JP3752356B2 - 実体顕微鏡 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、対物レンズと、少なくとも一つの結像面を含んでいて対物レンズと同軸の左右共通の変倍光学系と、変倍光学系の後方に配置されていて夫々が開口絞りと結像レンズと接眼レンズを含んでいる左右1対の観察光学系とを備えており、左右1対の開口絞りにより夫々決定される左右の観察光軸が変倍光学系の光軸とは異なるところを通る実体顕微鏡に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
実体顕微鏡は、物体の拡大された立体的な情報が得られるために、観察物体への作業を行なう時に有効である。特に実体顕微鏡は、手術用顕微鏡として有効に用いられるもので、まず手術用顕微鏡について述べる。
【0003】
手術用顕微鏡は、より難しい手術を可能にするために、複数の人により同時に自由な方向からの観察を行ない得るように構成することが望まれている。そのために、特開平5−173079号公報に記載されている実体顕微鏡のように左右の目で観察する夫々の像を形成する光束が一つの変倍光学系を通るようにした手術用顕微鏡が知られている。
【0004】
この公報には、変倍系の後方に設けられた左右光路用の開口絞りを変倍系の光軸の周りに回転させることにより回転方向を自由に変えられることが開示されている。
【0005】
又、この種の実体顕微鏡の他の従来例として、特開平7−140395号公報に記載された光学系がある。この従来例は、前述の従来例である特開平5−173079号公報に記載された実体顕微鏡の変倍光学系の後方に1回結像リレー光学系を設けることによって、諸収差を改善し、コンパクトにしたものである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来例の実体顕微鏡は、光学系の色収差としてC線とF線の色収差を抑えたアクロマート設計の光学系である。無偏芯の光学系においては、アクロマート設計でも色が目立たないが、この従来例のように偏芯光学系の場合、色が目立つ欠点が生ずる。それは偏芯によりNAが大になったのと同等となり、又観察光学系はその軸上でも倍率の色収差による色の横ずれが発生する。倍率の色収差を有する光学系は、左右観察像の内側と外側(以後夫々内方、外方と呼ぶ)で像の輪郭に違った色がでる。例えば前記従来例の場合、像の内方が黄色で外方が紫色になる。このように色付いた像を、立体視のために融像しようとすると、左目の内方と右目の外方とを合わせることになり、黄色と紫色とが重なり、像がちらついているように見え眼性疲労が増大する。このような像を観察することは、特に長時間の作業を要する手術用顕微鏡としては不適当である。
【0007】
上記の倍率の色収差は、像の外方に紫色が現われることから、通常のC線とF線の補正による色収差の補正では不十分であって、C線とF線に加えてg線の色補正をも行なうアポクロマート並の設計が必要になる。つまり2次スペクトルの補正が要求される。
【0008】
本発明は、前述のような偏芯変倍光学系を備えた実体顕微鏡であって、諸収差特に色収差の2次スペクトルを補正した実体顕微鏡を提供するものである。
【0009】
又、本発明は操作性を一層向上させて作業性が良く、長時間作業を行なっても疲労の少ない実体顕微鏡を提供するものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の実体顕微鏡は、対物レンズと、この対物レンズと同軸の変倍光学系と、1回リレーの1回結像リレー光学系とからなる1軸光学系(同一軸上に中心軸が位置するように配置された光学系)と、このリレー光学系の後方に配置されていて左右一対の開口絞りと結像レンズと反射部材と、接眼レンズとからなる少なくとも左右一対の観察光学系とよりなり、一対の開口絞りにより決定される観察光学系の光軸が1軸光学系の光軸と異なる位置を通る光学系で、変倍レンズとリレーレンズ中に含まれる正レンズのうちに下記条件(1)を満足する異常分散光学部材よりなるレンズを有することを特徴としている。
【0011】
(1) ΔθgF>0.01 、 νd >50
ただし、ΔθgFは部分分散の偏り、νd はd線のアッベ数である。
【0012】
本発明の実体顕微鏡は、図16に示す構成のもので、この図において1は対物レンズ、2は対物レンズ1と同軸の変倍光学系、3は1回結像リレーを行なうリレー光学系、4はリレー光学系3の後方に左右一対配置されている明るさ絞り、5は左右の開口絞りの後方に夫々配置された左右の結像レンズ、7は左右の接眼レンズで、開口絞り4から接眼レンズ7までで観察光学系を構成する。尚結像レンズ5と接眼レンズ7との間に反射部材等が配置されることがある。この図16に示す実体顕微鏡は、左右一対の開口絞り4によって決定される少なくとも一つの観察光学系の左右二つの光軸(観察光軸)AX1 ,AX2 が対物レンズ、変倍光学系および1回結像リレー光学系よりなる1軸光学系の回転対称軸(以後対物光軸と称す)AXと異なったところを通る顕微鏡である。又、前記1回結像リレー光学系3はその光学系中にリレー系の結像点I1 を有している。又開口絞り4から接眼レンズ7までの観察光学系は、図示しない鏡筒内に収納されている。尚、開口絞り4は1回結像リレー光学系3との間隔が短い場合には鏡筒内に収納されるが、1回結像リレー光学系3との間隔が長い場合には鏡筒の外に配置されることもある。
【0013】
ここで、本発明の実体顕微鏡の光学系中に用いられる異常分散性光学材料の異常分散性について述べる。
【0014】
通常の収差補正は、d線を基準波長として球面収差などの単色収差を補正する。また、色収差は、C線とF線との差が小さくなるように補正する。この色収差の補正の指標として次のように定義されるアッベ数νd がある。
νd =(nd −1)/(nF −nC ) (A)
【0015】
色収差の補正のためには、アッベ数の大きいガラスを凸レンズに用い、又アッベ数の小さいガラスを凹レンズに用い、これらアッベ数の差が大きい程色収差を補正しやすい。
【0016】
しかし、上記の収差補正手段では、C線からF線までの波長範囲の色しか補正できず、上記波長範囲からずれた波長の色が発生し上記波長範囲から離れる程色が発生しやすい。特に屈折率の変化の大きい短波長側では、色の発生が大であり紫色に見える。これを補正するためには、紫色のg線に対しての補正が必要である。このg線の補正のための指標として下記式(B)にて示されるθgFがある。
θgF=(ng −nF )/(nF −nC ) (B)
【0017】
光学ガラスにおけるνd とθgFとの関係をグラフに示すと、通常のガラスは、ほぼ一直線上に並ぶ。その一例を示すと図22に示す通りである。この通常のガラスの分布を表わす標準的な直線は次の式Cに示す通りである。
θ=−0.0162ν+0.6416 (C)
【0018】
尚、図22は株式会社オハラのカタログに記載されたものをそのまま載せたもので、したがって式(C)もこのカタログに示すものにもとづいて求めた。
【0019】
しかし、この直線状に乗っているガラスのみでは、g線をも含めた2次スペクトルの補正はできない。2次スペクトルの補正についての指標として式(B)からのずれ量を下記式にて示す通りの異常分散の偏りΔθgFとして定義する。
ΔθgF=θgF−θ
【0020】
上記式にて示すΔθgFの絶対値が大きい程2次スペクトルの補正を行ないやすく、本発明においては、異常分散性光学材料による色収差の補正が効果的に行なわれるように前記条件(1)にて示すようにΔθgF>0.01とした。又ΔθgFの値が前記条件(1)を満足する光学材料は、アッベ数νd の値の大きい材料であるために異常分散性光学材料は、凸レンズに用いるのが効果的であり、又νd が条件(1)を満足することが望ましい。つまりνd >50であることが望ましい。
【0021】
もし条件(1)を満足しないと異常分散性光学材料を用いたことによる効果があまり得られない。
【0022】
また本発明の実体顕微鏡において、特に良好な補正をするためには、条件(1)の代りに下記条件(1−1)を満足すれば、色収差を一層良好に補正できるので望ましい。
(1−1) ΔθgF>0.025 、 νd >75
【0023】
前述の通りの本発明の実体顕微鏡において、変倍光学系は、偏芯変倍光学系であるので変倍を行なうことにより観察光軸が変化する。特に、変倍光学系中の物体側の正の焦点距離を持つレンズ群において観察光軸が変化する。
【0024】
図16に示す実体顕微鏡において、変倍光学系により最低倍率から最高倍率へ変化させた時、観察光軸はAXmin からAXmax に変化する。この場合、変倍光学系の最も物体側のレンズ群(第1群)における光軸の変化が特に大きい。
【0025】
このように本発明の実体顕微鏡は、変倍を行なうことによって観察光軸が変化するために諸収差の補正を行ないにくく、特に色収差は、低倍の時と高倍の時の発生量が変化し収差補正が困難である。
【0026】
本発明の実体顕微鏡において、変倍光学系の第1群(最も物体側のレンズ群)の凸レンズに異常分散ガラスを採用すれば低倍から高倍への変化による色収差の変化を少なくすることが可能になる。又、低倍側では変倍光学系の正の焦点距離を持つレンズ群のうち最も像側に位置するレンズ群が第1群よりに位置しこの最も像側の正の群における光線高が高くなる。そのために低倍側では、第1群のみでは色収差を十分良好に補正できないことがある。その場合、正のレンズ群のうちの最も像側のレンズ群に異常分散ガラスを採用することにより色収差の補正が可能になる。
【0027】
又、変倍光学系とリレー光学系との間に分割素子を設け光路中に撮影系を配置しない場合(変倍光学系とリレー光学系の間に他の光学系等が存在しない場合)は、変倍光学系とリレー光学系の結像点までの光学系で収差補正をすればよい。したがって、この場合はリレー光学系の結像点よりも後方のレンズ系中に異常分散光学部材を配置すれば色収差を良好に補正できる。
【0028】
また、変倍光学系とリレー光学系との間に光路分割素子等を配置して光束を分割する場合、変倍光学系、リレー光学系各々で収差を補正しなければならない。この場合、リレー光学系をリレー結像点の前後に分け、そのうちの焦点距離の長い方のレンズ群中の凸レンズに異常分散ガラスを用いれば色収差を良好に補正することが可能になる。又、リレー光学系がリレー結像点の前後で焦点距離が等しい場合は、リレー光学系中の焦点距離の短い凸レンズに異常分散ガラスを用いればよい。
【0029】
又、リレー光学系に異常分散ガラスを用いたレンズを1枚のみ採用する場合は、リレー系結像点の前と後の光学系全体で色収差が補正されるようにしてあるため結像点での色収差が残る。この結像点に指標や他の画像を入れると色収差が目立つ。これをさけるためには、リレー系結像点前後に異常分散ガラスを用いて結像点での色収差を補正することが望ましい。
【0030】
次に本発明の実体顕微鏡の変倍光学系の構成について述べる。
【0031】
この変倍光学系は、入射する光線と出射する光線をアフォーカルにしており、これにより同焦移動や反射面による誤差による像のずれが小さいようにしている。この変倍光学系として、物体側から順に、正の焦点距離の第1群と負の焦点距離の第2群と、正の焦点距離の第3群との3群構成が考えられる。
【0032】
又変倍光学系をこのような3群構成とした場合、各レンズ群を次のような構成にすることが望ましい。つまり第1群は、物体側より順に、物体側に凸面を向けたメニスカス形状のレンズ成分と正のレンズ成分とにて構成し、第2群は物体側から順に、負のレンズ成分とメニスカスレンズ成分とにて構成し、第3群は物体側から順に、像側に凸面を向けたメニスカスレンズ成分と正のレンズ成分とにて構成することが望ましい。
【0033】
このように、第1群を物体側から順に正のレンズ成分とメニスカスレンズ成分とせずに、メニスカスレンズ成分と正のレンズ成分とすれば、第1群の主点位置と第2群の主点位置とが離れるのをさけることができる。第1群と第2群の主点位置が離れると、両群のパワーが強くなり、諸収差の補正が困難になる。又第1群のメニスカスレンズ成分を凸面が物体側を向くようにすることにより、変倍による倍率の色収差の変動を少なくすることが可能である。
【0034】
又本発明においては、変倍光学系の最も物体側の正のレンズ群(第1群)と最も像側の正のレンズ群(第3群)とに夫々異常分散性の光学材料を用いたレンズを設けることにより、2次スペクトルが目立たないようになし得る。
【0035】
又前記の第1群が次の条件(2)を満足することが望ましい。
【0036】
(2) 0.65<fV1/LV <1.45
ただし、LV は変倍光学系の最大長、fV1は変倍光学系の第1群の焦点距離である。
【0037】
条件(2)の上限の1.45を超えると変倍光学系の全長が長くなり、又対物レンズや変倍光学系第1群が大型になり観察光学系が物体から離れ物体の直視がしにくくなる。下限の0.65を越えると変倍光学系の各レンズ群のパワーが強くなり収差補正が困難になる。
【0038】
又、変倍光学系が下記条件(3)、(4)を満足することが望ましい。
【0039】
(3) fp1/fV1<1
(4) fp3/fV3<1
ただし、fV1、fV3は夫々変倍光学系の第1群および第3群の焦点距離、fp1,fp3は夫々第1群および第3群中の異常分散ガラスを用いたレンズの焦点距離である。
【0040】
条件(3)、(4)を満足しないと、異常分散ガラスの異常分散性による色収差の補正効果が得られず色収差が残存する。
【0041】
又、本発明の実体顕微鏡において、変倍光学系の変倍比を大にするためには、変倍光学系を次に示すように4群構成にすることが望ましい。即ち物体側から順に、正の第1群と、負の第2群と、正の第3群と、負の第4群とにて構成することが望ましい。又、第1群は、物体側から順に、正のレンズ成分と正のレンズ成分にて構成し、第2群は、物体側から順に、負のレンズ成分と負のレンズ成分にて構成し、第3群は、物体側から順に、正のレンズ成分と正のレンズ成分とにて構成し、第4群は、負のレンズ成分にて構成することが望ましい。
【0042】
以上のように変倍光学系を構成することにより、変倍比を大にししかも諸収差を良好に補正し得る。
【0043】
又、この4群構成の変倍光学系においては、下記条件(2−1)を満足するようにすることが望ましい。この条件(2−1)を満足しないと、3群構成の変倍光学系において述べたのと同じ理由から望ましくない。
(2−1) 0.34<fV1/LV<1.4
【0044】
この4群構成の変倍光学系における正のレンズ群中の最も像側のレンズ群は、第3群である。したがって第1群中と第3群中に夫々条件(1)又は条件(1−1)を満足する異常分散性光学材料よりなる凸レンズを配置することが望ましい。
【0045】
本発明の実体顕微鏡の対物レンズは、最も簡単な構成として一つの正のレンズ成分よりなる正のレンズ群のみにて構成することが考えられる。この場合正のレンズ成分としては、例えば負レンズと正レンズを接合した接合レンズ成分にて構成することが好ましい。
【0046】
又顕微鏡対物レンズには、対物レンズを交換することなしに、対物レンズを構成するレンズ群を移動させて作動距離を変化させるものがある。このようなタイプの対物レンズは、対物レンズの焦点距離よりも対物レンズ先端から物体までの距離が長い方が、同じ倍率で長い作動距離になし得るため、様々な装置に使用でき好ましい。このような対物レンズとして、レトロフォーカスタイプのレンズ系が好ましい。
【0047】
本発明の実体顕微鏡の対物レンズの他の構成は、物体側から順に、正の屈折力の第1群と、負の屈折力の第2群とより構成されたレトロフォーカスタイプのレンズ系である。このタイプの対物レンズは、第1群の凸レンズの焦点距離が短くなり、収差補正が困難になる。本発明においては、前記のように対物レンズの第1群を正レンズと負レンズとを接合した接合レンズ成分にて構成した。又この接合レンズを二つ用いることによりレンズのパワーを分散すれば収差を一層良好に補正することが可能になる。又二つの接合レンズの向きを逆にすることにより、一方の接合レンズにて色収差を発生させもう一方の接合レンズにて補正することにより良好に補正できる。
【0048】
又、対物レンズの合成焦点距離fO と負の第2群の合成焦点距離fO2とが下記条件(5)を満足することが望ましい。
(5) 0.17<−fO2/fO <0.64
【0049】
条件(5)の上限の0.64を越えると、負の第2群のパワーが強くなり収差を良好に補正することが困難になる。又条件(5)の下限の0.17を下回ると対物レンズの全長が長くなる。
【0050】
又対物レンズの正レンズに異常分散ガラスを用いることが好ましい。又、この異常分散ガラスを用いた正レンズの焦点距離をfOp、対物レンズの第1群の焦点距離をfO1とすると、下記条件(6)を満足することが好ましい。
(6) fOp/fO1<2.3
【0051】
この条件(6)を満足しないと異常分散性の効果を発揮できず、倍率の色収差が残存し像の輪郭に色が残る。
【0052】
上記対物レンズにおいて用いられる第1群の接合レンズの正レンズに異常分散ガラスを用いる場合、この異常分散ガラスのレンズと他のレンズとの接合面の曲率が緩いと異常分散の効果が十分に得られない。反対にこの接合面の曲率が強いと非点収差が発生し補正が困難になる。これを補正するためには対物レンズの第1群のレンズを1枚増やすことが好ましい。つまりこの第1群を、物体側から順に、物体側に凸面を向けたメニスカス形状のレンズ成分(正の接合レンズ成分)と、両凸形状のレンズ成分(正の接合レンズ成分)と、両凹形状のレンズ成分(負の接合レンズ成分)にて構成することが好ましい。また二つの正の接合レンズ成分の向きを反対に向けることにより、一方の接合レンズにより色収差を発生させ他の接合レンズにてこれを補正すれば他の収差を良好に保ったまま色収差を良好に補正できる。
【0053】
又、対物レンズの第1群の焦点距離をfO1、異常分散ガラスを用いたレンズの接合面の曲率半径をrOCとする時、下記条件(7)を満足することが望ましい。
(7) rOC/fO1<0.7
【0054】
この条件(7)を満足しないと、異常分散性の効果が十分に得られず、2次スペクトルの補正が困難になる。
【0055】
本発明の実体顕微鏡の対物レンズは、第1群と第2群との偏芯や、第1群の像側のレンズ偏芯による像劣化が目立ちやすい。そのために対物レンズを2群構成にした場合、第1群と第2群の像側のレンズを偏芯調整が可能な構成にすることが望ましい。
【0056】
本発明の光学系は、偏芯系であるため色収差の補正についての色収差係数を一般の収差補正係数にては表わすことができない。しかし、対物レンズから1回結像リレー光学系までは偏芯系でないため、この対物レンズから1回結像リレー光学系までの光学系の光軸上に結像レンズを配置して収差係数を表わすことが出来る。
【0057】
この対物レンズから1回結像リレー光学系に結像レンズを配置した光学系のC線とF線との差の軸外収差係数をPLCとし、又d線とF線との軸外収差係数をSLCとした時、これら収差係数が下記条件(8)、(9)を満足することが望ましい。
【0058】
(8) −0.05<PLC<0.05
(9) −0.05<SLC<0.05
ただし、結像レンズは、焦点距離が210mmで視野数が21で、明るさ絞りの径が10mmとした時の値で、補正係数PLC、SLCは、次の式にて定義される。
PLC=2μhM1{(nF1−nC1)−nR1/nR2(nF2−nC2)}
SLC=2μhM1{(nF1−nd1)−nR1/nR2(nF2−nd2)}
μ=−1/(2nR22
【0059】
又アフォーカル時のμの値は下記の通りである。
μ=−1/(2nR2M2
【0060】
ただし、nR1,nR2は夫々基準波長の入射側および射出側の媒質の屈折率、nF1,nF2は夫々F線の入射側および射出側の媒質の屈折率、nC1,nC2は夫々C線の入射側および射出側の媒質の屈折率、nd1,nd2は夫々d線の入射側および射出側の媒質の屈折率、hM1,hM2は夫々マージナル光線の入射側および射出側光線高、U2 はマージナル光線の射出角である。
前記の条件(8)、(9)を満足しないと、いずれも像の輪郭に発生する輪郭の色が目立ってくる。例えば、両目で見た内側に黄色、外側に青色がでる。これを両眼視すると、2つの色が重なってチラつく。
【0061】
本発明の実体顕微鏡は、前述のように観察光軸が対物光軸に対して偏芯しており、そのために軸上でも倍率の色収差が発生する。したがって倍率の色収差係数が小さいことが本発明の光学系において色収差を補正する上で重要である。
【0062】
又異常分散ガラスは、普通のガラスに比べて膨張係数の差が大である。そのために後に示す実施例のように、異常分散ガラスを用いたレンズと普通のガラスを用いたレンズとを接合した場合、極低温時にレンズが剥れることがある。これをさけるためには、両レンズを接着しないで極僅かの空間をあけて配置することが望ましい。
【0063】
本発明の実体顕微鏡は、手術用顕微鏡として好適なものである。そのために、次に述べるように、光学系全体を手術用に適した構成にした。
【0064】
手術用顕微鏡は、手術に必要な作動距離を確保した上で手術を行なう光学系のアイポイントを物体面に近くする必要がある。
【0065】
又手術用の顕微鏡は、手術を行なう術者がいる側とは反対の側や、側方は、多少大きくなっても手術への影響は少ない。そのために、顕微鏡の手術の影響の少ない方向に突出部を設けその内部に変倍光学系を配置し、反射部材を用いて物体からの光束を変倍光学系に導き、鏡体の入射光束の近くから光束を射出させるようにすることが好ましい。このように構成することによって物体面と観察者の目の位置(アイポイント)との距離を短くすることができる。しかし、光学系を対物レンズと、変倍光学系と、結像レンズとにて構成する場合、反射部材を変倍光学系内に用いないと上述のような構成にはなし得ない。しかし、反射部材を変倍光学系内に配置した場合、反射部材の偏芯誤差が観察光学系の収差に影響を及ぼし、又変倍光学系中に反射部材を配置するためのスペースを確保しなければならず、収差補正が困難になり好ましくない。
【0066】
本発明では、これらの問題を変倍光学系の後ろに1回結像のアフォーカルリレー光学系を配置することにより解決した。
【0067】
又、本発明の実体顕微鏡において反射部材を設けて物体面とアイポイントを近づけるためには、反射面を4面以上設ける必要がる。例えば図17に示すようにリレー光学系3の内部で光束を4回反射するようにすれば、物体面とアイポイントとの距離が短くなる。つまり図17に示すようにリレー光学系3の物体側のレンズと鏡筒側のレンズとの間に反射面M1 、M2 、M3 、M4 を設けた構成である。しかし、対物レンズに入射する光軸とリレー光学系から射出する光軸が一直線上にないため、変倍光学系が一対になっている普通の実体顕微鏡と操作感が異なり、顕微鏡を使用する者にとって好ましくない。これをさけるためには、物体面が1回結像リレー光学系の射出光軸の延長線上に乗るようにすればよい。ここで、対物光学系の入射光軸と1回結像リレー光学系の射出光軸とのなす角αが10°以内ならば操作上問題ない。また、対物レンズの作動距離(WD)が最大の点(WDmax )と最小の点(WDmin )との間で可変であれば、対物レンズへの入射光軸とリレー光学系の射出光軸との交点(WDc )は、WDmax とWDmin の中間であればよい。ただし、特定の作動距離での使用頻度が高い場合には、WDc をその特定の作動距離に設定することが好ましい。このことは、反射回数を更に多くした光学系では小型化にも役立つ。
【0068】
又、反射回数を増やした光学系として例えば、図18に示すような反射面M11〜M18を有する8回反射の光学系が考えられる。この図18に示す光学系では、対物レンズ1と変倍光学系2との間、変倍光学系2とリレー光学系3との間の各レンズ間をアフォーカル光束にし、このアフォーカル光束の部分に反射部材を配置することによって間隔の違いによる焦点距離の変化をおさえることができる。又、リレー光学系3は、光路長が長い方が収差補正上好ましいので、図18の光学系では内部に反射面を3面(M16、M17、M18)設けてリレー光学系3の光路長を長くしている。
【0069】
又、1回結像リレー光学系射出後に図16に示すように少なくとも二つの開口絞り4を結像レンズ5により夫々に結像し、必要に応じて反射部材を用いて像を回転させ、夫々の接眼レンズ7によって像を拡大して左右の目で立体的に観察するようになっている。この図18では結像レンズ、接眼レンズ等を収納している鏡筒は示していないが、この鏡筒をリレー光学系を射出する対物光軸(1軸光学系の回転対称軸)を回転軸として回転し、又は、鏡筒の観察像がけられない範囲で結像リレー系の対物光軸に対し直角な方向に移動させても正常な立体像が得られる。これにより、リレー光学系3を射出後光束を分割して方向を変えることにより自由な方向から複数の観察が可能である。つまり、顕微鏡を主として操作する主観察者と、主観察者以外の複数の副観察者とが夫々自由な方向から観察することが可能になる。
【0070】
次に、上記のように主観察者と複数の副観察者とが同時に自由な方向から観察することを可能にする分割ユニット(主観察側・副観察側分割部)について説明する。
【0071】
図19は分割ユニットの一例を示す図で、2人観察用分割ユニットを示す。この図に示すようにリレー光学系3を射出後分割プリズム9に入射し面9aにて透過光と反射光に分割される。ここで透過側は、顕微鏡を主に操作する主観察者の側である主観察側又反射側は主観察者以外の観察者である副観察者の側である副観察側に夫々向かう。このように分割プリズム9を透過した光は、4回反射ダハプリズム10を通して像を180°回転させ、これにより主観察側の鏡筒14は左右別々の変倍光学系を持つ普通の実体顕微鏡に使われる鏡筒と共通化できる。一方、分割プリズム9を反射した光束は、分割プリズム9内で反射した後に水平方向に対して45°方向に射出して平行四辺形プリズム11に入射する。平行四辺形プリズム11に入射した光束はその内部で2回反射した後に水平方向に対して45°方向に射出する。この平行四辺形プリズム11は、主観察者と副観察者の2人の観察者間の距離を離して両者がぶつかり合わないようにするためのものである。その後平行四辺形プリズム11を射出した光は、3回反射のダハプリズム12に入射し、その内部で反射した後に水平方向に射出する。このように光軸が水平になったところでイメージローテータプリズム13に入射し、イメージローテータプリズム13内で3回反射した後に光軸を変えずにこのイメージローテータプリズム13を射出する。
【0072】
この場合、主観察側と副観察側でリレー光学系3から開口絞りまでの間隔が異なる。両者の間隔を近づけるためには、主観察側では鏡筒14内の結像レンズの像側に開口絞りを設け、又副観察側では、イメージローテータの入射側に開口絞りを設置することにより対応できる。
【0073】
主観察側は、操作部に対して動かないほうが望ましいため、4回反射ダハプリズム10を固定することが望ましい。ただし顕微鏡本体を傾けて使用する場合、つまり水平方向に対し傾いている物体を観察する場合に対応し得るようにするためには、4回反射ダハプリズム10を射出した後の光軸を回転軸(第2回転軸)として鏡筒を回転し(21)得るようにした第2の回転部を構成することが好ましい。ただし、回転する範囲は、左右の接眼位置が水平になる位置から±30°にしてダハプリズム10を小型化し、主観察者のアイポイントと物体面までの距離を近づけると操作性の良い顕微鏡になる。
【0074】
また、副観察側は主観察側に対して向かい合う方向と、右側と、左側に位置し得るように移動し得ることが望ましい。そのために、プリズム9と平行四辺形プリズム11と、3回反射ダハプリズム12とイメージローテータ13と鏡筒15とを一体にしてリレー光学系3の射出光軸を回転軸にして回転(20)させるようにして第1の回転部を構成すれば主観察側に対する副観察側の位置を変え得る。この副観察側の回転に対して主観察側は動かないようにしてある。ここで顕微鏡本体を水平にして主観察側を使用した場合、つまり垂直方向を向いた物体を主観察側で観察する場合、副観察側は図19に示す状態で主観察側に対して右側もしくは左側にあるとき、左右の目の位置が上下になり観察を行なうことは困難である。例えば図19において、図面右側にあり上下方向(垂直方向)を向いた物体を観察するために顕微鏡本体(顕微鏡全体)を反時計方向に回し本体が水平方向を向くようにすると副観察側は上方になり観筒15が上方に移動する。この位置で副観察側のユニットを前記第1の回転部によりその回転軸のまわりに90°回転させると鏡筒15は図面で手前又はその反対側に位置する。この場合、鏡筒の双眼の左右接眼鏡は上下(垂直)を向き観察しにくい状態になる。
【0075】
このような場合、平行四辺形プリズム11の射出光軸を回転軸にして3回反射ダハプリズム12、イメージローテータ13、鏡筒15を回転(22)させる第3の回転部とすればよい。これにより、本体を水平にしても副観察側での観察が行ないやすい状態になし得る。この場合、射出光軸と回転軸(鏡筒15の中心軸)とが一致しない時には、観察像の中心が移動する。しかしこの部分はアフォーカル光束であるので角度を合わせるだけでよい。そのため前記回転軸が球面上にあるように動く(1点を中心に動く)と調整を行ないやすい。
【0076】
又、微妙な角度に本体を傾けた場合、副観察者は首を傾けた状態にて観察し続けなければならないため疲れるので水平にし得るような機構が望まれる。とくに物体面を直接観察することが多い場合、観察像と直接見る像の向きが一致していれば違和感がないので望ましい。そのためイメージローテータ13を用いればよい。つまり、イメージローテータ13と鏡筒15とは3回反射ダハプリズム12の射出光軸を回転軸とした第4の回転部を構成し、この第4の回転部をローテータ13の回転角θに対し鏡筒15の回転角2θの割合で回転させればよい。つまり図19において、第4の回転部の回転軸のまわりにイメージローテータ13と鏡筒15とを前記の割合で回転23および24を行なう。このようにすることにより、直接見た像と顕微鏡による観察像の向きは一致させることができ、左右の目の高さを一致するように調節できる。この調整も、鏡筒の回転角を限定することにより3回反射ダハプリズム12、イメージローテータ13を小型にできる。
【0077】
以上のように、イメージローテータ13を挿入することによって操作が楽になるが、イメージローテータ13と副観察側の鏡筒15の回転角の制御が難しい。そのために高精度な加工が必要になり高価になる。尚この機構は、直接像を見ることの少ない場合必要ない。このように使い勝手を限定してより簡単で安価な構成にした副観察側の光学系の一例(分割ユニットの他の例)を示したのが図20である。この光学系は、3回反射のダハプリズムの代りに3回反射のダハプリズムのダハ面をなくした構成の2回反射プリズム16を用いたものである。
【0078】
この図20に示す分割ユニットは、副観察側の第2の回転軸による回転部までは、つまり分割プリズムの平行四辺形プリズム17までの構成は図19に示す分割ユニットと同じであるが、3回反射ダハプリズム12をダハ面をなくして2回反射プリズム16に、その後方のイメージローテータ13の代りに左右の光束を入れ替えるための反射面を左右の光路にそれぞれ二つ合計四つの反射面を設けた反射部17を設けた点で異なっている。又この図20に示す構成の光学系は、像が倒立像になるため、鏡筒18は倒立鏡筒が用いられる。図21はこの反射部17を斜視図として示したものである。この図21に1点鎖線にて示す光軸は、倒立鏡筒で決まる左右の開口の中心と像面の中心を通る軸である。倒立鏡筒18を左右入れ替え反射部13なしで取り付けると前後が逆に見える逆立体になるので、これをさけるために左右入れ替え反射部17を設けてある。この光学系は、2回反射プリズム16を射出後の結像リレー系の延長した光軸を回転軸として左右入れ替え反射部17と倒立鏡筒18とを一体に回転(25)することにより観察する方向を自由に選べる光学系になし得る。
【0079】
なお、実体顕微鏡に使用される鏡筒で、楽な姿勢で観察を可能にするために、傾斜角を変え得るようにしたものがある。又、このように傾斜角を変え得るようにした鏡筒のうちイメージローテータを備えたものがある。このような鏡筒ではこの鏡筒内のイメージローテータを90°回転させることにより、正立鏡筒14を倒立鏡筒18に切り換えて使用することができる。これにより、主観察側の鏡筒、副観察側の鏡筒というように2種類の異なる鏡筒を作らなくて済む。
【0080】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態特に一軸光学系の実施例について述べる。
【0081】
本発明の実体顕微鏡の一軸光学系(対物レンズ、変倍光学系、1回結像リレー光学系よりなる光学系)の各実施例は、下記の通りである。
Figure 0003752356
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【0082】
Figure 0003752356
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【0083】
Figure 0003752356
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Figure 0003752356
【0084】
Figure 0003752356
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ただしr1 ,r2 ,・・・ は各レンズ面の曲率半径、d1 ,d2 ,・・・ は各レンズの肉厚およびレンズ間隔、n1 ,n2 ,・・・ は各レンズの屈折率、ν1 ,ν2 ,・・・ は各レンズのアッベ数である。又fは1軸光学系の焦点距離、FNは視野数、aは開口絞りの径、Dは左右結像レンズの光軸間隔、LR はリレー光学系の最も像側の面から開口絞りまでの距離である。
【0085】
実施例1は、図1、図2に示す通りの構成であって、図1が倍率が0.31倍、図2が1.25倍の時の状態を示す。
【0086】
この実施例は、対物レンズが負のメニスカスレンズと正レンズとからなるレンズ成分よりなり変倍光学系が、正の第1群と負の第2群と正の第3群の3群ズームレンズを構成し、そのうちの第1群が正レンズと負レンズとからなるメニスカス形状のレンズ成分と単レンズの正のレンズ成分とよりなり、第2群が単レンズの負のレンズ成分と負レンズと正レンズとからなりメニスカス形状のレンズ成分とよりなり、第3群が単レンズのメニスカスレンズ成分と負のメニスカスレンズと正レンズとからなる正のレンズ成分とよりなる。又、1回結像リレー光学系は、単レンズの正のレンズ成分と正レンズと負レンズとからなり全体としてメニスカス形状の正のレンズ成分と、負レンズと正レンズとからなり全体としてメニスカス形状の負のレンズ成分と、結像点の後に配置された負のメニスカスレンズと正レンズとからなる正のレンズ成分とよりなる。尚図2に示すOは対物レンズ、Vは変倍光学系、Reは1回結像リレー光学系である。
【0087】
この実施例1は、変倍光学系の第1群と第3群とに、又リレー光学系の結像点の前後とに夫々1枚ずつ凸レンズに異常分散光学ガラスを用いている。つまり、変倍光学系第1群の最も物体側の両凸レンズ(r10〜r11)、同第3群の最も像側の両凸レンズ(r23〜r24)、リレー光学系の第2番目のレンズ成分の物体側の両凸レンズ(r31〜r32)、同光学系の最も像側の凸レンズ(r40〜r41)が異常分散光学ガラスである。
【0088】
この実施例1の光学系は、上記各レンズに異常分散光学ガラスを用いることにより、1軸光学系特に変倍光学系が偏芯光学系であるにも拘らず、図14、図15の収差図のように諸収差が良好に補正され、特に色収差の2次スペクトルが良好に補正されている。これら収差図のうち、図14は倍率が0.31倍の時、図15は倍率が1.25倍の時の図13に示す結像レンズを設けての収差図である。又、(A)は偏芯方向の球面収差、(B)は偏芯方向に対し90°の方向の球面収差、(C)は非点収差、(D)は歪曲収差、(E)は倍率の色収差であり、これら収差のうち球面収差は開口比1.0、又非点収差、歪曲収差、倍率の色収差は、像高が10.50である。
【0089】
尚この実施例1のデータ中r42〜r46が1回結像リレー光学系の後方に配置される結像レンズに関するもので、図13に示す構成のレンズ系である。又データ中のd41が1回結像リレー光学系の最終面から結像レンズの第1面までの距離である。
【0090】
実施例2は、図3乃至図6に示す構成である。これら図のうち図3は倍率が0.36倍、図4は倍率が0.23倍、図5は倍率が1.4倍、図6は倍率が0.9倍の時の状態を示してある。この実施例は、作動距離可変の対物レンズを用いた例である。
【0091】
この実施例2は、対物レンズが負のメニスカスレンズと両凸レンズとからなる正のレンズ成分と、両凸レンズと負のメニスカスレンズとからなる正のレンズ成分とよりなる正の屈折力の第1群と、両凹レンズと正のメニスカスレンズとからなる負のレンズ成分よりなる負の屈折力の第2群より構成されたレトロフォーカスタイプのレンズ系である。又、変倍光学系が正の第1群と、負の第2群と、正の第3群よりなり、正の第1群は正レンズと両凹レンズとからなる正のレンズ成分と両凸単レンズの正のレンズ成分とよりなり、第2群は両凹単レンズの負のレンズ成分と両凹レンズと両凸レンズとからなり全体としてメニスカス形状のレンズ成分とよりなり、第3群は正のメニスカス単レンズの正のレンズ成分と負のメニスカスレンズと両凸レンズとからなる正のレンズ成分とよりなる。又、1回結像リレー光学系は、結像点より物体側が両凸単レンズの正のレンズ成分と両凸レンズと両凹レンズとからなる正のメニスカス形状のレンズ成分と両凹レンズと平凸レンズとからなるレンズ成分とよりなり結像点より後方に負のメニスカスレンズと両凸レンズからなるる正のレンズ成分よりなる。
【0092】
この実施例2は、実施例1とは異なり作動距離可変の対物レンズを用いた実施例である。この実施例は、対物レンズの凸のレンズ群、変倍光学系の第1群と第3群、1回結像リレー光学系の結像点の前後の夫々一つの凸レンズに異常分散光学ガラスが用いられている。つまり対物レンズの最も物体側の正のレンズ成分の両凸レンズ(r2 〜r3 )と、変倍光学系の第1群の正のレンズ成分の両凸レンズ(r16〜r17)と、変倍光学系の第3群の正のレンズ成分の両凸レンズ(r29〜r30)と、1回結像リレー光学系の結像点より前の正のレンズ成分と後の正のレンズ成分中の両凸レンズ(r38〜r39およびr47〜r48)が異常分散ガラスより形成されている。
【0093】
以上のように実施例2の光学系は、1軸光学系が偏芯系であり又作動距離が可変であるが諸収差が良好に補正され、特に2次スペクトルが良好に補正されている。
【0094】
実施例3は、図7、図8、図9、図10に示す通りで、夫々倍率が0.36倍、0.23倍、1.4倍、0.9倍の時の状態を示す。この実施例3は、対物レンズの正のレンズ成分中の凸レンズ(r5 〜r6 )に、又変倍光学系の第1群と第3群の凸レンズ(r18〜r19およびr31〜r32)に、又1回結像リレー光学系の結像点前後の凸レンズ(r40〜r41およびr49〜r50)に異常分散性の光学ガラスを用いている。
【0095】
この実施例3は、対物レンズの最も物体側にメニスカス形状のレンズ成分を加えることにより非点収差、倍率の色収差を補正した光学系である。
【0096】
実施例4は、図11、図12に示す構成で、夫々倍率が0.3倍、1.7倍の時の状態を示す図である。この実施例は、変倍光学系の変倍比を高くするために4群構成にしたことを特徴とする。つまり実施例4は、負レンズと正レンズとからなる正のレンズ成分よりなる対物レンズと、正レンズと負レンズとからなる正のレンズ成分と正の単レンズ成分とからなる正の第1群と、負レンズと正レンズとからなる負のレンズ成分と負の単レンズ成分とからなる負の第2群と、負のメニスカスレンズと正レンズとからなる正のレンズ成分と正の単レンズ成分とよりなる正の第3群と、負レンズと正のメニスカスレンズとからなる負のレンズ成分よりなる負の第4群にて構成された変倍光学系と、結像点より前の正の単レンズ成分と正レンズと負のメニスカスレンズとからなる正のレンズ成分と結像点より後ろの負のメニスカスレンズと正レンズとからなる正のレンズ成分とにて構成されたリレー光学系とよりなる。
【0097】
この実施例4は、変倍光学系の第1群と第3群中の凸レンズ(r4 〜r5 およびr15〜r16)に、1回結像リレー光学系の結像点の前後の凸レンズ(r24〜r25およびr30〜r31)に異常分散性の光学ガラスを用いている。
【0098】
この実施例は、前述のように変倍光学系を4群構成にして変倍比を高くすると共に異常分散性光学ガラスを凸レンズに用いて2次スペクトルを補正したものである。
【0099】
前記各実施例の色収差係数PLC、SLCは下記の通りである。
Figure 0003752356
Figure 0003752356
これら実施例のうち、実施例2、3、4も1回結像リレー光学系の後方に例えば図13に示す結像レンズが配置される。データ中実施例2のd48、実施例3のd50、実施例4のd31は、いずれも1回結像リレー光学系の最終面から結像レンズの最も前の面までの距離である。
【0100】
特許請求の範囲に記載する実体顕微鏡のほかに下記の各項に記載する実体顕微鏡も本発明の目的を達成し得る。
【0101】
(1)特許請求の範囲の請求項1又は2に記載する実体顕微鏡で、条件(1)の代りに下記条件(1−1)を満足するようにしたことを特徴とする実体顕微鏡。
(1−1) ΔθgF>0.025 、 νd >75
【0102】
(2)特許請求の範囲の請求項1、2又は3あるいは前記の(1)の項に記載する実体顕微鏡で、前記変倍光学系の正の焦点距離のレンズ群のうち最も物体側のレンズ群および最も像側のレンズ群のうちの少なくとも一つのレンズ群中に異常分散光学部材を用いたことを特徴とする実体顕微鏡。
【0103】
(3)前記の(2)の項に記載する実体顕微鏡で、前記変倍光学系が、物体側から順に、正の屈折力の第1群と負の屈折力の第2群と正の屈折力の第3群とからなり、前記第1群が、物体側から順に、物体側に凸面を向けたメニスカスレンズ成分と正のレンズ成分にて構成されていることを特徴とする実体顕微鏡。
【0104】
(4)前記の(3)の項に記載する実体顕微鏡で、前記変倍光学系の第2群が、物体側から順に、負のレンズ成分とメニスカスレンズ成分とからなり、前記第3群が、物体側から順に、メニスカスレンズ成分と正のレンズ成分とにて構成されていることを特徴とする実体顕微鏡。
【0105】
(5)前記の(2)の項に記載する実体顕微鏡で、前記変倍光学系が、物体側から順に、正の焦点距離を持つ第1群と負の焦点距離を持つ第2群と正の焦点距離を持つ第3群と負の焦点距離を持つ第4群とからなり、第1群が物体側より順に、正のレンズ成分と正のレンズ成分とよりなり、第2群が物体側から順に、負のレンズ成分と負のレンズ成分とよりなり、第3群が物体側より順に、正のレンズ成分と正のレンズ成分よりなり、第4群が負のレンズ成分よりなることを特徴とする実体顕微鏡。
【0106】
(6)特許請求の範囲の請求項1、2又は3あるいは前記の(1)又は(2)に記載する実体顕微鏡で、1回結像リレー光学系の結像点の前後に少なくとも一つの異常分散性光学材料よりなる凸レンズを有することを特徴とする実体顕微鏡。
【0107】
(7)特許請求の範囲の請求項1、2又は3に記載する実体顕微鏡で、対物レンズが物体側から順に、正の焦点距離を持つ第1群と負の焦点距離を持つ第2群よりなり、作動距離が可変であることを特徴とする実体顕微鏡。
【0108】
(8)前記の(7)の項に記載する実体顕微鏡で、前記対物レンズの第1群が負レンズと正レンズとからなる正のレンズ成分と正レンズと負レンズとからなる正レンズ成分とにて構成されていることを特徴とする実体顕微鏡。
【0109】
(9)前記の(7)の項に記載する実体顕微鏡で、対物レンズの第1群が物体側に凸面を向けたメニスカスレンズ成分と正レンズと負レンズとからなる正のレンズ成分と正のレンズ成分とからなることを特徴とする実体顕微鏡。
【0110】
(10)特許請求の範囲の請求項1又は2の実体顕微鏡で、前記結像レンズの像面上での色収差係数が下記条件(8)、(9)を満足することを特徴とする実体顕微鏡。
(8) −0.05<PLC<0.05
(9) −0.05<SLC<0.05
ただしPLC、SLCは夫々F線とC線およびd線とF線との差の軸外色収差係数である。
【0111】
(11)特許請求の範囲の請求項2に記載する実体顕微鏡で、対物レンズの第1群の最も物体側のレンズ群が、正レンズと負レンズとよりなるレンズ成分を二つ有し、二つのレンズ成分が互いに逆向きに配置されたことを特徴とする実体顕微鏡。
【0112】
(12)特許請求の範囲の請求項2に記載する実体顕微鏡で、対物レンズの最も物体側のレンズ群が物体側から順に、物体側に凸面を向けたメニスカスレンズ成分と両凸レンズ成分と両凹レンズ成分とにて構成されていることを特徴とする実体顕微鏡。
【0113】
(13)特許請求の範囲の請求項3に記載する実体顕微鏡で、光学系が主観察側と少なくとも一つの副観察側との光路に分割されイメージローテーターが副観察側の光路中に配置されていることを特徴とする実体顕微鏡。
【0114】
【発明の効果】
本発明の実体顕微鏡は、偏芯変倍光学系であるにも拘らず、諸収差が良好に補正され特に色収差の2次スペクトルが良好に補正されている。又観察向を調整が可能でしかも楽な姿勢での観察が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実体顕微鏡の実施例1の倍率0.31の時の断面図
【図2】本発明の実体顕微鏡の実施例1の倍率1.25の時の断面図
【図3】本発明の実体顕微鏡の実施例2の倍率0.36の時の断面図
【図4】本発明の実体顕微鏡の実施例2の倍率0.23の時の断面図
【図5】本発明の実体顕微鏡の実施例2の倍率1.4の時の断面図
【図6】本発明の実体顕微鏡の実施例2の倍率0.9の時の断面図
【図7】本発明の実体顕微鏡の実施例3の倍率0.36の時の断面図
【図8】本発明の実体顕微鏡の実施例3の倍率0.23の時の断面図
【図9】本発明の実体顕微鏡の実施例3の倍率1.4の時の断面図
【図10】本発明の実体顕微鏡の実施例3の倍率0.9の時の断面図
【図11】本発明の実体顕微鏡の実施例4の倍率0.3の時の断面図
【図12】本発明の実体顕微鏡の実施例4の倍率1.7の時の断面図
【図13】前記各実施例の1回リレー光学系の後に置かれる結像レンズの断面図
【図14】前記実施例1の倍率0.31の時の収差曲線図
【図15】前記実施例1の倍率1.25の時の収差曲線図
【図16】本発明の実体顕微鏡の概略図
【図17】4回反射面を用いた本発明の実体顕微鏡の構成を示す図
【図18】8回反射面を用いた本発明の実体顕微鏡の構成を示す図
【図19】イメージローテータを用いた主副分割部の構成図
【図20】イメージローテータを用いない主副分割部の構成図
【図21】図20に示す構成の実体顕微鏡の左右光束入れ替え部材の斜視図
【図22】θgF−νd

Claims (13)

  1. 対物レンズと、前記対物レンズと同軸の変倍光学系と、1回結像リレー光学系とを同軸に配置された1軸光学系と、前記リレー光学系の後方に配置された左右一対の開口絞りと、結像レンズと反射部材と接眼レンズからなる少なくとも一対の観察光学系とを備え、前記1対の開口絞りにより決定される観察光学系の1対の軸である観察光軸が前記1軸光学系の光軸と異なったところを通り、前記変倍光学系と前記リレー光学系中に下記条件(1)を満足する異常分散光学材料を用いた正レンズを有し、前記対物レンズが正の焦点距離を有する第1群と負の焦点距離を有する第2群とよりなり、前記第1群と第2群の間隔を変化させて作動距離を変化させる実体顕微鏡で、前記対物レンズ中に異常分散光学材料を用いた正レンズを含み、次の条件(5),(6)を満足する実体顕微鏡。
    (1) ΔθgF>0.01 、 νd >50
    (5) 0.17<−fO2/fO <0.64
    (6) fp /fO1<2.3
    ただし、ΔθgFは下記式にて与えられる値で、νdは前記変倍光学系とリレー光学系の異常分散光学材料を用いた正レンズのd線でのアッベ数、fO は対物レンズの焦点距離、fO1、fO2は夫々対物レンズの第1群および第2群の焦点距離、fp は対物レンズ中の異常分散光学材料を用いた正レンズの焦点距離である。
    ΔθgF=θgF−θ
    ここでθgF,θはF線,C線,g線の屈折率を夫々nF ,nC ,ng 又アッベ数をνとする時、下記式(B)、(C)にて与えられる。
    θgF=(ng −nF )/(nF −nC ) (B)
    θ=−0.00162ν+0.6416 (C)
  2. 条件(1)の代りに下記条件(1−1)を満足する請求項の実体顕微鏡。
    (1−1) ΔθgF>0.025 、 νd >75
  3. 前記変倍光学系の正の焦点距離のレンズ群のうち最も物体側のレンズ群および最も像側のレンズ群のうちの少なくとも一つのレンズ群中に異常分散光学部材を用いた請求項1又は2の実体顕微鏡。
  4. 前記変倍光学系が、物体側から順に、正の屈折力の第1群と負の屈折力の第2群と正の屈折力の第3群とからなり、前記第1群が、物体側から順に、物体側に凸面を向けたメニスカスレンズ成分と正のレンズ成分にて構成されている請求項の実体顕微鏡。
  5. 前記変倍光学系の第2群が、物体側から順に、負のレンズ成分とメニスカスレンズ成分とからなり、前記第3群が、物体側から順に、メニスカスレンズ成分と正のレンズ成分とにて構成されている請求項の実体顕微鏡。
  6. 前記変倍光学系が、物体側から順に、正の焦点距離を持つ第1群と負の焦点距離を持つ第2群と正の焦点距離を持つ第3群と負の焦点距離を持つ第4群とからなり、第1群が物体側より順に、正のレンズ成分と正のレンズ成分とよりなり、第2群が物体側から順に、負のレンズ成分と負のレンズ成分とよりなり、第3群が物体側より順に、正のレンズ成分と正のレンズ成分よりなり、第4群が負のレンズ成分よりなる請求項の実体顕微鏡。
  7. 1回結像リレー光学系の結像点の前後に少なくとも一つの異常分散性光学材料よりなる凸レンズを有する請求項1、2又は3の実体顕微鏡。
  8. 前記対物レンズが物体側から順に、正の焦点距離を持つ第1群と負の焦点距離を持つ第2群よりなり、作動距離が可変である請求項の実体顕微鏡。
  9. 前記対物レンズの第1群が負レンズと正レンズとからなる正のレンズ成分と正レンズと負レンズとからなる正レンズ成分とにて構成されている請求項の実体顕微鏡。
  10. 前記対物レンズの第1群が物体側に凸面を向けたメニスカスレンズ成分と正レンズと負レンズとからなる正のレンズ成分と正のレンズ成分とからなる請求項の実体顕微鏡。
  11. 前記結像レンズの像面上での色収差係数が下記条件(8)、(9)を満足する請求項の実体顕微鏡。
    (8) −0.05<PLC<0.05
    (9) −0.05<SLC<0.05
    ただしPLC、SLCは夫々F線とC線およびd線とF線との差の軸外色収差係数である。
  12. 前記対物レンズの第1群の最も物体側のレンズ群が、正レンズと負レンズとよりなるレンズ成分を二つ有し、二つのレンズ成分が互いに逆向きに配置された請求項の実体顕微鏡。
  13. 前記対物レンズの最も物体側のレンズ群が物体側から順に、物体側に凸面を向けたメニスカスレンズ成分と両凸レンズ成分と両凹レンズ成分とにて構成されている請求項の実体顕微鏡。
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