JP2005062199A - 湿度センサの校正方法およびそれを用いた湿度センサ - Google Patents
湿度センサの校正方法およびそれを用いた湿度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005062199A JP2005062199A JP2004289613A JP2004289613A JP2005062199A JP 2005062199 A JP2005062199 A JP 2005062199A JP 2004289613 A JP2004289613 A JP 2004289613A JP 2004289613 A JP2004289613 A JP 2004289613A JP 2005062199 A JP2005062199 A JP 2005062199A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- humidity sensor
- calibration
- value
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
【解決手段】 本発明の湿度センサの校正方法は、少なくとも温度の異なる3点における湿度を計測し、それらの計測値により湿度算出直線を導出し、その湿度算出直線を用いて計測値を補正することにより、湿度検知手段の検知部による計測値の非線形性を解消するものである。また、本発明の湿度センサSは、線形性校正手段13を備え、線形性校正手段13により、少なくとも温度の異なる3点における湿度の計測値を用いて湿度算出直線が導出され、その湿度算出直線を用いて計測値が補正されて湿度検知手段1の検知部1aによる計測値の非線形性が解消されてなるものである。
【選択図】 図3
Description
本発明の実施形態1に係る湿度センサの校正方法が適用されている校正機能および故障診断機能を有する湿度センサ(以下、単に湿度センサという)のブロック図を図1に示す。この実施形態1の湿度センサSの校正方法は、湿度検知手段1の検知部1aを加熱あるいは冷却し、それにより湿度センサの指示値を補正することにより湿度センサSの校正をなすとともに、校正が適当になされない場合に故障信号を出力するように構成されてなるものである。つまり、この実施形態1の湿度センサSの校正方法は、検知部1aを所定温度に加熱していわゆる零点補正(零点調整)をする一方、検知部1aを結露させていわゆる100%R.H値補正(100%R.H値調整)をし、さらにその零点調整および100%R.H値調整における調整値により湿度算出直線の勾配を補正することにより、湿度センサSの校正をなすように構成されてなるものである。
本発明の実施形態2に係る湿度センサの校正方法が適用されている校正機能を有する湿度センサ(以下、単に湿度センサという)のブロック図を図3に示す。なお、図3において、図1と同一の符号を付したものは同一または類似の構成要素を示す。
本発明の実施形態3に係る湿度センサの校正方法が適用されている校正機能を有する湿度センサ(以下、単に湿度センサという)の概略図を図5に示し、この湿度センサS2においては、図5に示すように実施形態1の制御・演算装置10に代えてマニュアル操作により校正をなす校正器(校正手段)20が設けられ、そして温度検知手段2は温度計2Aとされるとともに、加熱・冷却手段3はヒータ/クーラ3Aとされている。また、湿度検知手段1は検知部1aの相当静電容量に並列に可変コンデンサ1bを接続するとともに、検知部1aの相当回路に直列に可変抵抗1cを接続してなるものとされている。
雰囲気温度が85℃、相対湿度が95%R.Hである場合の零点補正(零点調整)について説明する。そのときの水蒸気分圧は、54974.6Paである。
雰囲気温度が10℃、相対湿度が30%R.Hである場合の100%R.H値補正(100%R.H値調整)について説明する。なお、そのときの水蒸気分圧は、368.4Paである。
1a 検知部
1b 可変コンデンサ
1c 可変抵抗
2 温度検知手段
2A 温度計
3 加熱・冷却手段
3A ヒータ/クーラ
4 出力手段
10 制御・演算装置
11 校正手段
12 故障診断手段
13 線形性校正手段
20 校正器
S 湿度センサ
Claims (3)
- 少なくとも温度の異なる3点における湿度を計測し、それらの計測値により湿度算出直線を導出し、その湿度算出直線を用いて計測値を補正することにより、湿度検知手段の検知部による計測値の非線形性を解消することを特徴とする湿度センサの校正方法。
- 線形性校正手段を備え、
前記線形性校正手段により、少なくとも温度の異なる3点における湿度の計測値を用いて湿度算出直線が導出され、その湿度算出直線を用いて計測値が補正されて湿度検知手段の検知部による計測値の非線形性が解消されてなることを特徴とする湿度センサ。 - 故障診断手段を備え、
前記故障診断手段により、計測値が閾値を超えた場合、計測値が所定の温度・湿度プロフィルから外れた場合、または校正手段による調整値が閾値を超えた場合、故障と診断されることを特徴とする請求項2記載の湿度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004289613A JP2005062199A (ja) | 2004-10-01 | 2004-10-01 | 湿度センサの校正方法およびそれを用いた湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004289613A JP2005062199A (ja) | 2004-10-01 | 2004-10-01 | 湿度センサの校正方法およびそれを用いた湿度センサ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000351683A Division JP3617032B2 (ja) | 2000-11-17 | 2000-11-17 | 湿度センサの校正方法およびそれを用いた湿度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005062199A true JP2005062199A (ja) | 2005-03-10 |
Family
ID=34373766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004289613A Pending JP2005062199A (ja) | 2004-10-01 | 2004-10-01 | 湿度センサの校正方法およびそれを用いた湿度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005062199A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010008323A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Yamatake Corp | 湿度計測装置 |
WO2011119092A1 (en) * | 2010-03-23 | 2011-09-29 | Rikard Bergsten | A system and a method relating to measuring humidity in a ventilated space |
CN104950957A (zh) * | 2014-03-28 | 2015-09-30 | 上海爱斯佩克环境设备有限公司 | 一种相对湿度再变换的显示和控制方法 |
JP2016017889A (ja) * | 2014-07-09 | 2016-02-01 | 株式会社デンソー | 湿度センサおよびそのキャリブレーションシステム |
JP2018003621A (ja) * | 2016-06-28 | 2018-01-11 | トヨタ自動車株式会社 | 内燃機関の制御装置 |
CN109405884A (zh) * | 2018-12-03 | 2019-03-01 | 无锡华润矽科微电子有限公司 | 基于温湿度传感器的实现湿度校准功能的***及方法 |
WO2021187386A1 (en) | 2020-03-16 | 2021-09-23 | Bayer Cropscience K.K. | Information processor for diagnosing the state of a humidity sensor |
KR20220007263A (ko) * | 2020-07-10 | 2022-01-18 | 경상국립대학교산학협력단 | 이슬점 센서의 평가 및 교정 방법 |
CN117269258A (zh) * | 2023-11-17 | 2023-12-22 | 智火柴科技(深圳)有限公司 | 油液水分传感器的校准装置 |
-
2004
- 2004-10-01 JP JP2004289613A patent/JP2005062199A/ja active Pending
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010008323A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Yamatake Corp | 湿度計測装置 |
WO2011119092A1 (en) * | 2010-03-23 | 2011-09-29 | Rikard Bergsten | A system and a method relating to measuring humidity in a ventilated space |
WO2011119091A1 (en) * | 2010-03-23 | 2011-09-29 | Rikard Bergsten | An arrangement and a method for ventilation of a space |
US8978445B2 (en) | 2010-03-23 | 2015-03-17 | Rikard Bergsten | System and a method relating to measuring humidity in a ventilated space |
CN104950957A (zh) * | 2014-03-28 | 2015-09-30 | 上海爱斯佩克环境设备有限公司 | 一种相对湿度再变换的显示和控制方法 |
CN104950957B (zh) * | 2014-03-28 | 2017-05-24 | 上海爱斯佩克环境设备有限公司 | 一种相对湿度再变换的显示和控制方法 |
JP2016017889A (ja) * | 2014-07-09 | 2016-02-01 | 株式会社デンソー | 湿度センサおよびそのキャリブレーションシステム |
US10344697B2 (en) | 2016-06-28 | 2019-07-09 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Control apparatus for internal combustion engine |
JP2018003621A (ja) * | 2016-06-28 | 2018-01-11 | トヨタ自動車株式会社 | 内燃機関の制御装置 |
CN109405884A (zh) * | 2018-12-03 | 2019-03-01 | 无锡华润矽科微电子有限公司 | 基于温湿度传感器的实现湿度校准功能的***及方法 |
CN109405884B (zh) * | 2018-12-03 | 2024-02-27 | 华润微集成电路(无锡)有限公司 | 基于温湿度传感器的实现湿度校准功能的***及方法 |
WO2021187386A1 (en) | 2020-03-16 | 2021-09-23 | Bayer Cropscience K.K. | Information processor for diagnosing the state of a humidity sensor |
KR20220007263A (ko) * | 2020-07-10 | 2022-01-18 | 경상국립대학교산학협력단 | 이슬점 센서의 평가 및 교정 방법 |
KR102355439B1 (ko) * | 2020-07-10 | 2022-01-26 | 경상국립대학교산학협력단 | 이슬점 센서의 평가 및 교정 방법 |
CN117269258A (zh) * | 2023-11-17 | 2023-12-22 | 智火柴科技(深圳)有限公司 | 油液水分传感器的校准装置 |
CN117269258B (zh) * | 2023-11-17 | 2024-02-02 | 智火柴科技(深圳)有限公司 | 油液水分传感器的校准装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3617032B2 (ja) | 湿度センサの校正方法およびそれを用いた湿度センサ | |
JP2005062199A (ja) | 湿度センサの校正方法およびそれを用いた湿度センサ | |
US20090044593A1 (en) | Method and Apparatus for Calibrating a Relative Humidity Sensor | |
JP2018534574A (ja) | 圧力センサのためのセンサ素子 | |
US20180252598A1 (en) | Method for calibrating a temperature sensor located in a process of automation technology | |
JP4093099B2 (ja) | 液漏れ検出装置 | |
JP2003070750A (ja) | 耳式体温計の温度補正装置 | |
TWI734438B (zh) | 熱控系統、熱控方法與溫度校正裝置 | |
JP6413410B2 (ja) | 湿度センサのキャリブレーションシステム | |
EP4293366A1 (en) | Signal processing circuit, controller, environment forming device, and signal processing method | |
JP2021092487A (ja) | ガスセンサ | |
CN212255479U (zh) | 热控***与温度校正装置 | |
JPH08105803A (ja) | 温湿度測定方法及び装置 | |
JP2000218151A (ja) | 真空装置 | |
JPH0772201A (ja) | Ic試験用恒温槽装置 | |
JP2001281182A (ja) | 湿度検出装置 | |
WO2023053993A1 (ja) | 温度校正システム、検査装置および温度校正方法 | |
JP5123867B2 (ja) | 温度校正装置 | |
JPH0694658A (ja) | 低温高湿度検出装置及び低温高湿度制御装置 | |
JP5159383B2 (ja) | 熱式流量計およびその初期調整方法と初期調整装置 | |
KR101943555B1 (ko) | 환경 변화에 대응 가능한 poc 진단장치 및 그 제어방법 | |
KR20050017572A (ko) | 열량계의 제작 공정에서 발생하는 열량계의 오차를보정하는 방법 | |
JP2016053487A (ja) | 抵抗型温度センサの自己加熱補正装置および方法 | |
JPS5930436Y2 (ja) | 精密恒温槽 | |
JP2732270B2 (ja) | 温度制御方式 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070327 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070522 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070619 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071016 |