JP3275737B2 - 表面検査装置及び表面検査方法 - Google Patents
表面検査装置及び表面検査方法Info
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8914—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the material examined
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば薄鋼板等
の表面疵等を光学的に検出する表面検査装置及び表面検
査方法に関するものである。
の表面疵等を光学的に検出する表面検査装置及び表面検
査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば鋼板の表面疵を光学的に検出する
装置としては、レ−ザ光の散乱又は回折パタ−ンの変化
を利用して疵を検出する方法が多く用いられている。こ
の方法は鋼板の表面に明らかな凹凸を形成している疵を
検出する場合には有効な方法である。
装置としては、レ−ザ光の散乱又は回折パタ−ンの変化
を利用して疵を検出する方法が多く用いられている。こ
の方法は鋼板の表面に明らかな凹凸を形成している疵を
検出する場合には有効な方法である。
【０００３】一方、鋼板等の疵には、表面の凹凸はな
く、物性値のむら，ミクロな粗さのむら，薄い酸化膜等
の局所的な存在あるいはコ−ティング膜厚の厚さむらと
いった模様状疵といわれるものがある。このような模様
状疵はレ−ザ光の散乱や回折パタ−ンの変化では検出が
困難である。例えば正常部で100Å程度の酸化膜が付い
ている鋼板表面に、局所的に400Å程度の酸化膜が厚く
付いている異常部がある場合、このような異常部の領域
は表面処理工程において塗装不良が生じるため、疵とし
て検出して除去したい要請がある。しかしながら、異常
部と正常部の酸化膜厚の差は鋼板表面の粗さに埋もれて
しまい、光の散乱や回折を利用した方法では全く検出が
不可能である。
く、物性値のむら，ミクロな粗さのむら，薄い酸化膜等
の局所的な存在あるいはコ−ティング膜厚の厚さむらと
いった模様状疵といわれるものがある。このような模様
状疵はレ−ザ光の散乱や回折パタ−ンの変化では検出が
困難である。例えば正常部で100Å程度の酸化膜が付い
ている鋼板表面に、局所的に400Å程度の酸化膜が厚く
付いている異常部がある場合、このような異常部の領域
は表面処理工程において塗装不良が生じるため、疵とし
て検出して除去したい要請がある。しかしながら、異常
部と正常部の酸化膜厚の差は鋼板表面の粗さに埋もれて
しまい、光の散乱や回折を利用した方法では全く検出が
不可能である。
【０００４】このように光の散乱や回折を利用した方法
では検出できない疵を検出するために、偏光を用いた疵
検査方法が例えば特開昭52−138183号公報や特開昭58−
204356号公報等に開示されている。特開昭52−138183号
公報に示された検査方法は被検査体の表面から反射した
Ｐ偏光とＳ偏光の比があらかじめ定めた比較レベルより
高いか否可によって欠陥の有無を検知するものである。
また、特開昭58−204356号公報に示された検出方法は被
検査体の表面に特定角度の入射角で光を照射して、表面
欠陥を検出するときのＳ／Ｎ比を向上するようにしたも
のである。また、疵検査方法ではないが、偏光を用いた
膜厚，表面物性の測定方法が例えば特開昭62−293104号
公報や特開平４−58138号公報等に開示されている。特
開昭62−293104号公報に示された検査方法は、試料から
反射した偏光を方位角の異なる３個の検光子を通して受
光し、異なる３種類の偏光の光強度から各位置のエリプ
ソパラメ−タすなわち反射光の電気ベクトルのうち入射
面方向の成分であるＰ偏光と入射面に垂直方向の成分で
あるＳ偏光との振幅反射率比tanΨと位相差Δを演算し
て、被検査面上の酸化膜やコ−ティング厚さあるいは物
性値を制度良く測定する方法である。特開平４−58138
号公報に示された検出方法は、試料から反射した偏光を
１/４波長板からなる移相子と検光子とを介してイメ−
ジセンサに導くときに、移相子の透過軸の位置を所定角
度変え、各角度毎に検光子を回転させてイメ−ジセンサ
の画素毎に偏光パラメ−タを求めて複屈折分布を精度良
く測定する方法である。
では検出できない疵を検出するために、偏光を用いた疵
検査方法が例えば特開昭52−138183号公報や特開昭58−
204356号公報等に開示されている。特開昭52−138183号
公報に示された検査方法は被検査体の表面から反射した
Ｐ偏光とＳ偏光の比があらかじめ定めた比較レベルより
高いか否可によって欠陥の有無を検知するものである。
また、特開昭58−204356号公報に示された検出方法は被
検査体の表面に特定角度の入射角で光を照射して、表面
欠陥を検出するときのＳ／Ｎ比を向上するようにしたも
のである。また、疵検査方法ではないが、偏光を用いた
膜厚，表面物性の測定方法が例えば特開昭62−293104号
公報や特開平４−58138号公報等に開示されている。特
開昭62−293104号公報に示された検査方法は、試料から
反射した偏光を方位角の異なる３個の検光子を通して受
光し、異なる３種類の偏光の光強度から各位置のエリプ
ソパラメ−タすなわち反射光の電気ベクトルのうち入射
面方向の成分であるＰ偏光と入射面に垂直方向の成分で
あるＳ偏光との振幅反射率比tanΨと位相差Δを演算し
て、被検査面上の酸化膜やコ−ティング厚さあるいは物
性値を制度良く測定する方法である。特開平４−58138
号公報に示された検出方法は、試料から反射した偏光を
１/４波長板からなる移相子と検光子とを介してイメ−
ジセンサに導くときに、移相子の透過軸の位置を所定角
度変え、各角度毎に検光子を回転させてイメ−ジセンサ
の画素毎に偏光パラメ−タを求めて複屈折分布を精度良
く測定する方法である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】特開昭52−138183号公
報や特開昭58−204356号公報に示された検査方法は、偏
光を用いて正常部と異常部とを弁別しているが、測定し
ている偏光方向は２方向のみである。鋼板等の表面の疵
部は光学的物性が正常部と異なった部分であることが多
く、その種類や形態は様々であるため鋼板で反射された
光の偏光状態も様々である。このような場合、３方向以
上の偏光を測定しないと、測定対象の偏光特性を一意に
表すことができないため、例えば検査結果として異常部
が検出できたとしても、それが油のしみか、酸化膜のむ
らか、又は何らかしらの異常な付着物が付着したのであ
るか等、多数の疵種を弁別するこができず、適用できる
疵種は制限されていた。また、偏光を用いたどのような
方法，装置を使用すれば多種多様の疵を弁別できるかに
ついても明らかにされていなかった。
報や特開昭58−204356号公報に示された検査方法は、偏
光を用いて正常部と異常部とを弁別しているが、測定し
ている偏光方向は２方向のみである。鋼板等の表面の疵
部は光学的物性が正常部と異なった部分であることが多
く、その種類や形態は様々であるため鋼板で反射された
光の偏光状態も様々である。このような場合、３方向以
上の偏光を測定しないと、測定対象の偏光特性を一意に
表すことができないため、例えば検査結果として異常部
が検出できたとしても、それが油のしみか、酸化膜のむ
らか、又は何らかしらの異常な付着物が付着したのであ
るか等、多数の疵種を弁別するこができず、適用できる
疵種は制限されていた。また、偏光を用いたどのような
方法，装置を使用すれば多種多様の疵を弁別できるかに
ついても明らかにされていなかった。
【０００６】これに対して特開昭62−293104号公報に示
された検査方法は、エリプソパラメ−タの振幅反射率比
tanΨと位相差Δを使用しているから、油のしみや酸化
膜のむら，異物の付着を弁別できる可能性がある。しか
しながら、この方法は基本的に点測定であり、鋼板等の
表面全体の検査に適さない。仮に、特開昭62−293104号
公報に示されている装置を鋼板の幅方向に多数並べた
り、幅方向に高速に移動可能な機構を持った手段によっ
て１台の装置を走査したり、何らかの工夫により全面走
査が可能になったとしても、信号処理部は全測定点につ
いて偏光強度信号からエリプソパラメ−タの振幅反射率
比tanΨと位相差Δを演算し、画像処理装置などを用い
て疵種と疵の等級を判定する必要がある。しかし、幅方
向１ラインで1000点以上の偏光強度信号を処理しなけら
ばならず、特にエリプソパラメ−タ演算はソフトウェア
演算で行った場合、約数10秒の演算時間がかかるため、
例えば毎分数100ｍの速度で通過する鋼板等のシ−ト状
製品の表面をオンラインで連続的に検査することは不可
能であった。このために専用の偏光パラメ−タ等の演算
処理装置が必要となり、装置が高価になってしまう。
された検査方法は、エリプソパラメ−タの振幅反射率比
tanΨと位相差Δを使用しているから、油のしみや酸化
膜のむら，異物の付着を弁別できる可能性がある。しか
しながら、この方法は基本的に点測定であり、鋼板等の
表面全体の検査に適さない。仮に、特開昭62−293104号
公報に示されている装置を鋼板の幅方向に多数並べた
り、幅方向に高速に移動可能な機構を持った手段によっ
て１台の装置を走査したり、何らかの工夫により全面走
査が可能になったとしても、信号処理部は全測定点につ
いて偏光強度信号からエリプソパラメ−タの振幅反射率
比tanΨと位相差Δを演算し、画像処理装置などを用い
て疵種と疵の等級を判定する必要がある。しかし、幅方
向１ラインで1000点以上の偏光強度信号を処理しなけら
ばならず、特にエリプソパラメ−タ演算はソフトウェア
演算で行った場合、約数10秒の演算時間がかかるため、
例えば毎分数100ｍの速度で通過する鋼板等のシ−ト状
製品の表面をオンラインで連続的に検査することは不可
能であった。このために専用の偏光パラメ−タ等の演算
処理装置が必要となり、装置が高価になってしまう。
【０００７】しかしながら、この方法は検査手法として
は非常に敏感であり、他の種類の疵や汚れ，油むら，ス
ケ−ルなどから相対的に微弱な検出強度した与えない模
様状の表面疵の情報のみを弁別して検出することは困難
であった。特に、表面に油膜が塗布されて製造ライン上
を移動する鋼板を検査する場合には、その油膜むらと本
来検出すべき表面疵の両方を含んだ偏光パラメ−タを検
出してしまい、表面疵の情報だけを弁別して検出するこ
とはできなかった。このため、特に防錆のために表面に
油膜が塗布されていることが多い冷延鋼板等の通常の鋼
板の表面疵の検出に使える可能性がないと考えられてお
り、鋼板の模様状疵を光学的手段で検出すること、さら
に表面疵の種類や等級までを判定することは不可能とさ
れていた。
は非常に敏感であり、他の種類の疵や汚れ，油むら，ス
ケ−ルなどから相対的に微弱な検出強度した与えない模
様状の表面疵の情報のみを弁別して検出することは困難
であった。特に、表面に油膜が塗布されて製造ライン上
を移動する鋼板を検査する場合には、その油膜むらと本
来検出すべき表面疵の両方を含んだ偏光パラメ−タを検
出してしまい、表面疵の情報だけを弁別して検出するこ
とはできなかった。このため、特に防錆のために表面に
油膜が塗布されていることが多い冷延鋼板等の通常の鋼
板の表面疵の検出に使える可能性がないと考えられてお
り、鋼板の模様状疵を光学的手段で検出すること、さら
に表面疵の種類や等級までを判定することは不可能とさ
れていた。
【０００８】また、この方法は元々膜厚あるいは物性値
を測定する方法であり、そのためにはエリプソパラメ−
タの振幅反射率比tanΨと位相差Δを測定すれば十分で
あった、しかしながら、これらのパラメ−タは必ずしも
人の目で見た状態と一致するものではなく、人が疵と認
識できてもエリプソパラメ−タは変化しない疵について
は検出することができなかった。
を測定する方法であり、そのためにはエリプソパラメ−
タの振幅反射率比tanΨと位相差Δを測定すれば十分で
あった、しかしながら、これらのパラメ−タは必ずしも
人の目で見た状態と一致するものではなく、人が疵と認
識できてもエリプソパラメ−タは変化しない疵について
は検出することができなかった。
【０００９】また、特開平４−58138号公報に示された
検査方法は、薄膜評価等に使用されているエリプソメ−
タを２次元に拡大したものであり、この場合は、各画素
毎に複屈折率が求められるため、正常部と異常部とでは
異なる値として複屈折率が測定され、その違いにより正
常部と異常部を弁別できる可能性がある。しかしなが
ら、移相子と検光子を機械的に回転させて測定している
ため、被検査体の各位置の複屈折率を測定するには、少
なくとも１回の測定中は被検査体を停止させている必要
があった。このため、例えば鋼板等のように連続的に製
造されて送られるシ−ト状製品の表面をオンラインで連
続的に検査することは不可能であった。
検査方法は、薄膜評価等に使用されているエリプソメ−
タを２次元に拡大したものであり、この場合は、各画素
毎に複屈折率が求められるため、正常部と異常部とでは
異なる値として複屈折率が測定され、その違いにより正
常部と異常部を弁別できる可能性がある。しかしなが
ら、移相子と検光子を機械的に回転させて測定している
ため、被検査体の各位置の複屈折率を測定するには、少
なくとも１回の測定中は被検査体を停止させている必要
があった。このため、例えば鋼板等のように連続的に製
造されて送られるシ−ト状製品の表面をオンラインで連
続的に検査することは不可能であった。
【００１０】この発明はかかる短所を改善するためにな
されたものであり、簡単な構成でシ−ト状製品の表面に
ある模様状疵や凹凸状の疵をオンラインで連続的に検出
して、その種別や程度を弁別することができる表面検査
装置及び表面検査方法を提供することを目的とするもの
である。
されたものであり、簡単な構成でシ−ト状製品の表面に
ある模様状疵や凹凸状の疵をオンラインで連続的に検出
して、その種別や程度を弁別することができる表面検査
装置及び表面検査方法を提供することを目的とするもの
である。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明に係る表面検査
装置は、投光部と受光部と信号処理部とを有し、投光部
は被検査面に偏光を入射し、受光部は少なくとも３方向
の異なる角度の偏光を受光する複数の受光光学系を有
し、被検査面で反射した反射光を検出して画像信号に変
換し、信号処理部は変換した画像信号から所定の疵特徴
量を算出し、算出した疵特徴量をあらかじめ定めたパタ
−ンと比較し疵種あるいは疵種と等級を判定することを
特徴とする。上記信号処理部は疵特徴量として光強度分
布の変化極性から疵種を判定したり、疵特徴量として目
視相当光量を算出し、疵の等級を判定する。また、信号
処理部は各受光光学系から出力された光強度分布を平均
値があらかじめ定めた基準値となるように規格化した後
に疵特徴量を算出する。
装置は、投光部と受光部と信号処理部とを有し、投光部
は被検査面に偏光を入射し、受光部は少なくとも３方向
の異なる角度の偏光を受光する複数の受光光学系を有
し、被検査面で反射した反射光を検出して画像信号に変
換し、信号処理部は変換した画像信号から所定の疵特徴
量を算出し、算出した疵特徴量をあらかじめ定めたパタ
−ンと比較し疵種あるいは疵種と等級を判定することを
特徴とする。上記信号処理部は疵特徴量として光強度分
布の変化極性から疵種を判定したり、疵特徴量として目
視相当光量を算出し、疵の等級を判定する。また、信号
処理部は各受光光学系から出力された光強度分布を平均
値があらかじめ定めた基準値となるように規格化した後
に疵特徴量を算出する。
【００１２】この発明に係る表面検査方法は、被検査面
に偏光を入射し、被検査面で反射した反射光の少なくと
も３方向の異なる角度の偏光を受光し、受光信号により
所定の疵特徴量を算出し、算出した疵特徴量をあらかじ
め定めたパタ−ンと比較し疵種あるいは疵種と疵の等級
を判定することを特徴とする。
に偏光を入射し、被検査面で反射した反射光の少なくと
も３方向の異なる角度の偏光を受光し、受光信号により
所定の疵特徴量を算出し、算出した疵特徴量をあらかじ
め定めたパタ−ンと比較し疵種あるいは疵種と疵の等級
を判定することを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】偏光は反射表面の物性、特に薄膜
に対して敏感である。また反射表面の物性により最大強
度の偏光方向も変化する。金属表面の疵部は正常部と異
なる表面特性を有し、表面の物性が母材と異なるため疵
となったり、あるいは例えば凹凸のように正常部と表面
幾何学形状が異なるために疵となるものがある。前者は
偏光を用いることにより検出でき、後者は反射率の相違
となって現れるため反射光量変化により検出できる。
に対して敏感である。また反射表面の物性により最大強
度の偏光方向も変化する。金属表面の疵部は正常部と異
なる表面特性を有し、表面の物性が母材と異なるため疵
となったり、あるいは例えば凹凸のように正常部と表面
幾何学形状が異なるために疵となるものがある。前者は
偏光を用いることにより検出でき、後者は反射率の相違
となって現れるため反射光量変化により検出できる。
【００１４】そこで、この発明においては、被検査面に
対して一定入射角で被検査面の幅方向全体に偏光を入射
するように投光部を配置し、被検査面からの反射光を受
光する受光部を所定の位置に配置する。受光部は入射し
た光を例えば３本のビ−ムに分離するビ−ムスプリッタ
と、分離した３本のビ−ムを別々に入射して画像信号を
出力する例えばＣＣＤセンサを有する３組のリニアアレ
イカメラと、ビ−ムスプリッタと各リニアアレイカメラ
の間に設けられ、被検査面からの反射光を異なる振動面
の偏光にする検光子とが設けられている。３個の検光子
はそれぞれ異なる方位角、すなわち透過軸が被検査面の
入射面となす角が、例えば０，π／４，−π／４になる
ように配置されている。
対して一定入射角で被検査面の幅方向全体に偏光を入射
するように投光部を配置し、被検査面からの反射光を受
光する受光部を所定の位置に配置する。受光部は入射し
た光を例えば３本のビ−ムに分離するビ−ムスプリッタ
と、分離した３本のビ−ムを別々に入射して画像信号を
出力する例えばＣＣＤセンサを有する３組のリニアアレ
イカメラと、ビ−ムスプリッタと各リニアアレイカメラ
の間に設けられ、被検査面からの反射光を異なる振動面
の偏光にする検光子とが設けられている。３個の検光子
はそれぞれ異なる方位角、すなわち透過軸が被検査面の
入射面となす角が、例えば０，π／４，−π／４になる
ように配置されている。
【００１５】信号処理部は各リニアアレイカメラからの
出力画像信号をシェ−ディング補正して正常部が全階調
の中心濃度になるように正規化して平坦化し、正常部に
対する相対的な変化を示す光強度信号に変換する。この
正常部に対する相対的な変化を示す３種類の光強度信号
の分布の変化極性と変化量とをそれぞれあらかじめ定め
たパタ−ンと比較して偏光の変化を検出する。この３種
類の光強度信号の正常部に対する変化極性と変化量の大
小から表面の物性が母材と異なる疵の疵種を判定する。
出力画像信号をシェ−ディング補正して正常部が全階調
の中心濃度になるように正規化して平坦化し、正常部に
対する相対的な変化を示す光強度信号に変換する。この
正常部に対する相対的な変化を示す３種類の光強度信号
の分布の変化極性と変化量とをそれぞれあらかじめ定め
たパタ−ンと比較して偏光の変化を検出する。この３種
類の光強度信号の正常部に対する変化極性と変化量の大
小から表面の物性が母材と異なる疵の疵種を判定する。
【００１６】また、信号処理部は上記処理とともに各受
光光学系から出力された光強度分布から目視相当の光量
変化すなわち表面反射強度を演算し、演算した光量変化
をあらかじめ定めたパタ−ンと比較し、光量変化の変化
極性と変化量の大小から例えば凹凸のように正常部と表
面幾何学形状が異なるために疵の等級を判定する。
光光学系から出力された光強度分布から目視相当の光量
変化すなわち表面反射強度を演算し、演算した光量変化
をあらかじめ定めたパタ−ンと比較し、光量変化の変化
極性と変化量の大小から例えば凹凸のように正常部と表
面幾何学形状が異なるために疵の等級を判定する。
【００１７】
【実施例】図１はこの発明の一実施例の光学系を示す配
置図である。図に示すように、光学系１は投光部２と３
板式偏光リニアアレイカメラ３を有する。投光部２は被
検査体例えば鋼板４の表面に一定の入射角で偏光を入射
するものであり、光源５と光源５の前面に設けられた偏
光子６とを有する。光源５は鋼板４の幅方向に伸びた棒
状発光装置からなり、鋼板４の幅方向全体に一様な強度
分布を有する光を照射する。偏光子６は例えば偏光板又
は偏光フィルタからなり、図２の配置説明図に示すよう
に、透過軸Ｐが鋼板４の入射面となす角α1がπ／４に
なるように配置されている。３板式偏光リニアアレイカ
メラ３は、図３の構成図に示すように、ビ−ムスプリッ
タ７と３個の検光子８ａ，８ｂ，８ｃと３個のリニアア
レイセンサ９ａ，９ｂ，９ｃとを有する。ビ−ムスプリ
ッタ７は３個のプリズムからなり、入射面に誘電体多層
膜を蒸着した半透過性を有する反射面が２面設けられ、
鋼板４からの反射光を入射する第１の反射面７ａは透過
率と反射率が２対１の割合になっており、第１の反射面
７ａを透過した光を入射する第２の反射面７ｂは透過率
と反射率が１対１の割合になっており、鋼板４からの反
射光を同じ光量の３本のビ−ムに分離する。また、ビ−
ムスプリッタ７の入射面から分離した３本のビ−ムの出
射面までの光路長は同じにしてある。検光子８ａは第２
の反射面１０ｂの透過光の光路に設けられ、図２に示す
ように、方位角すなわち透過軸が鋼板４の入射面となす
角α2が０度になるように配置され、検光子８ｂは第２
の反射面７ｂの反射光の光路に設けられ、方位角α2が
π/４度になるように配置され、検光子８ｃは第１の反
射面７ａの反射光の光路に設けられ、方位角α2が−π/
４になるように配置されている。リニアアレイセンサ９
ａ，９ｂ，９ｃは例えばＣＣＤセンサからなり、それぞ
れ検光子８ａ，８ｂ，８ｃの後段に配置されている。ま
た、ビ−ムスプリッタ７と検光子８ａ，８ｂ，８ｃの間
にはビ−ムスプリッタ７内の多重反射光や不必要な散乱
光をカットするスリット１０ａ，１０ｂ，１０ｃが設け
られ、ビ−ムスプリッタ７の前段にはレンズ群１１が設
けられている。また、リニアアレイセンサ９ａ，９ｂ，
９ｃは同じ光強度の光が入射したときに同じ信号を出力
するように利得が調整してある。
置図である。図に示すように、光学系１は投光部２と３
板式偏光リニアアレイカメラ３を有する。投光部２は被
検査体例えば鋼板４の表面に一定の入射角で偏光を入射
するものであり、光源５と光源５の前面に設けられた偏
光子６とを有する。光源５は鋼板４の幅方向に伸びた棒
状発光装置からなり、鋼板４の幅方向全体に一様な強度
分布を有する光を照射する。偏光子６は例えば偏光板又
は偏光フィルタからなり、図２の配置説明図に示すよう
に、透過軸Ｐが鋼板４の入射面となす角α1がπ／４に
なるように配置されている。３板式偏光リニアアレイカ
メラ３は、図３の構成図に示すように、ビ−ムスプリッ
タ７と３個の検光子８ａ，８ｂ，８ｃと３個のリニアア
レイセンサ９ａ，９ｂ，９ｃとを有する。ビ−ムスプリ
ッタ７は３個のプリズムからなり、入射面に誘電体多層
膜を蒸着した半透過性を有する反射面が２面設けられ、
鋼板４からの反射光を入射する第１の反射面７ａは透過
率と反射率が２対１の割合になっており、第１の反射面
７ａを透過した光を入射する第２の反射面７ｂは透過率
と反射率が１対１の割合になっており、鋼板４からの反
射光を同じ光量の３本のビ−ムに分離する。また、ビ−
ムスプリッタ７の入射面から分離した３本のビ−ムの出
射面までの光路長は同じにしてある。検光子８ａは第２
の反射面１０ｂの透過光の光路に設けられ、図２に示す
ように、方位角すなわち透過軸が鋼板４の入射面となす
角α2が０度になるように配置され、検光子８ｂは第２
の反射面７ｂの反射光の光路に設けられ、方位角α2が
π/４度になるように配置され、検光子８ｃは第１の反
射面７ａの反射光の光路に設けられ、方位角α2が−π/
４になるように配置されている。リニアアレイセンサ９
ａ，９ｂ，９ｃは例えばＣＣＤセンサからなり、それぞ
れ検光子８ａ，８ｂ，８ｃの後段に配置されている。ま
た、ビ−ムスプリッタ７と検光子８ａ，８ｂ，８ｃの間
にはビ−ムスプリッタ７内の多重反射光や不必要な散乱
光をカットするスリット１０ａ，１０ｂ，１０ｃが設け
られ、ビ−ムスプリッタ７の前段にはレンズ群１１が設
けられている。また、リニアアレイセンサ９ａ，９ｂ，
９ｃは同じ光強度の光が入射したときに同じ信号を出力
するように利得が調整してある。
【００１８】このように入射した光を分離した３本のビ
−ムの光路に検光子８ａ〜８ｃとリニアアレイセンサ９
ａ〜９ｃが一体化して設けられているから、リニアアレ
イセンサ９ａ〜９ｃ等を鋼板４の搬送路近傍に設置して
鋼板４からの反射光を検出するときに、リニアアレイセ
ンサ９ａ〜９ｃ等の位置調整を必要としないとともに、
鋼板４の同じ位置からの反射光を同じタイミングで検出
することができる。また、３板式偏光リニアアレイカメ
ラ３内に３組のリニアアレイセンサ９ａ〜９ｃがまとま
って収納されて小型化しているから、３板式偏光リニア
アレイカメラ３を鋼板４の反射光の光路に簡単に配置す
ることができるとともに、配置位置を任意に選択するこ
とができ、光学系１の配置の自由度を向上することがで
きる。
−ムの光路に検光子８ａ〜８ｃとリニアアレイセンサ９
ａ〜９ｃが一体化して設けられているから、リニアアレ
イセンサ９ａ〜９ｃ等を鋼板４の搬送路近傍に設置して
鋼板４からの反射光を検出するときに、リニアアレイセ
ンサ９ａ〜９ｃ等の位置調整を必要としないとともに、
鋼板４の同じ位置からの反射光を同じタイミングで検出
することができる。また、３板式偏光リニアアレイカメ
ラ３内に３組のリニアアレイセンサ９ａ〜９ｃがまとま
って収納されて小型化しているから、３板式偏光リニア
アレイカメラ３を鋼板４の反射光の光路に簡単に配置す
ることができるとともに、配置位置を任意に選択するこ
とができ、光学系１の配置の自由度を向上することがで
きる。
【００１９】３板式偏光リニアアレイカメラ３のリニア
アレイセンサ９ａ〜９ｃは、図４のブロック図に示すよ
うに、信号処理部１２に接続されている。信号処理部１
２は信号前処理部１３ａ，１３ｂ，１３ｃとＩ1メモリ
１４ａ，Ｉ2メモリ１４ｂ，Ｉ3メモリ１４ｃと、疵パラ
メ−タ演算部１５と、パタ−ン記憶部１６と、光量記憶
部１７と、基準パタ−ン記憶部１８と、疵種判定部１９
と、等級パタ−ン記憶部２０と、疵等級判定部２１及び
出力部２２を有する。信号前処理部１３ａ〜１３ｃはリ
ニアアレイセンサ９ａ〜９ｃから出力された偏光の光強
度信号Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の幅方向等の感度むら等を補正す
るシェ−ディング補正等を行ってから正常部の信号を基
準レベルとして、正常部の信号が255階調の中心濃度で
ある128階調になるように正規化して、正規化した光強
度信号Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3をそれぞれＩ1メモリ１４ａ，Ｉ2
メモリ１４ｂ，Ｉ3メモリ１４ｃに格納する。疵パラメ
−タ演算部１５はＩ1メモリ１４ａ〜Ｉ3メモリ１４ｃに
格納された光強度信号Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の分布に表れた疵
部のピ−ク値を正常部の値である128階調を基準にして
プラスであるかマイナスであるかを示す極性パタ−ン
と、128階調を基準にした変化量を示す値パタ−ンを算
出するとともに、疵部の光強度から目視相当光量を演算
する。パタ−ン記憶部１６は算出された極性パタ−ンと
値パタ−ンを記憶し、光量記憶部１７は算出された目視
相当光量Ｉmaxを記憶する。基準パタ−ン記憶部１８に
は各種極性パタ−ンと値パタ−ン及びこれらに対応する
疵種があらかじめ格納されている。疵種判定部１９はパ
タ−ン記憶部１６に記憶された極性パタ−ンと値パタ−
ンとを基準パタ−ン記憶部１８に記憶された各種極性パ
タ−ンと値パタ−ンと比較して疵種を判定する。等級パ
タ−ン記憶部２０には各疵種毎に光量に対する疵の等級
を示す等級基準パタ−ンがあらかじめ格納してある。疵
等級判定部２１は光量記憶部１７に記憶した目視相当光
量Ｉmaxと疵種判定部１９で判定した疵種を等級パタ−
ン記憶部２０に記憶してある等級基準パタ−ンと比較し
て疵の等級を判定する。出力部２２は疵等級判定部２１
から出力される疵種と疵の等級を不図示の表示装置や記
録装置に出力する。
アレイセンサ９ａ〜９ｃは、図４のブロック図に示すよ
うに、信号処理部１２に接続されている。信号処理部１
２は信号前処理部１３ａ，１３ｂ，１３ｃとＩ1メモリ
１４ａ，Ｉ2メモリ１４ｂ，Ｉ3メモリ１４ｃと、疵パラ
メ−タ演算部１５と、パタ−ン記憶部１６と、光量記憶
部１７と、基準パタ−ン記憶部１８と、疵種判定部１９
と、等級パタ−ン記憶部２０と、疵等級判定部２１及び
出力部２２を有する。信号前処理部１３ａ〜１３ｃはリ
ニアアレイセンサ９ａ〜９ｃから出力された偏光の光強
度信号Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の幅方向等の感度むら等を補正す
るシェ−ディング補正等を行ってから正常部の信号を基
準レベルとして、正常部の信号が255階調の中心濃度で
ある128階調になるように正規化して、正規化した光強
度信号Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3をそれぞれＩ1メモリ１４ａ，Ｉ2
メモリ１４ｂ，Ｉ3メモリ１４ｃに格納する。疵パラメ
−タ演算部１５はＩ1メモリ１４ａ〜Ｉ3メモリ１４ｃに
格納された光強度信号Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の分布に表れた疵
部のピ−ク値を正常部の値である128階調を基準にして
プラスであるかマイナスであるかを示す極性パタ−ン
と、128階調を基準にした変化量を示す値パタ−ンを算
出するとともに、疵部の光強度から目視相当光量を演算
する。パタ−ン記憶部１６は算出された極性パタ−ンと
値パタ−ンを記憶し、光量記憶部１７は算出された目視
相当光量Ｉmaxを記憶する。基準パタ−ン記憶部１８に
は各種極性パタ−ンと値パタ−ン及びこれらに対応する
疵種があらかじめ格納されている。疵種判定部１９はパ
タ−ン記憶部１６に記憶された極性パタ−ンと値パタ−
ンとを基準パタ−ン記憶部１８に記憶された各種極性パ
タ−ンと値パタ−ンと比較して疵種を判定する。等級パ
タ−ン記憶部２０には各疵種毎に光量に対する疵の等級
を示す等級基準パタ−ンがあらかじめ格納してある。疵
等級判定部２１は光量記憶部１７に記憶した目視相当光
量Ｉmaxと疵種判定部１９で判定した疵種を等級パタ−
ン記憶部２０に記憶してある等級基準パタ−ンと比較し
て疵の等級を判定する。出力部２２は疵等級判定部２１
から出力される疵種と疵の等級を不図示の表示装置や記
録装置に出力する。
【００２０】次に上記のように構成された表面検査装置
で鋼板４の表面を検査する時の動作を説明する。
で鋼板４の表面を検査する時の動作を説明する。
【００２１】投光部２から出射されて一定速度で移動し
ている鋼板４の表面で反射した偏光は３板式偏光リニア
アレイカメラ３で受光される。３板式偏光リニアアレイ
カメラ３に入射した鋼板４の反射光はビ−ムスプリッタ
７で分離され検光子８ａ，８ｂ，８ｃを通ってリニアア
レイセンサ９ａ〜９ｃに入射する。このリニアアレイセ
ンサ９ａ〜９ｃで反射光の光強度を検出するときに、リ
ニアアレイセンサ９ａ〜９ｃの前面に異なる方位角の検
光子８ａ〜８ｃが設けられているから，リニアアレイセ
ンサ９ａ〜９ｃは異なる偏光の光強度Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3を
検出し信号処理部１２に送る。
ている鋼板４の表面で反射した偏光は３板式偏光リニア
アレイカメラ３で受光される。３板式偏光リニアアレイ
カメラ３に入射した鋼板４の反射光はビ−ムスプリッタ
７で分離され検光子８ａ，８ｂ，８ｃを通ってリニアア
レイセンサ９ａ〜９ｃに入射する。このリニアアレイセ
ンサ９ａ〜９ｃで反射光の光強度を検出するときに、リ
ニアアレイセンサ９ａ〜９ｃの前面に異なる方位角の検
光子８ａ〜８ｃが設けられているから，リニアアレイセ
ンサ９ａ〜９ｃは異なる偏光の光強度Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3を
検出し信号処理部１２に送る。
【００２２】信号処理部１２の信号前処理部１３ａ〜１
３ｃはリニアアレイセンサ９ａ〜９ｃから出力された偏
光の光強度信号Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の幅方向等の感度むら等
を補正するシェ−ディング補正等を行ってから、例えば
図５の疵信号分布図に示すように、正常部の信号が128
階調になるように正規化して、正規化した光強度信号Ｉ
1，Ｉ2，Ｉ3をそれぞれＩ1メモリ１４ａ〜Ｉ3メモリ１
４ｃに格納する。図５において、（ａ）は光強度信号Ｉ
1の分布、（ｂ）は光強度信号Ｉ2の分布、（ｃ）は光強
度信号Ｉ3の分布を示す。疵パラメ−タ演算部１５はＩ1
メモリ１４ａ〜Ｉ3メモリ１４ｃに格納された光強度信
号Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の分布に表れた疵部のピ−ク値をそれ
ぞれ正常部の値である128階調よりプラスであるかマイ
ナスであるかを示す極性パタ−ンと、128階調を基準に
した変化量を示す値パタ−ンを算出する。図５に示す例
では正規化した光強度信号Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の疵部のピ−
ク値は全て128階調よりプラスであるから、極性パタ−
ンは（＋，＋，＋）と算出し、128階調を基準にした光
強度信号Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の疵部のピ−ク値の変化量は
（＋38，＋10，＋32）になる。この変化量を最大値を基
準に規格化すると、（1.0，0.26，0.84）になる。この
変化量の最大値を基準にした規格値例えば（1.0，0.2
6，0.84）を値パタ−ンとして算出する。そして算出し
た極性パタ−ンと値パタ−ンをパタ−ン記憶部１６に格
納する。また、疵パラメ−タ演算部１５は光強度信号Ｉ
1，Ｉ2，Ｉ3の分布から目視相当光量Ｉmaxを、Ｉmax＝
ＭＡＸ〔Ｉ2（ｘ）＋Ｉ3（ｘ）−Ｉ1（ｘ）〕で演算し
て光量記憶部１７に記憶させる。例えば、図５に示した
例では、光強度信号Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の疵部のピ−ク値の
変化量は（＋38，＋10，＋32）であるから、目視相当光
量Ｉmaxは「４」になる。
３ｃはリニアアレイセンサ９ａ〜９ｃから出力された偏
光の光強度信号Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の幅方向等の感度むら等
を補正するシェ−ディング補正等を行ってから、例えば
図５の疵信号分布図に示すように、正常部の信号が128
階調になるように正規化して、正規化した光強度信号Ｉ
1，Ｉ2，Ｉ3をそれぞれＩ1メモリ１４ａ〜Ｉ3メモリ１
４ｃに格納する。図５において、（ａ）は光強度信号Ｉ
1の分布、（ｂ）は光強度信号Ｉ2の分布、（ｃ）は光強
度信号Ｉ3の分布を示す。疵パラメ−タ演算部１５はＩ1
メモリ１４ａ〜Ｉ3メモリ１４ｃに格納された光強度信
号Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の分布に表れた疵部のピ−ク値をそれ
ぞれ正常部の値である128階調よりプラスであるかマイ
ナスであるかを示す極性パタ−ンと、128階調を基準に
した変化量を示す値パタ−ンを算出する。図５に示す例
では正規化した光強度信号Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の疵部のピ−
ク値は全て128階調よりプラスであるから、極性パタ−
ンは（＋，＋，＋）と算出し、128階調を基準にした光
強度信号Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の疵部のピ−ク値の変化量は
（＋38，＋10，＋32）になる。この変化量を最大値を基
準に規格化すると、（1.0，0.26，0.84）になる。この
変化量の最大値を基準にした規格値例えば（1.0，0.2
6，0.84）を値パタ−ンとして算出する。そして算出し
た極性パタ−ンと値パタ−ンをパタ−ン記憶部１６に格
納する。また、疵パラメ−タ演算部１５は光強度信号Ｉ
1，Ｉ2，Ｉ3の分布から目視相当光量Ｉmaxを、Ｉmax＝
ＭＡＸ〔Ｉ2（ｘ）＋Ｉ3（ｘ）−Ｉ1（ｘ）〕で演算し
て光量記憶部１７に記憶させる。例えば、図５に示した
例では、光強度信号Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の疵部のピ−ク値の
変化量は（＋38，＋10，＋32）であるから、目視相当光
量Ｉmaxは「４」になる。
【００２３】基準パタ−ン記憶部１８には疵の程度に応
じて複数の疵種に対応する極性パタ−ンと値パタ−ンが
実験で定められて、例えば図６に示すように、基準パタ
−ンとして格納してある。図６において、疵種Ｘ〜疵種
Ｗは例えば有害度が低い疵から有害度が高い疵の順に疵
種を示し、各疵種Ｘ〜疵種Ｗに対応する極性パタ−ンと
値パタ−ンの基準値を示す。また、等級パタ−ン記憶部
２０には各疵種Ｘ〜疵種Ｗに応じて目視相当光量と疵の
等級を示す相関をあらかじめ調べて、例えば図７の相関
図に示すように格納してある。
じて複数の疵種に対応する極性パタ−ンと値パタ−ンが
実験で定められて、例えば図６に示すように、基準パタ
−ンとして格納してある。図６において、疵種Ｘ〜疵種
Ｗは例えば有害度が低い疵から有害度が高い疵の順に疵
種を示し、各疵種Ｘ〜疵種Ｗに対応する極性パタ−ンと
値パタ−ンの基準値を示す。また、等級パタ−ン記憶部
２０には各疵種Ｘ〜疵種Ｗに応じて目視相当光量と疵の
等級を示す相関をあらかじめ調べて、例えば図７の相関
図に示すように格納してある。
【００２４】疵種判定部１９はパタ−ン記憶部１６に記
憶された、極性パタ−ンと値パタ−ン、例えば図５に示
す例の場合、極性パタ−ン（＋，＋，＋）と値パタ−ン
（1.0，0.26，0.84）と、図４に示す基準パタ−ン記憶
部１８に記憶された基準パタ−ンとを比較して疵種を判
定する。例えば図５に示す例の場合には疵種Ｘと判定す
る。このように複数の異なる疵Ａ〜疵Ｈの疵種を極性パ
タ−ンと値パタ−ンにより判定した例を図８に示す。こ
の疵種を判定する場合に、例えば極性パタ−ンが同じ
（−，−，−）の疵Ｂと疵Ｃでも、値パタ−ンにより有
害度の低い疵種Ｙと有害度の高い疵種Ｚに分類すること
ができ、疵種を正確に判定することができる。また、疵
の状態によっては疵Ｇに示すように極性パタ−ンの３つ
の符号のうち１つが反対、あるいは「０」であっても値
パタ−ンを併用することにより疵種を正確に判別するこ
とができる。また、このように極性パタ−ンと値パタ−
ンで疵種を判定するから、疵種判定のための処理が簡略
化され、短時間で精度良く疵種を判定することができ
る。
憶された、極性パタ−ンと値パタ−ン、例えば図５に示
す例の場合、極性パタ−ン（＋，＋，＋）と値パタ−ン
（1.0，0.26，0.84）と、図４に示す基準パタ−ン記憶
部１８に記憶された基準パタ−ンとを比較して疵種を判
定する。例えば図５に示す例の場合には疵種Ｘと判定す
る。このように複数の異なる疵Ａ〜疵Ｈの疵種を極性パ
タ−ンと値パタ−ンにより判定した例を図８に示す。こ
の疵種を判定する場合に、例えば極性パタ−ンが同じ
（−，−，−）の疵Ｂと疵Ｃでも、値パタ−ンにより有
害度の低い疵種Ｙと有害度の高い疵種Ｚに分類すること
ができ、疵種を正確に判定することができる。また、疵
の状態によっては疵Ｇに示すように極性パタ−ンの３つ
の符号のうち１つが反対、あるいは「０」であっても値
パタ−ンを併用することにより疵種を正確に判別するこ
とができる。また、このように極性パタ−ンと値パタ−
ンで疵種を判定するから、疵種判定のための処理が簡略
化され、短時間で精度良く疵種を判定することができ
る。
【００２５】一方、疵等級判定部２１は光量記憶部１７
に記憶した目視相当光量Ｉmaxと疵種判定部１９で判定
した疵種とを等級パタ−ン記憶部２０に記憶してある各
疵種Ｘ〜疵種Ｗに応じて目視相当光量と疵の等級を示す
相関図と比較して疵の等級を判定する。例えば図７に示
すように疵種Ｘで目視相当光量Ｉmaxが「４」の場合に
は疵の等級をＢと判定し、疵種Ｙで目視相当光量Ｉmax
が「37」の場合には疵の等級をＣと判定する。このよう
に目視相当光量Ｉmaxと疵種により疵の等級を判定する
から、鋼板４の表面に生じた凹凸のない模様状疵だけで
なく凹凸状の疵の程度を精度良く判別することができ
る。疵等級判定部２１は疵種判定部１９で判定した疵種
と判別した疵の等級を出力部２２に送る。出力部２２は
疵等級判定部２１から出力される疵種と疵の等級を表示
装置や記録装置に出力する。
に記憶した目視相当光量Ｉmaxと疵種判定部１９で判定
した疵種とを等級パタ−ン記憶部２０に記憶してある各
疵種Ｘ〜疵種Ｗに応じて目視相当光量と疵の等級を示す
相関図と比較して疵の等級を判定する。例えば図７に示
すように疵種Ｘで目視相当光量Ｉmaxが「４」の場合に
は疵の等級をＢと判定し、疵種Ｙで目視相当光量Ｉmax
が「37」の場合には疵の等級をＣと判定する。このよう
に目視相当光量Ｉmaxと疵種により疵の等級を判定する
から、鋼板４の表面に生じた凹凸のない模様状疵だけで
なく凹凸状の疵の程度を精度良く判別することができ
る。疵等級判定部２１は疵種判定部１９で判定した疵種
と判別した疵の等級を出力部２２に送る。出力部２２は
疵等級判定部２１から出力される疵種と疵の等級を表示
装置や記録装置に出力する。
【００２６】
【発明の効果】この発明は以上説明したように、被検査
面に対して一定入射角で偏光を入射し、その反射光の異
なる複数の偏光の光強度分布を検出し、検出した強度分
布を正規化し、正常部に対する疵部の異なる偏光の光強
度信号の変化極性と変化量とを算出し、算出した変化極
性と変化量とをそれぞれあらかじめ定めたパタ−ンと比
較して疵種を判定すようにしたから、簡単な処理で迅速
に疵種を判別することができる。
面に対して一定入射角で偏光を入射し、その反射光の異
なる複数の偏光の光強度分布を検出し、検出した強度分
布を正規化し、正常部に対する疵部の異なる偏光の光強
度信号の変化極性と変化量とを算出し、算出した変化極
性と変化量とをそれぞれあらかじめ定めたパタ−ンと比
較して疵種を判定すようにしたから、簡単な処理で迅速
に疵種を判別することができる。
【００２７】また、各受光光学系から出力された光強度
分布から目視相当の光量変化すなわち無偏光時の表面反
射強度を演算し、演算した光量変化から疵の等級を判定
するようにしたから、凹凸のない模様状疵だけでなく凹
凸状の疵の程度を簡単な処理で精度良く判別することが
できる。
分布から目視相当の光量変化すなわち無偏光時の表面反
射強度を演算し、演算した光量変化から疵の等級を判定
するようにしたから、凹凸のない模様状疵だけでなく凹
凸状の疵の程度を簡単な処理で精度良く判別することが
できる。
【００２８】さらに、簡単な処理で迅速に疵種と疵の等
級を判定するから、装置自体のの構成を簡略化すること
ができるとともに、高速で移動しているシ−ト状製品の
表面にある異常部をオンラインで精度良く検出すること
ができる。
級を判定するから、装置自体のの構成を簡略化すること
ができるとともに、高速で移動しているシ−ト状製品の
表面にある異常部をオンラインで精度良く検出すること
ができる。
【図１】この発明の実施例の光学系を示す構成図であ
る。
る。
【図２】光学系の動作を示す配置説明図である。
【図３】上記実施例の３板式偏光リニアアレイカメラの
構成図である。
構成図である。
【図４】上記実施例の信号処理部を示すブロック図であ
る。
る。
【図５】疵信号を示す光強度分布図である。
【図６】疵種と疵パタ−ンと値パタ−ンを示す基準パタ
−ン図である。
−ン図である。
【図７】光量レベルと疵の等級の相関図である。
【図８】各種疵の疵種と等級の具体例を示す説明図であ
る。
る。
１ 光学系 ２ 投光部 ３ ３板式偏光リニアアレイカメラ ４ 鋼板 ５ 光源 ６ 偏光子 ７ ビ−ムスプリッタ ８ 検光子 ９ リニアアレイセンサ １２ 信号処理部 １３ 信号前処理部 １４ａ Ｉ1メモリ １４ｂ Ｉ2メモリ １４ｃ Ｉ3メモリ １５ 疵パラメ−タ演算部 １６ パタ−ン記憶部 １７ 光量記憶部 １８ 基準パタ−ン記憶部 １９ 疵種判定部 ２９ 等級パタ−ン記憶部 ２１ 疵等級判定部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大重 貴彦 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日本鋼管株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−293104（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−110758（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−238207（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958 G01B 11/00 - 11/30
Claims (5)
- 【請求項１】 投光部と受光部と信号処理部とを有し、
投光部は被検査面に偏光を入射し、受光部は少なくとも
３方向の異なる角度の偏光を受光する複数の受光光学系
を有し、被検査面で反射した反射光を検出して画像信号
に変換し、信号処理部は変換した画像信号から所定の疵
特徴量を算出し、算出した疵特徴量をあらかじめ定めた
パタ−ンと比較し疵種あるいは疵種と等級を判定するこ
とを特徴とする表面検査装置。 - 【請求項２】 上記信号処理部は、疵特徴量として光強
度分布の変化極性から疵種を判定する請求項１記載の表
面検査装置。 - 【請求項３】 上記信号処理部は、疵特徴量として目視
相当光量を算出し、疵の等級を判定する請求項１又は２
記載の表面検査装置。 - 【請求項４】 上記信号処理部は、各受光光学系から出
力された光強度分布を平均値があらかじめ定めた基準値
となるように規格化した後に疵特徴量を算出する請求項
１，２又は３記載の表面検査装置。 - 【請求項５】 被検査面に偏光を入射し、被検査面で反
射した反射光の少なくとも３方向の異なる角度の偏光を
受光し、受光信号により所定の疵特徴量を算出し、算出
した疵特徴量をあらかじめ定めたパタ−ンと比較し疵種
あるいは疵種と疵の等級を判定することを特徴とする表
面検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29789796A JP3275737B2 (ja) | 1995-10-24 | 1996-10-23 | 表面検査装置及び表面検査方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-298832 | 1995-10-24 | ||
| JP29883295 | 1995-10-24 | ||
| JP29789796A JP3275737B2 (ja) | 1995-10-24 | 1996-10-23 | 表面検査装置及び表面検査方法 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001339142A Division JP2002181723A (ja) | 1995-10-24 | 2001-11-05 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09178669A JPH09178669A (ja) | 1997-07-11 |
| JP3275737B2 true JP3275737B2 (ja) | 2002-04-22 |
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ID=26561288
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29789796A Expired - Fee Related JP3275737B2 (ja) | 1995-10-24 | 1996-10-23 | 表面検査装置及び表面検査方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002303513A (ja) * | 2001-01-30 | 2002-10-18 | Fujitsu Ltd | 観測装置 |
| DE10362349B3 (de) * | 2003-08-12 | 2014-05-08 | Sick Ag | Verfahren zur Herstellung eines Sensors für optische Strahlung |
| DE10337040B4 (de) | 2003-08-12 | 2013-01-17 | Sick Ag | Vorrichtung zur Untersuchung einer Oberfläche oder einer Schicht |
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