JP3102709B2 - 電子素子測定装置 - Google Patents

電子素子測定装置

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JP3102709B2 JP03354920A JP35492091A JP3102709B2 JP 3102709 B2 JP3102709 B2 JP 3102709B2 JP 03354920 A JP03354920 A JP 03354920A JP 35492091 A JP35492091 A JP 35492091A JP 3102709 B2 JP3102709 B2 JP 3102709B2
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田中秀司
小松保明
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アジレント・テクノロジー株式会社
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  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の技術分野】本発明は電子素子の測定装置に関
し、特に3端子対測定器の4端子対校正に関する。但し
本明細書で言う3端子対測定器とは、従来4端子測定器
と呼称されているものと基本動作は等価なもので、3つ
の端子対を用いて実現されている。
【0002】
【従来技術とその問題点】従来技術における3端子対測
定では図1の測定装置10において端子対18を有しな
い。端子対12、14、16、18は一般に外被と芯線
を対とする同軸構造である。端子対14、16の外被同
志は接続されており、測定装置10の回路グランドに接
続される。端子対14、16の芯線間の電圧が差動測定
される。信号源40としては直流または交流電圧源42
と電流計44の直列接続を回路グランドに接地して用い
ることができる。もちろん電流源であってもよい。ケー
ブル22、24、26も同軸構造であり、それらの一方
の端子はそれぞれ端子対12、14、16に接続され、
他方の端子は被測定素子30の端子32、34に接続さ
れる。被測定素子側でケーブル22、24の芯線は被測
定素子30の一方の端子32に接続され、ケーブル22
の外被とケーブル26の芯線とは被測定素子30の他方
の端子34に接続され、かつケーブル24、26の外被
は被測定素子30にできるだけ隣接したところで互いに
接続される。
【0003】測定装置10の信号源40は端子対12の
芯線122と外被124に接続され、被測定素子30に
信号電流を供給する。また、信号源40は制御計算手段
60に信号電流値を送信する。電圧測定手段50は、一
般に差動電圧計として構成され、端子対14、16の芯
線142、162間の電圧を測定し、その測定値を制御
計算手段60に送信する。
【0004】制御計算手段は計算機を含む構成が一般的
であるが、本発明に関連しては、前記信号電流値(I)
と測定電圧値(V)を受信し、それらから被測定電子素
子の複素インピーダンスZ(=V/I)等を求める機
能、既知の標準素子を用いて測定器の校正を行い、また
測定値の補正を行う機能等を有する。これら制御計算手
段60の機能性能については周知であるので説明を省略
する。また端子対12、14、16の芯線と外被はバラ
ンを形成するように磁性コア126、146、166が
それぞれ装荷される。このような測定方式は被測定電子
素子のインピーダンスが低い場合賞用される。
【0005】さて、このような測定方式に対し、4端子
対測定方式として知られる電子素子の測定方式が広く普
及している。4端子対測定方式の測定器には例えば横河
・ヒューレット・パッカード株式会社から市販されてい
るHP4292ALFインピーダンス・アナライザなど
多くの測定器が含まれる。それに従って4端子対測定器
校正用標準器が整備されており、それらを3端子対測
定でも有効に利用すれば、標準器の種類を少くすること
が可能となる。それに伴って、標準器の開発が効率的に
なり、従ってより高度な標準器を開発することが容易と
なるので、測定器の高度化にも役立つ。それらの標準器
としては前記横河・ヒューレット・パッカード株式会社
から市販されているHP16380A、HP16380
C標準コンデンサ・セットやHP1604A校正用R−
Lスタンダードがある。
【0006】4端子対標準器80は図2に示すように、
4つの端子対82、84、86、88を有し、それらの
外被は一体化されており、その内部に標準素子90格納
している。端子対82、84の芯線は標準素子90の一
方の端子92に接続され、端子対86、88の芯線は標
準素子90の他方の端子94に接続される。また標準器
80は絶縁体から成るケース100に収納することもよ
くおこなわれる。従来技術の3端子対測定器で4端子対
標準器90を測定するには、3本の同軸ケーブルを用意
し、端子対12、14、16と端子対82、84、86
を接続し、端子対88を短絡成端しなければならない。
これは、一般に端子対12、14、16や端子対82、
84、86、88がそれぞれ同一平面上に配置されるの
が普通であるからである。前述のように、従来の3端子
対測定装置で4端子対標準器を測定するのは大変面倒で
あり、使用ケーブルによる校正精度の劣化もある。
【0007】
【発明の目的】従って本発明の目的は3端子対測定装置
に短絡端子対を設け、上記の欠点を解消することにあ
る。
【0008】
【発明の概要】前記目的を達成するため、測定装置に新
たに第4の端子対を設けて、4端子対標準器が直接測定
できるように配列した。
【0009】
【発明の実施例】図1が本発明の一実施例の電子素子測
定装置10であり、従来技術の3端子対測定装置に対し
て、新たに端子対18が設けられている。端子対18
短絡端子対でその芯線と外被が短絡されている。本発明
の測定装置10により、校正のため4端子対標準器80
を測定するときは、端子12、14、16、18がそれ
ぞれ対応する端子対82、84、86、88に接続さ
れ、それらの外被同志、芯線同志が導通する。
【0010】測定時図1においてケーブル22の外被と
端子34を接続する配線を点“X”で切断して、ケーブ
ル28と端子対18とによって短絡する構成も考えられ
るが、該配線のインピーダンスが上昇し、電圧計50に
コモンモードを生ずるので好ましくない。また外部磁界
による起電力の発生による電圧計の誤差を軽減するた
め、ケーブル24、26をツイストするなどは周知であ
る。
【0011】
【発明の効果】前記に詳述したように、本発明の実施に
より、3端子対測定装置の校正に4端子対標準器が直接
用いうるので、使用に便にる他標準器の種類を低減する
ことが可能となる。また、前記において被測定素子30
は二端子素子としたが、一般に4端子素子としてもよ
い。例えば、変成器の場合ケーブル22の芯線と外被間
に一次巻線を接続し、ケーブル24、26の芯線間に二
次巻線を接続すれば、相互インダクタンスが求められ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の電子素子測定装置の概略回
路図である。
【図2】4端子対標準器の概略回路図である。
【符号の説明】
10:電子素子測定装置 22、24、26、28:ケーブル 40:信号源 50:電圧測定装置 60:制御計算手段 80:4端子標準器 90:標準素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 27/02 G01R 27/28 G01R 35/00

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】信号源が接続された第1の端子対と電圧計
    が接続された第2、第3の端子対と短絡された端子対か
    ら成る第4の端子対と前記信号源の出力電流値と前記電
    圧計の測定電圧値とから被測定電子素子のインピーダン
    スを決定する計算手段とを備えた電子素子測定装置。
  2. 【請求項2】前記決定の校正をおこなうため、前記第1
    〜第4の端子対のそれぞれに接続されるそれぞれの端子
    対を有する 4端子対標準素子を更に備えた請求項1記載
    の電子素子測定装置。
  3. 【請求項3】前記第1、第2、及び第3の端子対の芯線
    と外被は、バランを形成するように磁性コアがそれぞれ
    装荷されていることを特徴とする、請求項1または請求
    項2に記載の電子素子測定装置。
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