JP3709373B2 - 流量計測装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、発熱抵抗体を用いて流量を計測する流量計測装置に係り、例えば、内燃機関の吸入空気流量を測定して燃料供給の制御を行うのに好適な流量計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、自動車などの内燃機関の吸入空気通路に設置され、吸入空気流量を計測する流量計測装置としては、熱式のものが質量流量を直接検知できることから主流となってきている。このような熱式の流量計測装置において、シリコン（Si）などの半導体基板上に、半導体微細加工技術を用いて製造された流量計測装置が比較的容易に、しかも大量生産方式で生産できることから経済性があり、また、小型で低電力で駆動できることから近年注目されてきた。
【０００３】
このような流量計測装置としては、例えば、特開平６−５０７８３号公報、特開２００１−１８３２０４号公報、特表２００１−５０５３１４号公報等に記載の流量計測装置が公知である。これらの公報に記載の流量計測装置においては、シリコン（Si）等の半導体基板上に半導体微細加工技術を用いて薄膜状のセンサ領域を形成し、その薄膜領域にセンシング抵抗体を形成することにより熱応答を高速化した流量計測素子が用いられている。このように、高速に応答する流量計測素子では、吸気管内に脈動が発生した場合でも応答することが可能であり、脈動時の計測誤差を低減できる。また、方向検知機能があれば、エンジンからエアクリーナの方向に向かう空気流（逆流）が発生する運転状態においても、計測誤差を低減できる。
【０００４】
また、熱応答が流量計測素子においても、特開平９−３０４１４７号公報に記載の技術のように２つのフィードバック回路を使用して脈動、逆流発生時に計測精度を向上させる手段がある。
【０００５】
これらの流量計測装置は、主に流量計測素子、前記流量計測素子を実装するための支持体、該流量計測素子を駆動する回路部、及びこれらの部品を実装し、吸入空気が流通する管路に取付けられたケーシングから構成され、前記流量計測素子は副通路内に配置される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来は４気筒エンジンの低回転数において吸気脈動が大きくなり、スロットル全開付近において逆流を発生する場合が多かったが、近年の排出ガス規制、低燃費化等に対応した、連続可変バルブタイミング機構などの複雑な制御を行うエンジンでは、高い回転数において、脈動、逆流が発生し、逆流量も拡大する傾向にある。また、４気筒以上の多気筒エンジンにおいても逆流を含む脈動流が発生する。
【０００７】
前記特開２００１−１８３２０４号公報、特表２００１−５０５３１４号公報に記載の技術においては、空気流は支持体により支持体表面と裏面の２つの流れに分かれ、支持体の下流で再度合流する構成となっている。しかも、流量計測素子は支持体の片面に配置されている。この構成において脈動が発生すると、前述の表面側と裏面側それぞれにおいて脈動するため、流量計測素子が実装されている面と、実装されていない面での脈動にずれが生じ始めると非常に複雑な脈動となり、十分な計測精度が得られない。
【０００８】
また、支持体により表裏２つの流れに分かれるが、この時の分流比が定常時と脈動時で変化し易いため流量誤差を発生する。
【０００９】
また、前記特開平６−５０７８３号公報には流量計測素子表面にしか空気が流れない技術が記載されている。しかし、この構造においては流量計測素子の薄膜部に水分が付着し易く、水分が付着するとその間は正確な流量計測ができないという問題がある。空気流に水分が含まれている場合、また周囲環境の状態によっては大量の水分が吸気管内に入り込む場合には、副通路に入り込む水分は壁面に付着して比較的サイズの大きな水滴に成長し易い。前記特開平６−５０７８３号公報の構造では、この成長した水滴が容易に流量計測素子に到達し易い。また、副通路内が結露した場合にも比較的大きなサイズの水滴が流量計測素子に付着し易い。自動車用の流量計測素子は一般的に、室温に対して１００℃以上のある値（Th）に加熱するようにフィードバック制御されている。ここで、水滴が付着しているとその付着領域は水滴が無くなるまでは１００℃以上にはならないが、フィードバック回路はThになるように制御しようとするため過電流が流れることになる。水滴内に沸騰現象が起こり気泡が発生した場合、この気泡が発生している領域（空気と触れている領域）は過電流によって非常に高温に加熱され、場合によっては破壊する可能性もある。
【００１０】
また、何れの技術においても、流量計測装置上流のエアクリーナの集塵性能が十分であれば問題はない。しかし、エアクリーナのエアフィルタが外れた場合、エアフィルタを通過した粒子が吸気管内のオイル、水などの液架橋により成長した場合は、流量計測素子の薄膜部を破壊するほどの粒子が流量計測素子表面に到達する可能性がある。
【００１１】
以上に述べたように、吸気脈動時の計測誤差を小さくすること、水滴付着による計測精度低下、吸気に含まれるダストが流量計測素子に衝突し難くすること、等を同時に十分に満足することは従来技術においては困難である。
【００１２】
本発明の目的は、脈動時に流量計測素子が検知する脈動が支持体裏面の脈動の影響を受けず、脈動時および逆流発生時の計測精度の高い流量計測装置を提供することにある。
【００１３】
本発明の他の目的は、水滴が発生する環境下においても正確な流量計測が可能であり、結露し難い流量計測装置を提供することにある。
【００１４】
本発明の他の目的は、脈動時の計測誤差低減と信頼性を両立する流量計測装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、本発明は、板形状の片面に設けられた発熱抵抗体のパターンを有する流量計測素子と、該流量計測素子が配置される副通路を有する流量計測装置において、前記副通路は、共通の入口と、該入口から流入して前記流量計測素子表面を流れる流体が流出する第１の出口と、前記入口から流入して前記流量計測素子裏面を流れる流体が流出する第２の出口とを備え、前記第２の出口は前記第１の出口と異なる位置に形成されていることを特徴とする。
【００１６】
本発明の他の特徴は、板形状の片面に設けられた発熱抵抗体のパターンを有する流量計測素子と、前記流量計測素子を実装する支持体と、前記支持体が配置される副通路を有する流量計測装置において、前記副通路は、共通の入口と、該入口から流入して前記流量計測素子表面を流れる流体が流出する第１の出口と、前記入口から流入して前記支持体の流量計測素子が実装されていない面を流れる流体が流出する第２の出口を備え、前記第２の出口は前記第１の出口と異なる位置に形成されていることにある。
【００１７】
これらの構成により、脈動時には副通路内の順流は流量計測素子または支持体により表面側と裏面側の流れに分離されるが、その分離された流れはそれぞれの出口から流出するため、一度分離した流れが再度合流しない。また、逆流が発生した場合には、流量計測素子表面を流れる逆流と、流量計測素子裏面、または支持体裏面を流れる逆流がそれぞれに流入する。このように、本発明によれば、脈動時に流量計測素子が検知する脈動が支持体裏面の脈動の影響を受けないため、脈動時および逆流発生時の計測精度が高くなる。
【００１８】
本発明の他の特徴は、前記支持体が、前記副通路の中央付近に位置し、該支持体により前記副通路を、流体が該支持体の流量計測素子が実装されていない面または流量計測素子の裏面を流れる第１の通路と、前記流量計測素子表面を流れる第２の通路とに２分していることにある。
【００１９】
本発明の他の特徴は、前記流量計測素子が、前記支持体の片側の面に、その表面が前記支持体の平坦面よりも低い位置になるようにして、接着されていることにある。
【００２０】
本発明のこれらの特徴によれば、副通路の壁面で成長した水滴が流量計測素子表面には到達しないため、水滴が発生する環境下においても正確な流量計測が可能である。また、副通路壁面に埋め込まれている構成に比較すると結露し難い。
【００２１】
さらに、本発明の他の特徴は、前記副通路が、副通路内の順流の流れ方向に対して、半径が徐々に小さくなっており、前記流量計測素子は、前記副通路内の外壁面よりも半径方向内側の位置に配置されていることにある。
【００２２】
本発明によれば、副通路が遠心力を発生する構造となっているため、信頼性を向上するためにダストや水分を慣性効果により流量計測素子表面に衝突させない。これに前述の技術を適用することによって、脈動時の計測誤差低減と信頼性を両立する流量計測装置を提供することができる。
【００２３】
さらに、本発明の他の特徴は、前記流量計測素子、または前記支持体が、流量計測装置が装着される主通路の流れ方向に対して、流量計測装置の取付けられた側が、順流に対面するように傾斜して配置されていることにある。これにより、上記した効果に加えて、定常流において流量ノイズの小さい流量計測装置を提供することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。まず、本発明の第１の実施例について図１〜図４により説明する。図１は、本発明の第１の実施例になる流量計測装置を示すものであり、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＡ−Ａ断面図、図１（Ａ）は図１（Ｂ）の上面図、図１（Ｃ）は図１（Ｂ）のＢ−Ｂ断面図である。また、図２は、図１の流量計測装置をエンジンの吸気ダクトに設置した状態を示す図である。
【００２５】
第１の実施例の流量計測装置１００は、板状の支持体１１の片面に発熱抵抗体のパターンすなわち薄膜構造体１０を有する流量計測素子１と、この流量計測素子１が配置される副通路１８とを有する。流量計測素子１は、支持体１１の片側の面に設けられた凹部(図１１参照)に、その表面が支持体１１の平坦面から若干、例えば１０μｍ程度、低い位置になるようにして、エポキシまたはシリコン系接着剤で接着されている。上面図から明らかな通り、支持体１１は副通路１８の中央付近に位置し、この支持体により副通路１８を、流体が該支持体の流量計測素子が実装されていない面を流れる第１の通路と、流量計測素子表面を流れる第２の通路とに２分している。そして、副通路１８は、１つの入口３１と、流量計測素子１の表面を流れる流体が流出する第１の出口３２ａと、流量計測素子裏面の流体が流出する第２の出口３２ｂを有する。第２の出口３２ｂは第１の出口３２ａとは異なる位置に、複数個形成されていてもよい。すなわち、第１の出口３２ａは主通路１６の軸方向（空気の流れ方向）と直角な方向に面して開口している。また、第２の出口３２ｂは、主通路１６の軸方向と直角な方向で、かつ、第１の出口３２ａとは反対の側に面して開口している。これにより、支持体１の流量計測素子１１が実装されていない面または流量計測素子１の裏面を流れる流体は、流量計測素子１の表面を流れる流体とに分離される。
なお、流量計測素子１の電極と支持体１１の電極は、例えば金線等の接続線により電気的に接続される。
【００２６】
この流量計測素子１が実装された支持体１１は、図２に示すように、シリコン系の接着剤によりハウジングケース１５に実装される。このハウジングケース１５は主通路１６、例えばエンジンの吸気通路内に挿入される。図２において、主通路１６でエアクリーナからエンジンの方向に流れる空気（順流２０）は、副通路１８の１つの入口３１から第１の出口３２ａ及び第２の出口に向かう。２１は空気の逆流を示している。
【００２７】
次に、本発明に使用される流量計測素子１の構造及びその製法について、図３を用いて説明する。
流量計測素子１は、半導体製造技術により作製される。以下にその製法の一例を説明をする。まず、単結晶シリコン基板２上に電気絶縁層３として二酸化シリコン層を熱酸化あるいはCVD（Chemical Vapor Deposition）等の方法で形成、窒化シリコン層をCVD等の方法で形成する。次に、多結晶シリコン層をCVD等の方法で形成し、所望の抵抗値とするために不純物としてリン（P）を熱拡散またはイオン注入によりドーピングする。その後、多結晶シリコン層をパターニングすることにより発熱抵抗体４、吸気温度検出抵抗体５、測温抵抗体６、７等を形成する。抵抗体としては、若干コストは高くなるが白金等を採用することにより温度係数の高い抵抗体を形成することも可能である。
【００２８】
次に、保護層８として窒化シリコン層、二酸化シリコン層をCVD等の方法で形成する。その後、保護層８をパターニングして、電極１３を形成する部分の保護層を取り除く。次に、アルミニウム層を形成し、エッチングによりパターンニングを行う。最後に、空洞部９を形成するために、単結晶シリコン基板２の発熱抵抗体４を形成していない面にCVD等の方法によりマスクとなる窒化シリコン層を形成してパターニングを行う。
【００２９】
その後、異方性エッチングにより空洞部９を形成する。このように空洞化することにより発熱抵抗体４、測温抵抗体６、７が配置されている領域は熱的に絶縁された薄膜構造体１０となる。これにより流量計測素子１の高速応答を実現することが可能となる。最後にダイシングによりチップに分割する。分割された流量計測素子１は、例えば長辺が５ｍｍ、短辺が２．５ｍｍ程度である。
【００３０】
次に、図２を用いて、流量計測素子１を実装する支持体１１について説明する。本発明の支持体１１は、ガラスセラミック製積層基板により形成される。支持体１１としては、他には高温焼成セラミック、金属板等を採用することも可能となる。しかし、流量計測素子１は熱的に周囲の部材から熱絶縁されることが望ましいため、熱伝導率の小さいガラスセラミック製積層基板を採用することが有効である。このような熱伝導率の小さい材料を使用することにより、流量計測素子表面に発生する結露を抑制する効果が大きくなる。
【００３１】
また、積層基板を採用することによって、流量計測素子１への電力供給および、流量計測素子１からの信号処理を行うための制御回路１２を支持体１１に一体化して形成することが可能となる。これにより部品点数を削減できることからコスト的、信頼性的に優位である。また、積層基板の内層導体を使用して流量計測素子１を制御するための回路を構成することにより回路の小型化を図ることができるため、流量計測装置１００の小型化を図ることができる。
【００３２】
次に、流量計測素子１の動作原理を、図３及び図４により説明する。発熱抵抗体４は、吸気温度検出抵抗体５に対して一定温度高くなるように制御される。この発熱抵抗体４の熱により、上流側測温抵抗体６及び下流側測温抵抗体７が加熱されて所定の温度になる。無風時には理想的には上流側測温抵抗体６と下流側測温抵抗体７は発熱抵抗体４から等しく熱を受けるため同じ温度になるため、上流側測温抵抗体６と下流側測温抵抗体７の温度差はゼロとなる。
【００３３】
ここで、主通路１６内の流れが順流２０の場合には、上流側測温抵抗体６は下流側測温抵抗体７よりも冷却されるため、上流側測温抵抗体６と下流側測温抵抗体７に温度差が発生する。従って抵抗値に差が生じて、これに応じた電位差が発生する。この温度差による電位差は流量に応じた値であり、流量検出が可能となる。
【００３４】
一方、主通路１６内の流れが逆流２１の場合には、上述とは反対に、下流側測温抵抗体７が上流側測温抵抗体６よりも冷却されることにより流量が検出される。
【００３５】
ここで、第１の実施例において、１つの入口３１から副通路１８に流入した順流２０は、支持体１１により支持体１１の表面側の流れと裏面側の流れに分割される。この分割された流れは第１の出口３２ａと第２の出口３２ｂからそれぞれ、別々に流出する。従って、従来例のように支持体下流で再合流しない。その結果、脈動発生時に、支持体１１裏面での脈動が流量計測素子１表面での脈動に影響しない。そのため、副通路１８の流量計測素子１表面での脈動が、主通路１６での順流２０の脈動に対応した波形となる。この結果、脈動時の計測誤差が低減する。
【００３６】
一方、脈動が大きくなり、逆流２１が発生する場合は、流量計測素子１表面に流れる逆流２１は第１の出口３２ａから、支持体１１裏面に流れる逆流２１は第２の出口３２ｂから流入する。
【００３７】
本発明の第１の実施例によれば、第１の出口３２ａから流入した逆流は、流量計測素子１表面まで到達する。また、第２の出口３２ｂから流入した逆流は、支持体裏面の空間を流れて支持体上流で、第１の出口３２ａから流入した逆流と合流する。従って、別々の出口から流入した逆流は、流量計測素子１を通りすぎるまで互いに合流しない、換言すると相互に影響しない。ここで、逆流２１が発生する場合は、流量計測素子１表面で流れの順逆の切替わりが発生するため、その切替わりが、主通路１６での流れの切替わりに対応できない場合は計測誤差を発生し易い。
【００３８】
従来例においては、同じ出口から流入した逆流は支持体１の下流で分離し、支持体上流で再合流するため、支持体１１の表面側と裏面側の流れの切替わりが互いに影響し、流量計測素子１表面で複雑な脈動に発達し計測誤差を生じやすい。
【００３９】
しかし、本発明においては、流量計測素子１表面で流れの順逆の切替わりが発生する際に、支持体１１裏面の流れが流量計測素子１に影響しないため、計測精度が向上する。特に、脈動周波数が６０Hz以上の高い場合において、本発明は従来例に比較して計測誤差を低減する効果が大きい。
【００４０】
また、順方向のからみると、支持体１１が副通路壁面に埋め込まれている構造ではなく、副通路１８のほぼ中央に支持体１１が位置する構成であるため、副通路１８に付着して成長した水滴が流量計測素子１の薄膜部に到達しない。そのため、脈動時の計測特性改善により信頼性が低下することはない。
【００４１】
また、支持体１１が副通路壁面に埋め込まれている構造ではエンジンからの熱が副通路壁を介して流量計測素子に到達し易いため計測誤差を生じ易い。しかし、本発明では支持体１１と副通路１８の壁面が接している部分が少ないため、副通路壁に埋め込まれている構成よりもエンジンからの熱影響を受け難いため、計測誤差を生じ難い。
【００４２】
なお、副通路１８の形状としては、本発明の第１の実施例の別形状として、図５に示す構成でも良い。この例では、１つの入口３１から略直角に曲がった副通路１８を経て流入した順流２０が、支持体１１により流量計測素子１側の流れと裏面側の流れに分割される。この分割された流れは第１の出口３２ａと第２の出口３２ｂから別々に流出する。すなわち、第１の出口３２ａは主通路１６の軸方向（図５（Ａ）のＰ−Ｐ方向）と直角に面して開口している。また、第２の出口３２ｂは、主通路１６の軸方向と直角な方向に面して開口している。
この例においても、上述の第１の実施例と同様の効果が得られる。
【００４３】
次に、図６は、本発明の第２の実施例になる流量計測装置の断面図及び上面図を示している。第１の実施例では、支持体１１により流量計測素子１が配置されている空間と支持体１１裏面の空間が完全には分離されていないが、第２の実施例では、支持体１１により流量計測素子１が配置されている空間と、支持体１１裏面の空間が完全に分離されている。通路断面を変更することなく、支持体１１で完全に分離する構造とすると、支持体長が増える分だけ製造コストが増加するが、脈動及び逆流が発生したときの計測精度は非常に向上する。
【００４４】
次に、本発明の第３の実施例を図７に示す。図７は、第３の実施例になる流量計測装置の断面図及び上面図である。この実施例では、第１の出口３２ａは主通路１６の軸方向（空気の流れ方向）と直角な方向に面して開口している。また、第２の出口３２ｂは、主通路１６の軸方向で、かつ、第１の出口３２ａから離れた位置に開口している。
【００４５】
この実施例では、第２の出口３２ｂが主通路１６の軸方向と直角な方向に面するように開口しているため、出口３２ｂから逆流２１が入り易い構造となっている。第１の出口３２ａからの逆流２１は、副通路１８の曲がり部で流れが乱れるが、第２の出口３２ｂからの逆流２１は曲がり部がないため、スムーズに導入され、ほぼ主通路１６の順逆流の切り変わりに対応した流れとなる。
【００４６】
先に述べたように、特開２００１−１８３２０４号公報、特表２００１−５０５３１４号公報に記載の技術のような、半導体微細加工技術により製造される高速応答性の流量計測素子では、エンジン側からのバックファイア等から保護するために、順逆非対称かつ、逆流が入り難い副通路１８に配置される。従って、脈動の振幅が大きくなり主通路１６の逆流量が増加すると副通路１８内に導入されるの逆流量が不足する傾向にあり、プラス計測誤差が拡大する。また、流量計測素子１を曲がりを有する副通路１８に配置する場合は、流量計測素子１を主通路１６に配置した場合に比較して流量計測素子１の応答性能が若干低下する。従って、エンジン回転数が高く、逆流２１を含み、脈動振幅が大きい場合に特に計測誤差を生じ易い。
【００４７】
ここで、流量計測素子１表面に導入される逆流量を増加させると、エンジン回転数が低く逆流量が多い領域では計測誤差は低減するが、一方で、逆流が発生し始める脈動振幅が小さい領域での計測誤差が増加する。また、回転数が高い領域の計測誤差はあまり低減されない。
【００４８】
しかし、本発明の第３の実施例によれば、直接に流量計測素子表面の逆流を増加させるのではなく、支持体１１の裏面に逆流を導入しやすい構成とし、その流れに引きずられて流量計測素子１表面の流れを増加させることが有効である。この技術により、脈動振幅が小さい領域から大きい領域までの全域において、また、各エンジン回転数において高精度の計測を行うことができる。
【００４９】
次に、図８は、本発明の第４の実施例になる流量計測装置の断面図及び上面図を示す。第４の実施例は第３の実施例の変形例である。第２の出口３２ｂの上流側に、主通路１６の軸方向と直角な方向に延びた突起３３を設置して、逆流２１の動圧を受け易くし、第２の出口より逆流２１が導入されやすい構造となっている。また、流量が大きくなると、順方向流が第２の出口３２ｂから流入しようとするため、第２の出口付近での流れが不安定になり流量ノイズが発生する。しかし、本発明の第４の実施例に示すように第２の出口３２ｂの上流に突起を設けることにより順方向流が第２の出口３２ｂから流入することを防止し、安定した流量計測が可能となる。
【００５０】
また、第２の出口は上記に示す第１から第４の実施例を組み合わせて複数個形成されていてもよい。自動車エンジンは、限られたスペースに置かれるため、吸気管も様々な曲がりを有する場合が多い。ここで、流量計測装置前後の吸気管の曲がりの形状によっては、定常時の吸気管内の流速分布と脈動時の流速分布が大きく異なり、特に逆流は流れが不安定となる場合が多い。流量計測装置は吸気管内のある領域の流速を計測するものであるため、定常時と脈動時の流速分布が異なる場合には計測誤差を発生してしまう。しかし、上記のように直接は流量計測素子が設置されていない支持体裏面の領域に様々な方向に出口を設置することによって、様々な方向からの流速成分を取り込むことができるため、定常時と脈動時の流速分布に大きな差がある吸気管内にあっても逆流を含む脈動時の流量を精度良く測ることができる。
【００５１】
以上述べた、本発明の第１〜第４の実施例においては、脈動および逆流発生時の計測精度は十分であるため、流量計測装置１００上流のエアクリーナの集塵性能が十分であれば問題はない。しかし、エアクリーナのエアフィルタが外れた場合、エアフィルタを通過した粒子が吸気管内のオイル、水などの液架橋により大きなサイズに成長する可能性がある場合は、流量計測素子１の薄膜部１０を破壊するほどの粒子が流量計測素子１表面に到達する可能性がある。特に、半導体微細加工技術により製造される流量計測素子の場合は、薄膜構造体１０が厚さ１〜２μm程度であることから、吸入空気中に含まれるダストが衝突した場合または水分が付着した場合には、この薄膜構造体１０が破壊する場合が考えられる。
【００５２】
従って、長期間に渡って信頼性の高い流量計測装置１００とするためには、空気は流量計測素子１の表面に達するが、ダスト及び水分は達しない構造とする必要がある。これを解決する手段として、本発明の第５の実施例になる図９に示す副通路１８が有効である。この実施例では、副通路１８が、副通路内の順流の流れ方向に対して、半径が徐々に小さくなる構造となっている。流量計測素子１は、副通路１８内の外壁面よりも半径方向内側の位置に配置されている。さらに、第１の出口３２ａは主通路１６の軸方向と直角な方向に面して開口している。また、第２の出口３２ｂは、主通路１６の軸方向と直角な方向で、かつ、第１の出口３２ａから離れた位置に開口している。
【００５３】
この実施例の副通路１８は、副通路内の順流の流れ方向に対して、半径が徐々に小さくなる構造をとっているため、副通路内に遠心力を発生する。この遠心力により、ダスト及び水分は図１０に示すように外壁面に押し付けられるように流れるため、壁面よりも半径方向内側の位置に配置された流量計測素子１の表面に到達しない。
【００５４】
上記に説明した技術を適用した本発明の第５の実施例について、図９により説明する。この副通路１８は入口３１から流入した空気流が渦状の流路を通過して流量計測素子１に到達するまでの間に、ダスト、水分などの汚損物質は遠心力により外周面に押し付けられ、そのまま出口３２ａから排出されるため、流量計測素子１の表面に汚損物質が到達することができない構造となっている。実験により５〜２００μm程度の粒子を、主通路１６に流速５０m/s以上で連続投入した場合でも、流量計測素子１の表面には５μm以下のダストが衝突した痕跡しか検出されない。流量計測素子１は１５μm程度の粒子が流速５０m/sで衝突しても破壊しない程度には薄膜構造体１０を強化することが可能であるため、副通路１８１８によりダストによる破壊防止が可能となる。一方、水分においても、実験により２０L/min.程度の水を主通路１６に連続投入した場合でも、流量計測装置１００の出力が変動しないことから流量計測素子１の表面には水分が付着しないことが判る。
【００５５】
本発明の第５の実施例では、上述の本発明の第１の実施例と同様に、逆流２１を含む脈動流が発生した場合に計測誤差を低減することが可能である。従って、本構成により、信頼性、脈動特性何れの特性も良好な流量計測装置１を提供することが可能となる。
【００５６】
また、本構成においては流量計測装置１の取付け方によっては、支持体１１の結露などにより発生した水が副通路１８内に溜まりやすい構成であるが、本発明の第２の出口を形成すれば、溜まった水が流出するため、更に信頼性を高める効果がある。
【００５７】
次に、図１１は本発明の第６の実施例になる流量計測装置の断面図及び上面図を示す。図１１は、図１のＢ―Ｂまたは図９のＬ−Ｌ断面に相当する図である。流量計測素子１は、支持体１１の片側の面に設けられた凹部１９に、その表面が支持体１１の平坦面から若干低い位置になるようにして接着されている。この実施例では、副通路１８内の支持体１１が主通路１６に対して傾斜して配置されている。すなわち、支持体１１の流量計測装置１の取付けられた側、換言すると副通路１８の第１の出口３２ａに連通する側が、順流を受ける（対面する）ように傾斜して配置されている。なお、第１の出口３２ａは主通路１６の軸方向と直角な方向に面して開口している。また、第２の出口３２ｂは、第１の出口３２ａから離れた位置に開口している。
【００５８】
支持体１１に傾斜が無い場合には、副通路１８内の流れが支持体１１により表面側と裏面側に別れるところで剥離を生じやすく、これが計測時の流れの不安定性（出力ノイズ）の要因となり易い。また、本発明に示すように板型直方体の流量計測素子１の表面で流量計測を行う流量計測装置においては、大量生産を行う際に、支持体の流れに対する１°以下の微小な設置ばらつきが流量計測装置の特性ばらつきの要因となる。そこで、図１１に示すように、支持体１１を傾斜させることにより、支持体端部で発生する流れの剥離が流量計測素子１表面に影響し難くなるため流量計測時の出力ノイズを低減する効果がある。また、大量生産時の特性ばらつきを抑制する効果もある。
【００５９】
ここで、参考までに、従来例の副通路において支持体１１を傾斜させた場合を図１２に示す。従来の副通路では傾斜させることにより上述した順方向の特性改善は成されるが、逆流２１が副通路１８内に導入された場合には、支持体１１の裏面に当たるため、流量計測素子１に逆流２１が当たり難い構成となる。従って、逆流２１発生時の計測精度が悪化するという問題があった。
【００６０】
本発明によれば、図１１のように、第２の出口３２ｂを形成し、流量計測素子１表面に沿って流れる逆流２１が流量計測素子１に平行に当たるような構成とすることにより、信頼性、脈動特性、更には出力ノイズ何れの特性も良好な流量計測装置１００を提供することが可能となる。
【００６１】
以上、流量計測素子１が半導体微細加工技術により製造された場合について説明したが、流量計測素子はアルミナ基板表面に白金等の抵抗体が形成された場合でも上述の第１から第６の実施例の構成をとることが可能である。
【００６２】
図１３を用いて、アルミナ基板表面に白金等の抵抗体が形成された流量計測素子１を第１の実施例に適用した場合について説明する。流量計測素子１の抵抗体４、５はアルミナ基板の片側に形成されるため、アルミナ基板の抵抗体が形成されていない側の面に、第２の出口３２ｂを形成する。これにより、前述の第１の実施例と同様の効果が得られる。なお、１４は流量計測素子１と制御回路１２とを接続する接続線である。
【００６３】
また、図１４は、本発明の各実施例を採用した流量計測装置１００を組み込んだガソリンエンジン等の内燃機関のシステム図を示す。スロットルボディ１０５と吸気マニホールド１０６とを一体にして、吸気通路１７が構成される。スロットルボディ１０５には、スロットル角度センサ１０３、アイドルスピードコントロールバルブ１０４が設けられている。吸入空気はエアクリーナ１０２、主通路すなわち吸気通路１７を経てエンジンのシリンダ１１０へ吸入される。吸気通路１７を流れる途中に、本発明を施した流量計測装置１００で流量及び流れ方向が検出され、検出された流量信号は、電圧または周波数により車両コントロールユニット１０７に取込まれる。また、排気マニホールド１１１には酸素濃度計１１２が設けられ、排気ガスの酸素濃度の信号が車両コントロールユニット１０７に取込まれる。さらに、スロットル角度信号や回転速度計１０９で検出されたエンジン回転数等の信号も車両コントロールユニット１０７に取込まれる。
【００６４】
車両コントロールユニット１０７では、これらの信号に基づいて、インジェクタ１０８から噴射する燃料の量や噴射タイミング等を制御する。また、検出された流量信号は、他のサブシステムの制御にも用いられる。本発明の流量計測装置１００は、脈動時の計測誤差低減と信頼性を両立する流量計測装置であるため、これを採用することによりエンジンの燃料供給制御の特性が大幅に改善される。
【００６５】
尚、図示はしないが、ディーゼルエンジンシステムの場合も基本構成はガソリンシステムとほぼ同じであり、本発明の流量計測装置を適用することが可能である。
【００６６】
また、電気自動車など、燃料電池を用いたシステムにおいて、空気あるいは水素などの流体を計測する流量計測装置にも本技術を適用できる。
【００６７】
【発明の効果】
本発明よれば、水滴の流量計測素子への付着による信頼性の低下、エンジンからの熱影響による計測精度の低下を生じること無く、逆流を含む脈動振幅の大きな脈動流、脈動周波数の高い脈動流を発生させるエンジンにおいて計測誤差の少ない流量計測装置を提供することができる。
また、上記構成に加えて、遠心力を発生する副通路に本発明を採用することにより、脈動特性、信頼性何れの特性も良好な流量計測装置を提供することができる。
さらに、上記構成に加えて、支持体を傾斜させることにより、定常流において流量ノイズの小さい流量計測装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１の実施例になる流量計測装置を示すものであり、（Ａ）は（Ｂ）の上面図、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ断面図、（Ｃ）は（Ｂ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図２】 図１の流量計測装置をエンジンの吸気ダクトに設置した状態を示す図である。
【図３】 本発明の実施例に用いられる流量計測素子の構造及びその製法を示す図である。
【図４】 本発明の実施例に用いられる流量計測装置の駆動方式を示す、回路図である。
【図５】 本発明の第１の実施例の変形例を示すものであり、（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は（Ａ）のＰ−ＰＡ断面図である。
【図６】 本発明の第２の実施例になる流量計測装置を示すものであり、（Ａ）は（Ｂ）の上面図、（Ｂ）は（Ａ）のＥ−Ｅ断面図、（Ｃ）は（Ｂ）のＦ−Ｆ断面図である。
【図７】 本発明の第３の実施例になる流量計測装置を示すものであり、（Ａ）は（Ｂ）の上面図、（Ｂ）は（Ａ）のＧ−Ｇ断面図、（Ｃ）は（Ｂ）のＨ−Ｈ断面図である。
【図８】 本発明の第４の実施例になる流量計測装置を示すものであり、（Ａ）は（Ｂ）の上面図、（Ｂ）は（Ａ）のＩ−Ｉ断面図、（Ｃ）は（Ｂ）のＪ−Ｊ断面図である。
【図９】 本発明の第５の実施例になる流量計測装置を示すものであり、（Ａ）は（Ｂ）の上面図、（Ｂ）は（Ａ）のＫ−Ｋ断面図、（Ｃ）は（Ｂ）のＬ−Ｌ断面図、（Ｄ）は（Ｂ）のＭ−Ｍ断面図である。
【図１０】 第５の実施例の動作説明図である。
【図１１】 本発明の第６の実施例になる流量計測装置を示す断面図である。
【図１２】 従来例において支持体を傾斜させた場合の説明図。
【図１３】 本発明の第１の実施例の変形例になる流量計測装置を示すものであり、（Ａ）は（Ｂ）の上面図、（Ｂ）は（Ａ）のＣ−Ｃ断面図、（Ｃ）は（Ｂ）のＤ−Ｄ断面図である。
【図１４】 本発明の流量計測装置を用いた内燃機関の制御システムの例を示す図である。

Claims (12)

1. 板形状の片面に設けられた発熱抵抗体のパターンを有する流量計測素子と、該流量計測素子が配置される副通路を有する流量計測装置において、
   前記副通路は、共通の入口と、該入口から流入して前記流量計測素子表面を流れる流体が流出する第１の出口と、前記入口から流入して前記流量計測素子裏面を流れる流体が流出する第２の出口とを備え、前記第２の出口は前記第１の出口と異なる位置に形成されていることを特徴とする流量計測装置。
2. 板形状の片面に設けられた発熱抵抗体のパターンを有する流量計測素子と、前記流量計測素子を実装する支持体と、前記支持体が配置される副通路を有する流量計測装置において、
   前記副通路は、共通の入口と、該入口から流入して前記流量計測素子表面を流れる流体が流出する第１の出口と、前記入口から流入して前記支持体の流量計測素子が実装されていない面を流れる流体が流出する第２の出口を備え、前記第２の出口は前記第１の出口と異なる位置に形成されていることを特徴とする流量計測装置。
3. 請求項１または２において、前記副通路が、前記支持体の流量計測素子が実装されていない面または流量計測素子の裏面を流体が流れる第１の通路と、前記流量計測素子表面を流体が流れる第２の通路とに完全に分離されていることを特徴とする流量計測装置。
4. 請求項２または３において、前記流量計測素子は、前記支持体の片側の面に、表面が前記支持体の平坦面よりも低い位置になるようにして、接着されていることを特徴とする流量計測装置。
5. 請求項２乃至４のいずれかにおいて、前記支持体は前記副通路の中央付近に位置し、該支持体により前記副通路を、流体が該支持体の流量計測素子が実装されていない面を流れる第１の通路と、前記流量計測素子表面を流れる第２の通路とに２分していることを特徴とする流量計測装置。
6. 請求項１乃至５のいずれかにおいて、前記第１の出口は流量計測装置が装着される主通路の軸方向と直角な方向に面して開口しており、前記第２の出口は、前記主通路の軸方向と直角な方向で、かつ、前記第１の出口とは反対の側に面して開口していることを特徴とする流量計測装置。
7. 請求項１乃至５のいずれかにおいて、前記第１の出口は流量計測装置が装着される主通路の軸方向と直角な方向に面して開口しており、前記第２の出口は、前記主通路の軸方向に面して開口していることを特徴とする流量計測装置。
8. 請求項１乃至５のいずれかにおいて、前記第２の出口の順流の上流側に、突起を設けたことを特徴とする流量計測装置。
9. 請求項１乃至８のいずれかにおいて、前記流量計測素子１の抵抗体をアルミナ基板の片側に形成し、該アルミナ基板の他の面に、前記第２の出口を形成したことを特徴とする流量計測装置。
10. 請求項１乃至９のいずれかにおいて、前記副通路は、副通路内の順流の流れ方向に対して、半径が徐々に小さくなっており、前記流量計測素子は、前記副通路内の外壁面よりも半径方向内側の位置に配置されていることを特徴とする流量計測装置。
11. 請求項１乃至１０のいずれかにおいて、前記流量計測素子、または前記支持体は流量計測装置が装着される主通路の流れ方向に対して、流量計測装置の取付けられた側が、順流に対面するように傾斜して配置されていることを特徴とする流量計測装置。
12. 請求項１乃至１１のいずれかに記載の流量計測装置を吸気通路に設置して吸入空気流量を測定し、燃料供給の制御を行うことを特徴とする内燃機関。

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