JP3832082B2 - 自動倉庫の棚管理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークを加工工程フローに従って順次処理して製品化する生産システムにおいて、各加工工程での処理前および処理後にワークを保管するための自動倉庫の棚管理装置に係り、特に自動倉庫が満杯になることのないように管理する構成に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
例えば、半導体装置の製造工場にあっては、多数の処理装置を類似の工程毎にまとめて複数の製造ラインを構成し、各製造ラインには自動倉庫を設置し、ウエハ(ワーク)を複数カセットに収納し、そのウエハを加工工程フローに従ってカセット単位で自動倉庫を経由して各加工工程に対応した処理装置に順次自動搬送するシステムが採用されている。
【0003】
図6はこの種の自動搬送システムの一例を説明するためのウエハプロセス工場の概略構成図である。同図に示すように、工場内中央には各製造ライン1に対応させて自動倉庫2が並設されており、各自動倉庫2には製造ライン毎に設けられた天井架設型の工程内搬送路3が連結され、更に各自動倉庫2は同じく天井架設型の工程間搬送路4により連結されている。そして、それら搬送路3,4には、天井走行型無人搬送車(図示せず)が設けられている。
【0004】
上記工程内搬送路3は、一つの製造ラインに配設された複数の処理装置5の相互間、或いは処理装置5と自動倉庫2の相互間でワーク(ウエハ)をカセット単位(一般に1カセットを1ロットという)で移動させるためのものである。また、工程間搬送路4は、複数の自動倉庫2相互間でカセットを移動させるためのものである。自動倉庫2は、図5の概略構成図に示すように、多数の保管棚6とカセット入出庫口7とカセット移動機構8を備えると共に、上記工程内搬送路3に連結された工程内搬送移載口9と、工程間搬送路4に連結された工程間搬送移載口10とを備えている。
【0005】
上記の自動搬送システムにおけるカセットの動きは次の通りである。
▲1▼まず、ワーク投入時点において、或る自動倉庫2の入出庫口7に入庫されたカセットは、最初に処理されるべき第1の工程に対応する処理装置5が選択され、その処理装置5を有した製造ラインの自動倉庫2に工程間搬送路4により搬送され、そして、その自動倉庫2の保管棚6に一旦格納される。このとき、カセットは、工程間搬送路4により自動倉庫2の工程間搬送移載口10に搬入され、その後、カセット移動機構8により工程間搬送移載口10から保管棚6に移動される。
【0006】
▲2▼自動倉庫2の保管棚6に格納されたカセットは、その後、カセット移動機構8により保管棚6から工程内搬送移載口9に移動され、製造ライン内の第1の工程に対応する処理装置5へ工程内搬送路3により搬送されて処理される。
▲3▼処理を終えたカセットは工程内搬送路3により自動倉庫2の工程内移載口9に搬入され、カセット移動機構8により保管棚6に移動される。
▲4▼次いで、処理後のカセットは、第2の工程に対応する処理装置5を備えた製造ラインの自動倉庫2に搬送するために、まず、カセット移動機構8により保管棚6から工程間搬送移載口10に移動され、その後、工程間搬送路4により次工程の自動倉庫2へと搬送される。
上記の▲1▼〜▲4▼のような一連の動作を繰り返して最終の加工工程まで処理が進められる。つまり、この自動搬送システムでは、カセットは各加工工程に対し、各加工工程に応じた自動倉庫2を介して自動搬送されるものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述のような自動搬送システムでは、搬送すべきカセットが発生する都度、搬送を行うものであるから、各自動倉庫が満杯の状態になる場合がある。すると、一つの製造ライン内に複数ある処理装置のうち、一部の処理装置で処理するカセットばかりが自動倉庫を満たしている場合、残りの処理装置で処理するカセットが発生しても、すでに満杯状態にあるその自動倉庫には搬送できない。この結果、処理装置は空いているが、カセットが運ばれて来ないという事態が生じ、処理装置の可動効率が極めて悪くなる。
【0008】
また、納期の短い、すなわち優先順位の高いワークが収納されたカセットを搬送したくとも、すでに別のワークを収納したカセットで自動倉庫が満杯状態になっている場合には、その自動倉庫には搬送できないので、納期に応じた処理ができなくなる、といった問題を生ずる。その上、或る製造ラインの自動倉庫が満杯状態になると、その自動倉庫を搬送先とするカセットは、その自動倉庫には搬送されず、このため、カセットは前工程である搬送元の自動倉庫に滞留し、搬送元の自動倉庫も満杯状態になる。このようにして満杯状態の自動倉庫が連鎖的に増殖するという不具合を生ずる。
【0009】
このような問題を解決するものとして、例えば、特開平2−127303号公報に開示された技術がある。これは、格納する製品の品種と加工工程の組み合わせに対して格納制限数を設定し、その格納制限数に達した製品の、次工程への搬出を保留するようにして処理効率の向上を図る、というものである。
【0010】
ところが、半導体装置の製造にあっては、十数工程、或いは数十工程、最近では300工程を越える複雑な加工工程を経るものも出現してきており、このような多数の工程を持つ製造工場には、数百種、或いはそれ以上の多種多様な半導体装置を製造するために、多数のカセットが流れている。しかも、新製品が毎日のように発生しており、また、同時に生産中止になる製品、増産或いは減産になる製品も毎日のように発生しており、工場内の生産製品構成は日々変化している。
【0011】
上述のような事情のある半導体装置の製造において、上記公報の方法では、格納する製品の品種数と加工工程の組み合わせ数が棚数よりも多い場合には、上記の問題は解消できない。仮に、自動倉庫の棚数が格納製品の品種数と加工工程の組み合わせ数より多く設けるにしても、製品毎に格納上限の設定を行うために自動倉庫の棚数をバランス良く全製品に分配することは、製品数が多いこと、新製品の発生が頻繁であること、製品構成の変化が激しいことなどからして、限界がある。
【0012】
更に、搬送優先順位について考慮がないので、直ぐには処理しない、すなわち優先度の低いワークが先に搬送されて自動倉庫が満杯状態になると、後から優先順位の高いワークを搬送する必要が生じてもそのときには搬送先の自動倉庫が満杯状態にあって搬送できないという問題は未解決のまま残される。
【0013】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、その目的は、ワークの搬送を優先度の高いものから順に搬送することができ、また、ワークの品種数や加工工程数が多くても、自動倉庫を満杯状態とならないように管理することができる自動倉庫の棚管理装置を提供するにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、
加工工程フローに従い順次処理されて製品化されるワークを、前記各加工工程での処理前および処理後に一時保管するための複数の自動倉庫の棚を管理する装置において、
前記加工工程フローに基づき、前記ワーク毎に加工の進行を管理する進捗管理手段と、
前記ワーク毎に各加工工程での処理開始予定時刻を演算する処理開始予定時刻演算手段と、
処理を終えた前記ワークが前記自動倉庫に入庫されたことに基づき、次の加工工程への搬出を要求する搬送要求発生手段と、
前記進捗管理手段、前記処理開始予定時刻演算手段および前記搬送要求発生手段からの情報に基づいて得た前記搬送要求の発生時刻、搬送元、搬出先、および搬出先加工工程での処理開始予定時刻などの管理情報を前記ワーク毎に記憶する搬送要求記憶手段と、
前記各自動倉庫の最大棚数、空き棚数または使用中の棚数、その他、棚管理上必要な定数を記憶する定数記憶手段と、、
前記搬送要求記憶手段に記憶された前記搬送要求発生時刻、搬出先、処理開始予定時刻および前記定数記憶手段に記憶された定数に基づき搬送優先順位を判定する判定手段とを具備する構成としたものである(請求項1)。
【0015】
この構成によれば、ワークを次工程へ搬送する搬送要求が発生した場合、判定手段によって搬送の優先順位が演算され、その優先順に従って搬送される。このため、優先順位の高いワークほど速く次工程の自動倉庫に到着するので、満杯状態になる前に搬入することができる。このため、自動倉庫の棚数がワークの品種数と加工工程数との組み合わせ数よりも少なくても、優先順位の高いワークを次工程の自動倉庫に搬送できなくなるという不具合の発生を極力防止できるものである。
【0016】
この場合、本発明では、前記判定手段は、前記搬送要求発生時刻により前記搬送優先順位を判定するように構成しても良い(請求項2)。
このような構成とすれば、処理が終了したら直ぐに前工程の自動倉庫から次工程の自動倉庫に搬送できるので、先入れ先出し管理を容易に行なうことができ、優先度等級の高いワークについて優先順位を決定するに好都合となる。
【0017】
また、本発明では、前記判定手段は、前記処理開始予定時刻順に前記搬送優先順位を決定し、その処理開始予定時刻が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した時間以上先のワークについては、搬送を保留するように構成しても良い(請求項3)。
この構成によれば、ワークは一定の優先順位ロジックに基づいて決定された処理開始予定時刻の順番で搬送されるので、優先順位の高いものから順に搬送することができる。処理開始予定時刻が一定時間以上先のワークは搬送されないので、例えば処理に3日を要するワークが滞留し自動倉庫が満杯状態になりそうな場合でも、例えば24時間先までの処理予定分のワークだけをその自動倉庫に搬送するように設定することにより、自動倉庫が容易に満杯状態にならないようにすることができる。
【0018】
また、本発明では、前記判定手段は、前記ワークの搬送先の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下のとき、搬送優先順位決定の対象から外すように構成することができる(請求項4)。
この構成によれば、搬送先の自動倉庫が満杯状態になる少し前に、搬送を止めることができ、緊急の搬送が必要な場合のために空き棚を確保しておくことができる。
【0019】
本発明では、前記判定手段は、前記ワークの搬送元の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下のとき、優先順位を上げるように構成することができる(請求項5)。
この構成によれば、搬送元の自動倉庫が満杯状態に近付いてきたとき、搬送優先順位が低いために搬送を一時保留していたワークを搬出することができるので、搬送元の自動倉庫内の空き棚数を増やすことができる。
【0020】
また、本発明では、前記判定手段は、前記ワークの搬送先の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下で、且つ前記ワークの搬送元の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下のとき、前記搬送先自動倉庫以外の自動倉庫へ回避搬送する構成とすることができる(請求項6)。
この構成によれば、搬送元および搬送先の双方の自動倉庫が満杯状態に近い場合には、第3の自動倉庫へワークを移送することができ、搬送元および搬送先の自動倉庫の空き棚数を確保でき、満杯状態になることを防止できる。
【0021】
更に本発明では、前記判定手段は、前記回避搬送先の自動倉庫を、前記複数の自動倉庫のうち、最も空き棚数の多い自動倉庫とする構成としても良い(請求項7)。
この構成によれば、回避搬送先の自動倉庫が満杯状態になる可能性を最も低くすることができ、また、自動倉庫間の空き棚数を平準化することができる。
【0022】
また、本発明では、前記搬送要求記憶手段は、前記管理情報の他に、優先度判定基準の等級別に複数のグループに分けるための情報を記憶する構成とすることができる(請求項8)。
例えば半導体装置の製造において、実際の製品となるウエハを格納したカセットの他に、処理装置の処理状態を管理するためのモニタウエハを格納したモニタカセットがある。このモニタカセットは、処理開始予定時刻に関係なく最優先で搬送する必要がある。また、処理装置で処理が終了し、一旦自動倉庫に格納されたタイミングで発生する次工程への搬送とは別に、作業者が画面操作によって特定のカセットを手元の自動倉庫へ自動搬送することがあるが、この場合にも、可及的速やかに搬送される必要がある。このような比較的即時性を必要とされる搬送要求を、搬送優先順位判定を必要とする搬送要求と区別し、それぞれのグループから選択した搬送を交互に実行することでき即時性の要求される搬送を遅滞なく実行することができる。
【0023】
また、本発明では、前記定数記憶手段は、前記搬送元の自動倉庫が満杯に近いか否かを判定するために用いる定数と、前記搬送先の自動倉庫が満杯に近いか否かを判定するために用いる定数とを区別して記憶する構成とすることができる(請求項9)。
【0024】
この構成によれば、搬送元が満杯かどうかの判定に用いる定数と搬送先が満杯かどうかの判定に用いる定数とを分けて設定可能とすることで、例えば、自動倉庫内の余分なワークを搬出するどうかの満杯判定と、他からワークの受入れを行なうかどうかの満杯判定とを分けることができる。この結果、余分なワークの搬出が常に行なわれる状態に保ちつつ、必要なワークの搬入は受けるという制御を行なうことができる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。この実施例は、半導体の製造工場において、各製造ライン毎に設けられた複数の自動倉庫を管理する場合に適用したものである。なお、半導体装置の製造工場において、その製造ライン、各製造ラインを構成する複数の処理装置、各製造ライン毎に設けられた複数の自動倉庫の構成、工程内搬送路、工程間搬送路などについては、図5および図6に基づいて先の従来の技術の項で説明したので、再度の説明は省略する。
【0026】
図4は1台または複数台のコンピュータにより構成される自動倉庫の棚管理装置11をブロックにて示す。同図において、搬送制御手段としての搬送制御装置12は、各製造ライン1に設置された自動倉庫2のカセット移動機構8、各製造ライン1の工程内搬送路3を走行する工程内搬送機13、自動倉庫2の相互間に設けられた工程間搬送路4を走行する工程間搬送機14を制御する。
【0027】
前工程での処理を終了したカセットは、工程間搬送機14により次工程の処理装置5を備えた製造ライン1の自動倉庫2の工程間搬送移載口10に搬送される。次工程の自動倉庫2の工程間搬送移載口10に搬入されたカセットは、カセット移動機構8によって工程間搬送移載口10から空き保管棚6に移動されて一時保管される。保管棚6に保管されたカセットは、次工程に対応する処理装置5が空いたとき、カセット移動機構8によって保管棚6から工程内搬送移載口9に移動され、工程内搬送機13によって工程内搬送移載口9から次工程に相応する処理装置5に搬送される。処理を終えたカセットは、再び、工程内搬送機13によってその処理装置5から自動倉庫2の工程内搬送移載口9に搬送される。
【0028】
その後、カセットは、カセット移動機構8によって工程内搬送移載口9から空き保管棚6に移動されて保管され、そして保管棚6に保管された処理済みのカセットは、次工程への搬送指示があった時点でカセット移動機構8により保管棚6から工程間搬送移載口10に移動され、工程間搬送機14により次工程に相応する処理装置5を備えた製造ライン1の自動倉庫2へと搬送される。
【0029】
このように各カセットは、加工工程順に製造ラインに搬入されるが、その加工の進捗度は、進捗管理手段としての進捗管理装置15によって把握され管理される。この進捗管理装置15による進捗度の把握は次のようにして行なわれる。 すなわち、製造ラインでの処理を終了したカセットが工程内搬送機13により自動倉庫2に搬入されると、搬送制御装置12は、処理終了後のカセットが入庫された自動倉庫2のID、処理を終了したカセットのIDなどの情報を搬送指示制御装置16を介して進捗管理装置15に送信する。進捗管理装置15は、各カセット毎に加工工程フロー、各加工工程での加工仕様および納期、納期との関係で定められる特急処理の要否などを記憶した工程仕様記憶装置17から加工工程順のデータを得て、受信したカセットIDおよび自動倉庫IDなどから、どのカセットがどの工程を終了したかを判別し、カセット毎に処理を終了した加工工程、次の加工工程などの進捗状況を進捗記憶装置18に記憶させる。
【0030】
進捗管理装置15には、処理開始予定時刻演算手段としての処理開始予定時刻演算装置20を備えたスケジューラ21が接続されている。このスケジューラ21は、カセットの処理が終了し、或いは、工程仕様記憶装置17に新たなカセットが投入されると、工程仕様記憶装置17に記憶されている加工工程フローや加工仕様、進捗記憶装置18に記憶されている進捗度に基づいて、全てのカセットについて、製造される半導体装置の納期と残り工程の正味加工時間とから、カセット毎に優先順を決め、各加工工程での処理開始予定時刻を割り当てる。
【0031】
スケジューラ21により演算された各カセットについての各加工工程の処理開始時刻は、進捗管理装置15に送信され、進捗管理装置15は、各カセット毎にそのID、次工程の処理装置5、その処理装置5が設置されている製造ライン1、その製造ラインの自動倉庫2のIDなどを進捗記憶装置15に記憶させる。
【0032】
処理装置5での処理を終了したカセットが工程内搬送機13により自動倉庫2に搬入されると、搬送制御装置12は、前述のようにカセットのID、自動倉庫2のIDなどの情報を搬送指示制御装置16を介して進捗管理装置15に送信すると共に、そのカセットの次の搬送先を問い合わせる搬送要求を搬送指示制御装置16を介して進捗管理装置15に送信する。従って、搬送制御装置12は、搬出要求発生手段としての機能を有する。
【0033】
進捗管理装置15は、上記の搬送要求に対し、進捗記憶装置18からそのカセットについて、処理を終了した製造ラインの自動倉庫2すなわち搬送元の自動倉庫ID、次の加工工程に対応する処理装置5を備えた製造ライン1の自動倉庫2すなわち搬送先の自動倉庫ID、次の加工工程での処理開始予定時刻、納期との関係での特急処理の要否とを読み出し、これを搬送指示制御装置16に返信する。すると、搬送指示制御装置16は、進捗管理装置15から送信されてきた内容を、カセットID、搬送要求発生時刻と共に管理情報として搬送要求記憶手段としての搬送要求記憶装置22にテーブル化して記憶させる。なお、図3は、搬送要求記憶装置22に記憶される内容を模式的に示す。
【0034】
そして、搬送指示制御装置16は、搬送優先順位を判定する判定手段として機能し、搬送要求記憶装置22に記憶されている搬送要求発生済みカセットについて、優先順位を定め、搬送制御装置12に対してその優先順位で搬送するよう指示を出力する。
【0035】
上記搬送指示制御装置16による搬送の優先順位の判定は、処理開始予定時刻、定数記憶装置23に記憶された自動倉庫2の状況、各種の定数に基づいて行なわれる。上記定数記憶装置23には、模式的に示す図2のように、自動倉庫2毎に、自動倉庫2の最大棚数、使用中の棚数の他、搬送元が満杯かどうかの判定に用いる定数FUYO、搬送先が満杯かどうかの判定に用いる定数TUYO、空き棚として確保すべき棚数を定めた定数AKI、搬送先の自動倉庫での最大待ち時間を定めた定数ARIの各定数である。
【0036】
次に上記構成において、カセットの搬送優先順位を定める場合の制御内容を図1に示すフローチャートをも参照しながら説明する。搬送指示制御装置16は、搬送要求記憶装置22にアクセスして搬送要求のあったカセットのうち、処理開始予定時刻の最も早いカセットを選択してその搬送要求内容を読み出す(ステップS1)。今、図3に示すように、搬送要求記憶装置22に、搬送要求が発せられた5つのカセットの管理情報が記憶されているとすると、搬送指示制御装置16は、ステップS1で、ID(S0021)のカセットの処理開始予定時刻が最も早いので、同(S0021)のカセットを選択するのである。
【0037】
次いで搬送要求指示制御装置16は、ステップS1で選択したカセットの搬送先の自動倉庫2が満杯に近い状態であるか否かを判断する(ステップS2)。この判断のために、搬送要求指示制御装置16は、定数記憶装置23にアクセスし、搬送先の自動倉庫2の最大棚数、使用中棚数および定数AKIを読み出し、そして、搬送先の自動倉庫2の現在の空き棚数が定数AKI未満であるか否かにより、搬送先の自動倉庫2が満杯に近い状態であるか否かを判断するのである。
【0038】
例えば、ID(S0021)のカセットの搬送先は、ID(STO6)の自動倉庫2であるが、図2から、この自動倉庫2の最大棚数は160、使用中棚数150、定数AKIは10であるから、空き棚数は定数AKIと同数となり、従ってステップS2では「NO」すなわち未だ満杯ではないと判断し、次のステップS3に移行する。
【0039】
ステップS3において、搬送指示制御装置16は、ステップS1で選択したカセットの処理開始予定時刻が現在時刻に定数ARIを加算した時刻以内であるか否かを判断する。処理開始予定時刻が現在時刻に定数ARIを加算した時刻以内であるときには、搬送指示制御装置16は、ステップS3で「YES」と判断し、ステップS4に移行する。
【0040】
例えば、ID(S0021)のカセットの処理開始予定時刻は、1997年12月1日午前3時12分であるが、今、現在時刻が1997年11月30日午後11時5分とすると、搬送先であるID(STO6)の自動倉庫2の定数ARIは8であるから、現在時刻に定数ARIを加算した時刻は、1997年12月1日午前7時5分となり、処理開始予定時刻よりも遅いので、搬送指示制御装置16は、ステップS3で「YES」と判断する。
【0041】
ステップS3で「YES」となり、ステップS4に移行すると、搬送指示制御装置16は、ステップS1で選択したカセットを搬送する旨の指示を搬送制御装置12に出力すると共に、そのカセットについて搬送要求記憶装置22に記憶されている搬送要求情報を消去し、ステップS1に戻る。そして、搬送制御装置12は、搬送する旨の指示を受けたカセットを、既に優先順位を定められて搬送制御装置12が有する優先順位記憶部に記憶されているカセット群の後となるように順位を定めて該優先順位記憶部に記憶する。なお、搬送指示制御装置16は、搬送指示をしたカセットの管理情報については、搬送要求記憶装置22から消去するようになっている。
【0042】
ステップS4で搬送指示を出力した後、搬送指示制御装置16は、搬送要求記憶装置22に記憶されているカセットの全てについて搬送の可否の判定をしたか否かを判断し、未判定のカセットが有る場合には、最初のステップS1に戻る。なお、搬送先の自動倉庫2の空き棚数が定数AKI未満である場合には、搬送要求指示制御装置16は、ステップS2で「YES」と判断し、ステップS1に戻る。また、カセットの処理開始予定時刻が現在時刻に定数ARIを加算した時刻以内でない場合には、搬送要求指示制御装置16は、ステップS3で「NO」と判断し、ステップS1に戻る。
【0043】
以上のような搬送可否の判定を、搬送要求記憶装置22に記憶されている全てのカセットについて実行すると、搬送指示制御装置16は、ステップS5で「YES」と判断し、次のステップS6に移行する。この段階で、搬送指示がなされたカセットは、その搬送指示が出された順に搬送順位が定められたこととなる。
【0044】
この後、搬送指示制御装置16は、ステップS6に移行し、定数記憶装置23の記憶内容に基づき、空き棚数が定数FUYOに定数AKIを加えた数以下の自動倉庫2があるか否かを判断し、有れば「YES」と判断して次のステップS7に移行する。ステップS7では、搬送指示制御装置16は、ステップS6で空き棚数が定数FUYOに定数AKIを加えた数以下と判断した自動倉庫2に保管されているカセットのうちに、搬送できるカセットがあるか否か、すなわち搬送要求記憶装置22に搬送要求があったとして記憶されているカセットが有るか否かを判断する。搬送できるカセットが有れば、搬送指示制御装置16は、ステップS7で「YES」となり、次のステップS8でそのカセットについて搬送指示を搬送制御装置12に送信する。そして、搬送制御装置12は、ステップS8での搬送指示があったとき、そのカセットを優先順位記憶部に記憶されているカセット群の後となるように順位を定めて該優先順位記憶部に記憶する。
【0045】
なお、搬送指示制御装置16は、ステップS6で空き棚数が定数FUYOに定数AKIを加えた数以下の自動倉庫2がない(「NO」)と判断した場合、ステップS8でその自動倉庫2に搬送できるカセットがない(「NO」)と判断した場合、ステップS9に移行する。
【0046】
ステップS9では、搬送指示制御装置16は、実際にカセットを搬送する際に、そのカセットの搬送先の自動倉庫2の空き保管棚数が定数TUYOに定数AKIを加えた数以下であるか否かを判断する。空き保管棚数が定数TUYOに定数AKIを加えた数を越えているとき、搬送指示制御装置16は、「NO」と判断し、搬送先の自動倉庫2へ搬送する旨の指令を搬送制御装置12に発する。これにより、搬送制御装置12は、工程間搬送機14を駆動してカセットを搬送元の自動倉庫2から本来の搬送先(次工程)の自動倉庫2へと搬送し、最初のステップS1に戻る。また、空き保管棚数が定数TUYOに定数AKIを加えた数以下のときには、搬送指示制御装置16は、搬送先の自動倉庫2ではなく、空き保管棚数の最も多い自動倉庫2へカセットを搬送し、ステップS1に戻る。
【0047】
ところで、上述のステップS1からステップS4までの段階では、工程間搬送機14によって搬送される順位は、搬送要求発生時刻の早い順ではなく、基本的には処理開始予定時刻の早い順に定められる。このとき、処理開始予定時刻が早くても、搬送先の自動倉庫2が満杯に近い状態にあったり(ステップS2で「YES」)、搬送先の自動倉庫2で待機する時間が長過ぎる(ステップS3で「NO」)場合には、搬送順位の決定対象から外される。
【0048】
このように処理開始予定時刻が早いカセットほど、搬送優先順位が高いので、優先度の高いカセットほど早く搬送できるので、次工程の自動倉庫2が満杯状態になる前に該自動倉庫2へ搬送することができる。
【0049】
また、搬送先の自動倉庫2が満杯に近い状態にある場合には、その搬送先に搬送されるカセットを搬送優先順位の決定対象から外す(搬送を保留)ので、搬送先の自動倉庫2が満杯状態となる少し前の状態で、その自動倉庫2へのカセットの搬入を止めることができ、緊急の搬送が必要な場合のために保管棚6を空けておくことができる。
【0050】
更に、搬送先での待機時間が長過ぎるカセットについては、搬送順位の決定対象から外す(搬送を保留)ので、処理開始予定時刻の遅いカセットまで搬送先の自動倉庫2に搬送してしまうことがなくなり、該搬送先自動倉庫2が早期に満杯状態となる機会を少なくすることができる。
【0051】
一方、ステップS6からステップS8までの段階では、搬送元の自動倉庫としての立場で、満杯に近い状態の自動倉庫2があった場合(ステップS6で「YES」)、その自動倉庫2で次工程への搬送待ちの状態にあるカセットは、ステップS1〜ステップS4で処理開始予定時刻の早い順に定められたカセット群の後の順位で搬送順が定められる。
【0052】
このように、ステップS1〜ステップS4の段階で、搬送先の自動倉庫2が満杯に近い状態にあったり、搬送先での待機時間が長過ぎるとして優先順位決定の対象から外されたカセットであっても、現在保管されている自動倉庫2が満杯に高い状態になると、優先順位決定の対象とされ、すなわち優先順位が上げられ、やがて次工程へと搬送されるようになるので、満杯となる前に自動倉庫2の空の棚数を増やすことができ、他の自動倉庫2からのカセットの搬入を受け入れることができるようになる。
【0053】
そして、優先順位が決められたカセットは、本来の搬送先とされた次工程の自動倉庫2が満杯に近い状態にある場合には(ステップS9で「YES」)、搬送先の自動倉庫2以外で空き棚数に余裕のある自動倉庫のうち、空き棚数が最も多い自動倉庫2に搬入される(回避搬送)ので、回避搬送先の自動倉庫2が満杯状態になる可能性を低くしながら、自動倉庫2間での空き棚数を平準化できる。 この回避搬送されたカセットは、その回避先自動倉庫2で一時保留され、本来の搬送先自動倉庫2の空き保管棚6の数が増えてきたら、その自動倉庫2に搬送される。
【0054】
なお、本発明は上記し且つ図面に示す実施例に限定されるものではなく、以下のような拡張或いは変更が可能である。
カセットを搬送する場合、そのカセットの搬送先の自動倉庫2の空き棚数が定数TUYOに定数AKIを加えた数以下で、しかも、そのカセットの搬送元の自動倉庫2の空き棚数が定数FUYOに定数AKIを加えた数以下のときに、そのカセットを第3の自動倉庫に回避搬送するように構成しても良い。このようにすれば、搬送元および搬送先の自動倉庫の空き棚数を確保して満杯状態になることを防止できる。
【0055】
また、搬送先の自動倉庫の満杯状態を判定するための定数TUYOと搬送元の自動倉庫の満杯状態を判定するための定数FUYOとを異ならせておけば、一つの自動倉庫において、余分のカセットを搬出するかどうかの満杯判定と、外からカセットを受け入れるかどうかの満杯判定とを、別の基準で行うことができる。特に、FUYO>TUYOと設定すれば、余分のカセットを搬出しながら、必要なカセットは受け入れるという制御が可能となる。
【0056】
緊急処理の要請の高いカセットについては、図3に示すように管理情報に優先度判定基準の等級を示す情報として「特急フラグ」を設け、この特急フラグが「1」にセットされているカセットについては、搬送要求の発生時刻順に優先的に搬送するようにしても良い。
【0057】
半導体装置の製造において、自動搬送が必要なカセットには、通常の製品化されるウエハの他に、処理装置5の処理状態を管理するためのモニタウエハがある。このモニタウエハを格納したカセットは、処理開始予定時刻に関係なく、優先的な搬送が必要なものである。また、通常の搬送要求発生タイミングとは別に、作業者が画面操作によって特定のカセットを一つの自動倉庫2から手元の自動倉庫2に自動搬送することがある。このような比較的即時性が必要とされる搬送要求については、優先度判定基準の等級を高くして、他の搬送優先順位を決定する必要のある搬送要求とは区別し、通常の搬送要求グループと交互に搬送するように構成しても良い。
定数記憶装置23は使用中棚数ではなく、空き棚数を直接記憶するようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すもので、搬送優先順位の判定内容のフローチャート
【図2】自動倉庫の使用状態および定数テーブルの内容を示す概念図
【図3】搬送要求の管理情報テーブルの内容を示す概念図
【図4】棚管理装置を示すブロック図
【図5】自動倉庫の概略的な構成図
【図6】自動搬送システムの概略的な構成図
【符号の説明】
図中、2は自動倉庫、5は処理装置、6は保管棚、8はカセット移動機構、12は搬送制御装置(搬送要求発生手段)、13は工程内搬送機、14は工程間搬送機、15は進捗管理装置(進捗管理手段)、16は搬送指示制御装置(判定手段)、18は進捗記憶装置、20は処理開始予定時刻演算装置(処理開始予定時刻演算手段)、21はスケジューラ、22は搬送要求記憶装置(搬送要求記憶手段)、23は定数記憶装置(定数記憶手段)である。
Claims (9)
- 加工工程フローに従い順次処理されて製品化されるワークを、前記各加工工程での処理前および処理後に一時保管するための複数の自動倉庫の棚を管理する装置において、
前記加工工程フローに基づき、前記ワーク毎に加工の進行を管理する進捗管理手段と、
前記ワーク毎に各加工工程での処理開始予定時刻を演算する処理開始予定時刻演算手段と、
処理を終えた前記ワークが前記自動倉庫に入庫されたことに基づき、次の加工工程への搬出を要求する搬送要求発生手段と、
前記進捗管理手段、前記処理開始予定時刻演算手段および前記搬送要求発生手段からの情報に基づいて得た前記搬送要求の発生時刻、搬送元、搬出先、および搬出先加工工程での処理開始予定時刻などの管理情報を前記ワーク毎に記憶する搬送要求記憶手段と、
前記各自動倉庫の最大棚数、空き棚数または使用中の棚数、その他、棚管理上必要な定数を記憶する定数記憶手段と、
前記搬送要求記憶手段に記憶された前記搬送要求発生時刻、搬出先、処理開始予定時刻および前記定数記憶手段に記憶された定数に基づき搬送優先順位を判定する判定手段と
を具備してなる自動倉庫の棚管理装置。 - 前記判定手段は、前記搬送要求発生時刻により前記搬送優先順位を判定することを特徴とする請求項1記載の自動倉庫の棚管理装置。
- 前記判定手段は、前記処理開始予定時刻順に前記搬送優先順位を決定し、その処理開始予定時刻が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した時間以上先のワークについては、搬送を保留することを特徴とする請求項1または2記載の自動倉庫の棚管理装置。
- 前記判定手段は、前記ワークの搬送先の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下のとき、搬送優先順位決定の対象から外すことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の自動倉庫の棚管理装置。
- 前記判定手段は、前記ワークの搬送元の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下のとき、優先順位を上げることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の自動倉庫の棚管理装置。
- 前記判定手段は、前記ワークの搬送先の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下で、且つ前記ワークの搬送元の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下のとき、前記搬送先自動倉庫以外の自動倉庫へ回避搬送することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の自動倉庫の棚管理装置。
- 前記判定手段は、前記回避搬送先の自動倉庫を、前記複数の自動倉庫のうち、最も空き棚数の多い自動倉庫とすることを特徴とする請求項6記載の自動倉庫の棚管理装置。
- 前記搬送要求記憶手段は、前記管理情報の他に、優先度判定基準の等級別に複数のグループに分けるための情報を記憶することを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の自動倉庫の棚管理装置。
- 前記定数記憶手段は、前記搬送元の自動倉庫が満杯に近いか否かを判定するために用いる定数と、前記搬送先の自動倉庫が満杯に近いか否かを判定するために用いる定数とを区別して記憶することを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載の自動倉庫の棚管理装置。
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