JP4449774B2 - 物流システム - Google Patents
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Description
し、それら閉ループ内及び閉ループ間にてワークの搬送を行う物流システムとして、前記搬送の対象とするワークの各ロットについて前記閉ループを形成する装置群の各装置における処理スケジュールを記憶するスケジュール管理手段と、該スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールを参照しつつ前記装置群にある対象装置の空き時間を求め、各ロットの作業についての処理時間をその空き時間に対して設定することができること、および各作業間の放置時間が規定時間内に収まることを条件として新たなロットを処理するためのスケジュールを追加するスケジュール追加手段とを備え、前記ワークの搬送を、前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールに基づいて行う構成とする。
加えて、上記構成では、同一工程に係る処理装置がまとめて近くに配置されることで、これら処理装置間の搬送時間が短くなり、例えば複数の処理(作業)間におけるワーク放置時間に一定の制限が設けられている場合であれ、これに柔軟に対応することができるようになる。
まず、図1を参照して、この実施の形態に係る物流システムの構成の概略について説明する。
(A)ワーク保管棚SFにおける在庫の有無。
(B)ワーク保管棚SFに搬送可能な状態で準備されているか否か。
等々の所定項目に基づいて対象とするロットが仕掛可能であるか否かを判断し、この判断により仕掛可能であると判断されたロットだけが搬送されるようになっている。
(a1)ワーク保管棚SFに在庫がある。
(b1)スケジュール管理部1の処理スケジュールに基づく搬送開始時刻に達した。
(b2)当該ロットが一時停止の状態にない。
(b3)ワーク保管棚SFにある対象ロットと他のロットとの処理スケジュールが互いに干渉しない。
等々の条件を全て満たすときに、対象とするロットが仕掛可能であると判定される。
(1)ワークの各ロットについて上記閉ループを形成する装置群PEの各装置における処理スケジュールを記憶するスケジュール管理部1と、これに記憶されている処理スケジュールを参照しつつ装置群PEにある対象装置の空き時間を求めてその空き時間に新たなロットを処理するためのスケジュールを追加するスケジュール追加部3とを備える。そうして、上記スケジュール管理部1の処理スケジュールに基づいてワークの搬送が行われる構成とした。これにより、前述したバッファ装置を設けることなくロット間の干渉が未然に防止されることになる。しかも、新たにロットが追加された場合であれ、既存のロットとの干渉が防止されるようになり、いわば将来にわたってロット間の干渉が防止されることになる。
・上記実施の形態において、図3に示すステップS4の直前に、スケジュール管理部1に記憶されている処理スケジュールを使用することができるか否かを判断する処理を追加して、これを使用することができないときにのみ上記スケジュール追加部3により新たなスケジュールを追加する構成とすることもできる。そして、既存のスケジュールに使用可能なものがある場合には、例えばスケジュール管理部1の処理スケジュールに対し識別コード(例えばロット番号)を設定することにより、同スケジュールをロット間で共用することができるものとする。こうすることで、上記スケジュール管理部1に記憶される情報量を減らすことができるようになり、ひいてはこのスケジュール管理部1として記憶容量の小さい記憶装置を採用することが可能になる。
・上記実施の形態においては、閉ループL1を形成する装置群LP1間での搬送を終えて同装置群LP1の各装置において一通りの処理がなされたワークが、棚に戻されることなく直接、次の工程に係る閉ループL2へ搬送される構成とした。しかしこの構成も必須ではなく、棚に戻してから閉ループL2へ搬送される構成としてもよい。
・上記実施の形態においては、一例として、この発明に係る物流システムを半導体デバイスの製造ラインに適用した場合について説明したが、別の分野にもこの物流システムは応用可能である。
Claims (18)
- 工程を基準に配置される処理装置が同種の複数の処理装置を含む各々単体の装置群にて形成される閉ループを複数有し、それら閉ループ内及び閉ループ間にてワークの搬送を行う物流システムであって、
前記搬送の対象とするワークの各ロットについて前記閉ループを形成する装置群の各装置における処理スケジュールを記憶するスケジュール管理手段と、
該スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールを参照しつつ前記装置群にある対象装置の空き時間を求め、各ロットの作業についての処理時間をその空き時間に対して設定することができること、および各作業間の放置時間が規定時間内に収まることを条件として新たなロットを処理するためのスケジュールを追加するスケジュール追加手段とを備え、
前記ワークの搬送を、前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールに基づいて行う
ことを特徴とする物流システム。 - 前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールには、前記搬送の対象とするワークの各ロットについて、前記閉ループを形成する装置群にある対象装置における処理開始時刻および処理終了時刻が記述されている
請求項1に記載の物流システム。 - 前記スケジュール追加手段は、前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールを使用することができるか否かを判断してこれを使用することができないときにのみ新たなスケジュールを追加する
請求項1または2に記載の物流システム。 - 前記スケジュール追加手段は、前記閉ループを形成する装置群にある対象装置のポートに当該ロットを受け入れるだけの空きがあるか否かを判断し、この判断結果に基づいて前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールに対しスケジュールを追加するか否かを決定する
請求項1〜3のいずれか一項に記載の物流システム。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の物流システムにおいて、
前記搬送の対象とするワークのロット毎に仕掛可能であるか否かを判定するロット監視手段をさらに備え、
該ロット監視手段による判定結果に基づいて前記ワークの搬送を調整する
ことを特徴とする物流システム。 - 請求項5に記載の物流システムにおいて、
前記搬送の対象とするワークの仕掛前ロットを一時的に保管しておくワーク保管棚の在庫状況を監視する在庫監視手段をさらに備え、
前記ロット監視手段は、該在庫監視手段によるロット在庫の有無に基づいて前記ワークの仕掛可能であるか否かの判定を行う
ことを特徴とする物流システム。 - 前記ロット監視手段は、前記ワーク保管棚にワークが搬送可能な状態で準備されていないとき、このロットを仕掛可能でないと判定する
請求項6に記載の物流システム。 - 前記ロット監視手段は、前記処理スケジュールに基づく搬送開始時刻に達したことを条件の1つとして前記ワーク保管棚におけるロットが搬送可能な状態にあると判断する
請求項7に記載の物流システム。 - 前記ロット監視手段は、前記ワーク保管棚にある対象ロットと他のロットとの処理スケジュールが互いに干渉しないことも条件の1つとして同ロットを搬送可能な状態にあると判断する
請求項8に記載の物流システム。 - 請求項9に記載の物流システムにおいて、
前記閉ループを形成する装置群の各装置について稼動状況を監視する稼動状況監視手段をさらに備え、
前記ロット監視手段は、該稼動状況監視手段による前記装置群の各装置についての稼動中か空き状態かの情報に基づいて前記ワーク保管棚にある対象ロットと搬送中のロットとの処理スケジュールに関する干渉判断を行う
ことを特徴とする物流システム。 - 請求項9または10に記載の物流システムにおいて、
前記閉ループを形成する装置群の各装置に係る作業の所要時間を記憶する作業時間記憶手段と、前記搬送の対象とするワークの各ロットについて前記装置群の装置別に未処理か処理済かを示す工程進捗情報を記憶する工程進捗情報記憶手段とをさらに備え、
前記ロット監視手段は、前記ワーク保管棚の対象ロットについて前記工程進捗情報記憶手段に記憶されている工程進捗情報に未処理の装置があり、前記作業時間記憶手段に記憶されているその未処理装置に係る作業の所要時間と現在の時刻とを加算して得られる時刻が同未処理装置における前記処理スケジュールに基づく他のロットの処理開始時刻を越えないことを条件の1つとして、前記対象ロットと他のロットとの処理スケジュールが互いに干渉しないと判断する
ことを特徴とする物流システム。 - 請求項11に記載の物流システムにおいて、
前記装置群の各装置の状態が「作業前から作業中へ」あるいは「作業中から作業終了へ」と変わる都度、前記工程進捗情報記憶手段に記憶されている工程進捗情報を更新する工程進捗情報更新手段をさらに備える
ことを特徴とする物流システム。 - 請求項9〜12のいずれか一項に記載の物流システムにおいて、
前記ロット監視手段により前記処理スケジュールに基づく搬送開始時刻に達しているロットがないと判断されるときには、他の条件により搬送可能な状態にあると判断されるロットの中から所定の優先条件をもって選択される優先ロットの搬送を行う
ことを特徴とする物流システム。 - 前記ロット監視手段は、前記ワーク保管棚におけるロットが停止もしくは一時停止の状態にないことを条件の1つとして同ロットが搬送可能な状態にあると判断する
請求項7〜13のいずれか一項に記載の物流システム。 - 請求項7〜14のいずれか一項に記載の物流システムにおいて、
前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールを修正するスケジュール修正手段をさらに備え、
前記処理スケジュールに基づく搬送開始時刻にすでに達していながら前記ロット監視手段により搬送可能な状態で準備されていないと判断されるロットがあるときには、前記スケジュール修正手段を通じて前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールを修正する
ことを特徴とする物流システム。 - 請求項1〜15のいずれか一項に記載の物流システムにおいて、
前記閉ループを形成する装置群間での搬送を終えて同装置群の各装置において一通りの処理がなされたワークは、棚に戻されることなく直接、次の工程に係る装置もしくは装置群へ搬送される
ことを特徴とする物流システム。 - 前記閉ループを形成する装置群の各装置による一連の処理を通じて1乃至複数の工程を完了させる
請求項1〜16のいずれか一項に記載の物流システム。 - 当該物流システムは半導体デバイスの生産ラインを構成し、前記搬送の対象とするワークは、同半導体デバイスの基板である
請求項1〜17のいずれか一項に記載の物流システム。
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