JP3469525B2 - クッション機構付空気圧ロータリアクチュエータ - Google Patents
クッション機構付空気圧ロータリアクチュエータInfo
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Description
とによって回転力を発生するアクチュエータを緩衝的に
停止させるクッション機構付ラックピニオン型ロータリ
アクチュエータに関する。
ラックピニオン型空気圧ロータリアクチュエータは、シ
リンダチューブ内のピストンがストローク端で停止する
ときの慣性エネルギーによる衝撃を吸収するために、ダ
ンパー等を備えたクッション機構付空気圧シリンダが用
いられ、シリンダチューブ内にはラックを設けたピスト
ンが摺動自在に挿入され、このラックにピニオンが噛み
合わされ、ピストンによって区画形成される圧力室に選
択的に空気圧を加えることによってラックを往復駆動
し、ピニオンおよびこれに固定された主軸を往復回転さ
せるものである。
機構としては、シリンダチューブ内を摺動するピストン
の動作時に、排気側の圧力室内にクッション用エアーを
一時的に封じ込めて昇圧させ、この排気圧でピストンを
減速させてストローク端に緩衝的に停止させるものが知
られている。その構成は、ピストン側に設けたクッショ
ンリングを、ストローク端の手前でシリンダチューブ内
のクッションパッキンに嵌入させることよってエアの排
出通路を塞ぎ、この封じ込めたエアを絞り弁に導き、そ
の絞り調節量に応じて、ピストン背圧がピストンの持つ
運動エネルギーを空気の圧縮エネルギーに変換して減速
力を発揮するものである。
ピストン背圧を利用したクッション機構では、その構造
上、ピストンの少なくとも一側に所要の長さのクッショ
ンリングを設けると共に、シリンダチューブにクッショ
ンリングが嵌入する長い空室を設ける必要があるため、
必然的にシリンダの軸線方向の長さが長くなるという問
題点が指摘されている。そのため、このクッション機構
を、ラックピニオン型の空気圧ロータリアクチュエータ
におけるストローク端での緩衝的な停止に用いると、構
造上回転主軸と直交する方向に長くなりがちな空気圧ロ
ータリアクチュエータを、上記ピストンの軸線方向に一
層長くすることになる。
されたものであって、その目的とするところは、ピスト
ンおよびクッション機構の存在により、その構造上回転
主軸と直交する方向に長くなりがちなラックピニオン型
のクッション機構付空気圧ロータリアクチュエータを、
上記ピストンの方向にできるだけ短く形成可能なものと
して提供することにある。 本発明の他の目的は、長いク
ッションリング及びそれが嵌入する長い空室をなくし、
実質的にピストンパッキンがクッションパッキンを兼ね
る構造とすることにより、小型で、しかも構造が簡単で
安価なクッション機構付空気圧ロータリアクチュエータ
を提供することにある。本発明の他の目的は、シリンダ
チューブ側に排気流量を制限するための手段を設けると
共に、ピストン側にピストンパッキンとクッションパッ
キンとを兼ねる複数のパッキンを設けただけの、簡単か
つ合理的な設計構造を備えたクッション機構付空気圧ロ
ータリアクチュエータを提供することにある。本発明の
上記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の
記述および添付図面から明らかになるであろう。
本発明は、シリンダチューブと、上記シリンダチューブ
内を摺動するピストンと、上記ピストンで隔てられた2
つの圧力室に圧縮空気を給排するための2つのポート
と、上記ピストンに結合され往復駆動するラックと、上
記ラックに噛合され上記ラックの往復駆動によって往復
回転するピニオンと、上記シリンダチューブにおける少
なくとも一端でピストン背圧によりピストンを緩衝的に
停止させるクッション機構とを具備し、上記ピニオンの
回転出力を主軸を通じて取り出すようにしたクッション
機構付空気圧ロータリアクチュエータにおいて、上記シ
リンダチューブのチューブ壁に、上記圧力室に開口を通
じて連通する上記2つのポートを設けるとともに、少な
くとも一方の上記ポートと対応する位置に、上記ポート
よりも上記シリンダチューブ端寄りに位置させて、上記
チューブ壁外面に設けた凹部によって形成される弁室を
設けて、該弁室に上記圧力室に通じる排気口を設けると
ともに、該弁室と上記ポートとを流路を介して連通さ
せ、上記弁室内に、上記排気口とポートとの間の流量を
制限する絞り機構と、上記排気口から上記ポート側に向
かう排気の流れは規制して逆向きの圧縮空気の流れは許
容する逆止弁とから構成される速度調整手段を組み込
み、上記ピストンの外周面には上記シリンダチューブの
内周面に摺接して2つの上記圧力室を区画する複数のピ
ストンパッキンを設け、少なくとも一部の上記ピストン
パッキンに、上記ピストンがストローク端に到達する直
前に排気側の上記ポートを乗り越えて上記圧力室内の圧
縮空気を上記排気口のみから排出させるように動作する
クッションパッキンとしての機能を兼備させたことを特
徴とするものである。
ロータリアクチュエータにおいて、2つのポートを通じ
て圧縮空気を交互に供給及び排出することにより、ピス
トンは正逆に駆動され、ストローク端でのクッション機
構による減速停止は次のようにして行われる。即ち、ピ
ストンの摺動時に、排気側の圧力室内の圧縮空気は初め
はポートを通じて排出されているが、ピストンがストロ
ーク端に近づいて、クッションパッキンを兼ねるピスト
ンパッキンが排気側のポートを乗り越えると、ポートと
圧力室とが遮断され、圧力室内の圧縮空気は排気口のみ
から速度調整手段を通じて制限的に排出されるようにな
る。このため、速度調整手段による流量制御によって圧
力室内の圧力が上昇し、それがピストン背圧となってピ
ストンを減速させながら、ストローク終端に到達させ
る。
チュエータは、長いクッションリング及びそれが嵌入す
る長い空室を設ける必要がないので、シリンダの軸線方
向の長さをそれだけ短くすることができ、延いては空気
圧シリンダを小型化することができるものである。しか
も、シリンダチューブ側に排気流量を制限するための速
度調整手段を設けると共に、ピストン側に実質的にピス
トンパッキンとクッションパッキンとを兼ねる複数のパ
ッキンを設けた構造としたことにより、クッション機構
付空気圧ロータリアクチュエータを部品数が少ない簡単
かつ合理的な設計構造とすることができ、それによりこ
のアクチュエータを安価に製造することができる。
ピストンを正逆両ストローク端で減速的に停止させるた
めに、上記弁室と、上記排気口と、上記速度調整手段
と、クッションパッキンの機能を兼備する上記ピストン
パッキンとが、2つの上記ポートに対応してシリンダチ
ューブの両端に設けられる。
るシリンダチューブと、上記両シリンダ孔内を摺動する
ピストンと、上記両ピストンで隔てられた圧力室に圧縮
空気を給排するための2つのポートと、上記両ピストン
に結合され往復駆動する一対のラックと、上記両ラック
に噛合され上記両ラックの往復駆動によって往復回転す
るピニオンと、上記シリンダチューブにおける両シリン
ダ孔の一端でピストン背圧により両ピストンを緩衝的に
停止させるクッション機構とを具備し、上記ピニオンの
回転出力を主軸を通じて取り出すようにしたクッション
機構付空気圧ロータリアクチュエータにおいて、上記2
つのポートを上記両シリンダ孔の一端側の孔壁における
開口を通じて上記圧力室へ連通させるとともに、上記シ
リンダチューブの一端側のサイドブロックに、該サイド
ブロック外面に設けた凹部によって形成される弁室を設
けて、該弁室に上記圧力室に通じる排気口を設けるとと
もに、該弁室と上記ポートとを流路を介して連通させ、
上記弁室内に、上記排気口とポートとの間の流量を制限
する絞り機構と、上記排気口から上記ポート側に向かう
排気の流れは規制して逆向きの圧縮空気の流れは許容す
る逆止弁とから構成される速度調整手段を組み込み、上
記両ピストンの外周面には上記シリンダチュ ーブの各シ
リンダ孔内周面に摺接して上記圧力室を区画するピスト
ンパッキンを設け、該ピストンパッキンに、上記ピスト
ンがストローク端に到達する直前に上記ポートを乗り越
えて上記圧力室内の圧縮空気を上記排気口のみから排出
させるように動作するクッションパッキンとしての機能
を兼備させたことを特徴とするものである。
ロータリアクチュエータは、前記ロータリアクチュエー
タをダブルラックピニオン型として構成したもので、こ
のアクチュエータにおいては、シリンダチューブにおけ
る2つのシリンダ孔内を摺動するピストンにより一対の
ラックが往復駆動され、それにより両ラックに噛合され
たピニオンが往復回転し、その際、両シリンダ孔の一端
でピストン背圧により両ピストンが緩衝的に停止する。
ば、上記速度調整手段が、絞り機構を有する弁部材を、
上記逆止弁を形成するリップシールを周囲に介在させて
上記弁室内に収容することにより、該弁室内に組み込ま
れる。
に基づいて詳細に説明する。実施の形態を説明するに当
たって、同一機能を奏するものは同じ符号を付して説明
する。図1、2は、シングルラックピニオン型クッショ
ン機構付空気圧ロータリアクチュエータの部分横断面図
および縦断面図、図3は、ダブルラックピニオン型クッ
ション機構付空気圧ロータリアクチュエータの部分横断
面図、図4、5は、クッション機構におけるピストンの
駆動開始前およびクッション行程の詳細を示す半断面
図、図6,7は、他のクッション機構におけるピストン
の駆動開始前の状態を示す半断面図である。
クッション機構付空気圧ロータリアクチュエータは、ク
ッション機構付空気圧シリンダを有するものであり、両
端がサイドブロック71,72でそれぞれ閉塞されたシ
リンダチューブ60と、このシリンダチューブ60内を
往復摺動するピストン61aを両側に結合したラック6
1と、ピストン61aによって区画形成された2つの圧
力室73,74に圧縮空気を給排するための2つのポー
ト63,64と、ラック61に噛合されラック61の往
復駆動によって往復回転するピニオン84と、ピニオン
84に固定され軸受85によって回転可能に支持された
主軸83とを備え、圧力室73,74に選択的に空気圧
を加えることによってピストン61aと共にラック61
を往復駆動し、ピニオン84およびこれに固定された主
軸83を往復回転させるものである。
0のチューブ壁におけるサイドブロック72(71)に
近い位置に設けられ、ポート63(64)は圧力室73
(74)に開口67(68)を通じて連通しており、ポ
ート63(64)から開口67(68)を通して圧力室
73(74)に圧縮空気を給排することにより、シリン
ダチューブ60内においてピストン61aおよびラック
61が往復駆動される。
ン61aのストローク終端側に寄った実質的にシリンダ
チューブ60の両端部の位置には、圧力室73(74)
からクッション用エアを排出するための排気口80(7
9)が開設され、これらの排気口80(79)とポート
63(64)との間に排気の流量を制限することによっ
てピストン61aを減速的に停止させるための速度調整
手段65(66)が接続されている。この速度調整手段
は、後述するように、ニードル弁からなる絞り機構によ
って構成されたものである。
(79)と対応する位置には、排気口80(79)に通
じると共に、ポート63(64)に流路69(70)を
介して通じる弁室82がチューブ壁外面に設けた凹部に
よって形成され、この弁室82と排気口80(79)と
の間にはピストン61aのストローク終端側のクッショ
ン行程において圧力室73(74)からポート63(6
4)側への圧縮空気の流出を抑止し、ピストン61aの
駆動開始時においてポート63(64)から圧力室73
(74)への圧縮空気の流入のみを許容する逆止弁81
(85)が介在されている。
ダチューブ60の内周面に摺接して圧力室73(74)
を区画すると共に、排気流路の切換機能、すなわち、ピ
ストン61aがストローク端に到達する直前に排気側の
ポート63(64)を乗り越えることによって圧力室7
3(74)内の圧縮空気を排気口80(79)のみから
排出させるように動作するクッションパッキンとしての
機能を有するピストンパッキン75(76)が装着され
ている。
ポート63(64)及び排気口80(79)に対して次
のような位置関係を有している。すなわち、ピストン6
1aがサイドブロック72(71)側に摺動してそれぞ
れのストローク終端に達したとき、移動方向前方側のピ
ストンパッキン75(76)が、排気側のポート63
(64)の開口67(68)は乗り越えるが排気口80
(79)は越えない位置に停止し、移動方向後方側のピ
ストンパッキン76(75)が、給気側のポート64
(63)の開口68(67)を越えた位置で停止するよ
うな位置関係に設けられている。図中、77、78はピ
ストンパッキン75,76が開口67,68を越えた後
にシール機能を発揮する第2のピストンパッキンであ
る。
ロータリアクチュエータの空気圧シリンダの動作につい
て詳細に説明する。ピストン61aが一方のストローク
端にある図示の状態でポート63に圧縮空気を供給する
と、この圧縮空気が流路69から弁室82内に流入し、
逆止弁81を押し開いて排気口80から圧力室73に流
入するため、ピストン61aが図1の右側へ向けて移動
を開始する。
のピストンパッキン75がポート63の開口67を越え
ると、圧縮空気は主として開口67を通じて圧力室73
に直接的に供給されるようになり、ピストン61aの移
動はそのまま継続される。その移動に伴って、圧力室7
4内の圧縮空気は、主として開口68からポート64を
通じて直接的に排出される。
ク端に近づいて、移動方向前方側のピストンパッキン7
6が開口68(従ってポート64)を通り越すと、排気
側の圧力室74とポート64とが遮断され、圧力室74
内の圧縮空気は、排気口79から速度調整手段66を経
由して排出されることになる。換言すれば、このピスト
ンパッキン76がクッションパッキンとして機能し、排
気の経路を、開口68及びポート64を通じて直接排出
する状態から、排気口79及び速度調整手段66を経由
して制限的に排出する状態に切換える。このため、速度
調整手段66による流量制御によって圧力室74内の圧
力が上昇し、それがピストン背圧となってピストン61
aを減速させながらストローク終端に到達させる。この
とき、移動方向前方側のピストンパッキン76は排気口
79の手前で停止し、後方側のピストンパッキン75は
ポート63の開口67を越えて停止する。
トローク端に向けてストロークさせる場合は、ポート6
4に圧縮空気を供給する。そして、この場合は、ピスト
ン61aがストローク端に近づいた時、ピストン61a
の移動方向前方側にあるピストンパッキン75がクッシ
ョンパッキンとして機能し、圧力室73からの圧縮空気
の排出経路を、ポート63を通じて直接排出される状態
から、排気口80及び速度調整手段65を経由して制限
的に排出される状態に切換えるため、ピストン61aは
ストローク端に減速しながら緩衝的に停止することにな
る。
エータは、従来品のようにピストンに長いクッションリ
ングを設けたり、シリンダ内にそれが嵌入する長い空室
を設ける必要がないので、シリンダチューブ61aの軸
線方向の長さをそれだけ短くすることができ、延いては
空気圧ロータリアクチュエータを小型化することができ
るものである。しかも、実質的にピストンパッキン7
5,76がクッションパッキンを兼ねる構造としている
ので、部品数を少なくして構造を簡単化することがで
き、それにより安価に製造することができる。
タリアクチュエータの例を示すもので、両側にピストン
61aが結合された1対のラック61間にピニオン84
が噛合された、いわゆるダブルラックピニオン型クッシ
ョン機構付空気圧ロータリアクチュエータであり、開口
67,68、排気口79,80、速度調整手段65,6
6及びピストンパッキン75,76がシリンダチューブ
60およびピストン61aの一端側のサイドブロックに
それぞれ設けられている点で図1に示すシングルラック
ピニオン型クッション機構付空気圧ロータリアクチュエ
ータと相違している。上記以外の構成及び作用は実質的
に図1に示すものと同じであるから、同一または相当部
分に同一の符号を付してその説明を省略する。
ン機構付空気圧ロータリアクチュエータに適用可能なク
ッション機構の例を具体的に示すものであり、これにつ
いて以下に説明する。すなわち、図4、5に示す空気圧
シリンダ1Aは、両端がそれぞれエンドカバー6,8で
閉塞されたシリンダチューブ4と、シリンダチューブ4
内を気密に往復摺動するピストン10とを有している。
このピストン10には、図示していないが前記ラックが
設けられる。
近い位置には、圧縮空気を給排するための2つのポート
12,14が設けられている。これらのポート12,1
4は、ピストン10の両側に区画された一対の圧力室2
0,22にそれぞれ開口16,18を通じて連通してお
り、これらのポート12,14から開口を通して上記圧
力室20,22に圧縮空気を給排することにより、シリ
ンダチューブ4内においてピストン10が往復駆動され
る。
のストローク終端側に寄った実質的にシリンダチューブ
4の両端部の位置には、各圧力室20,22からクッシ
ョン用エアを排出するための排気口24,26が開設さ
れ、これらの排気口24,26とポート12,14との
間にそれぞれ、排気の流量を制限することによってピス
トンを減速的に停止させるための速度調整手段28,3
0が接続されている。
32(34)と流量制限用の絞り機構36(38)とを
並列配置することにより構成したもので、シリンダチュ
ーブ4に形成した弁室31内に収容されている。すなわ
ち、シリンダチューブ4における排気口24(26)と
対応する位置には、排気口24(26)とポート12
(14)の両方に通じる弁室31が形成され、弁室31
内に円柱状の弁部材33が収容されていて、弁部材33
に絞り機構36(38)が設けられると共に、弁部材3
3の外周面と弁室31の内周面との間に、逆止弁32
(34)を形成するリップシールが介在されている。図
中、35(37)は、弁室31とポート12(14)と
を結ぶバイパス流路である。
6)とポート12(14)とをバイパス流路35(3
7)を通じて結ぶ通孔45と、この通孔45の開口面積
を調整するニードル47とからなるもので、可変絞り弁
として構成されたものである。一方、逆止弁32(3
4)は、ピストン10のストローク終端側のクッション
行程において、圧力室20(22)からポート12(1
4)側への圧縮空気の流出を抑止し、ピストン10の駆
動開始時にポート12(14)から圧力室20(22)
への圧縮空気の流入のみを許容するように設けられてい
る。
ーブ4の内周面に摺接して2つの圧力室20,22を区
画する2つのピストンパッキン40,42が設けられて
いる。これらのピストンパッキン40,42は、圧力室
20,22を区画する機能だけでなく、排気流路の切換
機能、すなわち、ピストン10がストローク端に到達す
る直前に排気側のポートを乗り越えることによって圧力
室20,22内の圧縮空気を排気口24,26のみから
排出させるように動作するクッションパッキンとしての
機能も兼備するもので、各ポート12,14及び排気口
24,26に対して次のような位置関係を有している。
ーク終端に達したとき、移動方向前方側のピストンパッ
キン40が、排気側のポート12又は14の開口16又
は18は乗り越えるが排気口24又は26は越えない位
置に停止し、移動方向後方側のピストンパッキン42
が、排気側のポート12又は14の開口16又は18を
越えないでその手前に停止するような位置関係に設けら
れている。なお、図中、41はウエアリングを示してい
る。
作について詳細に説明する。図4において、ピストン1
0がストローク端にある図示の状態で一方のポート12
に圧縮空気を供給すると、この圧縮空気がバイパス流路
35から弁室31内に流入し、逆止弁32を押し開いて
排気口24から圧力室20に流入するため、ピストン1
0が移動を開始する。そして、ピストン10の移動方向
後方側のピストンパッキン40がポート12の開口16
を越えると、圧縮空気は主として開口16を通じて圧力
室20に直接的に供給されるようになり、ピストン10
の移動はそのまま継続される。その移動に伴って、圧力
室22内の圧縮空気は、主として開口18からポート1
4を通じて直接的に排出される。
がストローク端に近づいて、移動方向前方側のピストン
パッキン42が開口18を通り越すと、排気側の圧力室
22とポート14とが遮断され、圧力室22内の圧縮空
気は、排気口26から速度調整手段30における絞り機
構38を経由して排出されることになる。換言すれば、
このピストンパッキン42がクッションパッキンとして
機能し、排気の経路を、開口18及びポート14を通じ
て直接排出する状態から、排気口26及び絞り機構38
を経由して制限的に排出する状態に切換える。このた
め、絞り機構38による流量制御によって圧力室22内
の圧力が上昇し、それがピストン背圧となってピストン
10を減速させながらストローク終端に到達させる。こ
のとき、移動方向前方側のピストンパッキン42は排気
口26の手前で停止し、後方側のピストンパッキン40
はポート14の開口18の手前で停止する。
せる場合は、ポート14に圧縮空気を供給する。この場
合は、ピストン10がストローク端に近づいた時、ピス
トン10の移動方向前方側にあるピストンパッキン40
がクッションパッキンとして機能し、圧力室20からの
圧縮空気の排出経路を、ポート12を通じて直接排出さ
れる状態から、排気口24及び速度調整手段28の絞り
機構36を経由して制限的に排出される状態に切換える
ため、ピストン10はストローク端に減速しながら緩衝
的に停止することになる。
整手段28,30における絞り機構36a,38aを、
通孔45aの開口面積を調整できない固定絞りとして形
成している点が上記空気圧シリンダ1Aと相違してい
る。上記以外の構成及び作用は実質的に空気圧シリンダ
1Aと同じであるから、主要な同一構成部分に空気圧シ
リンダ1Aと同じ符号を付してその説明は省略する。
ダチューブ4の何れか一端側だけに速度調整手段28を
設けることにより、ピストン10を一方のストローク端
だけに緩衝的に停止させるようにしたもので、この点
で、正逆両方のストローク端に速度調整手段28,30
を設けた空気圧シリンダ1A,1Bと相違している。な
お、図7には、ヘッド側のストローク端に速度調整手段
28を設けた場合について代表的に示されている。
トン10に設けられた2つのパッキン40,42のう
ち、速度調整手段28が設けられている側にあるパッキ
ン40がピストンパッキンとクッションパッキンの両方
の機能を兼備し、反対側のパッキン42はピストンパッ
キンとしての機能だけを有することになる。
空気圧シリンダ1Aに対応する構成を備えたものが示さ
れているが、空気圧シリンダ1Bに対応する構成とする
こともできる。
明のクッション機構付空気圧ロータリアクチュエータ
は、長いクッションリング及びそれが嵌入する空室を設
ける必要がないので、シリンダの軸線方向の長さをそれ
だけ短くすることができ、小型化することができると共
に、許容運動エネルギーの拡大および省エネを行なうこ
とができ、駆動系の衝突音を低減することができる。 ま
た、実質的にピストンパッキンがクッションパッキンを
兼ねる構造としているので、部品数を少なくして構造を
簡単化することができ、それにより製造コストを低減す
ることができる。
機構付空気圧ロータリアクチュエータの部分横断面図。
機構付空気圧ロータリアクチュエータの縦断面図。
構付空気圧ロータリアクチュエータの部分横断面図。
ストンの駆動開始前の状態を示す半断面図。
ストンのクッション行程の状態を示す半断面図。
のピストンの駆動開始前の状態を示す半断面図。
のピストンの駆動開始前の状態を示す半断面図。
Claims (4)
- 【請求項1】シリンダチューブと、上記シリンダチュー
ブ内を摺動するピストンと、上記ピストンで隔てられた
2つの圧力室に圧縮空気を給排するための2つのポート
と、上記ピストンに結合され往復駆動するラックと、上
記ラックに噛合され上記ラックの往復駆動によって往復
回転するピニオンと、上記シリンダチューブにおける少
なくとも一端でピストン背圧によりピストンを緩衝的に
停止させるクッション機構とを具備し、上記ピニオンの
回転出力を主軸を通じて取り出すようにしたクッション
機構付空気圧ロータリアクチュエータにおいて、上記シリンダチューブのチューブ壁に、上記圧力室に開
口を通じて連通する上記2つのポートを設けるととも
に、 少なくとも一方の上記ポートと対応する位置に、上
記ポートよりも上記シリンダチューブ端寄りに位置させ
て、上記チューブ壁外面に設けた凹部によって形成され
る弁室を設けて、該弁室に上記圧力室に通じる排気口を
設けるとともに、該弁室と上記ポートとを流路を介して
連通させ、 上記弁室内に、上記排気口とポートとの間の流量を制限
する絞り機構と、上記排気口から上記ポート側に向かう
排気の流れは規制して逆向きの圧縮空気の流れは許容す
る逆止弁とから構成される速度調整手段を組み込み、 上記ピストンの外周面には上記シリンダチューブの内周
面に摺接して2つの上記圧力室を区画する複数のピスト
ンパッキンを設け、少なくとも一部の上記ピストンパッ
キンに、上記ピストンがストローク端に到達する直前に
排気側の上記ポートを乗り越えて上記圧力室内の圧縮空
気を上記排気口のみから排出させるように動作するクッ
ションパッキンとしての機能を兼備させた、 ことを特徴とするクッション機構付空気圧ロータリアク
チュエータ。 - 【請求項2】上記ピストンを正逆両ストローク端で減速
的に停止させるために、上記弁室と、上記排気口と、上
記速度調整手段と、クッションパッキンの機能を兼備す
る上記ピストンパッキンとが、2つの上記ポートに対応
してシリンダチューブの両端 に設けられていることを特
徴とする請求項1に記載のクッション機構付空気圧ロー
タリアクチュエータ。 - 【請求項3】2つのシリンダ孔を有するシリンダチュー
ブと、上記両シリンダ孔内を摺動するピストンと、上記
両ピストンで隔てられた圧力室に圧縮空気を給排するた
めの2つのポートと、上記両ピストンに結合され往復駆
動する一対のラックと、上記両ラックに噛合され上記両
ラックの往復駆動によって往復回転するピニオンと、上
記シリンダチューブにおける両シリンダ孔の一端でピス
トン背圧により両ピストンを緩衝的に停止させるクッシ
ョン機構とを具備し、上記ピニオンの回転出力を主軸を
通じて取り出すようにしたクッション機構付空気圧ロー
タリアクチュエータにおいて、 上記2つのポートを上記両シリンダ孔の一端側の孔壁に
おける開口を通じて上記圧力室へ連通させるとともに、
上記シリンダチューブの一端側のサイドブロックに、該
サイドブロック外面に設けた凹部によって形成される弁
室を設けて、該弁室に上記圧力室に通じる排気口を設け
るとともに、該弁室と上記ポートとを流路を介して連通
させ、 上記弁室内に、上記排気口とポートとの間の流量を制限
する絞り機構と、上記排気口から上記ポート側に向かう
排気の流れは規制して逆向きの圧縮空気の流れは許容す
る逆止弁とから構成される速度調整手段を組み込み、 上記両ピストンの外周面には上記シリンダチューブの各
シリンダ孔内周面に摺接して上記圧力室を区画するピス
トンパッキンを設け、該ピストンパッキンに、上記ピス
トンがストローク端に到達する直前に上記ポートを乗り
越えて上記圧力室内の圧縮空気を上記排気口のみから排
出させるように動作するクッションパッキンとしての機
能を兼備させた、 ことを特徴とするクッション機構付空気圧ロータリアク
チュエータ。 - 【請求項4】上記速度調整手段が、絞り機構を有する弁
部材を、上記逆止弁を形成するリップシールを周囲に介
在させて上記弁室内に収容することにより、該弁室内に
組み込まれている、 ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のクッ
ション機構付空気圧ロータリアクチュエータ。
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