JP3478238B2 - アレー型電子部品の検査装置 - Google Patents
アレー型電子部品の検査装置Info
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- JP3478238B2 JP3478238B2 JP2000129577A JP2000129577A JP3478238B2 JP 3478238 B2 JP3478238 B2 JP 3478238B2 JP 2000129577 A JP2000129577 A JP 2000129577A JP 2000129577 A JP2000129577 A JP 2000129577A JP 3478238 B2 JP3478238 B2 JP 3478238B2
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の電子素子
と、それぞれの電子素子に個別に設けられた複数の個別
端子と、全ての電子素子に共通に設けられた一つの共通
端子とを有するアレー型電子部品について、それぞれの
電子素子を電気的に検査する、アレー型電子部品の検査
装置に関する。なお、ここで言う「端子」には、電極、
極板等の概念も含まれる。
と、それぞれの電子素子に個別に設けられた複数の個別
端子と、全ての電子素子に共通に設けられた一つの共通
端子とを有するアレー型電子部品について、それぞれの
電子素子を電気的に検査する、アレー型電子部品の検査
装置に関する。なお、ここで言う「端子」には、電極、
極板等の概念も含まれる。
【０００２】
【従来の技術】以下、コンデンサを例にとり、従来技術
を説明する。一般に、コンデンサ素子の良否を判定する
ためには、端子間に直流電圧を印加することにより漏洩
電流を測定する方法や、端子間に交流電圧を印加するこ
とにより静電容量、誘電正接、インピーダンス、周波数
−インピーダンス特性等を測定する方法がある。例えば
チップコンデンサなど、コンデンサ単体で良否判定をす
るには、チップ整列機により、多数のチップコンデンサ
を整列させて測定プローブの間を通過させることによ
り、連続的に検査する方法が知られている（特開昭63-1
18672号公報）。
を説明する。一般に、コンデンサ素子の良否を判定する
ためには、端子間に直流電圧を印加することにより漏洩
電流を測定する方法や、端子間に交流電圧を印加するこ
とにより静電容量、誘電正接、インピーダンス、周波数
−インピーダンス特性等を測定する方法がある。例えば
チップコンデンサなど、コンデンサ単体で良否判定をす
るには、チップ整列機により、多数のチップコンデンサ
を整列させて測定プローブの間を通過させることによ
り、連続的に検査する方法が知られている（特開昭63-1
18672号公報）。
【０００３】近年、電子機器の小型化が進展する中にあ
って、部品点数を削減するために、図５に示す、複数の
コンデンサ素子Ｃ１１〜Ｃ１４を並列に配置したアレー
型コンデンサＣ１が使用されている。アレー型コンデン
サＣ１は、四個のコンデンサ素子Ｃ１１〜Ｃ１４と、コ
ンデンサ素子Ｃ１１〜Ｃ１４それぞれに個別に設けられ
た四個の個別端子１０１〜１０４と、コンデンサ素子Ｃ
１１〜Ｃ１４に共通に設けられた一個の共通端子１００
とを有するものである。
って、部品点数を削減するために、図５に示す、複数の
コンデンサ素子Ｃ１１〜Ｃ１４を並列に配置したアレー
型コンデンサＣ１が使用されている。アレー型コンデン
サＣ１は、四個のコンデンサ素子Ｃ１１〜Ｃ１４と、コ
ンデンサ素子Ｃ１１〜Ｃ１４それぞれに個別に設けられ
た四個の個別端子１０１〜１０４と、コンデンサ素子Ｃ
１１〜Ｃ１４に共通に設けられた一個の共通端子１００
とを有するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】アレー型コンデンサＣ
１の各コンデンサ素子Ｃ１１〜Ｃ１４を電気的に検査す
るには、できるだけ多くのアレー型コンデンサＣ１を一
度に検査してしまう方が効率的である。このとき、一つ
のアレー型コンデンサＣ１には、個別端子１０１〜１０
４及び共通端子１００にそれぞれ一個ずつ合計五個の切
り換え接点を設ける必要がある。例えば、四個のアレー
型コンデンサＣ１を一度に検査するには、２０個の切り
換え接点が必要になる。したがって、従来のアレー型電
子部品の検査装置では、継電器等の部品が多く、配線も
込み入った状態になるなど、非常に複雑な構成になって
しまうという問題があった。
１の各コンデンサ素子Ｃ１１〜Ｃ１４を電気的に検査す
るには、できるだけ多くのアレー型コンデンサＣ１を一
度に検査してしまう方が効率的である。このとき、一つ
のアレー型コンデンサＣ１には、個別端子１０１〜１０
４及び共通端子１００にそれぞれ一個ずつ合計五個の切
り換え接点を設ける必要がある。例えば、四個のアレー
型コンデンサＣ１を一度に検査するには、２０個の切り
換え接点が必要になる。したがって、従来のアレー型電
子部品の検査装置では、継電器等の部品が多く、配線も
込み入った状態になるなど、非常に複雑な構成になって
しまうという問題があった。
【０００５】
【発明の目的】そこで、本発明の目的は、簡単な構成と
することにより、小型化、軽量化等を達成できる、アレ
ー型電子部品の検査装置を提供することにある。
することにより、小型化、軽量化等を達成できる、アレ
ー型電子部品の検査装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る検査装置
は、複数の電子素子と、それぞれの電子素子に個別に設
けられた複数の個別端子と、全ての電子素子に共通に設
けられた一つの共通端子とを有するアレー型電子部品に
ついて、それぞれの電子素子を電気的に検査するもので
ある。そして、一方の検査端子と他方の検査端子との間
に電気的に接続された電子素子を電気的に検査する検査
部と、複数のアレー型電子部品について複数の共通端子
のうちの一つを選択して一方の検査端子に電気的に接続
する共通端子選択部と、複数のアレー型電子部品のそれ
ぞれについて同じ位置の個別端子を全て選択して他方の
検査端子に電気的に接続する個別端子選択部とを備えて
いる。
は、複数の電子素子と、それぞれの電子素子に個別に設
けられた複数の個別端子と、全ての電子素子に共通に設
けられた一つの共通端子とを有するアレー型電子部品に
ついて、それぞれの電子素子を電気的に検査するもので
ある。そして、一方の検査端子と他方の検査端子との間
に電気的に接続された電子素子を電気的に検査する検査
部と、複数のアレー型電子部品について複数の共通端子
のうちの一つを選択して一方の検査端子に電気的に接続
する共通端子選択部と、複数のアレー型電子部品のそれ
ぞれについて同じ位置の個別端子を全て選択して他方の
検査端子に電気的に接続する個別端子選択部とを備えて
いる。
【０００７】Ｎ，Ｍを２以上の整数とし、直交座標及び
等価回路で考えた場合、Ｍ個のアレー型電子部品をＹ軸
方向に配置し、一個のアレー型電子部品内のＮ個の電子
素子をＸ軸方向に配置すると、共通端子選択部はＹ軸方
向にＮ個の切り換え接点を有し、個別端子選択部はＸ軸
方向にＭ個の切り換え接点を有することになる。このと
き、各電子素子は、二次元平面にマトリクス状に配置さ
れ、その座標は（ｎ，ｍ）で与えられる。ただし、ｎ＝
１，…，Ｎ、ｍ＝１，…，Ｍである。したがって、共通
端子選択部及び個別端子選択部でそれぞれ一個の切り換
え接点を選択することによって、ただ一つの電子素子を
選んで検査部に接続することができる。この場合、従来
技術では（Ｎ＋１）×Ｍ個の切り換え接点が必要である
のに対して、本発明ではＮ＋Ｍ個の切り換え接点でよ
い。
等価回路で考えた場合、Ｍ個のアレー型電子部品をＹ軸
方向に配置し、一個のアレー型電子部品内のＮ個の電子
素子をＸ軸方向に配置すると、共通端子選択部はＹ軸方
向にＮ個の切り換え接点を有し、個別端子選択部はＸ軸
方向にＭ個の切り換え接点を有することになる。このと
き、各電子素子は、二次元平面にマトリクス状に配置さ
れ、その座標は（ｎ，ｍ）で与えられる。ただし、ｎ＝
１，…，Ｎ、ｍ＝１，…，Ｍである。したがって、共通
端子選択部及び個別端子選択部でそれぞれ一個の切り換
え接点を選択することによって、ただ一つの電子素子を
選んで検査部に接続することができる。この場合、従来
技術では（Ｎ＋１）×Ｍ個の切り換え接点が必要である
のに対して、本発明ではＮ＋Ｍ個の切り換え接点でよ
い。
【０００８】また、検査部は、次のような機能を備えた
ものとしてもよい。電子素子に直流電圧を印加し、その
漏れ電流から絶縁抵抗を測定する（請求項２）。電子素
子に交流電圧を印加し、電子素子の電圧又は電流を測定
することにより、電子素子の静電容量を測定する（請求
項３）。電子素子に交流電圧を周波数を変化させながら
印加し、電子素子の電圧又は電流を測定することによ
り、電子素子のインピーダンスを測定する（請求項
４）。測定を行なう前に、電子素子の個別端子と共通端
子とを短絡させる（請求項５）。電子素子の個別端子と
共通端子とを短絡させると、電子素子に蓄積された電荷
を放電させることができる。
ものとしてもよい。電子素子に直流電圧を印加し、その
漏れ電流から絶縁抵抗を測定する（請求項２）。電子素
子に交流電圧を印加し、電子素子の電圧又は電流を測定
することにより、電子素子の静電容量を測定する（請求
項３）。電子素子に交流電圧を周波数を変化させながら
印加し、電子素子の電圧又は電流を測定することによ
り、電子素子のインピーダンスを測定する（請求項
４）。測定を行なう前に、電子素子の個別端子と共通端
子とを短絡させる（請求項５）。電子素子の個別端子と
共通端子とを短絡させると、電子素子に蓄積された電荷
を放電させることができる。
【０００９】電子素子は、コンデンサ素子（請求項６）
及び圧電素子（請求項７）の他にも、抵抗素子、ダイオ
ード、ＬＥＤ等の二端子を有する電子素子は勿論のこ
と、トランジスタ、サイリスタ等の三端子を有する電子
素子であってもよい。三端子を有する電子素子の場合
は、その内の二端子間を検査する。
及び圧電素子（請求項７）の他にも、抵抗素子、ダイオ
ード、ＬＥＤ等の二端子を有する電子素子は勿論のこ
と、トランジスタ、サイリスタ等の三端子を有する電子
素子であってもよい。三端子を有する電子素子の場合
は、その内の二端子間を検査する。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る検査装置の
第一実施形態を示す回路図である。以下、この図面に基
づき説明する。
第一実施形態を示す回路図である。以下、この図面に基
づき説明する。
【００１１】本実施形態では、アレー型電子部品として
アレー型コンデンサＣ１〜Ｃ４を用いている。本実施形
態の検査装置は、共通端子選択部としての切り換えスイ
ッチ２１と、個別端子選択部としての切り換えスイッチ
２２と、検査部としての測定器２３とを備えている。
アレー型コンデンサＣ１〜Ｃ４を用いている。本実施形
態の検査装置は、共通端子選択部としての切り換えスイ
ッチ２１と、個別端子選択部としての切り換えスイッチ
２２と、検査部としての測定器２３とを備えている。
【００１２】アレー型コンデンサＣ１は、四個のコンデ
ンサ素子Ｃ１１〜Ｃ１４と、コンデンサ素子Ｃ１１〜Ｃ
１４に個別に設けられた四個の個別端子１０１〜１０４
と、コンデンサ素子Ｃ１１〜Ｃ１４に共通に設けられた
一個の共通端子１００とを有する。アレー型コンデンサ
Ｃ２も、同様にコンデンサ素子Ｃ２１〜Ｃ２４と、個別
端子２０１〜２０４と、共通端子２００とを有する。ア
レー型コンデンサＣ３も、同様にコンデンサ素子Ｃ３１
〜Ｃ３４と、個別端子３０１〜３０４と、共通端子３０
０とを有する。アレー型コンデンサＣ４も、同様にコン
デンサ素子Ｃ４１〜Ｃ４４と、個別端子４０１〜４０４
と、共通端子４００とを有する。アレー型コンデンサＣ
１〜Ｃ４は、例えばＳＩＰ又はＤＩＰ等にパッケージ化
されており、図示しないソケット又はコネクタ等を介し
て、切り換えスイッチ２１，２２に対して簡単に接続で
きるようになっている。
ンサ素子Ｃ１１〜Ｃ１４と、コンデンサ素子Ｃ１１〜Ｃ
１４に個別に設けられた四個の個別端子１０１〜１０４
と、コンデンサ素子Ｃ１１〜Ｃ１４に共通に設けられた
一個の共通端子１００とを有する。アレー型コンデンサ
Ｃ２も、同様にコンデンサ素子Ｃ２１〜Ｃ２４と、個別
端子２０１〜２０４と、共通端子２００とを有する。ア
レー型コンデンサＣ３も、同様にコンデンサ素子Ｃ３１
〜Ｃ３４と、個別端子３０１〜３０４と、共通端子３０
０とを有する。アレー型コンデンサＣ４も、同様にコン
デンサ素子Ｃ４１〜Ｃ４４と、個別端子４０１〜４０４
と、共通端子４００とを有する。アレー型コンデンサＣ
１〜Ｃ４は、例えばＳＩＰ又はＤＩＰ等にパッケージ化
されており、図示しないソケット又はコネクタ等を介し
て、切り換えスイッチ２１，２２に対して簡単に接続で
きるようになっている。
【００１３】測定器２３は、検査端子５１と検査端子５
２との間に電気的に接続されたコンデンサ素子Ｃ１１，
…について、絶縁抵抗を測定する。切り換えスイッチ２
１は、共通端子１００，２００，３００，４００にそれ
ぞれ接続された切り換え接点５０１，５０２，５０３，
５０４のうちの一つを選択して、それを検査端子５５１
に電気的に接続する。切り換えスイッチ２２は、（個別
端子１０１，２０１，３０１，４０１），（個別端子１
０２，２０２，３０２，４０２），（個別端子１０３，
２０３，３０３，４０３），（個別端子１０４，２０
４，３０４，４０４）にそれぞれ接続された切り換え接
点５１１，５１２，５１３，５１４のうちの一つを選択
して、それを検査端子５５２に電気的に接続する。
２との間に電気的に接続されたコンデンサ素子Ｃ１１，
…について、絶縁抵抗を測定する。切り換えスイッチ２
１は、共通端子１００，２００，３００，４００にそれ
ぞれ接続された切り換え接点５０１，５０２，５０３，
５０４のうちの一つを選択して、それを検査端子５５１
に電気的に接続する。切り換えスイッチ２２は、（個別
端子１０１，２０１，３０１，４０１），（個別端子１
０２，２０２，３０２，４０２），（個別端子１０３，
２０３，３０３，４０３），（個別端子１０４，２０
４，３０４，４０４）にそれぞれ接続された切り換え接
点５１１，５１２，５１３，５１４のうちの一つを選択
して、それを検査端子５５２に電気的に接続する。
【００１４】切り換えスイッチ２１，２２を順次操作す
ることにより、コンデンサ素子Ｃ１１，…が一つずつ順
次選択されるので、四個のアレー型コンデンサＣ１〜Ｃ
４の絶縁抵抗を連続的に測定できる。この場合、従来技
術では２０個の切り換え接点が必要であったのに対し
て、本実施形態では８個の切り換え接点でよい。したが
って、本実施形態の検査装置によれば、構成を大幅に簡
略化できるので、小型化、軽量化、低価格化等を達成で
きる。
ることにより、コンデンサ素子Ｃ１１，…が一つずつ順
次選択されるので、四個のアレー型コンデンサＣ１〜Ｃ
４の絶縁抵抗を連続的に測定できる。この場合、従来技
術では２０個の切り換え接点が必要であったのに対し
て、本実施形態では８個の切り換え接点でよい。したが
って、本実施形態の検査装置によれば、構成を大幅に簡
略化できるので、小型化、軽量化、低価格化等を達成で
きる。
【００１５】本実施形態の検査装置について、要約して
もう一度説明する。複数のコンデンサ素子Ｃ１１〜Ｃ１
４を並列に配置したアレー型コンデンサＣ１を複数配置
し、マトリクス状に並んだ各コンデンサ素子Ｃ１１，…
の検査を順次行なう。各コンデンサ素子Ｃ１１，…は、
切り換えスイッチ２１，２２の操作によって、ただ一つ
が測定器２３に接続される。切り換えスイッチ２１，２
２を順次切り換えることにより、各コンデンサ素子Ｃ１
１，…の全てを検査することができる。
もう一度説明する。複数のコンデンサ素子Ｃ１１〜Ｃ１
４を並列に配置したアレー型コンデンサＣ１を複数配置
し、マトリクス状に並んだ各コンデンサ素子Ｃ１１，…
の検査を順次行なう。各コンデンサ素子Ｃ１１，…は、
切り換えスイッチ２１，２２の操作によって、ただ一つ
が測定器２３に接続される。切り換えスイッチ２１，２
２を順次切り換えることにより、各コンデンサ素子Ｃ１
１，…の全てを検査することができる。
【００１６】なお、本発明は、言うまでもないが、上記
実施形態に限定されるものではなく、例えば次のように
してもよい。コンデンサ素子は、複数であれば、２個で
も、３個でも、５個以上でもよい。アレー型コンデンサ
は、複数であれば、２個でも、３個でも、５個以上でも
よい。切り換えスイッチは、手動式の４接点スイッチを
例に挙げたが、リレーやアナログスイッチを用いてもよ
い。また、リレー、アナログスイッチ等を図示しないパ
ーソナルコンピュータ等を用いて自動制御することによ
り、自動的に接点を切り換えるようにすると、測定速度
を向上できる。
実施形態に限定されるものではなく、例えば次のように
してもよい。コンデンサ素子は、複数であれば、２個で
も、３個でも、５個以上でもよい。アレー型コンデンサ
は、複数であれば、２個でも、３個でも、５個以上でも
よい。切り換えスイッチは、手動式の４接点スイッチを
例に挙げたが、リレーやアナログスイッチを用いてもよ
い。また、リレー、アナログスイッチ等を図示しないパ
ーソナルコンピュータ等を用いて自動制御することによ
り、自動的に接点を切り換えるようにすると、測定速度
を向上できる。
【００１７】図２は、本発明に係る検査装置の第二実施
形態を説明するための回路図である。以下、この図面に
基づき説明する。ただし、図１と同じ部分は同じ符号を
付すことにより説明を省略する。
形態を説明するための回路図である。以下、この図面に
基づき説明する。ただし、図１と同じ部分は同じ符号を
付すことにより説明を省略する。
【００１８】本実施形態では、アレー型コンデンサＣ１
〜Ｃ４に対して静電容量を測定する。切り換えスイッチ
２１，２２で、例えばコンデンサ素子Ｃ１１を選択する
と、測定電流の一部は図中Ｉ２に示すように、Ｃ１２→
Ｃ２１→Ｃ２２と流れている。つまり、本来測定したい
コンデンサ素子Ｃ１１の静電容量のみでなく、コンデン
サ素子Ｃ１２，Ｃ２１，Ｃ２２の直列接続（実際には、
もっと複雑である。）の静電容量が並列接続されている
こととなる。このように、コンデンサ素子Ｃ１１，…が
マトリクスをなしていることにより、誤差が発生する。
〜Ｃ４に対して静電容量を測定する。切り換えスイッチ
２１，２２で、例えばコンデンサ素子Ｃ１１を選択する
と、測定電流の一部は図中Ｉ２に示すように、Ｃ１２→
Ｃ２１→Ｃ２２と流れている。つまり、本来測定したい
コンデンサ素子Ｃ１１の静電容量のみでなく、コンデン
サ素子Ｃ１２，Ｃ２１，Ｃ２２の直列接続（実際には、
もっと複雑である。）の静電容量が並列接続されている
こととなる。このように、コンデンサ素子Ｃ１１，…が
マトリクスをなしていることにより、誤差が発生する。
【００１９】そこで、図示しないパーソナルコンピュー
タでスイッチ切り換えを自動で行なうと同時に、測定デ
ータを連続的にパーソナルコンピュータに取得し、全コ
ンデンサ素子の測定を終えた後に、測定結果マトリクス
より個々のコンデンサ素子の静電容量を数値的に計算す
ることにより、実際の静電容量を得ることができる。
タでスイッチ切り換えを自動で行なうと同時に、測定デ
ータを連続的にパーソナルコンピュータに取得し、全コ
ンデンサ素子の測定を終えた後に、測定結果マトリクス
より個々のコンデンサ素子の静電容量を数値的に計算す
ることにより、実際の静電容量を得ることができる。
【００２０】図３及び図４は、本発明に係る検査装置の
第三実施形態を説明するための斜視図である。以下、こ
の図面に基づき説明する。
第三実施形態を説明するための斜視図である。以下、こ
の図面に基づき説明する。
【００２１】本実施形態では、アレー型電子部品として
積層型圧電素子を用いる。図５に示すように、積層型圧
電素子1は、例えば、圧電性を持ったグリーンシート２
に導電性電極３（ハッチングで示す）を印刷したものを
互い違いに積層し、高温で焼結することによって作成さ
れる。そして、端面１０（ハッチングで示す）及び端面
１０に平行な端面１１に外部電極をスパッタ、印刷等に
より形成し、端面１０，１１間に直流電源２０により電
界を印加すると、積層型圧電素子1は矢印１２の方向に
伸縮する。
積層型圧電素子を用いる。図５に示すように、積層型圧
電素子1は、例えば、圧電性を持ったグリーンシート２
に導電性電極３（ハッチングで示す）を印刷したものを
互い違いに積層し、高温で焼結することによって作成さ
れる。そして、端面１０（ハッチングで示す）及び端面
１０に平行な端面１１に外部電極をスパッタ、印刷等に
より形成し、端面１０，１１間に直流電源２０により電
界を印加すると、積層型圧電素子1は矢印１２の方向に
伸縮する。
【００２２】ここで、図６に示すように、積層型圧電素
子１にダイシング等で溝１ａを形成することにより、微
細なアクチュエータを多数形成する方法が知られてい
る。
子１にダイシング等で溝１ａを形成することにより、微
細なアクチュエータを多数形成する方法が知られてい
る。
【００２３】例えば、溝を一本形成することにより、一
個のアクチュエータを二個のアクチュエータとすること
ができるし、三本の溝を形成すると、溝又は両側面に挟
まれた四本の柱状の部分を別々の四個のアクチュエータ
として動作させることができる。このような並列の四個
のアクチュエータは、等価回路で表すと、四個のコンデ
ンサ素子で表され、図５のアレー型コンデンサと同じに
示される。また、溝切りがなされた圧電体をさらに複数
配置することによって、平面配置アクチュエータとする
こともできる。ここから明らかなように、このようなマ
トリクス状の圧電素子も、第一及び第二実施形態と同じ
ように検査することが可能である。
個のアクチュエータを二個のアクチュエータとすること
ができるし、三本の溝を形成すると、溝又は両側面に挟
まれた四本の柱状の部分を別々の四個のアクチュエータ
として動作させることができる。このような並列の四個
のアクチュエータは、等価回路で表すと、四個のコンデ
ンサ素子で表され、図５のアレー型コンデンサと同じに
示される。また、溝切りがなされた圧電体をさらに複数
配置することによって、平面配置アクチュエータとする
こともできる。ここから明らかなように、このようなマ
トリクス状の圧電素子も、第一及び第二実施形態と同じ
ように検査することが可能である。
【００２４】なお、本発明は、言うまでもないが、上記
第一乃至第三実施形態に限定されるものではなく、例え
ば次のようにしてもよい。検査する項目は、絶縁抵抗の
他に、静電容量、誘電正接、インピーダンス等のいずれ
を用いてもよい。また、測定器の電圧計又は電流計は、
アナログ式計測器に限らず、ＯＰアンプなどで増幅した
後、Ａ／Ｄ変換し、デジタル信号で計測するものでもよ
い。上記実施形態では、共通端子１個及び個別端子４個
からなる４接点スイッチを２つ用いて２端子法により測
定した。しかし、２連４接点スイッチを２つ用いて、４
端子法により測定すると、測定精度はより向上する。ま
た、各配線にシールド線を用いた、３端子法、５端子法
による測定も有効である。
第一乃至第三実施形態に限定されるものではなく、例え
ば次のようにしてもよい。検査する項目は、絶縁抵抗の
他に、静電容量、誘電正接、インピーダンス等のいずれ
を用いてもよい。また、測定器の電圧計又は電流計は、
アナログ式計測器に限らず、ＯＰアンプなどで増幅した
後、Ａ／Ｄ変換し、デジタル信号で計測するものでもよ
い。上記実施形態では、共通端子１個及び個別端子４個
からなる４接点スイッチを２つ用いて２端子法により測
定した。しかし、２連４接点スイッチを２つ用いて、４
端子法により測定すると、測定精度はより向上する。ま
た、各配線にシールド線を用いた、３端子法、５端子法
による測定も有効である。
【００２５】
【発明の効果】本発明に係る検査装置によれば、複数の
アレー型電子部品について複数の共通端子のうちの一つ
を選択するとともに、複数のアレー型電子部品のそれぞ
れについて同じ位置の個別端子を全て選択することによ
り、全ての電子素子について一個ずつ検査することがで
きる。このとき、従来に比べて、切り換え接点を大幅に
削減できるので、構成を簡略化できる。したがって、小
型化、軽量化、低価格化等を達成できる。換言すると、
本発明によれば、複雑な構造のアレー型コンデンサやア
レー型圧電素子でも、簡便な治具を用いて、連続的に良
否判定を行なうことができる。
アレー型電子部品について複数の共通端子のうちの一つ
を選択するとともに、複数のアレー型電子部品のそれぞ
れについて同じ位置の個別端子を全て選択することによ
り、全ての電子素子について一個ずつ検査することがで
きる。このとき、従来に比べて、切り換え接点を大幅に
削減できるので、構成を簡略化できる。したがって、小
型化、軽量化、低価格化等を達成できる。換言すると、
本発明によれば、複雑な構造のアレー型コンデンサやア
レー型圧電素子でも、簡便な治具を用いて、連続的に良
否判定を行なうことができる。
【図１】本発明に係る検査装置の第一実施形態を示す回
路図である。
路図である。
【図２】本発明に係る検査装置の第二実施形態を説明す
るための回路図である。
るための回路図である。
【図３】本発明に係る検査装置の第三実施形態を説明す
るための斜視図である。
るための斜視図である。
【図４】本発明に係る検査装置の第三実施形態を説明す
るための斜視図である。
るための斜視図である。
【図５】４つのコンデンサ素子からなるアレー型コンデ
ンサを示す回路図である。
ンサを示す回路図である。
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４ アレー型コンデンサ（アレー
型電子部品） Ｃ１１，…，Ｃ１４，Ｃ２１，…，Ｃ２４，Ｃ３１，
…，Ｃ３４，Ｃ４１，…，Ｃ４４ コンデンサ素子（電
子素子） ２１ 切り換えスイッチ（共通端子選択部） ２２ 切り換えスイッチ（個別端子選択部） ２３ 測定器（検査部） １００，２００，３００，４００ 共通端子 １０１，…，１０４，２０１，…，２０４，３０１，
…，３０４，４０１，…，４０４ 個別端子
型電子部品） Ｃ１１，…，Ｃ１４，Ｃ２１，…，Ｃ２４，Ｃ３１，
…，Ｃ３４，Ｃ４１，…，Ｃ４４ コンデンサ素子（電
子素子） ２１ 切り換えスイッチ（共通端子選択部） ２２ 切り換えスイッチ（個別端子選択部） ２３ 測定器（検査部） １００，２００，３００，４００ 共通端子 １０１，…，１０４，２０１，…，２０４，３０１，
…，３０４，４０１，…，４０４ 個別端子
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(56)参考文献 特開 平２−184769（ＪＰ，Ａ)
特開 平11−287831（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−113552（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−334537（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−142915（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−145464（ＪＰ，Ａ)
特開 昭57−207870（ＪＰ，Ａ)
特開 昭49−115374（ＪＰ，Ａ)
特開 平11−23636（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−186712（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01R 31/00
G01R 27/02
G01R 27/26
G01R 29/22
Claims (7)
- 【請求項１】 複数の電子素子と、それぞれの前記電子
素子に個別に設けられた複数の個別端子と、全ての前記
電子素子に共通に設けられた一つの共通端子とを有する
アレー型電子部品について、それぞれの前記電子素子を
電気的に検査するアレー型電子部品の検査装置におい
て、 一方の検査端子と他方の検査端子との間に電気的に接続
された電子素子を電気的に検査する検査部と、 複数のアレー型電子部品について複数の共通端子のうち
の一つを選択して前記一方の検査端子に電気的に接続す
る共通端子選択部と、 前記複数のアレー型電子部品のそれぞれについて同じ位
置の個別端子を全て選択して前記他方の検査端子に電気
的に接続する個別端子選択部と、 を備えたことを特徴とするアレー型電子部品の検査装
置。 - 【請求項２】 前記検査部は、前記電子素子に直流電圧
を印加し、その漏れ電流から絶縁抵抗を測定する、 請求項１記載のアレー型電子部品の検査装置。 - 【請求項３】 前記検査部は、前記電子素子に交流電圧
を印加し、当該電子素子の電圧又は電流を測定すること
により、当該電子素子の静電容量を測定する、 請求項１記載のアレー型電子部品の検査装置。 - 【請求項４】 前記検査部は、前記電子素子に交流電圧
を周波数を変化させながら印加し、当該電子素子の電圧
又は電流を測定することにより、当該電子素子のインピ
ーダンスを測定する、 請求項１記載のアレー型電子部品の検査装置。 - 【請求項５】 前記検査部は、測定を行なう前に、前記
電子素子の個別端子と共通端子とを短絡させる、 請求項１，２，３又は４記載のアレー型電子部品の検査
装置。 - 【請求項６】 前記電子素子がコンデンサ素子である、 請求項１，２，３，４又は５記載のアレー型電子部品の
検査装置。 - 【請求項７】 前記電子素子が圧電素子である、 請求項１，２，３，４又は５記載のアレー型電子部品の
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000129577A JP3478238B2 (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | アレー型電子部品の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000129577A JP3478238B2 (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | アレー型電子部品の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001311757A JP2001311757A (ja) | 2001-11-09 |
| JP3478238B2 true JP3478238B2 (ja) | 2003-12-15 |
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ID=18638830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000129577A Expired - Fee Related JP3478238B2 (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | アレー型電子部品の検査装置 |
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| JP (1) | JP3478238B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2009139173A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-25 | Tokyo Electron Ltd | 微小構造体の容量変化測定装置および容量変化測定方法 |
| WO2019153343A1 (zh) * | 2018-02-12 | 2019-08-15 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 | 矩阵电容板及芯片测试方法 |
| CN115572675A (zh) * | 2022-11-15 | 2023-01-06 | 鲲鹏基因（北京）科技有限责任公司 | 一种用于pcr仪的矩阵式温控辅助加热装置及pcr仪 |
-
2000
- 2000-04-28 JP JP2000129577A patent/JP3478238B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JP2001311757A (ja) | 2001-11-09 |
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