JP3393858B2 - 搬送システム - Google Patents

搬送システム

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    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G37/00—Combinations of mechanical conveyors of the same kind, or of different kinds, of interest apart from their application in particular machines or use in particular manufacturing processes
    • B65G37/02—Flow-sheets for conveyor combinations in warehouses, magazines or workshops

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】本発明は、集積半導体生産品(integrated
semiconductor products)を、建物内の処理装置間で搬
送するための搬送システムであって、該搬送システム
が、処理装置に対して天井によって分離されていて、該
天井の開口部内に搬送システムと処理装置との間の供給
装置を有している形式のものに関する。このような搬送
システムは、特開平０６−１４３０６７号公報に開示さ
れている。
【０００２】最近の工業生産品は、一般に高度のオート
メーション化を特徴としている。これは、処理しようと
する生産品の本来の処理にも、また処理しようとする生
産品を一方の処理装置から他方の処理装置へ搬送するこ
とにも関連している。特に半導体工業においては、国際
的な競争力を得るために、高度のオートメーション化が
不可欠である。
【０００３】集積半導体生産品の製造中、生産品は６０
０段階までのプロセスで処理される。この６００プロセ
ス段階は、大部分がクリーンルーム内での非常に高度な
処理装置だけによって行うことができる。この場合、多
くの同形式の処理装置が１つの処理領域（“Ｂａｙ”）
にまとめられ、この際に通常は多数の処理領域が一緒
に、１つの工場建物の１つの階（フロアー）にまとめて
設けることができる。
【０００４】処理しようとする半導体ウェーハを個別の
処理領域若しくは処理装置に搬送するために、工場建物
の、処理装置も設けられている同じ階に搬送システムも
設けられている。この場合、２つの処理領域間の搬送は
例えばその階の天井に設けられたレール走行式の車両
（モノレール）を介して行われる。多くの場合、各処理
領域には、いわゆるストッカー(Stocker)が設けられて
おり、これらのストッカーは、処理領域のために規定さ
れた半導体ウェーハを一時的に貯蔵することができる。
【０００５】この場合、中間貯蔵部から本来の処理装置
への半導体ウェーハの搬送は、ロボット、レール走行式
のロボット、階の床に設けられたレール走行式の車両又
は無人の車両（ “Automated Guided Vehicles" AGV；
自動ガイド式車両）を介して行われる。
【０００６】しかしながらこのような形式の搬送システ
ムは一連の欠点を有している。第１に、搬送速度が遅
い。一方の処理装置から他方の処理装置への搬送は１０
分及びそれ以上かかる。第２に、搬送制御ソフトウエア
は非常に複雑である。従って、障害物特に処理装置は迂
回して、搬送の優先性を与える必要がある。追い越し過
程を行う必要がある。交差及び分岐を考慮する必要があ
る。さらにまた、中間貯蔵部は処理領域内で、本来の製
造のために有効に利用され得る非常に大きい設置面を必
要とする。
【０００７】そこで本発明の課題は、処理しようとする
生産品を中間貯蔵及び搬送するための搬送システム及び
装置を改良して、従来技術における以上のような欠点を
回避するか又は減少させるようなものを提供することで
ある。
【０００８】この課題は、請求項１に記載した搬送シス
テムによれば、複数の処理装置がまとめられている処理
領域に相応して、前記搬送システムが内部領域−搬送シ
ステムに分割されており、これらの内部領域−搬送シス
テムが供給装置を介して処理領域に接続され、かつ１つ
の内部領域−搬送システムによって互いに接続されてお
り、該内部領域−搬送システムが半導体生産品を中間貯
蔵するための少なくとも１つの貯蔵領域を有していて、
それによって貯蔵部が処理領域に応じて分割されてお
り、搬送システムが、処理装置の上で、クリーンエア供
給部のために設けられた階に配置されており、前記供給
装置がリフトである、ことによって解決された。
【０００９】本発明による搬送システムは、構造的に処
理装置とは分離されている、という利点を有している。
これによって、著しく高い搬送速度が得られる。搬送シ
ステムの面上の各位置は自由に選択可能に得られ、エラ
ーが生じた場合には、いつでもアクセス可能である。制
御ソフトウエアの複雑さは明確に減少される。処理装置
の面若しくは階において天井に多く用いられていたレー
ルは省くことができる。処理装置の面上のスペース高さ
は、１メートルまでに減少される。わずかなクリーンル
ーム条件を維持するだけでよいので、搬送システムのデ
ザインは非常に簡単である。搬送システムは、処理装置
を巻き添えにすることなしに、組み立てて待機させるこ
とができる。さらにまた本発明による搬送システムは、
処理装置のそれぞれ任意の配置に容易に合致させること
ができる。このためには大抵の場合、制御ソフトウエア
を合わせるだけでよい。処理装置の面上若しくは階上の
処理領域内での中間貯蔵は省くことができる。従って各
処理領域は１つ又は２つの付加的な処理装置を収容する
ことができる。搬送システムは処理領域に従って分割さ
れており、この場合、分割部はそれぞれ少なくとも１つ
の内部領域−搬送システムを有していて、少なくとも１
つの内部領域−搬送システムによって互いに接続されて
いる。この場合、貯蔵領域も処理領域に従って分割され
ているか、又は相応に多数の領域の本発明による搬送シ
ステム内に設けられている。この場合、搬送システムか
ら処理装置への供給を行う供給装置は、内部領域−搬送
システムによって得られる。
【００１０】有利には、処理しようとする生産品（半導
体生産品）は、内部領域−搬送システム内でそれぞれ、
第１の搬入及び搬出領域と貯蔵領域と少なくとも１つの
第２の搬入及び搬出領域との間で搬送可能であって、貯
蔵領域は水平で平らな面として構成されている。
【００１１】有利には搬送システムは処理装置上で、特
にクリーンエア供給のための設けられた階に配置されて
いる。今日一般的な半導体工業においては、処理装置が
設けられている階の上の階は、いわゆる“Filter Fan U
nits（フィルターファンユニット）”によるクリーンエ
ア供給のためにだけ使用されるので、この階には十分な
スペースが提供されている。
【００１２】有利には搬送システムは処理装置上に配置
されている。今日一般的な半導体工業においては、処理
装置が設けられている階の上の階は、いわゆる“Filter
Fan Units（フィルターファンユニット）”によるクリ
ーンエア供給のためにだけ使用されるので、この階には
十分なスペースが提供されている。
【００１３】さらにまた、天井に設けられた開口部を通
しての搬送システムから処理装置への供給部がリフトと
して構成されていれば有利である。このリフトは、付加
的に容易にアクセス（接近）可能な短時間中間貯蔵部と
して使用される。
【００１４】図１には、本発明による搬送システム１の
概略図が示されている。本発明による搬送システム１
は、天井７によって処理装置５に対して分離されてい
る。この処理装置５は搬送システム１の１階下に設けら
れている。天井７に設けられた開口部８（図２参照）を
通じてリフトとして構成された供給装置４が、搬送シス
テム１を処理装置５に接続する。
【００１５】各処理装置５は、処理領域６に集められて
いる。それに応じて搬送システム１も多数の区分２に分
けられている。この場合、区分２はそれぞれ１つの本発
明による装置１０を有しており、この装置１０は、図３
に示されているように、処理しようとする生産品を中間
貯蔵し、かつ搬送するためのものである。区分２は、内
部領域搬送システム３によって接続されており、この内
部領域搬送システム３は床面上でレール走行式の車両８
（図示せず）を有している。
【００１６】図２には、本発明による別の搬送システム
の概略図が示されている。図１に示されているように、
本発明による搬送システム１は天井７によって処理装置
５に対して仕切られており、この処理装置５は、搬送シ
ステム１の１階下に設けられている。天井７に設けられ
た開口部８を通して、リフトとして構成された供給装置
４は、搬送システム１を処理装置５に接続する。
【００１７】処理装置が設けられている階（フロアー）
の下に、別の階９が設けられており、この別の階９には
別の支持装置が設けられている。
【００１８】搬送システム１と処理装置５とを構造的に
分離したことによって、著しく高速な搬送速度が得られ
る。搬送システム１の面上の各位置は、エラーが生じた
場合には、自由に選択可能であって、いつでもアクセス
（接近）可能である。前述のように、搬送システム１
は、処理装置５を巻き添えにすることなしに、組み立て
て待機させることができる。さらにまた本発明による搬
送システム１は処理装置５の任意の配置に適合させるこ
とができる。このためにはたいていの場合は、制御ソフ
トウエアを合わせるだけでよい。
【００１９】図３には、処理しようとする生産品を中間
貯蔵し、かつ搬送するための本発明による装置１０が概
略的に示されている。この場合、本発明による装置１０
は、本発明による搬送システム１の一部を形成する。本
発明による装置１０は、区分２内でそれぞれ１つの内部
領域−搬送システムを形成する（図１参照）。
【００２０】本発明による装置１０は、搬送装置として
搬送クレーン１４を有しており、この搬送クレーン１４
は、レール１８上を走行する、テレスコープアーム１６
を備えたキャリッジ１５を有している。テレスコープア
ーム１６の端部にはグリッパ１７が取り付けられてい
る。搬送クレーン１４は、貯蔵領域１１上に配置されて
いて、この貯蔵領域１４は、水平で平らな面として構成
されている。この場合、処理しようとする生産品２０は
貯蔵領域１１内で３列に配置されている。この場合、処
理しようとする生産品２０は半導体ウェーハより成って
おり、これらの半導体ウェーハはルーズに（ゆるく）ま
とめられている。
【００２１】さらに、この装置１０は２つの搬入及び搬
出領域１２，１３を有している。この場合、搬入及び搬
出領域１２は半導体ウェーハを内部領域−搬送システム
３（図１参照）から引き取るために用いられ、搬入及び
搬出領域１３は、半導体ウェーハをリフト４（処理装置
５に通じる）から半導体ウェーハを引き取るために使用
される。
【００２２】貯蔵領域１１によって、従来一般的であっ
た処理領域６内での中間貯蔵を省くことができる。従っ
て各処理領域６の１つ又は２つの付加的な処理装置５を
受容することができる。 ［図面の簡単な説明］
【図１】本発明による搬送システムの概略図である。
【図２】本発明による別の搬送システムの概略図であ
る。
【図３】処理しようとする生産品を中間貯蔵し、かつ搬
送するための、本発明による装置の概略図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ユルゲン グリーシング ドイツ連邦共和国 バルトハム シュレ ードルンヴェーク ６ (72)発明者 フーベルト ヤーニッヒ オーストリア国 モースブルク ザイク ビッヒル 63 (56)参考文献 特開 平６−143067（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−236914（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−117512（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−179506（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 H01L 21/02

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 集積半導体生産品（２０）を、建物内の
    処理装置（５）間で搬送するための搬送システムであっ
    て、該搬送システム（１）が、処理装置（５）に対して
    天井（７）によって分離されていて、該天井（７）の開
    口部（８）内に搬送システム（１）と処理装置（５）と
    の間の供給装置（４）を有している形式のものにおい
    て、 複数の処理装置（５）がまとめられている処理領域
    （６）に相応して、前記搬送システム（１）が内部領域
    −搬送システム（１０）に分割されており、これらの内
    部領域−搬送システム（１０）が供給装置（４）を介し
    て処理領域（６）に接続され、かつ１つの内部領域−搬
    送システム（１０）によって互いに接続されており、該
    内部領域−搬送システム（１０）が半導体生産品（２
    ０）を中間貯蔵するための少なくとも１つの貯蔵領域
    （１１）を有していて、それによって貯蔵部が処理領域
    に応じて分割されており、搬送システムが、処理装置
    （５）の上で、クリーンエア供給部のために設けられた
    階に配置されており、前記供給装置（４）がリフトであ
    ることを特徴とする、搬送システム。
  2. 【請求項２】 処理しょうとする生産品としての半導体
    生産品（２０）が内部領域−搬送システム（１０）内
    で、それぞれ第１の搬入及び搬出領域（１２）と貯蔵領
    域（１１）と少なくとも１つの第２の搬入及び搬出領域
    （１３）との間で搬送可能である、請求項１記載の装
    置。
  3. 【請求項３】 貯蔵領域（１１）が水平で平らな面とし
    て構成されている、請求項１又は２記載の搬送システ
    ム。
  4. 【請求項４】 前記リフト（４）が付加的に短時間中間
    貯蔵部として使用可能である、請求項１記載の搬送シス
    テム。
  5. 【請求項５】 内部領域−搬送システム（１０）が、グ
    リッパ（１７）を備えたそれぞれ１つの搬送クレーン
    （１４）を有している、請求項１から４までのいずれか
    １項記載の搬送システム。
  6. 【請求項６】 内部領域−搬送システム（３）がコンベ
    ヤシステムとして又はレール走行式システムとして構成
    されている、請求項１から３までのいずれか１項記載の
    搬送システム。
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1159829A (ja) * 1997-08-08 1999-03-02 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法
DE19913628A1 (de) * 1999-03-25 2000-10-05 Siemens Ag Anlage zur Fertigung von Halbleiterprodukten
US6354781B1 (en) 1999-11-01 2002-03-12 Chartered Semiconductor Manufacturing Company Semiconductor manufacturing system
DE10013833A1 (de) * 2000-03-16 2001-09-20 Dresden Ev Inst Festkoerper Vorrichtung zum vertikalen Transportieren von Produkten
DE10157192A1 (de) * 2001-11-23 2003-06-12 Ortner C L S Gmbh Lagereinrichtung
US6946343B2 (en) * 2003-04-03 2005-09-20 United Microelectronics Corp. Manufacturing method of an integrated chip
DE102007058650B3 (de) * 2007-12-04 2009-07-30 Horst-Walter Hauer Druckereianlage
FR3078957B1 (fr) * 2018-03-19 2021-05-21 Fives Cinetic Systeme de transfert de pieces pour atelier

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2613072B2 (de) * 1976-03-26 1981-07-16 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Implantierbare Elektrode
DE2618237A1 (de) * 1976-04-26 1977-11-10 Inventio Ag Foerderanlage fuer horizontal- und vertikaltransport
DE3320742A1 (de) * 1983-06-09 1984-12-13 BMD Badische Maschinenfabrik Durlach GmbH, 7500 Karlsruhe Etagenfoerderer fuer eine giessereianlage
DE3630780A1 (de) * 1986-09-10 1988-03-24 Trapp & Partner Ag Fuer Neue T Zwischenspeicher zur zeitweisen lagerung von gegenstaenden
US4917227A (en) * 1986-09-11 1990-04-17 Kabushiki Kaisha Toshiba Conveyance system for article container case
FI86834C (fi) * 1988-05-11 1992-10-26 Tamglass Eng Oy Mellanlagringssystem foer glasskivpar i en vindruteproduktionslinje
US4986715A (en) * 1988-07-13 1991-01-22 Tokyo Electron Limited Stock unit for storing carriers
JPH06143067A (ja) * 1992-10-29 1994-05-24 Sando Yakuhin Kk 高品質製品の製造プラント
JPH06179506A (ja) * 1992-12-14 1994-06-28 Daifuku Co Ltd 搬送及び床置き保管装置
US5351801A (en) * 1993-06-07 1994-10-04 Board Of Regents - Univ. Of Nebraska Automated laboratory conveyor system
US5344365A (en) * 1993-09-14 1994-09-06 Sematech, Inc. Integrated building and conveying structure for manufacturing under ultraclean conditions
JPH1070055A (ja) * 1996-08-28 1998-03-10 Sony Corp 半導体装置生産用クリーンルーム

Also Published As

Publication number Publication date
EP1021823A2 (de) 2000-07-26
WO1999012192A2 (de) 1999-03-11
EP1021823B1 (de) 2004-04-28
KR100374085B1 (ko) 2003-03-03
TW434173B (en) 2001-05-16
IL134757A0 (en) 2001-04-30
DE19737839A1 (de) 1999-03-11
KR20010023503A (ko) 2001-03-26
AU1020099A (en) 1999-03-22
CN1278361A (zh) 2000-12-27
ATE265742T1 (de) 2004-05-15
DE19737839C2 (de) 2001-03-08
JP2001515269A (ja) 2001-09-18
CN1133200C (zh) 2003-12-31
WO1999012192A3 (de) 1999-09-23

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