JP3359167B2 - 超音波アクチュエータ - Google Patents
超音波アクチュエータInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電素子や電歪素子等
の電気機械変換素子により超音波振動を発生させ被駆動
体を駆動する超音波アクチュエータに関する。
の電気機械変換素子により超音波振動を発生させ被駆動
体を駆動する超音波アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】図９乃至図１３を参照して、特願平５−
０３９０１１号に開示された従来の超音波アクチュエー
タ１００について説明する。従来の超音波アクチュエー
タ１００においては、図９に示すように、直方体状の共
振器１１１の一面に２個の電気機械変換素子１１２を固
定し超音波振動子１１３を構成している。
０３９０１１号に開示された従来の超音波アクチュエー
タ１００について説明する。従来の超音波アクチュエー
タ１００においては、図９に示すように、直方体状の共
振器１１１の一面に２個の電気機械変換素子１１２を固
定し超音波振動子１１３を構成している。
【０００３】前記超音波振動子１１３における前記電気
機械変換素子１１２を取り付けた面と反対側の面に摺動
突起部１１５が固定され、この摺動突起部１１５に被駆
動体１１７を押し当て、被駆動体１１７が駆動されるよ
うになっている。前記超音波アクチュエータ１００の支
持は、その中央部で、振動の節位置に配された突起１１
６により行うようになっている。
機械変換素子１１２を取り付けた面と反対側の面に摺動
突起部１１５が固定され、この摺動突起部１１５に被駆
動体１１７を押し当て、被駆動体１１７が駆動されるよ
うになっている。前記超音波アクチュエータ１００の支
持は、その中央部で、振動の節位置に配された突起１１
６により行うようになっている。
【０００４】前記超音波アクチュエータ１００において
は、駆動原理として、前記共振器１１１の図１０にも示
す１次の縦振動（Ａ方向振動）と図１１にも示す２次の
屈曲振動（Ｂ方向振動）の共振周波数を合わせるように
共振器１１１の寸法を決めて、その周波数で２つの電気
機械変換素子１１２に９０度位相のずれた駆動電力を供
給することによりこの共振器１１１に楕円振動を発生さ
せ、被駆動体１１７をこれに押し当てることにより、被
駆動体１１７を駆動するものである。
は、駆動原理として、前記共振器１１１の図１０にも示
す１次の縦振動（Ａ方向振動）と図１１にも示す２次の
屈曲振動（Ｂ方向振動）の共振周波数を合わせるように
共振器１１１の寸法を決めて、その周波数で２つの電気
機械変換素子１１２に９０度位相のずれた駆動電力を供
給することによりこの共振器１１１に楕円振動を発生さ
せ、被駆動体１１７をこれに押し当てることにより、被
駆動体１１７を駆動するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記超音波アクチュエ
ータ１００の駆動時の力のバランスを考えると、図１２
の様な関係になる。超音波振動子１１３の中央部節位置
の突起１１６に押圧力Ｗ 1 がかかり、この反力が突起１
１６に対して、左右対称に配された摺動突起部１１５部
分に均等に反力Ｗ2 （＝１／２・Ｗ1 ）が生じる。ま
た、超音波振動子１１３が被駆動体１１７に対して推力
Ｆ１を与える為、この反力が超音波振動子１１３の支持
部１１６にＦR として生じる。この時、超音波振動子１
１３には、Ｍ 1 方向のモーメントが発生する。実際には
超音波振動子１１３は、回転しない為このモーメントに
対して抗力が発生しこれを摺動突起部１１５、突起１１
６上の点Ｐ1 ，Ｐ2 上で考えると、モーメントは（ＦR
・Ｌ1 ＝２・Ｌ2 ・Ｒ1 ）となり、点Ｐ2 においては
（抗力Ｒ2 ＝ＦR ・Ｌ1 ／２・Ｌ2 ）という抗力が働
き、同様にＰ1 点にはＲ1 と逆方向で同じ絶対値のＲ2
が働いている。
ータ１００の駆動時の力のバランスを考えると、図１２
の様な関係になる。超音波振動子１１３の中央部節位置
の突起１１６に押圧力Ｗ 1 がかかり、この反力が突起１
１６に対して、左右対称に配された摺動突起部１１５部
分に均等に反力Ｗ2 （＝１／２・Ｗ1 ）が生じる。ま
た、超音波振動子１１３が被駆動体１１７に対して推力
Ｆ１を与える為、この反力が超音波振動子１１３の支持
部１１６にＦR として生じる。この時、超音波振動子１
１３には、Ｍ 1 方向のモーメントが発生する。実際には
超音波振動子１１３は、回転しない為このモーメントに
対して抗力が発生しこれを摺動突起部１１５、突起１１
６上の点Ｐ1 ，Ｐ2 上で考えると、モーメントは（ＦR
・Ｌ1 ＝２・Ｌ2 ・Ｒ1 ）となり、点Ｐ2 においては
（抗力Ｒ2 ＝ＦR ・Ｌ1 ／２・Ｌ2 ）という抗力が働
き、同様にＰ1 点にはＲ1 と逆方向で同じ絶対値のＲ2
が働いている。
【０００６】この関係をまとめると、図１３に示すよう
になり、駆動時の摺動突起部１１５にかかる垂直抗力が
アンバランスになっていることが判る。このアンバラン
スな垂直抗力により、各摺動突起部１１５から被駆動体
１１７に伝達される駆動力は、被駆動体１１７と摺動突
起部１１５との間の摩擦係数をμ１とすると、垂直抗力
と摩擦係数μ１の積に比例するため、結果として、左右
の摺動突起部１１５で伝達される駆動力がアンバランス
になり、超音波アクチュエータ１００の効率を落として
いた。
になり、駆動時の摺動突起部１１５にかかる垂直抗力が
アンバランスになっていることが判る。このアンバラン
スな垂直抗力により、各摺動突起部１１５から被駆動体
１１７に伝達される駆動力は、被駆動体１１７と摺動突
起部１１５との間の摩擦係数をμ１とすると、垂直抗力
と摩擦係数μ１の積に比例するため、結果として、左右
の摺動突起部１１５で伝達される駆動力がアンバランス
になり、超音波アクチュエータ１００の効率を落として
いた。
【０００７】本発明の目的は、上記従来技術の欠点を解
消する、効率を向上した超音波アクチュエータを得るこ
とにある。
消する、効率を向上した超音波アクチュエータを得るこ
とにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
共振器と、共振器に固定された複数の電気機械変換素子
と、電気機械変換素子に位相の異なる高周波電圧を印加
する事により前記共振体に楕円振動を発生させ、この楕
円振動に基づき前記共振体に押圧する被駆動部材を駆動
する超音波アクチュエータにおいて、前記被駆動部材を
前記共振体に押圧する際の前記共振器の支持位置を、こ
の超音波アクチュエータ自体の推力に基づく反力による
モーメントの発生を最小にする位置としたものである。
共振器と、共振器に固定された複数の電気機械変換素子
と、電気機械変換素子に位相の異なる高周波電圧を印加
する事により前記共振体に楕円振動を発生させ、この楕
円振動に基づき前記共振体に押圧する被駆動部材を駆動
する超音波アクチュエータにおいて、前記被駆動部材を
前記共振体に押圧する際の前記共振器の支持位置を、こ
の超音波アクチュエータ自体の推力に基づく反力による
モーメントの発生を最小にする位置としたものである。
【０００９】請求項２記載の発明は、共振器と、共振器
に固定された複数の電気機械変換素子と、電気機械変換
素子に位相の異なる高周波電圧を印加する事により前記
共振体に楕円振動を発生させ、この楕円振動に基づき前
記共振体に押圧する被駆動部材を駆動する超音波アクチ
ュエータにおいて、前記被駆動部材を前記共振体に押圧
する際の前記共振器の支持位置を、前記共振器の定在波
振動節位置からずれた被駆動体近傍にしたものである。
に固定された複数の電気機械変換素子と、電気機械変換
素子に位相の異なる高周波電圧を印加する事により前記
共振体に楕円振動を発生させ、この楕円振動に基づき前
記共振体に押圧する被駆動部材を駆動する超音波アクチ
ュエータにおいて、前記被駆動部材を前記共振体に押圧
する際の前記共振器の支持位置を、前記共振器の定在波
振動節位置からずれた被駆動体近傍にしたものである。
【００１０】請求項３記載の発明は、共振器と、共振器
に固定された複数の電気機械変換素子と、電気機械変換
素子に位相の異なる高周波電圧を印加する事により前記
共振体に楕円振動を発生させ、この楕円振動に基づき前
記共振体に押圧する被駆動部材を駆動する超音波アクチ
ュエータにおいて、前記被駆動部材を前記共振体に押圧
する際の前記共振器の支持機構を、前記共振器の下端面
に配置した前記共振体に被駆動部材を押圧する機能を兼
ねる板状弾性部材により構成したものである。
に固定された複数の電気機械変換素子と、電気機械変換
素子に位相の異なる高周波電圧を印加する事により前記
共振体に楕円振動を発生させ、この楕円振動に基づき前
記共振体に押圧する被駆動部材を駆動する超音波アクチ
ュエータにおいて、前記被駆動部材を前記共振体に押圧
する際の前記共振器の支持機構を、前記共振器の下端面
に配置した前記共振体に被駆動部材を押圧する機能を兼
ねる板状弾性部材により構成したものである。
【００１１】
【作用】請求項１記載の超音波アクチュエータによれ
ば、前記被駆動部材を前記共振体に押圧する際の前記共
振器の支持位置を、この超音波アクチュエータ自体の推
力に基づく反力によるモーメントの発生を最小にする位
置としたので、支持位置の特定という簡略な手段のみで
超音波アクチュエータ自体の推力に基づく反力によるモ
ーメントの発生を最小に抑えることができる。
ば、前記被駆動部材を前記共振体に押圧する際の前記共
振器の支持位置を、この超音波アクチュエータ自体の推
力に基づく反力によるモーメントの発生を最小にする位
置としたので、支持位置の特定という簡略な手段のみで
超音波アクチュエータ自体の推力に基づく反力によるモ
ーメントの発生を最小に抑えることができる。
【００１２】請求項２記載の超音波アクチュエータによ
れば、前記被駆動部材を前記共振体に押圧する際のこの
共振器の支持位置を、この共振器の定在波振動節位置か
らずれた被駆動体の近傍にしたので、請求項１記載の発
明と同様簡略な手段のみで超音波アクチュエータ自体の
推力に基づく反力によるモーメントの発生を最小に抑え
ることができる。
れば、前記被駆動部材を前記共振体に押圧する際のこの
共振器の支持位置を、この共振器の定在波振動節位置か
らずれた被駆動体の近傍にしたので、請求項１記載の発
明と同様簡略な手段のみで超音波アクチュエータ自体の
推力に基づく反力によるモーメントの発生を最小に抑え
ることができる。
【００１３】請求項３記載の超音波アクチュエータによ
れば、前記被駆動部材を前記共振体に押圧する際の前記
共振器の支持機構を、前記共振器の下端面に配置した前
記共振体に被駆動部材を押圧する機能を兼ねる板状弾性
部材により構成したので、請求項１記載の発明と同様超
音波アクチュエータ自体の推力に基づく反力によるモー
メントの発生を最小に抑えることができるとともに、前
記共振体の保持を被駆動部材を押圧する機能を備える板
状弾性部材で兼用でき、より構造の簡略化を図れる。
れば、前記被駆動部材を前記共振体に押圧する際の前記
共振器の支持機構を、前記共振器の下端面に配置した前
記共振体に被駆動部材を押圧する機能を兼ねる板状弾性
部材により構成したので、請求項１記載の発明と同様超
音波アクチュエータ自体の推力に基づく反力によるモー
メントの発生を最小に抑えることができるとともに、前
記共振体の保持を被駆動部材を押圧する機能を備える板
状弾性部材で兼用でき、より構造の簡略化を図れる。
【００１４】以下に、本発明の作用をさらに詳述する。
以下に、本発明の作用を再び図１２を参照してさらに詳
述する。
以下に、本発明の作用を再び図１２を参照してさらに詳
述する。
【００１５】図１２において、超音波アクチュエータの
推力に起因する左右の摺動突起部１１６にかかる垂直抗
力Ｗ1 、Ｗ2 のアンバランスを無くすには、（Ｌ1 ／２
・Ｌ 2 ）・ＦR を零に近づければよく、このためには、
寸法Ｌ1 を零に近づけばよい。具体的には、支持位置が
寸法Ｌ1 を零に近づけるように、摺動突起部１１６の位
置を図１３に示すＹ方向にずらせばよい。理想的には、
摺動突起部１１６を被駆動体１１７との接触面高さに配
置したときに上記アンバランスの発生を無くすことがで
きる。
推力に起因する左右の摺動突起部１１６にかかる垂直抗
力Ｗ1 、Ｗ2 のアンバランスを無くすには、（Ｌ1 ／２
・Ｌ 2 ）・ＦR を零に近づければよく、このためには、
寸法Ｌ1 を零に近づけばよい。具体的には、支持位置が
寸法Ｌ1 を零に近づけるように、摺動突起部１１６の位
置を図１３に示すＹ方向にずらせばよい。理想的には、
摺動突起部１１６を被駆動体１１７との接触面高さに配
置したときに上記アンバランスの発生を無くすことがで
きる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
【００１７】［第１実施例］図１乃至図５を用いて第１
実施例を説明する。
実施例を説明する。
【００１８】 （構成）第１実施例の超音波振動子６は、電気機械変換
素子１を一対配置した真鍮製の略直方体の共振器２が、
図４、図５に示されるように、図４に示す共振縦振動
と、図５に示す共振屈曲振動が同時に励起されるような
形状に構成されている。
素子１を一対配置した真鍮製の略直方体の共振器２が、
図４、図５に示されるように、図４に示す共振縦振動
と、図５に示す共振屈曲振動が同時に励起されるような
形状に構成されている。
【００１９】前記共振器１の左右方向中央で、かつ、下
端付近に焼き入れされたステンレス製ピン４が共振器２
に圧入されている。共振器２の上面中央部には、電気機
械変換素子１を固定するための凸部２０が共振器２に対
して直角な面を持ち一体に構成されている。
端付近に焼き入れされたステンレス製ピン４が共振器２
に圧入されている。共振器２の上面中央部には、電気機
械変換素子１を固定するための凸部２０が共振器２に対
して直角な面を持ち一体に構成されている。
【００２０】前記電気機械変換素子１の端面が前記凸部
２０に押圧されて止められるように電気機械変換素子１
の他端面が固定部材２１とビス２２より共振器２に強固
に固定されている。また、この固定時に、電気機械変換
素子１の共振器２との接触している全面に接着剤が塗布
され、電気機械変換素子１の共振器２の固定を強固にし
ている。前記電気機械変換素子１の配置された面とは反
対側面の屈曲振動腹位置に摺動突起部５が設けられてい
る。
２０に押圧されて止められるように電気機械変換素子１
の他端面が固定部材２１とビス２２より共振器２に強固
に固定されている。また、この固定時に、電気機械変換
素子１の共振器２との接触している全面に接着剤が塗布
され、電気機械変換素子１の共振器２の固定を強固にし
ている。前記電気機械変換素子１の配置された面とは反
対側面の屈曲振動腹位置に摺動突起部５が設けられてい
る。
【００２１】本構成の超音波振動子６を用いて超音波リ
ニアアクチュエータを構成した例を図１、図２に示す。
ニアアクチュエータを構成した例を図１、図２に示す。
【００２２】前記超音波振動子６のピン４が、焼き入れ
されたステンレス製ホルダ７のＶ溝８に挟み込まれてお
り、ホルダ７のＶ溝８の垂直軸９上の上方には押圧バネ
１０が前記ホルダ７の上面に接触する配置で設けられて
おり、押圧バネ１０の反対は筺体１１に螺合された押圧
ネジ１２に結合され、押圧ネジ１２を調整することでホ
ルダ７を介して適当な押圧力を超音波振動子６に付与す
るようになっている。
されたステンレス製ホルダ７のＶ溝８に挟み込まれてお
り、ホルダ７のＶ溝８の垂直軸９上の上方には押圧バネ
１０が前記ホルダ７の上面に接触する配置で設けられて
おり、押圧バネ１０の反対は筺体１１に螺合された押圧
ネジ１２に結合され、押圧ネジ１２を調整することでホ
ルダ７を介して適当な押圧力を超音波振動子６に付与す
るようになっている。
【００２３】前記ホルダ７の側面は、このホルダ７が垂
直軸９方向（Ｃ方向）に抵抗無く移動可能なように軸受
手段１３により支持されている。前記超音波振動子６に
設けた摺動突起部５が接触する面には、被駆動体１４に
接着固定した摺動材１５が配置され、被駆動体１４は軸
受１６により移動可能に保持されている。
直軸９方向（Ｃ方向）に抵抗無く移動可能なように軸受
手段１３により支持されている。前記超音波振動子６に
設けた摺動突起部５が接触する面には、被駆動体１４に
接着固定した摺動材１５が配置され、被駆動体１４は軸
受１６により移動可能に保持されている。
【００２４】（作用）第１実施例によれば、前記共振器
２の１次の縦振動と２次の屈曲振動の共振周波数を合わ
せるように共振器２の寸法を決めて、前記超音波振動子
６における２個の電気機械変換素子１に図示しない高周
波電源より位相の９０度ずれた共振器２の共振周波数を
持った駆動電圧を印加することにより、前記共振器２の
腹部分に接着固定された摺動突起部５が楕円振動を行
い、軸受１６上の被駆動体１４がリニアに駆動される。
２の１次の縦振動と２次の屈曲振動の共振周波数を合わ
せるように共振器２の寸法を決めて、前記超音波振動子
６における２個の電気機械変換素子１に図示しない高周
波電源より位相の９０度ずれた共振器２の共振周波数を
持った駆動電圧を印加することにより、前記共振器２の
腹部分に接着固定された摺動突起部５が楕円振動を行
い、軸受１６上の被駆動体１４がリニアに駆動される。
【００２５】（効果）前記ピン４の圧入位置を、共振器
２の左右方向中央で、かつ、共振器２の下端付近にする
ことにより、図１に示す寸法Ｌを小さくすることが可能
となり、これにより、簡略な構成で摺動突起部５にかか
る推力によるアンバランスを軽減できる。
２の左右方向中央で、かつ、共振器２の下端付近にする
ことにより、図１に示す寸法Ｌを小さくすることが可能
となり、これにより、簡略な構成で摺動突起部５にかか
る推力によるアンバランスを軽減できる。
【００２６】［第２実施例］第２実施例を図６乃至図８
を用いて説明する。尚、本実施例においては、第１実施
例と同じ部位には、同じ番号を示し、その詳細な説明は
省略する。
を用いて説明する。尚、本実施例においては、第１実施
例と同じ部位には、同じ番号を示し、その詳細な説明は
省略する。
【００２７】（構成）第２実施例における図６に示す超
音波振動子２５の共振器２の下端面１７の中央に、溝１
８をその溝深さが板状弾性部材である支持バネ１９の厚
みと等しく、溝幅がガタなく支持バネ１９が溝１８に入
るような寸法で設けている。前記溝１８の中心に支持バ
ネ１９固定用のネジ２３を螺合するネジ穴２４を設けて
いる。
音波振動子２５の共振器２の下端面１７の中央に、溝１
８をその溝深さが板状弾性部材である支持バネ１９の厚
みと等しく、溝幅がガタなく支持バネ１９が溝１８に入
るような寸法で設けている。前記溝１８の中心に支持バ
ネ１９固定用のネジ２３を螺合するネジ穴２４を設けて
いる。
【００２８】この超音波振動子２５を用いた超音波リニ
アアクチュエータの構成を図７、図８に示す。
アアクチュエータの構成を図７、図８に示す。
【００２９】下部が開口した構造の前記ホルダ７に相当
するホルダ２６の端部２７には、前記共振器２にネジ２
３で固定された支持バネ１９の穴２８に対応するネジ穴
が穿設されており、これにより、ネジ２９を用いて、前
記超音波振動子２５が支持バネ１９を介してガタなく前
記ホルダ２６に固定されるようにっている。前記ホルダ
２６の上端には、押圧ネジ１２を配置している。この他
の構成は、第１実施例と同様である。
するホルダ２６の端部２７には、前記共振器２にネジ２
３で固定された支持バネ１９の穴２８に対応するネジ穴
が穿設されており、これにより、ネジ２９を用いて、前
記超音波振動子２５が支持バネ１９を介してガタなく前
記ホルダ２６に固定されるようにっている。前記ホルダ
２６の上端には、押圧ネジ１２を配置している。この他
の構成は、第１実施例と同様である。
【００３０】（作用）本実施例によれば、押圧ネジ１２
を回す事により、前記支持バネ１９が撓み、超音波振動
子２５を固定しながら同時に摺動突起部５に対する被駆
動体１４の押圧力を与えることができる。
を回す事により、前記支持バネ１９が撓み、超音波振動
子２５を固定しながら同時に摺動突起部５に対する被駆
動体１４の押圧力を与えることができる。
【００３１】（効果）第２実施例においては、超音波振
動子２５の下面を固定したため、より推力によるアンバ
ランスをなくす事ができ、かつ、支持バネ１９により超
音波振動子２５の保持と押圧力付与とを兼用でき構造が
より簡単になる。
動子２５の下面を固定したため、より推力によるアンバ
ランスをなくす事ができ、かつ、支持バネ１９により超
音波振動子２５の保持と押圧力付与とを兼用でき構造が
より簡単になる。
【００３２】尚、本構成の超音波アクチュエータは、リ
ニアタイプに限らず、楕円振動発生部に、回転体を押圧
する事により回転型の超音波アクチュエータにも応用可
能なことは自明である。
ニアタイプに限らず、楕円振動発生部に、回転体を押圧
する事により回転型の超音波アクチュエータにも応用可
能なことは自明である。
【００３３】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、支持位置
を、この超音波アクチュエータ自体の推力に基づく反力
によるモーメントの発生を最小にする位置としたので、
簡略な手段で超音波アクチュエータ自体の推力に基づく
反力によるモーメントの発生を最小に抑えることができ
る。請求項２記載の発明によれば、請求項１記載の発明
と同様簡略な構成で超音波アクチュエータ自体の推力に
基づく反力によるモーメントの発生を最小に抑えること
ができる。請求項３記載の発明によれば、請求項１記載
の発明と同様超音波アクチュエータ自体の推力に基づく
反力によるモーメントの発生を最小に抑えることができ
るとともに、前記板状弾性部材を用いることでより構造
の簡略化を図れる。
を、この超音波アクチュエータ自体の推力に基づく反力
によるモーメントの発生を最小にする位置としたので、
簡略な手段で超音波アクチュエータ自体の推力に基づく
反力によるモーメントの発生を最小に抑えることができ
る。請求項２記載の発明によれば、請求項１記載の発明
と同様簡略な構成で超音波アクチュエータ自体の推力に
基づく反力によるモーメントの発生を最小に抑えること
ができる。請求項３記載の発明によれば、請求項１記載
の発明と同様超音波アクチュエータ自体の推力に基づく
反力によるモーメントの発生を最小に抑えることができ
るとともに、前記板状弾性部材を用いることでより構造
の簡略化を図れる。
【図１】本発明の第１実施例の超音波アクチュエータを
示す概略断面図である。
示す概略断面図である。
【図２】本実施例の超音波アクチュエータを示す概略側
面図である。
面図である。
【図３】本実施例の超音波アクチュエータにおける超音
波振動子を示す斜視図である。
波振動子を示す斜視図である。
【図４】超音波振動子の縦振動を示す説明図である。
【図５】超音波振動子の屈曲振動を示す説明図である。
【図６】本発明の第２実施例の超音波アクチュエータに
おける超音波振動子及び支持バネを示す分解斜視図であ
る。
おける超音波振動子及び支持バネを示す分解斜視図であ
る。
【図７】本発明の第２実施例の超音波アクチュエータを
示す概略断面図である。
示す概略断面図である。
【図８】本実施例の超音波アクチュエータを示す概略側
面図である。
面図である。
【図９】従来の超音波アクチュエータを示す斜視図であ
る。
る。
【図１０】超音波振動子の縦振動を示す説明図である。
【図１１】超音波振動子の屈曲振動を示す説明図であ
る。
る。
【図１２】従来の超音波アクチュエータにおけるモーメ
ント、推力、反力を示す説明図である。
ント、推力、反力を示す説明図である。
【図１３】従来の超音波アクチュエータにおける推力、
反力を示す説明図である。
反力を示す説明図である。
１ 電気機械変換素子 ２ 共振器 ４ ピン ５ 摺動突起部 ６ 超音波振動子 ７ ホルダ ８ Ｖ溝 １０ 押圧バネ １１ 筐体 １２ 押圧ネジ １３ 軸受手段 １４ 被駆動体
フロントページの続き (72)発明者 谷口 芳久 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オ リンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 粂井 一裕 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オ リンパス光学工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平６−284752（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−254494（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−347587（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−228267（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−277477（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−15693（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02N 2/00 B06B 1/06
Claims (3)
- 【請求項１】 共振器と、共振器に固定された複数の電
気機械変換素子と、電気機械変換素子に位相の異なる高
周波電圧を印加する事により前記共振体に楕円振動を発
生させ、この楕円振動に基づき前記共振体に押圧する被
駆動部材を駆動する超音波アクチュエータにおいて、前
記被駆動部材を前記共振体に押圧する際の前記共振器の
支持位置を、この超音波アクチュエータ自体の推力に基
づく反力によるモーメントの発生を最小にする位置とし
たことを特徴とする超音波アクチュエータ。 - 【請求項２】 共振器と、共振器に固定された複数の電
気機械変換素子と、電気機械変換素子に位相の異なる高
周波電圧を印加する事により前記共振体に楕円振動を発
生させ、この楕円振動に基づき前記共振体に押圧する被
駆動部材を駆動する超音波アクチュエータにおいて、前
記被駆動部材を前記共振体に押圧する際の前記共振器の
支持位置を、前記共振器の定在波振動節位置からずれた
被駆動体近傍であって前記共振器の左右方向中央にした
ことを特徴とする超音波アクチュエータ。 - 【請求項３】 共振器と、共振器に固定された複数の電
気機械変換素子と、電気機械変換素子に位相の異なる高
周波電圧を印加する事により前記共振体に楕円振動を発
生させ、この楕円振動に基づき前記共振体に押圧する被
駆動部材を駆動する超音波アクチュエータにおいて、前
記被駆動部材を前記共振体に押圧する際の前記共振器の
支持機構を、前記共振器の下端面に固定した前記共振体
に被駆動部材を押圧する機能を兼ねる板状弾性部材によ
り構成したことを特徴とする超音波アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31848094A JP3359167B2 (ja) | 1994-12-21 | 1994-12-21 | 超音波アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31848094A JP3359167B2 (ja) | 1994-12-21 | 1994-12-21 | 超音波アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08182359A JPH08182359A (ja) | 1996-07-12 |
| JP3359167B2 true JP3359167B2 (ja) | 2002-12-24 |
Family
ID=18099588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31848094A Expired - Fee Related JP3359167B2 (ja) | 1994-12-21 | 1994-12-21 | 超音波アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3359167B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010141973A (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-24 | Olympus Corp | 超音波モータ |
| JP5975614B2 (ja) * | 2011-09-20 | 2016-08-23 | キヤノン株式会社 | 超音波モータ及びそれを有するレンズ装置 |
-
1994
- 1994-12-21 JP JP31848094A patent/JP3359167B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08182359A (ja) | 1996-07-12 |
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