JPH06105744B2 - ウエハ移載装置及びプローブ装置 - Google Patents
ウエハ移載装置及びプローブ装置Info
- Publication number
- JPH06105744B2 JPH06105744B2 JP2627693A JP2627693A JPH06105744B2 JP H06105744 B2 JPH06105744 B2 JP H06105744B2 JP 2627693 A JP2627693 A JP 2627693A JP 2627693 A JP2627693 A JP 2627693A JP H06105744 B2 JPH06105744 B2 JP H06105744B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- elevating member
- transfer
- tweezers
- elevating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハ移載装置及びプ
ローブ装置に関する。 【0002】 【従来の技術】ウエハ内のチップを測定するプローブ装
置は、ウエハプロセス工程での最終工程にて、ウエハ内
に形成された数多くのチップに対して各々の電気的特性
を測定し、不良チップを区分するための機械的装置であ
り、ウエハ内のチップとテスタとの媒体となる装置であ
る。ウエハ状態で測定を行うことにより、不良チップを
アッセンブリ工程の手前で排除し、コストダウン、及び
生産性の向上に寄与させることができる。 【0003】プローブ装置の基本的機能は、チップ上の
電極(パッドと称されている)にプローブカードに付さ
れているプローブ針を接触させることである。テスタか
らの測定信号は、プローブカードを経て、測定されるチ
ップに伝えられ、その出力信号もプローブカードを経て
テスタに返送され、テスタにより測定結果の判定が行わ
れる。 【0004】最近の半導体製造工程は、半導体産業の飛
躍的な伸長により、生産性の向上、歩留りの向上及び品
質の向上が求められ、ウエハの大口径化と製造装置の自
動化が急激に進められている。プローブ装置についても
同様で、単にプローブカードのプローブ針を接触させる
機能だけのものから、ウエハが収納されたウエハカセッ
トをセットするだけで、すべてのウエハを自動的にテス
トできるフルオートプローブ装置に発展改良された現在
に至っている。 【0005】フルオートプローブ装置は、セミオートプ
ローブ装置の省力化を更に発展させたプローブ装置で、
初期条件の設定とカセットの供給のみオペレータが行え
ば、アライメントも含めて全自動でプロービング(チッ
プにプローブカードのプローブ針を圧接して順番に測定
する行為)が可能となる。ウエハカセット1個につき2
5枚のウエハが収納できるので、一枚当りのテスト時間
を例えば30分とすれば実に約12時間以上の無人運転
が可能であり、カセット数を増設すれば、更に長時間運
転ができる。現在の生産ラインでは、ほとんどこのプロ
ーブ装置が利用されている。 【0006】このようなプローブ装置では、ウエハ保持
台の回転角が小さい場合には、ウエハカセットとウエハ
保持台との間でウエハのプリアライメント(最終的な位
置合わせの前の概略の位置合わせ)を行わなければなら
ず、こうした機能を備えながらできるだけ簡単でかつ確
実な、プローブ装置に適した移載装置を用いることが重
要である。 【0007】従来プローブ装置に用いられている移載装
置装置としては、例えば特開昭57−66649号公報
に記載されている技術が知られている。この技術は、ウ
エハカセットをエレベータ上に配置すると共に、ウエハ
カセットの昇降路上に搬送用のベルトを設け、ウエハカ
セットを降下させてウエハがベルトに接触したときにエ
レベータを停止して当該ベルトにウエハを受け渡し、こ
のベルトにより所定位置まで搬送した後X、Y、Z、θ
方向に移動自在なベルヌーイチャックによりベルト上の
ウエハの表面を吸引し、ベルヌーイチャックを回転させ
てウエハ保持台にウエハを受け渡すものである。ベルヌ
ーイチャックは、円錐型の吸引室の側壁に沿って空気を
通流して中央部を負圧にし、これによりウエハを上から
保持するものである。 【0008】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の移
載装置ではベルトを用いてカセット内からウエハを取り
出しているため、ベルトからゴミが発生し、ウエハが汚
染されるという問題がある。このような汚染はデバイス
の集積度がそれ程高くない場合には大きな問題とはなら
ないが、今後デバイスの高集積化が進められていく現状
では歩留りの低下の一因になる。 【0009】またベルヌーイチャックは、空気を噴射す
るノズルに水滴やチリが付着すると噴出気流が乱れ、ウ
エハを搬送中に落下させて破損することがあり、搬送の
確実性に欠けるという問題がある。 【0010】本発明は、このような事情のもとになされ
たものであり、その目的は、ウエハ収納部からウエハを
取り出して所定位置まで移載するにあたり、確実に搬送
することができ、特にウエハ収納部が横に複数並んで配
列されている場合に、簡単でかつ占有スペースも狭くて
済むウエハ移載装置を提供することにある。 【0011】本発明の他の目的は、ウエハ収納部とプロ
ーブカードの下に位置するウエハ保持台との間のウエハ
の移載を確実に行うことができ、しかも占有スペースの
狭いプローブ装置を提供することにある。 【0012】 【課題を解決するための手段】第1の発明は、ウエハを
上下に間隔をおいて収納するウエハ収納部と、ウエハ保
持面に開口部が形成されると共に、進退自在でかつ前記
ウエハ収納部に対して相対的に昇降自在に構成され、ウ
エハ収納部内に進入してウエハを受け取る搬送部材と、
この搬送部材の開口部を通って昇降し、当該搬送部材上
のウエハを受け取って真空吸着する昇降部材と、切り欠
き部を備えると共に、前記昇降部材上のウエハと搬送部
材との間に進入し、昇降部材が切り欠き部内を降下して
昇降部材からウエハを受け取った後、水平方向に回転し
てこのウエハを所定位置に搬送する回転腕と、を具備し
てなることを特徴とするウエハ移載装置。 【0013】第2の発明は、ウエハを上下に間隔をおい
て収納するウエハ収納部と、ウエハ保持面に開口部が形
成されると共に、進退自在でかつ前記ウエハ収納部に対
して相対的に昇降自在に構成され、ウエハ収納部内に進
入してウエハを受け取る搬送部材と、この搬送部材の開
口部を通って昇降し、当該搬送部材上のウエハを受け取
って真空吸着する昇降部材と、切り欠き部を備えると共
に、前記昇降部材上のウエハと搬送部材との間に進入
し、昇降部材が切り欠き部内を降下して昇降部材からウ
エハを受け取った後、水平方向に回転してこのウエハを
所定位置に搬送する回転腕と、この回転腕により搬送さ
れたウエハを受け取るために当該回転腕の切り欠き部を
通って昇降自在な支持ピンを備え、X、Y方向に移動自
在なウエハ保持台と、このウエハ保持台の所定の静止位
置に対向して設けられたウエハのテスト用のプローブカ
ードと、を具備してなることを特徴とする。 【0014】 【作用】搬送部材をウエハ収納部内に進入させてウエハ
をすくい上げ、その後後退させてウエハを取り出す。次
いで搬送部材上のウエハを昇降部材により突き上げ、例
えばこの昇降部材を回転させてウエハの位置合わせを行
う。そして所定のタイミングで回転腕をウエハの下方側
に位置させておき、昇降部材を降下させてウエハを回転
腕に受け渡し、この回転腕により所定位置まで移載す
る。 【0015】従ってウエハの受け渡しを確実に行うこと
ができ、またウエハを収納部から取り出した後、搬送部
材を移動させて目的とする位置まで搬送するのではな
く、回転腕により搬送しているので、例えばウエハ収納
部が横に複数並んでいて横方向(X方向)に搬送部材が
移動するものであってもX方向と交差する方向に沿って
大きく移動させなくて済むため、移載装置の構成が簡単
でそのスペースも狭くて済む。従ってこのような構成
は、プロ−ブ装置に好適に用いることができる。 【0016】またウエハの位置合わせをする場合には、
別途位置合わせステージを設けなくて済むので、スペー
スが狭くて済む上、移載の時間も短くて済む。 【0017】 【実施例】以下に本発明のウエハ移載装置をプローブ装
置に適用した実施例について説明する。先ず図1を参照
してこのプローブ装置の全体の概要について述べると、
このプローブ装置は、カセットステージ11上に横に一
列に配列されたウエハ収納部例えば4つのウエハカセッ
ト(以下「カセット」という。)1と、このカセット1
内に進入してウエハWを受け取る搬送部材例えばピンセ
ット2と、このピンセット2に形成された開口部21を
通ってピンセット2上のウエハWを突き上げる昇降部材
3と、この昇降部材3上のウエハWを受け取って所定位
置までウエハWを搬送するための、切欠部41を備えた
回転腕4と、この回転腕4からウエハWを受け取ってウ
エハWの測定領域まで移動するウエハ保持台5とを備え
ている。 【0018】またウエハWの測定領域には、図1では見
えない後述のプローブカードを取り付けるための、ヘッ
ドプレート51にサポートリング52を介して保持され
たインサートリング53などが設けられ、その上方には
プローブカードのプローブ針とウエハW上のチップの電
極との位置を観察する光学系ユニット54が設けられて
いる。 【0019】なお上述の各移載に関する部分は、カセッ
ト1からウエハ保持台5までウエハWを移載するものと
して説明しているが、これらはウエハ保持台5からカセ
ット1までの移載も行うものである。 【0020】次に上述の各部分について詳述する。先ず
前記ピンセット2に関連する機構について図2を参照し
ながら説明する。4つのカセット1がX方向に配列され
ているとすると、これらカセット1に対向する位置にX
方向に並列して伸びる一対のカイドレール61に沿っ
て、例えば図示しない車輪により滑動してガイドされる
X軸板62が配置されており、このX軸板62は、X方
向に離れて配置されたプーリ63a、63bの間に掛け
られたベルト63に取り付けられ、モータM1を駆動す
る(正逆転する)ことによりX方向に移動するように構
成される。なお12aに支台12に形成された開口部で
ある。 【0021】前記X軸板62を挟んで上下に対向するよ
うにピンセット受台64及びモータ取付台65が配設さ
れ、これらの間にはボールネジ66及び2本のガイド棒
67が立設されている。前記X軸板62は、ボールネジ
66に図示しないメネジ部を介して螺合すると共にガイ
ド棒67が図示しないガイド溝を介して貫通されてお
り、従ってモータM2を駆動して(正逆転して)ボール
ネジ66を回転させることにより、ピンセット受台64
がX軸板62に対して昇降することになる。 【0022】前記ピンセット受台64の上面側にはピン
セット基台71が取り付けられており、このピンセット
基台71の上には、レール基台72からY方向に並行に
伸びる一対のガイドレール73が配設されている。ピン
セット2はこのガイドレール73にガイドされるように
前記基台71上に滑動自在に取り付けられると共に、Y
方向に沿ってプーリ74a、74b間に掛けられたベル
ト74に取り付けられ、モータM3を駆動(正逆転)す
ることによりY方向に移動自在に即ちカセット1に対し
て進退自在となるように構成されている。 【0023】前記ピンセット2の進入最終部の位置(前
端位置)と、後退しているときの最後部の位置(後端位
置)とに対応して、図示しないが夫々光電子スイッチ、
例えばピンセット2の通過領域面を介して上下に対向す
る発光部及び受光部よりなる光電子スイッチを設け、ピ
ンセット2の本体通過に伴い、受光部で受光しない場合
にはモータM3を停止するように構成すれば、ピンセッ
ト2を予め設定した前端位置及び後端位置にて確実に停
止させることができる。 【0024】前記ピンセット基台71の下方側には、当
該ピンセット基台71に取り付けられたソレノイド31
によりピンセット基台71側にガイド棒32にガイドさ
れながら引き寄せられる(上昇する)昇降板33が配設
されている。一方前記ピンセット2のウエハ保持面に
は、例えば長穴よりなる開口部21が形成されており、
前記昇降板32における前記開口部21と対向する位置
には、当該開口部21内を上下に通過する図1にて既述
した昇降部材3がモータM4によりベルト34を介して
鉛直軸(Z軸)のまわりに回転自在に設けられている。
この昇降部材3は、上面にウエハWの保持面部30が形
成され、この保持面部30にはバキューム吸着機能が付
設されており、サブチャックとも呼ばれる。なおこの例
では昇降部材3の上限位置は前記ソレノイド31のスト
ローク長で決まるが、保持面部30とピンセット2との
間に前記回転腕4が位置することができるように設定さ
れる。 【0025】ここでピンセット2のX方向(カセット1
の配列方向)の停止位置を設定する部分に関して述べる
と、図3に示すように装置本体側において4個のカセッ
ト11に対応する位置A〜Dに夫々光電子スイッチ13
を配置すると共に、X軸板62に装置本体側の光源14
を光電子スイッチ13側に反射するようにミラー15を
取付け、光源14からミラー15を介して反射された光
を光電子スイッチ13が受光したときに、該当する位置
A〜Dに停止して、ピンセット2がカセット1の前面に
対向するように構成される。 【0026】またこの実施例では、前記昇降部材3上の
ウエハWをプリアライメントと呼ばれるウエハ保持台5
による最終的な位置合わせの前の前段の位置合わせを行
うための位置検出装置が昇降部材3に関連して設けられ
ている。この位置検出装置に関して述べると、図4
(a)に示すように昇降部材3上のウエハを挟んで上下
に対向するように、上側に受光センサ81、下側に発光
ダイオード82が夫々配設されており、図5に示すよう
に受光センサ81には、当該受光センサ81より出力電
流を電圧に変換するオペアンプ83が接続されている。
このオペアンプ83の後段側には低域通過フイルタ8
4、サンプルホールド回路85及びA/Dコンバータ8
4がこの順に接続され、このA/Dコンバータ84より
の電圧信号がCPUに取り込まれることとなる。 【0027】前記位置検出装置はこのように構成されて
おり、昇降部材3を上昇させてピンセット2上のウエハ
Wを突き上げた後当該昇降部材3によりウエハWを1回
転させ、これにより得た出力波形にもとづいて図4
(b)に示すようにウエハWの中心Pと昇降部材3の中
心Qとの偏心量を求める。なお図6はこの出力波形の一
例を示す図である。その後昇降部材3を降下させてピン
セット2上に載せ、当該ピンセット2及びX軸板62の
移動により前記偏心量を補正し、再び昇降部材3を上昇
させてウエハWを突き上げて受け取り、ウエハWを1回
転させて得た出力波形にもとづいてウエハWのオリフラ
(オリエンテーションフラット)Fの位置を演算し、そ
の結果にもとづいて昇降部材3によりウエハWの向きを
補正し、こうしてウエハWのプリアライメントが行われ
る。なおウエハWの受け渡し動作については後で詳述す
るが、昇降部材3の上に(詳しくは保持面部3の上)に
ウエハWを保持するときにはバキューム吸着する。 【0028】次に前記回転腕4に関連する構成について
図7を参照しながら述べると、下部側に位置する搬送基
台42に一対のガイド棒43を立設し、このガイド棒4
3の上端に固定板44を嵌着すると共に、搬送基台42
と固定板44との間に、下端側のモータM5により駆動
されるボールネジ45を軸着し、更にこのボールネジ4
5に螺合しかつガイド棒43に嵌合する昇降基台46を
設けて、回転腕4の昇降機構が構成される。 【0029】前記昇降基台46には、モータM6により
回転されるウオーム47及びギア48を介してZ軸のま
わりに回転する回転軸49が設けられており、この回転
軸49の上端に、前記回転腕4の基端部が取り付けら
れ、こうして回転腕4は水平方向に回動しかつ昇降動作
ができることとなる。また前記回転腕4の先端部の切り
欠き部41は、昇降部材3が上下に通過して昇降部材3
との間でウエハWの受け渡しが可能となるように形成さ
れたものである。 【0030】そして図1に戻ってウエハ保持台5につい
て述べると、このウエハ保持台5は、例えば特開昭60
−22605号公報に記載されているX−Yステージ上
に設置される。このようなX−Yステージ90は、ボー
ルネジや、ガイドレールを含むX軸機構91、及びボー
ルネジや、ガイドレールを含むY軸機構92などからな
り、更にウエハ保持台5を例えば後述の図10に示す偏
心カム58などによりZ軸方向に移動させ、かつZ軸ま
わりに回転させる機構が組み合わせられている。 【0031】またウエハ保持台5には、前記回転腕4の
切り欠き部41内を通って昇降し、回転腕4との間でウ
エハの受け渡しを行うための例えば正三角形の頂点位置
に夫々配置された3本の支持ピン50が突出、埋没自在
に設けられている。 【0032】前記ウエハ保持台5の所定の静止位置(ウ
エハWの測定領域)には、ウエハ保持台5と対向するよ
うにプローブカードが設けられており、図8に示すよう
にこのプローブカード55は、プローブ針56を備え、
例えばネジ57によりインサートリング53に取り付け
られている。この例では、インサートリング53を保持
しているヘッドプレート51はプローブ装置本体に開閉
自在に取り付けられている。 【0033】次に上述実施例の装置により、ウエハWを
カセット1からウエハ保持台5に移載し、測定終了後再
びカセット1まで戻る動作について述べる。先ず複数個
のカセット1をカセットステージ11の所定の位置に配
置し、オペレータがこれらカセット1の測定順序をRO
Mに記憶させる。これによりROM内の情報と既述した
光電スイッチ13からの出力信号とにもとづいて、ピン
セット2の下方側のX軸板62がポジションA〜Dのう
ちの一つの位置を選択して移動し、これによりピンセッ
ト2が所定のカセット1の前に停止する。 【0034】続いて当該カセット1からROMに記憶さ
れている順番に従ってウエハWが取り出されることにな
るが、この動作を図9を参照しながら説明する。先ず図
9(a)に示すようにモータM2を駆動してボールネジ
66を回転させてピンセット2を所定位置まで上昇(あ
るいは降下)させる。カセット1内には例えばウエハW
が上下に間隔をおいて25枚収納されるが、ウエハW間
の間隔は予め規定された値であるから、ウエハWの段数
がわかればウエハWの収納位置、及びウエハW間の中間
位置が把握でき、従ってウエハW間の中間位置にピンセ
ット2が位置するようにモータM2が制御される。 【0035】そして図9(b)に示すように既述した如
くモータM3を駆動してベルト74を移動させることに
より(図2参照)ピンセット2を前進させてカセット1
内に進入させ、ピンセット基台71に取り付けた光電ス
イッチなどの進入確認センサ(図示せず)にて確認信号
を得た後に図9(c)に示すようにモータM2を駆動し
てピンセット2を上昇させ、ウエハWを保持する。ウエ
ハWはピンセット2のバキューム吸着機能により吸着さ
れ、バキュームセンサ(図示せず)からの吸着完了の出
力後、図9(d)に示すようにピンセット2は元の位置
まで後退する。 【0036】更に既述した如くソレノイド31に空気を
注入して昇降板3をピンセット基台71に引き寄せ(図
2参照)これにより昇降部材3は図9(e)に示すよう
にピンセット2の開口部21を通って上昇し、ピンセッ
ト2上のウエハWを突き上げて保持する。ピンセット2
上のバキューム吸着は、昇降部材3がウエハWを突き上
げる前に解除され、これに代ってウエハWは昇降部材3
によりバキューム吸着される。その後昇降部材3を回転
させて図4〜図6にて詳述したように、ウエハWの中心
と向きとについて位置合わせ(プリアライメント)が行
われる。 【0037】一方回転腕4は、昇降部材3の上昇時には
これよりも図1中時計まわり方向に寄った位置に待機
し、昇降部材3がウエハを受け取った後は図10(a)
に示すようにピンセット2と昇降部材3との中間位置で
あって、回転腕4の切り欠き部41が昇降部材3を囲む
位置まで回転し、ウエハWのほぼ真下に待機している。
この状態で昇降部材3は、図10(b)に示すように前
記切り欠き部41及びピンセット2の開口部21を通っ
て降下し、これによりウエハWは回転腕4に受け渡され
る。この受け渡しの際昇降部材3のバキューム吸着は解
除され、これに代ってウエハWは回転腕4にバキューム
吸着される。 【0038】しかる後図10(c)に示すように回転腕
4は、ウエハ保持台5の上方位置まで水平方向に回転
し、更に回転腕4のバキューム吸着を解除した後ウエハ
保持台5の支持ピン50が回転腕4の切り欠き部41内
を通って突出する。これによりウエハWは支持ピン50
に一旦支持され、回転腕4が退避した後支持ピン50が
降下してウエハ保持台5上に受け渡され、バキューム吸
着される。 【0039】その後ウエハ保持台5は、図10(d)に
示すようにX−Yステージ90により測定領域であるプ
ローブカード5の下方位置まで移動され、図1に示す光
学系ユニット54によりプローブカード55の穴を通じ
てウエハW表面を観察しながらウエハWの位置合わせを
正確に行った後例えば偏心カム58により上昇して、プ
ローブカード55のプローブ針56とウエハW上のチッ
プの電極(パッド)とを圧接する。圧接後外部のテスタ
によりチップの電気的測定が行われる。 【0040】全てのチップの測定が終了した後図10
(c)に示すようにウエハ保持台5はもとの高さまで降
下すると共に矢印と反対方向に移動し、支持ピン50を
突出させてウエハWを上昇させて回転腕4に受け渡し、
先述の移載動作と逆の動作で回転腕4→昇降部材3→ピ
ンセット2→カセット1の順にウエハWがもとの位置ま
で移載される。以上のような動作を繰り返すことにより
すべてのウエハWが測定される。 【0041】なおウエハのプリアライメントは、ウエハ
保持台5上で行ってもよい。また本発明のウエハ移載装
置は、プローブ装置に限らず他の装置、例えばウエハに
対して所定の処理を行う処理装置の入出力ポート部分に
適用してもよい。 【0042】 【発明の効果】本発明によれば、ウエハWの下面側を保
持して移載するようにしているため、ウエハを確実に移
載することができ、また進退自在な搬送部材と回転腕と
を組み合わせているため、搬送部材を広い領域に亘って
移動させなくてよいので、装置が簡単でかつそのスペー
スも狭くて済む。そしてウエハの位置合わせを行う場合
には、搬送部材と回転腕との間の受け渡しを行うための
昇降部材により行うことができるので、この効果は非常
に大きい。
ローブ装置に関する。 【0002】 【従来の技術】ウエハ内のチップを測定するプローブ装
置は、ウエハプロセス工程での最終工程にて、ウエハ内
に形成された数多くのチップに対して各々の電気的特性
を測定し、不良チップを区分するための機械的装置であ
り、ウエハ内のチップとテスタとの媒体となる装置であ
る。ウエハ状態で測定を行うことにより、不良チップを
アッセンブリ工程の手前で排除し、コストダウン、及び
生産性の向上に寄与させることができる。 【0003】プローブ装置の基本的機能は、チップ上の
電極(パッドと称されている)にプローブカードに付さ
れているプローブ針を接触させることである。テスタか
らの測定信号は、プローブカードを経て、測定されるチ
ップに伝えられ、その出力信号もプローブカードを経て
テスタに返送され、テスタにより測定結果の判定が行わ
れる。 【0004】最近の半導体製造工程は、半導体産業の飛
躍的な伸長により、生産性の向上、歩留りの向上及び品
質の向上が求められ、ウエハの大口径化と製造装置の自
動化が急激に進められている。プローブ装置についても
同様で、単にプローブカードのプローブ針を接触させる
機能だけのものから、ウエハが収納されたウエハカセッ
トをセットするだけで、すべてのウエハを自動的にテス
トできるフルオートプローブ装置に発展改良された現在
に至っている。 【0005】フルオートプローブ装置は、セミオートプ
ローブ装置の省力化を更に発展させたプローブ装置で、
初期条件の設定とカセットの供給のみオペレータが行え
ば、アライメントも含めて全自動でプロービング(チッ
プにプローブカードのプローブ針を圧接して順番に測定
する行為)が可能となる。ウエハカセット1個につき2
5枚のウエハが収納できるので、一枚当りのテスト時間
を例えば30分とすれば実に約12時間以上の無人運転
が可能であり、カセット数を増設すれば、更に長時間運
転ができる。現在の生産ラインでは、ほとんどこのプロ
ーブ装置が利用されている。 【0006】このようなプローブ装置では、ウエハ保持
台の回転角が小さい場合には、ウエハカセットとウエハ
保持台との間でウエハのプリアライメント(最終的な位
置合わせの前の概略の位置合わせ)を行わなければなら
ず、こうした機能を備えながらできるだけ簡単でかつ確
実な、プローブ装置に適した移載装置を用いることが重
要である。 【0007】従来プローブ装置に用いられている移載装
置装置としては、例えば特開昭57−66649号公報
に記載されている技術が知られている。この技術は、ウ
エハカセットをエレベータ上に配置すると共に、ウエハ
カセットの昇降路上に搬送用のベルトを設け、ウエハカ
セットを降下させてウエハがベルトに接触したときにエ
レベータを停止して当該ベルトにウエハを受け渡し、こ
のベルトにより所定位置まで搬送した後X、Y、Z、θ
方向に移動自在なベルヌーイチャックによりベルト上の
ウエハの表面を吸引し、ベルヌーイチャックを回転させ
てウエハ保持台にウエハを受け渡すものである。ベルヌ
ーイチャックは、円錐型の吸引室の側壁に沿って空気を
通流して中央部を負圧にし、これによりウエハを上から
保持するものである。 【0008】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の移
載装置ではベルトを用いてカセット内からウエハを取り
出しているため、ベルトからゴミが発生し、ウエハが汚
染されるという問題がある。このような汚染はデバイス
の集積度がそれ程高くない場合には大きな問題とはなら
ないが、今後デバイスの高集積化が進められていく現状
では歩留りの低下の一因になる。 【0009】またベルヌーイチャックは、空気を噴射す
るノズルに水滴やチリが付着すると噴出気流が乱れ、ウ
エハを搬送中に落下させて破損することがあり、搬送の
確実性に欠けるという問題がある。 【0010】本発明は、このような事情のもとになされ
たものであり、その目的は、ウエハ収納部からウエハを
取り出して所定位置まで移載するにあたり、確実に搬送
することができ、特にウエハ収納部が横に複数並んで配
列されている場合に、簡単でかつ占有スペースも狭くて
済むウエハ移載装置を提供することにある。 【0011】本発明の他の目的は、ウエハ収納部とプロ
ーブカードの下に位置するウエハ保持台との間のウエハ
の移載を確実に行うことができ、しかも占有スペースの
狭いプローブ装置を提供することにある。 【0012】 【課題を解決するための手段】第1の発明は、ウエハを
上下に間隔をおいて収納するウエハ収納部と、ウエハ保
持面に開口部が形成されると共に、進退自在でかつ前記
ウエハ収納部に対して相対的に昇降自在に構成され、ウ
エハ収納部内に進入してウエハを受け取る搬送部材と、
この搬送部材の開口部を通って昇降し、当該搬送部材上
のウエハを受け取って真空吸着する昇降部材と、切り欠
き部を備えると共に、前記昇降部材上のウエハと搬送部
材との間に進入し、昇降部材が切り欠き部内を降下して
昇降部材からウエハを受け取った後、水平方向に回転し
てこのウエハを所定位置に搬送する回転腕と、を具備し
てなることを特徴とするウエハ移載装置。 【0013】第2の発明は、ウエハを上下に間隔をおい
て収納するウエハ収納部と、ウエハ保持面に開口部が形
成されると共に、進退自在でかつ前記ウエハ収納部に対
して相対的に昇降自在に構成され、ウエハ収納部内に進
入してウエハを受け取る搬送部材と、この搬送部材の開
口部を通って昇降し、当該搬送部材上のウエハを受け取
って真空吸着する昇降部材と、切り欠き部を備えると共
に、前記昇降部材上のウエハと搬送部材との間に進入
し、昇降部材が切り欠き部内を降下して昇降部材からウ
エハを受け取った後、水平方向に回転してこのウエハを
所定位置に搬送する回転腕と、この回転腕により搬送さ
れたウエハを受け取るために当該回転腕の切り欠き部を
通って昇降自在な支持ピンを備え、X、Y方向に移動自
在なウエハ保持台と、このウエハ保持台の所定の静止位
置に対向して設けられたウエハのテスト用のプローブカ
ードと、を具備してなることを特徴とする。 【0014】 【作用】搬送部材をウエハ収納部内に進入させてウエハ
をすくい上げ、その後後退させてウエハを取り出す。次
いで搬送部材上のウエハを昇降部材により突き上げ、例
えばこの昇降部材を回転させてウエハの位置合わせを行
う。そして所定のタイミングで回転腕をウエハの下方側
に位置させておき、昇降部材を降下させてウエハを回転
腕に受け渡し、この回転腕により所定位置まで移載す
る。 【0015】従ってウエハの受け渡しを確実に行うこと
ができ、またウエハを収納部から取り出した後、搬送部
材を移動させて目的とする位置まで搬送するのではな
く、回転腕により搬送しているので、例えばウエハ収納
部が横に複数並んでいて横方向(X方向)に搬送部材が
移動するものであってもX方向と交差する方向に沿って
大きく移動させなくて済むため、移載装置の構成が簡単
でそのスペースも狭くて済む。従ってこのような構成
は、プロ−ブ装置に好適に用いることができる。 【0016】またウエハの位置合わせをする場合には、
別途位置合わせステージを設けなくて済むので、スペー
スが狭くて済む上、移載の時間も短くて済む。 【0017】 【実施例】以下に本発明のウエハ移載装置をプローブ装
置に適用した実施例について説明する。先ず図1を参照
してこのプローブ装置の全体の概要について述べると、
このプローブ装置は、カセットステージ11上に横に一
列に配列されたウエハ収納部例えば4つのウエハカセッ
ト(以下「カセット」という。)1と、このカセット1
内に進入してウエハWを受け取る搬送部材例えばピンセ
ット2と、このピンセット2に形成された開口部21を
通ってピンセット2上のウエハWを突き上げる昇降部材
3と、この昇降部材3上のウエハWを受け取って所定位
置までウエハWを搬送するための、切欠部41を備えた
回転腕4と、この回転腕4からウエハWを受け取ってウ
エハWの測定領域まで移動するウエハ保持台5とを備え
ている。 【0018】またウエハWの測定領域には、図1では見
えない後述のプローブカードを取り付けるための、ヘッ
ドプレート51にサポートリング52を介して保持され
たインサートリング53などが設けられ、その上方には
プローブカードのプローブ針とウエハW上のチップの電
極との位置を観察する光学系ユニット54が設けられて
いる。 【0019】なお上述の各移載に関する部分は、カセッ
ト1からウエハ保持台5までウエハWを移載するものと
して説明しているが、これらはウエハ保持台5からカセ
ット1までの移載も行うものである。 【0020】次に上述の各部分について詳述する。先ず
前記ピンセット2に関連する機構について図2を参照し
ながら説明する。4つのカセット1がX方向に配列され
ているとすると、これらカセット1に対向する位置にX
方向に並列して伸びる一対のカイドレール61に沿っ
て、例えば図示しない車輪により滑動してガイドされる
X軸板62が配置されており、このX軸板62は、X方
向に離れて配置されたプーリ63a、63bの間に掛け
られたベルト63に取り付けられ、モータM1を駆動す
る(正逆転する)ことによりX方向に移動するように構
成される。なお12aに支台12に形成された開口部で
ある。 【0021】前記X軸板62を挟んで上下に対向するよ
うにピンセット受台64及びモータ取付台65が配設さ
れ、これらの間にはボールネジ66及び2本のガイド棒
67が立設されている。前記X軸板62は、ボールネジ
66に図示しないメネジ部を介して螺合すると共にガイ
ド棒67が図示しないガイド溝を介して貫通されてお
り、従ってモータM2を駆動して(正逆転して)ボール
ネジ66を回転させることにより、ピンセット受台64
がX軸板62に対して昇降することになる。 【0022】前記ピンセット受台64の上面側にはピン
セット基台71が取り付けられており、このピンセット
基台71の上には、レール基台72からY方向に並行に
伸びる一対のガイドレール73が配設されている。ピン
セット2はこのガイドレール73にガイドされるように
前記基台71上に滑動自在に取り付けられると共に、Y
方向に沿ってプーリ74a、74b間に掛けられたベル
ト74に取り付けられ、モータM3を駆動(正逆転)す
ることによりY方向に移動自在に即ちカセット1に対し
て進退自在となるように構成されている。 【0023】前記ピンセット2の進入最終部の位置(前
端位置)と、後退しているときの最後部の位置(後端位
置)とに対応して、図示しないが夫々光電子スイッチ、
例えばピンセット2の通過領域面を介して上下に対向す
る発光部及び受光部よりなる光電子スイッチを設け、ピ
ンセット2の本体通過に伴い、受光部で受光しない場合
にはモータM3を停止するように構成すれば、ピンセッ
ト2を予め設定した前端位置及び後端位置にて確実に停
止させることができる。 【0024】前記ピンセット基台71の下方側には、当
該ピンセット基台71に取り付けられたソレノイド31
によりピンセット基台71側にガイド棒32にガイドさ
れながら引き寄せられる(上昇する)昇降板33が配設
されている。一方前記ピンセット2のウエハ保持面に
は、例えば長穴よりなる開口部21が形成されており、
前記昇降板32における前記開口部21と対向する位置
には、当該開口部21内を上下に通過する図1にて既述
した昇降部材3がモータM4によりベルト34を介して
鉛直軸(Z軸)のまわりに回転自在に設けられている。
この昇降部材3は、上面にウエハWの保持面部30が形
成され、この保持面部30にはバキューム吸着機能が付
設されており、サブチャックとも呼ばれる。なおこの例
では昇降部材3の上限位置は前記ソレノイド31のスト
ローク長で決まるが、保持面部30とピンセット2との
間に前記回転腕4が位置することができるように設定さ
れる。 【0025】ここでピンセット2のX方向(カセット1
の配列方向)の停止位置を設定する部分に関して述べる
と、図3に示すように装置本体側において4個のカセッ
ト11に対応する位置A〜Dに夫々光電子スイッチ13
を配置すると共に、X軸板62に装置本体側の光源14
を光電子スイッチ13側に反射するようにミラー15を
取付け、光源14からミラー15を介して反射された光
を光電子スイッチ13が受光したときに、該当する位置
A〜Dに停止して、ピンセット2がカセット1の前面に
対向するように構成される。 【0026】またこの実施例では、前記昇降部材3上の
ウエハWをプリアライメントと呼ばれるウエハ保持台5
による最終的な位置合わせの前の前段の位置合わせを行
うための位置検出装置が昇降部材3に関連して設けられ
ている。この位置検出装置に関して述べると、図4
(a)に示すように昇降部材3上のウエハを挟んで上下
に対向するように、上側に受光センサ81、下側に発光
ダイオード82が夫々配設されており、図5に示すよう
に受光センサ81には、当該受光センサ81より出力電
流を電圧に変換するオペアンプ83が接続されている。
このオペアンプ83の後段側には低域通過フイルタ8
4、サンプルホールド回路85及びA/Dコンバータ8
4がこの順に接続され、このA/Dコンバータ84より
の電圧信号がCPUに取り込まれることとなる。 【0027】前記位置検出装置はこのように構成されて
おり、昇降部材3を上昇させてピンセット2上のウエハ
Wを突き上げた後当該昇降部材3によりウエハWを1回
転させ、これにより得た出力波形にもとづいて図4
(b)に示すようにウエハWの中心Pと昇降部材3の中
心Qとの偏心量を求める。なお図6はこの出力波形の一
例を示す図である。その後昇降部材3を降下させてピン
セット2上に載せ、当該ピンセット2及びX軸板62の
移動により前記偏心量を補正し、再び昇降部材3を上昇
させてウエハWを突き上げて受け取り、ウエハWを1回
転させて得た出力波形にもとづいてウエハWのオリフラ
(オリエンテーションフラット)Fの位置を演算し、そ
の結果にもとづいて昇降部材3によりウエハWの向きを
補正し、こうしてウエハWのプリアライメントが行われ
る。なおウエハWの受け渡し動作については後で詳述す
るが、昇降部材3の上に(詳しくは保持面部3の上)に
ウエハWを保持するときにはバキューム吸着する。 【0028】次に前記回転腕4に関連する構成について
図7を参照しながら述べると、下部側に位置する搬送基
台42に一対のガイド棒43を立設し、このガイド棒4
3の上端に固定板44を嵌着すると共に、搬送基台42
と固定板44との間に、下端側のモータM5により駆動
されるボールネジ45を軸着し、更にこのボールネジ4
5に螺合しかつガイド棒43に嵌合する昇降基台46を
設けて、回転腕4の昇降機構が構成される。 【0029】前記昇降基台46には、モータM6により
回転されるウオーム47及びギア48を介してZ軸のま
わりに回転する回転軸49が設けられており、この回転
軸49の上端に、前記回転腕4の基端部が取り付けら
れ、こうして回転腕4は水平方向に回動しかつ昇降動作
ができることとなる。また前記回転腕4の先端部の切り
欠き部41は、昇降部材3が上下に通過して昇降部材3
との間でウエハWの受け渡しが可能となるように形成さ
れたものである。 【0030】そして図1に戻ってウエハ保持台5につい
て述べると、このウエハ保持台5は、例えば特開昭60
−22605号公報に記載されているX−Yステージ上
に設置される。このようなX−Yステージ90は、ボー
ルネジや、ガイドレールを含むX軸機構91、及びボー
ルネジや、ガイドレールを含むY軸機構92などからな
り、更にウエハ保持台5を例えば後述の図10に示す偏
心カム58などによりZ軸方向に移動させ、かつZ軸ま
わりに回転させる機構が組み合わせられている。 【0031】またウエハ保持台5には、前記回転腕4の
切り欠き部41内を通って昇降し、回転腕4との間でウ
エハの受け渡しを行うための例えば正三角形の頂点位置
に夫々配置された3本の支持ピン50が突出、埋没自在
に設けられている。 【0032】前記ウエハ保持台5の所定の静止位置(ウ
エハWの測定領域)には、ウエハ保持台5と対向するよ
うにプローブカードが設けられており、図8に示すよう
にこのプローブカード55は、プローブ針56を備え、
例えばネジ57によりインサートリング53に取り付け
られている。この例では、インサートリング53を保持
しているヘッドプレート51はプローブ装置本体に開閉
自在に取り付けられている。 【0033】次に上述実施例の装置により、ウエハWを
カセット1からウエハ保持台5に移載し、測定終了後再
びカセット1まで戻る動作について述べる。先ず複数個
のカセット1をカセットステージ11の所定の位置に配
置し、オペレータがこれらカセット1の測定順序をRO
Mに記憶させる。これによりROM内の情報と既述した
光電スイッチ13からの出力信号とにもとづいて、ピン
セット2の下方側のX軸板62がポジションA〜Dのう
ちの一つの位置を選択して移動し、これによりピンセッ
ト2が所定のカセット1の前に停止する。 【0034】続いて当該カセット1からROMに記憶さ
れている順番に従ってウエハWが取り出されることにな
るが、この動作を図9を参照しながら説明する。先ず図
9(a)に示すようにモータM2を駆動してボールネジ
66を回転させてピンセット2を所定位置まで上昇(あ
るいは降下)させる。カセット1内には例えばウエハW
が上下に間隔をおいて25枚収納されるが、ウエハW間
の間隔は予め規定された値であるから、ウエハWの段数
がわかればウエハWの収納位置、及びウエハW間の中間
位置が把握でき、従ってウエハW間の中間位置にピンセ
ット2が位置するようにモータM2が制御される。 【0035】そして図9(b)に示すように既述した如
くモータM3を駆動してベルト74を移動させることに
より(図2参照)ピンセット2を前進させてカセット1
内に進入させ、ピンセット基台71に取り付けた光電ス
イッチなどの進入確認センサ(図示せず)にて確認信号
を得た後に図9(c)に示すようにモータM2を駆動し
てピンセット2を上昇させ、ウエハWを保持する。ウエ
ハWはピンセット2のバキューム吸着機能により吸着さ
れ、バキュームセンサ(図示せず)からの吸着完了の出
力後、図9(d)に示すようにピンセット2は元の位置
まで後退する。 【0036】更に既述した如くソレノイド31に空気を
注入して昇降板3をピンセット基台71に引き寄せ(図
2参照)これにより昇降部材3は図9(e)に示すよう
にピンセット2の開口部21を通って上昇し、ピンセッ
ト2上のウエハWを突き上げて保持する。ピンセット2
上のバキューム吸着は、昇降部材3がウエハWを突き上
げる前に解除され、これに代ってウエハWは昇降部材3
によりバキューム吸着される。その後昇降部材3を回転
させて図4〜図6にて詳述したように、ウエハWの中心
と向きとについて位置合わせ(プリアライメント)が行
われる。 【0037】一方回転腕4は、昇降部材3の上昇時には
これよりも図1中時計まわり方向に寄った位置に待機
し、昇降部材3がウエハを受け取った後は図10(a)
に示すようにピンセット2と昇降部材3との中間位置で
あって、回転腕4の切り欠き部41が昇降部材3を囲む
位置まで回転し、ウエハWのほぼ真下に待機している。
この状態で昇降部材3は、図10(b)に示すように前
記切り欠き部41及びピンセット2の開口部21を通っ
て降下し、これによりウエハWは回転腕4に受け渡され
る。この受け渡しの際昇降部材3のバキューム吸着は解
除され、これに代ってウエハWは回転腕4にバキューム
吸着される。 【0038】しかる後図10(c)に示すように回転腕
4は、ウエハ保持台5の上方位置まで水平方向に回転
し、更に回転腕4のバキューム吸着を解除した後ウエハ
保持台5の支持ピン50が回転腕4の切り欠き部41内
を通って突出する。これによりウエハWは支持ピン50
に一旦支持され、回転腕4が退避した後支持ピン50が
降下してウエハ保持台5上に受け渡され、バキューム吸
着される。 【0039】その後ウエハ保持台5は、図10(d)に
示すようにX−Yステージ90により測定領域であるプ
ローブカード5の下方位置まで移動され、図1に示す光
学系ユニット54によりプローブカード55の穴を通じ
てウエハW表面を観察しながらウエハWの位置合わせを
正確に行った後例えば偏心カム58により上昇して、プ
ローブカード55のプローブ針56とウエハW上のチッ
プの電極(パッド)とを圧接する。圧接後外部のテスタ
によりチップの電気的測定が行われる。 【0040】全てのチップの測定が終了した後図10
(c)に示すようにウエハ保持台5はもとの高さまで降
下すると共に矢印と反対方向に移動し、支持ピン50を
突出させてウエハWを上昇させて回転腕4に受け渡し、
先述の移載動作と逆の動作で回転腕4→昇降部材3→ピ
ンセット2→カセット1の順にウエハWがもとの位置ま
で移載される。以上のような動作を繰り返すことにより
すべてのウエハWが測定される。 【0041】なおウエハのプリアライメントは、ウエハ
保持台5上で行ってもよい。また本発明のウエハ移載装
置は、プローブ装置に限らず他の装置、例えばウエハに
対して所定の処理を行う処理装置の入出力ポート部分に
適用してもよい。 【0042】 【発明の効果】本発明によれば、ウエハWの下面側を保
持して移載するようにしているため、ウエハを確実に移
載することができ、また進退自在な搬送部材と回転腕と
を組み合わせているため、搬送部材を広い領域に亘って
移動させなくてよいので、装置が簡単でかつそのスペー
スも狭くて済む。そしてウエハの位置合わせを行う場合
には、搬送部材と回転腕との間の受け渡しを行うための
昇降部材により行うことができるので、この効果は非常
に大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の全体の概略を示す斜視図であ
る。 【図2】本発明の実施例の一部であるピンセット(搬送
部材に相当する)に関連する部分を示す斜視図である。 【図3】ピンセットをX方向に動かすX軸板の停止位置
の設定を示す説明図である。 【図4】ウエハの位置合わせ装置及び位置合わせの一例
を示す説明図である。 【図5】ウエハの位置合わせ装置の一部を示すブロック
図である。 【図6】ウエハの位置合わせ装置の出力電流の一例を示
す特性図である。 【図7】回転腕及びこれを駆動する機構を示す斜視図で
ある。 【図8】プローブカードの取り付けの様子を示す斜視図
である。 【図9】本発明の実施例の動作説明図である。 【図10】本発明の実施例の動作説明図である。 【符号の説明】 1 ウエハカセット 2 ピンセット 21 開口部 3 昇降部材 33 昇降台 4 回転腕 41 切欠部 5 ウエハ保持台 50 支持ピン 55 プローブカード 62 X軸板 71 ピンセット基台 90 X−Yステージ
る。 【図2】本発明の実施例の一部であるピンセット(搬送
部材に相当する)に関連する部分を示す斜視図である。 【図3】ピンセットをX方向に動かすX軸板の停止位置
の設定を示す説明図である。 【図4】ウエハの位置合わせ装置及び位置合わせの一例
を示す説明図である。 【図5】ウエハの位置合わせ装置の一部を示すブロック
図である。 【図6】ウエハの位置合わせ装置の出力電流の一例を示
す特性図である。 【図7】回転腕及びこれを駆動する機構を示す斜視図で
ある。 【図8】プローブカードの取り付けの様子を示す斜視図
である。 【図9】本発明の実施例の動作説明図である。 【図10】本発明の実施例の動作説明図である。 【符号の説明】 1 ウエハカセット 2 ピンセット 21 開口部 3 昇降部材 33 昇降台 4 回転腕 41 切欠部 5 ウエハ保持台 50 支持ピン 55 プローブカード 62 X軸板 71 ピンセット基台 90 X−Yステージ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)ウエハを上下に間隔をおいて収納するウエハ収納
部と、 ウエハ保持面に開口部が形成されると共に、進退自在で
かつ前記ウエハ収納部に対して相対的に昇降自在に構成
され、ウエハ収納部内に進入してウエハを受け取る搬送
部材と、 この搬送部材の開口部を通って昇降し、当該搬送部材上
のウエハを受け取って真空吸着する昇降部材と、 切り欠き部を備えると共に、前記昇降部材上のウエハと
搬送部材との間に進入し、昇降部材が切り欠き部内を降
下して昇降部材からウエハを受け取った後、水平方向に
回転してこのウエハを所定位置に搬送する回転腕と、 を具備してなることを特徴とするウエハ移載装置。 (2)昇降部材は、鉛直軸のまわりに回転自在に構成さ
れ、 前記昇降部材によりウエハを回転させてウエハの位置を
検出するためのウエハ位置検出装置を更に設けたことを
特徴とする特許請求の範囲第1項記載のウエハ移載装
置。 (3)ウエハを上下に間隔をおいて収納するウエハ収納
部と、 ウエハ保持面に開口部が形成されると共に、進退自在で
かつ前記ウエハ収納部に対して相対的に昇降自在に構成
され、ウエハ収納部内に進入してウエハを受け取る搬送
部材と、 この搬送部材の開口部を通って昇降し、当該搬送部材上
のウエハを受け取って真空吸着する昇降部材と、 切り欠き部を備えると共に、前記昇降部材上のウエハと
搬送部材との間に進入し、昇降部材が切り欠き部内を降
下して昇降部材からウエハを受け取った後、水平方向に
回転してこのウエハを所定位置に搬送する回転腕と、 この回転腕により搬送されたウエハを受け取るために当
該回転腕の切り欠き部を通って昇降自在な支持ピンを備
え、X、Y方向に移動自在なウエハ保持台と、 このウエハ保持台の所定の静止位置に対向して設けられ
たウエハのテスト用のプローブカードと、 を具備してなることを特徴とするプローブ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2627693A JPH06105744B2 (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | ウエハ移載装置及びプローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2627693A JPH06105744B2 (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | ウエハ移載装置及びプローブ装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1073886A Division JPS62169341A (ja) | 1986-01-21 | 1986-01-21 | プロ−ブカ−ド自動交換プロ−バ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05343500A JPH05343500A (ja) | 1993-12-24 |
JPH06105744B2 true JPH06105744B2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=12188768
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2627693A Expired - Fee Related JPH06105744B2 (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | ウエハ移載装置及びプローブ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06105744B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3661138B2 (ja) | 1998-04-04 | 2005-06-15 | 東京エレクトロン株式会社 | アライメント高速処理機構 |
CN101689522B (zh) * | 2007-06-29 | 2011-11-02 | 爱德万测试株式会社 | 测试装置 |
CN112820682B (zh) * | 2021-01-08 | 2024-06-21 | 杭州长川科技股份有限公司 | 晶圆输送机构及晶圆测试设备 |
CN114141685A (zh) * | 2021-11-29 | 2022-03-04 | 苏州科韵激光科技有限公司 | 一种自动化晶圆载台及其使用方法 |
CN117936448B (zh) * | 2024-03-21 | 2024-05-24 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种晶圆运输***及方法 |
-
1993
- 1993-01-20 JP JP2627693A patent/JPH06105744B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05343500A (ja) | 1993-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4501527A (en) | Device for automatically transporting disk shaped objects | |
US4789294A (en) | Wafer handling apparatus and method | |
JP5088167B2 (ja) | プローブ装置、プロービング方法及び記憶媒体 | |
KR100503516B1 (ko) | 프로브 카드 반송 기구 및 프로브 장치 | |
US5150797A (en) | IC sorting and receiving apparatus and method | |
JP6540964B2 (ja) | プロービング装置及びプローブコンタクト方法 | |
CN110211889B (zh) | 检查*** | |
KR100346147B1 (ko) | 프로브 시스템 | |
KR20130018580A (ko) | 웨이퍼 반송 장치 | |
KR102136084B1 (ko) | 웨이퍼의 에지 영역 검사 시스템 | |
US7108471B2 (en) | Transporting tool for object to be tested, and object-to-be-tested transporting system | |
JPS62169341A (ja) | プロ−ブカ−ド自動交換プロ−バ | |
JPH06105744B2 (ja) | ウエハ移載装置及びプローブ装置 | |
KR102078603B1 (ko) | 검사 방법 및 기판 처리 장치 | |
JP2010016053A (ja) | 被検査体の受け渡し機構 | |
CN115993470A (zh) | 检查装置和检查方法 | |
JPS62262438A (ja) | ウエハ処理装置 | |
JP3303968B2 (ja) | ウエハと接触子の位置合わせ装置 | |
JPH0685409B2 (ja) | ウェハ搬送装置 | |
CN112530866A (zh) | 晶片的处理方法和芯片测量装置 | |
JPS6251235A (ja) | ウェハ処理装置 | |
JP2529559B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP3094056B2 (ja) | プローブ装置 | |
JPS6193966A (ja) | 半導体素子の試験方法 | |
JPH04355943A (ja) | ウエハプローバ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |