JP3373079B2 - 光学装置 - Google Patents
光学装置Info
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- JP3373079B2 JP3373079B2 JP10354395A JP10354395A JP3373079B2 JP 3373079 B2 JP3373079 B2 JP 3373079B2 JP 10354395 A JP10354395 A JP 10354395A JP 10354395 A JP10354395 A JP 10354395A JP 3373079 B2 JP3373079 B2 JP 3373079B2
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- light source
- optical
- optical device
- point light
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/124—Details of the optical system between the light source and the polygonal mirror
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Lenses (AREA)
- Lasers (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学装置に関し、より
特定的には、例えば画像記録装置のように、点光源から
出た光束を所定の位置に結像させることによって所定の
光学的走査を行う光学装置に関する。
特定的には、例えば画像記録装置のように、点光源から
出た光束を所定の位置に結像させることによって所定の
光学的走査を行う光学装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体レーザ等の点光源を用いた種々の
光学装置において、光源が何らかの原因で製品寿命以前
に故障する可能性は皆無とは言えない。光源が故障する
と、光源を交換する必要が生じるが、最終像面の焦点深
度が浅い場合、交換前の光源位置と交換後の光源位置と
の間のずれが問題となる。
光学装置において、光源が何らかの原因で製品寿命以前
に故障する可能性は皆無とは言えない。光源が故障する
と、光源を交換する必要が生じるが、最終像面の焦点深
度が浅い場合、交換前の光源位置と交換後の光源位置と
の間のずれが問題となる。
【０００３】図５は、従来の光学装置（例えば、特開平
１−２３１０１５号公報参照）における光学系を概念的
に示す図である。図５において、光源１側の出射光束の
ＮＡ（Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ Ａｐｅｒｔｕｒｅ；以下、
開口数と称す）をＮＡOBJ.、最終像面側の入射光束の開
口数をＮＡIMG.、交換前と交換後の光源１の光軸方向の
位置ずれをΔＺ1 とすると、最終像面の光軸方向の移動
量ΔＺ2 ’は、次式（１）で表される。 ΔＺ2 ’＝（ＮＡOBJ.／ＮＡIMG.）2 ×ΔＺ1 …（１） となる。従って、最終像面の焦点深度をδとすると、鮮
明な光学画像を得るためには、 （ＮＡOBJ.／ＮＡIMG.）2 ×ΔＺ1 ＜δ なる関係を満たす必要がある。
１−２３１０１５号公報参照）における光学系を概念的
に示す図である。図５において、光源１側の出射光束の
ＮＡ（Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ Ａｐｅｒｔｕｒｅ；以下、
開口数と称す）をＮＡOBJ.、最終像面側の入射光束の開
口数をＮＡIMG.、交換前と交換後の光源１の光軸方向の
位置ずれをΔＺ1 とすると、最終像面の光軸方向の移動
量ΔＺ2 ’は、次式（１）で表される。 ΔＺ2 ’＝（ＮＡOBJ.／ＮＡIMG.）2 ×ΔＺ1 …（１） となる。従って、最終像面の焦点深度をδとすると、鮮
明な光学画像を得るためには、 （ＮＡOBJ.／ＮＡIMG.）2 ×ΔＺ1 ＜δ なる関係を満たす必要がある。
【０００４】一般的に、光源側の開口数ＮＡOBJ.は、で
きるだけ大きくしたいという要求がある。これは、開口
数ＮＡOBJ.が大きいと、光源１の出射光量の取り込み量
が増えて、光学的な利用効率が高くなるためである。光
源の光学的な利用効率が高くなると、小パワーの光源を
用いても、最終結像面側で必要な光量を得ることができ
る。一方、一般的な光学機器の場合、最終像面側の開口
数ＮＡIMG.は、機器の仕様によってほぼ決定される。例
えば走査光学系の場合には、走査線密度によって結像ビ
ーム径が決まり、それにより一義的に開口数ＮＡIMG.が
決まる。
きるだけ大きくしたいという要求がある。これは、開口
数ＮＡOBJ.が大きいと、光源１の出射光量の取り込み量
が増えて、光学的な利用効率が高くなるためである。光
源の光学的な利用効率が高くなると、小パワーの光源を
用いても、最終結像面側で必要な光量を得ることができ
る。一方、一般的な光学機器の場合、最終像面側の開口
数ＮＡIMG.は、機器の仕様によってほぼ決定される。例
えば走査光学系の場合には、走査線密度によって結像ビ
ーム径が決まり、それにより一義的に開口数ＮＡIMG.が
決まる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、光源
側の開口数ＮＡOBJ.はできるだけ大きい方が好ましい
が、前述の式（１）から分かるように、光源交換時の最
終像面の移動量ΔＺ2 ’は、開口数ＮＡOBJ.の２乗に比
例して大きくなる。従って、従来は光源側の開口数ＮＡ
OBJ.をむやみに大きくできないという問題点があった。
もし、開口数ＮＡOB J.を大きくして光源の光学的な利用
効率を高めようとすると、光源交換の際、光源の高い位
置決め精度が要求される。従って、構成部品の高精度化
や調整の高精度化が要求され、結果として、交換部品で
あるにもかかわらず高価になると共に、調整に時間がか
かるなどの問題が生じる。
側の開口数ＮＡOBJ.はできるだけ大きい方が好ましい
が、前述の式（１）から分かるように、光源交換時の最
終像面の移動量ΔＺ2 ’は、開口数ＮＡOBJ.の２乗に比
例して大きくなる。従って、従来は光源側の開口数ＮＡ
OBJ.をむやみに大きくできないという問題点があった。
もし、開口数ＮＡOB J.を大きくして光源の光学的な利用
効率を高めようとすると、光源交換の際、光源の高い位
置決め精度が要求される。従って、構成部品の高精度化
や調整の高精度化が要求され、結果として、交換部品で
あるにもかかわらず高価になると共に、調整に時間がか
かるなどの問題が生じる。
【０００６】それ故に、本発明の目的は、光源の光学的
利用効率を下げることなく、光源交換時における位置決
め精度を低下させることのできる光学装置を提供するこ
とである。
利用効率を下げることなく、光源交換時における位置決
め精度を低下させることのできる光学装置を提供するこ
とである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
点光源を用いた光学装置であって、点光源と当該点光源
の中間像を形成するための１個以上の光学素子とを含
み、これら点光源および光学素子が一体的に交換可能に
構成された光源ユニット、および中間像を受けて所定の
位置に最終像面を形成する光学系を備え、点光源に対す
る中間像の横倍率の絶対値ｍがｍ＞１の関係を満たすこ
とを特徴とする、光学装置。
点光源を用いた光学装置であって、点光源と当該点光源
の中間像を形成するための１個以上の光学素子とを含
み、これら点光源および光学素子が一体的に交換可能に
構成された光源ユニット、および中間像を受けて所定の
位置に最終像面を形成する光学系を備え、点光源に対す
る中間像の横倍率の絶対値ｍがｍ＞１の関係を満たすこ
とを特徴とする、光学装置。
【０００８】請求項２に係る発明は、請求項１の発明に
おいて、点光源が半導体レーザであることを特徴とす
る。
おいて、点光源が半導体レーザであることを特徴とす
る。
【０００９】請求項３に係る発明は、請求項１の発明に
おいて、点光源からの光を偏向器で走査することを特徴
とする。
おいて、点光源からの光を偏向器で走査することを特徴
とする。
【００１０】請求項４に係る発明は、請求項１の発明に
おいて、光源ユニットにおける光学素子群を１個の非球
面レンズで構成したことを特徴とする。
おいて、光源ユニットにおける光学素子群を１個の非球
面レンズで構成したことを特徴とする。
【００１１】
【作用】請求項１に係る発明では、一体的に交換可能な
光源ユニットによって点光源の拡大された中間像を形成
し、この中間像を疑似光源として光学系が所定の位置に
最終像面を形成するようにしている。これによって、中
間像直後の開口数ＮＡRE LAY が点光源直後の開口数ＮＡ
OBJ.より小さくなるため、光源ユニットを交換する際の
位置決め精度が、従来の光学装置において光源単体を交
換する場合に比べてラフになったとしても、最終像面側
で所要の精度が維持できるため、安価で調整の容易な光
学装置が実現できる。
光源ユニットによって点光源の拡大された中間像を形成
し、この中間像を疑似光源として光学系が所定の位置に
最終像面を形成するようにしている。これによって、中
間像直後の開口数ＮＡRE LAY が点光源直後の開口数ＮＡ
OBJ.より小さくなるため、光源ユニットを交換する際の
位置決め精度が、従来の光学装置において光源単体を交
換する場合に比べてラフになったとしても、最終像面側
で所要の精度が維持できるため、安価で調整の容易な光
学装置が実現できる。
【００１２】請求項３に係る発明では、点光源からの光
を偏向器で走査することにより、例えば画像の描画が行
えるようにしている。
を偏向器で走査することにより、例えば画像の描画が行
えるようにしている。
【００１３】請求項４に係る発明では、光源ユニットに
おける光学素子群を１個の非球面レンズで構成すること
により、収差のない中間像を得るようにしている。
おける光学素子群を１個の非球面レンズで構成すること
により、収差のない中間像を得るようにしている。
【００１４】
【実施例】図１は、本発明の一実施例に係る光学装置に
おける光ビーム走査系の概略構成を示す図である。図１
において、半導体レーザやガスレーザ、またはＬＥＤ等
によって構成される点光源１から出た光は、リレーレン
ズ２によって収束されて、光源の拡大像である中間像４
を形成する。この光源１とリレーレンズ２は、同一の鏡
筒内に収納されており、光源ユニット３として一体化さ
れている。光源故障時は、光源単独では交換されず、こ
の光源ユニット３の単位で交換される。本実施例では、
光源ユニット３により形成される中間像４を、見かけ上
の新たな光源（以下、疑似光源と称す）として用いてい
る。なお、リレーレンズ２としては、好ましくは、非球
面レンズが用いられる。これによって、中間像４の収差
を無くすことができる。また、光源ユニット３は、図４
に示すように、光源ユニットホルダー１３によって着脱
自在に保持されている。
おける光ビーム走査系の概略構成を示す図である。図１
において、半導体レーザやガスレーザ、またはＬＥＤ等
によって構成される点光源１から出た光は、リレーレン
ズ２によって収束されて、光源の拡大像である中間像４
を形成する。この光源１とリレーレンズ２は、同一の鏡
筒内に収納されており、光源ユニット３として一体化さ
れている。光源故障時は、光源単独では交換されず、こ
の光源ユニット３の単位で交換される。本実施例では、
光源ユニット３により形成される中間像４を、見かけ上
の新たな光源（以下、疑似光源と称す）として用いてい
る。なお、リレーレンズ２としては、好ましくは、非球
面レンズが用いられる。これによって、中間像４の収差
を無くすことができる。また、光源ユニット３は、図４
に示すように、光源ユニットホルダー１３によって着脱
自在に保持されている。
【００１５】上記疑似光源からの出射光束は、コリメー
トレンズ５によって平行光にされた後、偏向器８の回転
軸と垂直な面内に焦点を持つ第１シリンドリカルレンズ
６とスリット７とによって偏向器８の反射面上に線状に
結像される。ポリゴンミラー等の偏向器８によって偏向
された光は、ｆθレンズ９と湾曲した第２シリンドリカ
ルレンズ１０とで構成される第２結像光学系によって、
感材１１上で所定のビーム径で結像される。偏向器８が
回転すると、感材１１上の結像点が矢印α方向に移動す
る。これによって主走査が行われる。一方、感材１１
は、搬送ローラ１２によって矢印β方向に搬送される。
これによって、副走査が行われる。従って、光源１をデ
ジタル画像データに基づいてスイッチングすることによ
り、感材１１上には、所定の画像が描画される。
トレンズ５によって平行光にされた後、偏向器８の回転
軸と垂直な面内に焦点を持つ第１シリンドリカルレンズ
６とスリット７とによって偏向器８の反射面上に線状に
結像される。ポリゴンミラー等の偏向器８によって偏向
された光は、ｆθレンズ９と湾曲した第２シリンドリカ
ルレンズ１０とで構成される第２結像光学系によって、
感材１１上で所定のビーム径で結像される。偏向器８が
回転すると、感材１１上の結像点が矢印α方向に移動す
る。これによって主走査が行われる。一方、感材１１
は、搬送ローラ１２によって矢印β方向に搬送される。
これによって、副走査が行われる。従って、光源１をデ
ジタル画像データに基づいてスイッチングすることによ
り、感材１１上には、所定の画像が描画される。
【００１６】上記のように、疑似光源からの出射光束
は、偏向器８の反射面上で線状に結像される。すなわ
ち、偏向器８の反射面は、疑似光源および感材上１１上
の結像点に対して光学的に共役な位置にある。これによ
って、製造誤差等により偏向器８の反射面の法線が回転
軸に対して多少傾いていても、感材１１上で結像点が所
望の位置からずれるのを防止することができる。すなわ
ち、本実施例の光学装置は、いわゆる光学的な面倒れ補
正を行っている。
は、偏向器８の反射面上で線状に結像される。すなわ
ち、偏向器８の反射面は、疑似光源および感材上１１上
の結像点に対して光学的に共役な位置にある。これによ
って、製造誤差等により偏向器８の反射面の法線が回転
軸に対して多少傾いていても、感材１１上で結像点が所
望の位置からずれるのを防止することができる。すなわ
ち、本実施例の光学装置は、いわゆる光学的な面倒れ補
正を行っている。
【００１７】図２は、図１の光ビーム走査系におけるレ
ンズ配置および光路を概略的に示す図であり、特に、図
２（ａ）は偏向器８の回転軸に直交する面内から見た平
面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）の縦断面図であ
る。図２において、光源１からリレーレンズ２に出射さ
れる光束の開口数をＮＡOBJ.、リレーレンズ２後の中間
像４から出射される光束の開口数をＮＡRELAY 、最終像
面つまり感材１１上に収束する光束の開口数をＮＡIMG.
とし、光源１とリレーレンズ２による中間像４の結像倍
率（横倍率）の絶対値をｍとすると、 ｍ＝ＮＡOBJ.／ＮＡRELAY …（２） となる。
ンズ配置および光路を概略的に示す図であり、特に、図
２（ａ）は偏向器８の回転軸に直交する面内から見た平
面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）の縦断面図であ
る。図２において、光源１からリレーレンズ２に出射さ
れる光束の開口数をＮＡOBJ.、リレーレンズ２後の中間
像４から出射される光束の開口数をＮＡRELAY 、最終像
面つまり感材１１上に収束する光束の開口数をＮＡIMG.
とし、光源１とリレーレンズ２による中間像４の結像倍
率（横倍率）の絶対値をｍとすると、 ｍ＝ＮＡOBJ.／ＮＡRELAY …（２） となる。
【００１８】図３は、本実施例における光源交換精度を
説明するための概念図である。図３において、光源故障
時の交換単位を光源ユニット３とした場合、光源ユニッ
ト３の交換時における光軸方向の取り付け誤差をΔＺ1
とすると、最終像面の光軸方向の移動量ΔＺ2 は、 ΔＺ2 ＝（ＮＡRELAY ／ＮＡIMG.）2 ×ΔＺ1 …（３） となる。上式（３）に式（２）を代入すると、 ΔＺ2 ＝（ＮＡOBJ.／ｍ×ＮＡIMG.）2 ×ΔＺ1 …（４） となる。
説明するための概念図である。図３において、光源故障
時の交換単位を光源ユニット３とした場合、光源ユニッ
ト３の交換時における光軸方向の取り付け誤差をΔＺ1
とすると、最終像面の光軸方向の移動量ΔＺ2 は、 ΔＺ2 ＝（ＮＡRELAY ／ＮＡIMG.）2 ×ΔＺ1 …（３） となる。上式（３）に式（２）を代入すると、 ΔＺ2 ＝（ＮＡOBJ.／ｍ×ＮＡIMG.）2 ×ΔＺ1 …（４） となる。
【００１９】上式（４）を前述の式（１）と対比する
と、光源側での取り付け誤差に対する最終像面の光軸方
向の移動量は、従来の１／ｍ2 になっている。従って、
ｍ＞１に設定すると、光源側の開口数ＮＡOBJ.を同一と
した場合に、光源側での取り付け誤差に対する最終像面
の光軸方向の移動量が従来に比べて小さくなる。このこ
とは、光源ユニット３の位置決め精度を低下させてもよ
いことを意味している。その結果、光源ユニット３の交
換を容易かつ迅速に行えることになる。逆に、光源ユニ
ット３の位置決め精度を従来の光学系の光源の位置決め
精度と同等に保つならば、光源側の開口数ＮＡOBJ.を従
来に比べて大きくすることができ、より小パワーの光源
で所望の光量を得ることができる。その結果、装置のコ
ストを下げることができると共に、小型化が図れる。
と、光源側での取り付け誤差に対する最終像面の光軸方
向の移動量は、従来の１／ｍ2 になっている。従って、
ｍ＞１に設定すると、光源側の開口数ＮＡOBJ.を同一と
した場合に、光源側での取り付け誤差に対する最終像面
の光軸方向の移動量が従来に比べて小さくなる。このこ
とは、光源ユニット３の位置決め精度を低下させてもよ
いことを意味している。その結果、光源ユニット３の交
換を容易かつ迅速に行えることになる。逆に、光源ユニ
ット３の位置決め精度を従来の光学系の光源の位置決め
精度と同等に保つならば、光源側の開口数ＮＡOBJ.を従
来に比べて大きくすることができ、より小パワーの光源
で所望の光量を得ることができる。その結果、装置のコ
ストを下げることができると共に、小型化が図れる。
【００２０】次に、具体的な数値を適用して本実施例の
効果についてより詳細に説明する。今、本実施例におけ
る諸量を以下のように設定するものとする。 ＮＡOBJ.＝０．１５ ＮＡRELAY ＝０．０５ ＮＡIMG.＝０．０１５ ｍ＝３．０ δ≒０．３３ また、光源ユニット３の機械的部品の取り付け再現性を
１０μｍとすると、上式（３）または（４）より、最終
像面の光軸方向の移動量ΔＺ2 は、０．１１ｍｍとな
る。しかしながら、焦点深度δが０．３ｍｍ程度である
ため、最終像面の光軸方向の移動は問題とはならない。
効果についてより詳細に説明する。今、本実施例におけ
る諸量を以下のように設定するものとする。 ＮＡOBJ.＝０．１５ ＮＡRELAY ＝０．０５ ＮＡIMG.＝０．０１５ ｍ＝３．０ δ≒０．３３ また、光源ユニット３の機械的部品の取り付け再現性を
１０μｍとすると、上式（３）または（４）より、最終
像面の光軸方向の移動量ΔＺ2 は、０．１１ｍｍとな
る。しかしながら、焦点深度δが０．３ｍｍ程度である
ため、最終像面の光軸方向の移動は問題とはならない。
【００２１】一方、図５に示す従来例において、光源側
の開口数ＮＡOBJ.および交換部の機械的再現性ΔＺ1 が
上記実施例の条件と同様であるとすると、最終像面の光
軸方向の移動量１ｍｍにもなる。これでは、本実施例の
場合、完全に焦点深度から外れ、機器の使用に対して問
題が生じる。例えば交換前の最終像面に感材を配置し、
走査光学系にて描画を行う場合には、交換後に描画され
る点や線が元より大きくなり、階調性が損なわれる。
の開口数ＮＡOBJ.および交換部の機械的再現性ΔＺ1 が
上記実施例の条件と同様であるとすると、最終像面の光
軸方向の移動量１ｍｍにもなる。これでは、本実施例の
場合、完全に焦点深度から外れ、機器の使用に対して問
題が生じる。例えば交換前の最終像面に感材を配置し、
走査光学系にて描画を行う場合には、交換後に描画され
る点や線が元より大きくなり、階調性が損なわれる。
【００２２】なお、上記実施例では、光源ユニット３と
最終像面との間に配置される光学系について一例を示し
たが、本発明は上記実施例のような光学系に限定される
ことはなく、その他の構成の光学系を用いるようにして
もよい。要するに、本発明は、点光源を用いるような全
ての光学装置に適用が可能である。
最終像面との間に配置される光学系について一例を示し
たが、本発明は上記実施例のような光学系に限定される
ことはなく、その他の構成の光学系を用いるようにして
もよい。要するに、本発明は、点光源を用いるような全
ての光学装置に適用が可能である。
【００２３】また、上記実施例では、光源ユニット３に
おいて、光源１の中間像を形成するために、１個のリレ
ーレンズ２を用いたが、複数のリレーレンズによって光
源１の中間像を形成するようにしてもよい。
おいて、光源１の中間像を形成するために、１個のリレ
ーレンズ２を用いたが、複数のリレーレンズによって光
源１の中間像を形成するようにしてもよい。
【００２４】
【発明の効果】請求項１〜４の発明によれば、一体的に
交換可能な光源ユニットによって点光源の拡大された中
間像を形成し、この中間像を疑似光源として光学系によ
り所定の位置に最終像面を形成するようにしているの
で、中間像直後の光束の開口数ＮＡRELAY を点光源直後
の光束の開口数ＮＡOBJ.よりも小さくすることができ
る。その結果、光源ユニットの交換に際しての位置決め
精度が、従来の光学装置において光源単体を交換する場
合に比べてラフになったとしても、最終像面側で所要の
精度が維持できるため、安価で調整の容易な光学装置が
実現できる。
交換可能な光源ユニットによって点光源の拡大された中
間像を形成し、この中間像を疑似光源として光学系によ
り所定の位置に最終像面を形成するようにしているの
で、中間像直後の光束の開口数ＮＡRELAY を点光源直後
の光束の開口数ＮＡOBJ.よりも小さくすることができ
る。その結果、光源ユニットの交換に際しての位置決め
精度が、従来の光学装置において光源単体を交換する場
合に比べてラフになったとしても、最終像面側で所要の
精度が維持できるため、安価で調整の容易な光学装置が
実現できる。
【図１】本発明の一実施例に係る光学装置における光ビ
ーム走査系の概略構成を示す図である。
ーム走査系の概略構成を示す図である。
【図２】図１の光ビーム走査系におけるレンズ配置およ
び光路を概略的に示す図である。
び光路を概略的に示す図である。
【図３】本実施例における光源交換精度を説明するため
の概念図である。
の概念図である。
【図４】本実施例における光源ユニットの保持機構の一
例を示す斜視図である。
例を示す斜視図である。
【図５】従来の光学装置における光学系を概念的に示す
図である。
図である。
１…点光源
２…リレーレンズ
３…光源ユニット
４…中間像
５…コリメートレンズ
６…第１シリンドリカルレンズ
７…スリット
８…偏向器
９…ｆθレンズ
１０…第２シリンドリカルレンズ
１３…光源ユニットホルダー
Claims (4)
- 【請求項１】 点光源を用いた光学装置であって、 前記点光源と当該点光源の中間像を形成するための１個
以上の光学素子とを含み、これら点光源および光学素子
が一体的に交換可能に構成された光源ユニット、および
前記中間像を受けて所定の位置に最終像面を形成する光
学系を備え、 前記点光源に対する前記中間像の横倍率の絶対値ｍがｍ
＞１の関係を満たすことを特徴とする、光学装置。 - 【請求項２】 前記点光源が半導体レーザであることを
特徴とする、請求項１に記載の光学装置。 - 【請求項３】 前記点光源からの光を偏向器で走査する
ことを特徴とする、請求項１に記載の光学装置。 - 【請求項４】 前記光源ユニットにおける光学素子群を
１個の非球面レンズで構成したことを特徴とする、請求
項１に記載の光学装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10354395A JP3373079B2 (ja) | 1995-04-27 | 1995-04-27 | 光学装置 |
| US08/630,488 US5859721A (en) | 1995-04-27 | 1996-04-10 | Optical device using a point light source |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10354395A JP3373079B2 (ja) | 1995-04-27 | 1995-04-27 | 光学装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08297255A JPH08297255A (ja) | 1996-11-12 |
| JP3373079B2 true JP3373079B2 (ja) | 2003-02-04 |
Family
ID=14356762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10354395A Expired - Fee Related JP3373079B2 (ja) | 1995-04-27 | 1995-04-27 | 光学装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5859721A (ja) |
| JP (1) | JP3373079B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110031964A (zh) * | 2016-05-06 | 2019-07-19 | 株式会社尼康 | 描绘装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3631182B2 (ja) * | 2001-09-04 | 2005-03-23 | キヤノン株式会社 | 画像投射装置 |
| JP2007316157A (ja) | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Olympus Imaging Corp | 投光光学系及びそれを備えた投光装置 |
| JP2012069409A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Panasonic Corp | 照明器具 |
| CN111279244B (zh) | 2017-10-25 | 2022-03-18 | 株式会社尼康 | 图案描绘装置 |
| JP7041362B2 (ja) * | 2019-01-24 | 2022-03-24 | 日亜化学工業株式会社 | 光源ユニット |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4235507A (en) * | 1977-09-16 | 1980-11-25 | Hitachi, Ltd. | Optical system to condense light from a semiconductor laser into a circular spot |
| JPS56142509A (en) * | 1980-04-07 | 1981-11-06 | Olympus Optical Co Ltd | Lighting device of microscope |
| JPH01231015A (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-14 | Fuji Xerox Co Ltd | 光学走査装置 |
| US4947402A (en) * | 1988-04-25 | 1990-08-07 | Lightwave Electronics Corporation | Two-mirror shaping of a non-circular optical pumping beam and lasers using same |
| JPH02115814A (ja) * | 1988-10-25 | 1990-04-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 光ビーム走査装置 |
| JP2840356B2 (ja) * | 1989-04-17 | 1998-12-24 | 株式会社リコー | 光走査装置 |
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-
1995
- 1995-04-27 JP JP10354395A patent/JP3373079B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-04-10 US US08/630,488 patent/US5859721A/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|---|---|---|
| CN110031964A (zh) * | 2016-05-06 | 2019-07-19 | 株式会社尼康 | 描绘装置 |
| CN110031964B (zh) * | 2016-05-06 | 2022-06-10 | 株式会社尼康 | 描绘装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08297255A (ja) | 1996-11-12 |
| US5859721A (en) | 1999-01-12 |
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