JP3367389B2 - Ceiling transport system and positioning method thereof - Google Patents
Ceiling transport system and positioning method thereofInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、天井側に配された
軌道を走行し、搬送物（キャリア）を吊り下げ状態でク
リーンルーム内等に配置されたプロセス処理装置相互間
に搬送する天井搬送システムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceiling transfer system that travels on a track arranged on the ceiling side and transfers a carrier (carrier) in a suspended state between process processing devices arranged in a clean room or the like. Regarding
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、クリーンルームにおける半導体
デバイス製造用ウェーハ搬送システムにおいては、天井
側の軌道を走行する天井搬送車を用い、ウェーハの入っ
たキャリアを半導体プロセス処理装置同志の間又は半導
体プロセス処理装置とストッカとの間で搬送しながら処
理することが行われている。2. Description of the Related Art For example, in a wafer transfer system for semiconductor device manufacturing in a clean room, a ceiling transfer vehicle traveling on a ceiling side track is used, and a carrier containing wafers is transferred between semiconductor process processing apparatuses or between semiconductor process processing apparatuses. Processing is performed while being transported between the stocker and the stocker.
【０００３】この天井搬送車は、軌道に沿って走行する
走行部、この走行部に設けられたハンド吊り下げ部、こ
のハンド吊り下げ部から昇降自在に吊り下げられたハン
ドからなり、半導体プロセス処理装置のロードポートに
置かれたキャリアをハンドで把持し、ハンド吊り下げ部
がハンドを上昇させた後、走行部により軌道に沿って走
行される構造となっている。This ceiling carrier is composed of a traveling unit traveling along a track, a hand suspending unit provided on the traveling unit, and a hand suspended from the hand suspending unit so as to be vertically movable. The structure is such that the carrier placed in the load port of the apparatus is held by the hand, the hand suspension unit raises the hand, and then the traveling unit travels along the track.
【０００４】ところで、クリーンルム内には、図５に示
す様に、天井側に設けられた軌道２０２に沿って複数の
半導体プロセス処理装置２０３が並設され、２台以上の
天井搬送車２０４により各半導体プロセス処理装置２０
３のロードポート２０５上から半導体ウェーハを収納す
るキャリア２０６を把持して、他の半導体プロセス処理
装置に搬送する。そして、キャリア２０６を各半導体プ
ロセス処理装置２０３から授受する際に、各天井搬送車
２０４のハンド２０７を、軌道２０２に沿ったＸ方向、
軌道に直交するＹ方向、ロードポート２０５に向かうＺ
方向および水平面で回転させるθ方向に調整すること
で、キャリア１０４に対して位置決めする。By the way, in the clean room, as shown in FIG. 5, a plurality of semiconductor process processing devices 203 are arranged in parallel along a track 202 provided on the ceiling side, and two or more ceiling transfer vehicles 204 are used. Each semiconductor process processor 20
The carrier 206 for accommodating the semiconductor wafer is gripped from above the load port 205 of No. 3, and is conveyed to another semiconductor process processing apparatus. Then, when the carrier 206 is transferred from each semiconductor processing apparatus 203, the hand 207 of each ceiling transport vehicle 204 is moved in the X direction along the track 202,
Y direction orthogonal to the orbit, Z toward the load port 205
Direction and the θ direction of rotating in the horizontal plane, the positioning is performed with respect to the carrier 104.
【０００５】そこで、各天井搬送車２０４を各半導体プ
ロセス処理装置２０３のキャリア２０６（ロードポート
２０５）に対して位置決めするには、各天井搬送車によ
る搬送前に、各半導体プロセス処理装置２０３のロード
ポート２０５に対してキャリア２０６を把持したハンド
２０７を教示（ティーチング）することで、各天井搬送
車２０４毎に各半導体プロセス処理装置のロードポート
２０５に対する位置決めデータを測定して、この位置決
めデータに基づいて各天井搬送車２０５のハンド２０７
を位置決めするようにしている。Therefore, in order to position each ceiling transport vehicle 204 with respect to the carrier 206 (load port 205) of each semiconductor process processing apparatus 203, before loading by each ceiling transport vehicle, each semiconductor processing processing apparatus 203 is loaded. By teaching (teaching) the hand 207 that holds the carrier 206 to the port 205, the positioning data for the load port 205 of each semiconductor processing apparatus is measured for each ceiling transport vehicle 204, and based on this positioning data. Hand 207 of each ceiling carrier 205
Is to be positioned.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
天井搬送システムでは、軌道を走行する全ての天井搬送
車を、全ての半導体プロセス処理装置に対して教示（テ
ィーチング）することで、各天井搬送車毎の各半導体プ
ロセス処理装置に対する位置決めデータを得ていること
から、これら位置決めデータを得るための教示の回数と
時間が多く必要となり、搬送までの時間が長くなる。特
に、半導体プロセス処理装置の数が多くなる程、教示の
回数と時間が著しく多くなる。However, in the conventional ceiling transfer system, each ceiling transfer vehicle is taught by teaching all the ceiling transfer vehicles traveling on the track to all the semiconductor process processing devices. Since the positioning data for each semiconductor process processing apparatus is obtained for each, the number of teachings and the time for obtaining these positioning data are required to be large, and the time until conveyance is long. In particular, the greater the number of semiconductor process processors, the more the number of teachings and the time required.
【０００７】本発明は、この問題を解決するためになさ
れたもので、２台以上の天井搬送車で搬送物を搬送する
際の、教示の回数と時間を短縮して各天井搬送車の各処
理装置に対する位置決めを可能とすることにある。The present invention has been made in order to solve this problem, and reduces the number of teachings and the time required to convey an article by two or more ceiling carriers, thereby reducing the number of teachings of each ceiling carrier. It is to enable positioning with respect to the processing device.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明の天井搬送システムでは、天井側の軌道に沿
って走行自在な天井搬送車を２台以上により、複数の処
理装置の間で搬送物を搬送する天井搬送システムにおい
て、前記２台以上のうち特定の天井搬送車を、特定の処
理装置と他の処理装置に対して教示させて得られる位置
決めデータと、残りの天井搬送車を、特定の処理装置に
対して教示させて得られる位置決めデータとを有し、前
記残りの天井搬送車は、特定の処理装置における各位置
決めにより求められる前記特定の天井搬送車に対するオ
フセット量と、前記特定の天井搬送車の他の処理装置に
対する位置決めデータとに基づいて、該他の処理装置に
対する位置決めデータを得るものである。これにより、
２台以上のうち特定した天井搬送車に、特定の処理装置
と他の処理装置に対する搬送物の位置決めデータを教示
し、残りの天井搬送車に特定の処理装置の教示を行って
天井搬送車の固有の位置決め特性を測定することで、こ
れらの位置決めデータのみで残りの天井搬送車の他の処
理装置に対する搬送物の位置決めデータを得ることがで
きる。In order to solve the above-mentioned problems, in the ceiling transfer system of the present invention, two or more ceiling transfer vehicles that can travel along the track on the ceiling side are provided between a plurality of processing devices. In a ceiling transport system for transporting a transported object, positioning data obtained by teaching a specific ceiling transport vehicle of the two or more units to a specific processing device and another processing device, and the remaining ceiling transport vehicles. , And positioning data obtained by instructing a specific processing device, wherein the remaining ceiling guided vehicle has an offset amount with respect to the specific ceiling guided vehicle, which is obtained by each positioning in the specific processing device, and Based on the positioning data for the other processing device of the specific ceiling carrier, the positioning data for the other processing device is obtained. This allows
Of the two or more units, the specified ceiling transport vehicle is instructed of the positioning data of the transported object with respect to the specific processing device and the other processing device, and the remaining ceiling transport vehicles are instructed of the specific processing device so that the ceiling transport vehicle By measuring the peculiar positioning characteristic, it is possible to obtain the positioning data of the transported object with respect to the other processing devices of the remaining ceiling guided vehicle only with these positioning data.
【０００９】請求項２の天井搬送システムでは、前記位
置決め手段は、走行部を軌道に対する走行させるＸ方
向、ハンド吊り下げ部からハンド部を吊り下げるＺ方
向、前記走行部に対して前記ハンド吊り下げ部を前記軌
道と直角方向に移動させるＹ方向と、前記走行部に対し
て前記ハンド吊り下げ部を水平面内で回転させる角度θ
の４元により行うものである。これにより、Ｘ〜Ｚ方
向、θ方向の４元について教示するものでは、各天井搬
送車により全てのプロセス処理装置に対して教示する
と、その教示の回数と時間が多くなることから、上述し
た教示により得られる各位置決めデータに基づいて、残
りの天井搬送車の各処理装置に対する位置決めデータを
求めるようにすれば、教示の回数と時間を有効に低減さ
せることができる。According to another aspect of the present invention, in the ceiling transfer system, the positioning means has the X direction in which the traveling unit travels on the track, the Z direction in which the hand suspending unit suspends the hand unit, and the suspending unit suspends the hand from the traveling unit. Y direction for moving the part in a direction perpendicular to the track, and an angle θ for rotating the hand hanging part in a horizontal plane with respect to the running part.
It is carried out by 4 elements. As a result, in the case of teaching the four elements in the X to Z directions and the θ direction, teaching each process processing apparatus by each ceiling transport vehicle increases the number of teachings and the time, and thus the teachings described above. If the positioning data for each processing device of the remaining ceiling guided vehicle is obtained based on each positioning data obtained by the above, the number and time of teaching can be effectively reduced.
【００１０】請求項３の天井搬送システムでは、前記処
理装置は、半導体デバイス製造のためのプロセス処理装
置及びストッカであり、前記天井搬送車は、プロセス処
理装置同士の間、プロセス処理装置とストッカの間で半
導体ウェーハを入れる前記キャリアを搬送するものであ
る。これにより、クリーンルーム内に複数並設されて、
その精密性が要求される半導体プロセス処理装置やスト
ッカーに対して、又はオペレータによる搬送物の検査の
ための仮置台に対して、２台以上の天井搬送車を用いて
キャリアを搬送する際に、各装置に対するキャリアの位
置決めを確実に行える。According to a third aspect of the present invention, in the ceiling transfer system, the processing apparatus is a process processing apparatus and a stocker for manufacturing a semiconductor device, and the ceiling transfer vehicle includes a process processing apparatus and a stocker between the process processing apparatuses. The carrier for carrying the semiconductor wafer is conveyed between them. As a result, multiple units are installed side by side in the clean room,
When carrying a carrier using two or more ceiling carrier vehicles for a semiconductor process processing device or a stocker that requires high precision, or for a temporary stand for inspecting a transported object by an operator, The carrier can be reliably positioned with respect to each device.
【００１１】本発明の天井搬送システムの位置決め方法
では、天井側の軌道に沿って走行自在な天井搬送車の２
台以上により、複数の処理装置の間で搬送物を搬送する
際に、各処理装置に対して位置決めする天井搬送システ
ムの位置決め方法であって、前記２台以上の天井搬送車
のうち特定の天井搬送車を、特定の処理装置と他の処理
装置に対して教示させることで位置決めデータを得る工
程と、残りの天井搬送車を、前記特定の処理装置に対し
て教示させることで位置決めデータを得る工程とを具
え、前記特定の処理装置における各位置決めデータに基
づいて、特定の天井搬送車に対する残りの天井搬送車の
オフセット量を求め、このオフセット量と特定の天井搬
送車の他の処理装置に対する位置決めデータとに基づい
て演算される位置決めデータにより、他の処理装置に対
して残りの天井搬送車を位置決めするようにしたもので
ある。これにより、２台以上のうち特定した天井搬送車
に、特定の処理装置と他の処理装置に対する搬送物の位
置決めデータを教示し、残りの天井搬送車に特定の処理
装置の教示を行って天井搬送車の固有の位置決め特性を
測定することで、これらの位置決めデータのみで残りの
天井搬送車の他の処理装置に対する搬送物の位置決めデ
ータを得ることができる。According to the positioning method of the ceiling transfer system of the present invention, the ceiling transfer vehicle that can travel along the track on the ceiling side is used.
A positioning method of a ceiling transfer system for positioning a processing object with respect to each processing device when transferring a transported object between a plurality of processing devices by means of a table or more, wherein a specific ceiling among the two or more ceiling transfer vehicles is provided. Obtaining positioning data by teaching a transport vehicle to a specific processing device and another processing device, and obtaining positioning data by teaching the remaining ceiling transport vehicle to the specific processing device Based on each positioning data in the specific processing device, the offset amount of the remaining ceiling transport vehicle with respect to the specific ceiling transport vehicle is obtained, and the offset amount and other processing devices of the specific ceiling transport vehicle are provided. With the positioning data calculated based on the positioning data, the remaining ceiling guided vehicle is positioned with respect to another processing device. As a result, the ceiling transfer vehicle specified among the two or more units is instructed with the positioning data of the transfer object with respect to the specific processing apparatus and the other processing apparatus, and the remaining ceiling transfer vehicles are instructed of the specific processing apparatus to perform the ceiling processing. By measuring the peculiar positioning characteristic of the transport vehicle, it is possible to obtain the positioning data of the transported object with respect to the other processing devices of the remaining ceiling transport vehicle only with these positioning data.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態における
天井搬送システムを、図１〜図４に基づいて説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A ceiling transfer system according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
【００１３】図１及び図２において、天井搬送システム
１は、建物の天井側に設けられた軌道２と、軌道２に沿
って走行自在に配置された２台以上の天井搬送車３とで
構成されており、軌道２は建物内に並設された複数のプ
ロセス処理装置４のロードポート５上を通過するように
懸架されている。各天井搬送車３は、位置決め手段６
と、この位置決め手段６により各プロセス処理装置４の
ロードポート５に対して位置決めされるハンド７とを有
し、ハンド７に設けられた開閉可能な爪８により各プロ
セス処理装置４のロードポート５に置かれた搬送物９を
把持する。位置決め手段６は、各天井搬送車３を軌道２
に沿ったＸ方向に走行させる走行部１１と、ハンド吊り
下げ部材１２（帯状のもの）を巻取り、巻戻しすること
で各プロセス処理装置４のロードポート５に対するＺ方
向にハンド７を昇降させるハンド吊り下げ部１３と、ハ
ンド吊り下げ部１３を走行部１１に対して軌道２（Ｘ方
向）と直交するＹ方向に移動させ、且つ水平面内でθ方
向に回転させる移動部１４とで構成されている。1 and 2, a ceiling transfer system 1 is composed of a track 2 provided on the ceiling side of a building, and two or more ceiling transfer vehicles 3 arranged along the track 2 so as to run freely. The track 2 is suspended so as to pass over the load ports 5 of the plurality of process processing devices 4 arranged in parallel in the building. Each ceiling carrier 3 has a positioning means 6
And a hand 7 which is positioned by the positioning means 6 with respect to the load port 5 of each process processing device 4, and the openable and claws 8 provided on the hand 7 allow the load port 5 of each process processing device 4. The transported object 9 placed on the is gripped. The positioning means 6 moves each ceiling carrier 3 through the track 2
A hand-suspending member 11 (belt-shaped member) for traveling in the X-direction along with is wound and unwound to raise / lower the hand 7 in the Z-direction with respect to the load port 5 of each process processor 4. The hand suspending unit 13 and the moving unit 14 for moving the hand suspending unit 13 in the Y direction orthogonal to the track 2 (X direction) with respect to the traveling unit 11 and rotating in the θ direction in the horizontal plane. ing.
【００１４】２台以上のうち建物への設置後に特定さ
れ、又は２台以上のうち建物への設置前からすでに特定
された１つの天井搬送車３Ｋの内には、軌道２内に配さ
れた給電線により外部電源１５に接続される電源部１６
と、通信部１７と、位置決めデータを記憶する位置決め
データテーブル１９（記憶手段）と、位置決めデータに
基づいて位置決め手段６の作動を制御する台車制御部１
８と、演算部２４とが配置されている。位置決めデータ
テーブル１９には、ティーチングボックス２３の操作に
より予め特定の天井搬送車３Ｋのハンド７で把持された
搬送物９をＸ〜Ｚ方向、及びθ方向に教示（ティーチン
グ）することで得られる特定のプロセス処理装置４Ｋの
ロードポート５に対する搬送物９の位置決めデータ（Ｘ
kr，ＹKr，ＺKr，θKr）と、他の各プロセス処理装置４
Ｌのロードポート５に対する搬送物９の位置決めデータ
（Ｘk1…Ｘki…ＸKn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…
ＺKn，θK1…θKi…θKn）とが記憶される。台車制御部
１８は、軌道２内に配された通信線、通信部１７を介し
て地上制御装置２１の通信器２２に接続されており、地
上制御装置２１の指令に基づいて天井搬送車３Ｋを搬送
対象となるプロセス処理装置４Ｋ，４Ｌのロードポート
５上まで走行させると共に、対応するプロセス処理装置
４Ｋの位置決めデータ（Ｘkr，ＹKr，ＺKr，θKr）、又
は他のプロセス処理装置４Ｌの位置決めデータ（Ｘk1…
Ｘki…ＸKn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…ＺKn，θ
K1…θKi…θKn）に基づいて、走行部１１、移動部１
４、ハンド巻取部１３の各サーボモータの駆動を制御す
ることによりハンド７をロードポート５上の搬送物９を
位置決めして授受させる。One of the two or more units, which has been specified after installation in a building, or one of the two or more units that has already been specified before installation in a building, has been placed on track 2. Power supply unit 16 connected to the external power supply 15 by a power supply line
A communication unit 17, a positioning data table 19 (storage unit) for storing positioning data, and a trolley control unit 1 for controlling the operation of the positioning unit 6 based on the positioning data.
8 and an arithmetic unit 24 are arranged. The positioning data table 19 is specified by teaching (teaching) the conveyed object 9 previously grasped by the hand 7 of the specified ceiling guided vehicle 3K in the X to Z directions and the θ direction by operating the teaching box 23. Positioning data (X
kr , Y Kr , Z Kr , θ Kr ) and other process processors 4
Positioning data (X k1 ... X ki ... X Kn , Y K1 ... Y Ki ... Y Kn , Z K1 ... Z Ki ...
Z Kn , θ K1 ... θ Ki ... θ Kn ) are stored. The trolley control unit 18 is connected to the communicator 22 of the ground control device 21 via the communication line disposed in the track 2 and the communication unit 17, and based on the command of the ground control device 21, the ceiling transport vehicle 3K is operated. The process data is transferred to the load port 5 of the process processing device 4K or 4L to be transported, and the positioning data (X kr , Y Kr , Z Kr , θ Kr ) of the corresponding process processing device 4K, or another process processing device 4L. Positioning data (X k1 ...
X ki ... X Kn , Y K1 ... Y Ki ... Y Kn , Z K1 ... Z Ki ... Z Kn , θ
K1 ... θ Ki ... θ Kn ) based on the traveling unit 11 and the moving unit 1.
4. By controlling the drive of each servo motor of the hand winding unit 13, the hand 7 positions the conveyed article 9 on the load port 5 and transfers it.
【００１５】残りの天井搬送車３Ｌの内には、軌道２内
に配された給電線により外部電源１５に接続される電源
部１６と、通信部１７と、位置決めデータを記憶する位
置決めデータテーブル２０（記憶手段）と、位置決めデ
ータに基づいて位置決め手段６の作動を制御する台車制
御部２８と、演算部２４とが配置されている。位置決め
データテーブル２０には、ティーチングボックス２３の
操作により予め残りの各天井搬送車３Ｌのハンド７で把
持された搬送物９をＸ〜Ｚ方向、及びθ方向に教示する
ことで得られる特定のプロセス処理装置４Ｋのロードポ
ート５に対する搬送物９の位置決めデータ（ＸLr，
ＹLr，ＺLr，θLr）が記憶され、又特定の天井搬送車３
Ｋから地上制御装置２１の送られた位置決めデータ（Ｘ
k1…Ｘki…Ｘ Kn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…
ＺKn，θK1…θKi…θKn）が通信器２２を介して送信さ
れて記憶される。尚、位置決めデータ（Ｘk1…Ｘki…Ｘ
Kn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…ＺKn，θK1…θKi
…θKn）を、残りの天井搬送車３Ｌに送信する方法とし
て、特定の天井搬送車３Ｋから直接、残りの天井搬送車
３Ｌに送信することや、ＩＣカードに位置決めデータ
（Ｘk1…Ｘki…ＸKn，ＹK1…Ｙ Ki…ＹKn，ＺK1…ＺKi…
ＺKn，θK1…θKi…θKn）を一旦読み込んで、このＩＣ
カードにより残りの天井搬送車３Ｌに記憶させるように
しても良い。In the remaining ceiling carrier 3L, inside the track 2
Power supply connected to the external power supply 15 by the power supply line arranged in
The unit 16, the communication unit 17, and a unit for storing the positioning data.
The placement data table 20 (storage means) and the positioning data
Carriage control for controlling the operation of the positioning means 6 based on the data
A control unit 28 and a calculation unit 24 are arranged. Positioning
The data table 20 has a teaching box 23
By the operation, grasp with the hand 7 of each remaining ceiling carrier 3L in advance.
Teaching the carried object 9 in the X to Z directions and the θ direction
The specific process processor 4K load port
Positioning data (XLr，
YLr, ZLr, ΘLr) Is stored, and a specific ceiling carrier 3
Positioning data (X
k1... Xki... X Kn, YK1... YKi... YKn, ZK1... ZKi…
ZKn, ΘK1… ΘKi… ΘKn) Is transmitted via the communication device 22.
Will be remembered. The positioning data (Xk1... Xki... X
Kn, YK1... YKi... YKn, ZK1... ZKi... ZKn, ΘK1… ΘKi
… ΘKn) Is sent to the remaining ceiling carrier 3L.
Then, directly from the specific ceiling carrier 3K, the remaining ceiling carrier
Sending to 3L and positioning data to IC card
(Xk1... Xki... XKn, YK1... Y Ki... YKn, ZK1... ZKi…
ZKn, ΘK1… ΘKi… ΘKn) Is read once, and this IC
Use the card to store in the remaining ceiling carrier 3L
You may.
【００１６】演算部２４は、特定のプロセス処理装置４
Ｋに対する位置決めデータ（Ｘkr，ＹKr，ＺKr，
θKr），（ＸLr，ＹLr，ＺLr，θLr）に基づいて特定の
天井搬送車３Ｋに対する残りの各天井搬送車３Ｌのオフ
セット量ＯＦを、
ＯＦ＝ＸLr−Ｘkr、ＹLr−ＹKr、ＺLr−ＺKr、θLr−θKr・・・・・（１）
にて求め、この式（１）で求めたオフセット量ＯＦと、
位置決めデータテーブル２０に記録されている位置決め
データ（Ｘk1…Ｘki…ＸKn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…
Ｚ Ki…ＺKn，θK1…θKi…θKn）のうちから搬送対象と
なっている、例えばｉ番目のプロセス処理装置４Ｌの位
置決めデータ（Ｘki，ＹKi，ＺKi，θKi）とに基づい
て、残りのプロセス処理装置４Ｌのロードポート５に対
する搬送物９の位置決めデータ（ＸLi，ＹLi，ＺLi，θ
Li）を、
ＸLi＝Ｘki＋（ＸLr−Ｘkr）・・・・・・・・・・・・・・・・・・（２）
ＹLi＝ＹKi＋（ＹLr−ＹKr）・・・・・・・・・・・・・・・・・・（３）
ＺLi＝ＺKi＋（ＺLr−ＺKr）・・・・・・・・・・・・・・・・・・（４）
θLi＝θki＋（θLr−θKr）・・・・・・・・・・・・・・・・・・（５）
にて求めて、式（２）〜（５）で求めた位置決めデータ
（ＸLi，ＹLi，ＺLi，θ Li）を台車制御部２８に出力す
る。The calculation unit 24 is a specific process processor 4
Positioning data (Xkr, YKr, ZKr，
θKr), (XLr, YLr, ZLr, ΘLr) Specific based on
Turn off each remaining ceiling carrier 3L for ceiling carrier 3K
Set amount OF,
OF = XLr-Xkr, YLr-YKr, ZLr-ZKr, ΘLr−θKr(1)
And the offset amount OF obtained by the equation (1),
Positioning recorded in the positioning data table 20
Data (Xk1... Xki... XKn, YK1... YKi... YKn, ZK1…
Z Ki... ZKn, ΘK1… ΘKi… ΘKn) From the target
For example, the position of the i-th process processor 4L
Placement data (Xki, YKi, ZKi, ΘKi) And based on
To the load port 5 of the remaining process processor 4L.
Positioning data (XLi, YLi, ZLi, Θ
Li),
XLi= Xki+ (XLr-Xkr) ... (2)
YLi= YKi+ (YLr-YKr) ... (3)
ZLi= ZKi+ (ZLr-ZKr) ... (4)
θLi= Θki+ (ΘLr−θKr) ... (5)
Positioning data obtained by equations (2) to (5)
(XLi, YLi, ZLi, Θ Li) Is output to the carriage control unit 28.
It
【００１７】台車制御部２８は、軌道２内に配された通
信線、通信部１７を介して地上制御装置２１の通信器２
２に接続されており、地上制御装置２１の指令に基づい
て天井搬送車３Ｌを搬送対象となるプロセス処理装置４
Ｌのロードポート５上まで走行させると共に、演算部２
４で演算された位置決めデータ（ＸLi，ＹLi，ＺLi，θ
Li）に基づいて、走行部１１、移動部１４、ハンド巻取
部１３の各サーボモータの駆動を制御することによりハ
ンドをロードポート５上の搬送物９に位置決めして授受
させる。The trolley control unit 28 communicates with the communication device 2 of the ground control device 21 through the communication line disposed in the track 2 and the communication unit 17.
2 and is connected to the process control device 4 which is a transfer target of the ceiling transfer vehicle 3L based on a command from the ground control device 21.
While traveling to the L load port 5, the computing unit 2
Positioning data (X Li , Y Li , Z Li , θ
Based on Li ), the driving of each servo motor of the traveling unit 11, the moving unit 14, and the hand winding unit 13 is controlled to position and transfer the hand to the conveyed object 9 on the load port 5.
【００１８】本発明の天井搬送システム１は、以上のよ
うに構成されるが、次に、この天井搬送システム１を用
いた位置決め方法について説明する。The ceiling transfer system 1 of the present invention is constructed as described above. Next, a positioning method using the ceiling transfer system 1 will be described.
【００１９】２台以上の天井搬送車から特定した天井搬
送車３Ｋを、特定のプロセス処理装置４Ｋ、残りのプロ
セス処理装置４Ｌ上にそれぞれ搬送する。そして、ティ
ーチングボックス２３の操作により位置決め手段６の走
行部１１，移動部１４，ハンド巻取部１３を駆動制御し
てハンド７で把持された搬送物９を教示することで、特
定のプロセス処理装置４Ｋと残りのプロセス処理装置４
Ｌのロードポート５上に置かれた搬送物９をハンド７で
把持可能な位置決めデータ（Ｘkr，ＹKr，ＺKr，
θKr），（Ｘk1…Ｘki…ＸKn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1
…ＺKi…ＺKn，θK1…θKi…θKn）を計測して位置決め
データテーブル１９に記憶する。又、特定の天井搬送車
３Ｋの教示により得られた位置決めデータ（Ｘk1…Ｘki
…ＸKn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…ＺKn，θK1…
θKi…θKn）を、地上制御装置２１に送信し、この地上
制御装置２１から通信器２２を介して残りの各天井搬送
車３Ｌの位置決めデータテーブル２０に記憶させる。次
いで、残りの各天井搬送車３Ｌを、特定のプロセス処理
装置４Ｋ上にそれぞれ走行させて、ティーチングボック
ス２３の操作により位置決め手段６の走行部１１，移動
部１４，ハンド巻取部１３を駆動制御してハンド７で把
持された搬送物９を教示することで、特定のプロセス処
理装置４Ｋのロードポート５上に置かれた搬送物９をハ
ンド７で把持可能な位置決めデータ（ＸLr，ＹLr，
ＺLr，θLr）を計測して、各位置決めデータテーブル２
０に記憶させる。The ceiling transport vehicle 3K specified from two or more ceiling transport vehicles is transported to the specific process processing device 4K and the remaining process processing device 4L. Then, by operating the teaching box 23 to drive and control the traveling unit 11, the moving unit 14, and the hand winding unit 13 of the positioning means 6 to teach the conveyed object 9 grasped by the hand 7, a specific process processing apparatus is provided. 4K and remaining process equipment 4
Positioning data (X kr , Y Kr , Z Kr , which enables the hand 7 to grip the transported object 9 placed on the load port 5 of L,
θ Kr ), (X k1 ... X ki ... X Kn , Y K1 ... Y Ki ... Y Kn , Z K1
... Z Ki ... Z Kn , θ K1 ... θ Ki ... θ Kn ) are measured and stored in the positioning data table 19. In addition, positioning data (X k1 ... X ki) obtained by teaching a specific ceiling carrier 3K.
... X Kn , Y K1 ... Y Ki ... Y Kn , Z K1 ... Z Ki ... Z Kn , θ K1 ...
θ Ki ... θ Kn ) is transmitted to the ground control device 21 and stored in the positioning data table 20 of each of the remaining ceiling guided vehicles 3L via the communication device 22 from the ground control device 21. Next, each of the remaining ceiling transport vehicles 3L is run on a specific process processing device 4K, and the running part 11, the moving part 14, and the hand winding part 13 of the positioning means 6 are driven and controlled by operating the teaching box 23. Then, by teaching the conveyed object 9 gripped by the hand 7, the positioning data (X Lr , Y Lr) at which the conveyed object 9 placed on the load port 5 of the specific process processor 4K can be grasped by the hand 7 ，
Z Lr , θ Lr ) is measured and each positioning data table 2
Store to 0.
【００２０】この状態で、特定の天井搬送車３Ｋは、地
上制御装置２１からの指令に基づいて、搬送物９を把持
するプロセス処理装置４Ｋ，４Ｌのロードポート５上に
走行され、台車制御部１８が搬送物９を把持するプロセ
ス処理装置４Ｌの位置決めデータ（Ｘki，ＹKi，ＺKi，
θKi）に基づいて、位置決め手段６の走行部１１、移動
部１４及びハンド巻取部１３の駆動を制御して、ハンド
７をＸ方向、Ｙ方向及びθ方向を調整することで、ロー
ドポート５の搬送物９上に位置決めする。次いで、ハン
ド吊り下げ部１３でハンド吊り下げ部材１２の巻き戻し
を制御することでハンド７のＺ方向を調整して、ハンド
７を爪８が搬送物９の取手９Ａを把持可能な位置に位置
決めする。そして、爪８を閉じることで、ハンド７によ
り搬送物９を把持し、ハンド吊り下げ部１３によりハン
ド吊り下げ部材１２を巻取ることで搬送物９を吊り上げ
状態として、他のプロセス処理装置４Ｋ，４Ｌまで搬送
する。In this state, the specific ceiling guided vehicle 3K travels on the load port 5 of the process processing devices 4K and 4L that holds the transported object 9 based on a command from the ground control device 21, and the carriage control unit. The positioning data (X ki , Y Ki , Z Ki ,
θ Ki ), the driving of the traveling unit 11, the moving unit 14, and the hand winding unit 13 of the positioning unit 6 is controlled to adjust the hand 7 in the X direction, the Y direction, and the θ direction. 5 is carried on the conveyed object 9. Then, the hand suspending unit 13 controls the rewinding of the hand suspending member 12 to adjust the Z direction of the hand 7, and position the hand 7 at a position where the claw 8 can grip the handle 9A of the conveyed object 9. To do. Then, by closing the claw 8, the conveyed product 9 is grasped by the hand 7, and the hand suspended member 12 is wound by the hand suspending unit 13 so that the conveyed product 9 is in a suspended state, and the other process processing apparatus 4K, Transport up to 4L.
【００２１】又、残りの天井搬送車３Ｌは、地上制御装
置２１からの指令に基づいて、搬送物９を把持するプロ
セス処理装置４Ｋ，４Ｌのロードポート５上に走行さ
れ、演算部２４が特定のプロセス処理装置４Ｋに対する
位置決めデータ（Ｘkr，ＹKr，ＺKr，θKr）と（ＸLr，
ＹLr，ＺLr，θLr）に基づいて特定の天井搬送車３Ｋに
対する残りの各天井搬送車３Ｌのオフセット量ＯＦを求
め〔式（１）〕、このオフセット量ＯＦと、位置決めデ
ータテーブル２０に記録されている位置決めデータ（Ｘ
k1…Ｘki…ＸKn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…
ＺKn，θK1…θKi…θ Kn）のうちから搬送対象となって
いる、例えばｉ番目のプロセス処理装置４Ｌの位置決め
データ（Ｘki，ＹKi，ＺKi，θKi）に基づいて、プロセ
ス処理装置４Ｌのロードポート５に対する位置決めデー
タ（ＸLi，ＹLi，ＺLi，θLi）を求めて〔式（２）〜
（５）〕、台車制御部２８に出力する。これにより、台
車制御部２８は、搬送物９を把持するプロセス処理装置
４Ｌの位置決めデータ（ＸLi，ＹLi，ＺLi，θLi）に基
づいて、位置決め手段６の走行部１１、移動部１４の駆
動を制御して、ハンド７をＸ方向、Ｙ方向及びθ方向を
調整することで、ロードポート５の搬送物９上に位置決
めする。そして、ハンド吊り下げ部１３の巻き戻しを制
御することでハンド７のＺ方向を調整して、ハンド７の
爪８が搬送物９の取手９Ａを把持可能な位置に位置決め
する。そして、爪８を閉じることで、ハンド７により搬
送物９を把持し、ハンド巻取部１３によりハンド吊り下
げ部材１２を巻取ることで搬送物９を吊り上げ状態とし
て、他のプロセス処理装置４Ｋ，４Ｌまで搬送する。The remaining ceiling carrier 3L is installed on the ground control equipment.
Based on a command from the storage device 21, a professional who holds the conveyed object 9
Set on the load port 5 of the processing equipment 4K, 4L.
Then, the calculation unit 24 is set for the specific process processing device 4K.
Positioning data (Xkr, YKr, ZKr, ΘKr) And (XLr，
YLr, ZLr, ΘLr) To a specific ceiling carrier 3K
The offset amount OF of each of the remaining ceiling guided vehicles 3L is calculated.
[Formula (1)]
Positioning data (X
k1... Xki... XKn, YK1... YKi... YKn, ZK1... ZKi…
ZKn, ΘK1… ΘKi… Θ KnFrom)
Positioning of, for example, the i-th process processor 4L
Data (Xki, YKi, ZKi, ΘKi) Based on
Positioning data for load port 5 of processing device 4L
(XLi, YLi, ZLi, ΘLi) [Equation (2)-
(5)], and outputs to the trolley control unit 28. This allows the stand
The vehicle control unit 28 is a process processing device that grips the transported object 9.
4L positioning data (XLi, YLi, ZLi, ΘLi) Based on
Next, the driving unit 11 and the moving unit 14 of the positioning means 6 are driven.
Motion to control the hand 7 in the X, Y and θ directions.
By adjusting, position on the transported object 9 of the load port 5
To Then, the rewinding of the hand suspension unit 13 is controlled.
By adjusting the Z direction of the hand 7,
Position the claw 8 at a position where it can grip the handle 9A of the transported object 9.
To do. Then, by closing the claw 8, it is carried by the hand 7.
Grasp the transported article 9 and suspend the hand by the hand winding section 13.
The carrier 9 is lifted by winding the barb member 12
And carry it to the other process processing devices 4K and 4L.
【００２２】このように、２台以上のうち特定した１つ
の天井搬送車３Ｋのハンド７を教示することで、全ての
プロセス処理装置４Ｋ，４Ｌのロードポート５に対する
搬送物９の位置決めデータ（Ｘk1…Ｘki…ＸKn，ＹK1…
ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…Ｚ Kn，θK1…θKi…θKn）を
測定し、残りの天井搬送車３Ｌのハンド７の教示を特定
のプロセス処理装置４Ｋに対してのみに行って位置決め
データ（ＸLr，ＹLr，ＺLr，θLr）を測定することで、
これらの位置決めデータにより残りの天井搬送車３Ｌの
各プロセス処理装置４Ｌに対する搬送物９の位置決めデ
ータ（ＸLi，Ｙ Li，ＺLi，θLi）を得ることができるこ
とから、各天井搬送車３Ｋ，３Ｌの教示の回数と教示に
要する時間を大幅に短縮できる。特に、４元のＸ〜Ｚ方
向、θ方向を教示するものでは、各天井搬送車３Ｋ，３
Ｌにより全てのプロセス処理装置４Ｋ，４Ｌに対して教
示すると、その教示の回数と時間が多くなることから、
上述した教示により得られる各位置決めデータに基づい
て、残りの天井搬送車３Ｌの各プロセス処理装置４Ｌに
対する位置決めデータ（ＸLi，ＹLi，ＺLi，θLi）を求
めるようにすれば、教示の回数と時間を有効に低減させ
ることができる。Thus, one of the two or more specified
By teaching the hand 7 of the ceiling carrier 3K,
For the load port 5 of the process processor 4K, 4L
Positioning data (Xk1... Xki... XKn, YK1…
YKi... YKn, ZK1... ZKi... Z Kn, ΘK1… ΘKi… ΘKn)
Measure and identify the teaching of the hand 7 of the remaining ceiling carrier 3L
Positioning by going only to process processor 4K
Data (XLr, YLr, ZLr, ΘLr) By measuring
Based on these positioning data, the remaining ceiling carrier 3L
Positioning data of the transported object 9 with respect to each process processing device 4L
Data (XLi, Y Li, ZLi, ΘLi) You can get
Therefore, the number of teachings and teaching of each ceiling carrier 3K, 3L
The time required can be greatly reduced. Especially, quaternary X-Z direction
In the case of teaching the direction and the θ direction, each ceiling carrier 3K, 3
L teaches all process processors 4K and 4L.
If you show it, the number of teachings and the time will increase,
Based on each positioning data obtained by the above teaching
To the process processing equipment 4L of the remaining ceiling carrier 3L.
Positioning data (XLi, YLi, ZLi, ΘLi)
By doing so, the number of teachings and time can be effectively reduced.
You can
【００２３】尚、本発明の天井搬送システムにおいて
は、特定の天井搬送車３Ｋと残りの天井搬送車３Ｌの各
々に、各位置決めデータを記憶させた後に、オフセット
量ＯＦ（ＯＦ＝ＸLr−Ｘkr、ＹLr−ＹKr、ＺLr−ＺKr、
θLr−θKr）を演算するものを示したが、これに限定さ
れるものでなく、予めオフセット量ＯＦを演算して、残
りの天井搬送車３Ｌの位置決めテーブル２０にオフセッ
ト量ＯＦと特定の天井搬送車３Ｋの他の処理装置３Ｌの
位置決めデータ（Ｘk1…Ｘki…ＸKn，ＹK1…ＹKi…
ＹKn，ＺK1…ＺKi…ＺKn，θK1…θKi…θKn）とを記憶
させて、位置決めの際に利用するようにしても良い。
又、オフセット量は、工場出荷時に工場内の装置を使っ
て得ることができるため、本方法を用いることで現地調
整時間を短くすることができる。In the ceiling transfer system of the present invention, the offset amount OF (OF = X Lr −X) is stored after each positioning data is stored in each of the specific ceiling transfer vehicle 3K and the remaining ceiling transfer vehicle 3L. kr , Y Lr -Y Kr , Z Lr -Z Kr ,
Although θ Lr −θ Kr ) is calculated, the present invention is not limited to this, and the offset amount OF is calculated in advance, and the offset amount OF and the specified offset amount are specified in the positioning table 20 of the remaining ceiling guided vehicle 3L. Positioning data (X k1 ... X ki ... X Kn , Y K1 ... Y Ki ...) of the other processing device 3L of the ceiling carrier 3K.
Y Kn , Z K1 ... Z Ki ... Z Kn , θ K1 ... θ Ki ... θ Kn ) may be stored and used at the time of positioning.
Further, since the offset amount can be obtained by using the device in the factory at the time of factory shipment, the on-site adjustment time can be shortened by using this method.
【００２４】次に、図１及び図２に示した天井搬送シス
テム１が半導体デバイス製造用ウェーハ搬送システムに
適用された場合について図３及び図４により説明する。Next, a case where the ceiling transfer system 1 shown in FIGS. 1 and 2 is applied to a semiconductor device manufacturing wafer transfer system will be described with reference to FIGS. 3 and 4.
【００２５】図３及び図４のように、クリーンルーム１
０１内に配置された半導体プロセス処理装置１０２Ｋ，
１０２Ｌ、ストッカー１０３や図示しない検査用の仮置
台などの間で、半導体デバイス製造用ウェーハＷ（以
下、「半導体ウェーハＷ」という。）を搬送するシステ
ムとして、半導体ウェーハＷが複数枚単位で収納された
キャリア１０４（搬送物）を吊り下げ状態で搬送する天
井搬送システム１０５が用いられる。As shown in FIGS. 3 and 4, the clean room 1
01, a semiconductor process processing apparatus 102K,
A plurality of semiconductor wafers W are stored as a system for transporting semiconductor device manufacturing wafers W (hereinafter, referred to as “semiconductor wafer W”) between 102L, stocker 103, a temporary table for inspection (not shown), and the like. A ceiling transfer system 105 that transfers the suspended carrier 104 (conveyed object) is used.
【００２６】天井搬送システム１０５は、クリーンルー
ム１０１内に並設された複数の半導体プロセス処理装置
１０２Ｋ，１０２Ｌやストッカー１０３のロードポート
１１０上、又は半導体ウェーハＷの検査用の仮置台に配
置された軌道１０６を走行する２台以上の天井搬送車３
Ｋ，３Ｌで構成されている。各天井搬送車３Ｋ，３Ｌ
は、位置決め手段となる走行部１１と、移動部１４と、
キャリア１０４を吊り下げ状態で把持するハンド７と、
ハンド７を昇降自在に吊り下げるハンド吊り下げ部１４
とで構成されている。そして、２台以上のうち特定の１
つの天井搬送車３Ｋには、図１及び図２で説明した様
に、電源部、通信部、台車制御部の他に位置決めデータ
を記憶する位置決めデータテーブル、及び演算部が配置
され、残りの天井搬送車３Ｌには、図１及び図２で説明
した様に、電源部、通信部、台車制御部の他に位置決め
データを記憶する位置決めデータテーブル、及び演算部
が配置されている。The ceiling transfer system 105 is a track disposed on a plurality of semiconductor process processing devices 102K and 102L arranged in parallel in the clean room 101, on the load port 110 of the stocker 103, or on a temporary stand for inspecting the semiconductor wafer W. Two or more ceiling guided vehicles that travel 106
It is composed of K and 3L. Each ceiling carrier 3K, 3L
Is a traveling unit 11 serving as positioning means, a moving unit 14,
A hand 7 for holding the carrier 104 in a suspended state,
Hand suspension part 14 for suspending the hand 7 so that it can be raised and lowered freely
It consists of and. And a specific one out of two or more
As described with reference to FIGS. 1 and 2, one ceiling carrier 3K is provided with a power source unit, a communication unit, a carriage control unit, a positioning data table for storing positioning data, and a calculation unit, and the remaining ceiling vehicles. As described with reference to FIGS. 1 and 2, the transport vehicle 3L includes a power source unit, a communication unit, a carriage control unit, a positioning data table for storing positioning data, and a calculation unit.
【００２７】天井搬送システム１０５により、キャリア
１０４に収納された半導体ウェーハＷを搬送するために
は、クリーンルーム１０１に配置された後、又は配置さ
れる前に特定される天井搬送車３Ｋを各半導体プロセス
処理装置１０２Ｋ，１０２Ｌやストッカー１０３のロー
ドポート１１０上に搬送し、オペレータによるティーチ
ングボックスの手動操作により位置決め手段６を制御し
て、ハンドで把持されたキャリア１０４を教示すること
で、特定の半導体プロセス処理装置１０２Ｋのロードポ
ート１１０に対するキャリア１０４の位置決めデータ
（Ｘkr，ＹKr，Ｚ Kr，θKr）と、残りの半導体プロセス
処理装置１０４Ｌ、ストッカー１０３又は仮置台の位置
決めデータ（Ｘk1…Ｘki…ＸKn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，Ｚ
K1…ＺKi…ＺKn，θK1…θKi…θKn）を測定して特定の
天井搬送車３Ｋに記憶させると共に、地上制御装置１２
０に送信する。又、残りの天井搬送車３Ｌを特定の半導
体プロセス処理装置１０２Ｋのロードポート１１０上に
搬送し、ティーチングボックスの手動操作により位置決
め手段６を制御することで、特定の半導体プロセス処理
装置１０２Ｋに対するキャリア１０４の位置決めデータ
（ＸLr，ＹLr，ＺLr，θLr）を測定し、この位置決めデ
ータ（ＸLr，ＹLr，ＺLr，θLr）と地上制御装置１２０
から送信される位置決めデータ（Ｘk1…Ｘki…ＸKn，Ｙ
K1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…ＺKn，θK1…θKi…
θKn）を、各残りの天井搬送車３Ｌに記憶させる。The ceiling transfer system 105 allows the carrier
In order to transfer the semiconductor wafer W stored in 104
Is placed in or after being placed in the clean room 101
Each semiconductor process of the ceiling carrier 3K specified before
Processors 102K, 102L and stocker 103
It is transported to the port 110 and taught by the operator.
The positioning means 6 is controlled by the manual operation of the box.
To teach the carrier 104 held by the hand
Then, the load port of the specific semiconductor process processor 102K
Positioning data of the carrier 104 with respect to the port 110
(Xkr, YKr, Z Kr, ΘKr) And the rest of the semiconductor process
Position of processing device 104L, stocker 103 or temporary stand
Decision data (Xk1... Xki... XKn, YK1... YKi... YKn, Z
K1... ZKi... ZKn, ΘK1… ΘKi… ΘKn) To measure specific
The ceiling control vehicle 3K stores the data, and the ground control device 12
Send to 0. In addition, the remaining ceiling carrier 3L is
On the load port 110 of the body process processor 102K
Transport and position manually by teaching box
By controlling the means 6 for controlling a specific semiconductor process
Positioning data of the carrier 104 with respect to the device 102K
(XLr, YLr, ZLr, ΘLr) Is measured and this positioning data
Data (XLr, YLr, ZLr, ΘLr) And the ground controller 120
Positioning data (Xk1... Xki... XKn, Y
K1... YKi... YKn, ZK1... ZKi... ZKn, ΘK1… ΘKi…
θKn) Is stored in each of the remaining ceiling guided vehicles 3L.
【００２８】この状態で、特定の天井搬送車３Ｋにより
キャリア１０４を搬送するには、位置決めデータテーブ
ルに記憶されている位置決めデータ（Ｘk1…Ｘki…
ＸKn，Ｙ K1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…ＺKn，θK1…θ
Ki…θKn）に基づいて、位置決め手段６の走行部１１、
移動部１４の作動を制御して、ハンド７をＸ方向、Ｙ方
向及びθ方向を調整することで、搬送対象となっている
半導体プロセス処理装置１０２Ｌのロードポート１１０
上のキャリア１０４に相対する様に位置決めし、ハンド
吊り下げ部１３の作動を制御することでハンド７の爪８
でキャリア１０４の取手１０４Ａを把持する。そして、
ハンド吊り下げ部１３によりハンド吊り下げ部材１２を
巻取ることでキャリア１０４を吊り下げ状態にして、特
定の搬送走行車３Ｋを走行させることで、他の半導体プ
ロセス処理装置１０２Ｋ，１０２Ｌやスタッカー１０３
のロードポート１０３上、又は仮置台上に搬送し、この
半導体プロセス処置装置１０２Ｋ，１０２Ｌ、スタッカ
ー１０３又は仮置台の対応する位置決めデータ（Ｘk1…
Ｘki…ＸKn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…ＺKn，θ
K1…θKi…θKn）に基づいて位置決め手段６の走行部１
１、移動部１４、ハンド吊り下げ部１３の作動を制御す
ることで、キャリア１０４をロードポート１１０上に位
置決めしつつ載置する。In this state, a specific ceiling carrier 3K
To carry the carrier 104, the positioning data table
Positioning data (Xk1... Xki…
XKn, Y K1... YKi... YKn, ZK1... ZKi... ZKn, ΘK1… Θ
Ki… ΘKn), The traveling portion 11 of the positioning means 6,
The operation of the moving unit 14 is controlled to move the hand 7 in the X and Y directions.
By adjusting the direction and θ
Load port 110 of semiconductor process processing apparatus 102L
Position the hand so that it faces the upper carrier 104,
By controlling the operation of the hanging part 13, the claw 8 of the hand 7 is controlled.
The grip 104A of the carrier 104 is gripped by. And
The hand hanging member 13 is used to hold the hand hanging member 12.
By winding, the carrier 104 is suspended and
By driving the fixed transport vehicle 3K, other semiconductor processes
Process processor 102K, 102L and stacker 103
Transport it on the load port 103 of
Semiconductor processing equipment 102K, 102L, stacker
-103 or the corresponding positioning data (Xk1…
Xki... XKn, YK1... YKi... YKn, ZK1... ZKi... ZKn, Θ
K1… ΘKi… ΘKn2) of the positioning means 6 based on
1. Controls the operation of the moving unit 14 and the hand hanging unit 13.
By placing the carrier 104 on the load port 110,
Place while placing.
【００２９】又、残りの天井搬送車３Ｌによりキャリア
１０４を搬送するためには、特定の半導体プロセス処理
装置に対する位置決めデータ（Ｘkr，ＹKr，ＺKr，
θKr）と（ＸLr，ＹLr，ＺLr，θLr）により、オフセッ
ト量ＯＦを演算し、続いて、このオフセット量ＯＦと搬
送対象となるキャリアが載置された、例えばｉ番目の半
導体プロセス処理装置の位置決めデータ（Ｘki，ＹKi，
ＺKi，θKi）とに基づいて、半導体プロセス処理装置１
０２Ｌのロードポート１１０に対する位置決めデータ
（ＸLi，ＹLi，ＺLi，θLi）を求める。そして、この位
置決めデータ（ＸLi，ＹLi，ＺLi，θLi）に基づいて、
位置決め手段６の走行部１１、移動部１４の作動を制御
することで、ハンド７をＸ方向、Ｙ方向及びθ方向を調
整してロードポート１１０のキャリア１０４に相対する
様に位置決めし、ハンド吊り下げ部１３の作動を制御す
ることでハンド７の爪８でキャリア１０４の取手１０４
Ａを把持する。そして、ハンド吊り下げ部１３によりハ
ンド吊り下げ部材１２を巻取ることでキャリア１０４を
吊り下げ状態にして、天井搬送車３Ｌを走行させること
で、他の半導体プロセス処理装置１０２Ｋ，１０２Ｌ、
スタッカー１０３のロードポート１１０上や仮置台上に
搬送し、この半導体プロセス処置装置１０２Ｋ，１０２
Ｌ、スタッカー１０３や仮置台の対応する位置決めデー
タに基づいて位置決め手段６の走行部１１、移動部１
４、ハンド吊り下げ部１３の作動を制御することで、キ
ャリア１０４をロードポート１１０上に位置決めしつつ
載置する。In order to transfer the carrier 104 by the remaining ceiling transfer vehicle 3L, positioning data (X kr , Y Kr , Z Kr ,
θ Kr ) and (X Lr , Y Lr , Z Lr , θ Lr ) to calculate the offset amount OF, and subsequently, for example, the i-th semiconductor on which the offset amount OF and the carrier to be transported are mounted. Positioning data (X ki , Y Ki ,
Z Ki , θ Ki ) based on
Positioning data (X Li , Y Li , Z Li , θ Li ) for the 02L load port 110 is obtained. Then, based on this positioning data (X Li , Y Li , Z Li , θ Li ),
By controlling the operation of the traveling unit 11 and the moving unit 14 of the positioning unit 6, the hand 7 is adjusted in the X direction, the Y direction, and the θ direction so as to be positioned so as to face the carrier 104 of the load port 110, and the hand is suspended. By controlling the operation of the lowering portion 13, the claw 8 of the hand 7 causes the handle 104 of the carrier 104 to move.
Hold A. Then, the hand suspending unit 12 is wound by the hand suspending unit 13 to suspend the carrier 104, and the ceiling transport vehicle 3L is caused to travel, so that the other semiconductor process processing devices 102K and 102L,
The stacker 103 is conveyed onto the load port 110 or the temporary table, and the semiconductor process treatment devices 102K and 102K.
L, the stacker 103 and the moving unit 1 of the positioning unit 6 based on the corresponding positioning data of the temporary table.
4. By controlling the operation of the hand suspension unit 13, the carrier 104 is positioned and placed on the load port 110.
【００３０】このように、クリーンルーム内に複数並設
されて、その精密性が要求される半導体プロセス処理装
置１０２Ｋ，１０２Ｌ、ストッカー１０３や仮置台に対
して、２台以上の天井搬送車３Ｋ，３Ｌを用いてキャリ
ア１０４を搬送する際に、各ロードポート１１０に対す
るキャリア１０４の位置決めを確実に行え、又、大型の
半導体プロセス処理装置１０２Ｋ，１０２Ｌやストッカ
ー１０３を天井搬送システム１０５に沿って厳密に据え
つける必要もなくなる。As described above, two or more ceiling transfer vehicles 3K and 3L are installed in parallel in the clean room, and the semiconductor process processors 102K and 102L, the stocker 103 and the temporary placement table, which require high precision, are installed. When the carrier 104 is transported by using, the carrier 104 can be reliably positioned with respect to each load port 110, and the large-sized semiconductor process processing devices 102K and 102L and the stocker 103 are strictly installed along the ceiling transport system 105. There is no need to wear it.
【００３１】[0031]
【発明の効果】本発明の天井搬送システム及びその位置
決め方法によれば、２台以上のうち特定した天井搬送車
に、特定の処理装置と他の処理装置に対する搬送物の位
置決めデータを教示し、残りの天井搬送車に特定の処理
装置の教示を行って天井搬送車の固有の位置決め特性を
測定することで、これらの位置決めデータのみで残りの
天井搬送車の他の処理装置に対する搬送物の位置決めデ
ータを得ることができるから、各天井搬送車３の教示
（ティーチング）の回数と教示（ティーチング）に要す
る時間を大幅に短縮できる。According to the ceiling transfer system and the positioning method thereof of the present invention, the positioning data for the specified processing apparatus and the other processing apparatus are taught to the specified ceiling transfer vehicle out of two or more units, By positioning a specific processing device on the remaining ceiling guided vehicle and measuring the unique positioning characteristics of the ceiling guided vehicle, the positioning data can be used to position the transported object with respect to other processing devices on the remaining ceiling guided vehicle only. Since the data can be obtained, the number of times of teaching (teaching) of each ceiling guided vehicle 3 and the time required for teaching can be significantly reduced.
【００３２】又、Ｘ〜Ｚ方向、θ方向の４元について教
示（ティーチング）するものでは、各天井搬送車により
全てのプロセス処理装置に対して教示すると、その教示
の回数と時間が多くなることから、上述した教示により
得られる各位置決めデータに基づいて、残りの天井搬送
車の各処理装置に対する位置決めデータを求めるように
すれば、教示の回数と時間を有効に低減させることがで
きる。Further, in the case of teaching (teaching) the four elements in the X to Z directions and the θ direction, if the instruction is given to all the process processing apparatuses by each ceiling transport vehicle, the number of teachings and the time will increase. Therefore, if the positioning data for each processing device of the remaining ceiling guided vehicle is obtained based on the positioning data obtained by the above-described teaching, the number and time of teaching can be effectively reduced.
【００３３】更に、クリーンルーム内に複数並設され
て、その精密性が要求される半導体プロセス処理装置や
ストッカー、又はオペレータによる搬送物の検査のため
の仮置台に対して、２台以上の天井搬送車を用いてキャ
リアを搬送する際に、各装置に対するキャリアの位置決
めを確実に行え、又、大型の半導体プロセス処理装置や
ストッカーを天井搬送システムに沿って厳密に据えつけ
る必要なくなる。Further, two or more ceiling conveyors are installed in parallel in a clean room, with respect to a semiconductor processing equipment or a stocker, which requires high precision, or a temporary stand for inspecting conveyed articles by an operator. When the carrier is transferred using a car, the carrier can be reliably positioned with respect to each device, and it is not necessary to strictly install a large semiconductor process processing device or a stocker along the ceiling transfer system.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】天井搬送システムを示す上面模式図である。FIG. 1 is a schematic top view showing a ceiling transfer system.
【図２】天井搬送システムを示す側面模式図である。FIG. 2 is a schematic side view showing a ceiling transfer system.
【図３】天井搬送システムを半導体デバイス製造のため
のクリーンルームに適用した斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of the ceiling transfer system applied to a clean room for manufacturing semiconductor devices.
【図４】天井搬送システムを半導体デバイス製造のため
のクリーンルームに適用した側面図である。FIG. 4 is a side view of the ceiling transfer system applied to a clean room for manufacturing semiconductor devices.
【図５】従来の天井搬送システムを示す上面模式図であ
る。FIG. 5 is a schematic top view showing a conventional ceiling transfer system.
２ 軌道 ３Ｋ，３Ｌ 天井搬送車 ４Ｋ，４Ｌ プロセス処理装置 ６ 位置決め手段 １９ 位置決めデータテーブル ２０ 位置決めデータテーブル ２４ 演算部 2 orbits 3K, 3L ceiling carrier 4K, 4L process processor 6 Positioning means 19 Positioning data table 20 Positioning data table 24 arithmetic unit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭48−87551（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−167198（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−236594（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−186183（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−162491（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−40323（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−34585（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B66C 13/48 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-48-87551 (JP, A) JP-A-1-167198 (JP, A) JP-A-8-236594 (JP, A) JP-A-5- 186183 (JP, A) JP-A 61-162491 (JP, A) JP-A 60-40323 (JP, A) Jitsukaihei 2-34585 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) B66C 13/48
Claims (4)
送車を２台以上により、複数の処理装置の間で搬送物を
搬送する天井搬送システムにおいて、 前記２台以上のうち特定の天井搬送車を、特定の処理装
置と他の処理装置に対して教示させて得られる位置決め
データと、 残りの天井搬送車を、特定の処理装置に対して教示させ
て得られる位置決めデータとを有し、 前記残りの天井搬送車は、特定の処理装置における各位
置決めにより求められる前記特定の天井搬送車に対する
オフセット量と、前記特定の天井搬送車の他の処理装置
に対する位置決めデータとに基づいて、該他の処理装置
に対する位置決めデータを得ることを特徴とする天井搬
送システム。1. A ceiling transfer system for transferring an object to be transferred between a plurality of processing devices by using two or more ceiling transfer vehicles that can travel along a track on the ceiling side, wherein a specific ceiling of the two or more sets is used. Positioning data obtained by teaching the transport vehicle to a specific processing device and another processing device, and positioning data obtained by teaching the remaining ceiling transport vehicle to the specific processing device. , The remaining ceiling carrier is based on the offset amount with respect to the specific ceiling carrier, which is obtained by each positioning in a specific processor, and the positioning data for the other processor of the specific ceiling carrier, A ceiling transfer system characterized by obtaining positioning data for another processing device.
する走行させるＸ方向、ハンド吊り下げ部からハンド部
を吊り下げるＺ方向、前記走行部に対して前記ハンド吊
り下げ部を前記軌道と直角方向に移動させるＹ方向と、
前記走行部に対して前記ハンド吊り下げ部を水平面内で
回転させる角度θの４元により行うものである請求項１
記載の天井搬送システム。2. The positioning means has an X direction for traveling the traveling part with respect to the track, a Z direction for suspending the hand part from the hand suspension part, and a direction perpendicular to the track for the hand suspension part with respect to the traveling part. Y direction to move to
2. The method is performed by using a four-way angle θ for rotating the hand suspension unit in the horizontal plane with respect to the traveling unit.
Ceiling transfer system described.
ためのプロセス処理装置及びストッカであり、前記天井
搬送車は、プロセス処理装置同士の間、プロセス処理装
置とストッカの間で半導体ウェーハを入れる前記キャリ
アを搬送するものである請求項１又は２記載の天井搬送
システム。3. The processing apparatus is a process processing apparatus and a stocker for manufacturing a semiconductor device, and the ceiling transfer vehicle puts a semiconductor wafer between the process processing apparatuses and between the process processing apparatus and the stocker. The ceiling transfer system according to claim 1 or 2, which transfers a carrier.
送車の２台以上により、複数の処理装置の間で搬送物を
搬送する際に、各処理装置に対して位置決めする天井搬
送システムの位置決め方法であって、 前記２台以上の天井搬送車のうち特定の天井搬送車を、
特定の処理装置と他の処理装置に対して教示させること
で位置決めデータを得る工程と、 残りの天井搬送車を、前記特定の処理装置に対して教示
させることで位置決めデータを得る工程とを具え、 前記特定の処理装置における各位置決めデータに基づい
て、特定の天井搬送車に対する残りの天井搬送車のオフ
セット量を求め、 このオフセット量と特定の天井搬送車の他の処理装置に
対する位置決めデータとに基づいて演算される位置決め
データにより、他の処理装置に対して残りの天井搬送車
を位置決めすることを特徴とする天井搬送システムの位
置決め方法。4. A ceiling transfer system for positioning an object to be transferred between a plurality of processing devices by means of two or more ceiling transfer vehicles that can travel along a track on the ceiling side. And a specific ceiling carrier among the two or more ceiling carriers,
A step of obtaining positioning data by instructing a specific processing device and another processing device to obtain positioning data; and a step of obtaining the positioning data by instructing the remaining processing vehicle to the specific processing device. The offset amount of the remaining ceiling guided vehicle with respect to the specific ceiling guided vehicle is obtained based on each positioning data in the specified processing apparatus, and the offset amount and the positioning data of the specified ceiling guided vehicle with respect to other processing apparatuses are obtained. A positioning method for a ceiling transportation system, characterized in that the remaining ceiling transportation vehicle is positioned with respect to another processing device based on the positioning data calculated based on the above.
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- 1997-08-13 JP JP21842997A patent/JP3367389B2/en not_active Expired - Lifetime
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