JP4449774B2 - 物流システム - Google Patents

Description

この発明は、例えば半導体デバイスの生産ラインにおいて基板の搬送に用いて有益な物流システムに関する。

周知のように、開発投資の削減やニーズの多様化に応えるＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）の生産システムとしては、例えば非特許文献１に記載されたシステム（同文献では微細加工ライン用のクリーンルームで採用されている）が知られている。しかしながら、このシステムにおいては、ワーク（ここでは半導体ウェハ）の搬送経路が生産ラインへの投入から完成までに各種のプロセス装置間を錯綜することになっており、ワークの搬送距離の長距離化、ひいては搬送時間（リードタイム）の長期化が避けられないものとなっている。

そこで従来、例えば特許文献１（特にその図１２）に記載のように、閉ループ型に各種のプロセス装置を配置したシステムが提案されている。
特許第３３４７４６０号公報 日経マイクロデバイス（ＮＩＫＫＥＩ ＭＩＣＲＯＤＥＶＩＣＥＳ），１９９２年，Ｎｏ８６

この特許文献１に記載のシステムでは、ワーク（例えば半導体ウェハ）の搬送対象とする各種プロセス装置（処理装置）が閉ループ型に配置されることにより、搬送距離については確かにこれが短縮されることになる。しかし、こうしたシステムでは通常、ロット間の干渉を避けるためにバッファ装置が設けられて、このバッファ装置により次のプロセス装置が空いていると判断されたときにのみ、そのプロセス装置へワークが搬送されるようになっている。このため、結局のところこのシステムによっても、次のプロセス装置への搬送の都度行われる上記バッファ装置による干渉判断の分だけ搬送時間が長くなることは避けられない実情にある。

この発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、閉ループを形成する装置群間でロット間の干渉を避けつつワークの搬送を行いながら、その搬送時間のさらなる短縮を図ることのできる物流システムを提供することを目的とする。

こうした目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、工程を基準に配置される処理装置が同種の複数の処理装置を含む各々単体の装置群にて形成される閉ループを複数有
し、それら閉ループ内及び閉ループ間にてワークの搬送を行う物流システムとして、前記搬送の対象とするワークの各ロットについて前記閉ループを形成する装置群の各装置における処理スケジュールを記憶するスケジュール管理手段と、該スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールを参照しつつ前記装置群にある対象装置の空き時間を求め、各ロットの作業についての処理時間をその空き時間に対して設定することができること、および各作業間の放置時間が規定時間内に収まることを条件として新たなロットを処理するためのスケジュールを追加するスケジュール追加手段とを備え、前記ワークの搬送を、前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールに基づいて行う構成とする。

こうした構成においては、上記スケジュール追加手段によりロット間の干渉がない処理スケジュールが作成されてこれが上記スケジュール管理手段へ格納され、ワークの搬送がこの処理スケジュールに基づいて行われる。このため、ワークの搬送がロット間の干渉のない処理スケジュールに基づいて行われることになり、前述したロット間の干渉が未然に防止されることになる。しかも、この処理スケジュールへのスケジュール追加も上記スケジュール追加手段によって行われるため、新たにロットが追加された場合であれ、既存のロットとの干渉が防止されるようになっており、いわば将来にわたってロット間の干渉が防止されることにもなる。このように、上記構成によれば、少なくともこの閉ループ内では、ロット間の干渉なくワークの搬送が行われることになる。しかも、前述したバッファ装置を必要としないため、搬送時間の短縮も図られることになる。すなわち、例えばこのような閉ループを形成する装置群を幾つか設けてこれら装置群にわたってワークの搬送を行うようにすれば、ワークの搬送は極めて円滑に行われるようになる。
加えて、上記構成では、同一工程に係る処理装置がまとめて近くに配置されることで、これら処理装置間の搬送時間が短くなり、例えば複数の処理（作業）間におけるワーク放置時間に一定の制限が設けられている場合であれ、これに柔軟に対応することができるようになる。

また、請求項２に記載の発明では、前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールには、前記搬送の対象とするワークの各ロットについて、前記閉ループを形成する装置群にある対象装置における処理開始時刻および処理終了時刻が記述されている構成とする。

処理スケジュールの種類は様々あるが、少なくともこれら処理開始時刻および処理終了時刻が示されていれば、基本的な処理を行う上で支障はなく、円滑な搬送を行うことができるようになる。

また、請求項３に記載の発明では、これら請求項１または２に記載の物流システムにおいて、前記スケジュール追加手段が、前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールを使用することができるか否かを判断してこれを使用することができないときにのみ新たなスケジュールを追加する構成とする。

上記処理スケジュールを作成するに際しては、前記搬送の対象とするワークの全てのロットについてそれぞれスケジュールを作成してこれをスケジュール管理手段に格納することもできる。しかしこうした場合には、同スケジュール管理手段に記憶される情報量が多くなってしまう。一般に記憶容量の大きいものは、コストが高く、また体格が大きい等といった不都合があるため、このスケジュール管理手段としては、なるべく記憶容量の小さいものを採用したい。この点、上記構成を採用すれば、既存のスケジュールに使用可能なものがある場合には、例えば識別コード（例えばロット番号）の設定等といったそのスケジュールをロット間で共用するために必要な処理が行われるだけで済み、新たなスケジュールは追加されなくなる。このため、上記スケジュール管理手段に記憶される情報量は減り、ひいては同手段として記憶容量の小さいものを採用することが可能になる。

また、請求項４に記載の発明では、請求項１〜３のいずれか一項に記載の物流システムにおいて、前記スケジュール追加手段が、前記閉ループを形成する装置群にある対象装置のポートに当該ロットを受け入れるだけの空きがあるか否かを判断し、この判断結果に基づいて前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールに対しスケジュールを追加するか否かを決定する構成とする。

搬送対象となる装置にポートの空きがなければ、同装置にワークを搬送しても置いておく場所がない。この点、上記構成によれば、ポートに空きがなければそのスケジュールは追加されないため、直接搬送されてそのロット（ワーク）を置く場所がない等といった事態は好適に回避されるようになる。

また、請求項５に記載の発明では、請求項１〜４のいずれか一項に記載の物流システムにおいて、前記搬送の対象とするワークのロット毎に仕掛可能であるか否かを判定するロット監視手段をさらに備え、該ロット監視手段による判定結果に基づいて前記ワークの搬送を調整する構成とする。

ワークの搬送を行うにあたって、対象ロットが仕掛可能な状態にあるか否かといった情報は重要である。こうした情報をロット監視手段による判定結果として得ることのできる上記構成によれば、その判定結果に基づいて、例えば当該ロットの搬送を遅らせたり、あるいは中止したり、またあるいは別のロットの搬送を行ったりすることで、ワークの搬送がより円滑に行われるようになる。

具体的には、請求項６に記載の発明によるように、請求項５に記載の物流システムにおいて、前記搬送の対象とするワークの仕掛前ロットを一時的に保管しておくワーク保管棚の在庫状況を監視する在庫監視手段をさらに備え、前記ロット監視手段が、該在庫監視手段によるロット在庫の有無に基づいて前記ワークの仕掛可能であるか否かの判定を行う構成とする。

通常、仕掛前ロットはワーク保管棚に一時的に保管され、この棚から各装置へ搬送される。すなわち、この棚に在庫があってはじめてワークは各装置へ搬送されることになる。そこで上記構成を採用すれば、在庫監視手段による在庫の監視をもって、ワークが仕掛可能であるか否かが合理的に判断されることになる。

またこのとき、前記ワーク保管棚に在庫があってもワークが搬送可能な状態で準備されていない可能性があるため、請求項７に記載の発明によるように、前記ロット監視手段が、前記ワーク保管棚にワークが搬送可能な状態で準備されていないとき、このロットを仕掛可能でないと判定する構成とすることが有効である。これにより、ワークの在庫だけでなく、ワーク保管棚におけるワークの状態にまで配慮の行き届いた搬送が実現されることになる。

またこの場合、前記ロット監視手段としては、請求項８に記載の発明によるように、前記処理スケジュールに基づく搬送開始時刻に達したことを条件の１つとして前記ワーク保管棚におけるロットが搬送可能な状態にあると判断するものを採用することが有効である。

前記スケジュール管理手段に記憶されているスケジュールの通りに搬送を行うためには、上記構成のように、搬送前の条件として搬送開始時刻に達していることを含ませておくことが有効である。これにより、ワークの搬送がより円滑に、そしてスケジュール通りに行われるようになる。

さらにこの場合は、請求項９に記載の発明によるように、前記ロット監視手段として、前記ワーク保管棚にある対象ロットと他のロットとの処理スケジュールが互いに干渉しないことも条件の１つとして同ロットを搬送可能な状態にあると判断するものを採用することが有効である。

基本的には、前記スケジュール追加手段によりロット間の干渉がない処理スケジュールが追加されていくはずであるものの、例えば想定されていない処理や故障等があった場合には、誤った処理スケジュールが作成される可能性も否定できない。この点、上記構成によれば、搬送前に対象ロットと他のロットとの処理スケジュールに干渉がないことが確認されるため、こうした場合にもロット間の干渉が好適に回避され、ひいてはより高い信頼性をもってワークの搬送が行われるようになる。

またこの場合、請求項１０に記載の発明によるように、前記閉ループを形成する装置群の各装置について稼動状況を監視する稼動状況監視手段をさらに備え、前記ロット監視手段が、該稼動状況監視手段による前記装置群の各装置についての稼動中か空き状態かの情報に基づいて前記ワーク保管棚にある対象ロットと搬送中のロットとの処理スケジュールに関する干渉判断を行う構成とすることで、対象ロットと搬送中のロットとの間に干渉がないか常に監視されることになり、ロット間の干渉がより確実に防止されるようになる。

また、搬送中にないロットとの干渉については、例えば請求項１１に記載の発明のように、前記閉ループを形成する装置群の各装置に係る作業の所要時間を記憶する作業時間記憶手段と、前記搬送の対象とするワークの各ロットについて前記装置群の装置別に未処理か処理済かを示す工程進捗情報を記憶する工程進捗情報記憶手段とをさらに備え、前記ロット監視手段が、前記ワーク保管棚の対象ロットについて前記工程進捗情報記憶手段に記憶されている工程進捗情報に未処理の装置があり、前記作業時間記憶手段に記憶されているその未処理装置に係る作業の所要時間と現在の時刻とを加算して得られる時刻が同未処理装置における前記処理スケジュールに基づく他のロットの処理開始時刻を越えないことを条件の１つとして、前記対象ロットと他のロットとの処理スケジュールが互いに干渉しないと判断する構成とすることが有効である。これにより、搬送中にないロットとの干渉についてもその干渉の有無が容易に且つ正確に把握されるようになる。

さらにこの場合、請求項１２に記載の発明によるように、前記装置群の各装置の状態が「作業前から作業中へ」あるいは「作業中から作業終了へ」と変わる都度、前記工程進捗情報記憶手段に記憶されている工程進捗情報を更新する工程進捗情報更新手段をさらに備える構成とすれば、ロット間の干渉判断に用いられる前記工程進捗情報が適切に更新されつつ、適正な干渉判断が継続的に行われるようになる。

また、請求項９〜１２のいずれか一項に記載の物流システムにおいて、前記ロット監視手段により前記処理スケジュールに基づく搬送開始時刻に達しているロットがないと判断されるときには、請求項１３に記載の発明によるように、他の条件により搬送可能な状態にあると判断されるロットの中から所定の優先条件をもって選択される優先ロットの搬送を行う構成とすることが有効である。

前記処理スケジュールに基づく搬送開始時刻に達していなくても他の条件を満たして搬送可能な状態にあると判断されるロットであれば、すなわち少なくとも他のロットと干渉していないことが確認されたロットであれば、ロット間の干渉はなく円滑にワークの搬送が行われる。そこで、上記構成を採用すれば、例えば処理スケジュールに長期の空き時間（待ち時間）がある場合等においても、搬送可能なロットがあればその空き時間にワークの搬送が行われるようになり、こうして空き時間が有効利用されることにより搬送時間の短縮が好適に図られることになる。

また、上記請求項７〜１３のいずれか一項に記載の物流システムにおいて、前記ロット監視手段としては、請求項１４に記載の発明によるように、前記ワーク保管棚におけるロットが停止もしくは一時停止の状態にないことを条件の１つとして同ロットが搬送可能な状態にあると判断するものを採用することがより有効である。

例えばワークの観察や加工条件の検討等のために、作業者によりロットの状態（「搬送中」「停止」「一時停止」等といった所定パラメータ）が停止もしくは一時停止にされる場合がある。この点、上記構成によれば、前記ワーク保管棚におけるロットの状態が搬送前に確認されることで、このような場合にも柔軟に対応することができるようになる。すなわち、作業者の意思により自由に搬送が止められた場合であれ、ロット間の干渉のない円滑な搬送が行われることになる。

また、請求項１５に記載の発明では、請求項７〜１４のいずれか一項に記載の物流システムにおいて、前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールを修正するスケジュール修正手段をさらに備え、前記処理スケジュールに基づく搬送開始時刻にすでに達していながら前記ロット監視手段により搬送可能な状態で準備されていないと判断されるロットがあるときには、前記スケジュール修正手段を通じて前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールを修正する構成とする。

前記処理スケジュールに基づく搬送開始時刻にすでに達していながら何らかの要因でロットの搬送が開始されないとき（例えばロットが「一時停止」の状態にあるとき、また優先ロットの搬送を行う場合等もこれに含まれる）には、このロット以降の処理スケジュールの修正が必要とされる可能性が高い。例えば処理スケジュールに空き時間が形成される場合には、以降のスケジュールを繰り上げるような修正が必要とされる、また例えば優先ロットの搬送を行う場合には、同ロットに対する他のロットの干渉を防止するような修正が必要とされる。この点、上記構成を採用すれば、こうした場合にあっても、上記スケジュール修正手段によってその都度必要とされる修正が上記処理スケジュールへ施されるようになる。

また、請求項１６に記載の発明では、請求項１〜１５のいずれか一項に記載の物流システムにおいて、前記閉ループを形成する装置群間での搬送を終えて同装置群の各装置において一通りの処理がなされたワークが、棚に戻されることなく直接、次の工程に係る装置もしくは装置群へ搬送される構成とする。

従来、閉ループ型に配置された各装置についてワークの搬送を行う場合には、閉ループにおける搬送が終了する都度ワークが棚に戻されてこの棚から別の装置群もしくは装置へ搬送されるようなシステムが採用されている。これに対し、上記構成によれば、閉ループにおける搬送が終了した後でも棚に戻されることなく直接、次の工程に係る装置もしくは装置群へ搬送されることになるため、ワークを棚に戻すために消費される時間を削減することができ、その分だけ搬送時間の短縮が図られることになる。しかもこのとき、閉ループの数が増えるほど時間短縮の度合が大きくなるため、この構成は、特に大型のシステムに用いて有効である。

また、請求項１７に記載の発明のように、請求項１〜１６のいずれか一項に記載の物流システムにおいて、前記閉ループを形成する装置群の各装置による一連の処理を通じて１乃至複数の工程を完成させる構成とすれば、１つの閉ループを回るだけで１乃至複数の工程が完了するようになるため、無駄な搬送距離を減らして搬送距離の短縮を図ることができるようになる。

また、上記請求項１〜１７のいずれか一項に記載の物流システムは、請求項１８に記載の発明のように、当該物流システムが半導体デバイスの生産ラインを構成し、前記搬送の対象とするワークが同半導体デバイスの基板である構成として用いることが特に有効である。

こうした物流システムは、歩留まり向上やコスト削減などが厳しく要求される半導体の分野において特に望まれており、またこの種の技術は、最近の半導体デバイスにおける激しいコスト競争の中、特に重要視される実情にある。このため、この発明が半導体の分野において実用されれば、大きく産業の発達に寄与することになる。

以下、図１〜図５を参照しつつ、この発明に係る物流システムを半導体デバイスの製造ラインに適用して具体化した一実施の形態について説明する。
まず、図１を参照して、この実施の形態に係る物流システムの構成の概略について説明する。

同図１に示されるように、このシステムは、適宜の記憶装置（ハードディスク等）からなるスケジュール管理部（スケジュール管理手段）１および工程管理部（作業時間記憶手段）２と、該スケジュール管理部１に記憶されている処理スケジュールに対して新たなスケジュールを追加するスケジュール追加部（スケジュール追加手段）３とを備える。さらにこれに加えて、着手ジョブ算出部４、処理条件決定部５、自動搬送装置制御部６も備える。そうして、これら着手ジョブ算出部４および自動搬送装置制御部６により、スケジュール管理部１に格納されている処理スケジュールや、工程管理部２に格納されている工程情報、等々に基づく各種の演算や信号処理が行われることで、適宜の指令が自動搬送装置ＴＲへ出力されるようになっている。そして、この指令に従ってワークの搬送を行う自動搬送装置ＴＲが動くことによって、ワーク保管棚ＳＦに保管されている仕掛前のワークが閉ループを形成する装置群ＰＥの各処理装置へ搬送され、これら各装置においては、処理条件決定部５により決定される条件でワークに適宜の処理が施されるように構成されている。なお、ここで搬送の対象とするワーク（半導体基板）は、例えば２５枚の基板を収納するカセット毎にロットに固有の識別番号（ロット番号）が付けられて、全てのワークをロット（カセット）毎に管理することができるようになっている。

ここで、上記スケジュール追加部３は、上記スケジュール管理部１に記憶されている処理スケジュールを参照しつつ装置群ＰＥにある対象装置の空き時間を求め、その空き時間に新たなロットを処理するためのスケジュールを追加するものであり、ワークの搬送は、基本的に、この処理スケジュールに従って行われる。このため、ワークの搬送がロット間に干渉のない処理スケジュールに基づいて行われることになり、前述したバッファ装置を設けることなくロット間の干渉が未然に防止されることになる。しかも、この処理スケジュールへのスケジュール追加もスケジュール追加部３によって行われるため、新たにロットが追加された場合であれ、既存のロットとの干渉が防止されるようになっており、いわば将来にわたってロット間の干渉が防止されることになる。

さらに詳しくは、上記スケジュール管理部１には、閉ループを形成する装置群ＰＥの各処理装置における処理スケジュールが、すなわち処理開始時刻や処理終了時刻、さらには対象装置、同装置における処理レシピ、等々の項目をもってこれを一組とする予約情報が、搬送の対象とするワークのロット番号の別に関連付けされて格納されている。また、上記工程管理部２には、対象とする製品（半導体デバイス）を製造する際に用いられる各種の工程情報、例えば装置群ＰＥの各処理装置に係る作業の処理手順、内容、条件、所要時間、等々の情報が格納されている。またここでは、上記処理条件決定部５により、装置群ＰＥの各処理装置における処理条件が到着予定のワークの種類等に応じて決定されるようになっている。

次に、図２を併せ参照して、この実施の形態に係る上記システムについて、特に閉ループを形成する装置群ＰＥの配置態様、およびこれら装置間でのワークの搬送態様について説明する。なおここでは、図２（ａ）に閉ループを形成しない処理装置（装置群）の配置態様を比較例として示し、これと比較しながら、図２（ｂ）に示すこの実施の形態に係る処理装置（装置群）の配置態様について説明する。

同図２（ａ）に示すように、この比較例における処理装置（装置群）は、装置の種類（ここではエッチング、外観検査、リソグラフィ、イオン注入）に応じて同種の装置がまとめられて配置されている。このため、これら装置による工程を通じて１つの製品を完成させようとする場合には、同図２（ａ）中に太線で搬送経路を示すように、これら各装置の間を長距離にわたってワークの搬送が行われることになる。

一方、図２（ｂ）に示すように、この実施の形態に係る処理装置（装置群）ＬＰ１〜ＬＰ４は、工程を基準にして配置され、これら装置による一連の処理を通じて１つもしくは複数の工程を完成させる（ここでは閉ループＬ１がリソグラフィ工程を、また閉ループＬ２がエッチング・外観検査・イオン注入を担当する）ように構成されている。すなわち、リソグラフィ工程に係る装置群ＬＰ１で１つの閉ループＬ１を、またイオン注入に係る装置群ＬＰ２およびエッチングに係る装置群ＬＰ３および外観検査に係る装置群ＬＰ４で別の閉ループＬ２を形成している。

また、同図２（ｂ）中に太線（矢印）で搬送経路を示すように、閉ループＬ１を形成する装置群ＬＰ１間での搬送を終えて同装置群ＬＰ１の各装置において一通りの処理がなされたワークは、自動棚（ワーク保管棚ＳＦに相当）に戻されることなく直接、次の工程に係る閉ループＬ２へ搬送されるようになっている。これにより、ワークの搬送は閉ループ内および閉ループ間の搬送だけで済み、またワークを棚に戻すために消費される時間も削減されるため、搬送距離が大きく短縮されることになる。例えば発明者による搬送距離の計測実験では、当該装置群の配置態様を図２（ａ）に示す配置から図２（ｂ）に示す配置に替えると、図２（ａ）に示す配置において「２２４ｍ」あった搬送距離が「６６ｍ」になるという実験結果が得られている。

さて、図１に示すように、このシステムには、上記閉ループを形成する装置群ＰＥについて各装置の稼動状況を監視する稼動状況監視部（稼動状況監視手段、工程進捗情報更新手段）７がさらに設けられている。詳しくは、各処理装置の状態、例えばメンテナンス状態にある、もしくは故障状態にある、あるいはロット仕掛け待ち状態にある、等といった情報が検出される。そして、この稼動状況監視部７による装置群ＰＥの各装置についての稼動中か空き状態かの情報に基づいてワーク保管棚ＳＦにある対象ロットと搬送中のロットとの間に干渉がないかが常に監視され、ロット間の干渉がより確実に防止されるようになっている。

また、この稼動状況監視部７により、搬送の対象とするワークの各ロットについて処理装置の別に未処理か処理済かを示す工程進捗情報が、工程進捗情報記憶部（工程進捗情報記憶手段）８へ格納、更新されるようになっている。具体的には、装置群ＰＥの各処理装置の状態が「作業前から作業中へ」あるいは「作業中から作業終了へ」と変わる都度、この工程進捗情報が「未処理から処理済へ」更新される。

また、上記稼動状況監視部７に対しては、この稼動状況監視部７による稼動情報に基づいて上記スケジュール管理部１に記憶されている処理スケジュールを逐次修正する補正部９が設けられている。そして、この補正部９により、装置群ＰＥの各処理装置における処理開始時刻および処理終了時刻に、稼動状況監視部７による稼動状況とスケジュール管理部１の処理スケジュールとが比較されつつ、両者に偏差が生じたときには、これを相殺すべくスケジュール管理部１の以後のスケジュール（処理開始時刻等）が修正されるようになっている。こうして常に両者の整合がとられている。

さらにこのシステムには、搬送の対象とするワークのロット毎に仕掛可能であるか否かを判定するロット監視部（ロット監視手段）４ａが着手ジョブ算出部４の一部として設けられている。また、このシステムは、仕掛前ロットが一時的に保管されるワーク保管棚ＳＦの在庫状況を監視する在庫監視部（在庫監視手段）１０をさらに備える。そして、この実施の形態においては、上記ロット監視部４ａが、
（Ａ）ワーク保管棚ＳＦにおける在庫の有無。
（Ｂ）ワーク保管棚ＳＦに搬送可能な状態で準備されているか否か。
等々の所定項目に基づいて対象とするロットが仕掛可能であるか否かを判断し、この判断により仕掛可能であると判断されたロットだけが搬送されるようになっている。

次に、図３および図４を併せ参照して、この実施の形態に係る上記システムにおける予約処理、特にスケジュール追加部３による予約追加処理の手順およびその内容について説明する。なお、この一連の処理は、搬送の対象とするワークに対して適宜の処理を行う装置群ＰＥ（図２）の閉ループ毎に、これら閉ループＬ１およびＬ２の双方（全て）について行われる。

同図３に示すように、この処理にあたっては、まず、ステップＳ１において、搬送の対象とするワークのうちに予約すべきロットがあるか否かが判断される。そして、ここで予約すべきロットが無いと判断されれば、この一連の処理は終了する。

一方、このステップＳ１にて予約すべきロットがあると判断されると、これに続くステップＳ２において、その予約の対象とするロットが選択される。そして、続くステップＳ３において、作業番号を示す変数値ｎに対し「１」が代入される。すなわち、これに続くステップＳ４においては、第１番目の作業に係る処理装置についてその空き時間の検索が行われる。そして、続くステップＳ５において、同ステップＳ４にて検索された空き時間内に作業が終了するか否かが判断される。そして、ここで作業が終了すると判断されれば、続くステップＳ６において、この第１番目の作業に係る処理装置のポートの数に当該ロットを受け入れるだけの空きがあるか、すなわち同装置のポートの数が「同装置で既に着手中のロットの数」と「同装置に既に予約されているロットの数」との和よりも大きい（多い）か否かが判断される。そしてここで、同装置のポートの数がこれよりも大きい（多い）と判断されると、続くステップＳ７で、この装置に対して第１番目の作業が予約されることになる。一方、ステップＳ５あるいはＳ６において、空き時間内に作業が終了しない、あるいは処理装置のポートの数に当該ロットを受け入れるだけの空きがないと判断される場合には、先のステップＳ１に戻って他に予約すべきロットがあるか否かが再び判断されることになる。

こうして第１番目の作業の予約が終了すると、次にステップＳ８において、第２番目の作業の予約を行うか否かが判断される。詳しくは、第２番目の作業に係る処理装置が当該閉ループ内にあるか否かが判断される。そしてここで、この第２番目の作業に係る処理装置も当該閉ループ内にあると判断されると、ステップＳ９において上記変数値ｎに「１」が加算され、今度はこの第２番目の作業について上記ステップＳ４〜Ｓ７の処理が行われることになる。一方、上記ステップＳ８において、第「ｎ＋１」番目の作業に係る処理装置が当該閉ループ内にないと判断される場合には、当該閉ループに係る全ての作業の予約が終了し、ひいてはこの一連の処理が終了することになる。

図４（ａ）〜（ｃ）は、この実施の形態に係る上記システムによる予約処理の一態様、特にスケジュール追加部３による予約追加処理の一態様を例示するタイムチャートである。なおここでは、作業番号「１〜３」の作業予約が一括に行われる場合について説明する。また、これら作業（作業番号「１〜３」の作業）間におけるワーク放置時間に対しては一定の制限が設けられている。

図４（ａ）は、スケジュール管理部１（図１）に格納されている処理スケジュールの最初の予約状態を示すタイムチャートである。同図４（ａ）に示されるように、このロットにおいては、作業番号「１〜３」の作業についてそれぞれタイミングＴ１〜Ｔ３まで既に予約されている。

これに対し予約の追加（書き込み）を行う場合は、図４（ｂ）に示すように、まず、これら各作業に係る処理装置についてその空き時間の検索が行われる。そして、ここで検索された空き時間内に各作業が終了するか否かが判断される（図３に示すステップＳ４およびＳ５の処理に相当）。詳しくは、作業番号「１〜３」の作業についての処理時間Ｔ_１１〜Ｔ_１２およびＴ_２１〜Ｔ_２２およびＴ_３１〜Ｔ_３２を、各作業に係る装置の空き時間に対して設定することができるか否かが判断される。またここでは、ワーク放置時間の制限から、作業番号「１」の処理終了時刻Ｔ_１２から作業番号「２」の処理開始時刻Ｔ_２１までの放置時間ｔ_１、および作業番号「２」の処理終了時刻Ｔ_２２から作業番号「３」の処理開始時刻Ｔ_３１までの放置時間ｔ_２の双方が規定時間内に収まるように各作業の処理時間が設定されなければならない。すなわち、これら条件を満たすように各処理時間を設定することができない場合は、先のステップＳ５（図３）において、空き時間内に作業が終了しないと判断される。

一方、これらの条件を満たすような空き時間がある場合は、作業番号「１〜３」の作業についてこの空き時間のなるべく早い時間に対しそれぞれ処理時間が設定、予約されることになる。図４（ｃ）は、当該処理スケジュールの予約完了後の状態を示すタイムチャートである。

次に、図５を併せ参照して、この実施の形態に係る物流システムによる搬送処理の一態様について説明する。なお、この図５は同処理の手順を示すフローチャートであり、この一連の処理は、例えば所定時間毎のタイマ割込み処理として着手ジョブ算出部４により実行される。また、この処理も、搬送の対象とするワークに対して適宜の処理を行う上記装置群ＰＥ（図２）の閉ループ毎に、これら閉ループＬ１およびＬ２の双方（全て）について行われる。

同図５に示すように、この一連の処理に際しては、まず、ステップＳ１１において、当該閉ループのうちに処理可能な装置があるか否かが判断される。そして、このステップＳ１１にて処理可能な装置があると判断されると、これに続くステップＳ１２において、仕掛可能なロットがあるか否かが判断される。詳しくは、
（ａ１）ワーク保管棚ＳＦに在庫がある。
（ｂ１）スケジュール管理部１の処理スケジュールに基づく搬送開始時刻に達した。
（ｂ２）当該ロットが一時停止の状態にない。
（ｂ３）ワーク保管棚ＳＦにある対象ロットと他のロットとの処理スケジュールが互いに干渉しない。
等々の条件を全て満たすときに、対象とするロットが仕掛可能であると判定される。

ここで、これらの条件は、いずれもロット監視部４ａにより判断される。例えば、上記（ａ１）は在庫監視部１０によるワーク保管棚ＳＦの在庫情報に基づいて、また上記（ｂ１）はスケジュール管理部１の処理スケジュールに基づいてそれぞれ判断される。また、例えばワークの観察や加工条件の検討等のために、作業者によりロットの状態（「搬送中」「停止」「一時停止」等といった所定パラメータ）が停止もしくは一時停止にされる場合がある。この実施の形態においては、この情報が着手ジョブ算出部４を通じてスケジュール管理部１へ格納され、これに基づいて上記（ｂ２）の条件が満たされているか否かが判断される。また上記（ｂ３）にあって、搬送中のロットとの干渉については、稼動状況監視部７（図１）による各装置の稼動状況に基づいて判断される。具体的には、稼動状況監視部７から異常を知らせる旨の信号がなければロット間に干渉はないと判断される。一方、搬送中にないロットとの干渉については、工程進捗情報記憶部８（図１）に格納されている工程進捗情報に基づいて判断される。すなわち、対象ロットについてこの工程進捗情報に未処理の装置があり、その未処理装置に係る作業の所要時間（工程管理部２を参照）と現在の時刻とを加算して得られる時刻が同未処理装置における他のロットの処理開始予定時刻（スケジュール管理部１を参照）を越えないとき、これらロット間に干渉はないと判断される。

そして、同ステップＳ１２にて仕掛可能なロットがあると判断されれば、これに続くステップＳ１３においてそのロットの処理が着手ジョブとして設定され、さらに続くステップＳ１４において同処理に係る処理装置や自動搬送装置ＴＲ（図１）へそれぞれ開始信号が出力されて、この一連の処理は終了することになる。

また一方、先のステップＳ１２で仕掛可能なロットがないと判断されれば、次のステップＳ１５において、搬送開始時刻に達していない（上記（ｂ１）の条件は満たさない）ものの、上記（ａ１）および（ｂ２）の条件を満たすロットがあるか否かが判断される。そして、同ステップＳ１５にてこれらの条件を満たすロットがあると判断されれば、これに続くステップＳ１６においてその中から所定の優先条件（例えば処理開始予定時刻の早い順）に従って優先ロットが選択される。さらにステップＳ１７で、その優先ロットについて、他のロットとの間に干渉がない（上記（ｂ３）の条件を満足する）か否かが判断される。すなわち上述したように、稼動状況監視部７による各装置の稼動状況に基づいて搬送中のロットとの間に干渉がないか否かが判断されるとともに、工程進捗情報等に基づいて空き時間内に当該作業が終了するか否かが判断される。そして、同ステップＳ１７にてロット間に干渉はないと判断されると、これに続くステップＳ１８において、このロットの処理が着手ジョブとして設定され、さらに続くステップＳ１４において同処理に係る処理装置や自動搬送装置ＴＲ（図１）へそれぞれ開始信号が出力されて、この一連の処理は終了することになる。

また、この実施の形態においては、先のステップＳ１２にて仕掛可能なロットがあると判断されたときに、着手ジョブ算出部（スケジュール修正手段）４を通じてスケジュール管理部１の処理スケジュールが適宜に修正、調整されるようになっている。すなわち、例えば処理スケジュールに空き時間が形成される場合には、以降のスケジュールを繰り上げるような調整が施されることになる。

また、上記ステップＳ１７において、空き時間内に当該作業が終了しないと判断される場合には、先のステップＳ１５に戻って他に条件を満たすロットがあるか否かが再び判断されることになる。なお、先のステップＳ１１やこのステップＳ１５で、処理可能な装置や仕掛可能なロットが無いと判断された場合にも、この一連の処理は終了することになる。

このように、この実施の形態に係る物流システムでは、各閉ループＬ１およびＬ２（図２）内において、ロット間の干渉なくワーク（半導体基板）の搬送が行われる。しかも、前述したバッファ装置を設けることなくロット間の干渉を避けることにより、搬送時間のさらなる短縮が図られている。そうして、複数の閉ループＬ１およびＬ２にわたってワークの搬送を行うことにより、ワークの搬送が極めて円滑に行われるようになっている。

以上説明したように、この実施の形態に係る物流システムによれば、以下に記載するような多くの優れた効果が得られるようになる。
（１）ワークの各ロットについて上記閉ループを形成する装置群ＰＥの各装置における処理スケジュールを記憶するスケジュール管理部１と、これに記憶されている処理スケジュールを参照しつつ装置群ＰＥにある対象装置の空き時間を求めてその空き時間に新たなロットを処理するためのスケジュールを追加するスケジュール追加部３とを備える。そうして、上記スケジュール管理部１の処理スケジュールに基づいてワークの搬送が行われる構成とした。これにより、前述したバッファ装置を設けることなくロット間の干渉が未然に防止されることになる。しかも、新たにロットが追加された場合であれ、既存のロットとの干渉が防止されるようになり、いわば将来にわたってロット間の干渉が防止されることになる。

（２）上記スケジュール管理部１に記憶されている処理スケジュールには、搬送の対象とするワークの各ロットについて、上記装置群ＰＥにある対象装置における処理開始時刻および処理終了時刻が記述されている構成とした。上述のように、この処理スケジュールに処理開始時刻および処理終了時刻が示されていることで、ワークの搬送やスケジュールの追加が円滑に行われるようになる。

（３）上記スケジュール追加部３を、上記装置群ＰＥにある対象装置のポートに当該ロットを受け入れるだけの空きがあるか否かを判断し、この判断結果に基づいてスケジュール管理部１に記憶されている処理スケジュールに対しスケジュールを追加するか否かを決定するものとした（図３に示すステップＳ６参照）。この構成によれば、搬送対象となる装置のポートに空きがなければそのスケジュールは追加されないため、直接搬送されてそのロット（ワーク）を置く場所がない等といった事態は好適に回避されるようになる。

（４）搬送の対象とするワークのロット毎に仕掛可能であるか否かを判定するロット監視部４ａをさらに備え、該ロット監視部４ａによる判定結果に基づいてワークの搬送を調整する構成とした（図５に示すステップＳ１２およびＳ１５参照）。これにより、ワークの搬送がより円滑に行われるようになる。

（５）具体的には、搬送の対象とするワークの仕掛前ロットを一時的に保管しておくワーク保管棚ＳＦの在庫状況を監視する在庫監視部１０をさらに備え、ロット監視部４ａが、この在庫監視部１０によるロット在庫の有無に基づいて仕掛可能であるか否かの判定を行う構成とした。これにより、在庫監視部１０による在庫の監視をもって、ワークが仕掛可能であるか否かが合理的に判断されることになる。

（６）またこのとき、ワーク保管棚ＳＦに在庫があってもワークが搬送可能な状態で準備されていない可能性がある。そこで、ワーク保管棚ＳＦにワークが搬送可能な状態で準備されていないとき、ロット監視部４ａがこのロットを仕掛可能でないと判定する構成とした。これにより、ワークの在庫だけでなく、ワーク保管棚ＳＦにおけるワークの状態にまで配慮の行き届いた搬送が実現されることになる。

（７）さらにこのとき、ロット監視部４ａを、スケジュール管理部１の処理スケジュールに基づく搬送開始時刻に達したことを条件の１つとしてワーク保管棚ＳＦにおけるロットが搬送可能な状態にあると判断するものとした。これにより、ワークの搬送がより円滑に、そしてスケジュール通りに行われるようになる。

（８）さらに、このロット監視部４ａを、ワーク保管棚ＳＦにある対象ロットと他のロットとの処理スケジュールが互いに干渉しないことも条件の１つとして同ロットを搬送可能な状態にあると判断するものとした。これにより、搬送前に対象ロットと他のロットとの処理スケジュールに干渉がないことが確認されることになり、より高い信頼性をもってワークの搬送が行われるようになる。

（９）またこの干渉判断を、着手ジョブ設定の直前に行うようにした（図５に示すステップＳ１２およびＳ１７参照）。これにより、最新の情報をもってより正確に干渉判断が行われるようになる。

（１０）また具体的には、上記装置群ＰＥの各装置について稼動状況を監視する稼動状況監視部７をさらに備え、ロット監視部４ａが、この稼動状況監視部７による装置群ＰＥの各装置についての稼動中か空き状態かの情報に基づいてワーク保管棚ＳＦにある対象ロットと搬送中のロットとの処理スケジュールに関する干渉判断を行う構成とした。これにより、対象ロットと搬送中のロットとの間に干渉がないか常に監視されることになり、ロット間の干渉がより確実に防止されるようになる。

（１１）また、搬送中にないロットとの干渉については、ワークの各ロットについて装置群ＰＥの装置別に未処理か処理済かを示す工程進捗情報（工程進捗情報記憶部８を参照）に基づき判断される構成とした。すなわち、対象ロットについてこの工程進捗情報に未処理の装置があり、その未処理装置に係る作業の所要時間（工程管理部２を参照）と現在の時刻とを加算して得られる時刻が同未処理装置における他のロットの処理開始予定時刻（スケジュール管理部１を参照）を越えないとき、これらロット間に干渉はないと判断されるようにした。これにより、搬送中にないロットとの干渉についてもその干渉の有無が容易に且つ正確に把握されるようになる。

（１２）また、稼動状況監視部７により、装置群ＰＥの各装置の状態が「作業前から作業中へ」あるいは「作業中から作業終了へ」と変わる都度、工程進捗情報記憶部８に記憶されている工程進捗情報が更新される構成とした。これにより、ロット間の干渉判断に用いられる上記工程進捗情報が適切に更新されつつ、適正な干渉判断が継続的に行われるようになる。

（１３）ロット監視部４ａによりスケジュール管理部１の処理スケジュールに基づく搬送開始時刻に達しているロットがないと判断されるときには、他の条件により搬送可能な状態にあると判断されるロットの中から所定の優先条件をもって選択される優先ロットの搬送を行う構成とした（図５に示すステップＳ１２およびＳ１５〜Ｓ１８参照）。これにより、例えば処理スケジュールに長期の空き時間（待ち時間）がある場合等においても、搬送可能なロットがあればその空き時間にワークの搬送が行われるようになり、こうして空き時間が有効利用されることにより搬送時間の短縮が好適に図られることになる。

（１４）また、この実施の形態においては、優先ロットの搬送に先立ち、他のロットとの干渉がないことを確認する処理（図５に示すステップＳ１７）を実行し、干渉の生じ得るロットに関しては搬送を行わないようにした。これにより、将来生じ得るロットの干渉も未然に防止されることになる。

（１５）また上記ロット監視部４ａを、ワーク保管棚ＳＦにおけるロットが停止もしくは一時停止の状態にないことを条件の１つとして同ロットが搬送可能な状態にあると判断するものとした。これにより、作業者によりロットの状態（「搬送中」「停止」「一時停止」等といった所定パラメータ）が停止もしくは一時停止にされる場合であれ、これに柔軟に対応することができるようになる。すなわち、作業者の意思により自由に搬送が止められた場合であれ、ロット間の干渉のない円滑な搬送が行われることになる。

（１６）また、スケジュール管理部１の処理スケジュールに基づく搬送開始時刻にすでに達していながらロット監視部４ａにより搬送可能な状態で準備されていないと判断されるロットがあるときには、着手ジョブ算出部４を通じてスケジュール管理部１の処理スケジュールが適宜に修正、調整される構成とした。これにより、必要とされる調整が随時処理スケジュールへ施されるようになる。

（１７）閉ループＬ１（図２）を形成する装置群ＬＰ１間での搬送を終えて同装置群ＬＰ１の各装置において一通りの処理がなされたワークが、棚に戻されることなく直接、次の工程に係る閉ループＬ２へ搬送される構成とした。これにより、ワークを棚に戻すために消費される時間を削減することができ、その分だけ搬送時間の短縮が図られることになる。

（１８）閉ループＬ１およびＬ２を形成する装置群ＬＰ１〜ＬＰ４（図２）が、それぞれ工程を基準にして配置され、これら装置による一連の処理を通じて１つもしくは複数の工程を完了させる（ここでは閉ループＬ１がリソグラフィ工程を、また閉ループＬ２がエッチング・外観検査・イオン注入を担当する）構成とした。これにより、無駄な搬送距離を減らして搬送距離の短縮を図ることができるようになる。また、同一工程に係る処理装置がまとめて近くに配置されることで、これら処理装置間の搬送時間が短くなり、上述のように、複数の処理（作業）間におけるワーク放置時間に一定の制限が設けられている場合であれ、これに柔軟に対応することができるようになる。

（１９）当該物流システムが半導体デバイスの生産ラインを構成し、搬送の対象とするワークが同半導体デバイスの基板である構成とした。こうした物流システムは、歩留まり向上やコスト削減などが厳しく要求される半導体の分野において特に望まれており、またこの種の技術は、最近の半導体デバイスにおける激しいコスト競争の中、特に重要視される実情にある。このため、この発明が半導体の分野において実用されることで、大きく産業の発達に寄与することになる。

なお、上記実施の形態は、以下のように変更して実施してもよい。
・上記実施の形態において、図３に示すステップＳ４の直前に、スケジュール管理部１に記憶されている処理スケジュールを使用することができるか否かを判断する処理を追加して、これを使用することができないときにのみ上記スケジュール追加部３により新たなスケジュールを追加する構成とすることもできる。そして、既存のスケジュールに使用可能なものがある場合には、例えばスケジュール管理部１の処理スケジュールに対し識別コード（例えばロット番号）を設定することにより、同スケジュールをロット間で共用することができるものとする。こうすることで、上記スケジュール管理部１に記憶される情報量を減らすことができるようになり、ひいてはこのスケジュール管理部１として記憶容量の小さい記憶装置を採用することが可能になる。

・上記実施の形態においては、優先ロットの搬送に先立ち、他のロットとの干渉がないことを確認する処理（図５に示すステップＳ１７）を実行し、干渉の生じ得るロットに関しては搬送を行わないようにした。しかしこれは必須の構成ではなく、例えば優先ロットの搬送後、上記着手ジョブ算出部（スケジュール修正手段）４により、同ロットに対する他のロットの干渉を防止するような調整を行う構成とすることによっても、前記（１４）の効果に準じた効果は得られるようになる。

・上記実施の形態において、ロット監視部４ａがワーク保管棚ＳＦにワークが搬送可能な状態で準備されていないと判断する条件は、前述の（ｂ１）〜（ｂ３）に限られることなく任意である。

・また、ロット監視部４ａが仕掛可能であるか否かを判定する条件も、前述の（ａ１）および（ｂ１）〜（ｂ３）に限られることなく任意である。
・上記実施の形態においては、閉ループＬ１を形成する装置群ＬＰ１間での搬送を終えて同装置群ＬＰ１の各装置において一通りの処理がなされたワークが、棚に戻されることなく直接、次の工程に係る閉ループＬ２へ搬送される構成とした。しかしこの構成も必須ではなく、棚に戻してから閉ループＬ２へ搬送される構成としてもよい。

・また、閉ループを形成する装置群ＰＥの配置態様は、図２に示したものに限られることなく任意である。
・上記実施の形態においては、一例として、この発明に係る物流システムを半導体デバイスの製造ラインに適用した場合について説明したが、別の分野にもこの物流システムは応用可能である。

・上記実施の形態においては、上記スケジュール管理部１の処理スケジュールとして、搬送の対象とするワークの各ロットについて対象装置における処理開始時刻および処理終了時刻が記述されているものを採用した。しかしこれに限らず、例えば処理開始時刻および処理の所要時間等の組合せを採用してもよく、あるいは所定の基準時刻に対する相対的な時刻として各時刻を設定することも可能である。要するに、このスケジュール管理部１の処理スケジュールには、搬送の対象とするワークの処理スケジュールが示されていれば足り、換言すれば処理終了時刻さえも必須ではなく、少なくとも処理開始時刻が示されてあれば足りる。

・結局のところ、上記スケジュール管理部１に記憶されている処理スケジュールを参照しつつ対象装置の空き時間を求めてその空き時間に新たなロットを処理するためのスケジュールを追加するスケジュール追加部３を備え、上記スケジュール管理部１の処理スケジュールに基づきワークの搬送を行う構成であれば、所期の目的は達成されることになる。すなわち、特に必要としなければ、稼動状況監視部７や補正部９（図１）等は適宜に割愛することができる。

この発明に係る物流システムの一実施の形態についてそのシステムの概略構成を模式的に示すブロック図。 物流システムにて閉ループを形成する装置群について、（ａ）は閉ループを形成しない処理装置（装置群）の配置態様を示す図、（ｂ）は上記実施の形態に係る処理装置（装置群）の配置態様を示す図。 同実施の形態に係る物流システムにおける予約処理、特にスケジュール追加部による予約追加処理の手順の一例を示すフローチャート。 （ａ）〜（ｃ）は、同実施の形態に係る物流システムによる予約処理の一態様、特にスケジュール追加部による予約追加処理の一態様を例示するタイムチャート。 同実施の形態に係る物流システムによる搬送処理の手順の一例を示すフローチャート。

符号の説明

１…スケジュール管理部、２…工程管理部、３…スケジュール追加部、４…着手ジョブ算出部、４ａ…ロット監視部、５…処理条件決定部、６…自動搬送装置制御部、７…稼動状況監視部、８…工程進捗情報記憶部、９…補正部、１０…在庫監視部、ＬＰ１〜ＬＰ４、ＰＥ…処理装置（装置群）、ＳＦ…ワーク保管棚、ＴＲ…自動搬送装置。

Claims (18)

1. 工程を基準に配置される処理装置が同種の複数の処理装置を含む各々単体の装置群にて形成される閉ループを複数有し、それら閉ループ内及び閉ループ間にてワークの搬送を行う物流システムであって、
   前記搬送の対象とするワークの各ロットについて前記閉ループを形成する装置群の各装置における処理スケジュールを記憶するスケジュール管理手段と、
   該スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールを参照しつつ前記装置群にある対象装置の空き時間を求め、各ロットの作業についての処理時間をその空き時間に対して設定することができること、および各作業間の放置時間が規定時間内に収まることを条件として新たなロットを処理するためのスケジュールを追加するスケジュール追加手段とを備え、
   前記ワークの搬送を、前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールに基づいて行う
   ことを特徴とする物流システム。
2. 前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールには、前記搬送の対象とするワークの各ロットについて、前記閉ループを形成する装置群にある対象装置における処理開始時刻および処理終了時刻が記述されている
   請求項１に記載の物流システム。
3. 前記スケジュール追加手段は、前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールを使用することができるか否かを判断してこれを使用することができないときにのみ新たなスケジュールを追加する
   請求項１または２に記載の物流システム。
4. 前記スケジュール追加手段は、前記閉ループを形成する装置群にある対象装置のポートに当該ロットを受け入れるだけの空きがあるか否かを判断し、この判断結果に基づいて前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールに対しスケジュールを追加するか否かを決定する
   請求項１〜３のいずれか一項に記載の物流システム。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の物流システムにおいて、
   前記搬送の対象とするワークのロット毎に仕掛可能であるか否かを判定するロット監視手段をさらに備え、
   該ロット監視手段による判定結果に基づいて前記ワークの搬送を調整する
   ことを特徴とする物流システム。
6. 請求項５に記載の物流システムにおいて、
   前記搬送の対象とするワークの仕掛前ロットを一時的に保管しておくワーク保管棚の在庫状況を監視する在庫監視手段をさらに備え、
   前記ロット監視手段は、該在庫監視手段によるロット在庫の有無に基づいて前記ワークの仕掛可能であるか否かの判定を行う
   ことを特徴とする物流システム。
7. 前記ロット監視手段は、前記ワーク保管棚にワークが搬送可能な状態で準備されていないとき、このロットを仕掛可能でないと判定する
   請求項６に記載の物流システム。
8. 前記ロット監視手段は、前記処理スケジュールに基づく搬送開始時刻に達したことを条件の１つとして前記ワーク保管棚におけるロットが搬送可能な状態にあると判断する
   請求項７に記載の物流システム。
9. 前記ロット監視手段は、前記ワーク保管棚にある対象ロットと他のロットとの処理スケジュールが互いに干渉しないことも条件の１つとして同ロットを搬送可能な状態にあると判断する
   請求項８に記載の物流システム。
10. 請求項９に記載の物流システムにおいて、
    前記閉ループを形成する装置群の各装置について稼動状況を監視する稼動状況監視手段をさらに備え、
    前記ロット監視手段は、該稼動状況監視手段による前記装置群の各装置についての稼動中か空き状態かの情報に基づいて前記ワーク保管棚にある対象ロットと搬送中のロットとの処理スケジュールに関する干渉判断を行う
    ことを特徴とする物流システム。
11. 請求項９または１０に記載の物流システムにおいて、
    前記閉ループを形成する装置群の各装置に係る作業の所要時間を記憶する作業時間記憶手段と、前記搬送の対象とするワークの各ロットについて前記装置群の装置別に未処理か処理済かを示す工程進捗情報を記憶する工程進捗情報記憶手段とをさらに備え、
    前記ロット監視手段は、前記ワーク保管棚の対象ロットについて前記工程進捗情報記憶手段に記憶されている工程進捗情報に未処理の装置があり、前記作業時間記憶手段に記憶されているその未処理装置に係る作業の所要時間と現在の時刻とを加算して得られる時刻が同未処理装置における前記処理スケジュールに基づく他のロットの処理開始時刻を越えないことを条件の１つとして、前記対象ロットと他のロットとの処理スケジュールが互いに干渉しないと判断する
    ことを特徴とする物流システム。
12. 請求項１１に記載の物流システムにおいて、
    前記装置群の各装置の状態が「作業前から作業中へ」あるいは「作業中から作業終了へ」と変わる都度、前記工程進捗情報記憶手段に記憶されている工程進捗情報を更新する工程進捗情報更新手段をさらに備える
    ことを特徴とする物流システム。
13. 請求項９〜１２のいずれか一項に記載の物流システムにおいて、
    前記ロット監視手段により前記処理スケジュールに基づく搬送開始時刻に達しているロットがないと判断されるときには、他の条件により搬送可能な状態にあると判断されるロットの中から所定の優先条件をもって選択される優先ロットの搬送を行う
    ことを特徴とする物流システム。
14. 前記ロット監視手段は、前記ワーク保管棚におけるロットが停止もしくは一時停止の状態にないことを条件の１つとして同ロットが搬送可能な状態にあると判断する
    請求項７〜１３のいずれか一項に記載の物流システム。
15. 請求項７〜１４のいずれか一項に記載の物流システムにおいて、
    前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールを修正するスケジュール修正手段をさらに備え、
    前記処理スケジュールに基づく搬送開始時刻にすでに達していながら前記ロット監視手段により搬送可能な状態で準備されていないと判断されるロットがあるときには、前記スケジュール修正手段を通じて前記スケジュール管理手段に記憶されている処理スケジュールを修正する
    ことを特徴とする物流システム。
16. 請求項１〜１５のいずれか一項に記載の物流システムにおいて、
    前記閉ループを形成する装置群間での搬送を終えて同装置群の各装置において一通りの処理がなされたワークは、棚に戻されることなく直接、次の工程に係る装置もしくは装置群へ搬送される
    ことを特徴とする物流システム。
17. 前記閉ループを形成する装置群の各装置による一連の処理を通じて１乃至複数の工程を完了させる
    請求項１〜１６のいずれか一項に記載の物流システム。
18. 当該物流システムは半導体デバイスの生産ラインを構成し、前記搬送の対象とするワークは、同半導体デバイスの基板である
    請求項１〜１７のいずれか一項に記載の物流システム。

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