JP2003202108A - 難燃性物質分解バーナ - Google Patents
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Abstract
度の高い物質をも99%以上の効率で熱分解処理を行う
ことを可能とする難燃性物質分解バーナを提供する。 【解決手段】 筒体2の一方端に、その中心軸線L方向
に難燃性物質含有ガスを噴出するようした難燃性物質含
有ガス導入ノズル40を配置し、その同心円状に複数個
の酸化剤および燃料吹き出しノズル50を配置する。そ
の際に吹き出しノズル50は、それぞれの噴出火炎fが
筒体2の中心軸線L上のほぼ同じ点で収束するように、
軸線を傾斜させて取り付ける。
Description
ナに関し、特に、半導体製造工程で排出されるプロセス
排ガスに含まれるPFC(パーフルオロカーボン)など
を高効率で熱分解するのに好適な難燃性物質分解バーナ
に関する。
排ガスには、多くの種類の有害なガス成分が含まれてい
る。そのような有害な排ガスを処理して大気に放出する
ために種々の排ガス処理装置が提案されている。例え
ば、特開2001−165422号公報には不燃性ガス
であるC2F6などのPFCを効果的に分解処理するこ
とを目的とした排ガス除害装置が記載されており、そこ
では、上下に延びる筒体に、複数個のガス燃料燃焼バー
ナをそのバーナ噴出方向を筒体中心軸と直交する面に対
して傾斜状にかつ多段に配置し、それにより、排ガスの
高熱になる広い燃焼領域での滞留時間を長くして、不燃
性ガスの熱分解を促進して除害するようにしている。
には、燃焼筒を外筒と内筒とで構成し、内筒の底部に、
排ガス流路とその周囲に同心円状に配された燃料ガス供
給路とを有する排ガス燃焼ノズルを配置し、さらに、大
気圧以上の圧力を有する支燃性ガスを内筒内に供給する
手段とを備えた燃焼式排ガス処理装置が記載されてい
る。この装置では、排ガス流路を囲むようにして火炎を
形成し、該火炎に大気圧以上の圧力を有する支燃性ガス
を吹き込むことによって、排ガス中の難燃性PFCのよ
うな難燃性除去成分を容易に熱分解させるようにしてい
る。
製造工程から排出されるプロセス排ガスのように難燃性
物質を含む排ガスを効果的に分解処理するための実験と
研究を継続的に行ってきているが、上記したような従来
提案されている除去装置はいずれも構成が複雑であり、
結果として大型のものとならざるを得ず、製造工業での
スペース的な環境を考慮すると、より小型化した処理装
置が必要であること、また、C2F6のように比較的低
温度で熱分解する物質に対しては高い処理効率が得られ
ているが、燃分解温度が高いCF4あるいはSF6に対
しては、必ずしも充分な処理効率が得られていないこ
と、を経験している。
れたものであり、その目的は、簡単な構成でもってCF
4あるいはSF6のように熱分解温度の高い物質をも9
9%以上の効率で熱分解処理を行うことを可能とする難
燃性物質分解バーナを提供することにある。
めの本発明による難燃性物質分解バーナは、一端が閉塞
壁により閉じている筒体と、筒体の中心軸線方向に難燃
性物質含有ガスを噴出するように閉塞壁に取り付けられ
た難燃性物質含有ガス導入ノズルと、筒体の中心軸線か
ら同心円上の位置において閉塞壁に取り付けられた複数
個の酸化剤および燃料吹き出しノズルとを少なくとも備
えており、前記複数個の酸化剤および燃料吹き出しノズ
ルはそれぞれの噴出火炎が筒体の中心軸線上のほぼ同じ
点で収束できるように軸線を傾斜させて取り付けられて
いることを特徴とする。
体と、難燃性物質含有ガス導入ノズルと、そこから同心
円状に配置された複数個の酸化剤および燃料吹き出しノ
ズルとを備えるだけであり、構成はきわめて簡単であっ
て、全長も短いものとして設計することができる。それ
により、半導体製造工場のフロアー下などに容易にプロ
セス排ガス処理施設を設置することが可能となる。
および燃料吹き出しノズルからの噴出火炎を、筒体の中
心軸線上のほぼ同じ点で収束するようにしたことによ
り、火炎が収束した領域周辺には高温の燃焼領域が形成
される。そして、例えば半導体製造装置からのプロセス
排ガスである難燃性物質含有排ガスはその領域を確実に
通過していくので、そこで、PFCのような難燃性物質
の熱分解処理は効果的に進行する。本発明者らの実験で
は、熱分解温度の高いCF4についても99%以上の分
解率が得られ、また、SF6についてもほぼ同様な分解
率が得られた。CF4やSF6よりも熱分解温度の低い
C2F6など他のPFC類についても、高い熱分解率が
達成される。
酸化剤および燃料吹き出しノズル軸線の筒体中心軸線に
対する最適の傾斜角度は、難燃性物質含有ガス導入ノズ
ルからの難燃性物質含有ガスの流量や流速、酸化剤およ
び燃料吹き出しノズルからの噴出火炎の大きさや先端ま
での距離などに応じて変化する。与えられた条件のもと
で実験的に最適値が定められるが、本発明者らの実験で
は、筒体の中心軸線に対して15度〜50度、より好ま
しくは30度〜45度の範囲であることが、実用的な意
味から好ましいことがわかった。傾斜角度が50度より
大きいと、火炎が閉塞壁の裏面に接近し過ぎて耐火材の
熱損傷が進行しやすくなる。傾斜角度が15度より小さ
いと、火炎が筒体内面に接近し過ぎてやはり耐火材の熱
損傷が進行しやすくなり、また、難燃性物質含有ガス流
束の巻き込み量が少なくなり、分解率が低くなる、など
のような不都合が生じる。
するに際して、難燃性物質含有ガス導入ノズルから導入
される難燃性物質含有ガスの流速は遅いほうが望まし
い。それにより、高温の燃焼領域内での滞留時間が長く
なり、高い熱分解効率が得られる。流量が一定の場合、
流速はノズル径に左右されるので、周囲の環境が許す限
り大きなノズル径とするのが望ましい。また、流速が大
きくなると、収束している火炎を難燃性物質含有ガスが
押し開くようにして通過してしまい、熱分解処理が低下
するので、好ましくない。そのような事情を勘案して、
実験的に、最適の流速(難燃性物質含有ガス導入ノズル
の径)の最適値を設定する。
解バーナを実施の形態により説明する。図1は難燃性物
質分解バーナ1の一例を示している。バーナ1は、円筒
形の筒体2と、該筒体2の一方端を閉鎖する閉塞壁3と
を備える。筒体2は上端にフランジ21を形成した外装
体22を有し、該外装体22の内周面は2重に積層した
耐火煉瓦のように適宜の耐火材23で覆われている。筒
体2の下方側開放端は、従来のこの種のバーナと同様
に、適宜の管路を介して大気に開放している。
外装体32を有し、該外装体32の内部には多段に積層
した耐火材33が充填されている。閉塞壁3は、そのフ
ランジ31を筒体2のフランジ21に重ね合わせてねじ
止めすることにより、筒体2に気密に一体化され、それ
により、筒体2の上端側は閉鎖される。
態で筒体2の中心軸線Lが通過する位置には、筒体2の
中心軸線Lの方向に難燃性物質含有ガスが噴出するよう
して難燃性物質含有ガス導入ノズル40が取り付けられ
る。さらに、閉塞壁3には、筒体2の中心軸線Lから同
心円上の位置に、複数個の酸化剤および燃料吹き出しノ
ズル50が等しい距離をおいて取り付けられる。図示の
例では、4個の吹き出しノズル50が取り付けてある
が、3個以上であれば任意であり、所期の目的は達成す
ることができる。図示されるように、各吹き出しノズル
40の軸心線は、それぞれの噴出火炎が筒体2の中心軸
線L上のほぼ同じ点で収束できるように、所定の角度
(好ましくは、15度〜50度の範囲)で傾斜してい
る。
の燃料ノズル51と、その周囲の酸化剤ノズル52とか
ら構成され、燃料ノズル51からは都市ガス、プロパン
ガス、水素などが供給され、酸化剤ノズル52からは酸
素、空気などが供給される。処理に当たって、難燃性物
質含有ガス導入ノズル40には、例えば半導体製造装置
からのプロセス排ガスが導かれ、筒体2内に所定流量の
プロセス排ガスを噴出する。4個の酸化剤および燃料吹
き出しノズル50からの4本の燃焼火炎fは、筒体2の
中心軸線L上のほぼ同じ点で収束し、その周辺には高温
の燃焼領域Sが形成される。筒体2内に噴出したプロセ
ス排ガスは形成された高温の燃焼領域Sを通過する過程
において、難燃性物質の熱分解処理が効果的に進行す
る。そして、分解処理済プロセス排ガスが筒体2の下端
から流出する。
40mmである図1に示す形態の難燃性物質分解バーナ
1を作成した。CF4を含む被処理ガス(N2希釈ガ
ス)を難燃性物質含有ガス導入ノズル40から筒体2内
に噴出させた。被処理ガスの流量は80L/min、燃
料はメタンであり流量は16L/min、酸化剤は酸素
であり流量は37L/minとした。試験は、同じ条件
で、難燃性物質含有ガス導入ノズル40の内径を変化さ
せ、被処理ガスの流速のみを変えた。ケース1では直径
35.7mm、ケース2では直径12.7mmとした。
その結果を表1に示す。なお、上記被処理ガスの燃焼分
解処理を行わない場合での出口CF4濃度は2000p
pmであった。
の分解率が得られており、本発明による難燃性物質分解
バーナの有効性が示される。ケース1の方が若干高い分
解率を示しているが、これは、分解率が被処理ガス流速
により火炎形状が変化することが原因と考えられる。ま
た、壁温がケース1の方が100℃ほど低くなってい
る。このことから、火炎はケース1の方が筒体中心軸線
付近にコンパクトに形成されていることがわかり、バー
ナ構造の工夫によって筒体壁面の耐火材の熱劣化を長時
間にわたって防ぎ得ることが示される。
F4のように燃分解温度の高い有害物質をも99%以上
の効率で熱分解処理を行うことのできる難燃性物質分解
バーナが得られる。
形態を説明する図。
3…閉塞壁、33…耐火材、40…難燃性物質含有ガス
導入ノズル、50…酸化剤および燃料吹き出しノズル、
51…燃料ノズル、52…酸化剤ノズル、L…筒体中心
軸線、f…燃焼火炎
Claims (4)
- 【請求項1】 一端が閉塞壁により閉じている筒体と、
筒体の中心軸線方向に難燃性物質含有ガスを噴出するよ
うに閉塞壁に取り付けられた難燃性物質含有ガス導入ノ
ズルと、筒体の中心軸線から同心円上の位置において閉
塞壁に取り付けられた複数個の酸化剤および燃料吹き出
しノズルとを少なくとも備えており、前記複数個の酸化
剤および燃料吹き出しノズルはそれぞれの噴出火炎が筒
体の中心軸線上のほぼ同じ点で収束できるように軸線を
傾斜させて取り付けられていることを特徴とする難燃性
物質分解バーナ。 - 【請求項2】 各酸化剤および燃料吹き出しノズルの軸
線の傾斜角度は筒体の中心軸線に対して15度〜50度
の範囲である請求項1記載の難燃性物質分解バーナ。 - 【請求項3】 処理すべき難燃性物質含有ガスが半導体
製造装置からのPFC(パーフルオロカーボン)を含む
プロセス排ガスであることを特徴とする請求項1または
2記載の難燃性物質分解バーナ。 - 【請求項4】 処理すべき難燃性物質含有ガスが半導体
製造装置からのCF4またはSF6を含むプロセス排ガ
スであることを特徴とする請求項1または2記載の難燃
性物質分解バーナ。
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