JP3617032B2 - 湿度センサの校正方法およびそれを用いた湿度センサ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、湿度センサの校正方法およびそれを用いた湿度センサに関する。さらに詳しくは、空調機、環境試験機、植物育成室などの湿度制御、湿度モニターを行なう乾燥機、調理器、掃除機の湿度検知、あるいは湿度変化の測定記録、認証を行なう気象観測機、ラジオゾンデ、製品輸送時の状態を記録するデータロガーなどに利用される湿度センサの校正方法およびそれを用いた湿度センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
湿度を測定して出力する湿度センサを一定期間使用し続ける場合、計測値にズレが生じることは避けられない。そのため、定期的に湿度センサを校正する必要がある。
【0003】
従来の湿度センサの測定現場における校正方法は、既知の湿度空間に湿度センサを設置し、湿度センサの計測値が正しく指示されるよう調整を施すというものである。湿度が既知の空間の実現は、例えば、飽和塩あるいは濃度既知の不飽和塩溶液を密閉容器内に入れて充分時間を経過させ、密閉容器内の雰囲気が安定した状態とすることによりなされる。この時、密閉容器内は、使用する飽和塩あるいは不飽和塩溶液によって決定された湿度が既知の空間となっている。ついで、この密閉容器内に湿度センサを入れ、湿度センサの指示値を前記既知の湿度に調整することで湿度センサの校正がなされる。
【0004】
また、湿度センサの検知特性、つまり湿度算出直線の勾配の校正は、複数の種類の飽和塩あるいは不飽和塩溶液を用い、複数の湿度において校正をすることによりなされる。その場合、温度雰囲気を一定にすれば、さらに厳密な校正がなし得る。
【0005】
ところで、どれくらいの周期で校正をする必要があるかは、湿度センサの使用環境や耐環境性によって様々である。一般的には、使用期間が長ければ長いほどズレは大きくなるので、計測精度を維持する点からは頻繁に校正する方がよい。しかしながら、校正をするには計測を中断しなければならないし、前記密閉容器内の湿度雰囲気が安定するのには時間がかかり(0.5〜6hr程度)、また校正作業に時間がかかるとともにその作業が煩雑でもある。なお、分流式湿度発生槽や2温度2圧力法等の大がかりな装置にて基準湿度を発生させて校正を行なうこともできるが、そのためにはその設備のあるところまで湿度センサを搬送しなければならないという問題がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる従来技術の課題に鑑みなされたものであって、湿度センサが据え付けられている計測現場において短時間で簡易に校正がなし得る湿度センサの校正方法およびそれに用いる湿度センサを提供することを目的とし、さらに自動的に校正を行う湿度センサを提供することをも目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の湿度センサの校正方法の第1形態は、湿度検知手段の検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所定温度あるいは該所定温度以上に加熱して同検知部の相対湿度を実質上0%R.Hとし、その時の湿度センサの指示値を0%R.Hに調整することにより零点補正をし、それにより湿度センサの校正をなすことを特徴とする。
【0008】
本発明の湿度センサの校正方法の第2形態は、湿度検知手段の検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所定温度あるいはそれ以下に冷却して同検知部の相対湿度を実質上100%R.Hとし、その時の湿度センサの指示値を100%R.Hに調整することにより100%R.H値補正をし、それにより湿度センサの校正をなすことを特徴とする。
【0009】
本発明の湿度センサの校正方法の第3形態は、湿度検知手段の検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所定温度あるいは該所定温度以上に加熱して同検知部の相対湿度を実質上0%R.Hとし、その時の湿度センサの指示値を0%R.Hに調整することにより零点補正をなし、前記検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所定温度あるいはそれ以下に冷却して同検知部の相対湿度を実質上100%R.Hに調整し、その時の湿度センサの指示値を100%R.Hに調整することにより100%R.H値補正をなし、前記零点調整時および100%R.H値調整時における調整値により湿度算出直線の勾配の補正をし、それにより湿度センサの校正をなすことを特徴とする。
【0011】
一方、本発明の湿度センサの第1形態は、検知部を有する湿度検知手段と、前記検知部の温度を検知する温度検知手段と、前記検知部を加熱する加熱手段と、少なくとも前記湿度検知手段による計測値を出力する出力手段と、校正手段とを備えてなる湿度センサであって、前記校正手段により、前記加熱手段に前記検知部を加熱させて同検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所定温度あるいは該所定温度以上として同検知部の相対湿度が実質上0%R.Hとされるとともに、その時の湿度センサの指示値が0%R.Hに調整されることにより零点補正がなされることを特徴とする。
【0012】
本発明の湿度センサの第2形態は、検知部を有する湿度検知手段と、前記検知部の温度を検知する温度検知手段と、前記検知部を冷却する冷却手段と、少なくとも前記湿度検知手段による計測値を出力する出力手段と、校正手段とを備えてなる湿度センサであって、前記校正手段により、前記冷却手段に前記検知部を冷却させて同検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所定温度あるいは該所定温度以下として同検知部の相対湿度が実質上100%R.Hとされるとともに、その時の湿度センサの指示値が100%R.Hに調整されることにより100%R.H値補正がなされることを特徴とする。
【0013】
本発明の湿度センサの第3形態は、検知部を有する湿度検知手段と、前記検知部の温度を検知する温度検知手段と、前記検知部を加熱・冷却する加熱・冷却手段と、少なくとも前記湿度検知手段による計測値を出力する出力手段と、校正手段とを備えてなる湿度センサであって、前記校正手段により、前記加熱・冷却手段に前記検知部を加熱させて同検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所定温度あるいは該所定温度以上として同検知部の相対湿度が実質上0%R.Hとされるとともに、その時の湿度センサの指示値が0%R.Hに調整されることにより零点補正がなされ、前記加熱・冷却手段に前記検知部を冷却させて同検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所定温度あるいは該所定温度以下として同検知部の相対湿度が実質上100%R.Hとされるとともに、その時の湿度センサの指示値が100%R.Hに調整されることにより100%R.H値補正がなされることを特徴とする。
【0015】
本発明の湿度センサの第1形態ないし第3形態においては、所定時間が経過した場合、または湿度検知手段の検知部による計測値が所定の温度・湿度プロフィルから外れた場合、自動的に校正手段による校正がなされるように構成されてもよい。
【0016】
本発明の湿度センサにおいては、故障診断手段を備え、前記故障診断手段により、計測値が閾値を超えた場合、計測値が所定の温度・湿度プロフィルから外れた場合、または校正手段による調整値が閾値を超えた場合、故障と診断されるようにされてもよい。
【0017】
【作用】
本発明の湿度センサの校正方法および湿度センサは、前記の如く構成されているので、計測現場において簡易・迅速に湿度センサの校正がなし得る。また、本発明の好ましい形態によれば、湿度センサの校正および故障診断が自動的になされる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら本発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではない。
【0019】
実施形態1
本発明の実施形態1に係る湿度センサの校正方法が適用されている校正機能および故障診断機能を有する湿度センサ(以下、単に湿度センサという)のブロック図を図1に示す。この実施形態1の湿度センサSの校正方法は、湿度検知手段1の検知部1aを加熱あるいは冷却し、それにより湿度センサの指示値を補正することにより湿度センサSの校正をなすとともに、校正が適当になされない場合に故障信号を出力するように構成されてなるものである。つまり、この実施形態1の湿度センサSの校正方法は、検知部1aを所定温度に加熱していわゆる零点補正(零点調整)をする一方、検知部1aを結露させていわゆる100%R.H値補正(100%R.H値調整)をし、さらにその零点調整および100%R.H値調整における調整値により湿度算出直線の勾配を補正することにより、湿度センサSの校正をなすように構成されてなるものである。
【0020】
湿度センサSは、図1に示すように、雰囲気中の湿度を検知する検知部1aを有する湿度検知手段1と、湿度検知手段1の検知部1aあるいはその近傍の温度を検知する温度検知手段2と、湿度検知手段1の検知部1aを所定温度まで加熱あるいは所定温度まで冷却する加熱・冷却手段3と、出力手段4と、制御・演算装置10とを主要構成要素として備えてなる。
【0021】
湿度検知手段1の検知部1aは、例えばセラミック系や高分子系インピーダンス変化型湿度検知素子、セラミック系や高分子系容量変化型湿度検知素子などとされ、雰囲気中の湿度を検知するものである。
【0022】
温度検知手段2は、熱電対、Pt100およびサーミスタなどの感温素子、または放射温度計などとされ、湿度検知手段1の検知部1a裏面に貼り付けられ、あるいは湿度検知手段1の検知部1a近傍に配設されて、湿度検知手段1の検知部1aの温度あるいはその近傍の温度を検知するものである。
【0023】
加熱・冷却手段3は、例えば、抵抗線、ペルチェ素子、ヒートパイプなどにより構成されたヒーター/クーラーとされ、湿度検知手段1の検知部1a近傍に配設されて湿度検知手段1の検知部1aを加熱または冷却するものである。
【0024】
なお、湿度センサSの据え付け状況によっては、この加熱・冷却手段3は、恒温恒湿槽によって湿度検知手段1の検知部1aの雰囲気中の温度を変化させる形式のものとされてもよい。
【0025】
出力手段4は、湿度検知手段1により計測された湿度および温度検知手段2により計測された温度を表示するとともに、故障診断手段12により故障と診断されたときに故障を表示する例えばデジタル表示装置とされる。あるいは、故障診断手段12により故障と診断されたときに警報ブザーを吹奏する例えば警報ブザー付デジタル表示装置とされる。
【0026】
制御・演算装置10は、校正手段11と故障診断手段12とを有するものとされ、湿度検知手段1、温度検知手段2、加熱・冷却手段3および出力手段4を制御するとともに、校正手段11は湿度検知手段1により計測された計測値を補正して湿度センサSの校正を行い、故障診断手段12は校正手段11による校正値の適否を判定して故障の有無を診断するものである。かかる機能を有する制御・演算装置10は、例えばマイコンに前記機能に対応したプログラムを格納することにより実現される。
【0027】
次に、かかる構成とされている湿度センサSにおける自動校正および自動故障診断について説明する。
【0028】
(1)制御・演算装置10は計測開始から所定時間が経過すると、加熱・冷却手段3に予め決められた温度、つまり所定温度へ加熱開始を指示する。
【0029】
(2)加熱・冷却手段3は制御・演算装置10からの指示により湿度検知手段1の加熱を開始する。
【0030】
(3)制御・演算装置10は温度検知手段2の計測値が所定温度に到達すると、校正手段11に校正開始を指示するとともに、加熱・冷却手段3にその温度を維持するように指示する。
【0031】
(4)校正手段11は制御・演算装置10からの校正開始の指示により湿度センサSの校正を行う。校正手段11による校正は、例えば、その時の湿度検知手段1の計測値を0%R.Hに補正するとともに、それに応じて制御・演算装置10のメモリに格納されている計測値・湿度換算テーブルのデータを更新することによりなされる。あるいは、図2に示すように、湿度検知手段1の検知回路が可変コンデンサ1bおよび可変抵抗1cを有している場合には、例えば可変コンデンサ1bの容量調節をして計測値を0%R.Hに調整することによりなされる。これにより、湿度センサSの指示値は0%R.Hに調整される。つまり、湿度センサSの零点調整がなされる。この校正が終了すると、制御・演算装置10は加熱・冷却手段3に加熱の停止を指示する。
【0032】
(5)制御・演算装置10は加熱・冷却手段3による加熱停止から所定時間経過後、加熱・冷却手段3に予め決められた温度、つまり所定温度へ冷却開始を指示する。
【0033】
(6)加熱・冷却手段3は制御・演算装置10からの冷却開始の指示により湿度検知手段1の冷却を開始する。
【0034】
(7)制御・演算装置10は温度検知手段2の計測値が所定温度に到達すると、校正手段11に校正開始を指示するとともに、加熱・冷却手段3にその温度を維持するように指示する。
【0035】
(8)校正手段11は制御・演算装置10からの校正開始の指示により湿度センサSの校正を行う。校正手段11による校正は、例えば、その時の湿度検知手段1の計測値を100%R.Hに補正するとともに、それに応じて制御・演算装置10のメモリに格納されている計測値・湿度換算テーブルのデータを前記零点のデータを固定した状態で更新することによりなされる。また、かかる更新をなすことにより、湿度算出直線の勾配の補正も同時になされる。あるいは、図2に示すように、湿度検知手段1の検知回路が可変コンデンサ1bおよび可変抵抗1cを有している場合には、例えば可変抵抗1cの抵抗値を調節して計測値を100%R.Hに調整することによりなされる。これにより、湿度センサSの指示値は100%R.Hに調整される。つまり、湿度センサSの100%R.H値調整がなされる。なお、湿度検知手段1に結露を生じさせると計測値が大幅に変動を生ずる場合には、結露が生ずる直前あるいは直後の計測値が用いられる。
【0036】
(9)故障診断手段12は校正手段11による校正後における湿度検知手段1の計測値が閾値を超えている場合、湿度検知手段1の計測値が予め設定されている温度・湿度プロフィルから外れている場合、または校正手段による調整値が閾値を超えている場合、湿度センサSが故障している旨の警報を出力する。
【0037】
このように、本実施形態1によれば、湿度センサが据え付けられている計測現場で、湿度センサの校正および故障診断が自動的にしかも短時間でなし得る。なお、前記説明においては、計測開始から所定時間経過後に校正がなされるようにされているが、湿度検知手段1の計測値が予め設定されている温度・湿度プロフィルから外れた時点で校正を開始するようにしてもよい。
【0038】
実施形態2
本発明の実施形態2に係る湿度センサの校正方法が適用されている校正機能を有する湿度センサ(以下、単に湿度センサという)のブロック図を図3に示す。なお、図3において、図1と同一の符号を付したものは同一または類似の構成要素を示す。
【0039】
この実施形態2の湿度センサS1の校正方法は、湿度センサの使用において、低湿域および高湿域の計測は正確になし得るが、中湿域においては実際より高くあるいは低く計測されるなどの計測値の線形性が損なわれる場合がある。そこで、この実施形態2では、図3に示すように、制御・演算装置10に線形性校正手段13を設けて計測値の直線化を図ることにより湿度センサS1の校正をなすものである。
【0040】
線形性校正手段13は、温度の異なる少なくとも3点における湿度の計測値を適宜演算処理することにより湿度算出直線を導出する機能を有する。例えば、図4に示すように、温度t1,t2,t3における湿度の計測値がU1,U2,U3であったとすると、この3点の値を適宜演算処理して湿度算出直線を導出するものである。この湿度算出直線を導出する演算処理については、例えば最小自乗法による導出方法があるが、これに限定されるものではなく、公知の各種の直線導出手法を用いることができる。なお、かかる機能を有する線形性校正手段13は、制御・演算装置10に対応するプログラムを格納することにより実現される。
【0041】
このように、本実施形態2によれば、線形性校正手段13を設けて所要数の計測値から湿度算出直線を導出し、その直線を用いて計測値の直線化を図ることにより計測値の非線形性を解消して湿度センサS1の校正をなしているので、低湿域から高湿域まで精度よく計測がなし得る。また、その校正も湿度センサS1が据え付けられている計測現場において、簡易・迅速になし得る。なお、実施形態1との併用によりより良い結果が得られる。
【0042】
実施形態3
本発明の実施形態3に係る湿度センサの校正方法が適用されている校正機能を有する湿度センサ(以下、単に湿度センサという)の概略図を図5に示し、この湿度センサS2においては、図5に示すように実施形態1の制御・演算装置10に代えてマニュアル操作により校正をなす校正器(校正手段)20が設けられ、そして温度検知手段2は温度計2Aとされるとともに、加熱・冷却手段3はヒータ/クーラ3Aとされている。また、湿度検知手段1は検知部1aの相当静電容量に並列に可変コンデンサ1bを接続するとともに、検知部1aの相当回路に直列に可変抵抗1cを接続してなるものとされている。
【0043】
校正器20は、図5に示すように、湿度表示部21、温度表示部22、ヒータオン・オフスイッチ23、クーラオン・オフスイッチ24、可変容量調節ダイヤル25、可変抵抗調節ダイヤル26、制御・演算部27および電源スイッチ28を有するものとされる。なお、電源スイッチ28は公知の各種スイッチとすることができる。
【0044】
湿度表示部21は、計測された湿度を指示(表示)するように構成された、例えば液晶パネルとされる。
【0045】
温度表示部22は、検知された温度を指示(表示)するように構成された、例えば液晶パネルとされる。
【0046】
ヒータオン・オフスイッチ23およびクーラオン・オフスイッチ24は、例えば押しボタンスイッチとされる。なお、明瞭には図示されていないが、ヒータオン・オフスイッチ23およびクーラオン・オフスイッチ24は同時にオンしないように調整されている。
【0047】
可変容量調節ダイヤル25は、ダイヤルを回転させることにより、可変コンデンサ1bの容量調整がメカニカル的になし得るようにされている公知のダイヤルとされる。
【0048】
可変抵抗調節ダイヤル26は、ダイヤルを回転させることにより可変抵抗1cの抵抗値の調整がメカニカル的になし得るようにされている公知のダイヤルとされる。
【0049】
制御・演算部27は、例えばワンチップ・マイコンとされて、湿度表示部21の表示制御、温度表示部22の表示制御、ヒータオン・オフスイッチ23のオン・オフによるヒータ/クーラ3Aのヒータのオン・オフ制御、クーラオン・オフスイッチ24のオン・オフによるヒータ/クーラ3Aのクーラのオン・オフ制御をなすようにされている。また、勾配補正手段27aは、零点調整時における調整値および100%R.H値調整時における調整値に基づいて、湿度算出直線の勾配補正をなすものである。なお、かかる制御・演算部27の機能および勾配補正手段27aの機能は、それらに対応したプログラムをワンチップ・マイコンに格納することにより実現される。また、ワンチップ・マイコンには後述する校正処理に必要な処理をなすためのプログラムも格納されている。
【0050】
次に、かかる構成とされている湿度センサS2の校正について説明する。
【0051】
なお、この校正は、校正手順、加熱所定温度、冷却所定温度などが記載されている校正マニュアルを用いてなされる。
【0052】
(1)電源スイッチ28をオンして湿度表示部21に指示された湿度、および温度表示部22に指示された温度により加熱温度および冷却温度を選定する。
【0053】
(2)ヒータオン・オフスイッチ23をオンしてヒータ/クーラ3Aのヒータを起動して検知部1aを加熱する。
【0054】
(3)温度表示部22の表示温度(指示値)が所定温度(所定値)になった時点で可変容量調節ダイヤル(または可変抵抗調節ダイヤル26)25を操作し、湿度表示部21の指示値を0%R.Hに調整する。つまり、零点調整をする。この間、制御・演算部27は加熱温度が所定温度に維持されるようにヒータの加熱量を制御する。
【0055】
(4)ヒータオン・オフスイッチ23をオフしてヒータによる加熱を停止する。
【0056】
(5)温度表示部22の表示温度が雰囲気温度に復帰した時点で、クーラオン・オフスイッチ24をオンしてヒータ/クーラ3Aのクーラを起動して検知部1aを冷却する。
【0057】
(6)温度表示部22の表示温度が所定温度になった時点で可変抵抗調節ダイヤル(または可変容量調節ダイヤル25)26を操作し、湿度表示部21の指示値を100%R.Hに調整する。つまり、100%R.H値調整をする。この間、制御・演算部27は、冷却温度が所定温度に維持されるようにクーラの冷却量を制御する。
【0058】
(7)クーラオン・オフスイッチ24をオフしてクーラによる冷却を停止する。
【0059】
(8)勾配補正手段27aは、零点調整時における調整値および100%R.H値調整時における調整値に基づいて湿度算出直線の勾配を補正する。
【0060】
(9)勾配補正手段27aによる湿度算出直線の勾配の補正が完了すると、校正完了が湿度表示21に表示される。
【0061】
(10)校正完了の表示を確認して電源スイッチ28をオフする。
【0062】
このように、本実施形態3によれば、湿度センサS2が据え付けられている計測現場において、簡易・迅速に湿度センサS2の校正がなし得る。
【0063】
【実施例】
以下、より具体的な実施例により本発明をより具体的に説明する。
【0064】
実施例1
雰囲気温度が85℃、相対湿度が95%R.Hである場合の零点補正(零点調整)について説明する。そのときの水蒸気分圧は、54974.6Paである。
【0065】
飽和水蒸気圧が充分大きくなる温度、例えば水の臨界温度370.946℃まで検知部1aを加熱する。その場合の飽和水蒸気圧は、22064kPaである。したがって、370.946℃まで加熱したときの検知部1aの相対湿度は0.25%R.Hとなる。この0.25%の誤差は通常の計測においては問題とならないので、検知部1aを370.946℃まで加熱すると相対湿度は実質上0%R.Hとすることができる。そこで、検知部1aを水の臨界温度である370.946℃まで加熱した時の湿度センサSの指示値を、0%R.Hとする調整をなすことにより、前記雰囲気に対する湿度センサSの零点補正(零点調整)がなし得る。つまり、指示値のオフセットを解消して湿度センサSの校正がなし得る。
【0066】
実施例2
雰囲気温度が10℃、相対湿度が30%R.Hである場合の100%R.H値補正(100%R.H値調整)について説明する。なお、そのときの水蒸気分圧は、368.4Paである。
【0067】
加熱・冷却手段3により湿度検知手段1の検知部1aを結露が生ずる温度、例えば−40℃まで冷却する。その温度における検知部1aの飽和蒸気圧は12.84Paである。そのため、検知部1aを前記温度まで冷却すれば確実に結露が生じて、検知部1aの相対湿度は100%R.Hとなる。そこで、検知部1aを−40℃まで冷却した時の湿度センサSの指示値を100%R.Hとする調整をなすことにより、前記雰囲気に対する湿度センサSの100%R.H値補正(100%R.H値調整)がなし得る。つまり、指示値のオフセットを解消して湿度センサSの校正がなし得る。
【0068】
以上、本発明を実施形態および実施例に基づいて説明してきたが、本発明はかかる実施形態および実施例に限定されるものではなく、種々改変が可能である。例えば、実施形態1においては、制御・演算装置に故障診断手段が設けられているが、この故障診断手段は必要に応じて設けられればよく、そのため必ずしも設けられる必要はない。また、実施形態1においては、加熱・冷却手段が設けられているが、校正目的に応じて加熱手段のみ、あるいは冷却手段のみが設けられてもよい。
【0069】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、湿度センサの校正が、それが据え付けられている計測現場にて簡易・迅速になし得るという優れた効果が得られる。
【0070】
また、本発明の好ましい形態によれば、湿度センサの校正が、それが据え付けられている計測現場にて自動的になされるという優れた効果が得られる。
【0071】
さらに、本発明の別の好ましい形態によれば、湿度センサの故障診断が、それが据え付けられている計測現場にて自動的にさなれるという優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1に係る校正方法が適用されている湿度センサのブロック図である。
【図2】同湿度センサの湿度検知手段の一例の等価回路図である。
【図3】本発明の実施形態2に係る校正方法が適用されている湿度センサのブロック図である。
【図4】計測点と導出直線との関係を示すグラフである。
【図5】本発明の実施形態3に係る校正方法が適用されている湿度センサのブロック図である。
【符号の簡単な説明】
1 湿度検知手段
1a 検知部
1b 可変コンデンサ
1c 可変抵抗
2 温度検知手段
2A 温度計
3 加熱・冷却手段
3A ヒータ/クーラ
4 出力手段
10 制御・演算装置
11 校正手段
12 故障診断手段
13 線形性校正手段
20 校正器
S 湿度センサ
Claims (8)
- 湿度検知手段の検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所定温度または該所定温度以上に加熱して同検知部の相対湿度を実質上0%R.Hとし、その時の湿度センサの指示値を0%R.Hに調整することにより零点補正をし、それにより湿度センサの校正をなすことを特徴とする湿度センサの校正方法。
- 湿度検知手段の検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所定温度または該所定温度以下に冷却して同検知部の相対湿度を実質上100%R.Hとし、その時の湿度センサの指示値を100%R.Hに調整することにより100%R.H値補正をし、それにより湿度センサの校正をなすことを特徴とする湿度センサの校正方法。
- 湿度検知手段の検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所定温度または該所定温度以上に加熱して同検知部の相対湿度を実質上0%R.Hとし、その時の湿度センサの指示値を0%R.Hに調整することにより零点補正をなし、
前記検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所定温度または該所定温度以下に冷却して同検知部の相対湿度を実質上100%R.Hに調整し、その時の湿度センサの指示値を100%R.Hに調整することにより100%R.H値補正をなし、
前記零点調整時における調整値および100%R.H値調整時における調整値により湿度算出直線の勾配の補正をし、それにより湿度センサの校正をなすことを特徴とする湿度センサの校正方法。 - 検知部を有する湿度検知手段と、前記検知部の温度を検知する温度検知手段と、前記検知部を加熱する加熱手段と、少なくとも前記湿度検知手段による計測値を出力する出力手段と、校正手段とを備えてなる湿度センサであって、
前記校正手段により、前記加熱手段に前記検知部を加熱させて同検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所定温度または該所定温度以上として同検知部の相対湿度が実質上0%R.Hとされるとともに、その時の湿度センサの指示値が0%R.Hに調整されることにより零点補正がなされる
ことを特徴とする湿度センサ。 - 検知部を有する湿度検知手段と、前記検知部の温度を検知する温度検知手段と、前記検知部を冷却する冷却手段と、少なくとも前記湿度検知手段による計測値を出力する出力手段と、校正手段とを備えてなる湿度センサであって、
前記校正手段により、前記冷却手段に前記検知部を冷却させて同検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所定温度または該所定温度以下として同検知部の相対湿度が実質上100%R.Hとされるとともに、その時の湿度センサの指示値が100%R.Hに調整されることにより100%R.H値補正がなされる
ことを特徴とする湿度センサ。 - 検知部を有する湿度検知手段と、前記検知部の温度を検知する温度検知手段と、前記検知部を加熱・冷却する加熱・冷却手段と、少なくとも前記湿度検知手段による計測値を出力する出力手段と、校正手段とを備えてなる湿度センサであって、
前記校正手段により、前記加熱・冷却手段に前記検知部を加熱させて同検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所定温度または該所定温度以上として同検知部の相対湿度が実質上0%R.Hとされるとともに、その時の湿度センサの指示値が0%R.Hに調整されることにより零点補正がなされ、前記加熱・冷却手段に前記検知部を冷却させて同検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所定温度または該所定温度以下として同検知部の相対湿度が実質上100%R.Hとされるともに、その時の湿度センサの指示値が100%R.Hに調整されることにより100%R.H値補正がなされる
ことを特徴とする湿度センサ。 - 所定時間が経過した場合、または湿度検知手段の検知部による計測値が所定の温度・湿度プロフィルから外れた場合、自動的に校正手段による校正がなされるように構成されてなることを特徴とする請求項4、5または6記載の湿度センサ。
- 故障診断手段を備え、
前記故障診断手段により、計測値が閾値を超えた場合、計測値が所定の温度・湿度プロフィルから外れた場合、または校正手段による調整値が閾値を超えた場合、故障と診断されることを特徴とする請求項4、5、6または7記載の湿度センサ。
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