JP4535558B2 - 燃焼式排ガス処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造工程等において排出される可燃性ガス、有毒性ガス、或いは環境への影響が大きいガスを分解除害するための装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工程から排出されるガスには、SiH4等の多くの種類の有害なガス成分が含まれている。このような成分を含む排ガスは有害な排ガス成分を除去した後でなければ大気中に放出することができないことから、排ガスは排ガス処理装置を通して処理した後に大気中に放出することが行われている。
【0003】
かかる排ガス処理装置は、有害ガスを発生する半導体製造装置にできる限り近い場所に設置することが望ましい。
しかし、半導体製造装置はクリーンルーム内に設けられており、設置スペースに限界があるので、排ガス処理装置は小型化が要求される。
【0004】
又、排ガス成分には異なる種類の排ガス成分が含まれている上に、各排ガス成分はそれぞれ分解温度が異なるので、一台の排ガス処理装置で異なる分解温度の排ガス成分を処理することも要求される。具体的には、半導体の成膜プロセスにおいて使用される代表的なガス成分であるSiH4は反応性が強いので、燃焼しやすく爆発する危険性があるのに対し、半導体のクリーニングやエッチング等に使用されるPFCsは化学的に安定で反応性に乏しく、これらの分解温度は大きく異なる。
【0005】
本発明者等は、このような点に鑑み、小型且つ高分解性能の燃焼式排ガス処理装置を得るために、特願平8−103257号公報において、図7に示すように、排ガス流路を中心として同心円状に排ガス流路と燃料ガス流路が環状に配されると共に、所定構造の固定案内羽根と自由回転羽根が設けられている燃焼ノズル71と、外筒72と内筒73とからなる燃焼筒74を使用して、内筒73の底部に設けた孔75から燃焼用の二次空気を供給し、内筒73の側面部に設けた孔76から冷却用の空気を導入し、燃焼用の二次空気と冷却用空気の流量を、内筒の底部に設けた孔75と側面部に設けた孔76の開口面面積比によって調節する燃焼式排ガス処理装置70を提案した。
【0006】
更に、本発明者等は、特願平10−92629号公報において、SiH4の燃焼分解によって発生する粉末が付着することを防止することを目的として、図8に示す、内筒81が複数の分割された筒状部材81aの集合体から構成され、更に上側の筒状部材81aが下側の筒状部材81aを覆うように重ね合わされ、上下の筒状部材81aの重ね合わせ部において、上側の筒状部材81aの内面側と下側の筒状部材81aの外面側との間に隙間82が形成されている燃焼式排ガス処理装置80を提案した。
【0007】
図7に示す態様の装置により、排ガスがSiH4 等の成分とC2 F6 等の難燃性成分とを同時に含む場合でも、同一のノズルによってノズル付近への酸化物粉末の付着を防止しながら難燃性成分を効率良く燃焼分解することが可能となり、小型化にも成功した。
【0008】
又、図8に示す態様の装置により、SiH4 量の多い排ガスを処理する場合であっても、内筒の内壁面へSiO2 粉末が堆積することを効果的に防止することが可能になった。
【0009】
ところが、近年、地球温暖化係数が高く環境への影響が大きい排ガス成分であるPFCsが問題となっている。PFCsとは、CF4,C2F6,C3F8,SF6,NF3,CHF3の6種類のガスをいい、地球温暖化係数が高く環境への影響が大きい成分である。
【0010】
PFCsは、化学的に安定で分解が困難な上に、種類ごとに分解温度が異なるガスである。図9,図10は、本発明者等が測定したPFCsの分解性を表すグラフである。図9は、CF4,C2F6,SF6の温度と分解性能の関係を表し、図10はCF4,C2F6,SF6,NF3,CHF3各1リットル/minに都市ガス13Aを16リットル/minで供給した場合の希釈窒素量と分解性能の関係を表す。
図9,図10からPFCsは各種類ごとに必用とする分解温度が異なり、CF4が最も分解温度が高く分解が困難であることが判る。
【0011】
かかるPFCsを、前記図7,図8に示す態様の燃焼式排ガス処理装置を使用して分解除去する場合は、対象とする排ガス成分ごとに分解温度が異なるので、半導体製造工程の同一の排気口から複数の性質の異なる排ガス成分が排出される場合には、対象とする排ガス成分の種類に応じて複数の装置を設け、排気される対象に応じて処理を行なう装置を切り替える手段を設けなければならなかった。その結果、排ガス処理装置の設置スペースが広大なものとなり、切り替える作業も煩雑なものとならざるをえなかった。
【0012】
かかる場合、排ガス処理装置の小型化、設置スペースの縮小化を目的として、同一の装置で異なる排ガス成分を処理しようとすると、対象とする排ガス成分ごとに分解性能が異なるので、分解しにくい排ガス成分を処理する場合は多量の燃料を使用して分解性能を向上させなければならなかった。
【0013】
しかしながら、地球温暖化防止会議(COP3)において議定書が採択される等、近年の地球温暖化防止の観点から、燃焼に伴って発生する二酸化炭素の放出量を削減する必要があり、燃料の消費量を抑えるためには、装置の分解性能を向上させることが要求されるようになった。
【0014】
本発明は、上記の問題に鑑みなされたもので、一台の装置であっても各種のPFCsを分解除去することができると共に、燃料の消費量が少ない燃焼式排ガス処理装置を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明の燃焼式排ガス処理装置は、外筒と大気の導入手段が設けられている内筒とからなる燃焼筒と、前記内筒内の底部に設けられ且つ排ガス流路と該排ガス流路の周囲に同心円状に配された燃料ガス供給路とを有する排ガス燃焼ノズルとを備えた燃焼式排ガス処理装置であって、燃料ガス供給路の開口部において形成される火炎に対して大気圧以上の圧力を有する支燃性ガスを吹込む導入パイプ又は導入ノズルからなる支燃性ガス吹込み手段と、排ガス中の除去成分に応じて、支燃性ガスを切替えて供給する制御機構とを備え、且つ、該導入パイプ又は導入ノズルが、該内筒に支燃性ガス吹込み方向と排ガス流路方向との角度Θが90°〜60°となるように設けられている、ことを特徴とする。
【0016】
前記大気圧以上の圧力を有する支燃性ガスは、圧縮空気、圧縮酸素富化空気、又は圧縮酸素であることが好ましい。
【0022】
【発明の実施の形態】
本発明の燃焼式排ガス処理装置の一例を、図1,図2,図3に基づいて説明する。図1は本発明の燃焼式排ガス処理装置の一例を示す縦断面図、図2は図1の燃焼ノズル付近を示す拡大縦断面図、図3は排ガス燃焼ノズルの開口部における燃料ガスの燃焼状態の一例を示す部分拡大斜視図である。
【0023】
図1において、1は燃焼式排ガス処理装置(以下、「排ガス処理装置」という。)を、2は外筒を、3は内筒を、4は燃焼筒を、5は内筒を構成する筒状部材を、6は筒状部材5と筒状部材5との間に設けられた隙間を、7は排ガス燃焼ノズル(以下、「燃焼ノズル」という。)を、9は支燃性ガスを内筒3の内部に供給するための導管を、10は導管9と内筒3との間に設けられた導入パイプを、11a,11b,11cは導管9に設けられた各支燃性ガスの切替弁を、11は切替弁の総称を、12は支燃性ガスを選択的に供給する制御機構の操作パネルを、13は切替弁11と操作パネル12とを結ぶ電気の配線をそれぞれ示す。
【0024】
図1において、Aは燃焼完了部を、Bは冷却部をそれぞれ示す。
【0025】
図2において、21は排ガス流路を、22は燃料ガス供給路を、23は燃料ガス供給口を、24は燃料ガス供給路22の上端面を、25は火炎をそれぞれ示す。
【0026】
図3において、31は支燃性ガスの流れを示す。
【0027】
図1に示す態様の本発明の排ガス処理装置1は、外筒2と内筒3とからなる燃焼筒4と、燃焼ノズル7と、支燃性ガスを内筒3の内部に供給するための導管9とを備える。
【0028】
前記燃焼ノズル7は、図2に示すように、管状の排ガス流路21と排ガス流路21の周囲に同心円状に配された管状の燃料ガス供給路22とを有し、燃料ガス供給路22の上端面24には、複数の燃料ガス供給口23が排ガス流路21の開口端部を囲むように開口している。又、燃料ガス供給路22の上端面24は排ガス流路21側に向かって下方に傾斜するように、即ち水平方向に対して傾き角βをもつように設けられているので、燃料ガスは各燃料ガス供給口23から排ガス流路21の中心方向に向って噴出する。
【0029】
燃焼ノズル7の先端部はこのように構成されているので、各燃料ガス供給口23から噴出した燃料ガスは、排ガス流路21の開口端部を囲む複数の分散した火炎25を形成すると共に、それぞれの火炎25は排ガス流路21の開口部の中心方向に向かい、火炎25が排ガス流路21の開口部を覆うような状態となる。従って、排ガス流路21の開口部から放出される排ガスは、個々の火炎25の高温部分に確実に曝され、排ガス中の被除去成分が加熱されて燃焼し分解するのに充分な熱量が与えられる。
【0030】
尚、燃料ガス供給路22を通って供給される燃料ガスには、予め大気等の支燃性ガスを混合しておくことが好ましい。かかる燃料ガスを用いると、後述するように、火炎25の外部から更に支燃性ガスを供給することにより、排ガス中の難燃性成分を効率良く燃焼分解することができる。
【0031】
燃料ガス供給路22の上端面24の傾き角βは、火炎25の安定性等を考慮すると30度程度が好ましい。但し、火炎25の高温部分が排ガスの処理に有効に利用できさえすれば、他の角度であっても適宜選択することができる。
【0032】
燃料ガス供給口23の開口形状は、スリット状、円形状、楕円形状等の任意の形状とすることができる。燃料ガス供給口23の配置は、燃料供給量の変化による火炎25の立ち消えや、逆火等を防止して火炎25を安定させる観点からは、スリット状で一列に配列することが好ましい。但し、二列以上に配置することもできる。
【0033】
また各燃料ガス供給口23相互の間隔は、排ガス流路21の開口部の口径や、燃料ガス供給口23の数に応じて適宜選択しなければならないが、通常は1〜10mmの間隔とすることが好ましい。この範囲であれば、隣接する火炎25同士が重なることによって、火炎25の高温部分を有効に利用することができる。
【0034】
本発明の排ガス処理装置1においては、燃焼ノズル7は図1に示すように、外筒2と内筒3とからなる燃焼筒4の内部において、内筒3の底部に設けられている。
本発明の排ガス処理装置1はこのように燃焼筒4が二重構造として構成されていると共に燃焼ノズル7が内筒3の底部に設けられているので、内筒3内部に必要な量の大気のみを供給することができる。従って、燃焼ノズル7の開口部に形成される火炎25に大気が過剰に供給されることによる火炎25の乱れや温度低下を防ぎ、排ガス中の被除去成分の燃焼効率の低下を防ぐことができる。
【0035】
前記内筒3には、大気の導入手段が設けられている。該導入手段を通じて火炎25に大気を供給することにより、排ガス中の被除去成分の燃焼分解を完了させ、更に被除去成分が除去された排ガスを冷却することができる。
【0036】
前記内筒3に設けられている大気の導入手段としては、例えば、内筒3を複数の筒状部材5によって構成し、各筒状部材5を、重ね合わせ部に隙間が形成されるように上方に順次重ね合わせる構成を採用することができる。かかる構成の場合は、上下の筒状部材5を重ね合わせるに際し、上側の筒状部材5が下側の筒状部材5を覆うように重ね合わせると、上下の筒状部材5の重ね合わせ部において、上側の筒状部材5の内面側と下側の筒状部材5の外面側との間に隙間6が形成されるので、この隙間6から内筒3の内壁面に沿って大気を導入することができる。
【0037】
このように内筒3の内壁面の長手方向に沿って、内筒3内に大気を導入すると、内筒3内壁にSiO2 等の粉末が付着するのを防止するとともに、排ガス中の被除去成分の燃焼分解を完了させることができる。
【0038】
隙間6の大きさ、隙間6の数(即ち、内筒3を幾つの筒状部材5で構成するか)等に特に制約はないが、隙間6の内筒内面側における開口部6aの総面積:A1 と、燃焼筒4の排気部4aの開口面積:A2 との間に、A1 /A2 =1.5〜0.5なる関係が成り立つように隙間6を構成することが好ましい。特に、A1 /A2 が略1となるようにすることが好ましい。このように構成すると、SiO2 等の粉末の付着を確実に防止するとともに、排ガス中に含まれている難燃性の被除去成分の燃焼分解率をより高めることができる。
【0039】
但し、本発明における内筒3を構成する手段は、筒状部材5を重ね合わせる方法に限定されない。例えば、図7に示すように、内筒3の側壁に複数の大気取入れ口を設ける手段を採用することもできる。
【0040】
内筒3には、大気圧以上の圧力を有する支燃性ガスを内筒3の内部に供給するための導管9が設けられている。このように構成すると、火炎25に外部から適量の支燃性ガスを供給することができるので、火炎25の燃焼効率を高めることができる。即ち、予め支燃性ガスが混合された燃料ガスによって形成される火炎25に、更に支燃性ガスを供給することにより火炎25の燃焼を促進し、排ガス中の被除去成分が難燃性成分であっても効率良く燃焼させることができる。
【0041】
大気圧以上の圧力を有する支燃性ガスは、通常は8〜16本の内径1mm程度の導管9を用いて、火炎25に対して均等に供給される。但し、本発明においては、導管9の径や本数に制限はない。
【0042】
導管9を通って内筒3内部に供給される支燃性ガスは、大気圧以上でありさえすれば制限はないが、通常は約1.5×105Paの圧力に設定されて用いられる。
かかる圧力を有する支燃性ガスを内筒3の内部に導入し、火炎25に対して供給すると、支燃性ガスの噴出速度が増大し支燃性ガスの熱伝達率が大きくなるので、燃焼効率が向上しPFCs等の難燃性成分であっても燃焼分解することができる。尚、導管9は支燃性ガスの圧力に耐え得る材料からなり、耐え得る構造であることを要する。
【0043】
本発明における大気圧以上の圧力を有する支燃性ガスは、圧縮空気、圧縮酸素富化空気、又は圧縮酸素であることが好ましい。これらの支燃性ガスを用いると、従来のメタンやプロパン等の燃料ガスと、支燃性ガスとしての大気の組み合わせでは燃焼分解することができなかったPFCs等を効率良く燃焼分解することができる。又、支燃性ガスとして大気圧以上の圧力を有する圧縮酸素富化空気や圧縮酸素を用いると、PFCsの中でも特に燃焼分解することが困難なPFCsであっても分解することができる。
但し、本発明の支燃性ガスは圧縮空気、圧縮酸素富化空気、圧縮酸素に限定するものではなく、PFCs等の燃焼分解させることが困難な排ガス成分の燃焼を促進することさえできれば、いかなるガスでも用いることができる。
【0044】
尚、燃料ガスとしては、水素、メタン、プロパン、ブタン、エチレン、天然ガス、都市ガス或いはこれらの混合ガスが用いられる。
【0045】
本発明の排ガス処理装置1においては、支燃性ガス吹込み方向と排ガス流路方向との角度Θ(以下、「導入角度Θ」という。)が90゜〜60゜となるように、火炎25に対し支燃性ガスを噴出する手段を内筒に設けることが好ましく、導入角度Θが90゜〜70゜となるように設けることがより好ましい。
導入角度Θが60゜未満の場合は、排ガス中の難燃性成分の燃焼効率が悪くなり、難燃性成分を充分に除去できなくなる。導入角度Θが90゜を超えると、燃焼条件の変化に対して火炎25の安定性がなくなり、しかも燃焼ノズル7先端が異常に加熱して安全上の問題が生ずる。
【0046】
導入角度Θが90゜〜60゜となるように支燃性ガスを噴出する具体的な手段は、図1、図2に示すように、導入パイプ10を内筒3と導管9との間に設けたり、導入ノズルを内筒3に取り付けて支燃性ガスを導入角度Θが90゜〜60゜となるように噴出させることが好ましい。尚、導入パイプ10や導入ノズルは支燃性ガスの圧力に耐え得るものであることを要する。
このようにすると、導入角度Θが90゜〜60゜の範囲内で支燃性ガスを火炎25に対し容易に吹込むことができるので、排ガス中の難燃性除去成分を特に効率良く燃焼させることができる。
【0047】
但し、本発明は、導入角度Θが90゜〜60゜となるように支燃性ガスを噴出する手段として、導入パイプ又は導入ノズルを内筒に設けることに限定するものではなく、他の手段を採用することもできる。
【0048】
本発明の排ガス処理装置1は、図1に示すように、大気圧以上の圧力を有する異なる支燃性ガスを内筒3内部に切替えて供給する制御機構を備えていることが好ましい。
該制御機構は、例えば図1に示すように、各種の支燃性ガスを輸送する配管途中に設けた切替弁11と、必要とする支燃性ガスを選択できる操作パネル12と、切替弁11と操作パネル12とを結ぶ電気の配線とから構成することができる。
このような制御機構を備えていると、操作パネル12を操作して切替弁11a,11b,11cを切り替えることにより、目的とする排ガス中の除去成分の特性に適した支燃性ガスを容易に選択し切替えて供給できるので、1台の排ガス処理装置で多様な難燃性の排ガス成分を処理することができる。
【0049】
切替弁11は、排ガス処理装置本体に組み込むこともできれば、排ガス処理装置本体に隣接して設けることもできれば、クリーンルームの外に設けることもできる。
但し、図1に示す制御機構は、一例にすぎない。従って、電気を用いずに機械的に構成することもできる。
【0050】
本発明の燃焼式排ガス処理方法は、例えば、図1,図2に示す態様の排ガス処理装置1を用いて行なわれる。
本発明の方法においては、外筒2と内筒3とを有する燃焼筒4の内筒3の底部において、排ガス流路21から内筒3内に排ガスが供給される。又、燃料ガス供給路22から、燃料ガスが排ガス流路21を囲むように供給されて、燃料ガス供給路22の開口部において排ガス流路21を囲むように火炎25が形成される。
かかる方法によれば、燃料ガス供給路22の開口部において火炎25を安定して形成することができる。
尚、燃料ガスには予め支燃性ガスを混合しておくことが好ましい。
【0051】
本発明の方法においては、火炎25に大気圧以上の圧力を有する支燃性ガスを供給することによって火炎25の燃焼が促進され、排ガス中の難燃性除去成分が燃焼分解される。本発明の方法はかかる構成を採用しているので、燃焼効率が増大しPFCs等の難燃性成分であっても燃焼分解することができる。
【0052】
支燃性ガスが大気圧以上の圧力を有することを必要とするのは、支燃性ガスの圧力が大きくなると支燃性ガスの速度が大きくなり、支燃性ガスの速度が大きくなると支燃性ガスの熱伝達率が大きくなることによる。即ち、熱伝達率αは、式(1)に示すように支燃性ガスの流速Uの1/2乗に比例することから、支燃性ガスの噴出速度Uが大きくなると支燃性ガスの熱伝達率αが大きくなるので、火炎25の温度が同一であっても排ガス中の難燃性成分の燃焼効率が増大する。
【0053】
【数1】
α ∝ U0.5 (1)
【0054】
尚、式(1)は、ヌッセルト数Nuとプラントル数Prとレイノルズ数Reとの間に式(2)に示す関係が成り立ち、ヌッセルト数Nuと熱伝達率αと代表長さχとガス伝達率λとの間に式(3)に示す関係が成り立ち、更にレイノルズ数Reとガスの流速Uと代表長さχとガスの動粘性係数νとの間に式(4)に示す関係が成り立つことから求められる。
【0055】
【数2】
Nu=0.535×Pr0.4×Re0.5 (2)
【数3】
Nu=(α×χ)/λ (3)
【数4】
Re=(U×χ)/ν (4)
【0056】
本発明者等が大気圧以上の支燃性ガスを用いて、支燃性ガスの噴出速度を大きくすることにより、PFCs等の排ガス中の難燃性成分の燃焼効率を向上させるという考え方に到達したのは、排ガスを加熱する能力は前記火炎25の形成と酸素等の支燃性ガスの流れという二つの要因が重要であることを見出したことによるものである。
【0057】
又、本発明者等は、火炎25の形成は排ガス燃焼ノズル7の先端部の構造を前提として、燃料ガスの供給量と燃料ガスに予め混合される支燃性ガスの比率によって定まり、支燃性ガスの流れ、即ち支燃性ガスの流量及び流速を変えると難燃性成分の燃焼効率が大きく変化することも見出した。
【0058】
本発明者等は、更に、火炎25への支燃性ガスの供給は、支燃性ガス吹込み方向と排ガス流路方向との角度Θが90゜〜60゜となるように支燃性ガスを吹き込むことが好ましいことも見出した。かかる方法により、支燃性ガスを火炎に対して吹込むと、化学的に安定で燃焼することが困難な難燃性除去成分であっても容易に分解できる
【0059】
本発明の方法においては、次に、図1に示す燃焼完了部Aにおいて内筒3から大気を導入することによって、排ガス中の難燃性成分が更に分解される。このように難燃性成分を燃焼することにより、難燃性除去成分の燃焼が完了する。
【0060】
被除去成分が燃焼分解により除去された排ガスは、次に、図1に示す冷却部Bにおいて内筒3から大気を導入することによって冷却される。このように冷却された排ガスは、温度が速やかに低下するので安全な状態で大気中に放出することができる。
【0061】
本発明の方法においては、例えば前記制御手段を用いて、排ガス中の除去成分の分解特性に対応した異なる支燃性ガスを切替えて供給することが好ましい。かかる方法によれば、1台の排ガス処理装置で多様な難燃性の排ガス成分を処理することができる。
【0062】
本発明の排ガス処理装置、排ガス処理方法が対象とする排ガスは、可燃性成分や有毒成分を含むもの、或いは環境保護の観点から大気中に排出する際に除去したり濃度を低減させる必要のある成分等を含む排ガスである。具体的には半導体を製造する際の各種の工程において排出される、SiH4 、SiH2 Cl2 、GeH4 、B2 H6 、AsH3 、PH3 、NF3 、又はC2 F6 等を含むガスが挙げられ、特に前記PFCsに対して有効である。
【0063】
【実施例】
以下、実施例、比較例を挙げて本発明を更に詳細に説明する。
【0064】
実施例1
図1に示す形状の内筒を有する排ガス処理装置(隙間の内筒内面側における開口部の総面積:A1 =78.5cm2 、燃焼筒の排気部開口面積:A2 =78.5cm2 、A1 /A2 =1)を用い、排ガスとしてNF31リットル/分を窒素(20〜300リットル/分の範囲で変化させた)で希釈したものを燃焼ノズルに供給し、燃料ガスとして都市ガス13Aを16リットル/分で燃焼ノズルに供給し、支燃性ガスとして1.5×105Paの圧縮空気を導入角度Θ=75°で供給してNF3を燃焼分解し、燃焼後のNF3の残存率を測定した。測定結果を図4に示す。
【0065】
比較例1
図8に示す態様の排ガス処理装置を使用し、支燃性ガスとして大気をそのまま用いた以外は、実施例1と同様にNF3の残存率を測定した。測定結果を図4に示す。
【0066】
実施例2,3
実施例1と同様の排ガス処理装置を用い、排ガスとしてC2F61リットル/分を窒素(20〜200リットル/分の範囲で変化させた)で希釈したものを燃焼ノズルに供給し、燃料ガスとして都市ガス13Aを16リットル/分で燃焼ノズルに供給し、支燃性ガスとして実施例2の場合は1.5×105Paの酸素を導入角度Θ=75°で供給し、実施例3の場合は1.5×105Paの圧縮空気を導入角度Θ=75°で供給してC2F6を燃焼分解し、燃焼後のC2F6分解率を測定した。測定結果を図5に示す。
【0067】
比較例2
図8に示す態様の排ガス処理装置を使用し、支燃性ガスとして大気をそのまま用いた以外は、実施例2と同様に分解率を測定した。測定結果を図5に示す。
【0068】
実施例4,5
実施例1と同様の排ガス処理装置を用い、排ガスとしてCF41リットル/分を窒素(20〜50リットル/分の範囲で変化させた)で希釈したものを燃焼ノズルに供給し、燃料ガスとして都市ガス13Aを16リットル/分で燃焼ノズルに供給し、支燃性ガスとして実施例4の場合は1.5×105Paの酸素を導入角度Θ=75°で供給し、実施例5の場合は1.5×105Paの圧縮空気を導入角度Θ=75°で供給してCF4を燃焼分解し、燃焼後のCF4の分解率を測定した。測定結果を図5に示す。
【0069】
比較例3
図8に示す態様の排ガス処理装置を使用し、支燃性ガスとして大気をそのまま用いた以外は、実施例4と同様にCF4の分解率を測定した。測定結果を図5に示す。
【0070】
実施例6
図1に示す装置を使用し、排ガスとしてNF31リットル/分を300リットル/分の窒素で希釈したものを燃焼ノズルに供給し、燃料ガスとしてプロパン10リットル/分に対し空気比0.7の空気を含む混合ガスを燃焼ノズルに供給し、支燃性ガスとして圧縮空気を50リットル/分、供給圧力1.5×105Paで供給し、導入角度Θを90゜〜40゜の範囲で変化させて、導入角度ΘとNF3の分解率の関係を測定した。結果を図6に示す。
【0071】
図4から、排ガス中の難燃性成分がNF3の場合、燃料ガスの供給量が同一であっても、支燃性ガスとして大気を使用すると、希釈窒素の流量が100リットル/分でNF3の排出濃度がTLV−TWAに達するのに対し、支燃性ガスとして圧縮空気を使用すると燃焼効率が向上し、希釈窒素の流量が200リットル/分でNF3の排出濃度がTLV−TWAに達することが判る。
尚、TLV−TWA(Threshold Limit Value-Time Weighed Average)とは、労働時間が毎日8時間、毎週40時間の条件下で連日繰返し曝露されても大多数の労働者が健康上の悪影響を受けることがない許容濃度である。
【0072】
図5から、支燃性ガスとして大気を使用する場合に比較して、支燃性ガスとして圧縮空気、圧縮酸素を使用すると、C2F6の分解効率が遥かに優れていることが判る。
【0073】
図5から、支燃性ガスとして圧縮酸素を使用すると、PFCsの中でも特に化学的に安定で分解が困難なCF4であっても分解できることがわかる。
【0074】
又、図5から、排ガス中の難燃性成分に対応して支燃性ガスを選択する必要があることもわかる。従って、本発明の排ガス処理装置を使用すれば、燃焼分解処理の対象となる難燃性成分に対応する支燃性ガスを容易に選択できるので、1台の排ガス処理装置で複数の難燃性成分を処理できることも判る。
【0075】
図6から、支燃性ガスの導入角度Θが90゜〜60゜の場合、難燃性成分の燃焼分解効率が優れていることが判る。
【0076】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の燃焼式排ガス処理装置は、外筒と内筒からなる燃焼筒とを有し、排ガス燃焼ノズルが燃焼筒の内筒内の底部に設けらており、内筒には大気圧以上の圧力を有する支燃性ガスを内筒内に供給する手段が設けられているので、化学的に安定で燃焼することが困難なPFCsを容易に分解できる。
【0077】
本発明においては、大気圧以上の圧力を有する支燃性ガスとして、圧縮空気、圧縮酸素富化空気、又は圧縮酸素を用いるとPFCs等の難燃性成分であっても燃焼分解することができる。特に、支燃性ガスとして大気圧以上の圧力を有する圧縮酸素を用いると、PFCsの中でも特に分解が困難なCF4であっても分解できる。
【0078】
本発明の燃焼式排ガス処理装置においては、支燃性ガス吹込み方向と排ガス流路方向との角度Θが90゜〜60゜となるように、燃料ガス供給路の開口部において形成される火炎に対し、支燃性ガスを吹込む支燃性ガス吹込み手段が内筒に設けられていると、化学的に安定で燃焼することが困難なPFCsであっても更に容易に分解できる。
【0079】
本発明の燃焼式排ガス処理装置においては、導入パイプ又は導入ノズルを内筒に設ける手段により支燃性ガスを吹込むという構成を採用すると、支燃性ガス吹込み方向と排ガス流路方向との角度Θが90゜〜60゜となるように支燃性ガスを容易に吹込むことができる。
【0080】
本発明の燃焼式排ガス処理装置が、排ガス中の除去成分に応じて支燃性ガスを切替えて供給する制御機構を備えていると、燃焼分解処理の対象となる難燃性成分の分解特性に応じた支燃性ガスを切替えて導入できるので、1台の排ガス処理装置で複数の難燃性成分を容易に処理できる。
【0081】
本発明の燃焼式排ガス処理方法は、外筒と内筒とを有する燃焼筒の内筒の底部において、排ガス流路から内筒内に排ガスを供給し、燃料ガス供給路から燃料ガスを排ガス流路を囲むように供給して、燃料ガス供給路の開口部において排ガス流路を囲むように火炎を形成し、該火炎に大気圧以上の圧力を有する支燃性ガスを吹き込むことによって火炎の燃焼を促進して排ガス中の難燃性除去成分を燃焼分解し、次に大気を導入して排ガス中の難燃性除去成分の分解を完了させ、次に大気を導入して排ガスを冷却した後、排ガスを大気中に放出する。従って、本発明の方法によれば、化学的に安定で燃焼することが困難なPFCsであっても容易に分解できる。
【0082】
本発明の燃焼式排ガス処理方法においては、大気圧以上の圧力を有する支燃性ガスとして、圧縮空気、圧縮酸素富化空気、又は圧縮酸素を用いると化学的に安定で燃焼することが困難なPFCsを容易に分解できる。特に、支燃性ガスとして大気圧以上の圧力を有する圧縮酸素を用いると、PFCsの中でも特に分解が困難なCF4であっても分解できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の燃焼式排ガス処理装置の一例を示す縦断面図である。
【図2】本発明の燃焼ノズル付近の一例を示す縦断面図である。
【図3】本発明の排ガス燃焼ノズルの開口部における燃料ガスの燃焼状態の一例を示す部分拡大斜視図である。
【図4】NF3の残存率と支燃性ガスとの関係を表すグラフである。
【図5】C2F6及びCF4の分解率と支燃性ガスとの関係を表すグラフである。
【図6】導入角度ΘとNF3の分解率との関係を表すグラフである。
【図7】従来の燃焼式排ガス処理装置の一例を示す縦断面図である。
【図8】従来の燃焼式排ガス処理装置の他の例を示す縦断面図である。
【図9】CF4,C2F6,SF6についての温度と分解性能の関係を表すグラフである。
【図10】CF4,C2F6,SF6,NF3,CHF3についての希釈窒素量と分解性能の関係を表すグラフである。
【符号の説明】
1 排ガス処理装置
2 外筒
3 内筒
4 燃焼筒
7 燃焼ノズル
9 導管
10 導入パイプ
11 切替弁
12 制御機構の操作パネル
13 切替弁11と操作パネル12とを結ぶ電気の配線
21 排ガス流路
22 燃料ガス供給路
23 燃料ガス供給口
25 火炎
Claims (2)
- 外筒と大気の導入手段が設けられている内筒とからなる燃焼筒と、
前記内筒内の底部に設けられ且つ排ガス流路と該排ガス流路の周囲に同心円状に配された燃料ガス供給路とを有する排ガス燃焼ノズルとを備えた燃焼式排ガス処理装置であって、
燃料ガス供給路の開口部において形成される火炎に対して大気圧以上の圧力を有する支燃性ガスを吹込む導入パイプ又は導入ノズルからなる支燃性ガス吹込み手段と、排ガス中の除去成分に応じて、支燃性ガスを切替えて供給する制御機構とを備え、
且つ、該導入パイプ又は導入ノズルが、該内筒に支燃性ガス吹込み方向と排ガス流路方向との角度Θが90°〜60°となるように設けられている、ことを特徴とする燃焼式排ガス処理装置。 - 大気圧以上の圧力を有する支燃性ガスが、圧縮空気、圧縮酸素富化空気、又は圧縮酸素であることを特徴とする請求項1記載の燃焼式排ガス処理装置。
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