JP6910597B2 - 天井搬送車システム及び天井搬送車でのティーチング方法 - Google Patents
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Description
a) 少なくとも一台の基準とする天井搬送車を用いて、全ての移載先に対する昇降台の昇降量を測定すると共に、
b) その他の天井搬送車は、複数の代表的な特定の移載先に対する昇降台の昇降量のみを測定して、a)で用いた天井搬送車との差分を複数求め、
c) a)で求めた昇降量を、b)で求めた複数の差分によって補正することにより、
各天井搬送車において全ての移載先への昇降量を算出することを開示している。
前記吊持材の全長に対応する、各天井搬送車固有の巻き取りドラムの回転量を記憶する記憶部と、
複数の移載高さに対応する、天井搬送車毎の前記巻き取りドラムの回転量を、前記記憶部に記憶した前記各天井搬送車固有の回転量から算出する演算部、とを備えていることを特徴とする。
物品を移載する昇降台に取り付けた吊持材を重ね巻きする巻き取りドラムと、前記巻き取りドラムの回転量を制御することにより、前記昇降台が前記物品を移載する高さを制御するコントローラ、とを備える天井搬送車を、複数備える天井搬送車システムでの、複数の移載高さに対応する天井搬送車毎の巻き取りドラムの回転量をティーチングする方法であって、
各天井搬送車において、前記吊持材の全長に対応する、各天井搬送車固有の巻き取りドラムの回転量を測定するステップと、
各移載位置において、少なくとも一台の天井搬送車により移載高さを測定するステップと、
前記測定した移載高さと、前記吊持材の全長に対応する各天井搬送車固有の巻き取りドラムの回転量とから、前記各移載位置に対し、天井搬送車毎の前記巻き取りドラムの回転量を演算部により算出するステップ、とを実行することを特徴とする。
t=(L0−π・D・n0)/πn0 2 (1)
(1)式に従って算出する。L0とtの間には、次の(2)式が成立する。
L0=π(D・n0+t・n0 2) (2)
そこで(2)式をtについて解くと、(1)式が成立する。このようにして、吊持材の厚さtを求めることができる。なおここでは、巻き取りドラムの1回転に対応する回転量を1とする。また巻き取りドラムの回転量を、巻き取りドラムを回転させるモータのエンコーダ値等に換算しても良い。
Δn=((L0-L)/(π・t)+(D/2t)2)1/2−(D/2t) (3)
(3)式に従って算出する。
昇降台を最下降位置から移載高さがLの位置へ上昇させるための回転量をnとし、最上昇位置から移載高さがLの位置へ下降させるための回転量を Δn=n0−n とする。この時、
L=L0-π(D・Δn+t・Δn2) (4)
(4)式が成立するので、これをΔnについて解くと、(3)式が得られる。そして(3)式から、各移載高さに対応する巻き取りドラムの回転量Δnを求めることができる。
L0=π(D・n0+t・n0 2) (2)
そこで(2)式をtについて解くと(1)式が成立し、ベルトの厚さtを求めることができる(ステップS2)。
t=(L0−π・D・n0)/πn0 2 (1)
L=L0-π(D・Δn+t・Δn2) (4)
(4)式が成立する。そこで例えば一台の基準とする天井搬送車により、各移載先毎の移載高さLを測定する。(4)式をΔnについて解くと、(3)式が得られる。
Δn=((L0-L)/(π・t)+(D/2t)2)1/2−(D/2t) (3)
そこで(3)式から、高さがLの移載先まで、最上昇位置から昇降台を下降させるための回転量Δを求めることができる(ステップS3)。
4 走行レール
6 ロードポート
8 アンダーバッファ
10 サイドバッファ
11 走行部
12 横送部
13 回動部
14 昇降駆動部
16 ベルト(吊持材)
18 昇降台
19 チャック
20 FOUP(物品)
22 落下防止部
24 巻き取りドラム
25〜27 アイドラープーリ
30 モータ
31 減速機
32 ベルト端部センサ
33 原点センサ
40 コントローラ
41 CPU
42 マップメモリ
43 メモリ(汎用メモリ)
44 プログラムメモリ
45 駆動インターフェース
46 通信インターフェース
47 センサインターフェース
48 システムコントローラ
49 位置センサ
Claims (5)
- 物品を移載する昇降台に取り付けた吊持材を重ね巻きする巻き取りドラムと、前記巻き取りドラムの回転量を制御することにより、前記昇降台が前記物品を移載する高さを制御するコントローラ、とを有する天井搬送車を複数備える天井搬送車システムであって、
前記吊持材の全長に対応する、各天井搬送車固有の巻き取りドラムの回転量を記憶する記憶部と、
複数の移載高さに対応する、天井搬送車毎の前記巻き取りドラムの回転量を、前記記憶部に記憶した前記各天井搬送車固有の回転量から算出する演算部、とを備えていることを特徴とする、天井搬送車システム。 - 前記巻き取りドラムから前記吊持材を端部まで繰り出したことを検出する端部センサを、前記天井搬送車が備えていることを特徴とする、請求項1の天井搬送車システム。
- 前記吊持材の全長に対応する巻き取りドラムの回転量をn0,前記吊持材の全長をL0,前記巻き取りドラムの直径をD,円周率をπとして、前記演算部は、前記吊持材の厚さtを
t=(L0 −π・D・n0)/πn0 2
に従って算出するように構成されていることを特徴とする、請求項1または2の天井搬送車システム。 - 前記吊持材を全て巻き取った状態から、前記昇降台を移載高さがLの位置へ下降させるための前記巻き取りドラムの回転量Δnを、前記演算部は、
Δn=((L0-L)/(π・t)+(D/2t)2)1/2−(D/2t)
に従って算出するように構成されていることを特徴とする、請求項3の天井搬送車システム。 - 物品を移載する昇降台に取り付けた吊持材を重ね巻きする巻き取りドラムと、前記巻き取りドラムの回転量を制御することにより、前記昇降台が前記物品を移載する高さを制御するコントローラ、とを備える天井搬送車を、複数備える天井搬送車システムでの、複数の移載高さに対応する天井搬送車毎の巻き取りドラムの回転量をティーチングする方法であって、
各天井搬送車において、前記吊持材の全長に対応する、各天井搬送車固有の巻き取りドラムの回転量を測定するステップと、
各移載位置において、少なくとも一台の天井搬送車により移載高さを測定するステップと、
前記測定した移載高さと、前記吊持材の全長に対応する各天井搬送車固有の巻き取りドラムの回転量とから、前記各移載位置に対し、天井搬送車毎の前記巻き取りドラムの回転量を演算部により算出するステップ、とを実行することを特徴とする、天井搬送車システムにおけるティーチング方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017168255A JP6910597B2 (ja) | 2017-09-01 | 2017-09-01 | 天井搬送車システム及び天井搬送車でのティーチング方法 |
US16/101,580 US10460967B2 (en) | 2017-09-01 | 2018-08-13 | Overhead transport vehicle system and teaching method for overhead transport vehicle |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017168255A JP6910597B2 (ja) | 2017-09-01 | 2017-09-01 | 天井搬送車システム及び天井搬送車でのティーチング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019043720A JP2019043720A (ja) | 2019-03-22 |
JP6910597B2 true JP6910597B2 (ja) | 2021-07-28 |
Family
ID=65518250
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017168255A Active JP6910597B2 (ja) | 2017-09-01 | 2017-09-01 | 天井搬送車システム及び天井搬送車でのティーチング方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10460967B2 (ja) |
JP (1) | JP6910597B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6910597B2 (ja) * | 2017-09-01 | 2021-07-28 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム及び天井搬送車でのティーチング方法 |
JP7310774B2 (ja) | 2020-10-07 | 2023-07-19 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車及び天井搬送車における巻取ドラムの回転量算出方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10194410A (ja) * | 1997-01-09 | 1998-07-28 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 搬送台車における昇降ベルトの巻取構造及び搬送台車 |
JP3367389B2 (ja) * | 1997-08-13 | 2003-01-14 | 神鋼電機株式会社 | 天井搬送システム及びその位置決め方法 |
JP2003306293A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-28 | Murata Mach Ltd | 天井搬送車 |
US7854202B2 (en) * | 2007-07-26 | 2010-12-21 | International Business Machines Corporation | Overhead transport service vehicle and method |
JP5266683B2 (ja) * | 2007-08-03 | 2013-08-21 | 村田機械株式会社 | 搬送システム、及び該搬送システムにおける教示方法 |
JP2009161333A (ja) * | 2008-01-09 | 2009-07-23 | Asyst Technologies Japan Inc | 搬送台車及びそのベルト繰り出し量の調整方法 |
JP2009292644A (ja) * | 2008-06-09 | 2009-12-17 | Murata Mach Ltd | 搬送走行車 |
JP5636849B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2014-12-10 | 村田機械株式会社 | 移載システム |
KR20130098688A (ko) * | 2012-02-28 | 2013-09-05 | 삼성전자주식회사 | 호이스트 장치 및 이를 갖는 호이스트 시스템 |
JP6330714B2 (ja) * | 2015-04-09 | 2018-05-30 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備及び物品搬送設備の保守作業方法 |
JP6477439B2 (ja) * | 2015-11-17 | 2019-03-06 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6641926B2 (ja) * | 2015-11-26 | 2020-02-05 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6471702B2 (ja) * | 2016-01-12 | 2019-02-20 | 株式会社ダイフク | 物品搬送装置 |
JP6910597B2 (ja) * | 2017-09-01 | 2021-07-28 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム及び天井搬送車でのティーチング方法 |
US10418263B2 (en) * | 2018-01-20 | 2019-09-17 | Boris Kesil | Overhead transportation system for transporting objects between multiple work stations |
-
2017
- 2017-09-01 JP JP2017168255A patent/JP6910597B2/ja active Active
-
2018
- 2018-08-13 US US16/101,580 patent/US10460967B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10460967B2 (en) | 2019-10-29 |
JP2019043720A (ja) | 2019-03-22 |
US20190074204A1 (en) | 2019-03-07 |
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A621 | Written request for application examination |
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