JP3869851B2 - 導電性ボール配列用マスク及びその製造方法 - Google Patents
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Description
次に、本発明に係る配列用マスクの第1実施形態について説明する。本実施形態では、突起部11cが非磁性体で一体的に形成されている点が着目される。前記突起部11cは、樹脂やレジストなどといった非磁性体であれば何でも良いが、本実施形態ではソルダーレジストによって形成することが望ましい。以下、図7および図8に基づいて本実施形態の配列用マスク11の製造方法を説明する。なお、上記したものと同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。
次に、本発明に係る配列用マスクの第2実施形態について以下図面を参照して説明する。図9(a)は、配列用マスクの斜視図であり、図9(b)は、配列用マスクの断面図である。本実施形態に係る配列用マスク210は、図9に示すように、マスク部211と枠部(図示せず)からなり、マスク部211には導電性ボール13が挿通可能で電極部14aの配列パターンに応じ形成された開口部18が形成されており、前記開口部18は微小孔部18aと前記微小孔部よりも孔径が大きい径大孔部18bとの二段穴によって形成されている。以下、図10および図11に基づいて配列用マスクの製造方法の参考例を説明する。なお、上記実施形態ないし参考例と同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。
次に、本発明に係る配列用マスクの第3実施形態について説明する。本実施形態は、突起部11cの形状や形成位置が前記実施形態と異なる。以下、図14に基づいて本実施形態の配列用マスク11を説明する。なお、上記実施形態ないし参考例と同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。
次に、本発明に係る配列用マスクの第4実施形態について説明する。本実施形態は、突起部11cの形状や形成位置が前記実施形態とさらに異なる。以下、図17に基づいて本実施形態の配列用マスク11を説明する。なお、上記実施形態ないし参考例と同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。
前記実施形態において、突起部11cの形状は図示例に限らず、例えば星状、三角状、無端枠状などとどのような形状であっても良い。また、突起部11cの形成位置は、図示例のように開口部11a・11aの中間に形成するのが好ましいが、必ずしも中間になくてもよく、要は開口部11aとかぶらない位置であれさえすればどこでも良い。さらに、突起部11cは規則正しく形成する必要はなく、例えば、一個飛ばしやまだらに形成しても良く、要は配列用マスク11がたわまないように突起部11cが形成してあれば良い。
11、210 配列用マスク
111、211 マスク部
112 枠部
11a、18 開口部
11b 非開口部
11c 突起部
12 テーブル
13 導電性ボール
14 被搭載体
15 供給手段
16 除去手段
17 スキージ
18a 微小孔部
18b 径大孔部
20 母型
21、31、41、51、61、71、81、91 一次パターンレジスト
22、32、42、52、62、72、82、92 一次電着層
23、33、43、53、63、73、83、93 レジスト層
24、34、44、54、64、74、84、94 二次パターンレジスト
25、45 二次電着層
Claims (3)
- 所定の配列パターンに対応した開口部を有し、前記開口部に導電性ボールを振り込むことで所定の位置に前記導電性ボールを搭載する配列用マスクであって、前記配列用マスクのマスク部は磁性体から成り、前記マスク部の被搭載体と対面する側には部分的に突出する突起部が一体的に形成されており、前記突起部が樹脂又はレジストで形成されていることを特徴とする配列用マスク。
- 所定の配列パターンに対応した開口部を有し、前記開口部に導電性ボールを振り込むことで所定の位置に前記導電性ボールを搭載する配列用マスクであって、前記開口部は微小孔部と前記微小孔部よりも孔径が大きい径大孔部との二段穴によって形成されており、前記配列用マスクの前記微小孔部形成側は磁性体から成り、前記径大孔部が形成されている前記マスク部の被搭載体と対面する側は樹脂又はレジストで形成されていることを特徴とする配列用マスク。
- 所定の配列パターンに対応した開口部を有し、前記開口部に導電性ボールを振り込むことで所定の位置に前記導電性ボールを搭載する配列用マスクの製造方法であって、
母型の表面に、レジスト体を有する一次パターンレジストを設ける第1のパターンニング工程と、
一次パターンレジストを用いて、母型上に電着金属を電鋳して、一次電着層を形成する第1の電鋳工程と、
一次電着層上にレジスト層を形成し、レジスト体を有する二次パターンレジストを設ける第2のパターンニング工程と、
母型を剥離する工程とを含むことを特徴とする配列用マスクの製造方法。
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