JP2771557B2 - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JP2771557B2 JP2771557B2 JP63275800A JP27580088A JP2771557B2 JP 2771557 B2 JP2771557 B2 JP 2771557B2 JP 63275800 A JP63275800 A JP 63275800A JP 27580088 A JP27580088 A JP 27580088A JP 2771557 B2 JP2771557 B2 JP 2771557B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- top plate
- recording head
- jet recording
- ink jet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14362—Assembling elements of heads
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、インクジェット記録ヘッドの製造方法に関
する。
する。
［従来の技術］ 上述したインクジェット記録装置としては、圧電素子
の変形により液流路内に圧力変化を発生させて微小液滴
を吐出させるもの、あるいは更に一対の電極を設けて、
これにより液滴を偏向して吐出させるものが知られてい
る。また液路内に配設した発熱素子を急激に発熱させる
ことによって気泡を生ぜしめ、その気泡の発生によって
吐出口から液滴を吐出させるもの等が種々提案されてき
た。
の変形により液流路内に圧力変化を発生させて微小液滴
を吐出させるもの、あるいは更に一対の電極を設けて、
これにより液滴を偏向して吐出させるものが知られてい
る。また液路内に配設した発熱素子を急激に発熱させる
ことによって気泡を生ぜしめ、その気泡の発生によって
吐出口から液滴を吐出させるもの等が種々提案されてき
た。
これらの中でも、熱エネルギーを利用して記録液を吐
出する方式に係るインクジェット記録ヘッドは、記録用
の液滴を吐出して飛翔用液滴を形成するためのオリフィ
ス等の液体吐出口（以下、オリフィスともいう）を高密
度に配列することができるために高解像力の記録をする
ことが可能であること、記録ヘッドとして全体的コンパ
クト化も容易であること、最近の半導体分野における技
術の進歩と信頼性の向上が著しいIC技術やマイクロ加工
技術の長所を十二分に活用でき、長尺化および面状化
（２次元化）が容易であること等により、マルチノズル
化および高密度実装化が容易で、しかも大量生産時の生
産性が良く製造費用も廉価にできるものとして特に注目
されている。
出する方式に係るインクジェット記録ヘッドは、記録用
の液滴を吐出して飛翔用液滴を形成するためのオリフィ
ス等の液体吐出口（以下、オリフィスともいう）を高密
度に配列することができるために高解像力の記録をする
ことが可能であること、記録ヘッドとして全体的コンパ
クト化も容易であること、最近の半導体分野における技
術の進歩と信頼性の向上が著しいIC技術やマイクロ加工
技術の長所を十二分に活用でき、長尺化および面状化
（２次元化）が容易であること等により、マルチノズル
化および高密度実装化が容易で、しかも大量生産時の生
産性が良く製造費用も廉価にできるものとして特に注目
されている。
上述したように、インクジェット記録ヘッドは、一般
に微細なインク吐出口（オリフィス）、インク路および
このインク路の一部に設けられる吐出エネルギー発生素
子を具えている。
に微細なインク吐出口（オリフィス）、インク路および
このインク路の一部に設けられる吐出エネルギー発生素
子を具えている。
そして、このようなインクジェット記録ヘッドを製造
する方法として、例えば、ガラスヤ金属等の基板に切削
やエッチング等により、微細な溝を形成した後、この溝
を形成した基板を他の適当な基板と接合してヘッド内に
インク路を形成する方法が知られている。
する方法として、例えば、ガラスヤ金属等の基板に切削
やエッチング等により、微細な溝を形成した後、この溝
を形成した基板を他の適当な基板と接合してヘッド内に
インク路を形成する方法が知られている。
また、複数のインク路を有する場合には、それらイン
ク路は大抵の場合共通液室に連絡される、円滑かつ充分
な記録液が液路内に供給され得るように構成されてい
る。
ク路は大抵の場合共通液室に連絡される、円滑かつ充分
な記録液が液路内に供給され得るように構成されてい
る。
［発明が解決しようとする課題］ ところで液体の吐出によって消費される量に応じて充
分な量の記録液を液路内に供給するためには、その消費
量に対して充分に余裕のある容積の共通液室が望まれ
る。しかしながら、インク路の高さと同じ程度の高さを
有する共通液室では実質的な記録液の流動抵抗を小さく
することができず、容量的には余裕があるものの充分な
記録液の供給を行えない場合がある。
分な量の記録液を液路内に供給するためには、その消費
量に対して充分に余裕のある容積の共通液室が望まれ
る。しかしながら、インク路の高さと同じ程度の高さを
有する共通液室では実質的な記録液の流動抵抗を小さく
することができず、容量的には余裕があるものの充分な
記録液の供給を行えない場合がある。
そこで、共通液室の高さを液路の高さに対して充分大
きくすることが一般的な構成となる。
きくすることが一般的な構成となる。
しかしながら、ガラスや金属の基板に微細な溝を形成
する方法では、インク路の高さに対して充分な高さを有
する共通液室を形成することが困難である。
する方法では、インク路の高さに対して充分な高さを有
する共通液室を形成することが困難である。
また、エッチングを複数回繰返して共通液室のエッチ
ング量を多くし共通液室の高さを大きくすることもでき
るが、この方法では工程が増加するためコストダウンや
生産性に対する要求に充分答えられるとはいえない。
ング量を多くし共通液室の高さを大きくすることもでき
るが、この方法では工程が増加するためコストダウンや
生産性に対する要求に充分答えられるとはいえない。
そこで、共通液室部を別途製造し、接着剤等によって
インク路部分の終端部にその共通液室部を接合すること
で所望の共通液室を形成することが行われている。
インク路部分の終端部にその共通液室部を接合すること
で所望の共通液室を形成することが行われている。
この方法によれば、充分な共通液室容量も得やすいた
めインクジェットヘッドの性能面から見れば好ましい。
めインクジェットヘッドの性能面から見れば好ましい。
しかしながら、このように別途部品を接合する方法は
同様に工程数の増加，生産性の低下という問題を内在し
ており、より多くのコストダウンを行うためにはまだ解
決すべき点も有している。
同様に工程数の増加，生産性の低下という問題を内在し
ており、より多くのコストダウンを行うためにはまだ解
決すべき点も有している。
また、このような方法を用いた場合には接着剤の硬化
収縮に伴う応力の発生や位置ずれ，不完全密閉による記
録液のもれ，液路内や共通液室内への接着剤の流れ込み
や目詰りなどが発生する場合があった。
収縮に伴う応力の発生や位置ずれ，不完全密閉による記
録液のもれ，液路内や共通液室内への接着剤の流れ込み
や目詰りなどが発生する場合があった。
本発明は上述した種々の問題点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは共通液室用溝を有した
天板を射出成形した後にエキシマレーザーによってイン
ク路用溝を形成することにより上記問題点を解消するこ
とが可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供
することにある。
であり、その目的とするところは共通液室用溝を有した
天板を射出成形した後にエキシマレーザーによってイン
ク路用溝を形成することにより上記問題点を解消するこ
とが可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供
することにある。
［課題を解決するための手段］ そのために本発明では、複数の吐出口の各々に対応し
て設けられる複数のインク路を構成するための複数の溝
を有した天板と、前記インク路の一部に配設されるエネ
ルギー発生素子を有した基板と、を有し、前記天板と基
板とを接合することによって前記インク路が構成される
インクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記天
板が有する前記複数の溝は、当該複数の溝に対応したパ
ターンを有したマスクを介してエキシマレーザー光を照
射して前記天板の材料の一部を分解，飛散させることに
よって加工されることを特徴とする。
て設けられる複数のインク路を構成するための複数の溝
を有した天板と、前記インク路の一部に配設されるエネ
ルギー発生素子を有した基板と、を有し、前記天板と基
板とを接合することによって前記インク路が構成される
インクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記天
板が有する前記複数の溝は、当該複数の溝に対応したパ
ターンを有したマスクを介してエキシマレーザー光を照
射して前記天板の材料の一部を分解，飛散させることに
よって加工されることを特徴とする。
［作 用］ 以上の構成によれば、複数のインク路用溝がこの溝に
対応したパターンのマスクを用いエキシマレーザー光に
よって一括して加工されるとともに、その加工が、溝が
形成される天板材料の一部を分解，飛散させるようにな
されるので、高い平滑性を有したインク路を得ることが
できるとともにその製造精度を向上させることができ、
また、これとともに溝の加工面が適度に荒れることによ
って親水性を有したものとすることができる。
対応したパターンのマスクを用いエキシマレーザー光に
よって一括して加工されるとともに、その加工が、溝が
形成される天板材料の一部を分解，飛散させるようにな
されるので、高い平滑性を有したインク路を得ることが
できるとともにその製造精度を向上させることができ、
また、これとともに溝の加工面が適度に荒れることによ
って親水性を有したものとすることができる。
［実施例］ 以下、図面を参照して本発明を詳細に説明する。
第１図（Ａ）および（Ｂ）は、本発明の一実施例に係
るインクジェット記録ヘッドを示し、インク供給源たる
インク収容部を一体としたディスポーザブルタイプのも
のとしてある。
るインクジェット記録ヘッドを示し、インク供給源たる
インク収容部を一体としたディスポーザブルタイプのも
のとしてある。
同図（Ａ）において、100はSi基板上に電気熱変換体
（吐出ヒータ）と、これに電力を供給するAl等の配線と
が成膜技術により形成されて成るヒータボードである。
200はヒータボード100に対する配線基板であり、対応す
る配線は例えばワイヤボンディングにより接続される。
（吐出ヒータ）と、これに電力を供給するAl等の配線と
が成膜技術により形成されて成るヒータボードである。
200はヒータボード100に対する配線基板であり、対応す
る配線は例えばワイヤボンディングにより接続される。
400はインク流路を限界するための隔壁や共通液室等
を設けた天板であり、ポリエーテルサルフォン等の樹脂
材料で成る。
を設けた天板であり、ポリエーテルサルフォン等の樹脂
材料で成る。
300は例えば金属製の支持体、500は押えばねであり、
両者間にヒータボード100および天板400を挟み込んだ状
態で両者を係合させることにより、押えばね500の付勢
力によってヒータボード100と天板400とを圧着固定す
る。なお、支持体300は、配線基板200も貼着等により設
けられるとともに、ヘッドの走査を行うためのキャリッ
ジへの取付け基準を有する。また、支持体300は駆動に
伴って生じるヒータボード100の熱を放熱冷却する部材
としても機能する。
両者間にヒータボード100および天板400を挟み込んだ状
態で両者を係合させることにより、押えばね500の付勢
力によってヒータボード100と天板400とを圧着固定す
る。なお、支持体300は、配線基板200も貼着等により設
けられるとともに、ヘッドの走査を行うためのキャリッ
ジへの取付け基準を有する。また、支持体300は駆動に
伴って生じるヒータボード100の熱を放熱冷却する部材
としても機能する。
600は供給タンクであり、インク供給源をなすインク
貯留部からインク供給を受け、ヒータボード100と天板4
00との接合により形成される共通液室にインクを導くサ
ブタンクとして機能する。700は共通液室へのインク供
給口付近の供給タンク600内の部位に配置されるフィル
タ、800は供給タンク600の蓋部材である。
貯留部からインク供給を受け、ヒータボード100と天板4
00との接合により形成される共通液室にインクを導くサ
ブタンクとして機能する。700は共通液室へのインク供
給口付近の供給タンク600内の部位に配置されるフィル
タ、800は供給タンク600の蓋部材である。
900はインクを含浸させるための吸収体であり、カー
トリッジ本体1000内に配置される。1200は上記各部100
〜800からなるユニットに対してインクを供給するため
の供給口であり、当該ユニットをカートリッジ本体1000
の部分1010に配置する前の工程で供給口1200よりインク
を注入することにより吸収体900のインク含浸を行わせ
ることができる。
トリッジ本体1000内に配置される。1200は上記各部100
〜800からなるユニットに対してインクを供給するため
の供給口であり、当該ユニットをカートリッジ本体1000
の部分1010に配置する前の工程で供給口1200よりインク
を注入することにより吸収体900のインク含浸を行わせ
ることができる。
1100はカートリッジ本体の蓋部材、1400はカートリッ
ジ内部を大気に連通するために蓋部材に設けた大気連通
口である。1300は大気連通口1400の内方に配置される撥
液材であり、これにより大気連通口1400からのインク漏
洩が防止される。
ジ内部を大気に連通するために蓋部材に設けた大気連通
口である。1300は大気連通口1400の内方に配置される撥
液材であり、これにより大気連通口1400からのインク漏
洩が防止される。
供給口1200を介してのインク充填が終了すると、各部
100〜800よりなるユニットを部分1010に位置付けて配設
する。このときの位置決めないし固定は、例えばカート
リッジ本体1000に設けた突起1012と、これに対応して支
持体300に設けた穴312とを嵌合させることにより行うこ
とができ、これによって第１図（Ｂ）のカートリッジが
完成する。
100〜800よりなるユニットを部分1010に位置付けて配設
する。このときの位置決めないし固定は、例えばカート
リッジ本体1000に設けた突起1012と、これに対応して支
持体300に設けた穴312とを嵌合させることにより行うこ
とができ、これによって第１図（Ｂ）のカートリッジが
完成する。
そして、インクはカードリッジ内部より供給口1200、
支持体300に設けた穴320および供給タンク600の第１図
（Ａ）中裏面側に設けた導入口を介して供給タンク600
内に供給され、その内部を通った後、導出口より適宜の
供給管および天板400のインク導入口420を介して共通液
室内へと流入する。以上におけるインク連通用の接続部
には、例えばシリコンゴムやブチルゴム等のパッキンが
配設され、これによって封止が行われてインク供給路が
確保される。
支持体300に設けた穴320および供給タンク600の第１図
（Ａ）中裏面側に設けた導入口を介して供給タンク600
内に供給され、その内部を通った後、導出口より適宜の
供給管および天板400のインク導入口420を介して共通液
室内へと流入する。以上におけるインク連通用の接続部
には、例えばシリコンゴムやブチルゴム等のパッキンが
配設され、これによって封止が行われてインク供給路が
確保される。
第２図は第１図に示した天板400を示す斜視図であ
り、共通液室用溝403と加工前のインク路用溝402（破
線）を表わすものであり、天板400は樹脂成形体であ
る。樹脂材料としては耐インク性に優れたポリエーテル
サルフォン，ポリエーテルエーテルケトンなどを用いる
ことができる。天板400の成形は、市販の射出成形機お
よび第２図に示す形状と対になる金型を用いて行う。
り、共通液室用溝403と加工前のインク路用溝402（破
線）を表わすものであり、天板400は樹脂成形体であ
る。樹脂材料としては耐インク性に優れたポリエーテル
サルフォン，ポリエーテルエーテルケトンなどを用いる
ことができる。天板400の成形は、市販の射出成形機お
よび第２図に示す形状と対になる金型を用いて行う。
射出成形を終了すると、次に、第４図に示す如くエキ
シマレーザーのレーザービーム12に対し、インク路のパ
ターンに対応した、透明である部分13と非透明である部
分14を持つマスク９と、第２図に示した樹脂成形体とを
位置決めした後、エキシマレーザー光の透明部分を通過
したレーザー光によって樹脂成形体表面を除去，蒸発せ
しめ第５図に示すようなインク路の溝形状を得る。
シマレーザーのレーザービーム12に対し、インク路のパ
ターンに対応した、透明である部分13と非透明である部
分14を持つマスク９と、第２図に示した樹脂成形体とを
位置決めした後、エキシマレーザー光の透明部分を通過
したレーザー光によって樹脂成形体表面を除去，蒸発せ
しめ第５図に示すようなインク路の溝形状を得る。
このエキシマレーザーは紫外光を発振可能なレーザー
であり、高強度である、単色性が良い、指向性がある、
短パルス発振できる、レンズで集光することでエネルギ
ー密度を非常に大きくできるなどの利点を有する。
であり、高強度である、単色性が良い、指向性がある、
短パルス発振できる、レンズで集光することでエネルギ
ー密度を非常に大きくできるなどの利点を有する。
エキシマレーザーは希ガスとハロケンガスの混合気体
を放電励起することで、短パルス（15〜35ns）の紫外光
を発振できる装置であり、KrF,Xecl,ArFレーザーがよく
用いられる。これらの発振エネルギーは数100mJ/パル
ス，パルス繰返し周波数は30〜1000Hzである。
を放電励起することで、短パルス（15〜35ns）の紫外光
を発振できる装置であり、KrF,Xecl,ArFレーザーがよく
用いられる。これらの発振エネルギーは数100mJ/パル
ス，パルス繰返し周波数は30〜1000Hzである。
このエキシマレーザー光のような高輝度の短パルス紫
外光をポリマー樹脂表面に照射すると、照射部分が瞬間
的にプラズマ発光と衝撃音を伴って分解，飛散するAbla
tive Photodecomposition（APD）過程が生じ、この過程
によってポリマー樹脂の加工が可能となる。
外光をポリマー樹脂表面に照射すると、照射部分が瞬間
的にプラズマ発光と衝撃音を伴って分解，飛散するAbla
tive Photodecomposition（APD）過程が生じ、この過程
によってポリマー樹脂の加工が可能となる。
このようにエキシマレーザーによる加工精度と他のレ
ーザーによるそれとを比較した場合、例えばポリイミド
（PI）フィルムにエキシマレーザーとしてのKrFレーザ
ーと、他のYAGレーザーおよびCO2レーザーを照射する
と、PIの光を吸収する波長がUV領域であるためKrFレー
ザーによってきれいな穴が開くが、UV領域にないYAGレ
ーザーでは穴が開くもののエッジ面が荒れ、赤外線であ
るCO2レーザーでは穴の周囲にクレーターを生じてしま
う。
ーザーによるそれとを比較した場合、例えばポリイミド
（PI）フィルムにエキシマレーザーとしてのKrFレーザ
ーと、他のYAGレーザーおよびCO2レーザーを照射する
と、PIの光を吸収する波長がUV領域であるためKrFレー
ザーによってきれいな穴が開くが、UV領域にないYAGレ
ーザーでは穴が開くもののエッジ面が荒れ、赤外線であ
るCO2レーザーでは穴の周囲にクレーターを生じてしま
う。
また、SUS等の金属，不透明なセラミックス,Si等は大
気の雰囲気において、エキシマレーザー光の照射によっ
て影響を受けないため、エキシマレーザーによる加工に
おけるマスク材として用いることができる。
気の雰囲気において、エキシマレーザー光の照射によっ
て影響を受けないため、エキシマレーザーによる加工に
おけるマスク材として用いることができる。
本例に用いたエキシマレーザーはKrFエキシマレーザ
ーであり、またArFエキシマレーザーを用いることも可
能である。
ーであり、またArFエキシマレーザーを用いることも可
能である。
また、マスク材料としては石英基板を用い、マスク９
の不透明部14はCr蒸着によって形成した。インク路溝の
幅３は、1mm当り16個の吐出口を有する構成に対応して3
2μｍとし、非溝部の幅４は31.5μｍとした。
の不透明部14はCr蒸着によって形成した。インク路溝の
幅３は、1mm当り16個の吐出口を有する構成に対応して3
2μｍとし、非溝部の幅４は31.5μｍとした。
さらに、KrFエキシマレーザーはカナダ，ルモニクス
社製のIndex200を用い、１パルス当り350mJ/cm2のエネ
ルギー密度で360パルス照射することにより溝の深さ５
は30μｍが得られた。
社製のIndex200を用い、１パルス当り350mJ/cm2のエネ
ルギー密度で360パルス照射することにより溝の深さ５
は30μｍが得られた。
以上の過程により第２図の樹脂成形体は第３図に示す
ようにインク路用の微細な溝を一体に有する天板とな
る。
ようにインク路用の微細な溝を一体に有する天板とな
る。
次に、この天板400は精密に洗浄された後、第６図に
示す如く、ガラス，セラミックス,Si,プラスチックある
いは金属等で形成されることが可能な基板に、発熱素子
等の吐出エネルギー発生素子101を配設したヒータボー
ド100と接合し、ヘッド本体80を構成する。
示す如く、ガラス，セラミックス,Si,プラスチックある
いは金属等で形成されることが可能な基板に、発熱素子
等の吐出エネルギー発生素子101を配設したヒータボー
ド100と接合し、ヘッド本体80を構成する。
ちなみに、図中41はヘッド本体80におけるインク吐出
口（オリフィス）である。
口（オリフィス）である。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、複
数のインク路用溝がこの溝に対応したパターンのマスク
を用いエキシマレーザー光によって一括して加工される
とともに、その加工が、溝が形成される天板材料の一部
を分解，飛散させるようになされるので、高い平滑性を
有したインク路を得ることができるとともにその製造精
度を向上させることができ、また、これとともに溝の加
工面が適度に荒れることによって親水性を有したものと
することができる。
数のインク路用溝がこの溝に対応したパターンのマスク
を用いエキシマレーザー光によって一括して加工される
とともに、その加工が、溝が形成される天板材料の一部
を分解，飛散させるようになされるので、高い平滑性を
有したインク路を得ることができるとともにその製造精
度を向上させることができ、また、これとともに溝の加
工面が適度に荒れることによって親水性を有したものと
することができる。
この結果、精度のよい記録ヘッドを得ることができ、
さらに、その吐出性能を向上させることができる。
さらに、その吐出性能を向上させることができる。
第１（Ａ）および（Ｂ）は本発明の一実施例にかかるイ
ンクジェット記録ヘッドの詳細な構成を示すそれぞれ分
解斜視図および外観斜視図、 第２図は本発明の一実施例による加工前を示す樹脂成形
体の斜視図、 第３図は本発明の一実施例による加工後の天板を示す斜
視図、 第４図は本発明の一実施例におけるマスクを介したエキ
シマレーザーによる除去加工態様を示す概念図、 第５図は第４図に示した加工の結果得られる溝の形状の
特徴を表わす模式図、 第６図は本発明の実施例によって得られる天板を用いて
構成されるインクジェット記録ヘッド本体の模式的斜視
図である。 13……エキシマレーザー光の透過部、 14……エキシマレーザー光の非透過部、 41……吐出口（オリフィス）、 100……ヒータボード、 101……吐出エネルギー発生素子、 402……インク路溝、 403……共通液室。
ンクジェット記録ヘッドの詳細な構成を示すそれぞれ分
解斜視図および外観斜視図、 第２図は本発明の一実施例による加工前を示す樹脂成形
体の斜視図、 第３図は本発明の一実施例による加工後の天板を示す斜
視図、 第４図は本発明の一実施例におけるマスクを介したエキ
シマレーザーによる除去加工態様を示す概念図、 第５図は第４図に示した加工の結果得られる溝の形状の
特徴を表わす模式図、 第６図は本発明の実施例によって得られる天板を用いて
構成されるインクジェット記録ヘッド本体の模式的斜視
図である。 13……エキシマレーザー光の透過部、 14……エキシマレーザー光の非透過部、 41……吐出口（オリフィス）、 100……ヒータボード、 101……吐出エネルギー発生素子、 402……インク路溝、 403……共通液室。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−294047（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−118877（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−220991（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B41J 2/16 B23K 26/06
Claims (4)
- 【請求項１】複数の吐出口の各々に対応して設けられる
複数のインク路を構成するための複数の溝を有した天板
と、前記インク路の一部に配設されるエネルギー発生素
子を有した基板と、を有し、前記天板と基板とを接合す
ることによって前記インク路が構成されるインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法において、 前記天板が有する前記複数の溝は、当該複数の溝に対応
したパターンを有したマスクを介してエキシマレーザー
光を照射して前記天板の材料の一部を分解，飛散させる
ことによって加工されることを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】複数の吐出口の各々に対応して設けられる
複数のインク路と、該複数のインク路に供給されるイン
クを貯留する共通液室とを構成するための溝を有した天
板と、前記複数のインク路それぞれの一部に配設される
エネルギー発生素子を有した基板とを接合することによ
って構成されるインクジェット記録ヘッドの製造方法に
おいて、 前記共通液室を構成するための前記溝を有した基板を射
出成形によって形成し、 当該形成された基板に対し、前記複数のインク路に対応
したパターンを有したマスクを介してエキシマレーザー
光を照射することにより前記複数のインク路を構成する
ための前記溝を加工することを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】前記エネルギー発生素子はインクを吐出す
るために利用される熱エネルギーを発生する電気熱変換
素子であることを特徴とする請求項１または２に記載の
インクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項４】前記天板は樹脂よりなることを特徴とする
請求項１ないし３のいずれかの項に記載のインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63275800A JP2771557B2 (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| ES89311199T ES2060789T3 (es) | 1988-10-31 | 1989-10-30 | Metodo de fabricacion de un cabezal de impresion por chorros de tinta. |
| DE1989618663 DE68918663T2 (de) | 1988-10-31 | 1989-10-30 | Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahldruckkopfes. |
| EP99200740A EP0937579B1 (en) | 1988-10-31 | 1989-10-30 | Ink jet head and manufacturing method thereof, discharge opening plate for head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head |
| EP19890311199 EP0367541B1 (en) | 1988-10-31 | 1989-10-30 | Method of manufacturing an ink jet head |
| EP94200483A EP0602021A2 (en) | 1988-10-31 | 1989-10-30 | Ink jet head and manufacturing method thereof, discharge opening plate for head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head |
| DE1989629489 DE68929489T2 (de) | 1988-10-31 | 1989-10-30 | Tintenstrahlkopf und sein Herstellungsverfahren, Aufflussöffnungsplatte für diesen Kopf und sein Herstellungsverfahren, und Tintenstrahlgerät damit versehen |
| ES99200740T ES2207908T3 (es) | 1988-10-31 | 1989-10-30 | Cabezal para chorros de tinta y metodo para la fabricacion del mismo, placa con oberturas de descarga para el cabezal y su metodo de fabricacion y aparato para chorros de tinta con cabezal para chorros de tinta. |
| US07/752,909 US5208604A (en) | 1988-10-31 | 1991-08-26 | Ink jet head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head |
| US08/741,529 US5682187A (en) | 1988-10-31 | 1996-10-31 | Method for manufacturing an ink jet head having a treated surface, ink jet head made thereby, and ink jet apparatus having such head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63275800A JP2771557B2 (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02121845A JPH02121845A (ja) | 1990-05-09 |
| JP2771557B2 true JP2771557B2 (ja) | 1998-07-02 |
Family
ID=17560584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63275800A Expired - Fee Related JP2771557B2 (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2771557B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG52140A1 (en) * | 1994-03-04 | 1998-09-28 | Canon Kk | Ink jet recording head and method of manufacture therefor and laser processing apparatus and ink jet recording apparatus |
| JP3501598B2 (ja) * | 1996-10-16 | 2004-03-02 | キヤノン株式会社 | レーザー加工方法、インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッド製造装置 |
| JP3423551B2 (ja) * | 1996-12-13 | 2003-07-07 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド製造方法及びインクジェット記録ヘッド |
| JPH11320896A (ja) | 1998-05-19 | 1999-11-24 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドの製造方法及び該方法により製造されたインクジェット記録ヘッド |
| EP1065058A3 (en) | 1999-06-30 | 2003-04-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing ink jet recording head, ink jet recording head manufactured by such method, and laser working method |
| US6760973B1 (en) | 1999-06-30 | 2004-07-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Laser working method and method for producing ink jet recording head |
| JP2001071168A (ja) | 1999-06-30 | 2001-03-21 | Canon Inc | レーザ加工方法、該レーザ加工方法を用いたインクジェット記録ヘッドの製造方法、該製造方法で製造されたインクジェット記録ヘッド |
| SG90732A1 (en) | 1999-06-30 | 2002-08-20 | Canon Kk | Laser processing method, method for manufacturing ink jet recording head using such method of manufacture, and ink jet recording head manufactured by such method of manufacture |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55118876A (en) * | 1979-03-07 | 1980-09-12 | Canon Inc | Method of fabricating multinozzle recording head |
| JPS55118877A (en) * | 1979-03-07 | 1980-09-12 | Canon Inc | Method of manufacturing grooved plate for use in multinozzle recording head |
| JPS5712662A (en) * | 1980-06-27 | 1982-01-22 | Canon Inc | Ink jet recording device |
| JPS63220991A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-14 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 光加工方法 |
-
1988
- 1988-10-31 JP JP63275800A patent/JP2771557B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02121845A (ja) | 1990-05-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0739739B1 (en) | Process for producing an ink jet recording head | |
| JP2714181B2 (ja) | インクジエツト記録装置、それに用いられるインクジエツト記録ヘツド及び着脱可能なインクジエツト記録ユニツト | |
| JP2000168090A (ja) | レ―ザ―により開始されるインクジェット印字方法及び装置 | |
| JPH01108056A (ja) | インクジェットプリンタ用ノズル | |
| JP3032021B2 (ja) | インクジェット記録装置 | |
| JP2771557B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JPH0994952A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3127570B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP2633943B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドおよび該ヘッドの製造方法 | |
| JPH02121842A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JP2714172B2 (ja) | インクジェットヘッド及び該ヘッドを備えたインクジェットカートリッジ及び該カートリッジを有したインクジェット記録装置 | |
| JP2660058B2 (ja) | インクジェットヘッド及び該ヘッドを備えたインクジェットカートリッジ及び該カートリッジを有したインクジェット記録装置 | |
| JP3104070B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JP3530744B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JP2940121B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド用基板の製造方法 | |
| JP3285041B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP3086146B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法、レーザ加工装置ならびにインクジェット記録装置 | |
| JP2764418B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法および該方法によって製造されたインクジェット記録ヘッド | |
| JPH02121843A (ja) | 液体噴射記録ヘッドおよび該ヘッドの製造方法 | |
| JP2946754B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JPH02121844A (ja) | 端面加工方法 | |
| JP2749902B2 (ja) | インクジェットヘッド及び該ヘッドを有したインクジェットカートリッジ及び該カートリッジを搭載したインクジェット記録装置 | |
| JPH05138882A (ja) | インクジエツトヘツド | |
| JPH05338186A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP3231195B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |