電極にて電気的に吸引／解放してｘ方向に励振する角速度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の角速度センサの代表的なものは、浮動薄膜の左辺部に１組かつ右辺部に１組の浮動櫛歯電極（左側浮動櫛歯電極と右側浮動櫛歯電極）を備え、固定櫛歯電極も２組（各組の浮動櫛歯電極に非接触で噛み合いかつ平行な左側固定櫛歯電極および右側固定櫛歯電極）として、左側浮動櫛歯電極／左側固定櫛歯電極間と右側浮動櫛歯電極／右側固定櫛歯電極間に交互に電圧を印加することにより、浮動薄膜がｘ方向に振動する。浮動薄膜に、ｚ軸を中心とする回転の角速度が加わると、浮動薄膜にコリオリ力が加わって、浮動薄膜は、ｙ方向にも振動する楕円振動となる。浮動薄膜を導体としもしくは電極が接合したものとし、浮動薄膜のｘｚ平面に平行な検出電極を基板上に備えておくと、この検出電極と浮動薄膜との間の静電容量が、楕円振動のｙ成分（角速度成分）に対応して振動する。この静電容量の変化（振幅）を測定することにより、角速度を求めることが出来る（例えば特開平５−２４８８７２号公報，特開平７−２１８２６８号公報，特開平８−１５２３２７号公報，特開平９−１２７１４８号公報，特開平９−４２９７３号公報）。
【０００３】
米国特許明細書第５，６３５，６３８号のＦｉｇ．４には、１対の振動子を半円形状の１対の梁で連結して、各振動子の振動方向ｘに対して撓み性が高い梁を介して、８個のアンカーにて、該１対の振動子を浮動支持した角速度センサが開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の角速度センサではアンカー部が多点にわかれており、互いに距離があるため振動子を単振動させる梁バネ部に温度変化等の外力が加わると圧縮あるいは引張りの応力がかかる。そのため共振周波数が温度とともに変化し、ヒステリシスと不連続点をもつ特性となる。それはセンサの精度を低下させる。例えば特開平７−２１８２６８号公報に開示のごとき、アンカー部が多点にわかれた従来の角度センサでは、アンカー間に距離があるため駆動時の振動が検出側の振動にもれ、そのため精度低下となることが考えられる。また、例えば特開平７−２１８２６８号公報に開示のごときの、駆動の振動モードと検出の振動モードの不動点が不一致のものでは、互いの振動もれと外力の影響があると角速度検出精度が低下すると考えられる。また、駆動の振動モードにコリオリ力による振動を低減させる振動成分を含むと、角速度検出出力が小さい。従来の振動子の振幅が、＋ｘ方向と−ｘ方向とで異なって振動が不安定になるときがあり、センサとして成立しないときがある。
【０００５】
米国特許明細書第５，６３５，６３８号の角速度センサでは、振動子の重心から振動バネが接続されていないため、製造時の寸法変動により、振動マスに加わる駆動力が不均一になると振動がアンバランスになると推察される。また、非線形振動になる。そのため共振周波数のシフト振動のアンバランスにより検出出力の不安定な変動を発生させるためＳ／Ｎが悪いと推察される。駆動振動子と検出振動子が同一の質量となっているため、製造時の寸法変動により検出方向への振動を駆動振動子が発生すると、角速度信号のＳ／Ｎが低下すると推察される。検出振動子の振動が複数点支持のねじれ振動となるため、振動が基板をとおして外部にもれ、外部で反射した振動成分が基板に戻り振動子に加わるため、角速度信号のＳ／Ｎが低下すると推察される。振動駆動信号が検出コンデンサに伝わるので、角速度信号のＳ／Ｎが低いと推察される。
【０００６】
本発明は、振動子の連続振動を安定なものとし、角速度検出精度を高くすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
（１）本発明の角速度センサは、ｘ，ｙ平面上の一点Ｏおよび該一点Ｏを通るｙ軸に関して対称な位置にあって該ｙ軸より離れた、対のｘ振動子(6a,6b)；
これらの振動子(6a,6b)に連続しｘ方向に撓む、点Ｏおよび該点Ｏを通るｙ軸に関して対称な、対の第１支持梁(3a,4a,5a,7a,8a/3b,4b,5b,7b,8b)；
対の第１支持梁のそれぞれのｙ方向の中点に一端が連続しｘ方向に延びる、対の中心ｘ梁 (2a,2b) ；
基板(100)に対して、点Ｏにおいて第１支持梁を浮動支持する、対の中心ｘ梁 (2a,2b) の他端が連続したアンカー(1)；
対の中心ｘ梁 (2a,2b) に関して対称に位置し、ｘ方向に延び、端部が対の第１支持梁のそれぞれに連続した、対のｘアーム (9,10) ；
点Ｏに関して対称な検出振動子(19)；
点Ｏに関して対称であって、一端がｘアーム (9,10) のｘ方向中点に連続し他端が検出振動子(19)に連続した、ｙ方向に延びる対の連結梁(17,18)；
対のｘ振動子(6a,6b)を、ｘ方向に逆相で振動させるための励振手段(35a,35b)；および、
検出振動子(19)の、点Ｏを中心とする回転振動を検出する手段(30,31)；
を備える。なお、理解を容易にするためにカッコ内には、図面に示し後述する実施例の対応要素の符号を参考までに付記した。
【０００８】
これによれば、励振手段(35a,35b)にて対のｘ振動子(6a,6b)をｘ方向に逆相で振動させているときに、点Ｏを通るｚ軸廻りの角速度が加わると、各ｘ振動子(6a,6b)の振動がｙ振動成分を有する楕円振動となり、振動子間では逆相であるので、連結梁(17,18)にｚ軸廻りのねじり振動が加わり、検出振動子(19)がｚ軸廻りにねじり振動し、回転振動検出手段(30,31)がこれを検出する。
【０００９】
対のｘ振動子(6a,6b)が点Ｏに関して対称な位置にあって逆相でｘ方向に振動し、これらを支持する第１支持梁がｘ方向に撓むものであって、点Ｏにおいてアンカー(1)で浮動支持されているので、点Ｏはｘ振動の不動点である。検出振動子(19)は、対のｘ振動子(6a,6b)とは別体であり、点Ｏに関して対称な連結梁(17,18)でｘ振動子(6a,6b)に連結されているので、ｘ振動子(6a,6b)のｘ振動は検出振動子(19)には実質上伝播せず、対のｘ振動子(6a,6b)の逆相の楕円振動による連結梁(17,18)のｚ軸廻りのねじり振動によって振動する。すなわちｚ軸廻りに振動する。ｘ振動が実質上検出振動子(19)に加わらないので、回転振動検出手段(30,31)が発生する角速度信号のＳ／Ｎが高い。ｘ振動子(6a,6b)の振動の中心を不動点(O)として基板に固定してあるため、安定なｘ振動が実現する。そのため角速度信号のＳ／Ｎ比が高い。
【００１０】
また、連結梁(17,18)を長くして点Ｏから検出振動子(19)までの距離を、点Ｏからｘ振動子(6a,6b)までの距離より長くすることにより、てこの原理によって第１支持梁のねじり振動が増幅されるため、検出振動子(19)のねじり振動変位を（振幅）を大きくとることができる。そうすると角速度信号のＳ／Ｎが向上する。
【００１１】
【発明の実施の形態】
（２）検出振動子(19)に連続してそれを浮動支持し、点Ｏを中心とする回転方向に撓む支持部材(20〜23)およびそれを支持するアンカー(24〜27)を更に有する。
【００１２】
（３）対のｘ振動子，第１支持梁，これを浮動支持するアンカー，検出振動子および連結梁(17,18)は、一体連続の導電体であり、検出振動子(19)は、ｚ方向に開いた窓を有し、前記回転振動検出手段(30,31)は基板(100)に固定され該窓に進入した固定電極である。
【００１３】
（４）対のｘ振動子，第１支持梁，これを浮動支持するアンカー，検出振動子および連結梁(17,18)は一体連続の導電体、検出振動子(19)は点Ｏを中心とするリング状、かつ、連結梁(17,18)は該リングの半径方向に延びる。
【００１４】
本発明の好ましい実施例では、検出振動子(19)は点Ｏを中心とするリング状であって、該リングの半径方向に延びる連結梁(17,18)および第１支持梁を介して浮動支持アンカー(1)で支持されると共に、リング外方にて、等ピッチに存在する複数の、検出振動子(19)に連続してそれを浮動支持し、点Ｏを中心とする回転方向に撓む支持部材(20〜23)、ならびに、これらの支持部材(20〜23)を支持するアンカー(24〜27)を更に有する。
【００１５】
これによれば、検出振動子(19)が多点でアンカーされているにもかかわらず、熱膨張，内部応力等の解放によって中心点Ｏに関する検出振動子(19)の対称性がくずれることはない。したがって角速度信号の信頼性（安定性）が高い。
【００１６】
検出振動子(19)がつりあいのとれた自由な状態での振動であるため外部への振動もれが少なく、角速度信号のＳ／Ｎが向上する。連結梁(17,18)が電気的な抵抗となるため、ｘ振動子(6a,6b)あるいは第１支持梁に、コンデンサ結合によって誘起された、ｘ振動駆動電圧パルス原因のノイズが減衰され、検出振動子(19)への伝播が小さく、角速度信号のＳ／Ｎが高い。また、第１支持梁により電気的な抵抗となるため、ｘ振動子を励振させる励振側からのｘ振動駆動電圧パルス原因のノイズが減衰され、ｘ振動子のフィ−ドバック変位信号のＳ／Ｎが高い。
【００１７】
本発明の他の目的および特徴は、図面を参照した以下の実施例の説明より明らかになろう。
【００１８】
【実施例】
図１に、本発明の一実施例の機構要素を示す。絶縁層を形成したシリコン基板１００には、導電性とするための不純物を含むポリシリコン（以下導電性ポリシリコン）の、浮動体アンカー１，駆動電極１１ａ〜１４ａのアンカー，駆動検出電極１１ｂ〜１４ｂのアンカー，角速度検出電極３０，３１のアンカーおよび支持ばね２０〜２３のアンカー２４〜２７、が接合しており、これらのアンカーは、シリコン基板１００上の絶縁層の上に形成された配線により、図示しない接続電極に接続されている。
【００１９】
リソグラフによる半導体プロセスを用いて、シリコン基板１００から浮きしかも浮動体アンカー１に連続した、導電性ポリシリコンの、ｘ方向に延びる中心ｘ梁２ａ，２ｂおよびこれに連続し、ｙ方向に延びるｙ梁３ａ，３ｂが形成されている。ｘ梁２ａ，２ｂはｙ方向の撓み性が高く、ｙ梁３ａ，３ｂはｘ方向の撓み性が高い。
【００２０】
ｙ梁３ａにはｘ，ｙ方向共に剛性が高いｘ梁４ａ，８ａが連続し、これらのｘ梁４ａ，８ａにｘ方向の撓み性が高いｙ梁５ａ，７ａが連続し、これらのｙ梁５ａ，７ａがＨ型の第１のｘ振動子６ａの中心位置に連続している。同様に、ｙ梁３ｂにはｘ，ｙ方向共に剛性が高いｘ梁４ｂ，８ｂが連続し、これらのｘ梁４ｂ，８ｂにｘ方向の撓み性が高いｙ梁５ｂ，７ｂが連続し、これらのｙ梁５ｂ，７ｂがＨ型の第２のｘ振動子６ｂの中心位置に連続している。ｙ梁３ａと３ｂにｘア−ム９，１０が連続し、それらを連結している。これらの要素も、シリコン基板１００から浮いており、導電性ポリシリコンであり、アンカー１の中心Ｏにおいて、アンカー１によって支持され、基板１００からは浮いている。
【００２１】
第１，第２のｘ振動子６ａと６ｂとは、中心Ｏを通るｙ軸に関して対称な形状であって対称な位置にあり、ｙ梁３ａと３ｂも、またｘ梁２ａと２ｂも、ｙ軸に関して対称な形状であって対称な位置にある。ｘア−ム９と１０は、ｘ振動子６ａ，６ｂのｘ軸上でのｙ方向の幅と幅を等しくすることで駆動振動を安定化させるものである。また、比較的剛性が高いア−ムであり、しかも、中心Ｏを通るｘ軸に平行であり、ｘ軸に関して対称な形状であって対称な位置にある。
【００２２】
これらのｘ振動子６ａ，６ｂには、ｙ方向に等ピッチで分布しｘ方向に突出する櫛歯状の可動電極１５ａ，１５ｂがあり、駆動電極アンカーに連続した、導電性ポリシリコンの駆動電極１１ａ〜１４ａおよび駆動検出電極１１ｂ〜１４ｂにも、可動電極１５ａ，１５ｂのｙ方向分布の空間に突出する櫛歯状の固定電極１６ａ，１６ｂがありｙ方向に分布している。
【００２３】
駆動電極１１ａ，１３ａと１２ａ，１４ａに交互に、第１のｘ振動子６ａの電位（略機器ア−スレベル）より高い電圧を印加することにより、ｘ振動子６ａがｘ方向に振動する。このｘ振動が、ｘ振動子６ａ，６ｂを支持する第１支持梁（３ａ，４ａ，５ａ，７ａ，８ａ／３ｂ，４ｂ，５ｂ，７ｂ，８ｂ）を介して、少しではあるがｘ振動子６ｂに伝播し、ｘ振動の周波数が第２のｘ振動子６ｂの共振周波数に合致するものであると、第２のｘ振動子６ｂが該共振周波数でｘ方向に大きく振動し、第１，第２のｘ振動子６ａ，６ｂが互に逆相で振動する。すなわち第１，第２のｘ振動子６ａ，６ｂが共振音叉振動し、エネルギ消費効率が高いｘ振動をする。
【００２４】
第２のｘ振動子６ｂがｘ方向に振動することにより、ｘ振動子６ｂと駆動検出電極１２ｂ，１４ｂとの間の静電容量が振動し、かつその容量振動と逆位相でｘ振動子６ｂと駆動検出電極１１ｂ，１３ｂとの間の静電容量が振動する。
【００２５】
アンカー１は、振動子６ａ，６ｂ間の中点にあるのでｘ振動の中立点であり、ｘ振動子６ａ，６ｂの共振音叉振動（ｘ振動）に関してアンカー１（の中心Ｏ）は静止点であり、結局、アンカー１はｘ振動子６ａ，６ｂを、静止点にて支持していることになる。
【００２６】
前述のｘア−ム９，１０の各中点（共振音叉振動に関してｘ方向に振動しない中立点）に、検出振動子支持用の連結梁１７，１８の一端が連続しており、これらの連結梁１７，１８の他端が、中心Ｏを中心とする平板リング状の検出振動子１９に連続している。これらの要素も、シリコン基板１００から浮いており、導電性ポリシリコンであり、アンカー１の中心Ｏにおいて、アンカー１によって支持され、基板１００からは浮いている。連結梁１７，１８は、検出振動子１９の同一直径線上に位置する。ばね梁２０〜２３の一端が検出振動子１９に連続し、それらの他端がアンカー２４〜２７に連続している。ｘ，ｙ平面上でばね梁２０〜２３は、Ｓ字型であり、ｘ，ｙ方向には撓み性が高いが、ｚ方向には剛性が高く、検出振動子１９の連結梁１７，１８廻りのねじれ回転を抑止し検出振動子１９を基板１００に平行に維持する。ばね梁２０〜２３がｘ，ｙ方向には撓み性が高いので、また連結梁１７，１８が中心Ｏを中心とする回転方向の撓み性が高いので、検出振動子１９は、中心Ｏを通るｚ軸廻りのねじれ回転は容易である。以上に説明した連結梁１７，１８および検出振動子１９も導電体ポリシリコンであり、アンカー１，２４〜２７と実質上同電位である。
【００２７】
検出振動子１９には、多数の窓２８が等ピッチで開いており、各窓の円周方向中央位置に渡し梁２９があり、この渡し梁２９で、各窓２８は２区分されており、各区分の空間に、各１対の導電体ポリシリコンの固定検出電極３０，３１があり、基板１００上の検出電極用の各アンカーで支持されそれと電気的に連続である（電気接続関係にある）。
【００２８】
対の検出電極３０，３１間は絶縁されているが、検出用振動子１９の中心Ｏを通るｚ軸廻りの回転を検出するための各対電極３０，３１の、各対間で対応位置にある検出電極は電気リ−ド３２，３３に共通接続されている。
【００２９】
ｘ振動子６ａ，６ｂがｘ方向に共振音叉振動しているとき、中心Ｏを通るｚ軸廻りの角速度が加わると、ｘ振動子６ａ，６ｂの振動が、ｙ成分も有する相対的に逆相の楕円振動となり、第１支持梁（３ａ，４ａ，５ａ，７ａ，８ａ／３ｂ，４ｂ，５ｂ，７ｂ，８ｂ）が中心Ｏを通るｚ軸廻りにねじれ振動し、これによって連結梁１７，１８が中心Ｏを通るｚ軸廻りにねじれ振動する。これによって検出用振動子１９が、中心Ｏを通るｚ軸廻りに回転振動する。
【００３０】
以上に説明した角速度センサには、図１に示す角速度検出回路（３５ａ〜４２）が接続されている。タイミング信号発生器３４が、ｘ振動子６ａをｘ方向に共振周波数で逆相駆動する駆動パルス信号を発生して、駆動回路３５ａ，３５ｂに与えると共に、同期検波用の同期信号を同期検波回路３８，４２に与える。
【００３１】
図２に、駆動パルス信号に同期して駆動回路３５ａ，３５ｂが駆動電極１１ａ，１３ａ／１２ａ，１４ａに印加する電圧を示す。これにより、ｘ振動子６ａがｘ方向に振動する。この振動によってｘ振動子６ｂも振動するが、ｘ振動が実際の共振周波数がずれている場合にはｘ振動子６ｂの振動は弱く不安定である。ｘ振動子６ｂが振動すると、駆動検出電極１１ｂ〜１４ｂの相対向するもの１１ｂ，１３ｂと１２ｂ，１４ｂの、振動子６ｂに対する静電容量が逆相で振動する。差動増幅器３７が、これらの静電容量の振動を表わす、プリアンプ３６ａ，３６ｂが発生する静電容量信号を差動増幅し、１個のプリアンプが発生する静電容量信号の振幅を略２倍とし、ノイズを相殺した差動信号を発生し、同期検波回路３８およびフィ−ドバック処理回路３９に与える。同期検波回路３８は、駆動パルス信号と同相の同期信号に同期して、差動増幅器３７が与える差動信号すなわちｘ振動を表わすｘ振動検出電圧を検波し、駆動パルス信号に対するｘ振動の位相ずれを表わす信号を発生してフィ−ドバック処理回路３９に与える。
【００３２】
フィ−ドバック処理回路３９は、同期検波回路３８が与える位相ずれ信号レベルを設定値に合わすための移相信号を、駆動回路３５ａ，３５ｂに与え、それを受けた駆動回路は、移相信号に対応して、駆動パルス信号に対する出力駆動電圧Ｖ１，Ｖ２の位相をシフトする。同期検波回路３８の位相ずれ信号レベルが実質上設定値になった状態で、ｘ振動子６ａ，６ｂの共振音叉振動は安定したものとなる。
【００３３】
安定した共振音叉振動の間に、中心Ｏを通るｚ軸廻りの角速度が加わると、検出振動子１９に回転振動が現われ、その振幅が角速度の絶対値に対応する。
【００３４】
検出振動子１９の回転振動を検出する対の検出電極（３０，３１）の静電容量が、回転振動によって相対的に逆相で振動し、これを表わす静電容量信号をプリアンプ４０ａ，４０ｂが発生して差動増幅器４１が、両信号の差動信号すなわち１個のプリアンプが発生する静電容量信号の振幅を略２倍とし、ノイズを相殺した差動信号、を発生し、同期検波回路４２に与える。同期検波回路４２は、駆動パルス信号と同相の同期信号に同期して、差動増幅器４１が与える差動信号すなわち回転振動を表わす振動検出電圧を検波し、角速度を表わす信号を発生する。この角速度信号の極性（±）は加わった角速度の方向を、信号レベルの絶対値は角速度の大きさを表わす。
【００３５】
以上に説明した角速度センサの構造は従来構造とは違い、強制的に振動を押さえ込む形になっていないため、応力の影響，温度変化に強い構造である。また、駆動と検出の振動の不動点がセンサの重心Ｏにほぼ一致し、重心位置で支持点は静止している。そのため外部からの振動（車両等に搭載時）がセンサの駆動振動と検出振動にほとんど影響を与えないため従来タイプに比べＳ／Ｎ比が向上する。また、上記のような支持であるため温度等による熱膨張の影響が少なく温度補正の少なくてすむ。よって従来タイプに比べＳ／Ｎ比が向上する。
【００３６】
また、ｘ振動子６ａ，６ｂの質量中心に、バネ部であるｙ梁５ａ，７ａ／５ｂ，７ｂが連続してそれらを浮動支持するので、振動質量（６ａ，６ｂ）の自身の変形によるばね効果の変化が実質上なく、ｘ振動子６ａ，６ｂのｘ振動は、単振動に近くなる。ｘ励振の駆動力がｘ振動子６ａの中心に加わるため、振動のモードにねじれ等の成分が発生しにくく、ｘ振動が単振動になる。
【００３７】
また、ｘ振動子６ａ，６ｂ共振音叉振動系としているため、少ないエネルギーで駆動できるため、低コスト化できる。変位出力は大きく取れるため、Ｓ／Ｎが向上する。
【００３８】
更に、ｘ振動子６ａ，６ｂの共振音叉振動の不動点が重心Ｏであり、かつｘ振動子６ａ，６ｂが該重心Ｏ（単一点）で支持されている。これにより、ｘ振動の振動漏れが原理上発生しないため、検出振動の増幅率を大きく取れる。検出振動に不要な振動を誘起しないので、角速度信号のＳ／Ｎが向上する。駆動振動に不要な振動が誘起されず、単振動で駆動できる。そのためＳ／Ｎが向上する。
【００３９】
また、ｘ振動系および検出振動系の重心のそれぞれが一点Ｏであって、同一点であるので、温度による熱膨張の影響によりバネ部（２ａ〜７ａ，２ｂ〜７ｂ，９，１０）に応力の負荷が発生せず、温度特性がよくなる。特に、車載等、温度変化が大きい環境で使用する場合に、角速度検出の信頼性（安定性）が高い。
【００４０】
また、図１に示す角速度センサの、バネ部（２ａ〜７ａ，２ｂ〜７ｂ，９，１０）がすべて折り曲げ形状にて形成されているので、バネ部のねじり振動の周波数が十分低く形成されているため、検出振動のもれはない。また、温度による熱膨張の影響によりバネ部に応力の負荷が発生せず、温度特性がよくなる。同じ共振周波数で比べると外形を小さくできるため、低コストとなる。
【００４１】
検出振動子１の内空間内にｘ振動子６ａ，６ｂを配置しているので、中心Ｏからのｘ振動子６ａ，６ｂの距離より、検出振動子１９の半径が大きいので、てこの原理により検出振動子１９の回転変位が大きく、角速度信号のＳ／Ｎが高い。また、リソグラフを用いる半導体プロセスにて、シリコンウェ−ハ上に構成でき従来の半導体プロセスにて製作可能なため、低コストで生産しうる。浮動体が１枚板から形成され、半導体プロセスにて簡単に造形でき、低コストで生産しうる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の平面図である。
【図２】図３に示す駆動回路Ａ（３５ａ），Ｂ（３５ｂ）が、ｘ励振用の駆動電極１１ａ〜１４ａに印加する電圧を示すタイムチャ−トである。
【符号の説明】
１：アンカー
２ａ，２ｂ：ｘ梁
３ａ，３ｂ：ｙ梁
４ａ，４ｂ：ｘ梁
５ａ，５ｂ：ｙ梁
６ａ，６ｂ：ｘ振動子
７ａ，７ｂ：ｙ梁
８ａ，８ｂ：ｘ梁
９，１０：ｘア−ム
１１ａ〜１４ａ，１１ｂ〜１４ｂ：固定電極
１５ａ，１５ｂ：可動電極
１６ａ，１６ｂ：固定電極
１７，１８：連結梁
１９：検出振動子
２０〜２３：ばね梁
２４〜２７：アンカー
２８：窓
２９：渡し梁
３０，３１：固定検出電極
３２，３３：電気リ−ド

Claims

ｘ，ｙ平面上の一点Ｏおよび該一点Ｏを通るｙ軸に関して対称な位置にあって該ｙ軸より離れた、対のｘ振動子；
これらの振動子に連続しｘ方向に撓む、点Ｏおよび該１点Ｏを通るｙ軸に関して対称な、対の第１支持梁；
対の第１支持梁のそれぞれのｙ方向の中点に一端が連続しｘ方向に延びる、対の中心ｘ梁；
基板に対して、点Ｏにおいて第１支持梁を浮動支持する、対の中心ｘ梁の他端が連続したアンカー；
対の中心ｘ梁に関して対称に位置し、ｘ方向に延び、端部が対の第１支持梁のそれぞれに連続した、対のｘアーム；
点Ｏに関して対称な検出振動子；
点Ｏに関して対称であって、一端がｘアームのｘ方向中点に連続し他端が検出振動子に連続した、ｙ方向に延びる対の連結梁；
対のｘ振動子を、ｘ方向に逆相で振動させるための励振手段；および、
検出振動子の、点Ｏを中心とする回転振動を検出する手段；
を備える角速度センサ。
検出振動子に連続してそれを浮動支持し、点Ｏを中心とする回転方向に撓む支持部材およびそれを支持するアンカーを更に有する、請求項１記載の角速度センサ。
対のｘ振動子，第１支持梁，これを浮動支持するアンカー，検出振動子および連結梁は、一体連続の導電体であり、検出振動子は、ｚ方向に開いた窓を有し、前記回転振動検出手段は基板に固定され該窓に進入した固定電極である、請求項１記載の角速度センサ。
対のｘ振動子，第１支持梁，これを浮動支持するアンカー，検出振動子および連結梁は一体連続の導電体、検出振動子は点Ｏを中心とするリング状、かつ、連結梁は該リングの半径方向に延びる、請求項１記載の角速度センサ。