JP3571088B2 - Dramセルコンタクトの構造及びその形成方法 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、DRAM(ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ)素子に係り、特にDRAMメモリセルにおいて、COB(Capacitor Over Bitline)タイプのメモリセルのコンタクトの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、このような分野の技術としては、例えば、1988 IEDM Technical Digest pp596〜599に開示されるものがあった。
【0003】
この文献に開示されるように、DRAMのメモリセルとしては、COB構造がある。以下、COB構造について説明する。
【0004】
まず、COB構造以前のメモリセルにおいては、図8に示すように、多結晶Siからなるキャパシタ下部電極4a/SiO2 −SiN−SiO2 からなるキャパシタの誘電膜4b/多結晶Siからなるキャパシタ上部電極4cからなるキャパシタ4を、ワード線5の上方、ビット線6の下方に形成していた。
【0005】
そのため、ビット線6とスイッチングトランジスタを結ぶビットコンタクトに対し、合わせ余裕を確保する必要があり、キャパシタ電極面積を、図9に示すように、小さくせざるを得なかった。なお、図8及び図9において、1はSi基板、2は拡散層、3はパッド電極、7、8及び9は絶縁膜である。
【0006】
それに対し、COB構造は、図10に示すように、多結晶Siからなるキャパシタ下部電極13a/SiO2 −SiN−SiO2 からなるキャパシタの誘電膜13b/多結晶Siからなるキャパシタ上部電極13cからなるキャパシタ13を、ビット線15の上方に形成するため、図11に示すように、ビットコンタクトとの合わせ余裕が必要なくなり、キャパシタ電極面積を、リソグラフィの限界によって決まる最大の大きさまで拡げることが可能となる。なお、図10及び図11において、11はSi基板、12は拡散層、14はワード線、16及び17は絶縁膜、18はセルコンタクトである。
【0007】
以上のメリットにより、COB構造は16Mb 以降のDRAMにおいて、広く採用されるようになった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来のCOB構造においては、キャパシタとスイッチングトランジスタを結ぶセルコンタクト18を開孔する際に、ワード線14、ビット線15の両方に対して合わせ余裕を確保する必要が生じる。
【0009】
特に、256Mb 以降の超微細セルにおいては、この問題が顕在化してくる。256Mb DRAMを例にとって説明する。
【0010】
ここで、メモリセルサイズを0.6×1.2μm2 、デザインルールを0.25μmと仮定して、パターン図を書くと、図12に示すように、セルコンタクト18のワード線14に対する余裕は、0.075μm、ビット線15に対する余裕は0.05μmとなり、もはやリソグラフィの合わせ精度の限界を超えた値となる。
【0011】
本発明は、上記問題点を除去し、メモリセルパターンを設計する際に、セルコンタクトのパターンを、ワード線及びビット線のパターンとの合わせを無視して容易にレイアウトすることができるDRAMセルコンタクトの構造及びその形成方法を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、
(1)DRAMセルコンタクトの形成方法において、(a)第1の多結晶Si上に第1のSiO2 膜を生成し、この複合膜でワード線のパターンを形成する工程と、(b)その上に第2のSiO2 膜を生成する工程と、(c)その上に第1のSiN膜を生成する工程と、(d)第1のBPSG膜を生成し、フローを行う工程と、(e)不純物がドープされた第2の多結晶Si膜、WSi膜、第3のSiO2 膜、第2のSiN膜を順次生成し、この複合膜でビット線のパターンを形成する工程と、(f)その上に第4のSiO2 膜を生成し、異方性エッチングによりビット線の側部に第1のサイドウォールを形成する工程と、(g)その上に第3のSiN膜を生成し、異方性エッチングにより第2のサイドウォールを形成する工程と、(h)第2のBPSG膜を生成し、ドライN2 雰囲気にてBPSGフローを行う工程と、(i)前記第2のBPSG膜上にセルコンタクトのレジストパターンを形成する工程と、(j)前記セルコンタクトのレジストパターンをマスクとしてBPSGとSiNとの高選択比エッチングにて前記第1及び第2のBPSG膜をエッチングする工程と、(k)前記(j)工程でエッチングされたセルコンタクトのパターンをマスクとしてSiNとBPSGとの高選択比エッチングにて前記第1の窒化膜、第2の窒化膜及び第2のサイドウォールをエッチングする工程と、(l)前記(k)工程でエッチングされたセルコンタクトのパターンをマスクとして異方性エッチングによりワード線の側部に第3のサイドウォールを形成するとともに前記第2の酸化膜をエッチングしコンタクトをとる工程とを施すようにしたものである。
【0013】
(2)DRAMセルコンタクトの形成方法において、(a)第1の多結晶Si上に第1のSiO2 膜を生成し、この複合膜でワード線のパターンを形成する工程と、(b)その上に第2のSiO2 膜を生成する工程と、(c)その上に第1のSiN膜を生成する工程と、(d)第1のBPSG膜を生成し、フローを行う工程と、(e)不純物がドープされた第2の多結晶Si膜、WSi膜、第3のSiO2 膜、第2のSiN膜を順次生成し、この複合膜でビット線のパターンを形成する工程と、(f)その上に第4のSiO2 膜を生成し、異方性エッチングによりビット線の側部に第1のサイドウォールを形成する工程と、(g)その上に第3のSiN膜を生成し、異方性エッチングにより第2のサイドウォールを形成する工程と、(h)この第2のサイドウォール及び前記第2のSiN膜をマスクとし、BPSG/SiN高選択比エッチングにて前記第1のBPSG膜をエッチングする工程と、(i)その上に、第4のSiN膜、第2のBPSGを順次生成し、ウェットO2 雰囲気にてBPSGフローを行う工程と、(j)前記第2のBPSG膜上にセルコンタクトのレジストパターンを形成する工程と、(k)前記セルコンタクトのレジストパターンをマスクとしてBPSGとSiNとの高選択比エッチングにて前記第1及び第2のBPSG膜をエッチングする工程と、(l)前記(k)工程でエッチングされたセルコンタクトのパターンをマスクとしてSiNとBPSGとの高選択比エッチングにて前記第1の窒化膜、第2の窒化膜及び第2のサイドウォールをエッチングする工程と、(m)前記(l)工程でエッチングされたセルコンタクトのパターンをマスクとして異方性エッチングによりワード線の側部に第3のサイドウォールを形成するとともに前記第2の酸化膜をエッチングしコンタクトをとる工程とを施すようにしたものである。
【0014】
(3)DRAMセルコンタクトの構造において、上記〔1〕又は〔2〕記載のDRAM セルコンタクトの形成方法によって製造されるようにしたものである。
【0015】
【作用】
(1)請求項1記載のDRAMセルコンタクトの構造又は形成方法によれば、セルコンタクト(49,150)のワード線(29,129)及びビット線(35,36;135,136)にかかるようなパターンにおいても、ワード線(29,129)の側部はサイドウォール(45,146)によって、また、ワード線(29,129)の上部はSiO2 膜(28,128)によって、キャパシタ下部電極(46,147)と電気的な絶縁が保たれており、また、ビット線(35,36;135,136)の側部はサイドウォール(40,140)によって、また、ビット線(35,36;135,136)の上部はSiO2 膜(37,137)によって、キャパシタ下部電極(46,147)と電気的な絶縁が保たれているので、DRAMのメモリセルの正常な動作が得られる。
【0016】
したがって、メモリセルパターンを設計する際に、セルコンタクトのパターンを、ワード線及びビット線のパターンとの合わせを無視してレイアウトすることができ、256Mb DRAM以降の微細なDRAMメモリセルの形成を可能とすることができる。
【0017】
(2)請求項2記載のDRAMセルコンタクトの形成方法によれば、特に、図16(b)に示すように、SiN膜(143)の存在により、BPSG膜(144)のウェットO2 雰囲気でのフロー化が可能となり、上記(1)のドライ・フローに比べ、プロセスを低温化でき、トランジスタ等の素子特性にマージンを持たせることができる。
【0018】
また、ドライ・フローと同じ温度で、ウェット・フローを行えば、BPSG膜(144)の表面平坦度が向上することになり、セルコンタクト、キャパシタ下部電極等の後工程のパターニング特性にマージンを持たせることができる。
【0019】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【0020】
図1は本発明の第1実施例を示すDRAM素子のセルパターン図、図2はそのDRAMセルのコンタクト部の断面図、図3〜図6は本発明の第1実施例を示すDRAMセルのコンタクト部の製造工程断面図であり、左側に示される図3(a−1)から図6(b−1)までは、図1のA−A線断面図、右側に示される図3(a−2)から図6(b−2)までは、図1のB−B線断面図である。
【0021】
以下、本発明の実施例を示すDRAM素子の製造方法について説明する。
【0022】
(1)まず、図3(a)に示すように、LOCOS法によって、能動領域22、分離領域23(選択酸化膜25による)が形成されたP型Si基板21上に、熱酸化法によりゲート酸化膜24(70Å)、LP−CVD法により多結晶Si膜26(2000Å)(第1の多結晶Si膜)を生成する。その後、POCl3 気相拡散により、多結晶Si膜26中にリンを拡散させた後、CVD法により第1のSiO2 膜27(1000Å程度)(第1の酸化膜)を生成する。
【0023】
(2)次に、図3(b)に示すように、リソグラフィエッチングにより、ホトレジストをマスクとして、SiO2 膜27のパターニングを行い、更に、そのパターニングされたSiO2 膜28をマスクとして、多結晶Si膜26をパターニングし、ワード線29を形成する。
【0024】
(3)次に、図3(c)に示すように、CVD法により、SiO2 膜30(第2の酸化膜)を500Å程度生成した後、リンイオンをイオン注入し、熱処理を施し、N型不純物層31を形成する。
【0025】
(4)次に、図3(d)に示すように、LP−CVD法により、SiN膜32(第1の窒化膜)を500〜1000Å程度生成し、更に、CVD法により、BPSG膜33(第1のBPSG膜)を数1000Å生成し、N2 あるいはN2 +O2 雰囲気中にてアニールし、BPSG膜33をフローさせる。更に、LP−CVD法にて、SiN膜34を数100Å生成する。
【0026】
(5)次に、図3(e)に示すように、ホトリソエッチングにより、ビットコンタクト(図示なし)を形成した後、多結晶Si膜35(第2の多結晶Si膜)を1000Å程度、LP−CVD法により生成し、更に、リンイオンをイオン注入する。次に、スパッタ法により、WSi膜36を1000〜2000Å程度生成する。更に、CVD法によりSiO2 膜37(第3の酸化膜)を1000Å生成する。このSiO2 膜37の膜厚は、必ずSiO2 膜30より厚くする。更に、LP−CVD法により、SiN膜38(第2の窒化膜)を1000〜2000Å生成する。
【0027】
(6)次に、図4(a)に示すように、リソグラフィエッチングにより、SiN膜38、SiO2 膜37、WSi膜36、多結晶Si膜35をパターニングし、ビット線を形成する。次に、CVD法により、SiO2 膜39(第4の酸化膜)を1000Å程度生成する。
【0028】
(7)次に、図4(b)に示すように、異方性エッチングにより、SiO2 膜39をエッチバックし、ビット線の側壁にサイドウォール40(第1のサイドウォール)を形成する。この時、SiN膜34があるため、BPSG膜33はエッチングされない。次に、LP−CVD法により、SiN膜41(第3の窒化膜)を1000Å程度生成する。
【0029】
(8)次いで、図4(c)に示すように、異方性エッチングにより、SiN膜41をエッチバックし、ビット線の側壁にサイドウォール42(第2のサイドウォール)を形成する。この時、エッチング量をSiN膜41(1000Å)より多くし、なおかつ、SiN膜41+SiN膜38(1000+1000〜2000Å)以下とすることにより、ビット線上にSiN膜38を残すようにする。ここで、SiN膜34の不要部はエッチングされ、ビット線の部分だけにSiN膜34が残る。次いで、CVD法により、BPSG膜43を数1000Å生成し、N2 雰囲気中で熱処理を施し、BPSG膜43をフローさせる。
【0030】
(9)次に、図5(a)に示すように、リソグラフィにより、セルコンタクトのレジストパターン44を形成する。BPSG膜のエッチングレートが、SiN膜のレートに対し大きく(20以上)なるエッチング条件において、BPSG膜43及び33をエッチングする。
【0031】
(10)次いで、図5(b)に示すように、SiN膜のエッチングレートが、BPSG膜に比べ大きくなる条件で、SiN膜32、SiN膜38及びサイドウォール42をエッチングする。
【0032】
(11)次いで、図5(c)に示すように、SiO2 膜30をエッチングし、サイドウォール45(第3のサイドウォール)を形成する。この時のエッチング量を、SiO2 膜30の膜厚(500Å)以上、SiO2 膜37の膜厚(1000Å)とすることで、ビット線上にはSiO2 膜37が残る。
【0033】
(12)次に、図6(a)に示すように、レジストパターン44を除去した後、キャパシタ下部電極となる多結晶Si膜46をLP−CVD法により生成し、ヒ素イオンを注入する。
【0034】
(13)次に、図6(b)に示すように、多結晶Si膜46をパターニングした後、キャパシタの誘電膜となるSiO2 /SiN複合膜47、キャパシタ上部電極となる多結晶Si膜48を生成する。このようにして、セルコンタクト49が形成される。
【0035】
次に、図2を用いて本発明のDRAMセルコンタクトの構造を説明する。
【0036】
この図に示すように、セルコンタクト49の開口部が、多結晶Si膜よりなるワード線29、及び多結晶Si膜35とWSi膜36よりなるビット線にかかって開口されている場合においても、ワード線29の側部はサイドウォール45によって、また、ワード線29の上部はSiO2 膜28によって、キャパシタ下部電極46と電気的に絶縁がなされている。
【0037】
また、ビット線の側部はサイドウォール40により、また、ビット線の上部はSiO2 膜37によって、同じくキャパシタ下部電極46と電気的に絶縁がなされている。
【0038】
以上のように、第1実施例によれば、セルコンタクト49のワード線29及びビット線(35,36)にかかるようなパターンにおいても、ワード線29の側部はサイドウォール45で、また、ワード線29の上部はSiO2 膜28によって、キャパシタ下部電極46と電気的な絶縁が保たれており、また、ビット線(35,36)の側部はサイドウォール40により、また、ビット線(35,36)の上部はSiO2 膜37によって、キャパシタ下部電極46と電気的な絶縁が保たれているので、DRAMのメモリセルの正常な動作が得られる。
【0039】
従って、メモリセルパターンを設計する際に、セルコンタクト49のパターンを、ワード線及びビット線のパターンとの合わせを無視してレイアウトすることができ、256Mb DRAM以降の微細なDRAMメモリセルの形成を可能とすることができる。
【0040】
図7は本発明の第1実施例を示すDRAMセルの断面図であり、図1のC−C線断面図である。
【0041】
以下、このDRAMセルの動作を説明する。
【0042】
この図に示すように、DRAMセルは、ワード線29、N型不純物層31よりなるスイッチングトランジスタと、多結晶Si膜35、WSi膜36よりなるビット線と、多結晶Si膜からなるキャパシタ下部電極46、SiO2 /SiN複合膜47、多結晶Si膜からなるキャパシタ上部電極48よりなるキャパシタとで構成される。
【0043】
また、スイッチングトランジスタと、ビット線、キャパシタはそれぞれビットコンタクト50、セルコンタクト49により接続されている。書き込み動作の場合、書き込む情報が“1”か“0”かによって、ビット線の電位を“High”レベル(Vcc)か“Low”レベル(Vss)に固定した後、スイッチングトランジスタのゲート電極に正電位を印加し、スイッチングトランジスタをONとして、キャパシタ下部電極46の電位をビット線と同電位にする。スイッチングトランジスタをOFFとすることで、キャパシタには“1”または“0”の情報が蓄えられる。
【0044】
次に、読み出し動作の場合は、ビット線の電位を“1”と“0”の中間レベル(1/2Vcc)にした後、スイッチングトランジスタをONにする。キャパシタ下部電極46に蓄えられている情報“1”または“0”に従い、ビット線の電位は1/2Vccより、高くあるいは低く変化する。この電位と1/2Vccとの差をセンスアンプにより増幅し、“1”または“0”の情報を読み出す。
【0045】
次に、本発明の第2実施例について説明する。
【0046】
図13は本発明の第2実施例を示すDRAM素子のセルパターン図、図14〜図18は本発明の第2実施例を示すDRAMセルのコンタクト部の製造工程断面図であり、左側に示される図14(a−1)から図18(b−1)までは、図13のA−A線断面図、右側に示される図14(a−2)から図18(b−2)までは、図13のB−B線断面図である。なお、上記した第1実施例と図4(b)工程までは同一工程であるが、省略しないで説明する。
【0047】
(1)まず、図14(a)に示すように、LOCOS法によって、能動領域122、分離領域123(選択酸化膜125を形成)が形成されたP型Si基板121上に、熱酸化法により、ゲート酸化膜124(70Å)、LP−CVD法により、多結晶Si膜126(2000Å)(第1の多結晶Si膜)を生成する。その後、POCl3 気相拡散により、多結晶Si膜126中にリンを拡散させた後、CVD法によりSiO2 膜127(1000Å程度)(第1の酸化膜)を生成する。
【0048】
(2)次に、図14(b)に示すように、リソグラフィエッチングにより、ホトレジストをマスクとして、SiO2 膜127のパターニングを行い、更に、そのパターニングされたSiO2 膜128をマスクとして、多結晶Si膜126をパターニングし、ワード線129を形成する。
【0049】
(3)次いで、図14(c)に示すように、CVD法により、SiO2 膜130(第2の酸化膜)を500Å程度生成した後、リンイオンをイオン注入し、熱処理を施し、N型不純物層131を形成する。
【0050】
(4)次に、図14(d)に示すように、LP−CVD法により、SiN膜132(第1の窒化膜)を500〜1000Å程度生成し、更に、CVD法により、BPSG膜133(第1のBPSG膜)を数1000Å生成し、N2 あるいはN2 +O2 雰囲気中にてアニールし、BPSG膜133をフローさせる。更に、LP−CVD法にて、SiN膜134を数100Å生成する。
【0051】
(5)次に、図14(e)に示すように、ホトリソエッチングにより、ビットコンタクト(図示なし)を形成した後、多結晶Si膜135(第2の多結晶Si膜)を1000Å程度、LP−CVD法により生成し、更に、リンイオンをイオン注入する。次に、スパッタ法により、WSi膜136を1000〜2000Å程度生成する。更に、CVD法によりSiO2 膜137(第3の酸化膜)を1000Å生成する。このSiO2 膜137の膜厚は、必ずSiO2 膜130より厚くする。更に、LP−CVD法により、SiN膜138を1000〜2000Å生成する。
【0052】
(6)次いで、図15(a)に示すように、リソグラフィエッチングにより、SiN膜138、SiO2 膜137、WSi膜136、多結晶Si膜135をパターニングし、ビット線を形成する。次に、CVD法により、SiO2 膜139(第4の酸化膜)を1000Å程度生成する。
【0053】
(7)次に、図15(b)に示すように、異方性エッチングにより、SiO2 膜139をエッチバックし、ビット線の側壁にサイドウォール140(第1のサイドウォール)を形成する。この時、SiN膜134があるため、BPSG膜133はエッチングされない。次に、LP−CVD法により、SiN膜141(第3の窒化膜)を1000Å程度生成する。
【0054】
(8)次に、図15(c)に示すように、異方性エッチングにより、SiN膜141をエッチバックし、ビット線の側壁にサイドウォール142(第2のサイドウォール)を形成する。この時、エッチング量をSiN膜141(1000Å)より多くし、なおかつ、SiN膜141+SiN膜138(1000+1000〜2000Å)以下とすることにより、ビット線上にSiN膜138を残すようにする。ここで、SiN膜134の不要部はエッチングされ、ビット線の部分だけにSiN膜134が残る。
【0055】
(9)次に、図16(a)に示すように、サイドウォール142及びSiN膜138をマスクとして、BPSG膜133を高選択比エッチにてエッチングする。
【0056】
(10)次に、図16(b)に示すように、SiN膜143をLP−CVD法により、100Å程度生成し、BPSG膜144を数1000Å生成する。次に、ウェットO2 雰囲気中でフローを行う。SiN膜143がBPSG膜144の下全面を覆っているため、ウェットフローが可能となり、BPSG膜144の平坦化を低温で効率よく行うことができる。
【0057】
(11)次に、図16(c)に示すように、リソグラフィにより、セルコンタクトのレジストパターン145を形成する。BPSG膜のエッチングレートが、SiN膜のレートに対し大きく(20以上)なるエッチング条件において、BPSG膜144をエッチングする。
【0058】
(12)次に、図17(a)に示すように、SiN膜のエッチングレートが、BPSG膜に比べ大きくなる条件で、SiN膜132、SiN膜138及びサイドウォール142をエッチングする。
【0059】
(11)次に、図17(b)に示すように、SiO2 膜130をエッチングし、サイドウォール146(第3のサイドウォール)を形成する。この時のエッチング量を、SiO2 膜130の膜厚(500Å)以上、SiO2 膜137の膜厚(1000Å)とすることで、ビット線上にはSiO2 膜137が残る。
【0060】
(12)次に、図18(a)に示すように、レジストパターン145を除去した後、キャパシタ下部電極となる多結晶Si膜147を、LP−CVD法により生成し、ヒ素イオンを注入する。
【0061】
(13)次に、図18(b)に示すように、多結晶Si膜147をパターニングした後、キャパシタの誘電膜となるSiO2 /SiN複合膜148、キャパシタ上部電極となる多結晶Si膜149を生成する。
【0062】
このようにして、平面的にみると、図13に示すようなセルコンタクト150を得ることができる。なお、151はビットコンタクトを示している。
【0063】
以上の第2実施例によれば、SiN膜143の存在により、BPSG膜144のウェット・フロー化が可能となり、ドライ・フロー(第1実施例)に比べ、プロセスを低温化でき、トランジスタ等の素子特性にマージンを持たせることができる。
【0064】
また、ドライ・フローと同じ温度で、ウェット・フローを行えば、BPSG膜144の表面平坦度が向上することになり、セルコンタクト、キャパシタ下部電極等の後工程のパターニング特性にマージンを持たせることができる。
【0065】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【0066】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【0067】
本発明によれば、セルコンタクトのワード線及びビット線にかかるようなパターンにおいても、ワード線の側部は酸化膜サイドウォールで、また、ワード線上部は酸化膜によって、キャパシタ下部電極と電気的な絶縁が保たれており、また、ビット線の側部は酸化膜サイドウォールで、また、ビット線の上部は酸化膜によって、キャパシタ下部電極と電気的な絶縁が保たれているので、DRAMのメモリセルの正常な動作が得られる。
【0068】
したがって、メモリセルパターンを設計する際に、セルコンタクトのパターンを、ワード線及びビット線のパターンとの合わせを無視してレイアウトすることができ、256Mb DRAM以降の微細なDRAMメモリセルの形成を可能とすることができる。
【0069】
さらに、SiN膜の存在により、BPSG膜のウェット・フロー化が可能となり、ドライ・フロー(第1実施例)に比べ、プロセスを低温化でき、トランジスタ等の素子特性にマージンを持たせることができる。
【0070】
また、ドライ・フローと同じ温度で、ウェット・フローを行えば、BPSG膜の表面平坦度が向上することになり、セルコンタクト、キャパシタ下部電極等の後工程のパターニング特性にマージンを持たせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示すDRAM素子のセルパターン図である。
【図2】本発明の第1実施例を示すDRAMセルのコンタクト部の断面図である。
【図3】本発明の第1実施例を示すDRAMセルのコンタクト部の製造工程断面図(その1)である。
【図4】本発明の第1実施例を示すDRAMセルのコンタクト部の製造工程断面図(その2)である。
【図5】本発明の第1実施例を示すDRAMセルのコンタクト部の製造工程断面図(その3)である。
【図6】本発明の第1実施例を示すDRAMセルのコンタクト部の製造工程断面図(その4)である。
【図7】本発明の第1実施例を示すDRAMセルの断面図である。
【図8】従来の第1のDRAMセルの断面図である。
【図9】図8のDRAMセルの平面図である。
【図10】従来の第2のDRAMセルの断面図である。
【図11】図10のDRAMセルの平面図である。
【図12】従来の第2のDRAMセルのコンタクトパターンの拡大平面図である。
【図13】本発明の第2実施例を示すDRAM素子のセルパターン図である。
【図14】本発明の第2実施例を示すDRAMセルのコンタクト部の製造工程断面図(その1)である。
【図15】本発明の第2実施例を示すDRAMセルのコンタクト部の製造工程断面図(その2)である。
【図16】本発明の第2実施例を示すDRAMセルのコンタクト部の製造工程断面図(その3)である。
【図17】本発明の第2実施例を示すDRAMセルのコンタクト部の製造工程断面図(その4)である。
【図18】本発明の第2実施例を示すDRAMセルのコンタクト部の製造工程断面図(その5)である。
【符号の説明】
21,121 P型Si基板
22,122 能動領域
23,123 分離領域
24,124 ゲート酸化膜
25,125 選択酸化膜
26,35,126,135 多結晶Si膜
27,30,37,39,127,130,137,139 SiO2 膜
28,128 パターニングされたSiO2 膜
29,129 ワード線(多結晶Si膜)
31,131 N型不純物層
32,34,38,41,132,134,138,141,143 SiN膜
33,43,133,144 BPSG膜
36,136 WSi膜
40,42,45,140,142,146 サイドウォール
44,145 レジストパターン
46,147 多結晶Si膜(キャパシタ下部電極)
47,148 SiO2 /SiN複合膜(キャパシタの誘電膜)
48,149 多結晶Si膜(キャパシタ上部電極)
49,150 セルコンタクト
50,151 ビットコンタクト
Claims (3)
- DRAMセルコンタクトの形成方法において、
(a)不純物がドープされた第1の多結晶Si上に第1の酸化膜を生成し、この複合膜でワード線のパターンを形成する工程と、
(b)その上に第2の酸化膜を生成する工程と、
(c)その上に第1の窒化膜を生成する工程と、
(d)第1のBPSG膜を生成し、フローを行う工程と、
(e)不純物がドープされた第2の多結晶Si膜、WSi膜、第3の酸化膜、第2の窒化膜を順次生成し、この複合膜でビット線のパターンを形成する工程と、
(f)その上に第4の酸化膜を生成し、異方性エッチングによりビット線の側部に第1のサイドウォールを形成する工程と、
(g)その上に第3の窒化膜を生成し、異方性エッチングにより第2のサイドウォールを形成する工程と、
(h)第2のBPSG膜を生成し、ドライN2 雰囲気にてBPSGフローを行う工程と、
(i)前記第2のBPSG膜上にセルコンタクトのレジストパターンを形成する工程と、
(j)前記セルコンタクトのレジストパターンをマスクとしてBPSGとSiNとの高選択比エッチングにて前記第1及び第2のBPSG膜をエッチングする工程と、
(k)前記(j)工程でエッチングされたセルコンタクトのパターンをマスクとしてSiNとBPSGとの高選択比エッチングにて前記第1の窒化膜、第2の窒化膜及び第2のサイドウォールをエッチングする工程と、
(l)前記(k)工程でエッチングされたセルコンタクトのパターンをマスクとして異方性エッチングによりワード線の側部に第3のサイドウォールを形成するとともに前記第2の酸化膜をエッチングしコンタクトをとる工程とを有することを特徴とするDRAMセルコンタクトの形成方法。 - DRAMセルコンタクトの形成方法において、
(a)不純物がドープされた第1の多結晶Si上に第1の酸化膜を生成し、この複合膜でワード線のパターンを形成する工程と、
(b)その上に第2の酸化膜を生成する工程と、
(c)その上に第1の窒化膜を生成する工程と、
(d)第1のBPSG膜を生成し、フローを行う工程と、
(e)不純物がドープされた第2の多結晶Si膜、WSi膜、第3の酸化膜、第2の窒化膜を順次生成し、この複合膜でビット線のパターンを形成する工程と、
(f)その上に第4の酸化膜を生成し、異方性エッチングによりビット線の側部に第1のサイドウォールを形成する工程と、
(g)その上に第3の窒化膜を生成し、異方性エッチングにより第2のサイドウォールを形成する工程と、
(h)該第2のサイドウォール及び前記第2の窒化膜をマスクとし、BPSG/SiN高選択比エッチングにて前記第1のBPSG膜をエッチングする工程と、
(i)その上に、第4の窒化膜、第2のBPSGを順次生成し、ウェットO2 雰囲気にてBPSGフローを行う工程と、
(j)前記第2のBPSG膜上にセルコンタクトのレジストパターンを形成する工程と、
(k)前記セルコンタクトのレジストパターンをマスクとしてBPSGとSiNとの高選択比エッチングにて前記第1及び第2のBPSG膜をエッチングする工程と、
(l)前記(k)工程でエッチングされたセルコンタクトのパターンをマスクとしてSiNとBPSGとの高選択比エッチングにて前記第1の窒化膜、第2の窒化膜及び第2のサイドウォールをエッチングする工程と、
(m)前記(l)工程でエッチングされたセルコンタクトのパターンをマスクとして異方性エッチングによりワード線の側部に第3のサイドウォールを形成するとともに前記第2の酸化膜をエッチングしコンタクトをとる工程とを有することを特徴とするDRAMセルコンタクトの形成方法。 - 請求項1又は2記載のDRAMセルコンタクトの形成方法によって製造されるDRAMセルコンタクトの構造。
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