JP3840199B2 - カプラを有する集積型光ヘッド - Google Patents
カプラを有する集積型光ヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP3840199B2 JP3840199B2 JP2003126841A JP2003126841A JP3840199B2 JP 3840199 B2 JP3840199 B2 JP 3840199B2 JP 2003126841 A JP2003126841 A JP 2003126841A JP 2003126841 A JP2003126841 A JP 2003126841A JP 3840199 B2 JP3840199 B2 JP 3840199B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- coupler
- light
- optical
- optical head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/123—Integrated head arrangements, e.g. with source and detectors mounted on the same substrate
- G11B7/124—Integrated head arrangements, e.g. with source and detectors mounted on the same substrate the integrated head arrangements including waveguides
- G11B7/1245—Integrated head arrangements, e.g. with source and detectors mounted on the same substrate the integrated head arrangements including waveguides the waveguides including means for electro-optical or acousto-optical deflection
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1384—Fibre optics
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y20/00—Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12004—Combinations of two or more optical elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/1225—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths comprising photonic band-gap structures or photonic lattices
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/124—Geodesic lenses or integrated gratings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/124—Geodesic lenses or integrated gratings
- G02B6/1245—Geodesic lenses
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/123—Integrated head arrangements, e.g. with source and detectors mounted on the same substrate
- G11B7/124—Integrated head arrangements, e.g. with source and detectors mounted on the same substrate the integrated head arrangements including waveguides
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1353—Diffractive elements, e.g. holograms or gratings
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1359—Single prisms
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1372—Lenses
- G11B7/1374—Objective lenses
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1372—Lenses
- G11B2007/13722—Fresnel lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Optical Head (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は光ディスクに情報を記録して再生するための光ヘッドに係り、殊に、エバネッセントカップリングまたは光の回折を利用する入力カプラ及び出力カプラを有する集積型光ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
図1は、従来技術の光ヘッドアセンブリを簡略に示した図面である。図1に示した従来技術の光ヘッドアセンブリは、レーザダイオード1と、コリメータレンズ5と、ビームスプリッター6と、対物レンズ7及び光検出器8から構成されている。
【0003】
ここで、図1に示した光ヘッドアッセンブリについて詳しく説明すると、レーザダイオード1で照射されたレーザビームは、コリメータレンズ5により平行光に成形され、ビームスプリッター6を通過して対物レンズ7により光ディスク3に照射されてスポット4に集束する。光ディスク3において反射されたビームは、前記した光路を逆に進んでビームスプリッター6において光路が90度変化し、光検出器8に入射して電気的信号に変換される。差動増幅器9は光検出器8の二極間の出力信号の差を検出してトラッキングエラー信号を発生する。
【0004】
次に、図2(a)及び図2(b)は、特許文献1に開示された光ヘッドアセンブリを示した図である。図2(a)及び図2(b)に開示された光ヘッドアセンブリは、一般的に用いられる光ヘッドアセンブリを軽薄短小に構成するために、光学的構成要素を、単一エッチングにより具現化する光集積回路として形成されていることを特徴としている。
【0005】
ここで、図2(a)に示した光ヘッドアセンブリについて詳しく説明すると、バッファ層42は、酸化または気相蒸着により基板41上に形成されており、光導波層43は誘電薄膜で形成されて気相蒸着または他の適切な手段によりバッファ層42上に積層されている。コリメータレンズ45、ビームスプリッター46及び不均等に離隔された複数のカーブを有する集束型グレーティングカプラ47は、光導波層43上にフォト工程、電子ビーム線描法またはエッチング法により形成されている。また、符号44は光導波層43にレーザビームを照射するレーザダイオードであって、符号48は二つの光受容面を有する光検出器を表し、この光検出器48は、入射光の光軸が中心になるように調整されて、光ヘッドアセンブリの一端部に固着されている。また、符号49は光ディスクを示し、符号50はその上部の情報が記録されたピットを示している。
【0006】
集積型の光ヘッドアセンブリの一端部に固着されたレーザダイオード44から射出されたレーザビームは、光導波層43を通してコリメータレンズ45を通過して平行光に成形される。前記平行光は光導波層43を通してビームスプリッター46を通過してグレーティングカプラ47により光ディスク49の情報ピット50にスポットで集束される。光ディスク49の表面から反射されたビームは、光導波層43を通ってグレーティングカプラ47を再び逆に通過してビームスプリッター46で反射されて光検出器48に向かう。
【0007】
次に、図2(b)に示した光ヘッドアセンブリについて詳しく説明すると、図2(b)に示した光ヘッドアッセンブリは、特許文献1の一実施例における光ヘッドを示した図であって、図2(a)に示した光ヘッドアッセンブリと同一な符号は同一な構成要素を示している。ただし、図2(b)において符号52は、レーザダイオード44とグレーティングカプラ47との間に位置したビームスプリッターを表し、54a、54b、54c及び54dは、基板41に形成された光検出器の検出面を表している。
【0008】
レーザダイオード44から光導波路層43に導入された光は、光導波路層43を通過してグレーティングカプラ47により光ディスク49の表面にスポットで集束される。光ディスク49の表面で反射されたレーザ光は、グレーティングカプラ47を通過してビームスプリッター52によって、二束の光である符号53aと符号53bとに分けられて光検出器54a、54b、54c、54dに受光される。
【0009】
このような集積型の光ヘッドアセンブリは、レーザダイオードと光導波層間の入力カップリング効率と光導波層と光ディスク間の出力カップリング効率が低下することで、光の出力強度を情報記録及び再生に必要な強度にすることが難しかった。また、従来の集積型の光ヘッドアセンブリは、グレーティングカプラの開口数が小さいため、グレーティングの集束強度が弱く、光ディスクを反射して受光される光の波長変化に対する光検出器の検出感度が落ちるという短所も有していた。
【0010】
【特許文献1】
米国特許第4,779,259号広報
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記した従来技術の問題点を解決するために創案されたものであり、本発明が解決しようとする課題は、光源と光導波層間の入力カップリング効率と、光導波層と光ディスク間の出力カップリング効率とを向上させて、記録及び再生時に必要な光強度を得ることができるコンパクトな集積型の光ヘッドを提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するためになされた第1の本発明は、光を射出する光源と、前記光が進むウェーブガイドと、前記ウェーブガイド上の一端部に位置し、前記光源から入射する光をエバネッセントカップリングして前記ウェーブガイドに導入する入力カプラと、前記ウェーブガイド上の他端部に位置し、前記ウェーブガイドから射出する光をカップリングして光ディスクに集束する出力カプラと、前記ウェーブガイド上に設けられ、前記光ディスクを反射した光が前記出力カプラを通過する際に、光路を変化させる光路変換手段と、前記光路変換手段を通過した光を受光すると、光電変換して前記光ディスクの情報を検出する光検出器とを備えた集積型光ヘッドであって、前記エバネッセントカップリングは、dがウェーブガイドの厚さ、mがモード次数、n 0 がウェーブガイドの屈折率、n ef が光ファイバ有効屈折率である場合、次の式を満足する位相整合条件を有することを特徴とする集積型光ヘッドを提供する。
また、前記課題を解決するためになされた第2の本発明は、光を射出する光源と、前記光が進むウェーブガイドと、前記ウェーブガイド上の一端部に位置し、前記光源から入射する光をカップリングして前記ウェーブガイドに導入する入力カプラと、前記ウェーブガイド上の他端部に位置し、前記ウェーブガイドから射出する光をカップリングして光ディスクに集束する出力カプラと、前記ウェーブガイド上に設けられ、前記光ディスクを反射した光が前記出力カプラを通過する際に、光路を変化させる光路変換手段と、前記光路変換手段を通過した光を受光すると、光電変換して前記光ディスクの情報を検出する光検出器とを備えた集積型光ヘッドであって、前記入力カプラは、前記ウェーブガイドの下端部に入射する光が全反射して進むように末端部にかけてテーパ形状に形成されたテーパカプラであることを特徴とする集積型光ヘッドを提供する。
【0013】
前記入力カプラは、一端が前記光源に、他端が前記ウェーブガイドの表面に接続される光ファイバを含み、前記光ファイバのコアは前記ウェーブガイドの表面に密着するように固着されて、前記光源から入射する光をエバネッセントカップリングして前記ウェーブガイドに導入するエバネッセントカプラであることが望ましい。または、前記入力カプラは、前記ウェーブガイド表面に密着して固着されて、前記光源から入射する光をエバネッセントカップリングして前記ウェーブガイドに導入するプリズムカプラであることが望ましい。ここで、前記エバネッセントカップリングによる入力カプラは、dがウェーブガイドの厚さ、mがモード次数、n0がウェーブガイドの屈折率、nefが光ファイバ有効屈折率とすると、数式2を満足する位相整合条件を有している。
【0014】
【数2】
【0015】
または、前記入力カプラは、前記ウェーブガイドの下端部に入射する光が全反射して進むように末端部がテーパに形成されたテーパカプラであることが望ましい。なお、前記光源としては、レーザダイオードが用いられる。
【0016】
ここで、前記光源と前記入力カプラとを接続する光ファイバをさらに備えてもよく、一端部が前記光源と接続されて、他端部が前記ウェーブガイドの下端部に挿入される光ファイバをさらに備えることもできる。さらに、前記光源と前記入力カプラ間には、コリメータレンズをさらに備えることが望ましい。また、前記ウェーブガイドは、基板と、基板の上面に積層されるバッファ層及び前記バッファ層の上面に積層された前記光が進む光導波層とを含んで構成される。
【0017】
前記光路変化手段は、前記出力カプラから入射する光の光路を変化させるように、前記バッファ層を貫通して形成される複数のホールよりなるフォトニッククリスタルミラーと、前記フォトニッククリスタルミラーを通過した光を前記光検出器に集束させるモードインデックスレンズとを含む。または、前記光路変化手段は、前記ウェーブガイドの表面に形成されるグレーティングビームスプリッターを用いることもできる。
【0018】
前記出力カプラは、前記ウェーブガイドのバッファ層上に前記光の進行方向にピッチが減少して各グレーティングが曲率を有するように形成されて、前記光導波層を進んだ光を回折させて前記光ディスクに集束させるフォーカシンググレーティングカプラであることが望ましい。または、前記出力カプラは、前記ウェーブガイドの表面に前記光の進行方向にピッチが減少して各グレーティングが曲率を有するように形成されて、前記光導波層を進んだ光を回折させて前記光ディスクに集束させるフォーカシンググレーティングカプラを用いてもよい。
【0019】
または、前記出力カプラは、前記ウェーブガイドの表面に密着するように固着させて、前記ウェーブガイドから射出される光をエバネッセントカップリングして前記光ディスクに集束させるプリズムカプラを用いてもよい。または、前記出力カプラは、前記ウェーブガイドの表面に形成された、前記光導波層を進んだ光を回折させて前記光ディスクに集束させるフォーカシンググレーティングカプラを用いてもよい。
【0020】
さらに、前記出力カプラと前記光ディスク間の光路上に、前記出力カプラを通過した光を前記光ディスクに集束させるシリンドリカルレンズをさらに備えることが望ましい。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、添付された図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。初めに、従来のエンドバットカップリング方法を改善した4種のカップリング方法を説明する。ここで、エンドバットカップリング方法とは、レーザダイオードと光導波層とを連結する最も簡単な方法であって、例えば、図3に示すようにレーザダイオード31の活性層33から射出するビームをウェーブガイド35の光導波層37に単純連結させる方法である。このエンドバットカップリング方法において、ガウスプロファイルを有するレーザダイオードから射出された光が、ウェーブガイド35の光導波層37に入射する場合、カップリング効率は、入射光とウェーブガイドモードの数式3によるフィールドパターンの重畳積分により決定される。
【0022】
【数3】
【0023】
ここで、Ey(x)は、入力レーザビームの振幅分布を示しており、Emy(x)はm番目モードの振幅分布を示している。この数式3から、カップリング効率を高効率にするためには、構成要素間の距離は最小化されなければならず、プロファイル整合条件が満足されなければならない。なお、プロファイル整合とは、位相と振幅とを有する光強度分布が、レーザダイオードとウェーブガイドとで同様な分布を有することを意味する。
【0024】
ここで、レーザダイオードとウェーブガイドの表面は、フレネルレンズのように表面粗さを有しているため、光がレーザダイオードから射出する際に、レーザダイオードの表面で光損失が発生し、また、光がウェーブガイドに入射する際に、ウェーブガイドの表面で光損失が発生する。このような光損失をフレネル反射損失という。フレネル反射損失はレーザダイオードとウェーブガイドの表面を無反射コーティングすることや、適切な物質で表面のギャップを充填させることなどによって減少可能である。公知の実験結果によると、レーザダイオードとウェーブガイドとの間では、10%程度のカップリング効率を示すと報告されている。したがって、前記エンドバットカップリング方法は、末端面表面加工、位置整列及び固定の問題によってカップリング効率が低下するという短所を有している。
【0025】
本発明では、従来のエンドバットカップリング方法の問題点を改善するために、エバネッセントカプラ、プリズムカプラ、及び、テーパカプラを用いる。また、本発明に対する参考例としてグレーティングカップリングを用いたものを示している。ここで、エバネッセントカプラとプリズムカプラとはエバネッセントフィールドカップリング方法を利用して、グレーティングカプラは光の回折を利用し、テーパカプラは全反射条件を応用する。前記4種のカプラは光源とウェーブガイド間に適用できるが、エバネッセントカプラとテーパカプラとはウェーブガイドと光ディスク間のカップリングとしては適用できない。
【0026】
初めに、光源とウェーブガイドとの間の入力カプラとして、前記した4種のカプラを適用した、第1ないし第3実施例、及び第1参考例について説明する。なお、出力カプラとしては、従来技術のフォーカシンググレーティングカプラを用いる。
【0027】
<第1実施例>
図4は、エバネッセントカプラを備える本発明の第1実施例における光ヘッド100を示した斜視図である。図4を参照すると、光ヘッド100は、光源であるレーザダイオード101と、光ファイバ102とウェーブガイド105を連結するエバネッセントカプラ103と、エバネッセントカプラ103を通過した光が進むウェーブガイド105と、ウェーブガイド105から光を光ディスク120に回折させるフォーカシンググレーティングカプラ107と、光ディスク120において反射してフォーカシンググレーティングカプラ107を通過した光の光路を変化させる光路変換手段としてフォトニッククリスタルミラー111と、フォトニッククリスタルミラー111を通過した光を光検出器113a、113bに集束させるモードインデックスレンズ109a、109b及び受光された光を光電変換する光検出器113a、113bとを備えて構成される。ここで、ウェーブガイド105は、基板108上にバッファ層106と光導波層104とが、順番に積層されて形成されている。
【0028】
この光源101としては、レーザダイオード以外にもLED(Laser Emitting Diode)等のように光ディスク120に記録及び再生をできる出力を有する光学素子を用いることができる。また、フォーカシンググレーティングカプラ107は、ウェーブガイド105のバッファ層106の表面に形成された凹凸と、さらにその表面に光導波層104が積層されて形成された光学素子である。フォーカシンググレーティングカプラ107は複数のグレーティングで形成されるが、複数のグレーティングは光の進行方向に対して直交する方向に配列され、グレーティング間のピッチが減少されて曲率を有するように形成されて入射光を光ディスク表面に集束する。フォーカシンググレーティングカプラ107は、グレーティングが適切なピッチで形成されることで、従来の光ヘッドで対物レンズが担っていた集束機能をはたしている。なお、フォーカシンググレーティングカプラ107の代わりに、表面に形成される一般的なグレーティングカプラと従来の対物レンズとを用いることもできる。
【0029】
フォトニッククリスタルミラー111は、従来の光ヘッドでビームスプリッターが担っていた光路変換手段としての機能をはたしている。フォトニッククリスタルミラー111は、光路に影響を与えるように誘電物質に形成された周期的なホールが配列された人工的な構造であり、ウェーブガイド105の光導波層104と基板108との間に位置するバッファ層106に、複数のホールを形成することで構成される。
【0030】
フォトニッククリスタルミラー111は、屈折でなく、回折により光路を変化させる。フォトニッククリスタルミラー111の光学的特性は空気フィルファクタ(f=ホール面積/全体面積)と格子定数(a/λ、λは波長)とにより決定される。フォトニッククリスタルミラー111の代わりをしてグレーティング構造のビームスプリッターを用いることもできる。フォトニッククリスタルミラー111は別途の物質層を用いないで基板108上のバッファ層106に単純に複数のホールを形成することによって製造されうるので工程が簡単であるという長所を有している。
【0031】
モードインデックスレンズ109a、109bは、ウェーブガイド105の上面に別途作成して固定すること又はウェーブガイド105の内部にイオンを注入してウェーブガイド105において該部分の屈折率を変化させることによって形成することができる。モードインデックスレンズ109a、109bはフォトクリスタルミラー111により二束に光路が分離された光を、光検出器113a、113bに集束する機能を有する。
【0032】
前記したフォトニッククリスタルミラー111とモードインデックスレンズ109a、109bとは、グレーティングビームスプリッターに代替することも可能である。ただし、グレーティングビームスプリッターは、集束機能が精密でない短所を有するため、第1ないし第4実施例のように、フォトニッククリスタルミラー111とモードインデックスレンズ109a、109bを一緒に用いてさらに効率的に光路を変化させて光を光検出器113a、113bに集束することが望ましい。
【0033】
次に、第1実施例における光ヘッドで用いられるエバネッセントカプラ103を、図5(a)を参照して詳細に説明する。ここで、図5(a)は、図4に示した光ヘッド100の符号Aの部分を拡大した図面である。エバネッセントカプラ103は、まず、光ファイバ102とウェーブガイド105とを接続して、その後から接続部分をファイバブロック126で接合して仕上げることによって完成される。光ファイバ102とウェーブガイド103とが接続された部分における、光ファイバ102とウェーブガイド103間に位置するクラッド122は数ミクロンの厚さを有している。
【0034】
光ファイバ102の高屈折率のコア124から射出した光は、数ミクロン厚さの低屈折率のクラッド122をトンネリングして高屈折率の光導波層104に進むが、この光導波層104に入射する光は、エバネッセントカップリングによりエバネッセント波の状態で進む。ウェーブガイド105に入射したエバネッセント波の大部分は、光導波層104に進み、ごく一部のみがバッファ層106を透過して、基板106に進む。このエバネッセント波は、入射面に対して平行に進んだ距離に応じて強度が減少する特性を有している。
【0035】
次に、エバネッセントカップリングについて図5(b)を参照して詳細に説明する。ここで、カップリング以外からウェーブガイド105に入射する光は、一般的に光導波層104の放射モードに属さないために光導波層104に伝播することが出来ない。レーザダイオード101から射出した光が、光導波層104を進むためには、光の位相速度の垂直方向の成分を、ウェーブガイド105で進む場合とウェーブガイド105に入射する前の場合とで同一に形成するカップリングを行わなければならない。ここで、数式4は一般的な光とウェーブガイド間の位相整合条件を示す。
【0036】
【数4】
【0037】
ここで、βmはウェーブガイドモード伝播定数、kは波数であって、n1は空気の屈折率、λ0は光の波長、θmはウェーブガイドに対する光の入射角である。第1実施例における光ヘッドで、光導波層104に入射した光は、ウェーブガイドモード伝播定数βmが次に示す数式4の条件を満たしている。ここで、数式5は数式3と数式4から得られ、また、次に示す数式6は不可能な条件を示している。
【0038】
【数5】
βm>kn1
【数6】
sinθm>1
【0039】
これらの条件から、エバネッセントフィールドカップリングのための位相整合条件は、数式2のように提示される。なお、図5(b)において、ngは光導波層の屈折率を示し、n3はバッファ層の屈折率を示している。
【0040】
以上、説明した本発明の第1実施例における光ヘッドにおいて、エバネッセントカップリングは、カップリング効率を95%以上にすることが可能である。また、図5(b)に示すように、光はウェーブガイド105に入射する前は対称な光強度分布を有するが、光導波層104に入射して進む場合、光導波層から基板側に一部透過する光により基板側への光強度分布の傾斜が緩やかになる非対称な光強度分布を有するようになる。
【0041】
また、エバネッセントカプラは、レーザダイオードとウェーブガイドとを光ファイバに接続するので、ヒートシンクを別途、備える必要がない。したがって、光ヘッドをさらにコンパクトに具現できる。
【0042】
<第2実施例>
図6は、プリズムカプラを採用した本発明の第2実施例における光ヘッドを示した断面図の例である。プリズムカプラも上述したエバネッセントフィールドカップリング方法を用いる。図6に示したように、本発明の第1実施例における光ヘッドでエバネッセントカプラ103の代わりにプリズムカプラ133に代替して本実施例における光ヘッド130は構成される。本実施例における光ヘッド130はレーザダイオード101とウェーブガイド105間にプリズムカプラ133を備えて、レーザダイオード101とプリズムカプラ133間にコリメータレンズ132をさらに備えて他の構成要素は第1実施例における光ヘッドと同一である。
【0043】
本実施例において、レーザダイオード101から射出した光は、コリメータレンズ132を通過しながら平行光にされてプリズムカプラ133に向かい、プリズムカプラ133に入射した光はウェーブガイド105を進んでフォーカシンググレーティングカプラ107に入射する。フォーカシンググレーティングカプラ107から射出する光は回折されて光ディスク120に集束される。そして、光ディスク120の表面において反射した光はフォトニッククリスタルミラー111によって光路を変化されて、モードインデックスレンズ109a、109bにより集束されて光検出器113に受光される。
【0044】
ここで、屈折率npを有するプリズムカプラ133に入射する光の入射角を適切に調節すれば、位相整合が起こらないモードの入射光は、プリズムカプラ133の表面で全反射される。プリズムカプラ133内の光モードは入射光の入射角によって変わる位相定数βpを有する。入射光の入射角を調節することによって位相定数βpは連続的に変化するようになり、所定位相定数βpが光導波層104の位相定数βmと近似すると、入射光の光エネルギーが効率的に光導波層104に伝わる。
【0045】
このような光エネルギー伝達のためには、プリズムカプラ133をウェーブガイド105の光導波層104に密着させてプリズムカプラ133と光導波層104間の間隔を波長より狭く設計する必要がある。このとき、プリズムカプラ133のモードと光導波層104のm次モード間に数式4による位相整合が発生してプリズムカプラ133のエネルギーが光導波層104に効率的に伝えることができる。
【0046】
図6に示した本実施例における光ヘッド130の構成で、コリメータレンズ132を用いない場合、カップリング効率を約80%まで達成されるが、光ヘッド130にコリメータレンズ132をさらに設置して光ヘッド130の光学系を全体幅がwである入射光の光分布が一定な無限光学系で構成すると、プリズムカプラ133と光導波層104間にカップリング効率を100%に近い値まで達成することができる。
【0047】
<第1参考例>
図7は、本発明の第1参考例におけるグレーティングカプラを採用した光ヘッドを示した断面図の例である。図7を参照すると、本参考例における光ヘッド140は、図6の本発明の第2実施例における光ヘッドでプリズムカプラ133の代わりにグレーティングカプラ143を備える点が異なっており、その他構成要素は同一である。
【0048】
グレーティングカプラ143は、光源101から入射する光から相異なった次数の回折光を生成させて、ウェーブガイド105に入射する光のモードを、次に示す数式7で与えられるZ方向の伝播定数βνを有するように変化させる。一般的にウェーブガイド105の基本位相定数β0はグレーティングがない領域のモードβmと類似である。前記光がグレーティングカプラ143を通過しながら、光モード中グレーティングがない領域のモードβmと一致するが、類似した光のモードが生成されれば、そのようなモードの光が支配的に光導波層104を進むようになる。
【0049】
【数7】
【0050】
ここで、ν=0、±1、±2・・・であり、Λはグレーティングの周期を示す。したがって、入射光の入射角を適切に調節することでグレーティングカプラ143とウェーブガイド105間で光カップリングが起こりグレーティングカプラ143からウェーブガイド105に光エネルギーを効率的に伝えることができる。
【0051】
グレーティングカプラ143は、光導波層104を形成する工程で形成されるが、一旦形成されると結合効率が一定になって振動や環境により簡単には変化されないという長所を有する。図示されたようにコリメータレンズ132を通過した平行光が入射する場合、グレーティングカプラ143のカップリング効率は、80%以上を達成することができる。
【0052】
<第3実施例>
図8は、本発明の第3実施例におけるテーパカプラを採用した光ヘッドを示した断面図の例である。本実施例における光ヘッド150で、テーパカプラ153は光導波層104の末端部をテーパ状に形成することで製造される。図8を参照すると、本実施例における光ヘッド150は、光源101と、光源101と結合されて光が進む光ファイバ102と、光ファイバ102が下端部に挿入されてテーパカプラ153が形成されたウェーブガイド105と、ウェーブガイド105を進む光を回折させて光ディスク120に集束するフォーカシンググレーティングカプラ107と、光ディスク120を反射した光の光路を変化させるフォトニッククリスタルミラー111と、フォトニッククリスタルミラー111を通過した光を光検出器113に集束させるモードインデックスレンズ109と、受光された光を光電変換する光検出器113とを含んで構成される。
【0053】
図8に示すように、基板108に挿入された光ファイバ102から入射する光は光導波層104の表面に全反射角で入射して、光導波層104の表面と光導波層104とバッファ層105との界面で全反射して進む。レーザダイオード101、ウェーブガイド105、フォーカシンググレーティングカプラ107、フォトニッククリスタルミラー109、モードインデックスレンズ111及び、光検出器113は前記した例えば第1参考例と同一に動作する。
【0054】
テーパカプラ153に入射する光は、入射角によってテーパされた光導波層104の末端部で全反射角度より大きい角度で光導波層104に入射して光導波層104内で連続的に全反射されて進む。したがって、光導波層104内に入射する光はテーパカプラ153で光損失がほとんど起こらずに全反射を通して進むので、カップリング効率を70%程度まで達成することができる。
【0055】
テーパカプラ153は、光ファイバ102と基板108間の距離によって若干の光損失が発生するため、前記した3種のカプラよりカップリング効率が低い短所を有するが、これは光ファイバ102と光導波層104間の距離を狭めることによって克服できる。
【0056】
前記説明したエバネッセントカップリングと光の回折及び全反射を利用した第1実施例ないし第3実施例、及び第1参考例における光ヘッドは、光源とウェーブガイド間に光をカップリングして入力カップリング効率を向上させる。後記説明する本発明の第5ないし第15実施例、及び第2ないし第4参考例における光ヘッドは、光源とウェーブガイド間及びウェーブガイドと光ディスク間に入力カプラと出力カプラとを同時に備えて入力及び出力カップリング効率を向上させた実施例及び参考例である。
【0057】
<第4実施例>
図9は、本発明の第4実施例における光ヘッドを示した斜視図の例である。本実施例における光ヘッドは、光源とウェーブガイド間に入力カプラとしてエバネッセントカプラ及びテーパカプラとを用い、ウェーブガイドと光ディスク間に出力カプラとしてプリズムカプラを用いる。図9を参照すると、レーザダイオード101を射出した光は、光ファイバ102を通してエバネッセントカプラ103に進む。エバネッセントカプラ103はテーパカプラ153と接合されているので、光はエバネッセントカプラ103をトンネリングしてテーパカプラ153に入射する。テーパカプラ153に入射した光は光導波層104の上面と光導波層104とバッファ層106との界面で全反射しながら進み、グレーティングビームスプリッター151で光路を直進に調整され、ウェーブガイド105から射出する。
【0058】
ウェーブガイド105の光導波層104を射出した光は、出力カプラであるプリズムカプラ155を通過しながら光導波層104の光モードと類似した光モードでエバネッセントカップリングされてシリンドリカルレンズ157により光ディスク120に集束される。ここで、エバネッセントカップリングは前記した第1実施例における光ヘッドにおける原理と同一である。プリズムカプラ155を通過する光をさらに効率的に光ディスク120に集束させるために図示されたように、シリンドリカルレンズ157をプリズムカプラ155と光ディスク120間の光路上にさらに配列させることが望ましい。
【0059】
ここで、光ディスク120に記録及び再生のために必要な光強度は10mW/μm2程度であるが、一般的にレーザダイオード101から光ディスク120に至るまで光損失が発生するので、実際にレーザダイオード101から射出した光強度の10%程度が、光ディスクに記録及び再生のための光強度として利用される。したがって、本発明では入力カプラと出力カプラとを光源とウェーブガイド間及びウェーブガイドと光ディスク間に配列させて光損失を最少化して光ディスクに記録及び再生、特に記録のために必要な光強度を得ることができる。
【0060】
また、光ディスク120から反射された光は、上述した光路を逆に進んでグレーティングビームスプリッター151で二束の光に分割されて光検出器113a、113bに向かう。光検出器113a、113bではこの光を受光すると、光電変換して光ディスクの情報を検出する。このような光検出器113a、113bの構造と機能とは従来の光ヘッドと同一である。本実施例における光ヘッドは、第1実施例ないし第3実施例における光ヘッドと異なり、出力カプラとして従来のフォーカシンググレーティングカプラの代わりにプリズムカプラを備えることで光ディスクに到達する光の損失を最小限にすることができる。
【0061】
<第5実施例>
図10(a)は、本発明の第5実施例における光ヘッドを簡略に示す断面図の例である。本実施例における光ヘッドは、入力カプラとしてエバネッセントカプラを用い、出力カプラとしてフォーカシンググレーティングカプラを用いる。図10(a)を参照すると、本実施例における光ヘッドは、第1実施例における光ヘッドと異なり、フォーカシンググレーティングカプラ165がウェーブガイド105の光導波層104の表面に形成されることを特徴としている。また、シリンドリカルレンズ157をフォーカシンググレーティングカプラ165と光ディスク157間に備えて集束性能をさらに向上させることができる。本実施例における光ヘッドの出力カプラを除外した他の構成要素の構造と機能とは、本発明の第4実施例における光ヘッドと同一のため説明を省略する。
【0062】
本実施例における光ヘッドは、第4実施例における光ヘッドと異なりテーパカプラを備えていないが、もちろん入力カプラとしてテーパカプラを共に用いることも可能である。
【0063】
<第6実施例>
図10(b)は、本発明の第6実施例における光ヘッドを簡略に示す断面図の例である。本実施例では、入力カプラとしてエバネッセントカプラを用い、出力カプラとして光導波層とバッファ層の間に形成されるフォーカシンググレーティングカプラ及び光導波層の上面に配列されるフレネルレンズカプラとを用いる。図10(b)を参照すると、バッファ層106に形成されるフォーカシンググレーティングカプラ107′は第1実施例ないし第3実施例における光ヘッドと同様に、フォーカシンググレーティングカプラ107のように光の進行方向に対してピッチを減少させてグレーティングに曲率を与えて光を回折させて光ディスク120に集束させる。光導波層104の上面に形成されるフレネルレンズカプラ175は光導波層104の表面に複数の環形レンズが形成されたフレネルレンズ形状でフォーカシンググレーティングカプラ107′から射出した光の光強度分布を均一にして光ディスク120上にスポットで集束する。したがって、出力カップリングにおける光損失をさらに減少させることが可能である。
【0064】
なお、入力カプラとしてテーパカプラをさらに用いることができる。本実施例における光ヘッドの入力カプラと出力カプラを除外した他の構成要素の構造と機能は第4実施例における光ヘッドと同一のため説明を省略する。
【0065】
<第7実施例>
図11(a)は、本発明の第7実施例における光ヘッドを簡略に示した断面図の例である。本実施例における光ヘッドは入力カプラ及び出力カプラとしてプリズムカプラを用いることを特徴としている。図11(a)を参照すると、光源101から入射する光は、コリメータレンズ132を通過しながら平行光に成形されて、この平行光は再びプリズムカプラ133によりエバネッセントカップリングされながらエバネッセント波に成形されて光導波層104に入射する。光導波層104を進んだ光は末端部から射出すると、プリズムカプラ133′により再びエバネッセントカップリングされてシリンドリカルレンズ157により光ディスク120に集束される。
【0066】
エバネッセントカップリングのための位相整合条件は、第1実施例における光ヘッドで数式6に提示した条件と同一であり、本実施例における光ヘッドを構成する他の構成要素は、第4実施例における光ヘッドと同一のため説明を省略する。
【0067】
<第8実施例>
図11(b)は、本発明の第8実施例における光ヘッドを簡略に示した断面図の例である。本実施例における光ヘッドは、入力カプラとしてプリズムカプラを用い、出力カプラとしてフォーカシンググレーティングカプラを用いる。図11(b)を参照すると、光源101から入射した光は、コリメータレンズ132により平行光に成形されて、プリズムカプラ133を通過しながらエバネッセントカップリングされてエバネッセント波として光導波層104に入射する。光導波層104を通過した光はフォーカシンググレーティングカプラ165により回折されて、シリンドリカルレンズ157により光ディスク120に集束される。なお、本実施例における光ヘッドの他の構成要素は、本発明の第4実施例における光ヘッドと同一のため説明を省略する。
【0068】
<第9実施例>
図11(c)は、本発明の第9実施例における光ヘッドを簡略に示した断面図の例である。本実施例における光ヘッドでは、入力カプラとしてプリズムカプラを用い、出力カプラとしてグレーティングカプラ及びフレネルレンズカプラを用いる。図11(c)を参照すると、入力カップリングではプリズムカプラ133によるエバネッセントカップリングが起こって、出力カップリングではフォーカシンググレーティングカプラ107′により光が回折されて、フレネルレンズカプラ175により光ディスク120に光が集束される。
【0069】
なお、プリズムカプラは、本発明の第2実施例における光ヘッドと同一であり、フォーカシンググレーティングカプラ107′及びフレネルレンズカプラ175の構造と機能とは本発明の第6実施例における光ヘッドと同一であるため、説明を省略する。
【0070】
<第2参考例>
図12(a)は、本発明の第2参考例における光ヘッドを簡略に示した断面図の例である。本参考例における光ヘッドは、入力カプラとしてグレーティングカプラを用い、出力カプラとしてプリズムカプラを用いる。図12(a)を参照すると、光源101から射出した光は、グレーティングカプラ143によりカップリングされて光導波層104に進み、光導波層104を射出した光は、フォーカシンググレーティングカプラ165によりカップリングされ、シリンドリカルレンズ157により光ディスク120に集束される。なお、グレーティングカプラ143のカップリング原理は本発明の第1参考例における光ヘッドと同一であるため説明を省略する。
【0071】
以下、後記する第3、第4参考例、及び本発明の第10ないし第15実施例における光ヘッドの光路において、前記した本発明の第4ないし第9実施例、及び第2参考例における光ヘッドの光路と同一である部分については説明を省略する。
【0072】
<第3参考例>
図12(b)は、本発明の第3参考例における光ヘッドを簡略に示した断面図の例である。本実施例における光ヘッドは、入力カプラとしてグレーティングカプラを、出力カプラとしてプリズムカプラを用いる。グレーティングカプラ143のカップリング原理は、本発明の第1参考例及び第2参考例における光ヘッドで説明したところと同一であり、プリズムカプラ133′のカップリング原理は本発明の第2実施例及び第4実施例における光ヘッドと同一である。
【0073】
<第4参考例>
図12(c)は、本発明の第4参考例における光ヘッドを簡略に示した断面図の例である。本参考例における光ヘッドは、入力カプラとしてグレーティングカプラを用い、出力カプラとしてグレーティングカプラ及びフレネルレンズカプラを用いる。グレーティングカプラ143のカップリング原理は、本発明の第1参考例における光ヘッドと同一であり、グレーティングカプラ107′とフレネルレンズカプラ175のカップリング原理は本発明の第6実施例における光ヘッドと同一である。
【0074】
<第10実施例>
図13(a)は、本発明の第10実施例における光ヘッドを簡略に示した断面図の例である。本実施例における光ヘッドは、入力カプラとしてテーパカプラを用い、出力カプラとしてプリズムカプラを用いる。テーパカプラ153のカップリング原理は、本発明の第3実施例における光ヘッドと同一であり、プリズムカプラ133′のカップリング原理は本発明の第4実施例における光ヘッドと同一である。
【0075】
<第11実施例>
図13(b)は、本発明の第11実施例における光ヘッドを簡略に示した断面図の例である。本実施例における光ヘッドは、入力カプラとしてテーパカプラを用い、出力カプラとしてフォーカシンググレーティングカプラを用いる。テーパカプラ153のカップリング原理は、本発明の第3実施例における光ヘッドと同一であり、フォーカシンググレーティングカプラ165のカップリング原理は本発明の第5実施例における光ヘッドと同一である。
【0076】
<第12実施例>
図13(c)は、本発明の第12実施例における光ヘッドを簡略に示した断面図の例である。本実施例における光ヘッドは、入力カプラとしてテーパカプラを用い、出力カプラとしてグレーティングカプラ及びフレネルレンズカプラを用いる。テーパカプラ153のカップリング原理は、本発明の第3実施例における光ヘッドと同一であり、グレーティングカプラ143及びフレネルレンズカプラ175のカップリング原理は本発明の第6実施例における光ヘッドと同一である。
【0077】
<第13実施例>
図14(a)は、本発明の第13実施例における光ヘッドを簡略に示した断面図の例である。本実施例における光ヘッドは、入力カプラとしてエバネッセントカプラ及びテーパカプラを用い、出力カプラとしてプリズムカプラを用いる。エバネッセントカプラ103及びテーパカプラ153のカップリング原理は、本発明の第4実施例における光ヘッドと同一であり、プリズムカプラ165のカップリング原理は本発明の第6実施例における光ヘッドと同一である。
【0078】
<第14実施例>
図14(b)は、本発明の第14実施例における光ヘッドを簡略に示した断面図の例である。本実施例における光ヘッドは、入力カプラとしてエバネッセントカプラ及びテーパカプラを用い、出力カプラとしてフォーカシンググレーティングカプラを用いる。エバネッセントカプラ103及びテーパカプラ153のカップリング原理は、本発明の第4実施例における光ヘッドと同一であり、フォーカシンググレーティングカプラ165のカップリング原理は本発明の第5実施例における光ヘッドと同一である。
【0079】
<第15実施例>
図14(c)は、本発明の第15実施例における光ヘッドを簡略に示した断面図の例である。本発明の第19実施例における光ヘッドは、入力カプラとしてエバネッセントカプラ及びテーパカプラを用い、出力カプラとしてフォーカシンググレーティングカプラ及びフレネルレンズカプラを用いる。エバネッセントカプラ103及びテーパカプラ153のカップリング原理は、本発明の第4実施例における光ヘッドと同一であり、フォーカシンググレーティングカプラ165及びフレネルレンズカプラ175のカップリング原理は、本発明の第6実施例における光ヘッドと同一である。
【0080】
本発明によると、入力カプラとしてエバネッセントカプラ、プリズムカプラ、及びテーパカプラを用いて、出力カプラとしてプリズムカプラ、フォーカシンググレーティングカプラ及びフレネルレンズカプラを用いて、入力カップリング効率と出力カップリング効率とを向上させて光ディスクの記録及び再生のための十分な光強度を得ることができ、コンパクトな光ヘッドを具現できる。また、本発明は、高開口数の良好な集束特性を有する光ヘッドを提供することができる。
【0081】
前記した説明で多くの事項が具体的に記載されているが、それらは発明の範囲を限定するものではなく、望ましい実施例の例示と解釈されなければならない。例えば、本発明が属する技術分野で当業者であれば、本発明の技術的思想によりエバネッセントカップリングと光の回折及び全反射を利用した多様なカプラを採用することができる。したがって、本発明の範囲は説明された実施例によって定まるのでなく、特許請求範囲に記載された技術的思想により定まらなければならない。
【0082】
【発明の効果】
以上、説明した本発明に係る光ヘッドは、入力カプラと出力カプラとを採用することで、入力カップリング効率と出力カップリング効率を向上させて、光ディスクに情報を記録する場合及び光ディスクの情報を再生する場合に必要な光強度を、光源からの損失を最小限に抑えて供給でき、これにより、光ヘッドの記録性能及び再生性能を向上させることができる。また、本発明によると、ヒートシンクのない軽薄短小な集積型光ヘッドを製造でき、高いNA(NumericalAperture)と良好な集束特性を有する集積型光ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来の一般的な光ヘッドを示した構成図である。
【図2】 米国特許第4,779,259号広報に開示された光ヘッドの実施例を示した斜視図である。
【図3】 レーザダイオード及びウェーブガイド間のエンドバットカップリングを簡単に示した図面である。
【図4】 エバネッセントカプラを採用した本発明の第1実施例における光ヘッドを示した斜視図である。
【図5】 (a)エバネッセントカプラの構成を示した断面図である。(b)エバネッセントカップリングを説明するための概念図である。
【図6】 プリズムカプラを採用した本発明の第2実施例における光ヘッドを示した断面図である。
【図7】 グレーティングカプラを採用した本発明の第1参考例における光ヘッドを示した断面図、
【図8】 テーパカプラを採用した本発明の第3実施例における光ヘッドを示した断面図である。
【図9】 本発明の第4実施例における光ヘッドを概略的に示した斜視図である。
【図10】(a)本発明の第5実施例における光ヘッドを概略的に示した断面図である。(b)本発明の第6実施例における光ヘッドを概略的に示した断面図である。
【図11】 (a)本発明の第7実施例における光ヘッドを概略的に示した断面図である。(b)本発明の第8実施例における光ヘッドを概略的に示した断面図である。(c)本発明の第9実施例における光ヘッドを概略的に示した断面図である。
【図12】 (a)本発明の第2参考例における光ヘッドを概略的に示した断面図である。(b)本発明の第3参考例における光ヘッドを概略的に示した断面図である。(c)本発明の第4参考例における光ヘッドを概略的に示した断面図である。
【図13】 (a)本発明の第10実施例における光ヘッドを概略的に示した断面図である。(b)本発明の第11実施例における光ヘッドを概略的に示した断面図である。(c)本発明の第12実施例における光ヘッドを概略的に示した断面図である。
【図14】 (a)本発明の第13実施例における光ヘッドを概略的に示した断面図である。(b)本発明の第14実施例における光ヘッドを概略的に示した断面図である。(c)本発明の第15実施例における光ヘッドを概略的に示した断面図である。
【符号の説明】
100 光ヘッド
101 レーザダイオード
102 光ファイバ
103 カプラ
104 光導波層
105 ヴェーブガイド
106 ハッファ層
107 グレーティングカプラ
108 基板
109a、109b モードインデックスレンズ
111 フォトニッククリスタルミラー
113a、113b 光検出器
120 光ディスク
Claims (18)
- 光を射出する光源と、
前記光が進むウェーブガイドと、
前記ウェーブガイド上の一端部に位置し、前記光源から入射する光をエバネッセントカップリングして前記ウェーブガイドに導入する入力カプラと、
前記ウェーブガイド上の他端部に位置し、前記ウェーブガイドから射出する光をカップリングして光ディスクに集束する出力カプラと、
前記ウェーブガイド上に設けられ、前記光ディスクを反射した光が前記出力カプラを通過する際に、光路を変化させる光路変換手段と、
前記光路変換手段を通過した光を受光すると、光電変換して前記光ディスクの情報を検出する光検出器とを備えた集積型光ヘッドであって、
前記エバネッセントカップリングは、dがウェーブガイドの厚さ、mがモード次数、n 0 がウェーブガイドの屈折率、n ef が光ファイバ有効屈折率である場合、次の式を満足する位相整合条件を有することを特徴とする集積型光ヘッド。
- 光を射出する光源と、
前記光が進むウェーブガイドと、
前記ウェーブガイド上の一端部に位置し、
前記光源から入射する光をカップリングして前記ウェーブガイドに導入する入力カプラと、
前記ウェーブガイド上の他端部に位置し、前記ウェーブガイドから射出する光をカップリングして光ディスクに集束する出力カプラと、
前記ウェーブガイド上に設けられ、前記光ディスクを反射した光が前記出力カプラを通過する際に、光路を変化させる光路変換手段と、
前記光路変換手段を通過した光を受光すると、光電変換して前記光ディスクの情報を検出する光検出器とを備えた集積型光ヘッドであって、
前記入力カプラは、前記ウェーブガイドの下端部に入射する光が全反射して進むように末端部にかけてテーパ形状に形成されたテーパカプラであることを特徴とする集積型光ヘッド。 - 前記入力カプラは、前記光源に一端が接続されて他端が前記ウェーブガイドの表面に接続される光ファイバを含み、前記光ファイバのコアは前記ウェーブガイドの表面に密着するように固着されて、前記光源から入射する光をエバネッセントカップリングして前記ウェーブガイドに導入するエバネッセントカプラであることを特徴とする請求項1に記載の集積型光ヘッド。
- 前記入力カプラは、前記ウェーブガイド表面に密着して固着され、前記光源から入射する光を、エバネッセントカップリングして前記ウェーブガイドに導入するプリズムカプラであることを特徴とする請求項1に記載の集積型光ヘッド。
- 前記光源は、レーザダイオードであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の集積型光ヘッド。
- 前記光源と前記入力カプラを接続する光ファイバをさらに備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の集積型光ヘッド。
- 前記光源と前記入力カプラとを接続する光ファイバを備えることを特徴とする請求項3に記載の集積型光ヘッド。
- 前記光源と一端部が接続されて他端部が前記ウェーブガイドの下端部に挿入される光ファイバをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の集積型光ヘッド。
- 前記光源と一端部が接続されて他端部が前記ウェーブガイドの下端部に挿入される光ファイバを備えることを特徴とする請求項2に記載の集積型光ヘッド。
- 前記光源と前記入力カプラとの間にコリメータレンズをさらに備えることを特徴とする請求項1または請求項4に記載の集積型光ヘッド。
- 前記ウェーブガイドは、
基板と、
基板の上面に積層されるバッファ層と、
前記バッファ層の上面に積層されて、前記光が進む光導波層と、を含むことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の集積型光ヘッド。 - 前記光路変化手段は、
前記出力カプラから入射する光の光路を変化させるように、前記バッファ層を貫通して形成される複数のホールよりなるフォトニッククリスタルミラーと、
前記フォトニッククリスタルミラーを通過した光を前記光検出器に集束させるモードインデックスレンズと、を含むことを特徴とする請求項11に記載の集積型光ヘッド。 - 前記光路変化手段は、前記ウェーブガイドの表面に形成されるグレーティングビームスプリッターであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の集積型光ヘッド。
- 前記出力カプラは、前記ウェーブガイドのバッファ層上に前記光の進行方向に向かってピッチが減少し、各グレーティングが曲率を有するように形成されて前記光導波層を進んだ光を回折させて前記光ディスクに集束させるフォーカシンググレーティングカプラであることを特徴とする請求項11に記載の集積型光ヘッド。
- 前記出力カプラは、前記ウェーブガイドの表面に前記光の進行方向に向かってピッチが減少し、各グレーティングが曲率を有するように形成されて前記光導波層を進んだ光を回折させて前記光ディスクに集束させるフォーカシンググレーティングカプラであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の集積型光ヘッド。
- 前記出力カプラは、前記ウェーブガイドの表面に密着するように固着され、前記ウェーブガイドから射出する光をエバネッセントカップリングして前記光ディスクに集束させるプリズムカプラであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の集積型光ヘッド。
- 前記出力カプラは、前記ウェーブガイドの表面に形成されて前記光導波層を進んだ光を回折させて前記光ディスクに集束させるフォーカシンググレーティングカプラであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の集積型光ヘッド。
- 前記出力カプラと前記光ディスクとの間の光路上に前記出力カプラを通過した光を前記光ディスクに集束させるシリンドリカルレンズをさらに備えることを特徴とする請求項1 6または請求項17に記載の集積型光ヘッド。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2002-0052461A KR100480786B1 (ko) | 2002-09-02 | 2002-09-02 | 커플러를 가지는 집적형 광 헤드 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004095138A JP2004095138A (ja) | 2004-03-25 |
JP3840199B2 true JP3840199B2 (ja) | 2006-11-01 |
Family
ID=31973616
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003126841A Expired - Fee Related JP3840199B2 (ja) | 2002-09-02 | 2003-05-02 | カプラを有する集積型光ヘッド |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7184386B2 (ja) |
JP (1) | JP3840199B2 (ja) |
KR (1) | KR100480786B1 (ja) |
CN (1) | CN1249694C (ja) |
Families Citing this family (53)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7245803B2 (en) * | 2003-02-11 | 2007-07-17 | Luxtera, Inc. | Optical waveguide grating coupler |
US7006732B2 (en) * | 2003-03-21 | 2006-02-28 | Luxtera, Inc. | Polarization splitting grating couplers |
US7773836B2 (en) | 2005-12-14 | 2010-08-10 | Luxtera, Inc. | Integrated transceiver with lightpipe coupler |
EP1585119A1 (en) * | 2004-04-06 | 2005-10-12 | Deutsche Thomson-Brandt Gmbh | Device for reading and /or writing optical recording media |
KR100701122B1 (ko) * | 2004-12-08 | 2007-03-28 | 한국전자통신연구원 | 평면 도파로 상에 빔 입출사 커플러를 갖는 광 헤드 |
US7580336B2 (en) | 2004-12-08 | 2009-08-25 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Optical head having a beam input/output coupler on a planar waveguide |
US7808879B2 (en) * | 2005-06-08 | 2010-10-05 | Dphi Acquisitions, Inc. | Optical disk drive with micro-SIL |
KR100718146B1 (ko) * | 2006-01-13 | 2007-05-14 | 삼성전자주식회사 | 열보조 자기기록헤드 |
US7650052B2 (en) * | 2007-07-05 | 2010-01-19 | Sun Microsystems, Inc. | Method and apparatus for coupling optical signals onto a semiconductor chip |
EP2281215B1 (en) * | 2008-05-19 | 2013-10-02 | Imec | Integrated photonics device |
WO2009156410A1 (en) * | 2008-06-23 | 2009-12-30 | Imec | Retro-reflective structures |
EP2321680B1 (en) * | 2008-06-23 | 2017-09-13 | Imec | Method and system for coupling radiation |
FR2937426B1 (fr) * | 2008-10-20 | 2012-12-07 | Commissariat Energie Atomique | Structure et procede d'alignement d'une fibre optique sur un guide d'ondes optique |
US8194325B2 (en) * | 2009-06-30 | 2012-06-05 | Nokia Corporation | Optical apparatus and method |
US8774580B2 (en) * | 2009-12-02 | 2014-07-08 | Alcatel Lucent | Turning mirror for photonic integrated circuits |
US8577193B2 (en) | 2011-02-03 | 2013-11-05 | Seagate Technology Llc | Grating assisted surface emitter laser coupling for heat assisted magnetic recording |
GB201115784D0 (en) * | 2011-09-13 | 2011-10-26 | Univ Gent | Integrated photonics waveguide grating coupler |
US8988770B2 (en) * | 2013-03-14 | 2015-03-24 | Oracle International Corporation | Hybrid optical source with semiconductor reflector |
KR101502954B1 (ko) | 2013-05-24 | 2015-03-16 | 경복대학교 산학협력단 | 양방향 호퍼구조를 이용한 wdm 광전송 시스템 |
US9213155B2 (en) * | 2013-12-26 | 2015-12-15 | Futurewei Technologies, Inc. | Light steering for silicon photonic devices |
JP6281869B2 (ja) * | 2014-02-27 | 2018-02-21 | 国立大学法人大阪大学 | 方向性結合器および合分波器デバイス |
US9746608B1 (en) * | 2014-12-11 | 2017-08-29 | Partow Technologies, Llc. | Integrated optical assembly apparatus and integrated fabrication method for coupling optical energy |
EP3062142B1 (en) | 2015-02-26 | 2018-10-03 | Nokia Technologies OY | Apparatus for a near-eye display |
FR3046829B1 (fr) * | 2016-01-15 | 2020-08-28 | Peugeot Citroen Automobiles Sa | Dispositif d’eclairage a guides de lumiere couples a des moyens d’emission de photons |
WO2017223299A1 (en) | 2016-06-22 | 2017-12-28 | Massachusetts Institute Of Technology | Methods and systems for optical beam steering |
US10650552B2 (en) | 2016-12-29 | 2020-05-12 | Magic Leap, Inc. | Systems and methods for augmented reality |
EP4300160A3 (en) | 2016-12-30 | 2024-05-29 | Magic Leap, Inc. | Polychromatic light out-coupling apparatus, near-eye displays comprising the same, and method of out-coupling polychromatic light |
US10578870B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-03 | Magic Leap, Inc. | Exit pupil expander |
CN111448497B (zh) | 2017-12-10 | 2023-08-04 | 奇跃公司 | 光波导上的抗反射涂层 |
KR20200100720A (ko) | 2017-12-20 | 2020-08-26 | 매직 립, 인코포레이티드 | 증강 현실 뷰잉 디바이스용 인서트 |
US10755676B2 (en) | 2018-03-15 | 2020-08-25 | Magic Leap, Inc. | Image correction due to deformation of components of a viewing device |
US10509167B2 (en) * | 2018-04-23 | 2019-12-17 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Optical phase difference calculation using analog processing |
EP3803488A4 (en) | 2018-05-30 | 2021-07-28 | Magic Leap, Inc. | COMPACT VARIABLE FOCUS CONFIGURATIONS |
WO2019231850A1 (en) | 2018-05-31 | 2019-12-05 | Magic Leap, Inc. | Radar head pose localization |
WO2019236495A1 (en) | 2018-06-05 | 2019-12-12 | Magic Leap, Inc. | Homography transformation matrices based temperature calibration of a viewing system |
WO2019237099A1 (en) | 2018-06-08 | 2019-12-12 | Magic Leap, Inc. | Augmented reality viewer with automated surface selection placement and content orientation placement |
US11579441B2 (en) | 2018-07-02 | 2023-02-14 | Magic Leap, Inc. | Pixel intensity modulation using modifying gain values |
US11856479B2 (en) | 2018-07-03 | 2023-12-26 | Magic Leap, Inc. | Systems and methods for virtual and augmented reality along a route with markers |
US11510027B2 (en) | 2018-07-03 | 2022-11-22 | Magic Leap, Inc. | Systems and methods for virtual and augmented reality |
US10614843B2 (en) * | 2018-07-17 | 2020-04-07 | Seagate Technology Llc | Input coupler with features to divert stray light from a waveguide |
WO2020023543A1 (en) | 2018-07-24 | 2020-01-30 | Magic Leap, Inc. | Viewing device with dust seal integration |
JP7426982B2 (ja) | 2018-07-24 | 2024-02-02 | マジック リープ, インコーポレイテッド | 移動検出デバイスの温度依存較正 |
US11112862B2 (en) | 2018-08-02 | 2021-09-07 | Magic Leap, Inc. | Viewing system with interpupillary distance compensation based on head motion |
WO2020028191A1 (en) | 2018-08-03 | 2020-02-06 | Magic Leap, Inc. | Unfused pose-based drift correction of a fused pose of a totem in a user interaction system |
US12016719B2 (en) | 2018-08-22 | 2024-06-25 | Magic Leap, Inc. | Patient viewing system |
CN117111304A (zh) | 2018-11-16 | 2023-11-24 | 奇跃公司 | 用于保持图像清晰度的图像尺寸触发的澄清 |
US11425189B2 (en) | 2019-02-06 | 2022-08-23 | Magic Leap, Inc. | Target intent-based clock speed determination and adjustment to limit total heat generated by multiple processors |
US11762623B2 (en) | 2019-03-12 | 2023-09-19 | Magic Leap, Inc. | Registration of local content between first and second augmented reality viewers |
WO2020222902A1 (en) | 2019-04-30 | 2020-11-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Planar luneburg lens system for two-dimensional optical beam steering |
EP3963565A4 (en) | 2019-05-01 | 2022-10-12 | Magic Leap, Inc. | CONTENT DELIVERY SYSTEM AND PROCEDURES |
JP2022542363A (ja) | 2019-07-26 | 2022-10-03 | マジック リープ, インコーポレイテッド | 拡張現実のためのシステムおよび方法 |
WO2021097323A1 (en) | 2019-11-15 | 2021-05-20 | Magic Leap, Inc. | A viewing system for use in a surgical environment |
US11960122B2 (en) | 2021-03-22 | 2024-04-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Devices, systems, and methods for optical signal processing |
Family Cites Families (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4059338A (en) * | 1975-09-09 | 1977-11-22 | Sharp Kabushiki Kaisha | Integrated optical waveguide coupler |
JPS6033515A (ja) * | 1983-08-03 | 1985-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光導波路一体型プリズム結合器およびその製造方法 |
JPS6069840A (ja) * | 1983-09-22 | 1985-04-20 | Canon Inc | 情報記録又は再生装置 |
JPS60202553A (ja) * | 1984-03-27 | 1985-10-14 | Nec Corp | 導波路型光ヘツド |
JPH0727659B2 (ja) * | 1984-06-08 | 1995-03-29 | 松下電器産業株式会社 | 光ピツクアツプ |
DE3536497A1 (de) * | 1984-10-16 | 1986-04-17 | Mitsubishi Denki K.K., Tokio/Tokyo | Vorrichtung zur erfassung von fokussierungsfehlern in einer kopfanordnung fuer optische scheiben |
US4779259A (en) * | 1985-04-25 | 1988-10-18 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical head assembly with efficient light source coupling surface and method of construction |
JPS6251047A (ja) * | 1985-08-28 | 1987-03-05 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式ヘツド装置 |
JPS6288150A (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-22 | Hitachi Ltd | 光デイスク用ピツクアツプ |
DE3751970T2 (de) * | 1986-09-12 | 1997-04-10 | Sharp Kk | Integrierter Abstaster für optische Platte |
JPS63163409A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光集積回路 |
JPH01236436A (ja) * | 1988-03-16 | 1989-09-21 | Brother Ind Ltd | 光ディスク装置 |
JPH0770065B2 (ja) * | 1988-04-20 | 1995-07-31 | シャープ株式会社 | 光ピックアップ装置 |
JPH01271931A (ja) * | 1988-04-22 | 1989-10-31 | Sony Corp | 光学的再生ヘッド |
US5070488A (en) * | 1988-06-29 | 1991-12-03 | Atsuko Fukushima | Optical integrated circuit and optical apparatus |
US5161148A (en) * | 1988-08-05 | 1992-11-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical pick-up using wavelength guide with grating coupler therein |
JPH04289531A (ja) * | 1990-05-21 | 1992-10-14 | Ricoh Co Ltd | 光情報記録再生装置及びプリズム結合器 |
US5191624A (en) * | 1990-09-19 | 1993-03-02 | Hitachi, Ltd. | Optical information storing apparatus and method for production of optical deflector |
US5224193A (en) * | 1990-09-20 | 1993-06-29 | International Business Machines Corporation | First order mode frequency doubler system and method |
JPH04149830A (ja) * | 1990-10-12 | 1992-05-22 | Ricoh Co Ltd | 光情報記録再生装置 |
US5278812A (en) * | 1992-02-18 | 1994-01-11 | At&T Bell Laboratories | Tracking and focussing functions in optical disk apparatus |
US5276745A (en) * | 1992-10-15 | 1994-01-04 | Eastman Kodak Company | Integrated optic read/write head for optical data storage incorporating second harmonic generator, electro-optic tracking error actuator, and electro-optic modulator |
KR950010270B1 (ko) * | 1993-02-03 | 1995-09-12 | 주식회사Lg전자 | 광디스크 픽업장치 |
JP2765793B2 (ja) * | 1993-03-16 | 1998-06-18 | シャープ株式会社 | モード分離素子および光磁気ディスク用ピックアップ |
US5495462A (en) * | 1993-06-18 | 1996-02-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Light beam splitting apparatus |
EP0709938B1 (en) * | 1994-10-31 | 2002-01-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Wavelength locking device, beam collimating device, and optical disk apparatus |
JP2716000B2 (ja) * | 1995-06-23 | 1998-02-18 | 日本電気株式会社 | 光ヘッド |
JP2658995B2 (ja) * | 1995-08-24 | 1997-09-30 | 日本電気株式会社 | 光ヘッド |
JP3456809B2 (ja) * | 1995-10-30 | 2003-10-14 | シャープ株式会社 | 光導波路素子、光導波路素子への結合方法、光ピックアップ装置 |
US20010012149A1 (en) * | 1997-10-30 | 2001-08-09 | Shawn-Yu Lin | Optical elements comprising photonic crystals and applications thereof |
GB9903918D0 (en) * | 1999-02-19 | 1999-04-14 | Univ Bath | Improvements in and relating to photonic crystal fibres |
-
2002
- 2002-09-02 KR KR10-2002-0052461A patent/KR100480786B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2002-12-11 CN CNB021559759A patent/CN1249694C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-12-16 US US10/319,469 patent/US7184386B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-05-02 JP JP2003126841A patent/JP3840199B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-08-21 US US11/506,840 patent/US7408847B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004095138A (ja) | 2004-03-25 |
US20040042377A1 (en) | 2004-03-04 |
CN1480929A (zh) | 2004-03-10 |
US7408847B2 (en) | 2008-08-05 |
CN1249694C (zh) | 2006-04-05 |
US7184386B2 (en) | 2007-02-27 |
KR20040021027A (ko) | 2004-03-10 |
US20060280057A1 (en) | 2006-12-14 |
KR100480786B1 (ko) | 2005-04-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3840199B2 (ja) | カプラを有する集積型光ヘッド | |
JP4022412B2 (ja) | 複合反射プリズム及びこれを採用した光ピックアップ装置 | |
JP2765793B2 (ja) | モード分離素子および光磁気ディスク用ピックアップ | |
JPH07192280A (ja) | 近視野光走査記録再生装置 | |
US6519379B1 (en) | Optical integrated device and manufacturing method thereof | |
US7312445B2 (en) | Pyramid-shaped near field probe using surface plasmon wave | |
US5214633A (en) | Optical waveguide recording medium playing apparatus | |
US6408116B1 (en) | Light guide path element and optical pickup | |
JP4241963B2 (ja) | 情報記録再生装置 | |
US20050018552A1 (en) | Optical integrated device and optical pickup apparatus | |
JPS6288150A (ja) | 光デイスク用ピツクアツプ | |
JPH08152534A (ja) | プリズムカプラー及び光ピックアップ装置 | |
JPS6171430A (ja) | 光情報処理装置 | |
JPH0246536A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
JP2709090B2 (ja) | 導波路型光学ヘッド | |
JP4328302B2 (ja) | 光記録装置及びデータ書き込み方法 | |
US20030174630A1 (en) | Integrated optical device and wavelength variation cancellation method | |
JP2000222769A (ja) | 光導波路素子及び光ピックアップ | |
JP2009283051A (ja) | 光学素子、光記録ヘッド及び光記録装置 | |
JPH07169090A (ja) | 光情報並列記録再生装置 | |
JPH0246535A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
JP2002367218A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
JPS63164035A (ja) | 光導波路型光ピツクアツプ | |
JPH07174925A (ja) | 導波路型光反射集光光学系及びこれを用いた導波路型光信号検出素子並びに光ピックアップ | |
JP2000187873A (ja) | 光導波路素子および光導波路型複合ヘッド並びに記録媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041208 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20050307 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20050310 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050419 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060712 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060804 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090811 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100811 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110811 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120811 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130811 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |