JP3689124B2 - 実体顕微鏡 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、実体顕微鏡の光学系に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
実体顕微鏡は、微細な部分を3次元的に把握できるため、研究、検査、手術などの幅広い分野で使用されている。最近これら分野での技術が高度化し、2人が自由な方向から作業したり、長時間観察するために、楽な姿勢で観察できるような実体顕微鏡の要望が強くなっている。
【0003】
この要望を満たす実体顕微鏡の従来例として、特開平4−156412号公報に記載されたものが知られている。この従来例は、図22に示すような構成のもので、対物レンズと同軸のアフォーカルズーム光学系等からなる変倍可能な光学系30を設置し、その後方に左右一対の接眼光学系を置いたもので、接眼光学系全体を対物レンズの光軸と平行な軸の回りで回転させることによって、前述の要望を達成させるようにしている。
【0004】
しかし、この実体顕微鏡は、接眼光学系の左右観察用の瞳を含むようにアフォーカルズーム光学系の射出瞳を大きくする必要がある。例えば、通常の実体顕微鏡にて使われている2本のアフォーカルズームレンズの片方を相似拡大して前記の要件を満たそうとすると、瞳の大きさは2倍以上になりそれに応じてズームレンズの全長が2倍以上になる。更に顕微鏡の作業性を良くするために作動距離が可変の対物レンズを取付けた実体顕微鏡が実用化されており、その場合光学系の光路長はさらに長くなる。そのために、作業を行なう光学系の物体面と作業者が接眼レンズをのぞく目の位置(アイポイント)とが離れ、物体面付近での作業を行ないにくい。更に、瞳位置から対物レンズまでの距離が離れるために軸外光束が広がり、対物レンズの外径が大きくなり顕微鏡が大型化すると云う問題が生ずる。
【0005】
又、ズーム光学系の瞳径を前述の2倍以上の大きさにしたまま、レンズ系の全長を短くすることも考えられるが、各レンズの焦点距離が短くなり、高精度のレンズ加工が必要になり、又調整が難しくなる欠点が生じ、実用的な大きさのものを作成出来ない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、変倍光学系が左右の観察光学系の瞳を含む1本の実体顕微鏡変倍光学系で、アイポイントを低くして観察しながらの物体面での操作が容易になり、しかも良好な光学性能を有する実体顕微鏡を提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の実体顕微鏡は、一つの対物レンズとこの対物レンズと同軸に配置されている一つの変倍光学系とを有し、変倍光学系と観察者の瞳の間であって変倍光学系の光軸とは偏芯した位置に瞳となる開口絞りを複数設定し、この開口絞りによって決められる光軸(観察系の光軸)と変倍光学系内部で異なった位置を通るもので、左右共通の1本の光学系(前記の観察系よりも物体側に位置する光学系)の内部で1回結像したアフォーカルリレー光学系を有することを特徴としている。
【0008】
実体顕微鏡は、作業に必要な作動距離を確保したうえで、作業を行なう光学系の物体面とアイポイントを近くする必要がある。顕微鏡の作業者がいる側と反対の側や側方は、多少大きくなっても作業への影響は少ない。そのため、顕微鏡の作業に影響の少ない方向に突出部を設けて、その内部に変倍光学系を配置し、反射部材を使って物体からの光束を変倍光学系に導き、鏡体の入射光束の近くから光束を射出するようにする。このように構成することによって、アイポイントを低く出来、物体面とアイポイントとの距離を短くできる。しかし鏡体内の光路長が長くなり、対物レンズが開口絞りから離れ、軸外光束が広くなり、大きな径の対物レンズが必要になる。そのために幅の広い鏡体になり物体面を直接見づらくなり、作業性の悪い顕微鏡になり実用的ではない。本発明では、この欠点を瞳(開口絞りの像)を対物レンズの近くにリレーして対物レンズ付近の光束を小さくすることによって解決した。つまり、内部にて1回結像するアフォーカルリレー光学系を、左右共通の1本の光学系(開口絞りより物体側の光学系)中に挿入して解決した。
【0009】
ここで対物レンズと開口絞りとの間には、アフォーカル変倍光学系が存在するために、対物レンズの近くにリレーされた開口絞りの像位置が変化する。
【0010】
このような光学系において、対物レンズの外径の大きさは、アフォーカル変倍光学系の倍率が最大の時の光束の状態に左右される。したがって、アフォーカル変倍光学系の倍率が最大の時に開口絞りの像が対物レンズの付近に形成されるようにすれば、レンズの径を小さくすることが可能である。尚、対物レンズが複数のレンズから成るときは物体側のレンズの近くに瞳がリレーされるようにすると好ましい。この場合、接眼レンズに至るまでの間に物体像は変倍光学系とリレー光学系とで2回結像されるため像を180°回転するための正立系は必要としない。しかし左右の光束は、入れ替わるので、そのまま観察すると逆立体になるため瞳と接眼レンズとの間で左右の光束を入れ替える必要がある。
【0011】
図1は、本発明の実体顕微鏡の構成の1例を示す図である。この図1に示すように本発明の実体顕微鏡は、物体からの光線を水平方向に曲げるための第1の反射部材1と、物体からの光線を平行にするための対物レンズ2と、水平方向の光線を再び垂直方向に曲げる第2の反射部材3と、アフォーカル変倍光学系4と、光線を曲げ元の方向に戻すための第3の反射部材5と、アフォーカル光束を結像させるためのレンズ群6と、レンズ群6を射出する光線の方向を下方へ向け、更に水平方向に向け、更に物体からの光束と同じ方向(物体方向)に曲げる反射部材7(反射板7a,7b,7c)と、光束を再び平行光束にするレンズ群8と、複数の観察者方向や撮像系に分岐するための光分割素子9と、瞳を設定するための左右の開口絞り10L,10Rと、左右像を結像するための結像レンズ11L,11Rと、左右の光束を入れ替えるための光学系12と、左右の接眼レンズ13L,13Rとからなっている。
【0012】
ここで、対物レンズ2は物体側より正レンズ群と負レンズ群により構成され、負レンズ群が光軸方向に移動させることによって作動距離WDを変えることが出来るようにしたものである。又変倍光学系4は正レンズ群,負レンズ群,正レンズ群の三つのレンズ群からなり、像側の二つのレンズ群を移動させて変倍を行なうようにしている。尚、対物レンズ2からレンズ群8までは左右光学系に共通であり、同一の光軸上に配置されている。
【0013】
図2はこの実体顕微鏡において、開口絞り10L,10Rから接眼レンズ13L,13Rまでの鏡筒部の1例を示す図で、左右の光束を入れ替える光学系12は四つの反射部材12a,12b,12c,12dにより構成されており、反射部材12a,12bにより右側の結像光束を左側の接眼レンズに、又反射部材12c,12dにより左側の結像光束を右側の接眼レンズに導くようになっている。また左右の接眼レンズ13L,13Rの間に両眼での観察に必要な左右の眼幅調整のためのプリズム15L,15Rが挿入されている。
【0014】
このような光学系において、レンズ群6とレンズ群8とよりなるアフォーカルリレー光学系により、変倍光学系の倍率が最も大きくなる状態での瞳(開口絞りの像)が対物レンズ付近にリレーされるようにしている。なお、レンズ群6は、アフォーカルリレー光学系内の結像点14より物体側のレンズ群、レンズ群8は結像点14より像側の光学系である。
【0015】
この光学系において、複数の観察者が観察する場合、それぞれの観察者の瞳位置が異なることが多い。そのため、開口絞りのすべてを対物レンズの位置にリレーすることができない。このような場合、それぞれの観察者の開口絞りのリレー位置の範囲の中間を対物レンズの位置に調整すると有効径を小さくできる。
【0016】
また、図3に示すように、図1の第2の反射部材3を反射部材3a,3bとし、リレー光学系内の反射部材7として7a,7b,7cに更に7dを増加して3次元的に光学系を配置すれば、即ち反射プリズム3aにより反射プリズム1からの光を水平面内で曲げ、その後反射プリズム3bにより上方に向けるようにし、更に反射プリズム7bからの光を反射プリズム7cにより水平面内で元の方向に戻してから反射プリズム7dにより上方へ向けるようにすれば、顕微鏡より突出する方向を調整することが出来る。
【0017】
この場合、図4に示すように、プリズム7b,7dを逆向きに90°回し、その間にプリズム7cを置くようにすると、対物レンズ2から瞳リレー光学系のレンズ群8までの反射部材を利用して像を180°回転させることも出来る。その場合、左右光束を入れ替える光学系は、不要であり、左右光束を入れ替えずに像を180°回転させる左右一対の正立プリズムを用いればよい。つまり図5に示すように夫々2つのプリズムからなる左右の正立光学系16R1,16R2,16L1,16L2を用いれば、一般的なガリレオ型の実体顕微鏡の鏡筒と同じ構成になる。そのため、ガリレオ型の実体顕微鏡の鏡筒と共通化出来る長所がある。
【0018】
このような光学系では、瞳位置を調節し、かつ反射部材を用いるためにレンズの配置位置にかなりの制限が生ずる。この制限を緩和するためには、レンズ群6とレンズ群8のうち、いずれかのレンズ群或いは、両方のレンズ群を2群に分ければよい。これによって、第3の反射部材5から光分割素子9までの距離とアフォーカルリレー倍率を最適なものに調整することが出来る。
【0019】
更に光分割素子9により分割後の光束に複数の観察者のそれぞれにレンズ群8を設置してもよい。この場合、複数の観察者が夫々倍率を変え観察出来、又レンズ群をズームレンズにすれば観察者各自の観察しやすい倍率に微調整することが出来る。図6は、このような構成で、観察者2人の場合であって、一方の観察者のみ倍率を変化させての観察を可能にした例である。この図6において、光分割プリズム9の透過側に第1の観察者用の光束をアフォーカルにするためのレンズ群8と第1の観察者用の鏡筒18を配置してある。又光分割プリズム9の反射側には、第2の観察者用の光束をアフォーカルにするためのレンズ群17a,17bとその後方の第2の観察者用の鏡筒19が配置してある。このレンズ群17a,17bは、射出する光束をアフォーカル光束に維持しながら、倍率を変化するように光軸上を移動させるようにしてある。
【0020】
なお図6には、第2の観察者のみ変倍しながらの観察を可能にしたものを示してあるが、第1の観察者も変倍観察するようにしてもよい。更に多数の観察者が倍率を調整しながら観察出来る構成にすることも可能である。
【0021】
また、このように構成した場合、第3反射部材5が瞳や結像点から離れるために、軸外光束が広くなり第3の反射部材5の外径が大になりやすい。この反射部材5の径が大きくならないようにするには、総合のアフォーカル倍率を一定にしたまま、アフォーカル変倍系のアフォーカル倍率を上げ、アフォーカルリレー系のアフォーカル倍率を下げるとよい。特にアフォーカルリレー系の倍率を1倍より小さくすると第3の反射部材5の付近のレンズの径を小さく出来るようになるため、鏡体全体の一層の小型化が可能になる。また、アフォーカル変倍系を凸レンズ、凹レンズ、凸レンズからなる3群ズームにすると変倍系を短く出来、全体を小型に出来る。
【0022】
尚本発明の実体顕微鏡は、反射部材を多く配置しているので、この反射部材の一部をハーフミラーに変えて写真装置、テレビ装置、オートフォーカス装置、指標投影装置、他の画像をスーパーインポーズする装置等を取付けることが出来る。特に第3の反射部材5付近は観察部から離れているために、前記のようにハーフミラーを用いての各装置の設置を行なっても観察や作業に影響を与えることがなく、大型な装置でも取付けが可能である。
【0023】
次に、本発明の実体顕微鏡で用いるアフォーカル変倍光学系とアフォーカルリレー光学系の数値例を示す。
数値例1
r0 =基準面 d0 =D1 (可変)
r1 =0.6864 d1 =0.06386 n1 =1.60311 ν1 =60.7
r2 =-0.51403 d2 =0.04032 n2 =1.85026 ν2 =32.3
r3 =-1.17302 d3 =D2 (可変)
r4 =-0.34692 d4 =0.02016 n3 =1.72916 ν3 =54.7
r5 =0.37783 d5 =0.05808
r6 =-0.13308 d6 =0.02419 n4 =1.8044 ν4 =39.6
r7 =-0.80747 d7 =0.07064 n5 =1.5927 ν5 =35.3
r8 =-0.15417 d8 =D3 (可変)
r9 =0.80541 d9 =0.03226 n6 =1.85026 ν6 =32.3
r10=0.31126 d10=0.07121 n7 =1.497 ν7 =81.6
r11=-0.46759 d11=0.01613
r12=∞ d12=0.3629 n8 =1.51633 ν8 =64.1
r13=∞ d13=0.00806
r14=0.3303 d14=0.06186 n9 =1.51633 ν9 =64.1
r15=-2.63036 d15=0.04298 n10=1.5213 ν10=52.6
r16=0.84049 d16=1.32998
r17=∞ d17=0.32258 n11=1.51633 ν11=64.1
r18=∞ d18=0.06452
r19=-0.14401 d19=0.02595 n12=1.7847 ν12=26.2
r20=-0.19417 d20=0.03039
r21=∞ d21=0.32258 n13=1.51633 ν13=64.1
r22=∞ d22=0.04032
r23=-14.63582 d23=0.03226 n14=1.79952 ν14=42.2
r24=1.00588 d24=0.05711 n15=1.60311 ν15=60.7
r25=-0.40794 d25=0.80645
r26=開口絞り
AP=0.80645 ,AD=0.08871 ,A=0.0968
βZ 0.375X 0.75X 1.5 X
D1 0.23513 0.04032 0.10274
D2 0.04839 0.34973 0.50041
D3 0.36802 0.26148 0.04839
ENP 0.60706 0.56164 -0.64207
βr =0.714 X,fOC=1.3548,IH=0.040323
【0024】
数値例2
r0 =基準面 d0 =0.050847
r1 =0.4925442 d1 =0.0834281 n1 =1.48749 ν1 =70.2
r2 =-0.474812 d2 =0.0423728 n2 =1.6765 ν2 =37.5
r3 =-1.182482 d3 =D1 (可変)
r4 =-0.523820 d4 =0.0211864 n3 =1.834 ν3 =37.2
r5 =0.2682305 d5 =0.0607603
r6 =-0.138451 d6 =0.0254237 n4 =1.7552 ν4 =27.5
r7 =0.3546701 d7 =0.0874550 n5 =1.80518 ν5 =25.4
r8 =-0.219867 d8 =D2 (可変)
r9 =1.3224827 d9 =0.0338983 n6 =1.85026 ν6 =32.3
r10=0.6696354 d10=0.0595425 n7 =1.48749 ν7 =70.2
r11=-0.529872 d11=D3 (可変)
r12=∞ d12=0.3813559 n8 =1.51633 ν8 =64.1
r13=∞ d13=0.0084745
r14=0.8065133 d14=0.0738292 n9 =1.60311 ν9 =60.7
r15=-0.539466 d15=0.0254237 n10=1.7847 ν10=26.2
r16=-1.552770 d16=1.5723571
r17=∞ d17=0.2203389 n11=1.51633 ν11=64.1
r18=∞ d18=0.0664603
r19=-0.328386 d19=0.0256057 n12=1.85026 ν12=32.3
r20=0.3641288 d20=0.0458154 n13=1.71736 ν13=29.5
r21=-0.415556 d21=0.0951693
r22=∞ d22=0.3389830 n14=1.51633 ν14=64.1
r23=∞ d23=0.0254237
r24=24.324563 d24=0.0338983 n15=1.6445 ν15=40.8
r25=0.5318231 d25=0.0677966 n16=1.60311 ν16=60.7
r26=-0.525972 d26=1.01695
r27=開口絞り
AP=1.0169491 ,AD=0.09322 ,A=0.10169
βZ 0.375X 0.75X 1.5 X
D1 0.05128 0.33268 0.47337
D2 0.35445 0.25324 0.05847
D3 0.23104 0.05085 0.11256
ENP 0.18528 0.48537 -0.78405
βr =0.714 X,fOC=1.4237,IH=0.042373
【0025】
数値例3
r0 =基準面 d0 =0.050847
r1 =18.627873 d1 =0.0247486 n1 =1.741 ν1 =52.7
r2 =-4.252746 d2 =0.0042372
r3 =0.9474827 d3 =0.0681677 n2 =1.72916 ν2 =54.7
r4 =-1.180707 d4 =0.0423728 n3 =1.80518 ν3 =25.4
r5 =-5.860852 d5 =D1 (可変)
r6 =-0.396629 d6 =0.0211864 n4 =1.85026 ν4 =32.3
r7 =0.3824245 d7 =0.0487516
r8 =-0.405606 d8 =0.0338983 n5 =1.53996 ν5 =59.5
r9 =0.3183145 d9 =0.0482891 n6 =1.80518 ν6 =25.4
r10=1741.561 d10=D2 (可変)
r11=1.4346549 d11=0.0381355 n7 =1.834 ν7 =37.2
r12=0.4381331 d12=0.0831096 n8 =1.618 ν8 =63.4
r13=-0.440553 d13=0.3411328
r14=∞ d14=0.3813559 n9 =1.51633 ν9 =64.1
r15=∞ d15=0.0084745
r16=0.5284915 d16=0.0957926 n10=1.618 ν10=63.4
r17=-0.526626 d17=0.0482751 n11=1.834 ν11=37.2
r18=-5.096974 d18=1.4915253
r19=∞ d19=0.2203389 n12=1.51633 ν12=64.1
r20=∞ d20=0.0186949
r21=-3.573787 d21=0.0961652 n13=1.834 ν13=37.2
r22=-0.543674 d22=0.0338983 n14=1.56732 ν14=42.8
r23=0.4358255 d23=0.0334448
r24=∞ d24=0.3559322 n15=1.51633 ν15=64.1
r25=∞ d25=0.0254237
r26=1.0161958 d26=0.0430328 n16=1.7847 ν16=26.2
r27=0.6530680 d27=0.0586621 n17=1.618 ν17=63.4
r28=-0.738788 d28=0.92308
r29=開口絞り
AP=1.0169491 ,AD=0.09322 ,A=0.10169
βZ 0.45 X 0.9 X 1.8 X
D1 0.0508474 0.3673346 0.5255765
D2 0.2459698 0.1809286 0.0508474
D3 0.3411327 0.0896868 0.0615261
ENP 0.2286542 0.0465839 -1.32839
βr =0.794 X,fOC=1.4237,IH=0.056483
上記の数値例は、変倍系の最大長で規格化した値である。データー中r1 ,r2 ,・・・ は各レンズ面の曲率半径(基準面r0は実施例では第2反射部材の射出面)、d1 ,d2 ,・・・ は各レンズの肉厚およびレンズ間隔、n1 ,n2 ,・・・ は各レンズの屈折率、ν1 ,ν2 ,・・・ は各レンズのアッベ数である。又ADは変倍光学系の光軸に対する左右の接眼光学系の光軸の偏芯量、Aは接眼光学系の開口絞りの径、APは接眼光学系の開口絞りとアフォーカルリレー光学系を含む変倍光学系の最終面との光軸方向の距離(プリズム等を含む場合は空気換算長)、IHは接眼光学系の光軸からの最大像高、HHは第2レンズ群の主点間隔、βZ はアフォーカル変倍光学系の倍率、βr はアフォーカルリレー光学系の倍率、ENPは入射瞳位置、fOCは結像レンズの焦点距離である。
【0026】
数値例1(第1の例)は、図7、図8に示す通りで、図7の第13面(r13)までがアフォーカル変倍光学系、図8の第25面(r25)までがアフォーカルリレー光学系である。
【0027】
又図7に示すガラスブロック(r 12 〜r 13 )は反射部材(プリズム)5、図8に示すガラスブロック(r 17 〜r 18 )は反射部材7c、ガラスブロック(r 21 〜r 22 )は反射部材7dであり、面r16と面r17の間には反射部材7a,7bが配置されているがこの数値例1は反射部材7a,7bとしミラーを設けたものであり、データー並びに図8には示していない。また収差状況は図13乃至図15の通りである。
【0028】
数値例2(第2の例)は、図9、図10に示す通りで、図9の第13面(r13)までがアフォーカル変倍光学系、図10の第26面(r26)までがアフォーカルリレー光学系である。
【0029】
この数値例2も図9のガラスブロック(r 12 〜r 13 )が反射部材5、図10のガラスブロック(r 17 〜r 18 )および(r 22 〜r 23 )が夫々反射部材7c、7dであり、又面r16と面r17の間には反射部材7a,7bに相当する2枚のミラーが配置されているがデーターおよび図10には示していない。この数値例2の収差状況は図16乃至図18の通りである。
【0030】
数値例1では、変倍光学系中の第1群(r 1 〜r 3 )と第2群(r 4 〜r 8 )を移動させて変倍を行なっているが、この数値例2では、変倍光学系中の第2群(r 4 〜r 8 )と第3群(r 9 〜r 11 )を移動させて変倍を行なっている。これによって最低倍率の瞳の位置を最高倍率の入射瞳位置に近づけやすくなり、観察視野を広げる場合に有効である。
【0031】
数値例3(第3の例)は、図11、図12に示す通りで、図11の第15面(r15)までがアフォーカル変倍光学系、図12の第28面(r28)までがアフォーカルリレー光学系である。
【0032】
この数値例3も図11のガラスブロック(r 14 〜r 15 )が反射部材5、図12のガラスブロック(r 19 〜r 20 )および(r 24 〜r 25 )が反射部材7c、7dであり、又面r18と面r19の間には反射部材7a,7bに相当する2枚のミラーが配置されているがデーターおよび図12には示していない。この数値例の収差状況は図19乃至図21に示す通りである。
【0033】
この数値例は、倍率、解像、立体感を上げた例である。
【0034】
これらの光学系は、いずれも入射瞳付近に対物レンズをおけば対物レンズの直径を小さく出来る。
【0035】
【発明の効果】
本発明の実体顕微鏡は、アフォーカル変倍光学系と共にアフォーカルリレー光学系を用いることによって小型で低いアイポイントで、しかも良好な光学系になし得るものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実体顕微鏡の構成を示す図
【図2】本発明の実体顕微鏡の鏡筒部の1例を示す図
【図3】本発明の実体顕微鏡の他の構成を示す図
【図4】本発明の実体顕微鏡の更に他の構成を示す図
【図5】本発明の実体顕微鏡の鏡筒部の他の例を示す図
【図6】本発明の実体顕微鏡の鏡筒部の更に他の例を示す図
【図7】本発明の実体顕微鏡で用いる変倍光学系の第1の例を示す断面図
【図8】本発明の実体顕微鏡で用いるリレー光学系の第1の例を示す断面図
【図9】本発明の実体顕微鏡で用いる変倍光学系の第2の例を示す断面図
【図10】本発明の実体顕微鏡で用いるリレー光学系の第2の例を示す断面図
【図11】本発明の実体顕微鏡で用いる変倍光学系の第3の例を示す断面図
【図12】本発明の実体顕微鏡で用いるリレー光学系の第3の例を示す断面図
【図13】前記の変倍光学系とリレー光学系よりなる光学系の第1の例の横収差図
【図14】前記の変倍光学系とリレー光学系よりなる光学系の第1の例の左右方向の非点収差図
【図15】前記の変倍光学系とリレー光学系よりなる光学系の第1の例の垂直方向の非点収差図
【図16】前記の変倍光学系とリレー光学系よりなる光学系の第2の例の横収差図
【図17】前記の変倍光学系とリレー光学系よりなる光学系の第2の例の左右方向の非点収差図
【図18】前記の変倍光学系とリレー光学系よりなる光学系の第2の例の垂直方向の非点収差図
【図19】前記の変倍光学系とリレー光学系よりなる光学系の第3の例の横収差図
【図20】前記の変倍光学系とリレー光学系よりなる光学系の第3の例の左右方向の非点収差図
【図21】前記の変倍光学系とリレー光学系よりなる光学系の第3の例の垂直方向の非点収差図
【図22】従来の実体顕微鏡の構成を示す図
【符号の説明】
2 対物レンズ
3 反射部材
4 変倍光学系
5 反射部材
6 アフォーカルリレー系のレンズ群
7 反射部材
8 アフォーカルリレー系のレンズ群
10L,10R 左右の開口絞り
Claims (12)
- 対物レンズと変倍光学系とリレー光学系とを同軸で有し、前記変倍光学系の光軸から偏芯した位置に複数の瞳が設定されるように前記光軸から偏芯した位置に複数の開口絞りを設定し、前記対物レンズは水平方向の光軸を有し、物体からの光束を前記対物レンズに向ける第1の反射部材と、水平方向の光束を垂直方向に向ける第2の反射部材と、垂直方向の光束を水平方向に向ける第3の反射部材と、前記リレー光学系中に配置され光束を物体からの光束と同じ方向に向ける第4の反射部材を少なくとも有し、前記第4の反射部材が前記第1の反射部材の近傍に配置され、前記リレー光学系により前記複数の瞳をリレー結像することを特徴とする実体顕微鏡。
- 立体観察のための左右光路を有するズーム光学系において、前記ズーム光学系は、複数の部材からなるアフォーカル変倍光学系とそれに続くアフォーカルリレー光学系とからなり、前記ズーム光学系の物体側に水平方向の光軸を有する対物レンズが配置され、物体からの光束を前記対物レンズに向ける第1の反射部材と、水平方向の光束を垂直方向に向ける第2の反射部材と、垂直方向の光束を水平方向に向ける第3の反射部材と、前記アフォーカルリレー光学系中に配置され光束を物体からの光束と同じ方向に向ける第4の反射部材を少なくとも有し、前記第4の反射部材が前記第1の反射部材の近傍に配置され、前記アフォーカルリレー光学系は少なくとも二つの開口絞りを前記アフォーカル変倍光学系に結像することを特徴とするズーム光学系。
- 物体側から順に対物レンズと変倍光学系とリレー光学系とを同軸で有し、前記変倍光学系の光軸から偏芯した位置に複数の瞳が設定されるように、前記リレー光学系の像側で前記光軸から偏芯した位置に複数の開口絞りを設定し、前記変倍光学系の倍率が最大の時に前記変倍光学系の物体側から見た前記開口絞りの像が前記対物レンズの付近に形成されることを特徴とする実体顕微鏡。
- 立体観察のための左右光路を有するズーム光学系において、前記ズーム光学系は、物体側から順に複数の部材からなるアフォーカル変倍光学系とそれに続く1回結像のアフォーカルリレー光学系とからなり、前記ズーム光学系の物体側に対物レンズが配置され、前記アフォーカルリレー光学系の像側に開口絞りが配置され、前記アフォーカル変倍光学系の倍率が最大の時に前記ズーム光学系の入射側から見た前記開口絞りの像が前記対物レンズの付近に形成されることを特徴とするズーム光学系。
- 前記開口絞りより物体側の光学系で像の回転がなく、前記開口絞りの後に左右の光束を入れ替えることを特徴とする請求項1又は3の実体顕微鏡。
- 前記開口絞りより物体側の光学系で像が180°回転され、前記開口絞りの後に左右それぞれに正立光学系を設けたことを特徴とする請求項1又は3の実体顕微鏡。
- 前記リレー光学系中に、複数の光束に分岐するための光分割素子を設けたことを特徴とする請求項1又は3の実体顕微鏡。
- 前記リレー光学系の倍率が1より大きいことを特徴とする請求項1又は3の実体顕微鏡。
- 前記アフォーカルリレー光学系中に、複数の光束に分岐するための光分割素子を設けたことを特徴とする請求項2又は4のズーム光学系。
- 前記アフォーカルリレー光学系の倍率が1より大きいことを特徴とする請求項2又は4のズーム光学系。
- 光分割素子をさらに有し、該光分割素子で分岐されたそれぞれの光路に設定された開口絞りのリレー位置の範囲の中間を前記対物レンズ付近に調整することを特徴とする請求項1の実体顕微鏡。
- 光分割素子をさらに有し、該光分割素子で分岐されたそれぞれの光路に設定された開口絞りのリレー位置の範囲の中間を、前記対物レンズ付近に調整することを特徴とする請求項2のズーム光学系。
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