CN109028102A - 气体的燃烧装置及其使用方法 - Google Patents

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Abstract

一种气体的燃烧装置及其使用方法，其中气体的燃烧装置包括：燃烧腔室，所述燃烧腔室包括第一区和位于第一区底部的第二区，所述燃烧腔室的第二区顶部尺寸大于底部尺寸，所述燃烧腔室的第二区底部具有第二开口；通入所述燃烧腔室第一区的燃烧头，所述燃烧头用于喷射火焰，所述火焰的喷射方向与所述第二开口中心轴之间的夹角大于0度小于90度；位于所述燃烧腔室第一区顶部的至少一个第一开口，所述第一开口用于向燃烧腔室内输入第一气体，所述第一气体经所述火焰燃烧后生成第二气体，所述第二气体自所述第二开口输出。利用所述气体的燃烧装置在提高第一气体燃烧率的同时，还能够提高第一气体的处理效率。

Description

气体的燃烧装置及其使用方法
技术领域
本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种气体的燃烧装置及其使用方法。
背景技术
在半导体制造过程中，需要用到各种气体参与化学反应。由于通入反应腔的气体不可能完全被消耗掉，经常还残留有尾气，因此，必须通过尾气处理装置对尾气进行处理，以免污染环境或产生其他危害。
现有技术，通常采用燃烧法对尾气进行处理。然而，现有技术对尾气的燃烧不够充分，对环境的污染较严重。
发明内容
本发明解决的技术问题是提供一种气体的燃烧装置及其使用方法，在提高第一气体燃烧率的同时，还能够提高第一气体的处理效率。
为解决上述技术问题，本发明提供一种气体的燃烧装置，包括：燃烧腔室，所述燃烧腔室包括第一区和位于第一区底部的第二区，所述燃烧腔室的第二区顶部尺寸大于底部尺寸，所述燃烧腔室的第二区底部具有第二开口；通入所述燃烧腔室第一区的燃烧头，所述燃烧头用于喷射火焰，所述火焰的喷射方向与第二开口中心轴之间的夹角大于0度小于90度；位于所述燃烧腔室第一区顶部的至少一个第一开口，所述第一开口用于向燃烧腔室内输入第一气体，所述第一气体经所述火焰燃烧后生成第二气体，所述第二气体自所述第二开口输出。
可选的，所述第一气体包括：碳氟气体；所述碳氟气体包括：C4F8、CF4和CH3F中的一种或者多种组合。
可选的，还包括：与燃烧头相连的助燃气体管，所述助燃气体管用于输送助燃气体；所述助燃气体包括：氧气或者天然气和氧气的混合气体。
可选的，还包括：位于所述燃烧腔室第一区底部的降温腔室，且所述燃烧腔室的第二区位于降温腔室内；与降温腔室连通的洗涤装置，所述洗涤装置内盛载洗涤液，所述洗涤液用于吸收第二气体中可溶于所述洗涤液的成分以生成第三气体，所述洗涤装置顶部还包括第三开口，所述第三开口用于输出第三气体。
可选的，所述降温腔室内具有隔热板和冷却水装置，所述冷却水装置包围所述隔热板。
可选的，所述洗涤剂包括水。
可选的，所述燃烧头的个数为两个或者两个以上。
相应的，本发明还提供一种气体的燃烧装置的使用方法，包括：提供第一气体；提供上述气体的燃烧装置；第一气体通过第一开口进入燃烧腔室内，第一气体经火焰的燃烧后形成第二气体，所述第二气体通过第二开口输出。
与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下有益效果：
本发明技术方案提供的气体燃烧装置中，所述燃烧腔室第二区底部的第二开口用于输出第二气体，而所述第二开口具有中心轴，且所述燃烧头所喷火焰的喷射方向与中心轴之间的夹角小于90度，使得火焰能够喷入燃烧腔室内，所述火焰用于燃烧第一气体。同时，所述燃烧头所喷火焰的喷射方向与中心轴之间的夹角大于0度，使得燃烧头不与第二开口相对，则所述第一气体经燃烧头燃烧后生成的第二气体不直接从第二开口输出，而是沿燃烧腔室第二区的侧壁多次回旋后，才从第二开口输出，使得第一气体的燃烧时间较长，则第一气体燃烧更充分，有利于提高第一气体的燃烧率。因此，当第一气体的燃烧率相同时，使得所需燃烧头的个数相对较少，则当气体的燃烧装置的制造空间一定时，使得用于制造第一开口的空间较大，则第一开口的个数较多。而所述第一开口用于输送第一气体，因此，有利于提高第一气体的处理效率。综上，所述方法在提高第一气体燃烧率的同时，还能够提高第一气体的处理效率。
进一步，所述燃烧头的个数为两个以上时，使得第一气体与燃烧头所喷火焰的接触面积较大，则第一气体的燃烧更加充分，有利于进一步提高第一气体的燃烧率。
附图说明
图1和图2是一种气体的燃烧装置的结构示意图，图2是图1沿X方向的俯视图，图1是图2沿A-A1线的剖面示意图；
图3和图4是本发明气体燃烧装置的结构示意图，图4是图3沿Y方向上的俯视图，图3是图4沿B-B1线的剖面示意图。
具体实施方式
正如背景技术所述，现有技术对尾气的燃烧不够充分。
图1和图2是一种气体燃烧装置的结构示意图，图2是图1沿X方向上的俯视图，图1是图2沿A-A1线的剖面示意图。
请参考图1和图2，燃烧腔室100，所述燃烧腔室100包括第一区Ⅰ和位于第一区Ⅰ底部的第二区Ⅱ，所述燃烧腔室100第一区Ⅰ的顶部具有至少一个第一开口101，所述第一开口101用于输入第一气体1，所述燃烧腔室100第二区Ⅱ的顶部尺寸大于底部尺寸，所述燃烧腔室100第二区Ⅱ的底部具有第二开口103；通入燃烧腔室100第一区Ⅰ顶部的燃烧头102，所述燃烧头102用于燃烧第一气体1后生成第二气体2，所述第二气体2通过第二开口103输出；位于所述燃烧腔室100第一区Ⅰ底部的降温腔室104，所述燃烧腔室100第二区Ⅱ位于所述降温腔室104内，且所述降温腔室104底部还具有第三开口105，所述第三开口105用于输出第二气体2。
上述气体的燃烧装置中，所述气体的燃烧装置包括中心轴O-O1，为了提高第一气体1的处理速率，所述第一开口101的个数为两个。所述燃烧头102的个数为1个，为了充分地燃烧第一气体1，所述燃烧头102设置在中心轴O-O1上。所述燃烧腔室100第二区Ⅱ用于回笼第二气体2，为了更好地回笼第二气体2，所述第二开口103也设置在中心轴O-O1上。
然而，由于所述燃烧头102和第二开口103均设置在中心轴O-O1上，使得第一气体1经燃烧头102燃烧后形成的第二气体2直接从第二开口103输出，则所述第一气体1在燃烧腔室100内的燃烧时间较短，使得第一气体1的燃烧不充分，即：所述第二气体2中未燃烧的第一气体1的含量较多。由于第一气体1对环境的污染较严重，若直接将第二气体2输送到空气中，将对环境造成较大的污染。
一种提高第一气体1燃烧效率的方法包括：增加所述燃烧头102的个数，使得所述燃烧头102所喷火焰与第一气体1的接触面积较大，有利于增加第一气体1的燃烧效率。然而，当气体的燃烧装置的制造空间一定时，所述燃烧头102的个数较多，使得用于形成第一开口101的制造空间较小，则所述第一开口101的个数较少。所述第一开口101用于输送第一气体1，所述第一开口101的个数较少，使得第一气体1的处理效率较低。
为解决所述技术问题，本发明提供了一种气体的燃烧装置，包括：所述燃烧腔室第二区底部具有第二开口；通入所述燃烧腔室第一区的燃烧头，所述燃烧头用于喷射火焰，所述火焰的喷射方向与中心轴之间的夹角大于0度小于90度，所述火焰用于燃烧第一气体生成第二气体，所述第二气体通过第二开口输出。所述气体燃烧装置在提高第一气体的燃烧率的同时，还能够提高第一气体的处理效率。
为使本发明的上述目的、特征和有益效果能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
图3和图4是本发明气体燃烧装置的结构示意图，图4是图3沿Y方向的俯视图，图3是图4沿B-B1线的剖面结构示意图。
请参考图3和图4，燃烧腔室200，所述燃烧腔室200包括第一区A和位于第一区A底部的第二区B，所述燃烧腔室200第二区B的顶部尺寸大于底部尺寸，所述燃烧腔室200第二区B底部具有第二开口203；通入所述燃烧腔室200第一区A顶部的燃烧头202，所述燃烧头202用于喷射火焰，所述火焰的喷射方向与第二开口203中心轴C-C1之间的夹角α大于0度小于90度；位于所述燃烧腔室200第一区A顶部的至少一个第一开口201，所述第一开口201用于输入第一气体11，所述第一气体11经所述火焰燃烧后生成第二气体12，所述第二气体12自所述第二开口203输出。
所述燃烧腔室200为后续利用燃烧头202燃烧第一气体11提供一密闭空间，使得燃烧工艺不受外界环境的影响。
在本实施例中，所述第一气体11为半导体工艺过程中产生的气体，具体的，所述半导体工艺包括：化学气相沉积工艺、物理气相沉积工艺和干法刻蚀工艺中的一种或者多种组合，所述半导体工艺产生的第一气体11包括：碳氟类气体；所述碳氟气体包括：C4F8、CF4和CH3F中的一种或者多种组合。若直接将第一气体11排放至空气中，将对环境造成污染，因此，需对第一气体11进行燃烧处理，最终将形成的无害气体排放至空气中，以降低对环境的污染。
在其他实施例中，所述第一气体还可以为其他可燃烧气体。
所述第一开口201用于将第一气体11输入至燃烧腔室200内。
在本实施例中，以所述第一开口201的个数为两个进行说明。在其他实施例中，所述第一开口的个数为一个或者两个以上。
在本实施例中，与一个第一开口201相比，选择两个所述第一开口201，使得将第一气体11输送至燃烧腔室200内的速率较快，有利于提高第一气体11的处理效率。同时，所述第一开口201的个数不至于过多，则所述第一开口201占有的制造空间不至于过多，则当气体的燃烧装置的制造空间一定时，用于制造燃烧头202的个数较多，所述燃烧头202所喷火焰用于燃烧第一气体11，因此，有利于提高第一气体11的燃烧效率。
所述燃烧腔室200第二区B的顶部尺寸大于底部尺寸，有利于回笼第二气体12，有利于所述第二气体12通过第二开口203输出。
所述气体的燃烧装置还包括：与燃烧头202相连的助燃气体管(图中未示出)，所述助燃气体管用于输送助燃气体，所述助燃气体包括氧气或者天然气和氧气的混合气体。
在本实施例中，所述氧气来源于空气，即：所述助燃气体包括空气和天然气。在助燃气体的帮助下，所述燃烧头202所喷火焰用于燃烧第一气体11形成第二气体12。
所述第二开口203的中心轴C-C1是指垂直于所述第二开口203端部所在平面的中心轴线。
所述火焰的喷射方向与第二开口203中心轴C-C1的夹角α大于0度小于90度，选择所述火焰的喷射方向与第二开口203中心轴C-C1夹角α的意义在于：若所述火焰的喷射方向与第二开口203中心轴C-C1的夹角α小于90度，使得所述火焰能够进入燃烧腔室200内，有利于火焰燃烧第一气体11；而所述火焰的喷射方向与第二开口203中心轴C-C1的夹角α大于0度，使得燃烧头202不与第二开口203相对，则经燃烧头202燃烧后生成的第二气体12不直接从第二开口203输出，而是经燃烧腔室200第二区B侧壁的多次回旋后，才从第二开口203输出，则第一气体11的燃烧时间较长，使得第一气体11的燃烧更加充分，有利于提高第一气体11的燃烧率。并且，在保证第一气体11的燃烧率相同的情况下，使得燃烧头202的个数相对较少，因此，当气体的燃烧装置的制造空间一定的情况下，使得第一开口201的制造空间较大，即：所述第一开口201的个数较多，使得进入燃烧腔室200的第一气体11的量较多，有利于第一气体11的处理效率。
在本实施例中，所述燃烧腔室200第二区B侧壁与燃烧腔室200第二区B顶部的夹角为45度，所述火焰的喷射方向与第二开口203中心轴C-C1的夹角α为45度，则所述火焰的喷射方向与燃烧腔室200第二区B的侧壁垂直，使得所述火焰与第一气体11的燃烧时间相对较长，有利于提高第一气体11的燃烧效率。同时，所述燃烧时间不至于过长，防止第一气体11与空气中的氮气反应形成氮氧化物气体。由于所述氮氧化物气体不被后续的洗涤装置去除，，氮氧化物气体将被后续第三开口排至空气中，而所述氮氧化物气体将带来温室效应。因此，当所述燃烧时间不至于过长时，有利于降低温室效应。
在本实施例中，燃烧头202的个数为两个。
在其他实施例中，所述燃烧头的个数为两个以上。
在本实施例中，所述燃烧头202的个数为两个，且一个燃烧头202靠近一个第一开口201，使得燃烧腔室200内各处的温度相对一致，使得燃烧头202所喷火焰与第一气体11的接触面积较大，有利于提高第一气体11的燃烧效率。
所述第二气体12包括未被燃烧的第一气体11、无害气体和可溶于后续洗涤装置中洗涤剂的气体。所述第二气体12中第一气体11的含量较少，使得后续通过第三开口排至空气中，对环境的污染较小。
所述气体的燃烧装置还包括：位于所述燃烧腔室200第一区A底部的降温腔室(图中未标出)，且所述燃烧腔室200的第二区B位于降温腔室内；与降温腔室连通的洗涤装置204，所述洗涤装置204内盛载有洗涤剂205，所述洗涤剂205用于吸收第二气体12中可溶于洗涤剂205的成分以生成第三气体13，所述洗涤装置204顶部还包括第三开口206，所述第三开口206用于输出第三气体13。
所述降温腔室内具有隔热板207和冷却水装置208，所述冷却水装置208包围所述隔热板207。
所述隔热板207的材料包括陶瓷，所述隔热板207的作用包括：由于第二气体12的温度较高，若没有隔热板207，所述高温将传输至降温腔室侧壁，可能对操作人员造成烫伤；并且，所述高温将对其他器件造成影响。
所述冷却水装置208内具有冷却水，所述冷却水用于对第二气体12进行降温。
在本实施例中，所述洗涤剂205为水。在其它实施例中，所述洗涤剂为其它溶液。
所述洗涤装置204中的洗涤剂205用于吸收第二气体12中可溶于洗涤剂205的气体，且所述洗涤装置204顶部还具有第三开口206，所述第三开口206用于释放第三气体13至大气中，由于第三气体13中无害气体较少，因此，将第三气体13释放至空气中对环境的污染较小。
相应的，本发明还提供一种气体燃烧装置的使用方法，包括：
提供第一气体11；
提供上述气体的燃烧装置；
第一气体11通过第一开口201进入燃烧腔室200内，经燃烧头202的燃烧后生成第二气体12，所述第二气体12通过第二开口203输出。
虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (8)

1.一种气体的燃烧装置，其特征在于，包括：
燃烧腔室，所述燃烧腔室包括第一区和位于第一区底部的第二区，所述燃烧腔室的第二区顶部尺寸大于底部尺寸，所述燃烧腔室的第二区底部具有第二开口；
通入所述燃烧腔室第一区的燃烧头，所述燃烧头用于喷射火焰，所述火焰的喷射方向与第二开口中心轴之间的夹角大于0度小于90度；
位于所述燃烧腔室第一区顶部的至少一个第一开口，所述第一开口用于向燃烧腔室内输入第一气体，所述第一气体经所述火焰燃烧后生成第二气体，所述第二气体自所述第二开口输出。
2.如权利要求1所述的气体的燃烧装置，其特征在于，所述第一气体包括：碳氟气体；所述碳氟气体包括：C4F8、CF4和CH3F中的一种或者多种组合。
3.如权利要求1所述的气体的燃烧装置，其特征在于，还包括：与燃烧头相连的助燃气体管，所述助燃气体管用于输送助燃气体；所述助燃气体包括：氧气、或者天然气和氧气的混合气体。
4.如权利要求1所述的气体的燃烧装置，其特征在于，还包括：位于所述燃烧腔室第一区底部的降温腔室，且所述燃烧腔室第二区位于降温腔室内；
与降温腔室连通的洗涤装置，所述洗涤装置内承载有洗涤液，所述洗涤液用于吸收第二气体中可溶于所述洗涤液的成分以生成第三气体，所述洗涤装置顶部还包括第三开口，所述第三开口用于输出所述第三气体。
5.如权利要求4所述的气体的燃烧装置，其特征在于，所述降温腔室内具有隔热板和冷却水装置，所述冷却水装置包围所述隔热板。
6.如权利要求4所述的气体的燃烧装置，其特征在于，所述洗涤液包括水。
7.如权利要求1所述的气体的燃烧装置，其特征在于，所述燃烧头的个数为两个或者两个以上。
8.一种气体的燃烧装置的使用方法，其特征在于，包括：
提供第一气体；
提供如权利要求1至7任一项方法的所述气体的燃烧装置；
第一气体通过第一开口进入燃烧腔室内，第一气体经火焰的燃烧后形成第二气体，所述第二气体通过第二开口输出。
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