JP3400847B2 - 架橋した非晶質含フッ素重合体の製造方法および非晶質含フッ素重合体溶液組成物 - Google Patents
架橋した非晶質含フッ素重合体の製造方法および非晶質含フッ素重合体溶液組成物Info
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Description
鎖の末端にシアノ基、アミジン基またはイミドイルアミ
ジン基からなる架橋部位を有し、かつ主鎖に含フッ素脂
肪族環構造を有する非晶質含フッ素重合体を架橋させる
方法に関する。
面エネルギー、非粘着性、耐候性、化学的耐熱性(熱分
解温度が高い)等に優れているために、汎用のプラスチ
ックでは使用できない種々の用途に用いられている。特
開平1−13125号公報においてCF2=CFO(C
F2)nCF=CF2が環化重合し、環状構造を有するた
め溶媒可溶で低屈折率、低誘電率の重合体を与えること
が知られている。
の、ガラス転移温度(Tg )がn=1の重合体で69
℃、n=2の場合においても108℃であるため、熱変
形温度があまり高くなく高温での使用には不十分である
という問題があった。含フッ素脂肪族環構造を有する重
合体のこのような欠点を解消して高温使用に耐え得る熱
変形温度の向上した架橋物を与えるために、以下のよう
な方法が有効であることが明らかになっている。
重合体と、含フッ素脂肪族環構造を有しその分子内に−
NH2 基を有する重合体とを加熱により架橋すること
で、前述の欠点を解決する重合体が得られることを本出
願人は見出している。このようにすることによって、機
械的耐熱性にかなりの向上が見られたが、末端基の異な
る2種類の重合体を調製しなければならなかった。
な欠点を克服するため、含フッ素脂肪族環構造を有する
重合体などの非晶質含フッ素重合体溶液から、高温での
機械的耐熱性が改良された架橋物を製造する方法、およ
びそのための非晶質含フッ素重合体溶液組成物を新規に
提供することを目的とする。
または側鎖の末端にシアノ基、アミジン基またはイミド
イルアミジン基を有し、かつ主鎖に含フッ素脂肪族環構
造を有する非晶質含フッ素重合体を、トリアジン環形成
反応させることを特徴とする架橋した含フッ素重合体の
製造方法、および、重合体の主鎖または側鎖の末端にシ
アノ基を有し、かつ主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有す
る非晶質含フッ素重合体とアミジン基含有化合物または
イミドイルアミジン基含有化合物とを含有する、含フッ
素重合体溶液組成物、および、重合体の主鎖または側鎖
の末端にシアノ基を有し、かつ主鎖に含フッ素脂肪族環
構造を有する非晶質含フッ素重合体とシアノ基の三量化
によるトリアジン環形成反応を促進する触媒とを含有す
る含フッ素重合体溶液組成物を提供する。
合体の主鎖または側鎖の末端にシアノ基、アミジン基ま
たはイミドイルアミジン基を有し、かつ主鎖に含フッ素
脂肪族環構造を有する、溶媒に可溶な重合体である。好
適な例としては、含フッ素溶媒に可溶な重合体であって
該重合体の主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する非晶質
含フッ素重合体が挙げられる。重合体の主鎖が、モノマ
ーを重合して得られる繰り返し単位中に含フッ素脂肪族
環構造を有するものであることが好ましい。
質含フッ素重合体(以下、単に非晶質含フッ素重合体と
も記す。)の具体例としては、CF2=CFO(CF2)
nCF=CF2(n=1〜3)の環化重合体、パーフルオ
ロ(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソール)または
パーフルオロ−1,3−ジオキソールの単独重合体が挙
げられる。これらのモノマーの複数を用いた共重合体も
好適である。また、これらのモノマーとテトラフルオロ
エチレンなどのモノマーとの共重合体も非晶質であれば
用いうる。
量は重合体組成や用途により異なるが、コーティング材
料として用いるためには数平均または重量平均の平均分
子量がおよそ1000〜107 、特には104 〜5×1
06 のものが好ましい。
たり、含フッ素重合体本来の優れた耐熱性などの物性が
損なわれる場合がある。また、分子量が106 を超えか
つ溶媒に可溶な重合体の入手または合成は必ずしも容易
でない。基本的には、重合体が溶媒に可溶であって溶液
の粘度が106 cP(センチポアズ)以下、好ましくは
105 cP以下、さらに好ましくは104 cP以下であ
れば分子量の上限はない。
弾性による方法などにより直接求めうる。また、予めそ
れらの方法で得られたデータを用いて検量線を作製すれ
ば、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーや固有粘
度[η]を測定することにより、分子量を算出しうる。
赤外吸収スペクトルや核磁気共鳴スペクトルによる末端
基の分析によっても求めうる。主鎖に環構造を有する非
晶質パーフルオロ重合体の場合には、パーフルオロ(2
−ブチルテトラヒドロフラン)中30℃で測定される固
有粘度[η]が0.02〜5dl/g、特には0.05
〜1dl/gの重合体が好ましい。
は、1)シアノ基含有モノマーをラジカル共重合する方
法、2)側鎖または主鎖の末端に導入されたアルコキシ
カルボニル基をアンモニアでアミドに変換した後、五酸
化リン、無水トリフルオロ酢酸/ピリジンなどで脱水し
てシアノ基に変換する方法などがある。
オロ(3,6−ジオキサ−4−メチル−7−オクテノニ
トリル)、パーフルオロ(4,7−ジオキサ−5−メチ
ル−8−ノネノニトリル)、パーフルオロ(5,8−ジ
オキサ−6−メチル−9−デセノニトリル)、パーフル
オロ(5−オキサ−6−ヘプテノニトリル)、パーフル
オロ(6−オキサ−7−オクテノニトリル)、パーフル
オロ(7−オキサ−8−ノネノニトリル)、パーフルオ
ロ(2,5−ジメチル−4,7−ジオキサ−8−ノネノ
ニトリル)などのシアノ基含有ビニルエーテル、パーフ
ルオロ(3−ブテノニトリル)、パーフルオロ(4−ペ
ンテノニトリル)、パーフルオロ(5−ヘキセノニトリ
ル)などのシアノ基含有α−オレフィンやパーフルオロ
アクリロニトリルを例示しうる。
基が導入されていることが好ましい。側鎖にアルコキシ
カルボニル基を導入した後、シアノ基に変換する場合に
は、アルコキシカルボニル基は、例えば上述のシアノ基
含有モノマーにおいてシアノ基がアルコキシカルボニル
基に置換された構造を有するモノマーを共重合すること
により導入される。
の末端にアミジン基(−C(=NH)NH2)またはイ
ミドイルアミジン基(−C(=NH)N=C(NH2)
−)を有する非晶質含フッ素重合体は、重合体の主鎖ま
たは側鎖の末端にシアノ基を有する非晶質含フッ素重合
体とアンモニアとを反応させることにより得ることがで
きる。
は、以下の非プロトン性含フッ素化合物を例示しうる。
例えば、パーフルオロベンゼン、ペンタフルオロベンゼ
ン、1,3−ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン、
1,4−ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン等のポリ
フルオロ芳香族化合物、パーフルオロトリブチルアミ
ン、パーフルオロトリプロピルアミン等のポリフルオロ
トリアルキルアミン化合物、パーフルオロヘキサン、パ
ーフルオロオクタン、パーフルオロデカン、パーフルオ
ロドデカン、パーフルオロ−2,7−ジメチルオクタ
ン、1,1,2−トリクロロ−1,2,2−トリフルオ
ロエタン、1,1,1−トリクロロ−2,2,2−トリ
フルオロエタン、1,3−ジクロロ−1,1,2,2,
3−ペンタフルオロプロパン、1,1,1,3−テトラ
クロロ−2,2,3,3−テトラフルオロプロパン、
1,1,3,4−テトラクロロ−1,2,2,3,4,
4−ヘキサフルオロブタン、パーフルオロ−1,2−ジ
メチルヘキサン、パーフルオロ−1,3−ジメチルヘキ
サン、2H,3H−パーフルオロペンタン、1H−パー
フルオロヘキサン、1H−パーフルオロオクタン、1H
−パーフルオロデカン、1H,1H,1H,2H,2H
−パーフルオロヘキサン、1H,1H,1H,2H,2
H−パーフルオロオクタン、1H,1H,1H,2H,
2H−パーフルオロデカン(以下、化合物Aとい
う。)、3H,4H−パーフルオロ−2−メチルペンタ
ン、2H,3H−パーフルオロ−2−メチルペンタン、
1H−1,1−ジクロロパーフルオロプロパン、1H−
1,3−ジクロロパーフルオロプロパン等のポリフルオ
ロアルカン化合物、パーフルオロデカリン、パーフルオ
ロシクロヘキサン、パーフルオロ−1,3,5−トリメ
チルシクロヘキサン等のポリフルオロシクロアルカン化
合物、パーフルオロ−2−ブチルテトラヒドロフラン等
のポリフルオロ環状エーテル化合物、フッ素含有低分子
量ポリエーテルなどを単独でまたは混合して用いうる
が、これらの他にも広範な化合物を用いうる。
ルアミジン基を有する重合体の場合には、溶媒が非プロ
トン性含フッ素溶媒単独では高粘度化またはゲル化が起
こり易い。この場合、プロトン性含フッ素化合物を非プ
ロトン性含フッ素化合物100重量部に対して0.01
〜50重量部、好ましくは0.1〜20重量部添加する
と粘度を低減しうる。重合体を溶解できる場合には、プ
ロトン性含フッ素化合物を単独で用いてもよい。
ルオロエタノール、2,2,3,3,3−ペンタフルオ
ロプロパノール、2−(パーフルオロブチル)エタノー
ル、2−(パーフルオロヘキシル)エタノール(以下、
化合物Bという。)、2−(パーフルオロオクチル)エ
タノール、2−(パーフルオロデシル)エタノール、2
−(パーフルオロ−3−メチルブチル)エタノール、1
H,1H,3H−テトラフルオロ−1−プロパノール、
1H,1H,5H−オクタフルオロ−1−ペンタノー
ル、1H,1H,7H−ドデカフルオロ−1−ヘプタノ
ール、1H,1H,9Hーヘキサデカフルオロ−1−ノ
ナノール、2H−ヘキサフルオロ−2−プロパノール、
1H,1H,3H−ヘキサフルオロ−2−ブタノールな
どの含フッ素アルコールやトリフルオロ酢酸、パーフル
オロプロパン酸、パーフルオロブタン酸、パーフルオロ
ペンタン酸、パーフルオロヘキサン酸、パーフルオロヘ
プタン酸、パーフルオロオクタン酸、パーフルオロノナ
ン酸、パーフルオロデカン酸、3H−テトラフルオロプ
ロパン酸、5H−オクタフルオロペンタン酸、7H−ド
デカフルオロヘプタン酸、9H−ヘキサデカフルオロノ
ナン酸などの含フッ素カルボン酸、これら含フッ素カル
ボン酸のアミド、トリフルオロメタンスルホン酸、ヘプ
タデカフルオロオクタンスルホン酸などの含フッ素スル
ホン酸などを用いうる。
グ用途にあっては、沸点が1mmHgで300℃以下で
あって、1気圧で20℃以上のものが用いられる。好ま
しくは、1気圧で40〜300℃である。
シアノ基を有する重合体をトリアジン環形成反応を促進
する触媒の存在下で加熱することにより、前記重合体と
アミジン基含有化合物もしくはイミドイルアミジン基含
有化合物との混合物を加熱することにより、または前記
重合体のシアノ基をアンモニアによりアミジン基もしく
はイミドイルアミジン基に変換した重合体を加熱するこ
とにより、高温での機械的耐熱性が改良されたトリアジ
ン環を有する架橋重合体を得ることができる。前記加熱
温度は、100℃〜400℃、好ましくは200℃〜3
50℃が採用される。
を有する非晶質含フッ素重合体を含有する非晶質含フッ
素重合体溶液を基材にコーティングした後、アンモニア
ガスと接触させることにより、トリアジン環を有する重
合体のコーティング膜を基材に形成させうる。また、シ
アノ基含有重合体の溶液を基材にコーティングした後、
100℃〜400℃、好ましくは200℃〜350℃
で、アンモニアガスと接触させることにより、トリアジ
ン環を有する架橋重合体のコーティング膜を得ることが
できる。
ン基含有化合物としては、以下の化学式で示される化合
物などが例示される。この他にもアミジン基またはイミ
ドイルアミジン基を有する広範な化合物を用いうる。
なわちシアノ基の三量化によるトリアジン環形成反応を
促進する触媒としては、有機過酸化物系触媒、ビスアゾ
化合物系触媒、遷移金属化合物系触媒などが用いられ
る。遷移金属化合物系触媒が好ましく用いられ、具体的
には、亜鉛、マンガン、コバルトなどのパーフルオロカ
ルボン酸塩、などを例示しうる。この他にも銅、銀、カ
ドミウムなどの多くの遷移金属の化合物を用いうる。特
に、パーフルオロカルボン酸塩は含フッ素溶媒への溶解
性が良好で好ましい。また、tert−ブチルハイドロ
パーオキシドなどの過酸化物の添加によっても架橋反応
を進行せしめうる。 本発明で得られる架橋した非晶質含
フッ素重合体の用途として、半導体分野では、トランジ
スタ、IC、LSIやマルチチップモジュールの封止
材、バッファーコート膜、パッシベーション膜、層間絶
縁膜に適用しうる。特にこれらの用途において該非晶質
含フッ素重合体が、半導体製造工程で200℃以上の高
温で形状を保持する必要がある場合に本発明で得られる
非晶質含フッ素重合体は有用である。
合体は上述の用途に限定されず、様々な用途に用いう
る。窓、ドア、ショーウインドウ、太陽電池、太陽熱温
水器、パーソナルコンピュータ、テレビ、ビデオ再生
器、ビデオ録画器等のディスプレーの反射防止膜として
用いうる。
方式など種々の方式に適用しうる。半導体製造のリソグ
ラフィー工程におけるフォトマスクおよびレチクル上の
ゴミ付着防止に用いられるペリクルと呼ばれる汚染防止
保護器具にも用いうる。その他にも光ファイバーや撥水
撥油コーティングなど様々な用途に適用しうる。
成)」 窒素雰囲気の1000cm3 のフラスコにパーフルオロ
(ブテニルビニルエーテル)132g、パーフルオロ
(3,6−ジオキサ−4−メチル−7−オクテノニトリ
ル)3.28g、ジイソプロピルパーオキシジカーボネ
ートの15重量%1,1,2−トリクロロ−1,2,2
−トリフルオロエタン(R−113)溶液を3.06
g、R−113を2.4g、純水720gを入れ、系内
を3回窒素ガスで置換した後、40℃で40時間懸濁重
合を行った。
重合体を60g得た。この重合体のパーフルオロ(2−
ブチルテトラヒドロフラン)中、30℃における固有粘
度[η]は0.24dl/gであった。NMRよりパー
フルオロ(3,6−ジオキサ−4−メチル−7−オクテ
ノニトリル)単位は共重合体中に1.2モル%導入され
ていることがわかった。この含フッ素重合体の赤外吸収
スペクトルを測定したところ、2260cm-1にシアノ
基による吸収が観測された。
リフルオロエタノール(重量比99.5/0.5)に溶
解し、濃度5重量%の溶液を調製した。室温にて前記溶
液中にアンモニアガスを10分間吹き込み、シアノ基を
アミジン基に変換した。窒素雰囲気下でキャスト膜を作
製し、徐々に昇温し、300℃で2時間保持した。
トリアジン環による吸収が見られた。溶媒に2,2,2
−トリフルオロエタノールを添加しない場合には、溶液
が高粘度化し、キャスト成形が困難であったが、同様の
熱処理によりトリアジン環の形成が見られた。溶媒がパ
ーフルオロトリブチルアミン/化合物B(重量比95/
5)の場合にも、同様にトリアジン環の形成が確認され
た。
ミン/化合物B(重量比95/5)に溶解し、濃度15
重量%の溶液を調製した。室温で10分間アンモニアガ
スを前記溶液中に吹き込んだ後、シリコンウエハーにス
ピンコートし、300℃で1時間熱処理して架橋した。
JIS K5400に従って、碁盤目状の傷を入れて3
50℃で1時間熱処理した。350℃熱処理の前後で碁
盤目の状態が変化していないことが顕微鏡観察で確認さ
れた。
(固有粘度[η]:0.24dl/g)をシリコンウエ
ハーにスピンコートして300℃で10分熱処理した。
JIS K5400に従って、碁盤目状の傷を入れて2
50℃で1時間熱処理したところ、碁盤目間の樹脂の融
着が観察された。
ミン/化合物B(重量比95/5)に溶解し、濃度12
重量%の溶液を調製した。該溶液100重量部に対して
0.15重量部のC8F17C(=NH)NH2を添加し
て、シリコンウエハー上にスピンコートした。350℃
で熱処理して架橋した後、JIS K5400に従っ
て、碁盤目状の傷を入れて350℃で1時間熱処理し
た。350℃熱処理の前後で碁盤目の状態が変化してい
ないことが顕微鏡観察で確認された。400℃の熱処理
でも碁盤目の状態は変化せず、碁盤目間の融着は見られ
なかった。
O)2Znを0.36重量部添加した以外は、実施例3
と同様の実験を行ったが、結果は同じであった。
ミンに溶解して濃度12重量%の溶液を調製した。シリ
コンウェハー上にスピンコートした後、アンモニアガス
に接触させて350℃で2時間熱処理した。実施例3と
同様にして350℃熱処理前後の碁盤目の様子を観察し
たが、重合体の溶融流動による碁盤目間の融着は見られ
なかった。
さ100μmのフィルムを作製した。R−113に浸漬
して、アンモニアガスを3時間吹き込んだ。フィルムを
取り出して乾燥し、赤外吸収スペクトルを測定したとこ
ろ、1655cm-1にアミジン基の吸収が観察された。
このフィルムをオーブンに入れて徐々に昇温し、180
℃で2時間熱処理したところ、1560cm-1にトリア
ジン環による吸収が見られた。このフィルムをさらに3
00℃で2時間加熱したが、1560cm-1の吸収に変
化は見られなかった。
上にスピンコートし、窒素雰囲気下、350℃で1時間
熱処理した。赤外吸収スペクトル(FT−IR)で15
60cm-1に架橋反応によるトリアジン環の吸収が確認
された。さらに、エッチングにより孔径2μmの孔を作
製し、再び350℃で1時間熱処理したが、孔の形の変
化は見られなかった。同様の試験をポリ(パーフルオロ
(ブテニルビニルエーテル))([η]:0.24)で
行ったところ、エッチング後の熱処理で孔は潰れている
のが観察された。
布、熱処理して得られる含フッ素脂肪族環構造を有する
非晶質含フッ素重合体の塗膜は架橋されており、高温の
機械的特性に優れ、外圧に対して変形しにくい。
Claims (3)
- 【請求項1】重合体の主鎖または側鎖の末端にシアノ
基、アミジン基またはイミドイルアミジン基を有し、か
つ主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する非晶質含フッ素
重合体を、トリアジン環形成反応させることを特徴とす
る架橋した非晶質含フッ素重合体の製造方法。 - 【請求項2】重合体の主鎖または側鎖の末端にシアノ基
を有し、かつ主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する非晶
質含フッ素重合体とアミジン基含有化合物またはイミド
イルアミジン基含有化合物とを含有する非晶質含フッ素
重合体溶液組成物。 - 【請求項3】重合体の主鎖または側鎖の末端にシアノ基
を有し、かつ主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する非晶
質含フッ素重合体とシアノ基の三量化によるトリアジン
環形成反応を促進する触媒とを含有する該非晶質含フッ
素重合体溶液組成物。
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1994
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