JP3864092B2 - 難燃性物質分解バーナ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は難燃性物質分解バーナに関し、特に、半導体製造工程で排出されるプロセス排ガスに含まれるPFC(パーフルオロカーボン)などを高効率で熱分解するのに好適な難燃性物質分解バーナに関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工程から排出されるプロセス排ガスには、多くの種類の有害なガス成分が含まれている。そのような有害な排ガスを処理して大気に放出するために種々の排ガス処理装置が提案されている。例えば、特開2001−165422号公報には不燃性ガスであるC2F6などのPFCを効果的に分解処理することを目的とした排ガス除害装置が記載されており、そこでは、上下に延びる筒体に、複数個のガス燃料燃焼バーナをそのバーナ噴出方向を筒体中心軸と直交する面に対して傾斜状にかつ多段に配置し、それにより、排ガスの高熱になる広い燃焼領域での滞留時間を長くして、不燃性ガスの熱分解を促進して除害するようにしている。
【0003】
また、特開2001−280629号公報には、燃焼筒を外筒と内筒とで構成し、内筒の底部に、排ガス流路とその周囲に同心円状に配された燃料ガス供給路とを有する排ガス燃焼ノズルを配置し、さらに、大気圧以上の圧力を有する支燃性ガスを内筒内に供給する手段とを備えた燃焼式排ガス処理装置が記載されている。この装置では、排ガス流路を囲むようにして火炎を形成し、該火炎に大気圧以上の圧力を有する支燃性ガスを吹き込むことによって、排ガス中の難燃性PFCのような難燃性除去成分を容易に熱分解させるようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者らは、半導体製造工程から排出されるプロセス排ガスのように難燃性物質を含む排ガスを効果的に分解処理するための実験と研究を継続的に行ってきているが、上記したような従来提案されている除去装置はいずれも構成が複雑であり、結果として大型のものとならざるを得ず、製造工業でのスペース的な環境を考慮すると、より小型化した処理装置が必要であること、また、C2F6のように比較的低温度で熱分解する物質に対しては高い処理効率が得られているが、燃分解温度が高いCF4あるいはSF6に対しては、必ずしも充分な処理効率が得られていないこと、を経験している。
【0005】
本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、簡単な構成でもってCF4あるいはSF6のように熱分解温度の高い物質をも99%以上の効率で熱分解処理を行うことを可能とする難燃性物質分解バーナを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するための本発明による難燃性物質分解バーナは、一端が閉塞壁により閉じている筒体と、筒体の中心軸線方向に難燃性物質含有ガスを噴出するように閉塞壁に取り付けられた難燃性物質含有ガス導入ノズルと、筒体の中心軸線から同心円上の位置において閉塞壁に取り付けられた複数個の酸化剤および燃料吹き出しノズルとを少なくとも備えており、前記複数個の酸化剤および燃料吹き出しノズルはそれぞれの噴出火炎が筒体の中心軸線上のほぼ同じ点で収束できるように軸線を傾斜させて取り付けられていることを特徴とする。
【0007】
本発明による難燃性物質分解バーナは、筒体と、難燃性物質含有ガス導入ノズルと、そこから同心円状に配置された複数個の酸化剤および燃料吹き出しノズルとを備えるだけであり、構成はきわめて簡単であって、全長も短いものとして設計することができる。それにより、半導体製造工場のフロアー下などに容易にプロセス排ガス処理施設を設置することが可能となる。
【0008】
また、同心円状に配置した複数個の酸化剤および燃料吹き出しノズルからの噴出火炎を、筒体の中心軸線上のほぼ同じ点で収束するようにしたことにより、火炎が収束した領域周辺には高温の燃焼領域が形成される。そして、例えば半導体製造装置からのプロセス排ガスである難燃性物質含有排ガスはその領域を確実に通過していくので、そこで、PFCのような難燃性物質の熱分解処理は効果的に進行する。本発明者らの実験では、熱分解温度の高いCF4についても99%以上の分解率が得られ、また、SF6についてもほぼ同様な分解率が得られた。CF4やSF6よりも熱分解温度の低いC2F6など他のPFC類についても、高い熱分解率が達成される。
【0009】
本発明の難燃性物質分解バーナにおいて、酸化剤および燃料吹き出しノズル軸線の筒体中心軸線に対する最適の傾斜角度は、難燃性物質含有ガス導入ノズルからの難燃性物質含有ガスの流量や流速、酸化剤および燃料吹き出しノズルからの噴出火炎の大きさや先端までの距離などに応じて変化する。与えられた条件のもとで実験的に最適値が定められるが、本発明者らの実験では、筒体の中心軸線に対して15度〜50度、より好ましくは30度〜45度の範囲であることが、実用的な意味から好ましいことがわかった。傾斜角度が50度より大きいと、火炎が閉塞壁の裏面に接近し過ぎて耐火材の熱損傷が進行しやすくなる。傾斜角度が15度より小さいと、火炎が筒体内面に接近し過ぎてやはり耐火材の熱損傷が進行しやすくなり、また、難燃性物質含有ガス流束の巻き込み量が少なくなり、分解率が低くなる、などのような不都合が生じる。
【0010】
本発明による難燃性物質分解バーナを運転するに際して、難燃性物質含有ガス導入ノズルから導入される難燃性物質含有ガスの流速は遅いほうが望ましい。それにより、高温の燃焼領域内での滞留時間が長くなり、高い熱分解効率が得られる。流量が一定の場合、流速はノズル径に左右されるので、周囲の環境が許す限り大きなノズル径とするのが望ましい。また、流速が大きくなると、収束している火炎を難燃性物質含有ガスが押し開くようにして通過してしまい、熱分解処理が低下するので、好ましくない。そのような事情を勘案して、実験的に、最適の流速(難燃性物質含有ガス導入ノズルの径)の最適値を設定する。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による難燃性物質分解バーナを実施の形態により説明する。図1は難燃性物質分解バーナ1の一例を示している。バーナ1は、円筒形の筒体2と、該筒体2の一方端を閉鎖する閉塞壁3とを備える。筒体2は上端にフランジ21を形成した外装体22を有し、該外装体22の内周面は2重に積層した耐火煉瓦のように適宜の耐火材23で覆われている。筒体2の下方側開放端は、従来のこの種のバーナと同様に、適宜の管路を介して大気に開放している。
【0012】
閉塞壁3は下端にフランジ31を形成した外装体32を有し、該外装体32の内部には多段に積層した耐火材33が充填されている。閉塞壁3は、そのフランジ31を筒体2のフランジ21に重ね合わせてねじ止めすることにより、筒体2に気密に一体化され、それにより、筒体2の上端側は閉鎖される。
【0013】
閉塞壁3における、筒体2に取り付けた状態で筒体2の中心軸線Lが通過する位置には、筒体2の中心軸線Lの方向に難燃性物質含有ガスが噴出するようして難燃性物質含有ガス導入ノズル40が取り付けられる。さらに、閉塞壁3には、筒体2の中心軸線Lから同心円上の位置に、複数個の酸化剤および燃料吹き出しノズル50が等しい距離をおいて取り付けられる。図示の例では、4個の吹き出しノズル50が取り付けてあるが、3個以上であれば任意であり、所期の目的は達成することができる。図示されるように、各吹き出しノズル40の軸心線は、それぞれの噴出火炎が筒体2の中心軸線L上のほぼ同じ点で収束できるように、所定の角度(好ましくは、15度〜50度の範囲)で傾斜している。
【0014】
図示の例では、吹き出しノズル50は中央の燃料ノズル51と、その周囲の酸化剤ノズル52とから構成され、燃料ノズル51からは都市ガス、プロパンガス、水素などが供給され、酸化剤ノズル52からは酸素、空気などが供給される。処理に当たって、難燃性物質含有ガス導入ノズル40には、例えば半導体製造装置からのプロセス排ガスが導かれ、筒体2内に所定流量のプロセス排ガスを噴出する。4個の酸化剤および燃料吹き出しノズル50からの4本の燃焼火炎fは、筒体2の中心軸線L上のほぼ同じ点で収束し、その周辺には高温の燃焼領域Sが形成される。筒体2内に噴出したプロセス排ガスは形成された高温の燃焼領域Sを通過する過程において、難燃性物質の熱分解処理が効果的に進行する。そして、分解処理済プロセス排ガスが筒体2の下端から流出する。
【0015】
次に、実験例を説明する。筒体の内径が140mmである図1に示す形態の難燃性物質分解バーナ1を作成した。CF4を含む被処理ガス(N2希釈ガス)を難燃性物質含有ガス導入ノズル40から筒体2内に噴出させた。被処理ガスの流量は80L/min、燃料はメタンであり流量は16L/min、酸化剤は酸素であり流量は37L/minとした。試験は、同じ条件で、難燃性物質含有ガス導入ノズル40の内径を変化させ、被処理ガスの流速のみを変えた。ケース1では直径35.7mm、ケース2では直径12.7mmとした。その結果を表1に示す。なお、上記被処理ガスの燃焼分解処理を行わない場合での出口CF4濃度は2000ppmであった。
【0016】
【表1】
【0017】
表1に示すように、99%を越えるCF4の分解率が得られており、本発明による難燃性物質分解バーナの有効性が示される。ケース1の方が若干高い分解率を示しているが、これは、分解率が被処理ガス流速により火炎形状が変化することが原因と考えられる。また、壁温がケース1の方が100℃ほど低くなっている。このことから、火炎はケース1の方が筒体中心軸線付近にコンパクトに形成されていることがわかり、バーナ構造の工夫によって筒体壁面の耐火材の熱劣化を長時間にわたって防ぎ得ることが示される。
【0018】
【発明の効果】
本発明によれば、簡単な構成でもってCF4のように燃分解温度の高い有害物質をも99%以上の効率で熱分解処理を行うことのできる難燃性物質分解バーナが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による難燃性物質分解バーナの一実施の形態を説明する図。
【符号の説明】
1…難燃性物質分解バーナ、2…筒体、23…耐火材、3…閉塞壁、33…耐火材、40…難燃性物質含有ガス導入ノズル、50…酸化剤および燃料吹き出しノズル、51…燃料ノズル、52…酸化剤ノズル、L…筒体中心軸線、f…燃焼火炎
Claims (4)
- 上端側が閉塞壁により閉じており下方側が開放端となっている筒体と、筒体の中心軸線方向に難燃性物質含有ガスを噴出するように閉塞壁に取り付けられた難燃性物質含有ガス導入ノズルと、筒体の中心軸線から同心円上の位置において閉塞壁に取り付けられた複数個の酸化剤および燃料吹き出しノズルとを少なくとも備えており、前記複数個の酸化剤および燃料吹き出しノズルはそれぞれの噴出火炎が筒体の中心軸線上のほぼ同じ点で収束できるように軸線を傾斜させて取り付けられており、火炎の収束した高温領域を通過する過程で難燃性物質含有ガス中の難燃性物質の熱分解処理が進行し、分解処理済みの難燃性物質含有ガスは筒体の下端から流出することを特徴とする難燃性物質分解バーナ。
- 各酸化剤および燃料吹き出しノズルの軸線の傾斜角度は筒体の中心軸線に対して15度〜50度の範囲である請求項1記載の難燃性物質分解バーナ。
- 処理すべき難燃性物質含有ガスが半導体製造装置からのPFC(パーフルオロカーボン)を含むプロセス排ガスであることを特徴とする請求項1または2記載の難燃性物質分解バーナ。
- 処理すべき難燃性物質含有ガスが半導体製造装置からのCF4またはSF6を含むプロセス排ガスであることを特徴とする請求項1または2記載の難燃性物質分解バーナ。
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