JP3556470B2 - 高周波用モジュール - Google Patents
高周波用モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP3556470B2 JP3556470B2 JP14937898A JP14937898A JP3556470B2 JP 3556470 B2 JP3556470 B2 JP 3556470B2 JP 14937898 A JP14937898 A JP 14937898A JP 14937898 A JP14937898 A JP 14937898A JP 3556470 B2 JP3556470 B2 JP 3556470B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency
- connection
- dielectric substrate
- transmission line
- line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/1517—Multilayer substrate
- H01L2924/15192—Resurf arrangement of the internal vias
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/1615—Shape
- H01L2924/16152—Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/1615—Shape
- H01L2924/16152—Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap
- H01L2924/16153—Cap enclosing a plurality of side-by-side cavities [e.g. E-shaped cap]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/162—Disposition
- H01L2924/16251—Connecting to an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. cap-to-substrate
Landscapes
- Waveguides (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロ波帯からミリ波帯領域の高周波素子を複数搭載した高周波用モジュールに関し、特に、高周波信号の特性を劣化させることなく高周波素子間での信号の伝達を行うことのできる高周波用モジュールに関する。
【0002】
【従来技術】
従来、マイクロ波やミリ波を取り扱う高周波回路素子を搭載した高周波用パッケージにおいては、誘電体基板と、誘電体基板の表面に接続された壁体や蓋体によって形成されるキャビティ内に気密封止されている高周波素子が収納されており、高周波素子と電気的に接続された信号伝送線路と外部回路基板に形成された信号伝送線路を電気的に接続して高周波信号の入出力が行われている。
【0003】
そこで、従来から、この種の高周波用モジュールでは、図9(a)に示すように、誘電体からなる誘電体基板41と蓋42、42’により形成されたキャビティ43、43’内にそれぞれ高周波素子44、44’を搭載して気密に封止されている。そして高周波信号の入出力は、誘電体基板41表面に高周波素子44、44’と接続されるストリップ線路等の高周波用伝送線路45、45’がそれぞれ形成されている。この伝送線路45と45’とを、蓋42、42’に形成された絶縁体46により絶縁された導体層47を介してワイヤボンディングやリボン等により接続されている。また、図9(b)に示すように、誘電体基板41の内部に信号伝送線路49を形成し、この信号伝送線路49と伝送線路45と45’とをスル−ホ−ル導体50を通じて接続した半導体パッケージが提案されている。さらに、図9(c)に示すように、複数の高周波素子を、それぞれ独立して導電性蓋体にて電磁的に封止して、各高周波素子の入出力端に、それぞれ誘電体基板の主表面から金属板51の裏面にかけて貫通するスルーホールを形成し、該スルーホールの内部に、同軸伝送路52、53を配し、該同軸伝送路52、53の主表面側の入出力端と、回路ブロックの入出力端とを電気的に接続する同軸伝送路接続部54、54’を介し、回路ブロックの入力端に接続される同軸伝送路52、53と、他の回路ブロックの出力端に接続される同軸伝送路52’、53’とを接続し、さらに、裏面側にて接続部材55を介して接続する構成が平7−263887号等にて提案されている。
【0004】
このような高周波用モジュールにおいては、高周波信号の伝送特性を劣化させることなく、高周波素子間で信号の入出力が可能であり、さらには、製造が容易であることも要求される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図9(a)においては、高周波信号が導体層47中を通り、壁体42、42’を通過する場合、壁体通過部で信号伝送線路がマイクロストリップ線路からストリップ線路へと変換されるため、インピーダンス整合をとるために信号伝送線路幅を狭くする必要がある。その結果、この通過部で反射損、放射損が発生しやすく高周波信号の伝送特性が劣化するという問題がある。しかも、信号伝送線路45、45’をキャビティ42、42’の外側に引出すために、壁体の少なくとも線路通過部は誘電体によって形成する必要があり、構造が複雑になり、モジュール全体のコストを高める要因にもなっていた。
【0006】
これに対して、図9(b)は、スルーホール導体50によって壁体を通過しないために、信号の特性劣化は小さいが、伝送する信号の使用周波数が40GHz以上になると信号伝送線路49とスルーホール導体50との接続部が曲折するために、曲折部での透過損失が急激に大きくなり、高周波信号を伝送することが困難であった。
【0007】
また、図9(c)においても、スルーホール導体52、52’の内部の同軸伝送路54、54’により、高周波信号の伝送損失を小さくすることはできるが、スルーホール内に同軸伝送路を形成することが難しく、また、接続部の信頼性が劣るという問題があった。
【0008】
従って、本発明は、誘電体基板表面に形成された複数の高周波素子を個々に電磁的に封止するとともに、高周波素子間の信号伝達時の伝送損失が小さく、且つ簡略した構造からなる小型で高信頼性の高周波用モジュールを提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、高周波用モジュールにおいて、低損失化、小型化が可能な構造について検討を重ねた結果、蓋体によるキャビティ内の誘電体基板表面に形成され、一方の端部が前記高周波素子と電気的に接続された素子接続高周波伝送線路同士を、前記キャビティ外の領域に形成された接続用高周波伝送線路との電磁結合によって接続することにより、前記高周波素子間を伝送特性を劣化させることなく電気的に相互接続することができるとともに、かつ単純で小型化が可能なモジュール構造となることを見いだした。
【0010】
また、前記接続用伝送線路を電磁的に封止することにより、簡単な構造によって小型のモジュール化が可能であるとともに、回路全体の保護、ならびに外部からの電磁波の影響や、モジュールや信号伝送線路からの電磁波のもれを防止することができるものである。
【0011】
即ち、本発明の高周波用モジュールは、誘電体基板と、該誘電体基板の一方の表面に接合された第1の蓋体と、該第1の蓋体と前記誘電体基板によって形成された第1のキャビティ内の前記誘電体基板表面に実装された第1の高周波素子と、前記第1のキャビティ内部の前記誘電体基板表面に形成され、一方の端部が前記第1の高周波素子と電気的に接続された第1の素子接続高周波伝送線路と、前記誘電体基板の一方の表面に接合された第2の蓋体と、該第2の蓋体と前記誘電体基板によって形成された第2のキャビティ内の前記誘電体基板表面に実装された第2の高周波素子と、前記第2のキャビティ内部の前記誘電体基板表面に形成され、一方の端部が前記第2の高周波素子と電気的に接続された第2の素子接続高周波伝送線路と、前記第1のキャビティおよび第2のキャビティ外の領域に形成された接続用高周波伝送線路とを具備し、前記第1の素子接続高周波伝送線路の他方の端部と、前記接続用高周波伝送線路の一方の端部を、および前記第2の素子接続高周波伝送線路の他方の端部と、前記接続用高周波伝送線路の他方の端部とをそれぞれ電磁結合することにより、前記第1および第2の高周波素子間を電気的に相互接続してなることを特徴とするものである。
【0012】
特に、本発明によれば、前記電磁結合は前記第1の素子接続高周波伝送線路と、前記接続用高周波伝送線路、および前記第2の素子接続高周波伝送線路と、前記接続用高周波伝送線路間にグランド層が介在し、該グランド層に形成されたスロット孔を介して前記第1の素子接続高周波伝送線路と、前記接続用高周波伝送線路、ならびに前記第2の素子接続高周波伝送線路とが電磁結合されることが望ましい。
【0013】
また、本発明の高周波用モジュールの具体的な構造としては、前記グランド層が、前記誘電体基板内部に形成され、前記接続用高周波伝送線路が前記誘電体基板の他方の表面に形成されてなる構造、前記グランド層が前記第1の誘電体基板に設けられ、前記接続用高周波伝送線路が第2の誘電体基板に形成され、前記第2の誘電体基板を前記第1の誘電体基板の他方の表面の所定箇所に設置してなる構造、前記グランド層と前記接続用高周波伝送線路が、第2の誘電体基板に設けられ、前記第2の誘電体基板を前記誘電体基板の他方の表面の所定箇所に設置してなる構造が望ましい。
【0014】
さらに、本発明の高周波用モジュールの構造においては、前記接続用高周波伝送線路は電磁的に封止されていることが望ましい。
【0015】
また、前記素子接続用高周波伝送線路は、マイクロストリップ線路、コプレーナ線路、グランド付きコプレーナ線路から選ばれる1種から構成され、前記接続用高周波伝送線路は、マイクロストリップ線路、コプレーナ線路、グランド付きコプレーナ線路およびトリプレート線路から選ばれる1種から構成されることが望ましい。
【0016】
【作用】
本発明の上記構成によれば、特に素子接続高周波伝送線路の他方の端部と、接続用高周波伝送線路の端部とを、例えば、グランド層に形成されたスロット孔を介して電磁的に結合することにより、伝送線路が誘電体からなる壁体内を通過したり、スルーホール導体や同軸線路等を経由することがないために、高周波信号が壁体内や曲折部を通過する際に生じる反射損や放射損の発生を極力抑制することができ、また同軸線路等の形成の必要がなく、低伝送損失で且つ小型化が可能なモジュールを提供することができる。
【0017】
また、前記接続用伝送線路を電磁的に封止することにより、外部電磁波の影響や電磁波のもれ及び他の信号伝送線路とのカップリングを防止することができる結果、接続用伝送線路における伝送損失を低減できる。
【0018】
【発明の実施の形態】
本発明における高周波用モジュールの第1の実施態様における概略断面図を図1に示した。
図1の高周波用モジュール1によれば、誘電体材料からなる誘電体基板2の表面には、2つ以上の蓋体3、3’が接合されており、誘電体基板2とそれらの蓋体3、3’によってキャビティ4、4’が形成されている。そして、そのキャビティ4、4’内の誘電体基板2表面には、それぞれMMIC、MIC等の高周波用の高周波素子5、5’が実装されている。また、上記のモジュールのキャビティ4、4’内には、高周波素子5、5’に信号を伝送するための線路として、マイクロストリップ線路、ストリップ線路、グランド付コプレーナ線路のうちから選ばれる1種からなる素子接続高周波伝送線路(以下、素子用線路と略す。)6、6’がキャビティ4、4’内の誘電体基板2表面に被着形成され、高周波素子5、5’と電気的に接続されている。
【0019】
この誘電体基板2は、誘電率が20以下のアルミナ、ムライト、窒化珪素、炭化珪素、窒化アルミニウム等のセラミックス、ガラスセラミックス、セラミック金属複合材料、ガラス有機樹脂系複合材料および石英等の誘電体材料からなることが望ましい。
【0020】
蓋体3、3’は、キャビティ4、4’からの電磁波が外部に漏洩したり、電磁波が外部にもれるのを防止できる電磁波遮蔽性を有する材料から構成され、例えば、金属、導電性セラミックス、セラミック金属複合材料等が使用できるが、絶縁基板の表面に導電性物質を塗布したものであってもよいが、コストの点から考慮すれば金属であるのがよい。
【0021】
素子用線路6、6’は、Ag、Cu、Au等の低抵抗導体からなることが望ましく、この点から前記誘電体基板2は、焼成温度が800〜1000℃程度のガラスセラミックスが最適であり、この組み合わせにより誘電体基板2と信号伝送線路との同時焼成が可能となる。
【0022】
高周波素子5、5’は素子用線路6、6’上に直接搭載するプリップチップ実装により、小さな伝送損失で接続することができるが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、金リボンや複数のワイヤボンディングで接続したり、ポリイミド等の基板にCu等の導体を形成した導体板等により接続することもできる。
【0023】
本発明によれば、図1に示すように誘電体基板2の内部には前記素子用線路6、6’と平行にほぼ全面にわたりグランド層8が形成され、グランド層8内には、スロット孔9、9’が形成されている。
【0024】
また、誘電体2の他方の表面には、前記素子用線路6、6’およびグランド層8と平行に、マイクロストリップ線路、ストリップ線路およびグランド付コプレーナ線路のうちから選ばれる1種からなる接続用高周波伝送線路7(以下、接続用線路と略す。)が形成されている。
【0025】
そして、高周波素子5と一端が電気的に接続された素子用線路6の他端と接続用線路7の一端とを図1に示すように、スロット孔9を介して対峙する位置に形成することにより、素子用線路6と接続用線路7とが電磁的に結合され、素子用線路6と接続用線路7間で損失の小さい信号の伝達が行われる。
【0026】
同様に、高周波素子5’と一端が電気的に接続された素子用線路6’の他端と接続用線路7の他端とをスロット孔9’を介して対峙する位置に形成することにより、素子用線路6’と接続用線路7とが電磁結合され、素子用線路6’と接続用線路7間で損失の小さい信号の伝達が行われる。
【0027】
その結果、高周波素子5と高周波素子5’とを、素子用線路6、接続用線路7および素子用線路6’を経由して、低損失で接続することができる。
【0028】
なお、前記電磁結合の具体的構造について説明すると、素子用線路6および接続用線路7は、各線路の端部がそれぞれスロット孔9の中心直上位置から必要な周波数の伝送信号の1/4波長相当の長さに突出させた対峙位置に形成されることが望ましく、スロット孔9の形状は、長辺と短辺とからなる長方形の孔であり、そのサイズは、使用周波数や周波数の帯域幅により適宜設定される。特に、スロット孔9の長辺は信号周波数の1/2波長相当長さにするのが望ましく、スロット孔9の短辺は1/5波長相当長さから1/50波長相当長さに設定することが望ましい。また、素子用線路6’と接続用線路7も同様に配置される。
【0029】
また、図1に示すように誘電体基板2と電磁波遮蔽性の蓋体3、3’との接合部にグランド層10を形成し、ビアホール11を通じてグランド層8と電気的に接続することにより、キャビティ4、4’内の電磁波がシールドできるため高周波素子5、5’および素子用線路6、6’に発生する電磁波が外部に漏洩および外部の電磁界による悪影響を防止し、回路の誤作動を防止することができるため、モジュールの信頼性を高めることができる。さらに信号伝送線路からの共振が他の回路等に影響を及ぼさないようにするため、蓋体3、3’の内面に電磁波吸収体をとりつけてもかまわない。
【0030】
さらに、誘電体基板2のキャビティ4、4’内の表面には、高周波素子5、5’への電源供給線路や1GHz以下の低周波信号が伝送される低周波信号伝送線路(図示せず)などが設けられ、さらには、他の電子部品等が実装されていてもよく、これらは通常の多層配線基板技術によってビアホールまたはスルーホールを介してキャビティ4、4’外に導出され、さらに高周波用モジュール1の外部へと導出される。
【0031】
図1のモジュールにおいては、素子用線路6、6’、接続用線路7およびグランド層8がいずれも誘電体基板2内に設けられたものであるが、接続用線路7およびグランド層8は必ずしも誘電体基板2内に設けられる必要はない。そこで、接続用線路7あるいは接続用線路7およびグランド層8とを他の部材に形成した第2、第3の実施態様を図2および図3に示した。図2は、その第2の実施態様の分解断面図である。
【0032】
図2の高周波用モジュール12においては、誘電体基板2、蓋体3、3’、キャビティ4、4’高周波素子5、5’、素子用線路6、6’、スロット孔9、9’およびグランド層8は高周波用モジュール1と同様の構成とであるが、図2によれば、マイクロストリップ線路、ストリップ線路およびグランド付コプレーナ線路のうちから選ばれる1種からなる接続用線路7が誘電体材料からなる接続用部材13の表面に形成されている。
【0033】
そして、素子用線路6と接続用部材13表面に形成された接続用線路7の終端部が図1で説明したのと同様にスロット孔9、9’を介して所定の位置関係になるように誘電体基板2と接続用部材13との貼り合わせることにより、素子用線路6、6’と接続用線路7間を電磁的に結合することが可能となり、損失の小さい信号の伝達が行われる。
【0034】
なお、誘電体基板2と接続用部材13とは、接着剤やネジ止めにより貼り合わせ固定することができる他、接着剤を用いずに単に重畳しても問題はない。
【0035】
図2においてはグランド層8が誘電体基板2の内部に接続用線路7が接続用部材13の表面に形成される場合について示したが、第2の実施態様はこれに限られるものではなく、例えば、(1)接続用線路7が接続用部材13の内部または裏面に、グランド層8が誘電体基板2の高周波素子5、5’形成面の裏面に形成される構成、(2)接続用線路7が接続用部材13の内部に、グランド層8も誘電体基板2の内部または裏面に形成される等の構成であってもよい。
【0036】
図3は第3の実施態様の分解断面図である。
また、図3によれば、高周波用モジュール14においては、誘電体基板2、蓋体3、3’、キャビティ4、4’、高周波素子5、5’、素子用線路6、6’は高周波用モジュール1と同様の構成であるが、図3によれば、接続用部材13の表面にほぼ全面にわたりグランド層8が形成され、グランド層8内には、スロット孔9、9’が形成され、また、マイクロストリップ線路、ストリップ線路およびグランド付コプレーナ線路のうちから選ばれる1種からなる接続用線路7が誘電体材料からなる接続用部材13の内部または裏面に形成されている。
【0037】
そして、素子用線路6、6’と接続用部材13内部に形成された接続用線路7の終端部が図1で説明したのと同様にスロット孔9、9’を介して所定の位置関係になるように誘電体基板2と接続用部材13とを貼り合わせることにより、素子用線路6、6’と高周波接続用伝送線路7間を電磁的に結合することが可能となり、損失の小さい信号の伝達が行われる。
【0038】
なお、誘電体基板2と接続用部材13とは、図2の高周波モジュール12と同様に貼り合わせ固定することができる。
【0039】
さらに、図3においてはグランド層8が接続用部材13の表面に形成される場合について示したが、本発明の構成によればこれに限られるものではなく、グランド層8は接続用部材13の内部に形成されてもよく、また、接続用線路7は接続用部材13の裏面に形成されていてもよい。
【0040】
なお、図2、3に示した接続用部材13は、誘電体基板2よりも低誘電率の材料、特に樹脂製であることが、電磁結合性を高める上で望ましい。また、この接続用部材13は、ヒートシンク、ハウジングなどを兼ね備えてもよく、もちろんこれと独立した部材であってもよい。
【0041】
(シールド構造)
本発明においては、図1乃至図3の実施態様において、接続用線路7は電磁気的にシールドされていることが望ましい。そこで、図4に上記(1)の方法に基づく概略断面図に示した。
【0042】
接続用線路の封止の方法としては、(1)高周波モジュール1において、接続用線路7形成面の接続用線路7を囲む位置に接続用線路7の厚みよりも厚い枠体を形成し、接続用線路7を開口部内に収納し、さらに電磁波遮蔽性を有する蓋体、スルーホールおよびグランド層により前記枠体の開口部を電磁的に封止する方法(図4)、(2)高周波モジュール1において、接続用線路7形成部に凹部を有する導電性蓋を接続用線路7形成面に設置し、電磁的にシールドする方法(図5)、(3)図2の高周波モジュール12において、(2)と同様の導電性蓋体にて誘電体層13を介して接続用線路7を封止し、電磁的にシールドする方法(図6)等がある。
【0043】
図4の高周波用モジュール15によれば、誘電体基板2の接続用線路7形成面に、線路7の厚みよりも厚い枠体16が形成され、また枠体16には開口部17が形成され、接続用線路7が開口部17内に収納されるように構成されている。
【0044】
また、枠体16の開口部17周囲には、グランド層18が形成されており、誘電体基板2のグランド層8とスルーホール、キャスタレーション、凹部内壁に形成された導体層19を通じて接続されている。
【0045】
そして、枠体16の開口部17には導電性蓋体20が開口部17を封止するようにグランド層18にロウ付け、半田付け等の手法により接合され、電気的に接続された構造になっている。
【0046】
なお、枠体16は誘電体材料より構成され、誘電率が20以下のセラミックス、ガラスセラミックス、セラミック金属複合材料、ガラス有機樹脂系複合材料等などが望ましいが、熱膨張挙動を合わせる観点から誘電体基板2と同じ材質であることが望ましい。
【0047】
導電性蓋体20は、電磁波が外部にもれるのを防止できる電磁波遮蔽性を有する材料から構成され、例えば、金属、セラミックス、セラミックス金属複合材料、ガラスセラミックス、ガラス有機樹脂複合材料等から形成される。また、枠体16と導電性蓋体20は接着剤やネジ止めにより、貼り合わせ固定することもできる。
【0048】
図5は、前記(2)の方法に基づくモジュールの概略断面図である。この構造は図4の枠体16および導電性蓋体20に代えて、凹部23を形成した導電性部材22をこの凹部内で接続用線路7を囲むように高周波用モジュール1と導電性部材22を貼り合わせたものであり、かかる構造によっても、図4と同様に接続用線路7を封止することができる。
【0049】
図6は前記(3)に基づくモジュールの概略断面図である。
図6によれば、高周波用モジュール24は、高周波用モジュール12において、凹部23を形成した導電性部材22と高周波用モジュール12とを貼り合わせた構造になっている。
【0050】
このとき、高周波用モジュール12と導電性部材22が安定に貼り合わせられ、接続用部材13を完全に封止できるように、接続用部材13の厚みは、接続用伝送線路7が導電性部材22の凹部23から突出しない程度に凹部23の深さとほぼ同一、あるいは凹部23の深さよりも小さくすることが望ましい。
【0051】
上記のシールド構造により、接続用線路7に発生する電磁波が外部に漏洩することおよび外部の電磁界が接続用線路7に悪影響を及ぼすことを防止し、回路の誤作動を防止することができるため、モジュールの信頼性を高めることができる。
【0052】
本発明の高周波用モジュールにおいては、図1〜6のモジュールでは、いずれも蓋体3、3’、キャビティ4、4’、高周波素子5、5’、素子用線路6、6’が同一の誘電体基板2に形成されているが、本発明はこれに限られるものではなく、蓋体3、キャビティ4、高周波素子5、素子用線路6が誘電体基板2に、蓋体3’、キャビティ4’、高周波素子5’、素子用線路6’が他の誘電体基板2’に形成される構造であってもよい。
【0053】
また、蓋体3、3’については、別体として説明したが、蓋体3、3’は高周波素子5、5’を個々に電磁的にシールドできる構造であればよく、例えば、図7(a)に示すように、蓋体3、3’が完全に一体化され、壁部3aによって第1、第2のキャビティに分別されるもの、あるいは、図7(b)に示すように、蓋体3、3’が壁部3aの開口部を蓋部3bで覆う構造の壁部3aと蓋部3bによって構成され、壁部3aによって第1、第2のキャビティに分別されるような一体型の蓋体であってもよい。
【0054】
さらに、キャビティ4、4’内においては、1つの高周波素子以外に他の高周波素子や低周波素子が内蔵されていてもよく、また、1つのキャビティ内に電磁結合部が3つ以上存在していてもなんら差し支えない。
【0055】
なお、本発明によれば、誘電体基板の表面に3つ以上のキャビティが設けられ、それぞれのキャビティ内に高周波素子が収納される場合において、3つ以上の高周波素子間が上記と同様な構造によって相互接続されてもよく、また、相互接続されない独立した高周波素子が存在していてもよい。
【0056】
また、本発明の高周波用モジュールにおいては、接続用線路7内の素子用線路6、6’との接続端間において、整合用回路が設けられたり、線路に電子部品等が接続、介在していてもよい。
【0057】
さらに、本発明においては、モジュールの末端の高周波素子に対しては、素子用線路6からスロット孔9を介して導波管等を接続することにより、直接アンテナ素子等に信号を伝達することが可能である。その具体例として、図9に本発明における高周波用モジュールの第9の実施態様の概略断面の端部図を示した。図9によれば、高周波用モジュール25は、素子用線路6と導波管26がスロット孔9を介して電磁結合する配線構造となっている。さらに、導波管26と別のモジュールやアンテナ素子等に接続することにより、高周波信号が低伝送損失で伝送される。
【0058】
なお、かかる構造においては、導波管26とグランド層8とが複数のスルーホール導体27によって電気的に接続されており、また、スロット孔9の導波管接続側にはインピーダンス整合用誘電体層28を設けることによって、素子用線路6と導波管26との損失を低減して接続することができる。
【0059】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明の高周波用モジュールは、高周波素子をそれぞれ内蔵する各々のキャビティ内の素子用線路とキャビティ外に形成された接続用線路との電磁的な結合によって接続することにより、高周波信号伝送線路がキャビティ形成のための壁体等を通過することがないために、線路間及び高周波回路素子間を低伝送損失で信号を伝達することが可能となり、また容易にかつ低コストに作製することができる。しかも、高周波素子、素子用線路が収納されるキャビティおよび接続用伝送線路を導電性層やグランド層等により電磁的にシールドすることにより、非常に簡単な構造で、外部からの電磁波による影響および素子や線路間に及ぼす影響を防止することができ、高信頼性の小型化が可能な高周波用モジュールを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の高周波用モジュールの第1の実施態様を示す概略断面図である。
【図2】本発明の高周波用モジュールの第2の実施態様を示す分解断面図である。
【図3】本発明の高周波用モジュールの第3の実施態様を示す分解断面図である。
【図4】本発明の高周波用モジュールの第4の実施態様を示す概略断面図である。
【図5】本発明の高周波用モジュールの第5の実施態様を示す概略断面図である。
【図6】本発明の高周波用モジュールの第6の実施態様を示す概略断面図である。
【図7】本発明の高周波用モジュールの第8の実施態様を示す概略断面図である。
【図8】本発明の高周波用モジュールの第9の実施態様を示す概略断面の端部図である。
【図9】従来の高周波用モジュールの構造を示す概略断面図である。
【符号の説明】
1、12、14、15、21、24、25 高周波用モジュール
2 誘電体基板
3、3’ 蓋体
3a 壁部
3b 蓋部
4、4’ キャビティ
5、5’ 高周波素子
6、6’ 素子用線路
7 接続用線路
8、10、18 グランド層
9、9’ スロット孔
11 ビアホール
13 接続用部材
16 枠体
17 開口部
19、27 スルーホール
20 導電性蓋体
22 導電性部材
23 凹部
26 導波管
28 整合用誘電体
Claims (8)
- 誘電体基板と、
該誘電体基板の一方の表面に接合された第1の蓋体と、該第1の蓋体と前記誘電体基板によって形成された第1のキャビティ内の前記誘電体基板表面に実装された第1の高周波素子と、前記第1のキャビティ内部の前記誘電体基板表面に形成され、一方の端部が前記第1の高周波素子と電気的に接続された第1の素子接続高周波伝送線路と、
前記誘電体基板の一方の表面に接合された第2の蓋体と、該第2の蓋体と前記誘電体基板によって形成された第2のキャビティ内の前記誘電体基板表面に実装された第2の高周波素子と、前記第2のキャビティ内部の前記誘電体基板表面に形成され、一方の端部が前記第2の高周波素子と電気的に接続された第2の素子接続高周波伝送線路と、
前記第1のキャビティおよび第2のキャビティの外領域に形成された接続用高周波伝送線路と
を具備し、
前記第1の素子接続高周波伝送線路の他方の端部と、前記接続用高周波伝送線路の一方の端部を、および前記第2の素子接続高周波伝送線路の他方の端部と、前記接続用高周波伝送線路の他方の端部とをそれぞれ電磁結合することにより、前記第1および第2の高周波素子間を電気的に相互接続してなることを特徴とする高周波用モジュール。 - 前記第1の素子接続高周波伝送線路と、前記接続用高周波伝送線路、および前記第2の素子接続高周波伝送線路と、前記接続用高周波伝送線路間にグランド層が介在し、該グランド層に形成されたスロット孔を介して前記第1の素子接続高周波伝送線路と、前記接続用高周波伝送線路、ならびに前記第2の素子接続高周波伝送線路とが電磁結合されてなることを特徴とする請求項1記載の高周波用モジュール。
- 前記グランド層が、前記誘電体基板内部に形成され、前記接続用高周波伝送線路が前記誘電体基板の他方の表面に形成されてなる請求項2記載の高周波用モジュール。
- 前記グランド層が前記誘電体基板に設けられ、前記接続用高周波伝送線路が接続用誘電体基板に形成され、前記接続用誘電体基板を前記第1の誘電体基板の他方の表面の所定箇所に設置してなる請求項2記載の高周波用モジュール。
- 前記グランド層と前記接続用高周波伝送線路が、前記接続用誘電体基板に設けられ、前記接続用誘電体基板を前記誘電体基板の他方の表面の所定箇所に設置してなる請求項2記載の高周波用モジュール。
- 前記接続用高周波伝送線路が、電磁的に封止されている請求項1記載の高周波用モジュール。
- 前記素子接続用高周波伝送線路が、マイクロストリップ線路、コプレーナ線路、グランド付きコプレーナ線路から選ばれる1種から構成される請求項1記載の高周波用モジュール。
- 前記接続用高周波伝送線路が、マイクロストリップ線路、コプレーナ線路、グランド付きコプレーナ線路およびトリプレート線路から選ばれる1種から構成される請求項1記載の高周波用モジュール。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14937898A JP3556470B2 (ja) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | 高周波用モジュール |
EP99110425A EP0961321B1 (en) | 1998-05-29 | 1999-05-28 | High-frequency module |
DE69938271T DE69938271T2 (de) | 1998-05-29 | 1999-05-28 | Hochfrequenzmodul |
US09/322,739 US6356173B1 (en) | 1998-05-29 | 1999-05-28 | High-frequency module coupled via aperture in a ground plane |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14937898A JP3556470B2 (ja) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | 高周波用モジュール |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12136899A Division JP3704440B2 (ja) | 1999-04-28 | 1999-04-28 | 高周波用配線基板の接続構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11340370A JPH11340370A (ja) | 1999-12-10 |
JP3556470B2 true JP3556470B2 (ja) | 2004-08-18 |
Family
ID=15473832
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14937898A Expired - Fee Related JP3556470B2 (ja) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | 高周波用モジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3556470B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4237517B2 (ja) * | 2003-03-05 | 2009-03-11 | シャープ株式会社 | 高周波半導体装置の実装構造及びこれを用いた高周波送信装置並びに高周波受信装置 |
JP2004342948A (ja) * | 2003-05-19 | 2004-12-02 | Tdk Corp | 電子部品モジュール |
JP3734807B2 (ja) * | 2003-05-19 | 2006-01-11 | Tdk株式会社 | 電子部品モジュール |
JP2010103982A (ja) | 2008-09-25 | 2010-05-06 | Sony Corp | ミリ波伝送装置、ミリ波伝送方法、ミリ波伝送システム |
-
1998
- 1998-05-29 JP JP14937898A patent/JP3556470B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11340370A (ja) | 1999-12-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7239222B2 (en) | High frequency circuit module | |
EP3252866B1 (en) | Transmission line substrate and semiconductor package | |
US6483406B1 (en) | High-frequency module using slot coupling | |
US8829362B2 (en) | Electronic device having member which functions as ground conductor and radiator | |
JP3457802B2 (ja) | 高周波用半導体装置 | |
JP3537626B2 (ja) | 高周波用パッケージ | |
JP3556470B2 (ja) | 高周波用モジュール | |
JP3217677B2 (ja) | 高周波用半導体装置 | |
JP3570887B2 (ja) | 高周波用配線基板 | |
JP2616698B2 (ja) | 複合高周波回路モジュール | |
JP3704440B2 (ja) | 高周波用配線基板の接続構造 | |
JP3398282B2 (ja) | 高周波用半導体装置 | |
JP3462062B2 (ja) | 高周波用伝送線路の接続構造および配線基板 | |
JP3181036B2 (ja) | 高周波用パッケージの実装構造 | |
JP2004297465A (ja) | 高周波用パッケージ | |
JP3112253B2 (ja) | 高周波用半導体装置 | |
JP3610238B2 (ja) | 高周波用パッケージ | |
JP3176337B2 (ja) | 高周波用半導体パッケージの実装構造 | |
JP3605257B2 (ja) | 高周波パッケージの接続構造 | |
JP3145670B2 (ja) | 高周波用半導体パッケージの実装構造 | |
JP2023170889A (ja) | 高周波モジュール | |
JP2000022043A (ja) | 高周波素子搭載基板の実装構造および高周波用モジュール構造 | |
JP2000022042A (ja) | 高周波用パッケージ | |
JPH11312856A (ja) | 高周波用配線基板の実装構造 | |
JP2000216293A (ja) | 高周波信号用集積回路パッケ―ジ及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040506 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040512 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090521 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090521 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100521 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100521 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110521 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110521 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120521 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120521 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140521 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |