JP3391317B2 - 不揮発性半導体装置の製造方法 - Google Patents
不揮発性半導体装置の製造方法Info
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/401—Multistep manufacturing processes
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-
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- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
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-
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/30—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B69/00—Erasable-and-programmable ROM [EPROM] devices not provided for in groups H10B41/00 - H10B63/00, e.g. ultraviolet erasable-and-programmable ROM [UVEPROM] devices
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、不揮発性半導体装
置の製造方法に関する。
置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の不揮発性半導体装置の製造方法を
フラッシュメモリの場合を挙げて説明する。
フラッシュメモリの場合を挙げて説明する。
【0003】まず、図4(a)に示すように、シリコン
基板1上に常法により素子分離2を形成し、シリコン基
板表面にシリコン酸化膜を形成する。続いて、しきい値
を調整するために、このシリコン酸化膜を介してシリコ
ン基板表面にボロン等の不純物のイオン注入を行う。次
いで、このシリコン酸化膜を除去した後、熱酸化法によ
りシリコン酸化膜からなるトンネル酸化膜3を形成す
る。
基板1上に常法により素子分離2を形成し、シリコン基
板表面にシリコン酸化膜を形成する。続いて、しきい値
を調整するために、このシリコン酸化膜を介してシリコ
ン基板表面にボロン等の不純物のイオン注入を行う。次
いで、このシリコン酸化膜を除去した後、熱酸化法によ
りシリコン酸化膜からなるトンネル酸化膜3を形成す
る。
【0004】次に、図4(b)に示すように、全面に、
後に浮遊ゲートとなる多結晶シリコン層4を堆積する。
導電性付与のための不純物は、多結晶シリコン層の形成
時に同時に導入してもよいし、形成後にイオン注入によ
り導入してもよい。ここでは、多結晶シリコン層の形成
と同時にP等のN型不純物を導入する。
後に浮遊ゲートとなる多結晶シリコン層4を堆積する。
導電性付与のための不純物は、多結晶シリコン層の形成
時に同時に導入してもよいし、形成後にイオン注入によ
り導入してもよい。ここでは、多結晶シリコン層の形成
と同時にP等のN型不純物を導入する。
【0005】次いで、図4(c)に示すように、リソグ
ラフィ技術とドライエッチング技術により多結晶シリコ
ン層4のパターニングを行って、浮遊ゲート5を形成す
る。
ラフィ技術とドライエッチング技術により多結晶シリコ
ン層4のパターニングを行って、浮遊ゲート5を形成す
る。
【0006】その後、図4(d)に示すように、ONO
膜(シリコン酸化膜/シリコン窒化膜/シリコン酸化
膜)等のゲート間絶縁膜6を形成する。
膜(シリコン酸化膜/シリコン窒化膜/シリコン酸化
膜)等のゲート間絶縁膜6を形成する。
【0007】次に、多結晶シリコン層を全面に形成した
後、P等のN型不純物のイオン注入を行い、続いてリソ
グラフィ技術とドライエッチング技術によりパターニン
グを行って、図4(e)に示すように制御ゲート7を形
成する。
後、P等のN型不純物のイオン注入を行い、続いてリソ
グラフィ技術とドライエッチング技術によりパターニン
グを行って、図4(e)に示すように制御ゲート7を形
成する。
【0008】その後、常法により、ソース・ドレインの
形成のための不純物イオン注入を行う。
形成のための不純物イオン注入を行う。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような不揮発性半導体装置の製造方法には次のような問
題があった。
ような不揮発性半導体装置の製造方法には次のような問
題があった。
【0010】上記の図4(c)に示すように、従来の方
法で形成された浮遊ゲート5は、その両端に鋭角に切り
立った角部を有しており、またゲート表面も多結晶シリ
コンのグレインによる凹凸が存在する。そのため、この
ような浮遊ゲート上にゲート間絶縁膜6及び制御ゲート
7が積層された構成(図4(e))においては、浮遊ゲ
ート両端の角部や浮遊ゲート表面の凹凸部で局所的に電
界が集中してリーク電流が生じ、その結果、消去バラツ
キや保持特性の低下など、素子特性のバラツキや低下が
起きる。このようなリーク電流は特に浮遊ゲート両端の
角部において著しい。
法で形成された浮遊ゲート5は、その両端に鋭角に切り
立った角部を有しており、またゲート表面も多結晶シリ
コンのグレインによる凹凸が存在する。そのため、この
ような浮遊ゲート上にゲート間絶縁膜6及び制御ゲート
7が積層された構成(図4(e))においては、浮遊ゲ
ート両端の角部や浮遊ゲート表面の凹凸部で局所的に電
界が集中してリーク電流が生じ、その結果、消去バラツ
キや保持特性の低下など、素子特性のバラツキや低下が
起きる。このようなリーク電流は特に浮遊ゲート両端の
角部において著しい。
【0011】そこで本発明の目的は、上記の問題を解決
し、素子特性のバラツキが小さく、保持特性に優れた不
揮発性半導体装置が作製可能な不揮発性半導体装置の製
造方法を提供することにある。
し、素子特性のバラツキが小さく、保持特性に優れた不
揮発性半導体装置が作製可能な不揮発性半導体装置の製
造方法を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、半導体基板上
に、第1絶縁膜、第1多結晶シリコン層、第2絶縁膜、
第2多結晶シリコン層の順で積層された構成を有する不
揮発性半導体装置の製造方法であって、半導体基板上に
第1の絶縁膜を形成後、第1の多結晶シリコン層を形成
する工程と、第1の多結晶シリコン層をパターニングす
る工程と、水素雰囲気下で熱処理する工程と、第2の絶
縁膜を形成する工程と、第2の多結晶シリコン層を形成
する工程と、第2の多結晶シリコン層をパターニングす
る工程を有することを特徴とする不揮発性半導体装置の
製造方法に関する。
に、第1絶縁膜、第1多結晶シリコン層、第2絶縁膜、
第2多結晶シリコン層の順で積層された構成を有する不
揮発性半導体装置の製造方法であって、半導体基板上に
第1の絶縁膜を形成後、第1の多結晶シリコン層を形成
する工程と、第1の多結晶シリコン層をパターニングす
る工程と、水素雰囲気下で熱処理する工程と、第2の絶
縁膜を形成する工程と、第2の多結晶シリコン層を形成
する工程と、第2の多結晶シリコン層をパターニングす
る工程を有することを特徴とする不揮発性半導体装置の
製造方法に関する。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について説明する。
について説明する。
【0014】本発明の製造方法は、半導体基板上に、第
1絶縁膜、第1多結晶シリコン層、第2絶縁膜、第2多
結晶シリコン層の順で積層された構成を有する不揮発性
半導体装置であって、第2絶縁膜および第2多結晶シリ
コン層が第1多結晶シリコン層による段差を覆うように
形成されている構成を有する場合に特に好適である。例
えばフラッシュメモリやEPROM等に好適に適用でき
る。
1絶縁膜、第1多結晶シリコン層、第2絶縁膜、第2多
結晶シリコン層の順で積層された構成を有する不揮発性
半導体装置であって、第2絶縁膜および第2多結晶シリ
コン層が第1多結晶シリコン層による段差を覆うように
形成されている構成を有する場合に特に好適である。例
えばフラッシュメモリやEPROM等に好適に適用でき
る。
【0015】以下、フラッシュメモリの場合を挙げて本
発明を説明する。
発明を説明する。
【0016】まず、図1(a)に示すように、シリコン
基板1上に常法により素子分離2を形成し、シリコン基
板表面に熱酸化法等によりシリコン酸化膜を形成する。
続いて、しきい値を調整するために、このシリコン酸化
膜を介してシリコン基板表面にボロン等の不純物のイオ
ン注入を行う。次いで、このシリコン酸化膜を除去した
後、熱酸化法等によりシリコン酸化膜からなるトンネル
酸化膜3を形成する。トンネル酸化膜の信頼性を高める
ために、酸素に加えてN2OやNO、NO2、NH3等の
窒素含有化合物を含む雰囲気でランプアニールによる酸
化を行ってシリコン窒化酸化膜を形成してもよい。
基板1上に常法により素子分離2を形成し、シリコン基
板表面に熱酸化法等によりシリコン酸化膜を形成する。
続いて、しきい値を調整するために、このシリコン酸化
膜を介してシリコン基板表面にボロン等の不純物のイオ
ン注入を行う。次いで、このシリコン酸化膜を除去した
後、熱酸化法等によりシリコン酸化膜からなるトンネル
酸化膜3を形成する。トンネル酸化膜の信頼性を高める
ために、酸素に加えてN2OやNO、NO2、NH3等の
窒素含有化合物を含む雰囲気でランプアニールによる酸
化を行ってシリコン窒化酸化膜を形成してもよい。
【0017】次に、図1(b)に示すように、全面に、
CVD法により後に浮遊ゲートとなる多結晶シリコン層
4を堆積する。導電性付与のための不純物は、多結晶シ
リコン層の形成時に同時に導入してもよいし、形成後に
イオン注入により導入してもよい。ここでは、多結晶シ
リコン層の形成と同時にP等のN型不純物を導入する。
CVD法により後に浮遊ゲートとなる多結晶シリコン層
4を堆積する。導電性付与のための不純物は、多結晶シ
リコン層の形成時に同時に導入してもよいし、形成後に
イオン注入により導入してもよい。ここでは、多結晶シ
リコン層の形成と同時にP等のN型不純物を導入する。
【0018】次いで、図1(c)に示すように、リソグ
ラフィ技術とドライエッチング技術により多結晶シリコ
ン層4のパターニングを行って、浮遊ゲート5を形成す
る。
ラフィ技術とドライエッチング技術により多結晶シリコ
ン層4のパターニングを行って、浮遊ゲート5を形成す
る。
【0019】次に、図1(d)に示すように、浮遊ゲー
ト5の両端の角がなだらかになり、またゲート表面が平
坦化するように、水素雰囲気下で加熱処理(水素アニー
ル)を行って、浮遊ゲートの形状を変化させる。
ト5の両端の角がなだらかになり、またゲート表面が平
坦化するように、水素雰囲気下で加熱処理(水素アニー
ル)を行って、浮遊ゲートの形状を変化させる。
【0020】この水素アニールの温度は、アニール装置
の種類や装置内の圧力、水素分圧にも依存するが、比較
的短時間で十分な形状変化が生じるように、850℃以
上とすることが好ましい。さらに、900℃以上が好ま
しく、950℃以上がより好ましい。また、アニール温
度の上限としては、装置の耐熱限界や不純物プロファイ
ルの熱拡散変化抑制の点から1200℃以下が好まし
く、1100℃以下がより好ましく、1050℃以下が
さらに好ましい。
の種類や装置内の圧力、水素分圧にも依存するが、比較
的短時間で十分な形状変化が生じるように、850℃以
上とすることが好ましい。さらに、900℃以上が好ま
しく、950℃以上がより好ましい。また、アニール温
度の上限としては、装置の耐熱限界や不純物プロファイ
ルの熱拡散変化抑制の点から1200℃以下が好まし
く、1100℃以下がより好ましく、1050℃以下が
さらに好ましい。
【0021】水素アニールにおける水素雰囲気は、水素
100%雰囲気でよいが、所望のアニール時間内で所望
の形状変化が生じる範囲内で、窒素やアルゴン、ヘリウ
ム等の不活性ガスを混合した混合ガス雰囲気で行っても
よい。また、水素雰囲気の全圧あるいは水素分圧は、安
全性の点から減圧下で行うことが好ましいが、常圧や加
圧下で行うこともできる。減圧下で行う場合は、例えば
5×103Pa〜5×104Pa程度で行うことができ
る。
100%雰囲気でよいが、所望のアニール時間内で所望
の形状変化が生じる範囲内で、窒素やアルゴン、ヘリウ
ム等の不活性ガスを混合した混合ガス雰囲気で行っても
よい。また、水素雰囲気の全圧あるいは水素分圧は、安
全性の点から減圧下で行うことが好ましいが、常圧や加
圧下で行うこともできる。減圧下で行う場合は、例えば
5×103Pa〜5×104Pa程度で行うことができ
る。
【0022】アニール時間は、アニール温度、水素雰囲
気の全圧や水素分圧等により適宜設定されるが、ランプ
アニールを行う場合は、30秒から5分程度の水素アニ
ールで十分な形状変化を起こすことが可能である。
気の全圧や水素分圧等により適宜設定されるが、ランプ
アニールを行う場合は、30秒から5分程度の水素アニ
ールで十分な形状変化を起こすことが可能である。
【0023】水素アニールの加熱方式としては、ランプ
加熱(ランプアニール)方式や、熱拡散炉による加熱方
式を挙げることができる。本発明の水素アニールはラン
プアニールによることが好ましい。ランプアニールは、
熱拡散炉に比べて、昇温と降温が非常に短時間にできる
ため、アニールプロセスを短時間化できる点で生産性に
優れると同時に不純物プロファイルの熱拡散変化を抑え
ることができる。
加熱(ランプアニール)方式や、熱拡散炉による加熱方
式を挙げることができる。本発明の水素アニールはラン
プアニールによることが好ましい。ランプアニールは、
熱拡散炉に比べて、昇温と降温が非常に短時間にできる
ため、アニールプロセスを短時間化できる点で生産性に
優れると同時に不純物プロファイルの熱拡散変化を抑え
ることができる。
【0024】上述のようにして水素アニールを行った
後、図1(e)に示すように、ゲート間絶縁膜6とし
て、CVD法等によりONO膜(シリコン酸化膜/シリ
コン窒化膜/シリコン酸化膜)を形成する。続いて、C
VD法により多結晶シリコン層を全面に形成した後、P
等のN型不純物のイオン注入を行い、次いでリソグラフ
ィ技術とドライエッチング技術によりパターニングを行
って制御ゲート7を形成する。
後、図1(e)に示すように、ゲート間絶縁膜6とし
て、CVD法等によりONO膜(シリコン酸化膜/シリ
コン窒化膜/シリコン酸化膜)を形成する。続いて、C
VD法により多結晶シリコン層を全面に形成した後、P
等のN型不純物のイオン注入を行い、次いでリソグラフ
ィ技術とドライエッチング技術によりパターニングを行
って制御ゲート7を形成する。
【0025】その後、常法により、ソース・ドレインの
形成のための不純物イオン注入を行う。
形成のための不純物イオン注入を行う。
【0026】以上のようにして作製された不揮発性半導
体装置は、図1(d)、(e)に示すように、浮遊ゲー
ト5の両端の角がなだらかになり、そのゲート表面は平
坦化されるため、浮遊ゲート5とその上に積層された制
御ゲート7との間のリーク電流を低減することができ、
消去バラツキや保持特性を改善することができる。さら
に、このようにリーク電流を低減できるため、ゲート間
絶縁膜6を従来より薄く形成することが可能になり、そ
の結果、消去電圧を下げることができ低電圧化が可能と
なる。また、ゲート間絶縁膜6としてONO膜を形成す
る場合、従来は、浮遊ゲート側の酸化膜を厚く形成する
必要があるためにCVD法により成膜を行っていたが、
本発明によれば薄い酸化膜でよいため比較的簡便な熱酸
化法により形成することができる。
体装置は、図1(d)、(e)に示すように、浮遊ゲー
ト5の両端の角がなだらかになり、そのゲート表面は平
坦化されるため、浮遊ゲート5とその上に積層された制
御ゲート7との間のリーク電流を低減することができ、
消去バラツキや保持特性を改善することができる。さら
に、このようにリーク電流を低減できるため、ゲート間
絶縁膜6を従来より薄く形成することが可能になり、そ
の結果、消去電圧を下げることができ低電圧化が可能と
なる。また、ゲート間絶縁膜6としてONO膜を形成す
る場合、従来は、浮遊ゲート側の酸化膜を厚く形成する
必要があるためにCVD法により成膜を行っていたが、
本発明によれば薄い酸化膜でよいため比較的簡便な熱酸
化法により形成することができる。
【0027】本発明においては、水素アニールを行うこ
とによって、浮遊ゲート表面で還元反応が生じ、表面付
近の多結晶シリコンのSi−O結合が切れ、表面マイグ
レーションが起こりやすくなる。その結果、表面自由エ
ネルギーを安定化するために、浮遊ゲート表面は平坦化
され、浮遊ゲート角部はなだらかになると考えられる。
とによって、浮遊ゲート表面で還元反応が生じ、表面付
近の多結晶シリコンのSi−O結合が切れ、表面マイグ
レーションが起こりやすくなる。その結果、表面自由エ
ネルギーを安定化するために、浮遊ゲート表面は平坦化
され、浮遊ゲート角部はなだらかになると考えられる。
【0028】図2に、水素アニールを行った場合と行わ
なかった場合の浮遊ゲート/制御ゲート間のリーク電流
を示す。この図からも明らかなように、水素アニールを
行うことにより、リーク電流が低減されることがわか
る。
なかった場合の浮遊ゲート/制御ゲート間のリーク電流
を示す。この図からも明らかなように、水素アニールを
行うことにより、リーク電流が低減されることがわか
る。
【0029】このリーク電流の測定は、図3に示す構成
を有する半導体装置を用いて行った。図3(a)は、制
御ゲート7の長手方向に沿って切断した断面図であり、
図3(b)は、図3(a)のA−A線断面図である。
を有する半導体装置を用いて行った。図3(a)は、制
御ゲート7の長手方向に沿って切断した断面図であり、
図3(b)は、図3(a)のA−A線断面図である。
【0030】浮遊ゲート5と制御ゲート7間のリーク電
流の測定のために、制御ゲート側では図3(a)に示す
ように層間絶縁膜8上に形成された配線9をコンタクト
9aにより制御ゲート7と導通させ、浮遊ゲート側では
図3(b)に示すように層間絶縁膜8上に形成された配
線10をコンタクト10aにより浮遊ゲート5と導通さ
せた。
流の測定のために、制御ゲート側では図3(a)に示す
ように層間絶縁膜8上に形成された配線9をコンタクト
9aにより制御ゲート7と導通させ、浮遊ゲート側では
図3(b)に示すように層間絶縁膜8上に形成された配
線10をコンタクト10aにより浮遊ゲート5と導通さ
せた。
【0031】浮遊ゲート5の厚さは150nmとし、そ
の不純物(P)濃度は3×1019〜1×1020/cm3
とした。制御ゲート7の厚さは150nmとし、その不
純物(P)濃度は5×1020/cm3とした。第2絶縁
膜はONO膜とし、各層の厚さを順に、6nm/7nm
/6nmとした。
の不純物(P)濃度は3×1019〜1×1020/cm3
とした。制御ゲート7の厚さは150nmとし、その不
純物(P)濃度は5×1020/cm3とした。第2絶縁
膜はONO膜とし、各層の厚さを順に、6nm/7nm
/6nmとした。
【0032】水素アニールは、ランプアニールにより、
水素100%雰囲気下、1.33322×104Pa
(100Torr)、1000℃で1分間行った(昇温時
間:50℃/秒、降温時間:50℃/秒)。
水素100%雰囲気下、1.33322×104Pa
(100Torr)、1000℃で1分間行った(昇温時
間:50℃/秒、降温時間:50℃/秒)。
【0033】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、従来の製造方法で問題であった素子特性のバラ
ツキや低下が抑えられ、また、ゲート間絶縁膜を薄くす
ることができるため、消去電圧を下げることができ低電
圧化が可能となる。
よれば、従来の製造方法で問題であった素子特性のバラ
ツキや低下が抑えられ、また、ゲート間絶縁膜を薄くす
ることができるため、消去電圧を下げることができ低電
圧化が可能となる。
【図1】本発明の製造方法の工程断面図である。
【図2】水素アニールを行った場合と行わなかった場合
の浮遊ゲート/制御ゲート間のリーク電流を示す図であ
る。
の浮遊ゲート/制御ゲート間のリーク電流を示す図であ
る。
【図3】リーク電流を測定するために用いた半導体装置
の説明図である。
の説明図である。
【図4】従来の製造方法の工程断面図である。
1 シリコン基板
2 素子分離
3 トンネル酸化膜
4 多結晶シリコン層
5 浮遊ゲート
6 ゲート間絶縁膜
7 制御ゲート
8 層間絶縁膜
9、10 配線
9a、10a コンタクト
Claims (5)
- 【請求項1】 半導体基板上に、第1絶縁膜、第1多結
晶シリコン層、第2絶縁膜、第2多結晶シリコン層の順
で積層された構成を有する不揮発性半導体装置の製造方
法であって、 半導体基板上に第1の絶縁膜を形成後、第1の多結晶シ
リコン層を形成する工程と、第1の多結晶シリコン層を
パターニングする工程と、水素雰囲気下で熱処理する工
程と、第2の絶縁膜を形成する工程と、第2の多結晶シ
リコン層を形成する工程と、第2の多結晶シリコン層を
パターニングする工程を有することを特徴とする不揮発
性半導体装置の製造方法。 - 【請求項2】 水素雰囲気下での熱処理を850℃以上
で行う請求項1記載のの不揮発性半導体装置の製造方
法。 - 【請求項3】 水素雰囲気下での熱処理をランプアニー
ルにより行う請求項1又は2記載の不揮発性半導体装置
の製造方法。 - 【請求項4】 第2絶縁膜がONO膜である請求項1、
2又は3記載の不揮発性半導体装置の製造方法。 - 【請求項5】 フラッシュメモリの製造方法であって、
第1絶縁膜がトンネル絶縁膜を構成し、パターニングさ
れた第1多結晶シリコン層が浮遊ゲートを構成し、第2
絶縁膜がゲート間絶縁膜を構成し、パターニングされた
第2多結晶シリコン層が制御ゲートを構成する請求項1
〜4のいずれか1項に記載の不揮発性半導体装置の製造
方法。
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JP30906599A JP3391317B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | 不揮発性半導体装置の製造方法 |
US09/698,245 US6387756B1 (en) | 1999-10-29 | 2000-10-30 | Manufacturing method of non-volatile semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP30906599A JP3391317B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | 不揮発性半導体装置の製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2001127178A JP2001127178A (ja) | 2001-05-11 |
JP3391317B2 true JP3391317B2 (ja) | 2003-03-31 |
Family
ID=17988469
Family Applications (1)
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JP30906599A Expired - Fee Related JP3391317B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | 不揮発性半導体装置の製造方法 |
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JP (1) | JP3391317B2 (ja) |
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EP1333473A1 (en) * | 2002-01-31 | 2003-08-06 | STMicroelectronics S.r.l. | Interpoly dielectric manufacturing process for non volatile semiconductor memories |
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JP2004179586A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | Renesas Technology Corp | フラッシュメモリ装置の製造方法 |
KR100520846B1 (ko) * | 2004-05-11 | 2005-10-12 | 삼성전자주식회사 | 플로팅 게이트 형성 방법 및 이를 이용한 불휘발성 메모리장치의 제조방법 |
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JPH10284588A (ja) | 1997-04-11 | 1998-10-23 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
1999
- 1999-10-29 JP JP30906599A patent/JP3391317B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-10-30 US US09/698,245 patent/US6387756B1/en not_active Expired - Fee Related
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US6387756B1 (en) | 2002-05-14 |
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