JP2006309090A - 走査光学系、光走査装置、画像形成装置およびカラー画像形成装置 - Google Patents

走査光学系、光走査装置、画像形成装置およびカラー画像形成装置 Download PDF

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Abstract

【課題】走査光学系が単一のレンズで構成されていながら、幾何光学的な収差と、波動光学的な収差も良好に補正可能である走査光学系、これを用いた光走査装置、画像形成装置およびカラー画像形成装置を得る。
【解決手段】光偏向器5により偏向される光束を、被走査面上に光スポットとして集光させる走査光学系であって、走査光学系は1枚のレンズ6により構成され、主走査方向に両凸形状、副走査方向に両凸形状を有し、両面共にアナモフィックな面であり、少なくとも一面は、副走査断面内の曲率中心を主走査断面内で結ぶ線が非直線である特殊トーリック面であり、その特殊トーリック面の副走査断面内の曲率の主走査方向に沿う変化が走査レンズ6の光軸に対して非対称である。
【選択図】図1

Description

本発明は、走査光学系、光走査装置、画像形成装置およびカラー画像形成装置に関するもので、複写機、プリンタ、ファクシミリなどに適用可能なものである。
光走査装置は、デジタル複写装置やレーザプリンタなどに関連して広く用いられている。走査光学系は、光偏向器により偏向される光束を被走査面上に光スポットとして集光する光学系であり光走査装置に用いられる。走査光学系は、被走査面の走査範囲全体にわたって所定の光スポットとして集光すること、等角速度的に偏向される光束を被走査面上で等速度的に走査させる等速化機能の精度が高いこと、各種収差が良好に補正されていることなど、光学的に高い性能が要求される。従来、走査装置の走査光学系は一般的にレンズ系で構成され、走査光学系のレンズ構成枚数は、1枚から複数枚まで様々である。コスト面からは1枚構成のものが有利であるが、レンズ1枚で構成される走査光学系は、複数枚構成のものと比較すると設計パラメータ数が極端に少なく、単純なレンズ面形状では、良好な収差補正が難しい。
1枚の走査レンズ1だけで構成された走査光学系であっても、収差や等速度特性を、特殊なレンズ面形状の採用によって良好に補正することが提案されている(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。特許文献1記載の発明は、偏向光束の主光線が被走査面に直交するときの主光線方向を基準方向aとするとき、有効書き込み領域の一端Aに向かう偏向光束の主光線が基準方向aとなす角度θ1と、有効書き込み領域の他端Bに向かう偏向光束の主光線が基準方向aとなす角度θ2とが互いに異なり、サグの影響を軽減させるように、少なくとも一つの走査結像素子が上記基準方向に対しシフトまたはチルトされていることを特徴とする。特許文献2記載の発明は、走査結像素子を構成する単レンズの、主走査面内での近軸曲率半径、非球面量、被走査面までの距離などの値を、一定の条件を満足するように設定したことを特徴とする。
近年、光走査装置は、光走査の高密度化が強く要請され、それに応えるべく、光スポットの小径化・安定化が追求されている。このような光スポットの小径化・安定化は、幾何光学的な収差補正のみでは足らず、波動光学的な収差の補正が重要であり必要である。上記各公報には、このような波動光学的な収差補正に関しては言及されていない。
また、光走査装置のコンパクト化や走査レンズの薄肉化など、小型化も求められているが、性能を保ちつつ小型化を目論むと、倍率の増大のために公差に弱くなるといった制約がある。そのためできるだけ単純な形状で高い性能を確保できる走査光学系の実現が求められている。
特開平10−253915号公報 特開2002−90677号公報
本発明は、走査光学系が単一のレンズで構成されていながら、その両面すなわち入射面と出射面の特質を効率的に用いることにより、幾何光学的な収差のみならず、波動光学的な収差も良好に補正可能である新規な走査光学系、これを用いた光走査装置、画像形成装置およびカラー画像形成装置を実現することを課題としている。以下、請求項ごとの発明の目的を記す。
請求項1、8、15および35記載の発明は、光学的なサグによる副走査方向の波動光学的な収差を抑制することを目的としている。
請求項2、7、14および24記載の発明は、上記波動光学的な収差を、主・副走査方向独立に抑制することを目的としている。
請求項3、9および36記載の発明は、請求項1、8あるいは35に記載されているような複雑な形状を有する走査光学系を簡便に実現することを目的としている。
請求項4、10、16および27記載の発明は、上記走査光学系の有する走査レンズの好適な位置を指定することで、最大限の光学性能を確保することを目的としている。
請求項5、11、17および23記載の発明は、上記走査光学系の有する走査レンズの、好適な曲率半径の大小関係を指定することで、最大限の光学性能を確保することを目的としている。
請求項6、12、18、28および37記載の発明は、上記走査光学系の、有効書き込み幅内における副走査方向の光学性能を確保することを目的としている。
請求項13記載の発明は、1枚構成の走査レンズの両面で効率的に波動光学的な収差を抑制し、かつ公差にも強い走査光学系を提供することを目的としている。
請求項19、29および38記載の発明は、主走査方向の良好な等速度特性を確保することが可能で、光偏向器の偏向反射面の面倒れに強い走査光学系の実現を目的としている。
請求項20、30および39記載の発明は、上記走査光学系を構成する光学素子を成形する際の低コスト化を目的としている。
請求項21および40記載の発明は、光学的なサグによる波動光学的な収差を簡便な方法で抑制することを目的としている。
請求項22、32および41記載の発明は、上記走査光学系において光書き込みの高速化を実現することを目的としている。
請求項33および33記載の発明は、1枚構成の走査レンズでありかつ少なくとも一面にアナモフィック面をもつ走査レンズの好適な位置とその曲率半径の大小関係を指定することで、走査レンズ両面で効率的に波動光学的な収差を抑制することができる走査光学系提供することを目的とする。
請求項42記載の発明は、上記走査光学系を搭載した光走査装置の実現を目的としている。
請求項43記載の発明は、複数光源の走査光学系を搭載して光書き込みの高速化を可能にした光走査装置の実現を目的としている。
請求項44記載の発明は、光書き込みの高速化を可能にするための複数光源の実現を目的としている。
請求項45記載の発明は、上記光走査装置を搭載した画像形成装置の実現を目的としている。
請求項46記載の発明は、上記光走査装置を搭載し、多色の画像形成が可能なカラー画像形成装置の実現を目的としている。
本発明にかかる走査光学系は、光偏向器により偏向される光束を、被走査面上に光スポットとして集光させる走査光学系であって、以下の特徴を有する。すなわち、請求項1に記載されているように、走査光学系は1枚のレンズにより構成され、主走査方向に両凸形状、副走査方向に両凸形状を有し、両面共にアナモフィックな面であり、少なくとも一面は、副走査断面内の曲率中心を主走査断面内で結ぶ線が非直線である特殊トーリック面であり、その特殊トーリック面の副走査断面内の曲率の主走査方向に沿う変化が走査レンズの光軸に対して非対称となっている。
上記特殊トーリック面は、副走査断面内の曲率が主走査方向に連続的に変化するレンズ面である。すなわち、副走査断面の位置を主走査方向に変化させたとき、副走査断面の位置に応じて、副走査方向の曲率が変化するレンズ面である。
請求項2記載の発明のように、請求項1記載の発明における走査光学系は、これを両面共にアナモフィックな面にし、一方の面を特殊トーリック面にしてもよい。
請求項3記載の発明のように、請求項2記載の発明における走査光学系は、その一方の面が曲率一定面で、他方の面が特殊トーリック面であってもよい。
請求項4記載の発明のように、請求項1〜3のいずれかに記載の走査光学系において、光偏向器の反射面上の反射点から走査レンズ入射面までの光軸上の距離をd0、走査レンズ射出面から被走査面までの光軸上の距離をL、としたとき、
4.5<L/d0<7.5 ・・・(1)
の条件を満足することが望ましい。
また、請求項5記載の発明のように、請求項1〜4のいずれかに記載の走査光学系は、第1面の主走査方向の曲率半径をR1、第2面の主走査方向の曲率半径をR2、第1面の副走査方向の曲率半径をr1、第2面の副走査方向の曲率半径をr2としたとき、
|R1|>|R2| ・・・(2)
|r1|>|r2| ・・・(3)
の条件を満足することが望ましい。
請求項6記載の発明のように、請求項1〜5のいずれかに記載の走査光学系において、有効書込幅をW、有効書込幅内における副走査像面湾曲の幅をFsとしたとき、
Fs/W<0.005 ・・・(4)
の条件を満足することが好ましい。
「有効書込幅」は、光走査により画像書込みを有効に行いうる光走査領域をいう。「副走査像面湾曲」は、副走査方向の像面湾曲をいう。また、主走査方向の像面湾曲を「主走査像面湾曲」という。
請求項7記載の発明は、主走査方向に発散性の光束を光偏向器により偏向し、偏向された光束を被走査面上に光スポットとして集光させる単一の走査レンズで構成された走査光学系において、上記走査レンズは、主走査方向に両凸形状、副走査方向に両凸形状を有し、両面がアナモフィック面であることを特徴とする。
請求項8記載の発明は、請求項7記載の発明において、走査レンズの少なくとも一面は副走査断面内の曲率中心を主走査断面内で結ぶ線が非直線である特殊トーリック面とし、特殊トーリック面の副走査断面内の曲率の主走査方向に沿う変化が走査レンズ面の光軸に対して非対称にしたことを特徴とする。
請求項9〜12記載の発明のように、請求項7記載の発明においても、請求項3〜6に記載されている構成と同じ構成を採用するとよい。
請求項13記載の発明は、主走査方向に発散性の光束を光偏向器により偏向し、偏向された光束を被走査面上に光スポットとして集光させる単一の走査レンズで構成された走査光学系において、上記走査レンズは、主走査方向に両凸形状、副走査方向に両凸形状を有し、上記走査レンズの光偏向器側の面は、副走査断面内の曲率が主走査方向に一定であることを特徴とする。
請求項14記載の発明は、請求項13記載の発明において、走査レンズの両面をアナモフィック面にしたことを特徴とする。
請求項15記載の発明は、請求項14記載の発明において、走査レンズの被走査面側の面は副走査断面内の曲率中心を主走査断面内で結ぶ線が非直線である特殊トーリック面とし、特殊トーリック面の副走査断面内の曲率の主走査方向に沿う変化が走査レンズ面の光軸に対して非対称であることを特徴とする。
請求項16〜18記載の発明のように、請求項13記載の発明においても、請求項4〜6に記載されている構成と同じ構成を採用するとよい。
請求項19記載の発明のように、請求項1〜18のいずれかに記載の走査光学系は、主走査方向において被走査面上の光スポットを等速的に光走査させる機能を有し、副走査方向において光偏向器の面倒れを補正する機能を有することが好ましい。
請求項20記載の発明は、請求項1〜19のいずれかに記載の走査光学系は、樹脂で成形したことを特徴とする。
請求項21記載の発明のように、請求項1〜20のいずれかに記載の走査光学系は、走査レンズの光軸が被走査面の法線に対してチルトしていても実現可能である。
請求項22記載の発明は、請求項1〜21のいずれかに記載の走査光学系において、同時に偏向される複数光束を、副走査方向に分離した複数の光スポットとして被走査面上に集光するものであることを特徴とする。すなわち、この発明の走査光学系はマルチビーム方式の光走査装置の走査光学系として用いることができる。
請求項23記載の発明は、主走査方向に発散性の光束を光偏向器により偏向し、偏向された光束を被走査面上に光スポットとして集光させる単一の走査レンズで構成された走査光学系において、上記走査レンズの第1面の主走査方向の曲率半径をR1、第2面の主走査方向の曲率半径をR2、第1面の副走査方向の曲率半径をr1、第2面の副走査方向の曲率半径をr2としたとき、
|R1|>|R2| ・・・(2)
|r1|>|r2| ・・・(3)
の条件を満足し、上記走査レンズの光偏向器側の面は、副走査断面内の曲率が主走査方向に一定であることを特徴とする。
請求項24記載の発明は、請求項23記載の発明において、走査レンズの少なくとも一面は副走査断面内の曲率中心を主走査断面内で結ぶ線が非直線である特殊トーリック面とし、特殊トーリック面の副走査断面内の曲率の主走査方向に沿う変化が走査レンズ面の光軸に対して非対称としたことを特徴とする。
請求項25記載の発明は、請求項24記載の発明において、上記走査レンズの両面をアナモフィック面になっていることを特徴とする。
請求項26記載の発明は、請求項25記載の発明において、上記走査レンズが主走査方向に両凸形状、副走査方向に両凸形状を有することを特徴とする。
請求項27記載の発明は、請求項23〜25のいずれかに記載の走査光学系において、光偏向器の反射面上の反射点から走査レンズ入射面までの距離をd0、走査レンズの射出面から被走査面までの距離をLとしたとき、
4.5<L/d0<7.5 ・・・(1)
を満足することを特徴とする。
請求項28記載の発明は、請求項23〜27のいずれかに記載の走査光学系において、有効書込幅をW、有効書込幅内における副走査像面湾曲の幅をFsとしたとき、
Fs/W<0.005 ・・・(4)
の条件を満足することを特徴とする。
請求項29記載の発明は、請求項23〜28のいずれかに記載の走査光学系において、被走査面上の光スポットを主走査方向に略等速的に光走査させる機能を有し、副走査方向において光偏向器の面倒れを補正する機能を有していることを特徴とする。
請求項30記載の発明は、請求項23〜29のいずれかに記載の走査光学系において、走査レンズはこれを樹脂で成形したことを特徴とする。
請求項31記載の発明は、請求項23〜30のいずれかに記載の走査光学系において、走査レンズの光軸が被走査面の法線に対してチルトさせたことを特徴とする。
請求項32記載の発明は、請求項23〜31のいずれかに記載の走査光学系において、同時に偏向される複数ビームを、副走査方向に分離した複数の光スポットとして被走査面上に集光させてマルチビーム方式としたことを特徴とする。
請求項33記載の発明は、主走査方向に発散性の光束を光偏向器により偏向し、偏向された光束を被走査面上に光スポットとして集光させる単一の走査レンズで構成された走査光学系において、光偏向器の反射面上の反射点から走査レンズ入射面までの距離をd0、走査レンズ射出面から被走査面までの距離をLとしたとき、
4.5<L/d0<7.5 ・・・(1)
を満足し、上記走査レンズの第1面の主走査方向の曲率半径をR1、第2面の主走査方向の曲率半径をR2、第1面の副走査方向の曲率半径をr1、第2面の副走査方向の曲率半径をr2としたとき、
|R1|>|R2| ・・・(2)
|r1|>|r2| ・・・(3)
の条件を満足し、上記走査レンズの少なくとも一面がアナモフィック面によってなることを特徴とする。
請求項34記載の発明は、請求項33記載の走査光学系において、走査レンズを主走査方向に両凸形状、副走査方向に両凸形状にしたことを特徴とする。
請求項35記載の発明は、請求項34記載の走査光学系において、走査レンズの少なくとも一面は副走査断面内の曲率中心を主走査断面内で結ぶ線が非直線である特殊トーリック面であり、特殊トーリック面の副走査断面内の曲率の主走査方向に沿う変化が走査レンズ面の光軸に対して非対称にしたことを特徴とする。
請求項36記載の発明は、請求項35記載の走査光学系において、走査レンズの光偏向器側の面は、副走査断面内の曲率が主走査方向に一定にしたことを特徴とする。
請求項37記載の発明は、請求項33〜35のいずれかに記載の走査光学系において、有効書込幅をW、有効書込幅内における副走査像面湾曲の幅をFsとしたとき、
Fs/W<0.005 ・・・(4)
の条件を満足することを特徴とする。
請求項38記載の発明は、請求項33〜37のいずれかに記載の走査光学系において、被走査面上の光スポットを主走査方向に略等速的に光走査させる機能を有し、副走査方向において光偏向器の面倒れを補正する機能を有していることを特徴とする。
請求項39記載の発明は、請求項33〜38のいずれかに記載の走査光学系において、走査レンズが樹脂で成形されていることを特徴とする。
請求項40記載の発明は、請求項33〜39のいずれかに記載の走査光学系において、走査レンズの光軸が被走査面の法線に対してチルトしていることを特徴とする。
請求項41記載の発明は、請求項33〜40のいずれかに記載の走査光学系において、同時に偏向される複数ビームを、被走査面上に、副走査方向に分離した複数の光スポットとして集光することを特徴とする。
請求項42記載の光走査装置は、光源からの光束をカップリングレンズにより以後の光学系にカップリングし、カップリングされた光束を、線像結像光学系により光偏向器の偏向反射面近傍に主走査方向に長い線像として結像させ、光偏向器により等角速度的に偏向させ、偏向光束を走査光学系により、被走査面上に光スポットとして集光させ、被走査面を光走査するシングルビーム方式の光走査装置であって、走査光学系として請求項1〜41のいずれかに記載の走査光学系を用いたことを特徴とする。
請求項43記載の光走査装置は、複数の発光源からの光束をカップリングレンズにより以後の光学系にカップリングし、カップリングされた複数光束を共通の線像結像光学系により、光偏向器の偏向反射面位置近傍に主走査方向に長く、副走査方向に分離した複数の線像として結像させ、光偏向器により同時に等角速度的に偏向させた複数の偏向光束を共通の走査光学系により、被走査面上に、副走査方向に分離した複数の光スポットとして集光し、これら複数の光スポットにより複数走査線を同時に光走査するマルチビーム方式の光走査装置であって、共通の走査光学系として請求項22、32または41記載の走査光学系を用いたことを特徴とする。
上記カップリングレンズは、複数光束に対して、個別的としてもよいし、共通化してもよい。
請求項44記載の発明は、請求項43記載の光走査装置における光源として、複数の発光源が1列に配列されたモノリシックな半導体レーザアレイを用いたことを特徴とする。
請求項45記載の発明は、感光性の像担持体に対して光走査装置による光走査を行って潜像を形成し、この潜像を現像手段で可視化して画像を得る画像形成装置であって、像担持体の光走査を行う光走査装置として、請求項42〜44のいずれかに記載の光走査装置を用いたことを特徴とする。
請求項46記載の発明は、複数の感光性の像担持体に対して光走査装置による光走査を行って各色に対応する潜像を形成し、この潜像を現像手段で可視化してカラー画像を得る画像形成装置であって、複数の像担持体の光走査を行う光走査装置として請求項42〜44のいずれかに記載の光走査装置を用いたことを特徴とする。
上記感光性の像担持体としては種々のものを使用することができる。例えば、像担持体として銀塩フィルムを用いることができる。この場合、光走査による書込みで潜像が形成されるが、この潜像は通常の銀塩写真プロセスによる処理で可視化することができる。このような画像形成装置は、光製版装置や、CTスキャン画像等を描画する光描画装置として実施することができる。
感光性の像担持体としてはまた、光走査の際に光スポットの熱エネルギーにより発色する発色媒体(ポジの印画紙)を用いることもできる。この場合には、光走査により直接的に可視画像を形成することができる。
感光性の像担持体としてはまた、光導電性の感光体を用いることができる。光導電性の感光体としては、酸化亜鉛紙のようにシート状のものを用いることもできるし、セレン感光体や有機光半導体などのように、ドラム状あるいはベルト状に形成されていて繰り返し使用されるものを用いることができる。
光導電性の感光体を像担持体として用いる場合には、感光体の表面を均一に帯電し、帯電した感光体の表面を光走査装置による光走査によって静電潜像を形成する。静電潜像は現像によりトナー画像として可視化される。トナー画像は、感光体が酸化亜鉛紙のようにシート状のものである場合は感光体上に直接的に定着され、感光体が繰り返し使用可能なものである場合には、転写紙やOHPシート(オーバヘッドプロジェクタ用のプラスチックシート)等のシート状記録媒体に転写されたあと定着される。
光導電性の感光体からシート状記録媒体へのトナー画像の転写は、感光体からシート状記録媒体へ直接的に転写(直接転写方式)してもよいし、感光体から一旦中間転写ベルト等の中間転写媒体に転写した後、この中間転写媒体からシート状記録媒体へ転写(中間転写方式)するようにしてもよい。
このような画像形成装置は、光プリンタや光プロッタ、デジタル複写装置等として実施できる。また、本発明にかかる画像形成装置は、上記感光体を複数個、シート状記録媒体の搬送路に沿って配置し、複数の光走査装置を用いて感光体ごとに静電潜像を形成し、これらを可視化して得られるトナー画像を同一のシート状記録媒体に転写しかつ定着して、合成的にカラー画像や多色画像を得る、タンデム式の画像形成装置として実施することができる。
本発明の特徴に関して説明を補足する。光スポットのスポット径を小径化するには波面収差の劣化を抑える必要があるが、これを走査光学系だけで行うには限界がある。この場合、走査光学系に入射する「光束の形態」も波面収差補正のパラメータとすることにより、波面収差の劣化を容易に規制できるようになる。この発明で使用されている、走査レンズ1枚構成の走査光学系は、入射させる光束が発散性であるため、平行光束よりも広いレンズ面で波面収差を補正することができる。
次に、走査光学系の小型化要求を満足させるためには、必然的に走査レンズを光偏向器側に近づけることになる。その際、走査レンズから被走査面までの距離はより長くなると同時に、所望の光学特性を与える走査レンズ面の領域も狭くなっていく。単一のレンズの狭い領域で速度特性と波面収差の抑制の両立を図るのは難しい。しかし、本発明のように入射させる光束の形態が発散性であると、平行光束よりも広いレンズ面で波面収差を補正することができ、また条件(1)のような「走査レンズが光偏向器に近い領域」においては、走査レンズの波面収差の抑制における負担を軽減させることができるといった利点がある。すなわち、走査光学系に入射する「光束の形態」も波面収差補正のパラメータとすることにより、波面収差の劣化を容易に規制することができるようになる。
本発明のような、1枚の走査レンズで構成した走査光学系は、入射させる光束が発散性であるため、平行光束よりも広いレンズ面で波面収差を補正することができる。また、レンズは主走査方向、副走査方向ともに「両凸形状」となっているので、走査光学系の有するべき主走査方向、副走査方向の正のパワーを、入射側と射出側の各レンズ面に分配することができる。そのため、走査光学系において波面収差の劣化を抑えることが可能になり、良好な収差特性を得ることができる。
前記特許文献2記載の発明においては、走査光学系が被走査面側に凸のメニスカス形状をもつ単一の走査レンズから構成され、光偏向器を介した発散性光束を上記走査レンズにより被走査面上に結像させるようになっている。
両凸形状の単一の走査レンズを用いない場合、平行光束でない光束を被走査面上に集光するのに、各面の要するパワーの負担が射出面に偏り、良好な光学性能を得るには若干の課題を残している。
本発明は、正のパワーを単一の走査レンズの入射側と射出側のレンズ面(以下「入射面」、「射出面」という)に分配している。正のパワーを入射面と出射面に分配する有効な形態の1つとして、入射面に主走査断面内の屈折作用を、射出面に集光作用をもたせる、といった機能的分配がある。この形態が有効なのは以下のような理由によるものである。入射面は偏向された各光束が密集しているため、全光束に対する作用に適している。そのため入射面は各光束を被走査面上の所望の位置へ導く屈折作用を担わせるのに都合がよいと言える。一方、射出面は各光束が離散しているため、各光束それぞれに対する作用に適している。そのため射出面は各光束それぞれに対して集光作用を調整するのに都合が良いと言える。
このように、光学的な機能分配を行う場合、主・副両走査方向において入射面の曲率半径は射出面の曲率半径に比べ大きいことが好ましい。それには以下のような理由がある。入射面の曲率が小さいと、入射面は主光線の屈折作用だけでなく光束の集光作用にも大きく寄与することになり、射出面もそれに伴った形状をとらざるを得なくなり、走査レンズの両面に対する効率的な機能分離が困難になるからである。
副走査断面内においては両面で集光作用を調整することになるが、偏向された光束は後述する光学的なサグの影響をそれぞれはらんでいる。従って偏向された光束の一本一本を調整する面としては、光束が密集する入射面は不向きであり、光束が離散して通過する射出面が好ましい。このような場合入射面の副走査断面内の曲率を主走査方向に対して一定に保ち、副走査断面内の集光作用の粗調整を担わせるのが好ましい。また、入射面の副走査断面内の曲率を主走査方向に対して一定であると、主走査断面内のレンズ面形状が「副走査方向の高さによらず維持される」ため、取り付け精度などにより副走査方向にレンズがずれたとしても、光学性能上は全く問題にならないという点で有利である。さらに、主走査方向の位置によらず副走査断面内の曲率が一定であるので、走査光学系の評価がしやすいというメリットもある。
このように、波面収差の劣化を抑制できるため、被走査面上の光スポットのスポット径を小径化することが可能となり、単一のレンズによる高密度書込への対応が可能となる。走査光学系を構成する単一の走査レンズの両レンズ面をともにアナモフィックな面とすることにより、波面収差補正を主・副走査方向に対して独立に行うことができ、主走査方向において等速度特性を確保しつつ、副走査方向において「光偏向器の面倒れ」を補正する機能を実現することが可能になる。
また、良好な光走査を行うには、被走査面上の光スポットの径が、像高によって大きく変化しないことも重要で、高密度の光走査では特に重要である。ちなみに、光スポットの主走査方向の径は信号の電気的な補正である程度対処できるが、副走査方向の径はこのような補正ができないので、特に副走査方向のスポット径が像高によって変化しないことが重要である。被走査面上で、光スポットの副走査方向の径が、像高によって大きく変化しないためには、走査光学系の副走査方向の横倍率:βが、像高により大きく変化しないことが必要である。そこで、波面収差補正を主走査方向および副走査方向に対して独立に行うことができるように、両レンズ面ともアナモフィックな面を用いるとよい。
また、副走査方向の横倍率:βの像高による変動は、マルチビーム方式の光走査においては、同時に光走査される走査線の副走査方向のピッチが像高と共に変化する、という問題を生じる。従って、マルチビーム方式の光走査において走査線ピッチの像高による変動を抑えるには、走査光学系の副走査方向の横倍率を、像高間で一定に補正することが必要である。このことは、少なくとも1面に特殊トーリック面を採用することで達成できる。また、光偏向器として一般的なポリゴンミラーは、その回転中心が走査光学系の光軸からずれた位置に設置されるため、光束の偏向に伴って偏向反射面での反射点が変位し、偏向光束の偏向の起点が変動する「光学的なサグ」が発生する。サグが存在すると、走査光学系光軸に関して+像高側と−像高側とで、光束の通る経路が異なり、副走査方向の横倍率は、主走査方向において非対称に変化する。 この非対称な横倍率変化は、上記特殊トーリック面を、副走査断面内の曲率の主走査方向に沿った変化が光軸に関して非対称な面とすることで補正することができる。
副走査断面内の曲率の主走査方向に沿った変化が光軸に関して非対称な面は、例えば、
(a)副走査断面内の曲率半径が、光軸から主走査方向に離れるにつれて左右非対称に単調増加する面
(b)副走査断面内の曲率半径が、光軸から主走査方向に離れるにつれて左右非対称に単調減少する面
(c)副走査断面内の曲率半径の主走査方向に沿った変化の極値が、光軸外にある面
(d)副走査断面内の曲率半径の主走査方向に沿った変化が、+像高側から−像高側に向かって単調増加する面
(e)副走査断面内の曲率半径の主走査方向に沿った変化が、+像高側から−像高側に向かって単調減少する面
(f)副走査断面内の曲率半径の主走査方向に沿った変化が、極値を2以上有する面
など、種々の面が考えられる。これらのような、光軸として一般的な回転対称軸を持たないすべての面を、「副走査断面内の曲率の主走査方向に沿った変化が光軸に関して非対称な面」という。これらのどれが「曲率の変化が非対称な面」として採用されるかは設計条件により定まる。
このような非対称形状のレンズにおける「光軸」は、この明細書においては、レンズ面形状を決定する基準座標系における「主走査方向、副走査方向に直交的な基準軸」をいうものとする。
本発明においては、上記「特殊トーリック面」を「副走査断面内の曲率の主走査方向に沿った変化が光軸に関して非対称な面」とすることで、副走査方向の光学性能に対する光学的なサグの影響を軽減している。また、光束一本一本の副走査断面内の集光作用の微調整を可能としている。このように、本発明によれば、波面収差の劣化を抑制できるため、被走査面上の光スポットのスポット径を小径化することが可能となり、高密度書込への対応が可能となる。
この発明の走査光学系を構成する走査レンズは、両レンズ面ともアナモフィックな面であるので、波面収差補正を主・副走査方向に対して独立に行うことができ、主走査方向においてfθ特性等の「等速度特性」を確保しつつ、副走査方向において「光偏向器の面倒れ」を補正する機能を実現することが可能になる。このような場合、特殊トーリック面を1面だけに採用し、その反対側の面を主走査方向に沿って副走査断面の曲率が一定な「曲率一定面」とするのが好ましい。特殊トーリック面はその形状が複雑であり、また特に、副走査断面内の曲率の主走査方向にそった変化を、主走査方向に非対称とすると、光軸位置を見出し難いため、両面共に特殊トーリック面とすると走査光学系の性能保持が困難となる。そのため、特殊トーリック面の採用は最低限とすることが、走査光学系の性能確保の面からも、加工コストの低廉化の面からも好ましい。請求項3記載の発明においては、上記事項を考慮して、特殊トーリック面を1面のみに採用した。
特殊トーリック面の反対側の面を「曲率一定面」とすると、主走査断面内のレンズ面形状が、副走査方向の高さによらず維持されるため、取り付け精度誤差などにより副走査方向にレンズがずれたとしても、光学性能上は全く問題にならないという点で有利である。さらに、主走査方向の位置によらず副走査断面内の曲率が一定であるので、走査光学系の評価がしやすいという利点もある。
このように、本発明にかかる走査光学系によれば、走査レンズの面形状を工夫することにより、主走査方向においてfθ特性等の「等速度特性」を確保しつつ、副走査方向において「光偏向器の面倒れ」を補正する機能を実現することが可能になる。
走査レンズ位置には以下のような制約が存在する。走査レンズが光偏向器に近すぎると、副走査方向の横倍率の絶対値が大きくなりすぎるため、部品の加工精度のばらつきや取り付け誤差が拡大され、それらに起因する光学性能の劣化が著しい光学系となる。これとともに、走査レンズが樹脂で成形されている場合、光偏向器の発熱による温度変動の影響を受けやすく、温度変動によって変形して光学特性を劣化させやすい。逆に、走査レンズが光偏向器から遠すぎる位置にあると、被走査面における光スポットの等速度特性を確保するために走査レンズは長手方向に大きくせざるを得ず、コスト増加につながる。また、等速度特性を確保するために必要なパワーも大きくなるため、走査レンズ面の形状は大きな曲率を有することになる。すると走査レンズ外形端の厚みが著しく薄くなり成形ができなくなるおそれもある。そこで、走査レンズを樹脂の一体成形で製造することができるように走査レンズを厚くすると、結局コスト増加につながる。
本発明においては、上記のような位置関係の制約も考慮し、発散性光束を入射する場合に適した条件(1)のような走査レンズ位置の範囲を定めることで、被走査面における光スポットの像面湾曲補正と等速度特性の確保を最大限に実現する走査光学系を提案している。
波面収差の劣化を有効に抑えるには、入射面の曲率半径を、射出面の曲率半径に対して大きくするのが好ましい。前記の条件(2)および/または(3)を満足することにより波面収差の劣化を有効に抑えることが可能になる。
良好な光走査を行うには、被走査面上に光スポットを形成する偏向光束のビームウェスト位置が、像高によって大きくばらつかないことも重要である。特に副走査方向におけるビームウェスト位置が被走査面に対して、像高によって大きくばらつかないためには、走査光学系の副走査像面湾曲が像高により大きく変化しないことが必要である。すなわち、有効書き込み幅:W内における副走査像面湾曲の(変化)幅:Fsは、前記条件(4)を満足することが好ましい。
条件(1)を満足しつつ条件(4)を満足するには、副走査像面湾曲について、光学的なサグを考慮する必要がある。この光学的なサグの影響は、一般に、走査光学系の、副走査方向の横倍率の変化に与える影響とは必ずしも一致しないが、被走査面上のスポット径の狙いをどの程度にするか、また走査光学系をどのように配置するかで、副走査像面湾曲の補正と横倍率の変化の補正に、ある関連を持たせることが可能である。
光学的なサグが存在することにより、主走査方向の光束について、光偏向器の偏向反射面上の反射点、走査レンズ、被走査面を結ぶ光路長を像高に応じて変化させることになるため、主走査方向の横倍率の変化に影響を与える。すなわち、主走査方向におけるfθ特性等の等速度特性は、光学的なサグの影響により被走査面に関して一定とならず、傾いた形となる。これを補正するためには、走査レンズそのものを被走査面の法線に対してチルトする方法が有効である。前記特許文献1記載の発明においては、主走査方向、副走査方向に直交的な基準軸に対して、走査レンズの光軸をシフトおよび/またはチルトすることで主走査方向、副走査方向の光学性能に対する光学的なサグの影響を同時に軽減している。光学的なサグの影響は主走査方向と副走査方向で異なるので、それぞれ独立に軽減する方法が好ましい。
請求項1記載の本発明においては、副走査方向の光学性能に対する光学的なサグの影響を軽減しているので、これに請求項9に記載している構成を組み合わせることによって、光学的なサグの影響を、主走査方向と副走査方向に対して独立に軽減することができる。
本発明にかかる走査光学系を構成する走査レンズは樹脂で成形されていることが好ましい。樹脂を用いて走査レンズを成形することにより、低コスト化を図ることができ、また複雑な形状が成形可能であるという利点がある。
また、本発明にかかる光走査装置をマルチビーム方式に適用する場合は、カップリングされた各光束につき、線像結像光学系から走査光学系までを、複数光束につき共通化する。こうすることにより、線像結像光学系以下をシングルビーム方式の光走査装置と同様に構成できるので、機械的変動に対し極めて安定性のよいマルチビーム方式の光走査装置を実現することができる。マルチビーム方式を用いると、シングルビーム方式に比べ、光偏向器例えばポリゴンミラーの回転数を低くしながら同じ書き込み速度を実現することができる。そのため、低電力による光偏向器の駆動が可能となり、省エネルギーの光走査装置を実現することができる。マルチビーム方式の光走査装置の光源としては、複数の発光点が配列された半導体レーザ(LD)からなるLDアレイ方式のものも、ビーム合成方式のものも利用できる。LDアレイ方式の光源を用いる場合、発光源の間隔を10μm以上とすることにより、発光源間の熱的・電気的な影響を有効に軽減して、良好なマルチビーム方式の光走査を行うことが可能になる。
以上説明したように、本発明によれば、新規な、走査光学系、光走査装置、画像形成装置および カラー画像形成装置を実現することができる。
本発明にかかる走査光学系は、上記の如く、レンズ1枚構成で安価に作製でき、光走査装置をコンパクト化でき、なおかつ、幾何光学的な収差のみならず波動光学的な収差も良好に補正可能であり、光スポットの小径化に適している。このような走査光学系を用いることにより、小径化した光スポットによる良好な光走査が可能となり、従って、かかる光走査装置を用いる画像形成装置は、精細な画像の形成が可能である。
請求項1、15記載の発明によれば、上記特殊トーリック面を、副走査断面内の曲率の主走査方向に沿った変化が光軸に関して非対称な面、とすることで、副走査方向の光学性能に対する光学的なサグの影響を軽減し、走査光学系の波面収差劣化を抑制することができる。
請求項2記載の発明によれば、上記波動光学的な収差を、主走査方向、副走査方向に独立して抑制することができる。
請求項3、9記載の発明によれば、複雑な形状を有する走査光学系を簡便にし、低コスト化を実現するとともに成形時の性能確保を実現することができる。
請求項4、10、16記載の発明によれば、発散性光束を入射する場合に適した条件(1)を満足した走査レンズ位置の範囲を定めることで、被走査面における光スポットの像面湾曲補正と等速度特性の確保を最大限に実現することができる。
請求項5、11、17、23,33記載の発明によれば、上記走査光学系を構成する走査レンズの、好適な曲率半径の大小関係を指定することで、単一の走査レンズの各面を用いて効率的に波面収差を抑制し、最大限の光学性能を確保することができる。また、公差に強い、すなわち、公差の範囲で精度がばらついても、高い光学性能を確保することができる。
請求項6、12,18、28、37記載の発明によれば、走査光学系の副走査像面湾曲の像高に伴う変化を低減し、副走査方向におけるビームウェスト位置が被走査面に対して像高によって大きくばらつくことを抑制することができる。
請求項7記載の発明によれば、単一のレンズからなる走査レンズ面の形状を、主・副走査方向において両凸形状とすることで、走査レンズのもつ正のパワーを各面に分担させることができる。また、両面がアナモフィック面であることで、波動光学的な収差を、主・副走査方向に独立して抑制することが可能となる。
請求項8、24、35記載の発明によれば、単一のレンズからなる走査レンズの少なくとも1面を特殊トーリック面とすることで、走査光学系の波面収差劣化を良好に抑制することができる。上記「特殊トーリック面」を「副走査断面内の曲率の主走査方向における変化が光軸に関して非対称な面」とすることで、副走査方向の光学性能に対する「光学的なサグ」の影響を軽減し、走査光学系の波面収差劣化を抑制することができる。
請求項13記載の発明によれば、単一のレンズからなる走査レンズの各面によって、波面収差を効率的に抑制することができるとともに、公差に強い走査光学系を得ることができる。
請求項14、25記載の発明によれば、波動光学的な収差を、主・副走査方向に独立して抑制することが可能となる。
請求項19、38記載の発明によれば、主走査方向の等速度特性の確保が可能で、光偏向器の面倒れに基づく不具合が生じにくい走査光学系を実現することができる。
請求項20、30、39記載の発明によれば、上記走査光学系を構成する走査レンズを、低コストで成形することができる。
請求項21、31、40記載の発明によれば、光学的なサグによる波動光学的な収差を簡便な方法で抑制することができる。
請求項22、32、41記載の発明によれば、上記走査光学系にて高速な光書き込みを実現することができる。
請求項26、34記載の発明によれば、走査レンズに必要とされるパワーを各面に分担させることができる。
請求項27記載の発明によれば、発散製光束を入射する場合に適した条件(3)のような走査レンズ位置の範囲を定めることで、像面湾曲補正と等速度特性の確保を最大限に確保することができる。
請求項29記載の発明によれば、主走査方向の等速度特性の確保が可能で、「光偏向器の面倒れ」に強い走査光学系を実現することができる。
請求項36記載の発明によれば、成形しやすく、公差に強い走査光学系を得ることができる。
請求項42記載の発明によれば、上記のような効果を有する走査光学系を搭載した光走査装置を実現することができる。
請求項43記載の発明によれば、複数光源の走査光学系を搭載することによって、光書き込みの高速化を図ることができる光走査装置を実現することができる。
請求項44記載の発明によれば、光書き込みの高速化を図ることができる光走査装置のための複数光源を実現することができる。
請求項45記載の発明によれば、上記のような効果を有する光走査装置を搭載した画像形成装置を実現することができる。
請求項46記載の発明によれば、上記のような効果を有する光走査装置を搭載した多色の画像形成が可能なカラー画像形成装置を実現することができる。
以下、図面を参照しながら本発明にかかる走査光学系、光走査装置、画像形成装置およびカラー画像形成装置の実施例について説明する。
図1は、光走査装置の実施の形態を要部のみ示している。この光走査装置はシングルビーム方式のものである。図1において、半導体レーザである光源1から放射された発散性の光束は、カップリングレンズ2により、光束の形態は弱い発散性の光束に変換される。
カップリングレンズ2を透過した光束は、アパーチャ3の開口部を通過する際、光束周辺部が遮断されてビーム整形され、線像結像光学系であるシリンドリカルレンズ4に入射する。シリンドリカルレンズ4は、パワーのない方向を主走査方向に向け、副走査方向には正のパワーを持ち、入射してくる光束を副走査方向にのみ集束させ、光偏向器であるポリゴンミラー5の偏向反射面近傍に、主走査方向に長い線像として集光させる。
ポリゴンミラー5の偏向反射面により反射された光束は、ポリゴンミラー5の等速回転に伴い等角速度的に偏向しつつ、走査光学系をなす1枚の走査レンズ6を透過し、折り曲げミラー7により光路を折り曲げられ、被走査面の実体をなす光導電性の感光体8上に光スポットとして集光し、被走査面を光走査する。
偏向光束は感光体8の表面を光走査するのに先立ってミラー9により反射され、結像レンズ10により受光素子11に集光される。受光素子11は光束を受光することによって信号を出力し、受光素子11の出力に基づき、光走査の書き込み開始タイミングが決定される。
走査光学系は、光偏向器5により偏向される光束を被走査面8上に光スポットとして集光させる光学系であって、図1に示す実施の形態では1枚の走査レンズ6により構成されている。走査レンズ6は、主走査方向、副走査方向共に両凸形状である。また、この実施の形態において、走査レンズ6は、ポリゴンミラー5の偏向反射面近傍と被走査面である感光体8の表面とを、副走査方向に関して、幾何光学的に共役関係とする機能を有するアナモフィックな光学系である。
上記走査光学系は、光偏向器であるポリゴンミラー5の偏向反射面上の反射点から走査レンズ6の入射面までの距離をd0、走査レンズ6の射出面から被走査面である感光体8の表面までの距離をLとしたとき、
4.5<L/d0<7.5 ・・・(1)
の条件を満足するものが用いられる。
また、この実施の形態において、走査レンズ6は、偏向反射面近傍と被走査面である感光体8とを副走査方向に関して、幾何光学的に共役関係とする機能を有するアナモフィックな光学系である。
この実施の形態では、走査レンズ6の一方の面に曲率一定面、他方の面に特殊トーリック面を採用しており、特殊トーリック面では、副走査断面内の曲率の主走査方向に沿った変化が光軸に対して非対称である。また、第1面の主走査方向の曲率半径をR1、第2面の主走査方向の曲率半径をR2、第1面の副走査方向の曲率半径をr1、第2面の副走査方向の曲率半径をr2としたとき、
|R1|>|R2| ・・・(2)
|r1|>|r2| ・・・(3)
の条件を満足するものが用いられる。
図1に示すシングルビーム方式の光走査装置は、光源1からの光束をカップリングレンズ2により以後の光学系にカップリングし、カップリングされた光束を線像結像光学系4により光偏向器5の偏向反射面近傍に主走査方向に長い線像として結像させ、光偏向器5により等角速度的に偏向させ、偏向光束を走査光学系6により、被走査面8上に光スポットとして集光し、被走査面8を光走査するように構成されている。走査光学系6として、請求項1〜41のいずれかに記載の走査光学系を用いている。
図2は光走査装置の別の実施形態を示すもので、マルチビーム方式の例である。煩雑を避けるため、混同の虞がないと思われるものについては、図1に示す実施形態に使用した符合と同一の符号を付した。図2において、光源1は、4つの発光源ch1〜ch4を等間隔で1列に配列した、半導体レーザアレイで構成されている。ここでは、4つの発光源を副走査方向に配列した例を示している。もちろん、半導体レーザアレイの発光源を、副走査方向に対し傾けて配列してもよい。4つの発光源ch1〜ch4から放射された4つの光束は、楕円形のファーフィールドパタンの長軸方向が主走査方向に向いた発散性の光束である。4つの光束は、これに共通のカップリングレンズ2により、以後の光学系にカップリングされる。カップリングされた各光束の形態は、以後の光学系の光学特性に応じ、弱い発散性の光束や弱い集束性の光束となることも、平行光束となることもできる。
カップリングレンズ2を透過した4光束は、アパーチャ3でビーム整形され、共通の線像結像光学系であるシリンドリカルレンズ4の作用により、それぞれ副走査方向に集束され、光偏向器であるポリゴンミラー5の偏向反射面近傍に、それぞれが主走査方向に長い線像として、互いに副走査方向に分離して結像する。ポリゴンミラー5が回転駆動されることにより、その偏向反射面により4つの光束が等角速度的に偏向され、偏向された4光束は、走査光学系をなす1枚の走査レンズ6を透過し、折り曲げミラー7により光路を折曲げられ、被走査面の実体をなす感光体8の表面に、副走査方向に分離した4つの光スポットとして集光し、被走査面の4走査線を同時に光走査する。
上記偏向光束の1つは、感光体8の表面を光走査するのに先立って走査レンズ6を透過し、そのあとミラー9により反射され、レンズ10により受光素子11に集光される。受光素子11は光束を受光することによって検出信号を出力し、この信号の出力に基づき、4光束各々の光走査の書き込み開始タイミングが決定される。
走査光学系は、光偏向器5により同時に偏向される4光束を、被走査面である感光体8の表面上に4つの光スポットとして集光させる光学系であって、1枚の走査レンズ6により構成される。この走査レンズ6は、図1に即して説明したものと同様のものであり、光偏向器5の偏向反射面上の反射点から走査レンズ6の入射面までの距離をd0、走査レンズ6の射出面から被走査面までの距離をLとしたとき、
4.5<L/d0<7.5 ・・・(1)
の条件を満足するものが用いられる。
図1に示す実施の形態と同様、走査レンズ6は、その一方の面に曲率一定面、他方の面に特殊トーリック面を採用しており、特殊トーリック面の、副走査断面内の曲率の主走査方向に沿った変化が、光軸に対して非対称である。また、第1面の主走査方向の曲率半径をR1、第2面の主走査方向の曲率半径をR2、第1面の副走査方向の曲率半径をr1、第2面の副走査方向の曲率半径をr2としたとき、
|R1|>|R2| ・・・(2)
|r1|>|r2| ・・・(3)
の条件を満足するものが用いられる。
図2に示すマルチビーム方式の光走査装置の実施の形態は、複数の発光源ch1〜ch4からの複数の光束を、共通のカップリングレンズ2により以後の光学系にカップリングし、カップリングされた複数光束を、共通の線像結像光学系であるシリンドリカルレンズ4により、光偏向器5の偏向反射面近傍に主走査方向に長く、副走査方向に分離した複数の線像として結像させ、光偏向器5により同時に等角速度的に偏向させ、偏向光束を共通の走査光学系6により、感光体8の表面上に、副走査方向に分離した複数の光スポットとして集光し、これら複数の光スポットにより複数走査線を同時に光走査するマルチビーム方式の光走査装置として構成されている。そして、複数の光束に共通の走査光学系として、請求項42記載の走査光学系に用いられている走査レンズと同様に構成された走査レンズ6を用いている。また、光源1として、複数の発光源ch1〜ch4が1列に配列されたモノリシックな半導体レーザアレイを用いている。
なお、この明細書中に言う「光スポットのスポット径」は、被走査面上の光スポットにおける光強度分布のラインスプレッド関数における1/e強度で定義される。ラインスプレッド関数は、被走査面上に形成された光スポットの中心座標を基準として主走査方向および副走査方向の座標:Y、Zにより光スポットの光強度分布:f(Y、Z)を定めたとき、Z方向のラインスプレッド関数:LSZは
LSZ(Z)=∫f(Y、Z)dY (積分はY方向における光スポットの全幅について行う)で定義され、Y方向のラインスプレッド関数:LSYは、
LSY(Y)=∫f(Y、Z)dZ (積分はZ方向における光スポットの全幅について行う)で定義される。
これらラインスプレッド関数:LSZ(Z)、LSY(Y)は、通常、略ガウス分布型の形状であり、Y方向及びZ方向のスポット径は、これらラインスプレッド関数:LSZ(Z)、LSY(Y)が、その最大値の1/e以上となる領域のY、Z方向幅で与えられる。
ラインスプレッド関数により上記の如く定義されるスポット径は、光スポットをスリットに沿って等速度で光走査し、スリットを通った光を光検出器で受光し、受光量を積分することにより容易に測定可能であり、このような測定を行う装置も市販されている。
以下、具体的な実施例を3例挙げる。光走査装置としての光学配置は、図3、図8、図13に示すとおりである。
実施例の中で示す走査レンズ面の形状等は、以下の式による。
「主走査断面内における非円弧形状」
主走査断面内の近軸曲率半径:R、光軸からの主走査方向の距離:Y、円錐定数:K、高次の係数:A、A、A、A、A、A、・・、光軸方向のデプス:Xを用いて周知の多項式(5)で表す。
X=(Y/R)/[1+√{1−(1+K)(Y/R)}]
+AY+A+A+A+A+A+・・ ・・・(5)
(5)式において、奇数次の係数:A、A、A、・・の1以上が0でないとき、主走査方向に非対称形状となる。
「副走査断面内における曲率」
副走査断面内の曲率(曲率半径の逆数)が主走査方向(光軸位置を原点とする座標:Yで示す)において変化する場合、副走査断面内の曲率:C(Y)を、次の(6)式で表す。r(0)は、副走査断面内における光軸上の曲率半径を表し、B、B・・等は高次の係数を表す。
C(Y)={1/r(0)}+BY+B+B
+B+B+B+・・ (6)
(6)式において、Yの奇数次係数:B、B、B、・・の1以上が0でないとき、副走査断面内の曲率半径の変化は、主走査方向に非対称、となる。Yの係数:B、B、B、・・が全て0であるとき、曲率一定面、となる。
特殊トーリック面の解析表現は上に挙げたものに限らず種々の表現が可能であり、この発明における面形状が上記式による表現に限定されるものではない。
以下に、具体的数値を挙げて、本発明にかかる走査光学系の実施例を示す。
「光源」
波長:780nm
「カップリングレンズ」
焦点距離:15mm
カップリング作用:発散作用
自然集光点すなわちカップリングレンズから射出した発散性の光束を逆追跡した場合の集光位置は、光源位置から被走査面側へ向って−259.76mmの位置にある。
「シリンドリカルレンズ」
副走査方向の焦点距離:26.49mm
「ポリゴンミラー」
偏向反射面数:6
内接円半径:16mm
光源側からの光束の入射角と走査光学系の光軸とがなす角:64度
「ポリゴンミラーと被走査面との間にある光学系のデータ」
曲率半径を、主走査方向につき「R」、副走査方向につき「r」、屈折率を「n」で表す。なお、以下の表1に示すデータにおける「R、r」は、近軸曲率半径である。
表1

Figure 2006309090
上記の表1において、X、Yは、面番号:i〜i+1における頂点間の光軸方向および主走査方向の距離を表す。例えば、面番号:0(偏向反射面)におけるX=28、Y=0.38は、偏向反射点位置(像高:0を与える反射位置)に対して走査レンズ6の入射面(面番号:1)の頂点が、光軸方向(X方向)に28mm、主走査方向(Y方向)に0.38mm、それぞれ離れていることを意味する。面番号:1におけるX=13.5は走査レンズ6の光軸上の肉厚を与える。上記面番号:0(偏向反射面)におけるX=28は、請求項4、10、16、27、33におけるd0に相当し、面番号:2(レンズの射出面)におけるX=158.5は請求項4、10、16、27、33におけるLに相当するため、上記走査光学系は条件(1):
4.5<L/d0=5.66<7.5
を満足している。
入射面(面番号:i=1)は曲率一定面であり、かつ、主走査断面内の形状は上記(6)式で表される非円弧形状である。この面の主走査方向の各係数を表2に挙げる。
表2

Figure 2006309090
射出面(面番号:i=2)は特殊面で、主走査断面内の形状は光軸に対称的な非円弧形状である。この面の主走査方向と副走査方向の係数を表3に挙げる。

表3

Figure 2006309090
実施例1の走査光学系の中心像高における副走査方向の横倍率:βは、β=4.79である。図4に、実施例1の像面湾曲(左図:実線は副走査像面湾曲、破線は主走査像面湾曲)と等速度特性(右図:実線はリニアリティ、破線はfθ特性)を示す。
主走査方向:1.327mm/216mm
副走査方向:1.676mm/216mm
リニアリティ:0.493%/216mm
と、像面湾曲・等速度特性ともに極めて良好に補正されている。
図5には、中心像高の副走査方向横倍率:βに対する、任意像高の副走査方向横倍率:βの変化を示す。倍率変化:|β/β|は、極めて良好に補正されている。
図6は、走査レンズ6の入射面(図6(a))、射出面(図6(b))の曲率変化を示している。本実施例では、入射面を「曲率一定面」としている。
図7には、実施例1における光スポットの像高ごとの、スポット径の深度曲線(光スポットのデフォーカスに対するスポット径の変動)を示す。図7(a)は主走査方向、(b)は副走査方向に関するものである。実施例1では、ラインスプレッド関数の1/e強度で定義されるスポット径として50μm程度を意図している。図に示されているように、主走査方向、副走査方向とも良好な深度を有しており、被走査面の位置精度に対する許容度が高い。
実施例1では、走査光学系をなすレンズ6をプラスチック材料で構成しているが、ガラス材料を使ってもよい。また、更なるビームスポット径の小径化を狙うために、副走査方向を非円弧形状としてもよい。
さらに、走査光学系を偏心させることで、より好ましく収差補正を行うことが可能である。実施例1においては、走査レンズを被走査面の法線に対して0.33度チルトすることで上記の良好な性能を実現している。
図8に本発明にかかる走査光学系を有する光走査装置の実施例2を示す。各光学素子には前記実施例における光学素子と共通の符号を付した。
「光源」
波長:780nm
「カップリングレンズ」
焦点距離:15mm
カップリング作用:発散作用
自然集光点は、光源位置から被走査面側へ向って−1256.179mmの位置にある。
「シリンドリカルレンズ」
副走査方向の焦点距離:26.49mm
「ポリゴンミラー」
偏向反射面数:6
内接円半径:13mm
光源側からの光束の入射角と走査光学系の光軸とがなす角:64度
「ポリゴンミラーと被走査面との間にある光学系のデータ」:表4に示す

表4

Figure 2006309090
面番号:2(レンズの射出面)におけるX=189は請求項4、10、16、27、33におけるLに相当するため、上記走査光学系は条件(1):
4.5<L/d0=6<7.5
を満足している。
入射面(面番号:i=1)は曲率一定面であり、かつ、主走査断面内の形状は前記(6)式で表される非円弧形状である。この面の主走査方向の各係数を表5に挙げる。

表5

Figure 2006309090
射出面(面番号:i=2)は特殊面で、主走査断面内の形状は光軸に対称的な非円弧形状である。
この面の主走査方向と副走査方向の係数を表6に挙げる。
表6

Figure 2006309090
実施例2の走査光学系の中心像高における副走査方向の横倍率:βは、β=4.88である。
図9に、実施例2の像面湾曲(左図:実線は副走査像面湾曲、破線は主走査像面湾曲)と等速度特性(右図:実線はリニアリティ、破線はfθ特性)を示す。
主走査方向:1.634mm/216mm
副走査方向:0.305mm/216mm
リニアリティ:2.506%/216mm
と、像面湾曲・等速度特性ともに極めて良好に補正されている。
また、有効書込幅W=216mmに対して副走査像面湾曲の値Fs=0.305mmであるので、条件(4):
Fs/W=0.0014<0.005
を満足している。
図10に、中心像高の副走査方向横倍率:βに対する、任意像高の副走査方向横倍率:βの変化を示す。倍率変化:|β/β|は、極めて良好に補正されている。
図11は、レンズ6の入射面(図11(a))、射出面(図11(b))の曲率変化を示している。本実施例では、入射面を「曲率一定面」としている。
図12は、実施例2における光スポットの像高ごとの、スポット径の深度曲線(光スポットのデフォーカスに対するスポット形の変動)を示す。 主走査方向、副走査方向とも良好な深度を有しており、被走査面の位置精度に対する許容度が高い。
実施例2では、走査光学系をなすレンズ6をプラスチック材料で構成しているが、ガラス材料を使ってもよい。また、更なるビームスポット径の小径化を狙うために、副走査方向を非円弧形状としてもよい。また、走査光学系を偏心させることで、より好ましく収差補正を行うことが可能である。
図13に本発明にかかる走査光学系を有する光走査装置の実施例3を示す。各光学素子には前記実施例における光学素子と共通の符号を付した。
「光源」
波長:780nm
「カップリングレンズ」
焦点距離:15mm
カップリング作用:発散作用
自然集光点は、光源位置から被走査面側へ向って−1256.179mmの位置にある。
「シリンドリカルレンズ」
副走査方向の焦点距離:26.49mm
「ポリゴンミラー」
偏向反射面数:6
内接円半径:13mm
光源側からの光束の入射角と走査光学系の光軸とがなす角:64度
「ポリゴンミラーと被走査面との間にある光学系のデータ」:表7に示す
表7

Figure 2006309090
面番号:2(レンズの射出面)におけるX=160は請求項4、10、16、27、33におけるLに相当するため、上記走査光学系は条件(1):
4.5<L/d0=5.08<7.5
を満足している。
入射面(面番号:i=1)は「曲率一定面」であり、かつ、主走査断面内の形状は上記(6)式で表される非円弧形状である。この面の主走査方向の各係数を表8に挙げる。

表8

Figure 2006309090
射出面(面番号:i=2)は「特殊面」で、主走査断面内の形状は光軸に対称的な非円弧形状である。この面の主走査方向と副走査方向の係数を表9に挙げる。
表9

Figure 2006309090
実施例3の走査光学系の中心像高における副走査方向の横倍率:βは、β=4.25である。
図14に、実施例3の像面湾曲(左図:実線は副走査像面湾曲、破線は主走査像面湾曲)と等速度特性(右図:実線はリニアリティ、破線はfθ特性)を示す。
主走査方向:2.153mm/216mm
副走査方向:0.505mm/216mm
リニアリティ:1.144% /216mm
と、像面湾曲・等速度特性ともに極めて良好に補正されている。
また、有効書込幅W=216mmに対して副走査像面湾曲の値Fs=0.505mmであるので、条件(4):
Fs/W=0.0023<0.005
を満足している。
図15は、実施例3の、中心像高の副走査方向横倍率:βに対する、任意像高の副走査方向横倍率:βの変化を示す。倍率変化:|β/β|は、極めて良好に補正されている。
図16は、実施例3における走査レンズ6の入射面の曲率変化(図16(a))と、射出面の曲率変化(図16(b))を示している。本実施例では、入射面を「曲率一定面」としている。
図17は、実施例3における光スポットの像高ごとの、スポット径の深度曲線(光スポットのデフォーカスに対するスポット形の変動)を示す。 主走査方向、副走査方向とも良好な深度を有しており、被走査面の位置精度に対する許容度が高いことがわかる。
実施例3では、走査光学系をなすレンズ6をプラスチック材料で構成しているが、ガラス材料を使ってもよい。また、更なるビームスポット径の小径化を狙うために、副走査方向を非円弧形状としてもよい。
さらに、走査光学系を偏心させることで、より好ましく収差補正を行うことが可能である。実施例3においては、走査レンズを被走査面の法線に対して0.1度チルトすることで上記の良好な性能を実現している。
次に、本発明にかかる画像形成装置の実施例について説明する。図18は画像形成装置の実施例を示す。この実施例はレーザプリンタの例である。図18において、レーザプリンタ1000は、感光性の像担持体1110として、円筒状に形成された光導電性の感光体を有している。像担持体1110の周囲には、帯電手段としての帯電ローラ1121、現像装置1131、転写ローラ1141、クリーニング装置1151が配備されている。帯電手段として、コロナチャージャを用いることもできる。像担持体1110および帯電ローラ1121の上方には、レーザ光束LBにより光走査を行う光走査装置1171が設けられ、帯電ローラ1121と現像装置1131との間で、光書き込みによる露光を行うようになっている。光走査装置1171として、これまで説明してきた各実施例にかかる光走査装置のいずれかを用いている。
図18において、符号1161は定着装置、符号1181は給紙カセット、符号1191はレジストローラ対、符号1201は給紙コロ、符号1211は転写紙の搬送路、符号1221は排紙ローラ対、符号1231はトレイ、符号Pはシート状記録媒体としての転写紙をそれぞれ示している。画像形成を行うときは、光導電性の感光体である像担持体1110が時計回りに等速回転される。その表面が帯電ローラ1121により均一帯電され、帯電された像担持体1110の表面に、光走査装置1171がレーザ光束LBで光書き込みを行うことにより露光されて静電潜像が形成される。形成された静電潜像は所謂ネガ潜像であって画像部が露光されている。
上記静電潜像は現像装置1131により反転現像され、像担持体1110上にトナー画像が形成される。転写紙Pを収納したカセット1181は、画像形成装置1000の本体に脱着可能であり、図のごとく装着された状態において、収納された転写紙Pの最上位の1枚が給紙コロ1201により引き出される。引き出された転写紙Pは、その先端部をレジストローラ対1191に銜えられる。レジストローラ対1191は、像担持体1110上のトナー画像が転写位置へ移動するのにタイミングを合わせて、転写紙Pを転写部としての転写ローラ1141へ送り込む。
転写部に送り込まれた転写紙Pは、トナー画像と重ね合わせられ、転写ローラ1141の作用によりトナー画像が転写紙Pに静電転写される。転写紙Pは定着装置1161へ送られ、定着装置1161において転写紙Pにトナー画像が定着され、転写紙Pは搬送路1211を通り、排紙ローラ対1221によりトレイ1231上に排出される。トナー画像が転写された後の像担持体1110の表面は、クリーニング装置1151によりクリーニングされ、残留トナーや紙粉等が除去される。
光走査装置1171として、図1、図8、図13に示すような光走査装置を用いることにより、極めて良好な画像形成を実行することができる。
また、複数の感光性の像担持体を配列し、各像担持体に対してそれぞれに対応する光走査装置により光走査を行って各色に対応する潜像を形成し、これらの潜像を現像手段で可視化して転写紙などの転写媒体に重ねて転写することにより、カラー画像を得るようにした、いわゆるタンデム方式のカラー画像形成装置を構成することができる。このカラー画像形成装置の各光走査装置として、前記実施例にかかる光走査装置を用いることにより、極めて良好なカラー画像を形成することができる。
本発明は、複写機、プリンタ、ファクシミリなどの画像形成装置に適用可能であり、また、カラー化したこれらの画像形成装置に適用することもできる。
本発明にかかるシングルビーム方式の光走査装置の実施形態を示す斜視図である。 本発明にかかるマルチビーム方式の光走査装置の実施形態を示す斜視図である。 本発明にかかる光走査装置の実施例1を示す光学配置図である。 上記実施例1における収差図(像面湾曲と等速度特性)である。 上記実施例1における倍率変化:|β/β|を示す線図である。 上記実施例1の走査光学系の入射側面(曲率一定面)と射出側面(特殊面)の、副走査断面内の曲率の主走査方向における変化を示す線図である。 上記実施例1における光スポットの像高ごとのスポット径の深度曲線を示す線図である。 本発明にかかる光走査装置の実施例2を示す光学配置図である。 上記実施例2における収差図(像面湾曲と等速度特性)である。 上記実施例2における倍率変化:|β/β|を示す線図である。 上記実施例2の走査光学系の入射側面(曲率一定面)と射出側面(特殊面)の、副走査断面内の曲率の主走査方向における変化を示す線図である。 上記実施例2における光スポットの像高ごとのスポット径の深度曲線を示す線図である。 本発明にかかる光走査装置の実施例3を示す光学配置図である。 上記実施例3における収差図(像面湾曲と等速度特性)である。 上記実施例3における倍率変化:|β/β|を示す線図である。 上記実施例3の走査光学系の入射側面(曲率一定面)と射出側面(特殊面)の、副走査断面内の曲率の主走査方向における変化を示す線図である。 上記実施例3における光スポットの像高ごとのスポット径の深度曲線を示す線図である。 本発明にかかる画像形成装置の実施形態を模式的に示す正面図である。
符号の説明
1 光源
2 カップリングレンズ
4 シリンドリカルレンズ
5 光偏向器
6 走査レンズ
8 感光体

Claims (46)

  1. 主走査方向に発散性の光束を光偏向器により偏向し、偏向された光束を被走査面上に光スポットとして集光させる単一の走査レンズで構成された走査光学系において、
    上記走査レンズは主走査方向に両凸形状、副走査方向に両凸形状を有し、少なくとも一面は副走査断面内の曲率中心を主走査断面内で結ぶ線が非直線である特殊トーリック面であり、
    上記特殊トーリック面の副走査断面内の曲率の主走査方向に沿う変化が走査レンズ面の光軸に対して非対称であることを特徴とする走査光学系。
  2. 請求項1記載の走査光学系において、走査レンズの両面がアナモフィック面によってなることを特徴とする走査光学系。
  3. 請求項2記載の走査光学系において、走査レンズの少なくとも一面は、副走査断面内の曲率が主走査方向に沿って一定な曲率一定面であることを特徴とする走査光学系。
  4. 請求項1〜3のいずれかに記載の走査光学系において、光偏向器の反射面上の反射点から走査レンズ入射面までの距離をd0、走査レンズ射出面から被走査面までの距離をLとしたとき、
    4.5<L/d0<7.5 ・・・(1)
    の条件を満足することを特徴とする走査光学系。
  5. 請求項1〜4のいずれかに記載の走査光学系において、走査レンズの第1面の主走査方向の曲率半径をR1、第2面の主走査方向の曲率半径をR2、第1面の副走査方向の曲率半径をr1、第2面の副走査方向の曲率半径をr2としたとき、
    |R1|>|R2| ・・・(2)
    |r1|>|r2| ・・・(3)
    の条件を満足することを特徴とする走査光学系。
  6. 請求項1〜5のいずれかに記載の走査光学系において、有効書き込み幅をW、有効書き込み幅内における副走査像面湾曲の幅をFsとしたとき、
    Fs/W<0.005 ・・・(4)
    の条件を満足することを特徴とする走査光学系。
  7. 主走査方向に発散性の光束を光偏向器により偏向し、偏向された光束を被走査面上に光スポットとして集光させる単一の走査レンズで構成された走査光学系において、
    上記走査レンズは、主走査方向に両凸形状、副走査方向に両凸形状を有し、両面がアナモフィック面であることを特徴とする走査光学系。
  8. 請求項7記載の走査光学系において、走査レンズの少なくとも一面は副走査断面内の曲率中心を主走査断面内で結ぶ線が非直線である特殊トーリック面であり、特殊トーリック面の副走査断面内の曲率の主走査方向に沿う変化が走査レンズ面の光軸に対して非対称であることを特徴とする走査光学系。
  9. 請求項8記載の走査光学系において、走査レンズの少なくとも一面は、副走査断面内の曲率が主走査方向に一定な曲率一定面であることを特徴とする走査光学系。
  10. 請求項7〜9のいずれかに記載の走査光学系において、光偏向器の反射面上の反射点から走査レンズ入射面までの距離をd0、走査レンズ射出面から被走査面までの距離をLとしたとき、
    4.5<L/d0<7.5 ・・・(1)
    を満足することを特徴とする走査光学系。
  11. 請求項7〜10のいずれかに記載の走査光学系において、走査レンズの第1面の主走査方向の曲率半径をR1、第2面の主走査方向の曲率半径をR2、第1面の副走査方向の曲率半径をr1、第2面の副走査方向の曲率半径をr2としたとき、
    |R1|>|R2| ・・・(2)
    |r1|>|r2| ・・・(3)
    の条件を満足することを特徴とする走査光学系。
  12. 請求項7〜11のいずれかに記載の走査光学系において、有効書込幅をW、有効書込幅内における副走査像面湾曲の幅をFsとしたとき、
    Fs/W<0.005 ・・・(4)
    の条件を満足することを特徴とする走査光学系。
  13. 主走査方向に発散性の光束を光偏向器により偏向し、偏向された光束を被走査面上に光スポットとして集光させる単一の走査レンズで構成された走査光学系において、
    上記走査レンズは、主走査方向に両凸形状、副走査方向に両凸形状を有し、
    上記走査レンズの光偏向器側の面は、副走査断面内の曲率が主走査方向に一定であることを特徴とする走査光学系。
  14. 請求項13記載の走査光学系において、走査レンズの両面はアナモフィック面であることを特徴とする走査光学系。
  15. 請求項14記載の走査光学系において、走査レンズの被走査面側の面は副走査断面内の曲率中心を主走査断面内で結ぶ線が非直線である特殊トーリック面であり、特殊トーリック面の副走査断面内の曲率の主走査方向に沿う変化が走査レンズ面の光軸に対して非対称であることを特徴とする走査光学系。
  16. 請求項13〜15のいずれかに記載の走査光学系において、光偏向器の反射面上の反射点から走査レンズ入射面までの距離をd0、走査レンズ射出面から被走査面までの距離をLとしたとき、
    4.5<L/d0<7.5 ・・・(1)
    の条件を満足することを特徴とする走査光学系。
  17. 請求項13〜16のいずれかに記載の走査光学系において、走査レンズの第1面の主走査方向の曲率半径をR1、第2面の主走査方向の曲率半径をR2、第1面の副走査方向の曲率半径をr1、第2面の副走査方向の曲率半径をr2としたとき、
    |R1|>|R2| ・・・(2)
    |r1|>|r2| ・・・(3)
    の条件を満足することを特徴とする走査光学系。
  18. 請求項13〜17のいずれかに記載の走査光学系において、有効書込幅をW、有効書込幅内における副走査像面湾曲の幅をFsとしたとき、
    Fs/W<0.005 ・・・(4)
    の条件を満足することを特徴とする走査光学系。
  19. 請求項1〜18のいずれかに記載の走査光学系において、主走査方向において、被走査面上の光スポットを略等速的に光走査させる機能を有し、副走査方向において光偏向器の面倒れを補正する機能を有することを特徴とする走査光学系。
  20. 請求項1〜19のいずれかに記載の走査光学系において、走査レンズは樹脂で成形されていることを特徴とする走査光学系。
  21. 請求項1〜20のいずれかに記載の走査光学系において、走査レンズの光軸が被走査面の法線に対してチルトしていることを特徴とする走査光学系。
  22. 請求項1〜21のいずれかに記載の走査光学系において、同時に偏向される複数ビームを、被走査面上に、副走査方向に分離した複数の光スポットとして集光することを特徴とするマルチビーム走査光学系。
  23. 主走査方向に発散性の光束を光偏向器により偏向し、偏向された光束を被走査面上に光スポットとして集光させる単一の走査レンズで構成された走査光学系において、
    上記走査レンズの第1面の主走査方向の曲率半径をR1、第2面の主走査方向の曲率半径をR2、第1面の副走査方向の曲率半径をr1、第2面の副走査方向の曲率半径をr2としたとき、
    |R1|>|R2| ・・・(2)
    |r1|>|r2| ・・・(3)
    の条件を満足し、
    上記走査レンズの光偏向器側の面は、副走査断面内の曲率が主走査方向に一定であることを特徴とする走査光学系。
  24. 請求項23記載の走査光学系において、走査レンズの少なくとも一面は副走査断面内の曲率中心を主走査断面内で結ぶ線が非直線である特殊トーリック面であり、特殊トーリック面の副走査断面内の曲率の主走査方向に沿う変化が走査レンズ面の光軸に対して非対称であることを特徴とする走査光学系。
  25. 請求項24記載の走査光学系において、走査レンズの両面がアナモフィック面であることを特徴とする走査光学系。
  26. 請求項25記載の走査光学系において、走査レンズが主走査方向に両凸形状、副走査方向に両凸形状を有していることを特徴とする走査光学系。
  27. 請求項23〜25のいずれかに記載の走査光学系において、光偏向器の反射面上の反射点から走査レンズ入射面までの距離をd0、走査レンズの射出面から被走査面までの距離をLとしたとき、
    4.5<L/d0<7.5 ・・・(1)
    を満足することを特徴とする走査光学系。
  28. 請求項23〜27のいずれかに記載の走査光学系において、有効書込幅をW、有効書込幅内における副走査像面湾曲の幅をFsとしたとき、
    Fs/W<0.005 ・・・(4)
    の条件を満足することを特徴とする走査光学系。
  29. 請求項23〜28のいずれかに記載の走査光学系において、主走査方向において、被走査面上の光スポットを略等速的に光走査させる機能を有し、副走査方向において光偏向器の面倒れを補正する機能を有することを特徴とする走査光学系。
  30. 請求項23〜29のいずれかに記載の走査光学系において、走査レンズは樹脂で成形されていることを特徴とする走査光学系。
  31. 請求項23〜30のいずれかに記載の走査光学系において、走査レンズの光軸が被走査面の法線に対してチルトしていることを特徴とする走査光学系。
  32. 請求項23〜31のいずれかに記載の走査光学系において、同時に偏向される複数ビームを、副走査方向に分離した複数の光スポットとして被走査面上に集光することを特徴とするマルチビーム方式の走査光学系。
  33. 主走査方向に発散性の光束を光偏向器により偏向し、偏向された光束を被走査面上に光スポットとして集光させる単一の走査レンズで構成された走査光学系において、
    光偏向器の反射面上の反射点から走査レンズ入射面までの距離をd0、走査レンズ射出面から被走査面までの距離をLとしたとき、
    4.5<L/d0<7.5 ・・・(1)
    を満足し、
    上記走査レンズの第1面の主走査方向の曲率半径をR1、第2面の主走査方向の曲率半径をR2、第1面の副走査方向の曲率半径をr1、第2面の副走査方向の曲率半径をr2としたとき、
    |R1|>|R2| ・・・(2)
    |r1|>|r2| ・・・(3)
    の条件を満足し、
    上記走査レンズの少なくとも一面がアナモフィック面によってなることを特徴とする走査光学系。
  34. 請求項33記載の走査光学系において、走査レンズが主走査方向に両凸形状、副走査方向に両凸形状を有していることを特徴とする走査光学系。
  35. 請求項34記載の走査光学系において、走査レンズの少なくとも一面は副走査断面内の曲率中心を主走査断面内で結ぶ線が非直線である特殊トーリック面であり、特殊トーリック面の副走査断面内の曲率の主走査方向に沿う変化が走査レンズ面の光軸に対して非対称であることを特徴とする走査光学系。
  36. 請求項35記載の走査光学系において、走査レンズの光偏向器側の面は、副走査断面内の曲率が主走査方向に一定であることを特徴とする走査光学系。
  37. 請求項33〜35のいずれかに記載の走査光学系において、有効書込幅をW、有効書込幅内における副走査像面湾曲の幅をFsとしたとき、
    Fs/W<0.005 ・・・(4)
    の条件を満足することを特徴とする走査光学系。
  38. 請求項33〜37のいずれかに記載の走査光学系において、被走査面上の光スポットを主走査方向に略等速的に光走査させる機能を有し、副走査方向において光偏向器の面倒れを補正する機能を有することを特徴とする走査光学系。
  39. 請求項33〜38のいずれかに記載の走査光学系において、走査レンズが樹脂で成形されていることを特徴とする走査光学系。
  40. 請求項33〜39のいずれかに記載の走査光学系において、走査レンズの光軸が被走査面の法線に対してチルトしていることを特徴とする走査光学系。
  41. 請求項33〜40のいずれかに記載の走査光学系において、同時に偏向される複数ビームを、被走査面上に、副走査方向に分離した複数の光スポットとして集光することを特徴とするマルチビーム方式の走査光学系。
  42. 光源からの光束をカップリングレンズにより以後の光学系にカップリングし、カップリングされた光束を、線像結像光学系により光偏向器の偏向反射面近傍に主走査方向に長い線像として結像させ、上記光偏向器により等角速度的に偏向させ、偏向光束を走査光学系により、被走査面上に光スポットとして集光させ、上記被走査面を光走査するシングルビーム方式の光走査装置であって、
    走査光学系として、請求項1〜41のいずれかに記載の走査光学系を用いたことを特徴とする光走査装置。
  43. 複数の発光源からの光束をカップリングレンズにより以後の光学系にカップリングし、カップリングされた複数光束を共通の線像結像光学系により、光偏向器の偏向反射面位置近傍に主走査方向に長く、副走査方向に分離した複数の線像として結像させ、上記光偏向器により同時に等角速度的に偏向させ、複数の偏向光束を共通の走査光学系により、被走査面上に、副走査方向に分離した複数の光スポットとして集光し、これら複数の光スポットにより複数走査線を同時に光走査するマルチビーム方式の光走査装置であって、
    共通の走査光学系として請求項22、32、または41記載の走査光学系を用いたことを特徴とする光走査装置。
  44. 請求項43記載の光走査装置において、複数の発光源が1列に配列されたモノリシックな半導体レーザアレイを、光源として用いたことを特徴とする光走査装置。
  45. 感光性の像担持体に対して光走査装置による光走査を行って潜像を形成し、この潜像を現像手段で可視化して画像を得る画像形成装置において、
    像担持体を光走査する光走査装置として請求項42〜44のいずれかに記載の光走査装置を用いたことを特徴とする画像形成装置。
  46. 複数の感光性の像担持体に対して光走査装置による光走査を行って各色に対応する潜像を形成し、この潜像を現像手段で可視化してカラー画像を得る画像形成装置において、
    像担持体を光走査する光走査装置として請求項42〜44のいずれかに記載の光走査装置を用いたことを特徴とするカラー画像形成装置。
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