JP3856842B2 - 機械部品の線形寸法検定用ヘッド - Google Patents

機械部品の線形寸法検定用ヘッド Download PDF

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Description

技術分野
本発明は、幾何学的縦方向軸線を決定する支承要素と、前記支承要素に対して可動のアームおよび前記アームに連結されたフィーラを備えた可動アームセットと、回転軸線を定義しまたこの回転軸線回りに前記支承要素に対するアームの限定された回転運動を生じるため前記アームおよび前記支承要素に連結された支点と、前記支承要素に対する前記アームの位置に依存して信号を発生するため前記アームおよび前記支承要素に連結されたトランスデューサとを含む機械部品の線形寸法検定用ヘッドに関するものである。
また本発明は、幾何学的縦方向軸線を決定する支承要素と、前記支承要素に対して可動のアームおよび前記アームに連結されたフィーラを備えた可動アームセットと、回転軸線を定義しまたこの回転軸線回りに前記支承要素に対するアームの限定された回転運動を生じるため前記アームおよび前記支承要素に連結された支点と、前記支承要素に対して連結され、前記可動アームと協働してこのアームを特定の不作動位置にもたらすように成された後退装置と、前記支承要素に対する前記アームの位置に依存して信号を発生するため前記アームおよび前記支承要素に連結されたトランスデューサとを含む機械部品の線形寸法検定用ヘッドに関するものである。
発明の背景
工作機械での加工に際して工作台、転送ラインまたはいわゆるインプロセス加工中に機械部品を検査するため、種々の型のゲージヘッドまたは測定ヘッドが公知である。
公知のヘッドにおいては、可動アームを固定支持体に連結しアームの特に正確な移動を保証しなければならない支点は、素材除去作業、すなわち微妙なコストのかかる機械的加工を含む製造工程によって、またはアームの移動を生じるのに適した装置を一般に着脱自在の連結手段を介してアームと支持体との間に配置する事により、すなわち最高の精度を必要とし従って時間のコストのかかる方法によって製作される。
米国特許第3946492号に記載のような他の型のヘッドにおいては、フィーラアームを担持した非固定型フレーム部材が一対の相互に離間された平行板バネによって固定ベースに対して連結されて移動自在である。板バネはベースに対するフィーラアームの実質的に線形の平行移動を可能とするが、多くのインプロセス加工の場合のようにスペースの不足する場所での検定作業にはこの検定ヘッドは不適当である。前記米国特許に記載のヘッドは、他の構造フィーチャのうちでも特に後退/解除装置を含み、この装置は例えばベロー(第2図)とレバーバネを備え、このベローは一方において固定ベースに機械的に固着され、他方においてこのレバーバネに固着される。またレバーバネはヘッドの固定ケーシングに対して枢転自在に連結され、可動アームと一体を成す横方向脚およびこの脚に当接する片寄らせワイヤバネと協働する。不作動状態において非固定部材が後退させられるが、ベロー内部に真空を加えると、片寄ワイヤバネの動作が勝って、非固定部材が解除されるように、前記レバーとワイヤバネの寸法および形状を正確に決定しなければならない。
本発明の開示
本発明の目的は、高度の反復性および精度標準を満たし公知のヘッドよりもコンパクトで、柔軟性があり、低価格の機械部品線形寸法検定用ゲージヘッドまたは測定ヘッドを提供するにある。
この目的およびその他の目的は請求項1乃至24のいずれかに記載のヘッドによって達成される。
本発明の他の目的は、ゲージヘッドまたは測定ヘッドの正確な支点を特に経済的に迅速確実に製作するにある。
この目的およびその他の目的は請求項33による製造法によって達成される。
【図面の簡単な説明】
以下、本発明を図面に示す実施例について詳細に説明するが本発明はこれに限定されない。
第1図は本発明によるヘッドのケーシングの軸測投影図、
第2図は第1図に図示のヘッドの縦方向断面図、
第3図は第3図のIII−III線にそって矢印方向に見られる断面図、
第4図は第2図の矢印IV方向に見られるヘッドの平面図、
第5図は第2図の矢印V方向に見られるヘッドの下側面図、
第6図は第2図の矢印VI方向に見られるヘッドの正面図であって、カバー109、143、ガスケット137、139、スペーサ141およびフィーラ67とその対応の支持体66を除去した図、
第7図は第2図の矢印VII方向に見られるヘッドの背面図、
第8図は本発明によるヘッドの各要素の拡大軸測投影図、また
第9図は本発明の第2実施態様によるヘッドの縦方向断面図である。
本発明の最良の実施態様
第1図乃至第8図に図示のヘッド、さらに詳しくはゲージ・ヘッドは平行六面体の鋼ケーシング1を含み、このケーシングは支承要素を成し、縦方向幾何学的軸線を定義する。このケーシング1は6面3、5、7、9、11および13を画成する。
側面5と9は相互に平行でありまた実質的に平坦であり、背面7は前側面3に対して平行であり、下側面13は上側面11に対して平行である。
上側面11は6ネジ孔23と、凹部15に達する開口35を有する。
下側面13はそれぞれ3シート17、19、21を成す実質的に円筒形の3孔を有する。
正面3は4ネジ孔46と1つの円筒形凹部43とを有し、この円筒形凹部43は、凹部15に達する実質的に楕円形状の中心孔45を備える。
背面7は4ネジ孔47を有する。
可動アームセットはアーム49を含み、このアームはケーシング1の中に部分的に挿入され、ケーシング1の幾何学的縦方向軸線に対して実質的に平行に配置されている。アーム49は、ケーシング1の中に配置された第1先細端部51と、縮小横断面を有する第2部分53と、実質的に平行六面体の第3部分55と、縮小横断面を有する第4部分57と、ケーシング1の正面3に隣接して配置され2つのグルーブ61、63を備えた実質的に円筒形の第5部分59と、ケーシング1の外部に配置されフィーラ67の支持体66を成す第6末端部分65とを含む。
アーム49の第1部分51は3ネジ孔68、70および71を有する。
アーム49の第2部分53はネジ孔72と溝穴76とを有する。
プレート73が孔72の中にネジ込まれたネジによって、ケーシング1に対して連結されている。
アーム49の限定された回転を可能とする支点74(第8図においても詳細に図示する)は、例えば亜鉛合金から成る2つのブロック81、83に対して永久的に固着された3枚の鋼薄板75、77、79から成る変形自在の要素を含む。ダイスカストが、これらの相異なる素材から成る要素間の永久的連結を生じるための方法であるけれども、他の型の方法(例えば溶接)を予想する事ができる。
ブロック81、83に対して鋼薄板75、77、79を永久的に固着するダイスカスト工程は薄板75、77、79をダイス型の中に挿入し、その後このダイス型の中にブロック81、83を製造するのに必要な溶融物質を噴射する。このようにして、この物質が冷却した時に薄板はこの物質に固着した状態にとどまる。
支点が休止状態にある時、2つのブロック81、83は相互に実質的に平行であって、薄板75、77、79がブロック82、83に対して例えば45°の角度を成す。薄板75と79は実質的に共面であるが、薄板77は他の2枚の薄板75、79に対して近似的に90°の角度を成す。本質的に、一方において薄板75、79、他方において薄板77は、アーム49の回転軸線を代表する直線によって限定される面束の2つの面(例えば相互に直交する2面)の中に配置されている。
ブロック81は2つのネジ84(第3図)によってアーム39の第3部分55に対して連結されているが、ブロック83は2つの他のネジ86(第5図)によって、面13に対応するケーシング1の内側面に連結されている。
支点74は、アーム49を、ケーシング1の幾何学的縦方向軸線に対して直交しまたケーシング1の上側面と下側面11、13に対して平行な軸線回りに限定された正確な回転運動を実施させる。これらの回転運動は例えば後述のようにして得られる機械的制限装置によって制限される。
アーム49の孔(図示されていない)を通るネジ85(第2図および第3図)がケーシング1の進入部分の中にネジ込まれている。アーム49の第1部分51がネジ85のヘッドに当接する事により、アーム49の上向き回転運動(第2図において逆時計方向運動)が制限される。アーム49の第1部分51のネジ孔70の中にネジ込まれただぼ91がケーシング1の面87に当接するので、アーム49の下向き回転運動(第2図において時計方向運動)が制限される。検定される機械部品の表面にフィーラ67を押圧する弾発装置は戻しバネ95を含み、このバネ95はシート19の中に挿入され、その一端がカバー94に連結され、その他端が孔71の中にネジ込まれた調節だぼ97に対して連結されている。カバー94は戻しバネ95によって引張られてシート19の凹部に当接させられてシート19を密封する。
バネ95とだぼ97の間の連結は、だぼ97に連結されたアイドルピン96を含み、バネ95の引張力を設定し(下記に詳述する)このバネ95のねじれを防止する。この戻しバネ95はアーム49に対して時計方向回転モーメントを与えて、フィーラ67を検定される機械部品に当接状態に保持する。
アーム49を特定の非作動位置にもたらす空気作動式戻し装置は下記のように構成される。
シート17の中に、シリンダ98が配置されている。ピストン100がこのシリンダ98の中を摺動し、またこのピストン100はガスケットを収容するための2つの円形シート99と、アーム49を溝穴76と接触プレート73の中を通すための末端部分とを含む。圧縮バネ101の両端がそれぞれピストン100とケーシング1とに連結されている。カバー102が弾性リング103によってケーシング1に対して固着され、シート17の凹部の中に部分的に収容されてこのシート17を密封する。カバー102は、圧縮空気源92を含む公知の空気回路から來る空気導入管93と接続するための開口を有する。
類似の引き戻し装置を公知の油圧回路に接続して油圧的に作動させる事ができる。
誘導型の差動トランスデューサは巻線105と電磁物質から成る鉄心107とを含む。巻線105はシート21中においてケーシング1に連結されている。ステム104がアーム49のネジ孔68の中にネジ込まれ、ケーシング1のシート21の中に挿入されている。鉄心107がステム104の末端に連結されて、巻線105の中に配置され、アーム49が移動する際にステム104と共に限定された移動、実質的に並進運動を成す。
カバー116は、ケーシング1の面13に対してネジによって連結され、トランスデューサの巻線105に接続された電線を含むケーブル119(第5図)を通す開口(図示されていない)を有する。
カバー109は3孔111、113、115を有し、ケーシング1の面11に対して、ネジ孔23を通るネジによって連結される。
孔111から、アーム49の上方行程の上限を設定するネジ85にアクセスする事ができる。実際に、前述のようにアーム49のリミッター・ストッパを成すこのネジ85をネジ込みまたはネジ戻す事により、このネジ85のヘッドを上下させる事ができる。
孔113は、アーム49の下方行程の下限を設定するためにだぼ91にアクセスする事を可能とする。実際に、だぼ91を1方向または逆方向に回転させる事により、だぼ91の他端をケーシング1の表面87から離間させまたは近接させ、従ってだぼ91がケーシング1の表面87に接触するまでにアーム49の成す行程を変動させる事ができる。
孔115は、バネ95の引張力を設定するためにだぼ97にアクセスする事を可能とする。実際に、回転する事なく並進するアイドルピン96の存在により、バネ95を捻る事なく伸張または短縮させ、このようにしてバネ95がアーム49に加える引張力を設定する事ができる。
カバー109とケーシング1との間に、カバーのグルーブの中に部分的に収容された円環形ガスケット(O−リング)117が配置されている。環状の第1可撓性密封ガスケット137の一端がアーム49のグルーブ41に連結され、他端がケーシング1の円形開口43の中に画成されたグルーブ140に連結されている。第2可撓性密封ガスケット139の一端がアーム49のグルーブ63に連結され、他端がケーシング1のグルーブ140の中に連結されている。スペーサ141がグルーブ140の中に収容され2つのガスケット137と139の両端を分離している。ゴムから成る第1ガスケット137はトランスデューサの性能に影響するような異物からケーシング1の内部を防護する目的を有し、またファブリックの中にカレンダリングされたゴムから成る第2ガスケット139は第1ガスケット137を損傷する可能性のある削りくずからこの第1ガスケット137を防護する目的を有する。
カバー143はネジ孔46の中にネジ込まれた4ネジによって面3に連結される。
ヘッドを支持体(図示されていない)に固着するために背面7の上に4孔47が備えられ、実施されるべき検定操作の型によって2つのゲージヘッドを使用する必要のある場合には、この支持体に対して第2ヘッドを連結する事ができる。
ゲージヘッドは下記のように作動する。
公知のようにしてヘッドと被検工作物を相互に近接させる前に、このような運動中にフィーラ67が工作物またはその他の障害物に衝突する事を防止するため、フィーラ67が検定位置から離間している特定の不作動位置までアーム49が送られる。そのため、空気源92から空気をパイプ93の中に流れさせる事によって後退装置を生かす。ピストン100に対して空気の加える圧力がピストンをバネ101の弾発力に対抗して上方に上昇させ、ピストン100は溝穴76を通してプレート73に当接し、アーム49を(第2図において)逆時計方向に回転させ、アームの第1部分51がネジ85のヘッドに当接してアーム49の不作動位置を確定するにいたる。
工作物が検定位置に配置された時、空気流を遮断しバネ101がピストン100を再び下降させる事によって後退装置が死なされる。この時点において、バネ95がアーム49に加える引張力がフィーラ67を押圧して被検工作物と接触させる。
フィーラ67、従ってアーム49のとる位置に従って、ステム104がシート21の中で対応の特定位置をとり、従って鉄心107がトランスデューサの巻線105に対して対応の特定位置をとる。鉄心107と巻線105との相対位置に応答して、従って、さきに設定されたゼロ位置に対してフィーラ67のとる位置に応答して、トランスデューサから発生された電気信号がケーブル119を通して記憶・処理ユニット(図示されていない)に送られ、このユニットが測定値をさきに記憶された呼び値と比較する。この記憶・処理ユニットはフィードバックのため工作機械のデジタル制御装置に接続される事ができる。
第9図は第1図乃至第7図のヘッドと実質的に類似のヘッドを示すが、シート17の中に挿入されたべロー121を含む相異なる後退装置を有する。ベロー121はプラスチック物質、例えばポリウレタンから成るが、ゴムまたは金属で製造する事ができる。
ベロー121の末端はフランジ125によってシート17の凹部の中に締付けられる。フランジ125は、第9図には図示されていないが公知の方法で、シート17に対して例えばネジ込みによって固着される。フランジ125によるべロー121の締付けはシート17を密封する。
ベロー121の反対側末端は閉鎖部分127を有し、この閉鎖部分は当接環状要素129を担持し、この環状要素はその自由面の中心区域において固定(例えば接着)される。環状要素129は円筒形シート133を有し、このシート133は、アーム49と一体を成す突出円筒形要素134に対応する。
フランジ125は、圧搾空気源92を含む公知の空気回路の導管に接続された通り孔を有する。
ベロー121の外側面の折り目の中に、戻しバネ135が挿入されている。
フランジ125の孔を通してベロー121の内部に圧搾空気を流入させる事によって後退運動が開始される。圧搾空気によって加えられる圧力が戻しバネ135の引張力に対抗してベロー121を伸張させ、環状要素129の円筒形シート133が円筒形要素134に係合するにいたる。ベロー121がアーム49に加える推力がアーム49を押圧してネジ85のヘッドに当接させる。このようにして、フィーラ67が検定位置から離脱させられて、アーム49の不作動位置が決定される。
工作物が検定位置に配置される時、空気流を遮断する事によって後退装置が死なされ、ベロー121が戻しバネ135によって戻される。ベロー121中に存在する空気がフランジ125中の孔を通して空気回路の中に逆流する。
ベロー121が金属から成る場合、このベローはフランジ125に対して、例えば接着によって固着され、シート17を密封するため「O−リング」が使用される。
戻しバネ135は第9図に図示のものと相違する形状および/または構造を有する事ができる。例えばバネ135はベローの内側面の折り目の中に配置され、または小直径のコイルを成してベロー121の中心にその内側面から離間して配置する事ができる。場合によっては、所要の後退量およびベロー121の素材に依存して、バネ135を省略する事ができる。
第9図に図示の後退装置は特に簡単で経済的な構造であって、実質的に無摩擦操作を保証し、これはヘッドの精度と全体的信頼度とを増進する。
本発明によるヘッドは機械部品の「インプロセス」寸法検定に使用する事ができ、言い替えれば、工作機械(例えば研削機械)での機械部品の加工中に使用する事ができるが、また他の用途、例えば機械加工後の部品の「ポスト・プロセス」検定にも使用する事ができる。
本明細書におけるゲージヘッドの説明と図解は絶対測定用測定機器についても、実質的にそのまま無変更で適用される。
例えば本発明のゲージヘッドをグルーブ付き部品の検定に使用する必要のある場合、アーム49に対して必要な減衰作用を生じるため、ケーシング1の凹部15にオイルを充填する事ができる。特にアーム49のテーパ形端部51と充填オイルとの協働作用により、適正な減衰効果が得られる。
変形自在要素74から成る本発明のゲージヘッドに使用される支点は特に簡単で、コンパクトで、安価な構造である。
支点74はアーム49の最高に正確な移動を保証するのみならず、きわめて構造簡単であって、複動部品(アーム49およびケーシング1)に対して簡単迅速に連結されうる。
変形要素74の製造面も前述と相違する事ができる。例えば、薄板の数は2枚に減少させる事ができる(第8図において薄板75、77)。さらに2枚の薄板の一方が別の形状を有する事ができる。さらに詳しくは、2枚の共面薄板75、79の代わりに、薄板77を通すための中心開口を備えた単一の薄板を使用する事ができる。薄板の配置そのものを代える事ができる。薄板の相対角度位置およびブロック81、83に対する配置は可変だからである。特定の用途においては、ブロック81、83に対して永久的に連結された2枚の相互に平行な薄板を含む支点も考えられる。
前述のゲージヘッドによる利点は、中間的支持体が存在せず、また各部品(支点、戻しバネ、トランスデューサ素子および制限装置)のケーシング1に対する直接的連結により、本発明のゲージヘッドが特別にコンパクトである事にある。本発明のゲージヘッドのレイアウトを最小限に成しうる可能性は、使用可能のスペースがしばしば制限される「インプロセス」用途において特に有利である。
本発明による(ゲージまたは測定)ヘッドは前述と異なるように構成する事ができる。例えば、後退を油圧装置または電磁装置または他の空気装置によって他の方法で実施する事ができる。また前述と異なる型のトランスデューサを使用し、また片寄らせ/機械的リミッターストッパを前述と相違するように構成しまた/あるいは配置する事ができる。

Claims (36)

  1. ・幾何学的縦方向軸線を決定する支承要素(1)と、
    ・前記支承要素(1)に対して可動のアーム(49)および前記アーム(49)に連結されたフィーラ(67)を備えた可動アームセットと、
    ・回転軸線を限定し前記支承要素(1)に対する前記アーム(49)の前記回転軸線回りの移動を生じるため前記アーム(49)および前記支承要素(1)に連結された支点(74)と、
    ・前記支承要素(1)に対する前記アーム(49)の位置に依存して信号を発生するため前記アーム(49)および前記支承要素(1)に連結されたトランスデューサ(105、107)とを含む機械部品の線形寸法検定用ヘッドにおいて、
    前記支点(74)は、前記アーム(49)および前記支承要素(1)にそれぞれ連結され相互に実質的に平行に配置された2つのブロック(81、83)と、永久的に前記両方のブロック(81、83)にそれぞれ固着された第1薄板(75)および少なくとも1つの第2薄板(77)とを有する変形可能要素から成り、前記第1および第2薄板(75、77)が前記ブロック(81、83)に対してまた前記薄板(75、77)の他方に対して一定角度で配置されるように成された事を特徴とする機械部品の線形寸法検定用ヘッド。
  2. 前記第1薄板(75)と前記第2薄板(77)は前記ブロック(81、83)と異なる素材で形成される事を特徴とする請求項1に記載のヘッド。
  3. 前記両方のブロック(81、83)に対して永久的に固着されまた前記第1薄板(75)および前記第1薄板(77)のいずれか一方に対して共面を成す第3薄板(79)を含む事を特徴とする請求項1または請求項2に記載のヘッド。
  4. 前記第1薄板(75)、第2薄板(77)および第3薄板(79)は前記ブロック(81、83)に対して永久的にダイカスト法によって固着される事を特徴とする請求項3に記載のヘッド。
  5. 前記第1薄板(75)、第2薄板(77)および第3薄板(79)は鋼から成り、また前記ブロック(81、83)は亜鉛合金から成る事を特徴とする請求項4に記載のヘッド。
  6. 前記支承要素(1)は実質的に円筒形のシート(21)を画成し、前記トランスデューサは、前記シート(21)の中に収容された巻線(105)と、前記アーム(49)に連結され前記アームと共に可動の鉄心(107)とを含む事を特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のヘッド。
  7. 前記アーム(49)と前記支承要素(1)との間に配置されまた前記アーム(49)と前記支承要素(1)とに連結された戻しバネ(95)を有する片寄らせ装置を含む事を特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のヘッド。
  8. 前記戻しバネ(95)の弾発力を設定する装置を含む事を特徴とする請求項7に記載のヘッド。
  9. 前記可動アーム(49)の両方向への移動を制限するための2つのリミッター・ストッパ装置を含む事を特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載のヘッド。
  10. 前記リミッター・ストッパ装置は前記アーム(49)と協働するように前記支承要素(1)にネジ込まれたネジ(85)と、前記支承要素(1)と協働するように前記アーム(49)に連結されただぼ(91)とを含む事を特徴とする請求項9に記載のヘッド。
  11. 前記リミッター・ストッパ装置(85、91)を設定する装置を含む事を特徴とする請求項10に記載のヘッド。
  12. 前記可動アームを特定の不作動位置に後退させる後退装置(98、100、101)を含む事を特徴とする請求項1乃至11のいずれかに記載のヘッド。
  13. 前記後退装置は圧搾空気源(92)を有する空気回路を含む事を特徴とする請求項12に記載のヘッド。
  14. 前記後退装置はシリンダ(98)、ピストン(100)および圧縮バネ(101)を含む事を特徴とする請求項13に記載のヘッド。
  15. 前記後退装置はベロー(121)を含み、前記ベローは支承要素(1)に固着された端部と、前記可動アーム(49)と協働してこのアームを前記の特定の不作動位置まで押圧するように成された反対側自由端部とを有する事を特徴とする請求項13に記載のヘッド。
  16. 前記ベロー(121)が前記空気回路に接続されまた延伸されてその前記自由端部を可動アーム(49)と協働させるように成された事を特徴とする請求項15に記載のヘッド。
  17. 前記後退装置はさらに、前記ベロー(121)に連結されてこのベローに圧縮推力を加えるように成された戻しバネ(135)を含む事を特徴とする請求項16に記載のヘッド。
  18. 前記戻しバネ(135)がベロー(121)の外側面の折り目の中に挿入される事を特徴とする請求項17に記載のヘッド。
  19. 前記ベロー(121)がプラスチックから成る事を特徴とする請求項15乃至18のいずれかに記載のヘッド。
  20. 前記ベロー(121)がポリウレタンから成る事を特徴とする請求項19に記載のヘッド。
  21. 前記ベロー(121)が金属から成る事を特徴とする請求項15乃至18のいずれかに記載のヘッド。
  22. 前記ベロー(121)がゴムから成る事を特徴とする請求項15乃至18のいずれかに記載のヘッド。
  23. ・幾何学的縦方向軸線を決定する支承要素(1)と、
    ・前記支承要素(1)に対して可動のアーム(49)および前記アーム(49)に連結されたフィーラ(67)を備えた可動アームセットと、
    ・前記アーム(49)を前記支承要素(1)に対して制限された回転運動させるため、前記アーム(49)および前記支承要素(1)に対して連結された支点(74)と、
    ・前記支承要素(1)に対して連結され、前記可動アーム(49)と協働してこのアーム(49)を特定の不作動位置にもたらすように成された後退装置(121)と、
    ・前記支承要素(1)に対する前記アーム(49)の位置に依存して信号を発生するため前記アーム(49)および前記支承要素(1)に連結されたトランスデューサ(105、107)とを含む機械部品の線形寸法検定用ヘッドにおいて、
    前記後退装置がベロー(121)を含み、前記ベローが前記支承要素(1)に固着された末端と、前記可動アーム(49)と協働してこのアーム(49)を前記の特定不作動位置にもたらすように成された反対側自由端部とを有する事を特徴とする機械部品の線形寸法検定用ヘッド。
  24. 前記後退装置が圧搾空気源(93)を有する空気回路を含む事を特徴とする請求項23に記載のヘッド。
  25. 前記ベロー(121)が前記空気回路に接続されまた延伸して前記自由端部を前記可動アーム(49)と協働させるように成された事を特徴とする請求項24に記載のヘッド。
  26. 前記後退装置はさらに、前記ベロー(121)に連結されてこのベローに圧縮推力を加えるように成された戻しバネ(135)を含む事を特徴とする請求項25に記載のヘッド。
  27. 前記戻しバネ(135)がベロー(121)の外側面の折り目の中に挿入される事を特徴とする請求項26に記載のヘッド。
  28. 前記ベロー(121)がプラスチックから成る事を特徴とする請求項23乃至27のいずれかに記載のヘッド。
  29. 前記ベロー(121)がポリウレタンから成る事を特徴とする請求項28に記載のヘッド。
  30. 前記ベロー(121)が金属から成る事を特徴とする請求項23乃至27のいずれかに記載のヘッド。
  31. 前記ベロー(121)がゴムから成る事を特徴とする請求項23乃至27のいずれかに記載のヘッド。
  32. 寸法検定用ヘッドの中に使用される支点(74)の製法において、
    ・第1物質から成る少なくとも2枚の薄板(75、77)を配置する段階と、
    ・第2物質から成る2つのブロック(81、83)を形成する段階と、
    ・単一の変形自在要素を達成するために前記薄板(75、77)を前記ブロック(81、83)に対して永久的に固着する段階とを含み、
    この際に、前記薄板(75、77)が相互にまた前記ブロック(81,83)に対して一定角度で配置され、また前記ブロック(81、83)が相互に実質的に平行に配置される事を特徴とする方法。
  33. 前記薄板(75、77)を前記ブロック(81、83)に対して永久的に固着する段階はダイカスト工程を含む事を特徴とする請求項32に記載の方法。
  34. 前記少なくとも2枚の薄板(75、77)をダイス型の中に挿入し、また前記2ブロック(81、83)を形成する段階と前記薄板(75、77)を前記ブロック(81、83)に永久的に固着する段階は前記の第2物質を溶融し溶融された第2物質を前記ダイス型の中に噴射する事を特徴とする請求項33に記載の方法。
  35. 前記薄板(75、77)は鋼から成り、また前記ブロック(81、83)は亜鉛合金から成る事を特徴とする請求項33または請求項34に記載の方法。
  36. 前記薄板(77、78)を前記ブロック(81、83)に永久的に固着する段階は溶接工程を含む事を特徴とする請求項32に記載の方法。
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