JPH11292218A - 自動倉庫の棚管理装置 - Google Patents
自動倉庫の棚管理装置Info
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- JPH11292218A JPH11292218A JP10095914A JP9591498A JPH11292218A JP H11292218 A JPH11292218 A JP H11292218A JP 10095914 A JP10095914 A JP 10095914A JP 9591498 A JP9591498 A JP 9591498A JP H11292218 A JPH11292218 A JP H11292218A
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Abstract
や工程数が多くても、ワークの搬送を優先度の高いもの
から順に行なうことができ、また、満杯状態の自動倉庫
が連鎖的に増殖することをなくす。 【解決手段】 搬送要求のあったカセットのなかから、
搬送先の自動倉庫が満杯状態に近いもの、処理開始予定
時刻が現在から或る時間を越えているものを除外し、次
工程での処理開始予定時刻の早いものから搬送順位を定
める。そして、空き棚数が或る数を越えている余裕のあ
る自動倉庫が存在する場合、搬送先の自動倉庫2に空き
棚数に余裕がある場合には、先に決定された優先順位の
高いものから順に搬送先自動倉庫に搬送し、搬送先自動
倉庫の空き棚数に余裕がない場合には、別の最も空き棚
数の多い自動倉庫に搬送する。
Description
フローに従って順次処理して製品化する生産システムに
おいて、各加工工程での処理前および処理後にワークを
保管するための自動倉庫の棚管理装置に係り、特に自動
倉庫が満杯になることのないように管理する構成に関す
るものである。
は、多数の処理装置を類似の工程毎にまとめて複数の製
造ラインを構成し、各製造ラインには自動倉庫を設置
し、ウエハ(ワーク)を複数カセットに収納し、そのウ
エハを加工工程フローに従ってカセット単位で自動倉庫
を経由して各加工工程に対応した処理装置に順次自動搬
送するシステムが採用されている。
説明するためのウエハプロセス工場の概略構成図であ
る。同図に示すように、工場内中央には各製造ライン1
に対応させて自動倉庫2が並設されており、各自動倉庫
2には製造ライン毎に設けられた天井架設型の工程内搬
送路3が連結され、更に各自動倉庫2は同じく天井架設
型の工程間搬送路4により連結されている。そして、そ
れら搬送路3,4には、天井走行型無人搬送車(図示せ
ず)が設けられている。
に配設された複数の処理装置5の相互間、或いは処理装
置5と自動倉庫2の相互間でワーク(ウエハ)をカセッ
ト単位(一般に1カセットを1ロットという)で移動さ
せるためのものである。また、工程間搬送路4は、複数
の自動倉庫2相互間でカセットを移動させるためのもの
である。自動倉庫2は、図5の概略構成図に示すよう
に、多数の保管棚6とカセット入出庫口7とカセット移
動機構8を備えると共に、上記工程内搬送路3に連結さ
れた工程内搬送移載口9と、工程間搬送路4に連結され
た工程間搬送移載口10とを備えている。
の動きは次の通りである。 まず、ワーク投入時点において、或る自動倉庫2の入
出庫口7に入庫されたカセットは、最初に処理されるべ
き第1の工程に対応する処理装置5が選択され、その処
理装置5を有した製造ラインの自動倉庫2に工程間搬送
路4により搬送され、そして、その自動倉庫2の保管棚
6に一旦格納される。このとき、カセットは、工程間搬
送路4により自動倉庫2の工程間搬送移載口10に搬入
され、その後、カセット移動機構8により工程間搬送移
載口10から保管棚6に移動される。
ットは、その後、カセット移動機構8により保管棚6か
ら工程内搬送移載口9に移動され、製造ライン内の第1
の工程に対応する処理装置5へ工程内搬送路3により搬
送されて処理される。 処理を終えたカセットは工程内搬送路3により自動倉
庫2の工程内移載口9に搬入され、カセット移動機構8
により保管棚6に移動される。 次いで、処理後のカセットは、第2の工程に対応する
処理装置5を備えた製造ラインの自動倉庫2に搬送する
ために、まず、カセット移動機構8により保管棚6から
工程間搬送移載口10に移動され、その後、工程間搬送
路4により次工程の自動倉庫2へと搬送される。上記の
〜のような一連の動作を繰り返して最終の加工工程
まで処理が進められる。つまり、この自動搬送システム
では、カセットは各加工工程に対し、各加工工程に応じ
た自動倉庫2を介して自動搬送されるものである。
な自動搬送システムでは、搬送すべきカセットが発生す
る都度、搬送を行うものであるから、各自動倉庫が満杯
の状態になる場合がある。すると、一つの製造ライン内
に複数ある処理装置のうち、一部の処理装置で処理する
カセットばかりが自動倉庫を満たしている場合、残りの
処理装置で処理するカセットが発生しても、すでに満杯
状態にあるその自動倉庫には搬送できない。この結果、
処理装置は空いているが、カセットが運ばれて来ないと
いう事態が生じ、処理装置の可動効率が極めて悪くな
る。
いワークが収納されたカセットを搬送したくとも、すで
に別のワークを収納したカセットで自動倉庫が満杯状態
になっている場合には、その自動倉庫には搬送できない
ので、納期に応じた処理ができなくなる、といった問題
を生ずる。その上、或る製造ラインの自動倉庫が満杯状
態になると、その自動倉庫を搬送先とするカセットは、
その自動倉庫には搬送されず、このため、カセットは前
工程である搬送元の自動倉庫に滞留し、搬送元の自動倉
庫も満杯状態になる。このようにして満杯状態の自動倉
庫が連鎖的に増殖するという不具合を生ずる。
えば、特開平2−127303号公報に開示された技術
がある。これは、格納する製品の品種と加工工程の組み
合わせに対して格納制限数を設定し、その格納制限数に
達した製品の、次工程への搬出を保留するようにして処
理効率の向上を図る、というものである。
十数工程、或いは数十工程、最近では300工程を越え
る複雑な加工工程を経るものも出現してきており、この
ような多数の工程を持つ製造工場には、数百種、或いは
それ以上の多種多様な半導体装置を製造するために、多
数のカセットが流れている。しかも、新製品が毎日のよ
うに発生しており、また、同時に生産中止になる製品、
増産或いは減産になる製品も毎日のように発生してお
り、工場内の生産製品構成は日々変化している。
において、上記公報の方法では、格納する製品の品種数
と加工工程の組み合わせ数が棚数よりも多い場合には、
上記の問題は解消できない。仮に、自動倉庫の棚数が格
納製品の品種数と加工工程の組み合わせ数より多く設け
るにしても、製品毎に格納上限の設定を行うために自動
倉庫の棚数をバランス良く全製品に分配することは、製
品数が多いこと、新製品の発生が頻繁であること、製品
構成の変化が激しいことなどからして、限界がある。
で、直ぐには処理しない、すなわち優先度の低いワーク
が先に搬送されて自動倉庫が満杯状態になると、後から
優先順位の高いワークを搬送する必要が生じてもそのと
きには搬送先の自動倉庫が満杯状態にあって搬送できな
いという問題は未解決のまま残される。
で、その目的は、ワークの搬送を優先度の高いものから
順に搬送することができ、また、ワークの品種数や加工
工程数が多くても、自動倉庫を満杯状態とならないよう
に管理することができる自動倉庫の棚管理装置を提供す
るにある。
めに本発明は、加工工程フローに従い順次処理されて製
品化されるワークを、前記各加工工程での処理前および
処理後に一時保管するための複数の自動倉庫の棚を管理
する装置において、前記加工工程フローに基づき、前記
ワーク毎に加工の進行を管理する進捗管理手段と、前記
ワーク毎に各加工工程での処理開始予定時刻を演算する
処理開始予定時刻演算手段と、処理を終えた前記ワーク
が前記自動倉庫に入庫されたことに基づき、次の加工工
程への搬出を要求する搬送要求発生手段と、前記進捗管
理手段、前記処理開始予定時刻演算手段および前記搬送
要求発生手段からの情報に基づいて得た前記搬送要求の
発生時刻、搬送元、搬出先、および搬出先加工工程での
処理開始予定時刻などの管理情報を前記ワーク毎に記憶
する搬送要求記憶手段と、前記各自動倉庫の最大棚数、
空き棚数または使用中の棚数、その他、棚管理上必要な
定数を記憶する定数記憶手段と、、前記搬送要求記憶手
段に記憶された前記搬送要求発生時刻、搬出先、処理開
始予定時刻および前記定数記憶手段に記憶された定数に
基づき搬送優先順位を判定する判定手段とを具備する構
成としたものである(請求項1)。
する搬送要求が発生した場合、判定手段によって搬送の
優先順位が演算され、その優先順に従って搬送される。
このため、優先順位の高いワークほど速く次工程の自動
倉庫に到着するので、満杯状態になる前に搬入すること
ができる。このため、自動倉庫の棚数がワークの品種数
と加工工程数との組み合わせ数よりも少なくても、優先
順位の高いワークを次工程の自動倉庫に搬送できなくな
るという不具合の発生を極力防止できるものである。
前記搬送要求発生時刻により前記搬送優先順位を判定す
るように構成しても良い(請求項2)。このような構成
とすれば、処理が終了したら直ぐに前工程の自動倉庫か
ら次工程の自動倉庫に搬送できるので、先入れ先出し管
理を容易に行なうことができ、優先度等級の高いワーク
について優先順位を決定するに好都合となる。
処理開始予定時刻順に前記搬送優先順位を決定し、その
処理開始予定時刻が前記定数記憶手段に記憶された定数
に基づいて演算した時間以上先のワークについては、搬
送を保留するように構成しても良い(請求項3)。この
構成によれば、ワークは一定の優先順位ロジックに基づ
いて決定された処理開始予定時刻の順番で搬送されるの
で、優先順位の高いものから順に搬送することができ
る。処理開始予定時刻が一定時間以上先のワークは搬送
されないので、例えば処理に3日を要するワークが滞留
し自動倉庫が満杯状態になりそうな場合でも、例えば2
4時間先までの処理予定分のワークだけをその自動倉庫
に搬送するように設定することにより、自動倉庫が容易
に満杯状態にならないようにすることができる。
ワークの搬送先の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手
段に記憶された定数に基づいて演算した数以下のとき、
搬送優先順位決定の対象から外すように構成することが
できる(請求項4)。この構成によれば、搬送先の自動
倉庫が満杯状態になる少し前に、搬送を止めることがで
き、緊急の搬送が必要な場合のために空き棚を確保して
おくことができる。
の搬送元の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記
憶された定数に基づいて演算した数以下のとき、優先順
位を上げるように構成することができる(請求項5)。
この構成によれば、搬送元の自動倉庫が満杯状態に近付
いてきたとき、搬送優先順位が低いために搬送を一時保
留していたワークを搬出することができるので、搬送元
の自動倉庫内の空き棚数を増やすことができる。
ワークの搬送先の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手
段に記憶された定数に基づいて演算した数以下で、且つ
前記ワークの搬送元の自動倉庫の空き棚数が前記定数記
憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下のと
き、前記搬送先自動倉庫以外の自動倉庫へ回避搬送する
構成とすることができる(請求項6)。この構成によれ
ば、搬送元および搬送先の双方の自動倉庫が満杯状態に
近い場合には、第3の自動倉庫へワークを移送すること
ができ、搬送元および搬送先の自動倉庫の空き棚数を確
保でき、満杯状態になることを防止できる。
避搬送先の自動倉庫を、前記複数の自動倉庫のうち、最
も空き棚数の多い自動倉庫とする構成としても良い(請
求項7)。この構成によれば、回避搬送先の自動倉庫が
満杯状態になる可能性を最も低くすることができ、ま
た、自動倉庫間の空き棚数を平準化することができる。
は、前記管理情報の他に、優先度判定基準の等級別に複
数のグループに分けるための情報を記憶する構成とする
ことができる(請求項8)。例えば半導体装置の製造に
おいて、実際の製品となるウエハを格納したカセットの
他に、処理装置の処理状態を管理するためのモニタウエ
ハを格納したモニタカセットがある。このモニタカセッ
トは、処理開始予定時刻に関係なく最優先で搬送する必
要がある。また、処理装置で処理が終了し、一旦自動倉
庫に格納されたタイミングで発生する次工程への搬送と
は別に、作業者が画面操作によって特定のカセットを手
元の自動倉庫へ自動搬送することがあるが、この場合に
も、可及的速やかに搬送される必要がある。このような
比較的即時性を必要とされる搬送要求を、搬送優先順位
判定を必要とする搬送要求と区別し、それぞれのグルー
プから選択した搬送を交互に実行することでき即時性の
要求される搬送を遅滞なく実行することができる。
前記搬送元の自動倉庫が満杯に近いか否かを判定するた
めに用いる定数と、前記搬送先の自動倉庫が満杯に近い
か否かを判定するために用いる定数とを区別して記憶す
る構成とすることができる(請求項9)。
の判定に用いる定数と搬送先が満杯かどうかの判定に用
いる定数とを分けて設定可能とすることで、例えば、自
動倉庫内の余分なワークを搬出するどうかの満杯判定
と、他からワークの受入れを行なうかどうかの満杯判定
とを分けることができる。この結果、余分なワークの搬
出が常に行なわれる状態に保ちつつ、必要なワークの搬
入は受けるという制御を行なうことができる。
基づいて説明する。この実施例は、半導体の製造工場に
おいて、各製造ライン毎に設けられた複数の自動倉庫を
管理する場合に適用したものである。なお、半導体装置
の製造工場において、その製造ライン、各製造ラインを
構成する複数の処理装置、各製造ライン毎に設けられた
複数の自動倉庫の構成、工程内搬送路、工程間搬送路な
どについては、図5および図6に基づいて先の従来の技
術の項で説明したので、再度の説明は省略する。
より構成される自動倉庫の棚管理装置11をブロックに
て示す。同図において、搬送制御手段としての搬送制御
装置12は、各製造ライン1に設置された自動倉庫2の
カセット移動機構8、各製造ライン1の工程内搬送路3
を走行する工程内搬送機13、自動倉庫2の相互間に設
けられた工程間搬送路4を走行する工程間搬送機14を
制御する。
程間搬送機14により次工程の処理装置5を備えた製造
ライン1の自動倉庫2の工程間搬送移載口10に搬送さ
れる。次工程の自動倉庫2の工程間搬送移載口10に搬
入されたカセットは、カセット移動機構8によって工程
間搬送移載口10から空き保管棚6に移動されて一時保
管される。保管棚6に保管されたカセットは、次工程に
対応する処理装置5が空いたとき、カセット移動機構8
によって保管棚6から工程内搬送移載口9に移動され、
工程内搬送機13によって工程内搬送移載口9から次工
程に相応する処理装置5に搬送される。処理を終えたカ
セットは、再び、工程内搬送機13によってその処理装
置5から自動倉庫2の工程内搬送移載口9に搬送され
る。
によって工程内搬送移載口9から空き保管棚6に移動さ
れて保管され、そして保管棚6に保管された処理済みの
カセットは、次工程への搬送指示があった時点でカセッ
ト移動機構8により保管棚6から工程間搬送移載口10
に移動され、工程間搬送機14により次工程に相応する
処理装置5を備えた製造ライン1の自動倉庫2へと搬送
される。
造ラインに搬入されるが、その加工の進捗度は、進捗管
理手段としての進捗管理装置15によって把握され管理
される。この進捗管理装置15による進捗度の把握は次
のようにして行なわれる。すなわち、製造ラインでの処
理を終了したカセットが工程内搬送機13により自動倉
庫2に搬入されると、搬送制御装置12は、処理終了後
のカセットが入庫された自動倉庫2のID、処理を終了
したカセットのIDなどの情報を搬送指示制御装置16
を介して進捗管理装置15に送信する。進捗管理装置1
5は、各カセット毎に加工工程フロー、各加工工程での
加工仕様および納期、納期との関係で定められる特急処
理の要否などを記憶した工程仕様記憶装置17から加工
工程順のデータを得て、受信したカセットIDおよび自
動倉庫IDなどから、どのカセットがどの工程を終了し
たかを判別し、カセット毎に処理を終了した加工工程、
次の加工工程などの進捗状況を進捗記憶装置18に記憶
させる。
演算手段としての処理開始予定時刻演算装置20を備え
たスケジューラ21が接続されている。このスケジュー
ラ21は、カセットの処理が終了し、或いは、工程仕様
記憶装置17に新たなカセットが投入されると、工程仕
様記憶装置17に記憶されている加工工程フローや加工
仕様、進捗記憶装置18に記憶されている進捗度に基づ
いて、全てのカセットについて、製造される半導体装置
の納期と残り工程の正味加工時間とから、カセット毎に
優先順を決め、各加工工程での処理開始予定時刻を割り
当てる。
ットについての各加工工程の処理開始時刻は、進捗管理
装置15に送信され、進捗管理装置15は、各カセット
毎にそのID、次工程の処理装置5、その処理装置5が
設置されている製造ライン1、その製造ラインの自動倉
庫2のIDなどを進捗記憶装置15に記憶させる。
工程内搬送機13により自動倉庫2に搬入されると、搬
送制御装置12は、前述のようにカセットのID、自動
倉庫2のIDなどの情報を搬送指示制御装置16を介し
て進捗管理装置15に送信すると共に、そのカセットの
次の搬送先を問い合わせる搬送要求を搬送指示制御装置
16を介して進捗管理装置15に送信する。従って、搬
送制御装置12は、搬出要求発生手段としての機能を有
する。
し、進捗記憶装置18からそのカセットについて、処理
を終了した製造ラインの自動倉庫2すなわち搬送元の自
動倉庫ID、次の加工工程に対応する処理装置5を備え
た製造ライン1の自動倉庫2すなわち搬送先の自動倉庫
ID、次の加工工程での処理開始予定時刻、納期との関
係での特急処理の要否とを読み出し、これを搬送指示制
御装置16に返信する。すると、搬送指示制御装置16
は、進捗管理装置15から送信されてきた内容を、カセ
ットID、搬送要求発生時刻と共に管理情報として搬送
要求記憶手段としての搬送要求記憶装置22にテーブル
化して記憶させる。なお、図3は、搬送要求記憶装置2
2に記憶される内容を模式的に示す。
先順位を判定する判定手段として機能し、搬送要求記憶
装置22に記憶されている搬送要求発生済みカセットに
ついて、優先順位を定め、搬送制御装置12に対してそ
の優先順位で搬送するよう指示を出力する。
先順位の判定は、処理開始予定時刻、定数記憶装置23
に記憶された自動倉庫2の状況、各種の定数に基づいて
行なわれる。上記定数記憶装置23には、模式的に示す
図2のように、自動倉庫2毎に、自動倉庫2の最大棚
数、使用中の棚数の他、搬送元が満杯かどうかの判定に
用いる定数FUYO、搬送先が満杯かどうかの判定に用
いる定数TUYO、空き棚として確保すべき棚数を定め
た定数AKI、搬送先の自動倉庫での最大待ち時間を定
めた定数ARIの各定数である。
先順位を定める場合の制御内容を図1に示すフローチャ
ートをも参照しながら説明する。搬送指示制御装置16
は、搬送要求記憶装置22にアクセスして搬送要求のあ
ったカセットのうち、処理開始予定時刻の最も早いカセ
ットを選択してその搬送要求内容を読み出す(ステップ
S1)。今、図3に示すように、搬送要求記憶装置22
に、搬送要求が発せられた5つのカセットの管理情報が
記憶されているとすると、搬送指示制御装置16は、ス
テップS1で、ID(S0021)のカセットの処理開
始予定時刻が最も早いので、同(S0021)のカセッ
トを選択するのである。
ップS1で選択したカセットの搬送先の自動倉庫2が満
杯に近い状態であるか否かを判断する(ステップS
2)。この判断のために、搬送要求指示制御装置16
は、定数記憶装置23にアクセスし、搬送先の自動倉庫
2の最大棚数、使用中棚数および定数AKIを読み出
し、そして、搬送先の自動倉庫2の現在の空き棚数が定
数AKI未満であるか否かにより、搬送先の自動倉庫2
が満杯に近い状態であるか否かを判断するのである。
搬送先は、ID(STO6)の自動倉庫2であるが、図
2から、この自動倉庫2の最大棚数は160、使用中棚
数150、定数AKIは10であるから、空き棚数は定
数AKIと同数となり、従ってステップS2では「N
O」すなわち未だ満杯ではないと判断し、次のステップ
S3に移行する。
16は、ステップS1で選択したカセットの処理開始予
定時刻が現在時刻に定数ARIを加算した時刻以内であ
るか否かを判断する。処理開始予定時刻が現在時刻に定
数ARIを加算した時刻以内であるときには、搬送指示
制御装置16は、ステップS3で「YES」と判断し、
ステップS4に移行する。
処理開始予定時刻は、1997年12月1日午前3時1
2分であるが、今、現在時刻が1997年11月30日
午後11時5分とすると、搬送先であるID(STO
6)の自動倉庫2の定数ARIは8であるから、現在時
刻に定数ARIを加算した時刻は、1997年12月1
日午前7時5分となり、処理開始予定時刻よりも遅いの
で、搬送指示制御装置16は、ステップS3で「YE
S」と判断する。
プS4に移行すると、搬送指示制御装置16は、ステッ
プS1で選択したカセットを搬送する旨の指示を搬送制
御装置12に出力すると共に、そのカセットについて搬
送要求記憶装置22に記憶されている搬送要求情報を消
去し、ステップS1に戻る。そして、搬送制御装置12
は、搬送する旨の指示を受けたカセットを、既に優先順
位を定められて搬送制御装置12が有する優先順位記憶
部に記憶されているカセット群の後となるように順位を
定めて該優先順位記憶部に記憶する。なお、搬送指示制
御装置16は、搬送指示をしたカセットの管理情報につ
いては、搬送要求記憶装置22から消去するようになっ
ている。
送指示制御装置16は、搬送要求記憶装置22に記憶さ
れているカセットの全てについて搬送の可否の判定をし
たか否かを判断し、未判定のカセットが有る場合には、
最初のステップS1に戻る。なお、搬送先の自動倉庫2
の空き棚数が定数AKI未満である場合には、搬送要求
指示制御装置16は、ステップS2で「YES」と判断
し、ステップS1に戻る。また、カセットの処理開始予
定時刻が現在時刻に定数ARIを加算した時刻以内でな
い場合には、搬送要求指示制御装置16は、ステップS
3で「NO」と判断し、ステップS1に戻る。
記憶装置22に記憶されている全てのカセットについて
実行すると、搬送指示制御装置16は、ステップS5で
「YES」と判断し、次のステップS6に移行する。こ
の段階で、搬送指示がなされたカセットは、その搬送指
示が出された順に搬送順位が定められたこととなる。
プS6に移行し、定数記憶装置23の記憶内容に基づ
き、空き棚数が定数FUYOに定数AKIを加えた数以
下の自動倉庫2があるか否かを判断し、有れば「YE
S」と判断して次のステップS7に移行する。ステップ
S7では、搬送指示制御装置16は、ステップS6で空
き棚数が定数FUYOに定数AKIを加えた数以下と判
断した自動倉庫2に保管されているカセットのうちに、
搬送できるカセットがあるか否か、すなわち搬送要求記
憶装置22に搬送要求があったとして記憶されているカ
セットが有るか否かを判断する。搬送できるカセットが
有れば、搬送指示制御装置16は、ステップS7で「Y
ES」となり、次のステップS8でそのカセットについ
て搬送指示を搬送制御装置12に送信する。そして、搬
送制御装置12は、ステップS8での搬送指示があった
とき、そのカセットを優先順位記憶部に記憶されている
カセット群の後となるように順位を定めて該優先順位記
憶部に記憶する。
S6で空き棚数が定数FUYOに定数AKIを加えた数
以下の自動倉庫2がない(「NO」)と判断した場合、
ステップS8でその自動倉庫2に搬送できるカセットが
ない(「NO」)と判断した場合、ステップS9に移行
する。
は、実際にカセットを搬送する際に、そのカセットの搬
送先の自動倉庫2の空き保管棚数が定数TUYOに定数
AKIを加えた数以下であるか否かを判断する。空き保
管棚数が定数TUYOに定数AKIを加えた数を越えて
いるとき、搬送指示制御装置16は、「NO」と判断
し、搬送先の自動倉庫2へ搬送する旨の指令を搬送制御
装置12に発する。これにより、搬送制御装置12は、
工程間搬送機14を駆動してカセットを搬送元の自動倉
庫2から本来の搬送先(次工程)の自動倉庫2へと搬送
し、最初のステップS1に戻る。また、空き保管棚数が
定数TUYOに定数AKIを加えた数以下のときには、
搬送指示制御装置16は、搬送先の自動倉庫2ではな
く、空き保管棚数の最も多い自動倉庫2へカセットを搬
送し、ステップS1に戻る。
プS4までの段階では、工程間搬送機14によって搬送
される順位は、搬送要求発生時刻の早い順ではなく、基
本的には処理開始予定時刻の早い順に定められる。この
とき、処理開始予定時刻が早くても、搬送先の自動倉庫
2が満杯に近い状態にあったり(ステップS2で「YE
S」)、搬送先の自動倉庫2で待機する時間が長過ぎる
(ステップS3で「NO」)場合には、搬送順位の決定
対象から外される。
トほど、搬送優先順位が高いので、優先度の高いカセッ
トほど早く搬送できるので、次工程の自動倉庫2が満杯
状態になる前に該自動倉庫2へ搬送することができる。
態にある場合には、その搬送先に搬送されるカセットを
搬送優先順位の決定対象から外す(搬送を保留)ので、
搬送先の自動倉庫2が満杯状態となる少し前の状態で、
その自動倉庫2へのカセットの搬入を止めることがで
き、緊急の搬送が必要な場合のために保管棚6を空けて
おくことができる。
ットについては、搬送順位の決定対象から外す(搬送を
保留)ので、処理開始予定時刻の遅いカセットまで搬送
先の自動倉庫2に搬送してしまうことがなくなり、該搬
送先自動倉庫2が早期に満杯状態となる機会を少なくす
ることができる。
の段階では、搬送元の自動倉庫としての立場で、満杯に
近い状態の自動倉庫2があった場合(ステップS6で
「YES」)、その自動倉庫2で次工程への搬送待ちの
状態にあるカセットは、ステップS1〜ステップS4で
処理開始予定時刻の早い順に定められたカセット群の後
の順位で搬送順が定められる。
の段階で、搬送先の自動倉庫2が満杯に近い状態にあっ
たり、搬送先での待機時間が長過ぎるとして優先順位決
定の対象から外されたカセットであっても、現在保管さ
れている自動倉庫2が満杯に高い状態になると、優先順
位決定の対象とされ、すなわち優先順位が上げられ、や
がて次工程へと搬送されるようになるので、満杯となる
前に自動倉庫2の空の棚数を増やすことができ、他の自
動倉庫2からのカセットの搬入を受け入れることができ
るようになる。
は、本来の搬送先とされた次工程の自動倉庫2が満杯に
近い状態にある場合には(ステップS9で「YE
S」)、搬送先の自動倉庫2以外で空き棚数に余裕のあ
る自動倉庫のうち、空き棚数が最も多い自動倉庫2に搬
入される(回避搬送)ので、回避搬送先の自動倉庫2が
満杯状態になる可能性を低くしながら、自動倉庫2間で
の空き棚数を平準化できる。この回避搬送されたカセッ
トは、その回避先自動倉庫2で一時保留され、本来の搬
送先自動倉庫2の空き保管棚6の数が増えてきたら、そ
の自動倉庫2に搬送される。
例に限定されるものではなく、以下のような拡張或いは
変更が可能である。カセットを搬送する場合、そのカセ
ットの搬送先の自動倉庫2の空き棚数が定数TUYOに
定数AKIを加えた数以下で、しかも、そのカセットの
搬送元の自動倉庫2の空き棚数が定数FUYOに定数A
KIを加えた数以下のときに、そのカセットを第3の自
動倉庫に回避搬送するように構成しても良い。このよう
にすれば、搬送元および搬送先の自動倉庫の空き棚数を
確保して満杯状態になることを防止できる。
するための定数TUYOと搬送元の自動倉庫の満杯状態
を判定するための定数FUYOとを異ならせておけば、
一つの自動倉庫において、余分のカセットを搬出するか
どうかの満杯判定と、外からカセットを受け入れるかど
うかの満杯判定とを、別の基準で行うことができる。特
に、FUYO>TUYOと設定すれば、余分のカセット
を搬出しながら、必要なカセットは受け入れるという制
御が可能となる。
は、図3に示すように管理情報に優先度判定基準の等級
を示す情報として「特急フラグ」を設け、この特急フラ
グが「1」にセットされているカセットについては、搬
送要求の発生時刻順に優先的に搬送するようにしても良
い。
要なカセットには、通常の製品化されるウエハの他に、
処理装置5の処理状態を管理するためのモニタウエハが
ある。このモニタウエハを格納したカセットは、処理開
始予定時刻に関係なく、優先的な搬送が必要なものであ
る。また、通常の搬送要求発生タイミングとは別に、作
業者が画面操作によって特定のカセットを一つの自動倉
庫2から手元の自動倉庫2に自動搬送することがある。
このような比較的即時性が必要とされる搬送要求につい
ては、優先度判定基準の等級を高くして、他の搬送優先
順位を決定する必要のある搬送要求とは区別し、通常の
搬送要求グループと交互に搬送するように構成しても良
い。定数記憶装置23は使用中棚数ではなく、空き棚数
を直接記憶するようにしても良い。
の判定内容のフローチャート
を示す概念図
図
カセット移動機構、12は搬送制御装置(搬送要求発生
手段)、13は工程内搬送機、14は工程間搬送機、1
5は進捗管理装置(進捗管理手段)、16は搬送指示制
御装置(判定手段)、18は進捗記憶装置、20は処理
開始予定時刻演算装置(処理開始予定時刻演算手段)、
21はスケジューラ、22は搬送要求記憶装置(搬送要
求記憶手段)、23は定数記憶装置(定数記憶手段)で
ある。
Claims (9)
- 【請求項1】 加工工程フローに従い順次処理されて製
品化されるワークを、前記各加工工程での処理前および
処理後に一時保管するための複数の自動倉庫の棚を管理
する装置において、 前記加工工程フローに基づき、前記ワーク毎に加工の進
行を管理する進捗管理手段と、 前記ワーク毎に各加工工程での処理開始予定時刻を演算
する処理開始予定時刻演算手段と、 処理を終えた前記ワークが前記自動倉庫に入庫されたこ
とに基づき、次の加工工程への搬出を要求する搬送要求
発生手段と、 前記進捗管理手段、前記処理開始予定時刻演算手段およ
び前記搬送要求発生手段からの情報に基づいて得た前記
搬送要求の発生時刻、搬送元、搬出先、および搬出先加
工工程での処理開始予定時刻などの管理情報を前記ワー
ク毎に記憶する搬送要求記憶手段と、 前記各自動倉庫の最大棚数、空き棚数または使用中の棚
数、その他、棚管理上必要な定数を記憶する定数記憶手
段と、 前記搬送要求記憶手段に記憶された前記搬送要求発生時
刻、搬出先、処理開始予定時刻および前記定数記憶手段
に記憶された定数に基づき搬送優先順位を判定する判定
手段とを具備してなる自動倉庫の棚管理装置。 - 【請求項2】 前記判定手段は、前記搬送要求発生時刻
により前記搬送優先順位を判定することを特徴とする請
求項1記載の自動倉庫の棚管理装置。 - 【請求項3】 前記判定手段は、前記処理開始予定時刻
順に前記搬送優先順位を決定し、その処理開始予定時刻
が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算し
た時間以上先のワークについては、搬送を保留すること
を特徴とする請求項1または2記載の自動倉庫の棚管理
装置。 - 【請求項4】 前記判定手段は、前記ワークの搬送先の
自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定
数に基づいて演算した数以下のとき、搬送優先順位決定
の対象から外すことを特徴とする請求項1ないし3のい
ずれかに記載の自動倉庫の棚管理装置。 - 【請求項5】 前記判定手段は、前記ワークの搬送元の
自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定
数に基づいて演算した数以下のとき、優先順位を上げる
ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の
自動倉庫の棚管理装置。 - 【請求項6】 前記判定手段は、前記ワークの搬送先の
自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定
数に基づいて演算した数以下で、且つ前記ワークの搬送
元の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶され
た定数に基づいて演算した数以下のとき、前記搬送先自
動倉庫以外の自動倉庫へ回避搬送することを特徴とする
請求項1ないし3のいずれかに記載の自動倉庫の棚管理
装置。 - 【請求項7】 前記判定手段は、前記回避搬送先の自動
倉庫を、前記複数の自動倉庫のうち、最も空き棚数の多
い自動倉庫とすることを特徴とする請求項6記載の自動
倉庫の棚管理装置。 - 【請求項8】 前記搬送要求記憶手段は、前記管理情報
の他に、優先度判定基準の等級別に複数のグループに分
けるための情報を記憶することを特徴とする請求項1な
いし7のいずれかに記載の自動倉庫の棚管理装置。 - 【請求項9】 前記定数記憶手段は、前記搬送元の自動
倉庫が満杯に近いか否かを判定するために用いる定数
と、前記搬送先の自動倉庫が満杯に近いか否かを判定す
るために用いる定数とを区別して記憶することを特徴と
する請求項1ないし8のいずれかに記載の自動倉庫の棚
管理装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP09591498A JP3832082B2 (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | 自動倉庫の棚管理装置 |
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Publications (2)
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---|---|
JPH11292218A true JPH11292218A (ja) | 1999-10-26 |
JP3832082B2 JP3832082B2 (ja) | 2006-10-11 |
Family
ID=14150559
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---|---|---|---|
JP09591498A Expired - Fee Related JP3832082B2 (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | 自動倉庫の棚管理装置 |
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JP (1) | JP3832082B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020056926A1 (zh) * | 2018-09-18 | 2020-03-26 | 惠科股份有限公司 | 一种仓储管理方法和仓储*** |
US11288625B2 (en) | 2018-09-18 | 2022-03-29 | HKC Corporation Limited | Warehousing management method and warehousing system |
CN114701785A (zh) * | 2022-04-08 | 2022-07-05 | 深圳市库宝软件有限公司 | 待出库料箱的确定方法、装置和设备 |
-
1998
- 1998-04-08 JP JP09591498A patent/JP3832082B2/ja not_active Expired - Fee Related
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WO2020056926A1 (zh) * | 2018-09-18 | 2020-03-26 | 惠科股份有限公司 | 一种仓储管理方法和仓储*** |
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CN114701785A (zh) * | 2022-04-08 | 2022-07-05 | 深圳市库宝软件有限公司 | 待出库料箱的确定方法、装置和设备 |
CN114701785B (zh) * | 2022-04-08 | 2024-04-02 | 深圳市库宝软件有限公司 | 待出库料箱的确定方法、装置和设备 |
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