JPS60161508A - 表面粗さ・形状測定装置 - Google Patents
表面粗さ・形状測定装置Info
- Publication number
- JPS60161508A JPS60161508A JP1760884A JP1760884A JPS60161508A JP S60161508 A JPS60161508 A JP S60161508A JP 1760884 A JP1760884 A JP 1760884A JP 1760884 A JP1760884 A JP 1760884A JP S60161508 A JPS60161508 A JP S60161508A
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- JP
- Japan
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- undulation
- detector
- roughness
- signal
- lever
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- Pending
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は記録紙上に被測定物表面のうねり曲線を記録
すると同時に、同一記録紙上にうねり形状を重畳させた
粗さ曲線を記録する表面粗さ・形状測定装置に関するも
のである。
すると同時に、同一記録紙上にうねり形状を重畳させた
粗さ曲線を記録する表面粗さ・形状測定装置に関するも
のである。
従来表面にうねりを有する物体の粗さの測定記録はスキ
ッドと称せられる大きな曲率面を有する触針を被測定物
表面に当て、これを案内として微細な粗さのみを記録す
るとか、あるいは検出信号を高域フィルター回路を通し
てうねり成分を除去して粗さの記録を行なっていた。し
かしこの従来方式では微細な粗さは記録できるが、同時
にうねり形状を記録することができず、ましてやうねり
形状の図形上に粗さ記録を重畳させて記録することは出
来なかったので記録図形上から被測定物表面の解析を容
易に行なうことが困難であるという欠点があった。
ッドと称せられる大きな曲率面を有する触針を被測定物
表面に当て、これを案内として微細な粗さのみを記録す
るとか、あるいは検出信号を高域フィルター回路を通し
てうねり成分を除去して粗さの記録を行なっていた。し
かしこの従来方式では微細な粗さは記録できるが、同時
にうねり形状を記録することができず、ましてやうねり
形状の図形上に粗さ記録を重畳させて記録することは出
来なかったので記録図形上から被測定物表面の解析を容
易に行なうことが困難であるという欠点があった。
この発明はこの点を改善して、−回の測定でうねり形状
と粗さとを同−図形上に記録するもので、その図形は被
測定物表面の粗さは高倍率に、うねり形状は低倍率に同
じ位置に記録するものである。以下図面に従って本発明
の一実施例を説明する。
と粗さとを同−図形上に記録するもので、その図形は被
測定物表面の粗さは高倍率に、うねり形状は低倍率に同
じ位置に記録するものである。以下図面に従って本発明
の一実施例を説明する。
第１図において測定台１上にコラム３が直立して固定さ
れ、上下動ハンドル４を回転させることによって該コラ
ム３に取り付けられたＸ方向移動装置５は上下方向に移
動される。Ｘ方向移動装置５には基準板７が水平に設け
られ、モータ８に連結されたねじ９を回転させることに
よってナツト１０を介して移動板１１が基準板７上をＸ
方向に沿って真直駆動される。前記移動板１１には検出
装置１４が連結されており、従ってモータ８の回転によ
って検出装置１４はＸ方向に駆動される。
れ、上下動ハンドル４を回転させることによって該コラ
ム３に取り付けられたＸ方向移動装置５は上下方向に移
動される。Ｘ方向移動装置５には基準板７が水平に設け
られ、モータ８に連結されたねじ９を回転させることに
よってナツト１０を介して移動板１１が基準板７上をＸ
方向に沿って真直駆動される。前記移動板１１には検出
装置１４が連結されており、従ってモータ８の回転によ
って検出装置１４はＸ方向に駆動される。
前記検出装置１４は左方に延長されて、これに第１の支
点１５によって第１測子レバー１６が回動自在に軸支さ
れている。第１測子し／イー１６の左先端には下向きに
うねり測定用の第１触針１７が設けられ、右端には検出
装置１４の固定部との間に、変位量を電気信号に変換す
る第１検出器１８が設けられる。前記第１測子レバー１
６にはその第１支点１５と第１触針１゛７との間に第２
の支点１９が設けられ、これに第２測子レバー２０を回
動自在に軸支し、その左端には下向きに粗さ測定用の第
２触針２１を設ける。そして第２測子レバー２０の右端
には、第１測子レバー１６との間に第２検出器２２を設
ける。なお前記第１触針１７の下部先端は曲率半径の大
きな形状とし、また前記第２触針２１は先端が鋭角で曲
率半径の小さな形状とし、この第１、第２の触針は近接
して、その先端は被測定物２の同じ点を測定できるよう
に検出装置１４の移動方向に対して直角面内に並んで設
けられる。
点１５によって第１測子レバー１６が回動自在に軸支さ
れている。第１測子し／イー１６の左先端には下向きに
うねり測定用の第１触針１７が設けられ、右端には検出
装置１４の固定部との間に、変位量を電気信号に変換す
る第１検出器１８が設けられる。前記第１測子レバー１
６にはその第１支点１５と第１触針１゛７との間に第２
の支点１９が設けられ、これに第２測子レバー２０を回
動自在に軸支し、その左端には下向きに粗さ測定用の第
２触針２１を設ける。そして第２測子レバー２０の右端
には、第１測子レバー１６との間に第２検出器２２を設
ける。なお前記第１触針１７の下部先端は曲率半径の大
きな形状とし、また前記第２触針２１は先端が鋭角で曲
率半径の小さな形状とし、この第１、第２の触針は近接
して、その先端は被測定物２の同じ点を測定できるよう
に検出装置１４の移動方向に対して直角面内に並んで設
けられる。
以上の構造において、被測定物２を固定して、検出装置
１４をモータ８によって移動させると、うねり測定用の
第１触針１７は、表面の微細な粗さに拘わることなく、
うねりをひろい出して、第１検出器１８より電気信号と
して出力する。
１４をモータ８によって移動させると、うねり測定用の
第１触針１７は、表面の微細な粗さに拘わることなく、
うねりをひろい出して、第１検出器１８より電気信号と
して出力する。
そしてこのとき第２支点１９もこのうねりに従って上下
動する。そこで第２測子しｔ＜−２０もこのうねりに従
って上下動するが、第１測子レバー１６もうねりに従っ
て上下動゛してνするので両レバーの間にはうねりによ
る相対変位はなく、従って第２検出器２２は微細な表面
粗さの信号のみを出力する。
動する。そこで第２測子しｔ＜−２０もこのうねりに従
って上下動するが、第１測子レバー１６もうねりに従っ
て上下動゛してνするので両レバーの間にはうねりによ
る相対変位はなく、従って第２検出器２２は微細な表面
粗さの信号のみを出力する。
そこで第１検出器１８およＶ第２検出器２２の検出信号
を第１図、第２図の一点頷線２６で示す回路を介して２
ベン式記録計のそれぞれの端子Ｙｌ、Ｙ２に入力する。
を第１図、第２図の一点頷線２６で示す回路を介して２
ベン式記録計のそれぞれの端子Ｙｌ、Ｙ２に入力する。
すなわち第２図において第１検出器１８の出力；第２検
出器２２の出力を各々増幅器２３．２４によって各々指
定された倍率に増幅する。このとき第１検出器１８から
のうねり信号は低倍率、第２検出器２２からの粗さ信号
は高倍率に増幅する。そして増幅器２３の出力信号は直
＃ｃ２ペン式記録計１３の一方の端子Ｙ１へ入力されて
第３図のＡで示すように記録紙上にうねり図形として記
録される。
出器２２の出力を各々増幅器２３．２４によって各々指
定された倍率に増幅する。このとき第１検出器１８から
のうねり信号は低倍率、第２検出器２２からの粗さ信号
は高倍率に増幅する。そして増幅器２３の出力信号は直
＃ｃ２ペン式記録計１３の一方の端子Ｙ１へ入力されて
第３図のＡで示すように記録紙上にうねり図形として記
録される。
また、増幅器２４の出力信号は加算器２５において前記
の増幅器２３の出力信号と加算されて２ベン式記録計１
３の他の一方の端子Ｙ２へ人力されて第３図のＢに示す
ように記録紙上ｌこ粗さ図形として記録される。この粗
さ図形Ｂは図からも明らかなようにうねり形状が加算さ
れたものであるからＡのうねり図形の上にＢの粗さ図形
が重なり合って、同時に記録される。
の増幅器２３の出力信号と加算されて２ベン式記録計１
３の他の一方の端子Ｙ２へ人力されて第３図のＢに示す
ように記録紙上ｌこ粗さ図形として記録される。この粗
さ図形Ｂは図からも明らかなようにうねり形状が加算さ
れたものであるからＡのうねり図形の上にＢの粗さ図形
が重なり合って、同時に記録される。
なお２ベン式記録計１３によって、前述のようにＡ図形
と８図形を記録するのであるが、記録用ペンが記録紙の
走行方向に対して前後に設けられているので、先の記録
ペン−二人る信号と後のペンに入る信号との位相差を合
わせる必要がある。そこで２ペン式記録計としては遅延
回路を内蔵し位相差を補正したものを使用するのが好適
である。また上記説明におし）ては被測定物を固定して
検出器を移動する方式に本願発明を適用した実施例につ
いて説明したが、逆に被測定物を移動する方式に適用し
た場合におｔｌてもまったく同様な図形を記録すること
ができる。
と８図形を記録するのであるが、記録用ペンが記録紙の
走行方向に対して前後に設けられているので、先の記録
ペン−二人る信号と後のペンに入る信号との位相差を合
わせる必要がある。そこで２ペン式記録計としては遅延
回路を内蔵し位相差を補正したものを使用するのが好適
である。また上記説明におし）ては被測定物を固定して
検出器を移動する方式に本願発明を適用した実施例につ
いて説明したが、逆に被測定物を移動する方式に適用し
た場合におｔｌてもまったく同様な図形を記録すること
ができる。
以上に示すように、本願発明にお塾１ては被測定物表面
のうねり形状とその位置におけるうねり形状を加算した
粗さとを、同時に同一記録紙上に重なり合せて記録する
ことができるので、その記録図形から被測定物表面の状
態を解析する場合等に極めて有効である。
のうねり形状とその位置におけるうねり形状を加算した
粗さとを、同時に同一記録紙上に重なり合せて記録する
ことができるので、その記録図形から被測定物表面の状
態を解析する場合等に極めて有効である。
第１図は本発明の一実施例を示す説明図、第２図は出力
信号の電気的処理のためのブロック図、第３図は本発明
によって記録される図形の一例を示す図。 １５：第１支点 １６：第１測子レバー１７：第１触針
１８：第１検出器 １９：第２支点 ２０：第２測子レバー２１：第２触針
２２：第２検出器 特許出願人 株式会社 東京精密 第２図 手続補正書（方式） ％式％ １事件の表示 昭和５９年 特許顧第１７８０８号 ２発明の名称 表面粗さ・形状測定装置 ３補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 ｄ 六Ｈ４４ｊ、１．％’−ｆＭｉ、”ｔＡ丁目
７番１号昭和５９年４月２４日（発送日） ５補正の対象 明細書の全文および図面 ６補正の内容 第３図
信号の電気的処理のためのブロック図、第３図は本発明
によって記録される図形の一例を示す図。 １５：第１支点 １６：第１測子レバー１７：第１触針
１８：第１検出器 １９：第２支点 ２０：第２測子レバー２１：第２触針
２２：第２検出器 特許出願人 株式会社 東京精密 第２図 手続補正書（方式） ％式％ １事件の表示 昭和５９年 特許顧第１７８０８号 ２発明の名称 表面粗さ・形状測定装置 ３補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 ｄ 六Ｈ４４ｊ、１．％’−ｆＭｉ、”ｔＡ丁目
７番１号昭和５９年４月２４日（発送日） ５補正の対象 明細書の全文および図面 ６補正の内容 第３図
Claims (1)
- 検出器本体の第１の支点によって第１の測子レバーを支
え、このレバーの先端下向きに曲率半径の大きな第１触
針を設け、第１測子レバーと本体との間に変位を電気信
号に変換する第１検出器を取り付け、第１測子レバーの
第１支点と第１触針との間に第２支点を設けて、これに
第２の測子レバーを設け、その先端下向きに、鋭角であ
って、第１の触針と同位置に第２の触針な、かつ、レバ
ーの反対側には第ルバーとの間に第２の検出器を設け、
第１検出器の出力信号を２ペン式記録計の一方の入力と
すると共に、第２検出器の出力信号に第１検出器の出力
信号を加算した信号を２ペン式記録計の他の一方の入力
とすることによって二つの図形を同時に記録する表面粗
さ・形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1760884A JPS60161508A (ja) | 1984-02-01 | 1984-02-01 | 表面粗さ・形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1760884A JPS60161508A (ja) | 1984-02-01 | 1984-02-01 | 表面粗さ・形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60161508A true JPS60161508A (ja) | 1985-08-23 |
Family
ID=11948593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1760884A Pending JPS60161508A (ja) | 1984-02-01 | 1984-02-01 | 表面粗さ・形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60161508A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2669726A1 (fr) * | 1990-11-23 | 1992-05-29 | Dimier Jean | Dispositif de mesurage des bois. |
| WO1997034122A1 (en) * | 1996-03-13 | 1997-09-18 | International Business Machines Corporation | Cantilever structures |
| WO1998020297A1 (en) * | 1996-11-07 | 1998-05-14 | Marposs Societa' Per Azioni | Head for the linear dimension checking of mechanical pieces |
| WO2006062048A1 (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-15 | Japan Science And Technology Agency | 機械的振動子及びその製造方法 |
| US8074497B2 (en) * | 2007-12-26 | 2011-12-13 | Mitutoyo Corporation | Indentation testing instrument and indentation testing method |
| JP2012514735A (ja) * | 2008-12-19 | 2012-06-28 | クリンゲルンベルク・アクチェンゲゼルシャフト | 表面粗さ測定センサを有する装置および関連方法 |
| JP2014032177A (ja) * | 2012-01-04 | 2014-02-20 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 輪郭形状表面粗さ測定装置および輪郭形状表面粗さ測定方法 |
| CN108550532A (zh) * | 2018-03-21 | 2018-09-18 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 一种测量半导体鳍部粗糙度的方法 |
| CN108981645A (zh) * | 2018-06-26 | 2018-12-11 | 赵晓晨 | 一种建筑用平整测量装置 |
-
1984
- 1984-02-01 JP JP1760884A patent/JPS60161508A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2669726A1 (fr) * | 1990-11-23 | 1992-05-29 | Dimier Jean | Dispositif de mesurage des bois. |
| WO1997034122A1 (en) * | 1996-03-13 | 1997-09-18 | International Business Machines Corporation | Cantilever structures |
| US6079255A (en) * | 1996-03-13 | 2000-06-27 | International Business Machines Corporation | Mechanically coupled alternatively usable cantilever structures for scanning a surface |
| WO1998020297A1 (en) * | 1996-11-07 | 1998-05-14 | Marposs Societa' Per Azioni | Head for the linear dimension checking of mechanical pieces |
| CZ298300B6 (cs) * | 1996-11-07 | 2007-08-22 | Marposs Societa' Per Azioni | Hlava pro kontrolu lineárních rozmeru mechanických teles a zpusob pro výrobu cepu pro použití v hlave pro kontrolu rozmeru |
| WO2006062048A1 (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-15 | Japan Science And Technology Agency | 機械的振動子及びその製造方法 |
| US8074497B2 (en) * | 2007-12-26 | 2011-12-13 | Mitutoyo Corporation | Indentation testing instrument and indentation testing method |
| JP2012514735A (ja) * | 2008-12-19 | 2012-06-28 | クリンゲルンベルク・アクチェンゲゼルシャフト | 表面粗さ測定センサを有する装置および関連方法 |
| EP2199732B1 (de) * | 2008-12-19 | 2017-10-11 | Klingelnberg AG | Vorrichtung mit Rauheitsmesstaster |
| JP2014032177A (ja) * | 2012-01-04 | 2014-02-20 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 輪郭形状表面粗さ測定装置および輪郭形状表面粗さ測定方法 |
| JP2017161548A (ja) * | 2012-01-04 | 2017-09-14 | 株式会社東京精密 | 輪郭形状表面粗さ測定装置および輪郭形状表面粗さ測定方法 |
| CN108550532A (zh) * | 2018-03-21 | 2018-09-18 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 一种测量半导体鳍部粗糙度的方法 |
| CN108550532B (zh) * | 2018-03-21 | 2020-10-02 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 一种测量半导体鳍部粗糙度的方法 |
| CN108981645A (zh) * | 2018-06-26 | 2018-12-11 | 赵晓晨 | 一种建筑用平整测量装置 |
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