JP3261264B2 - 多成分水溶液の分析方法およびその分析装置 - Google Patents
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Description
およびその分析装置に係り、詳しくは、近赤外吸収スペ
クトルから多成分の濃度値を求めるための方法およびそ
の装置に関し、半導体プロセスや食品加工等の分野で利
用される。
を求める分析システムでは、各成分固有の吸収波長にお
ける吸光度を測定し、その値を、例えば図12(A),
(B)に示すように、予め標準試料で得た既知の検量線
と対応させて、その濃度を求めていた。
なる未知濃度の多成分水溶液を、標準試料の校正時の液
温と一致させるために、例えば、図13に示すように、
薬液槽16内の多成分水溶液(x℃)を恒温バス(25
℃)13を介してフローセル10中に導入するようにし
ていた。なお、図13中、符号1は光源、18は分光器
(近赤外分光・検出手段)である。
に、検量線に基づく分析システムでは、他成分の妨害要
素が混在していると、その干渉により測定精度が著しく
低下するという難点があった。
互いに重なる場合が多いため、他成分の妨害要素を取り
除くことは難しく、また、検量線の作成作業もかなり煩
瑣なものとなっていた。
は、恒温バス13によって冷却した薬液をそのまま薬液
槽16に戻すとプロセス条件を逸脱してしまうことがあ
った。また、恒温バス13とその温調手段17が嵩高く
て装置が大型化し、広い設置面積を必要とする上に、装
置が複雑化してコスト高にもなっていた。
半導体プロセスや食品加工等で用いられる多成分水溶液
の濃度を簡易・迅速に高い精度で求められる分析方法お
よびその分析装置と、その温度補償をおこなえる分析方
法およびその安価な分析装置を提供することを目的とし
ている。
解決するための手段を以下のように構成している。
は、所望の波長間を反復走査させた単色光を標準液およ
び被検液に透過させてその吸光度を検出し、その検出信
号に基づいて、多変量解析により、多成分水溶液中の各
成分の濃度値をその温度特性とともに求める多成分水溶
液の分析方法であって、校正段階にて、特性項目の1つ
に溶液温度を加え、所望の測定温度条件下で各標準液の
吸光度スペクトルから行列を求め、推定段階にて、未知
濃度の被検液の吸光度スペクトルを求め、その吸光度ス
ペクトルと前記校正段階で求めた行列とから、行列演算
により、前記被検液中の各成分の濃度値をその溶液温度
とともに求めることを特徴としている。
入れる温調可能なフローセルと被検液を取り入れるフロ
ーセルを有し、所望の波長間を反復走査させた単色光を
そのフローセル中の前記標準液または被検液に透過さ
せ、その吸光度を検出する近赤外分光・検出手段と、そ
の検出信号を受け、請求項1に記載の方法により前記被
検液中の各成分の濃度値をその溶液温度とともに求める
ための演算手段とを具備してなることを特徴としてい
る。
を反復走査させた単色光を標準液および空気に透過させ
てその吸光度を検出し、その検出信号に基づいて、多変
量解析により、多成分水溶液中の各成分の濃度値を求め
る多成分水溶液の分析方法であって、校正段階にて、各
標準液の吸光度スペクトルから行列を求め、推定段階に
て、未知濃度の被検液の吸光度スペクトルを求め、その
吸光度スペクトルと前記校正段階で求めた行列とから、
行列演算により、前記被検液中の各成分の濃度値を求め
ることを特徴としている。
データ中から変量の大きい因子(主成分)を抽出するこ
とによってデータを単純化する主成分分析により、ま
ず、校正段階では、図2に示すように、n個の吸光度ス
ペクトル・ベクトル(各ベクトルはp個のデータよりな
る)よりなる応答行列60から、主成分を順次抽出する
ことにより負荷行列75を得る。すなわち、第1の主成
分が得られたら、その成分に対応する吸光度行列を応答
行列60から取り除き、以下同様に、第2主成分から第
m主成分までを求めてこれらを応答行列60から取り除
き、m行p列の負荷行列75を得る。このとき同時に各
々行と列がその負荷行列75と直交する得点行列70が
求められる。次いで、1〜kまでの主成分の濃度行列6
5と得点行列70とから、行列演算によって、m列k行
の間行列80を求める。
度吸光度群(ベクトル)90と、負荷行列75と、間行
列80の積から濃度群(ベクトル)95を求めることが
できる。
うに、1500nm〜1850nmの波長域にて、純水
53とアンモニア水54の吸光度の差が明瞭に表れてい
ることから、特に、未知濃度のk個の成分中に純水を含
めているため、同範囲内にて、特に半導体プロセスに用
いられるアンモニア水や過酸化水素の水溶液の濃度をそ
れぞれ精度よく検出することができる。
階で、溶液温度を特性項目の1つに加えたことにより、
推定段階にて、温調を要することなく各濃度とその溶液
温度とを同時に求めることができ、いわゆる温度補償が
可能となる。
ローセルによって、校正段階で校正用標準液の例えば上
限、中間、下限の三段階の被検液が取り得る温度範囲を
カバーする温度設定が可能となり、また、推定段階では
温調を要することなく、広い温度範囲で被検液の信頼性
の高い分析を簡易・迅速におこなえる。
びその分析装置の好ましい実施例につき図面に基づいて
詳細に説明する。図1は分析装置の構成図で、同図中、
符号1は光源、2はレンズ、3は入射スリット、4は第
1凹球面鏡、5は回動走査される回折格子、6は第2凹
球面鏡、7は出射スリット、8は回動操作される平面
鏡、9は固定平面鏡、10はフローセル、12は補償
板、13は組み合わせレンズ、15は検出器で、これら
で近赤外分光・検出手段100を構成し、フローセル1
0中に取り入れた標準液、被検液と補償板12とに、所
定の波長間(1500nm〜1850nm)を反復走査
させた単色光を選択的に透過させ、検出器15でその光
強度を検出し、その検出信号が増幅器20、AD変換器
25を介して演算手段(CPU)30に入力され、吸光
度に変換され、多変量解析における主成分分析により、
被検液の多成分の濃度値が求められ、DISP45に表
示される。なお、回折格子5と平面鏡8はインターフェ
イス35を介して演算手段30からの指令によって回動
操作される。また、フローセル10に導入される標準液
は校正段階でのみ用いられ、被検液は推定段階で導入測
定される。
における主成分分析法とは、互いに相関のある多変量の
データの中から変量の大きい因子(主成分)を抽出し、
より単純なモデルによってデータを表現しようとするも
のであり、まず、校正段階では、既知濃度のk個の成分
の標準液をフローセル10中に導入してその吸光度を測
定し、図2に示すように、n個の吸光度スペクトル・ベ
クトル(各ベクトルはp個のデータよりなる)よりなる
応答行列60から、主成分を順次抽出することにより負
荷行列75を得る。すなわち、第1の主成分が得られた
ら、その成分に対応する吸光度行列を応答行列60から
取り除き、以下同様に、第2主成分から第m主成分まで
を求めてこれらを応答行列60から取り除き、m行p列
の負荷行列75を得る。このとき同時に各々行と列がそ
の負荷行列75と直交する得点行列70が求められる。
次いで、1〜kまでの主成分の濃度行列65と得点行列
70とから、行列演算によって、m列k行の間行列80
を求め、これらをメモリ部32に設定記憶させる。
たときに、応答行列60を形成しているn(8〜30)
個の吸光度スペクトル・ベクトル(各ベクトルはp個の
データよりなる)が、適切な変化として現れるものとし
て得られ、信頼性等を勘案してその成分数kを3〜4と
し、その1つに純水を含めている。また、吸光度値の個
数pを16〜56、指定因子数mを4〜7としている。
度吸光度群(ベクトル)90と、メモリ部32から読み
出した負荷行列75と、間行列80の積から濃度群(ベ
クトル)95を求めることができる。
る被検液(試料)の近赤外吸光度スペクトルを測定し
て、その被検液の各成分の濃度を上述のように計算し、
その濃度をDISP45に簡易・迅速に表示できる。な
お、標準液または被検液を入れたフローセル10を透過
する光をフローセル10と同一の窓材厚の補償板12を
透過させた場合と比較することによって、フローセル1
0の窓材の吸収スペクトルと光源光の強度変化の影響を
除去することができる。また、この場合、被検液を空気
と比較するため、純水は第1主成分となり、他の成分と
は別に独立にその濃度が求められる。その結果、各成分
の濃度の和が100%であるか否かを確認することがで
き、これにより、その測定自体が正しいか否かを判定で
き、分析装置の高い信頼性を維持することが可能とな
る。
たことにより、図4の吸光度スペクトルに示されるよう
に、走査範囲である1500nm〜1850nmの波長
域にて、純水53とアンモニア水54の吸光度の差が明
瞭に表れていることから、同範囲内にて、特に半導体プ
ロセスに用いられるアンモニア水や過酸化水素の水溶液
の濃度をそれぞれ精度よく検出することができる。な
お、51,52は水の吸収波長、55は波長1500n
m〜1850nmの波長域を示す。
参照)は、破線で囲んだ近赤外分光・検出手段100の
構成の改変や新たな構成の付加を要することなく、上述
した行列演算を簡易・迅速におこなうための制御プログ
ラムをメモリ部32に設定記憶させるのみで構成でき
る。
られる結果としては、まず、多変量解析における主成分
分析法を用いているので他成分の干渉が全く問題となら
ず、測定波長を多数用いることができるため、測定時の
S/N比が向上し、高い分析精度と、高い信頼性が得ら
れる。
適な因子の数mを指定することができるので、広い濃度
範囲にわたり同一の負荷行列75、間行列80で、高い
精度の測定値が得られる。そのためにも、校正段階にお
ける負荷行列、間行列の因子の数は最大値m=7または
8として計算しておくのが望ましい。
52に近い近赤外領域を使用しているので、純水も未知
濃度の1成分として独立に測定することができ、濃度合
計値が100%になるか否かで測定値の確認ができる。
クトルに求められる条件は、従来の検量線法よりも緩や
かであり、かつ自由度が大きいものである。これを個条
書きにすると、使用する液体セルの光路長に対し、吸
光度で1以下の領域を用いる。採用する波長点の数は
成分数よりも多くてもよい。抽出波長は等間隔である
必要はなく、吸光度変化の大きいところがよい。2成
分以上の妨害・干渉のある波長点をも採用できる。校
正時標準化されていない濃度を知る必要のない第k+1
番目の未知成分が混在していても影響がない。等々であ
る。
ローセル10および補償板12の後方に2個の集光レン
ズ14,16を配置し、その後方に2つの検出器15,
17を配置したものであり、回動操作される平面鏡8で
振り分けられた単色光を両検出器15,17に効率よく
導入できる点に特徴がある。この場合、前実施例におけ
る図1に示すような、光路の合致と集光の2役をする集
光レンズ13が不要である。ただし、両検出器15,1
7間の感度差は信号処理等で除去する必要がある。
おこなう代わりに、フローセル10と補償板12を回転
円板18、リンク19による往復運動で交互に単色光を
透過させるようにしたものである。この場合、標準液や
被検液のフローセル10への導入・排出は可撓管21,
22によっておこなう必要がある。
う分析装置の構成図、図8は校正段階、図9は推定段階
における演算方法の説明図で、図8に示すように、特性
項目(校正データ)110の1つに溶液温度(液温T
℃)を加え、所定の測定温度条件下で、例えば上限、中
間、下限の設定温度下で、成分1、成分2、成分3の各
標準液の吸光度スペクトル(1〜n)120を求め、そ
の吸光度スペクトル120から得た応答行列から中間出
力行列として間行列180と負荷行列175を求める。
より具体的には、n個の校正データ110に対応する吸
光度スペクトル120は各p個の吸光度値からなり、因
子の数mを指定して主成分分析130を行い、4行m列
の間行列180と、m行p列の負荷行列175を計算し
記憶処理しておく。
6(図7参照)は温度調整機能付液体セル(温調可能な
フローセル)10に注入され、検出器15で光強度が検
出され、その検出信号はAD変換25された後、演算手
段30で演算処理され指定波長点に対応した吸光度スペ
クトル34となる。この際、各標準液毎に2〜3の既知
の温度に設定変えしたスペクトルデータを測定してお
く。
段階で得られた間行列180と負荷行列175および未
知濃度の被検液の各指定波長毎の吸光度値群(ベクト
ル)128の行列積から、3成分の各濃度と液温118
が同時に求められる。つまり、被検液の温調をおこなう
ことなく、温度特性が求められる。
10に示される。同図にて、符号155は未知濃度の被
検液(薬液)を貯留するための薬液槽、156は薬液槽
155からフローセル10への抽出管、157はフロー
セル10から薬液槽155への還流管であり、温調する
ことなく、被検液をフローセル10に導入して、その吸
光度を検出し、吸光度値群128(図9参照)を得、校
正段階で記憶させてある間行列180と負荷行列175
とを読み出して行列演算により、簡易・迅速に濃度と温
度を求めてこれを表示する。なお、図7、図10に示す
ように、校正段階で用いる装置と、推定段階で用いる装
置とは同一機体でなくてもよい。この点については、図
1の実施例でも同様であり、標準液を用いる校正段階で
は、各装置に共通的に記憶される中間出力行列75,8
0を得るための標準機を用い、推定段階で用いられる濃
度分析装置とは別の機体であってもよい。ただし、両機
体の波長再現性、つまり設定波長が一定範囲内に入る必
要があることはいうまでもない。
て得られる効果としては以下の諸点がある。まず、被検
液の温調を要さないので、恒温バスが不要で装置がコス
ト安となり、半導体プロセス等における広い温度範囲
(略20〜90℃)の薬液温度範囲に対応(補償)でき
る。次いで、各成分濃度と同時に液温も計測できる。ま
た、別途、被検液の液温センサを設けることにより、濃
度計の信頼度をチェックすることができる。なお、前実
施例の方法とこの分析方法とを合体させることができる
のはいうまでもない。また、校正時の標準液の液温は一
定である必要はなく、被検液の温度条件を満たす範囲内
に程よく分散されていればよいが、最適な設定値は、個
々の被検液の環境条件等に応じて見出すことができよ
う。
の被検液の循環方式は、プロセスによっては薬液槽15
5に戻さずバッチ処理して測定分毎に廃棄することも考
えられる。また、短波長である可視域光の高次光(2〜
4次)の影響を除くため、図1の分光器100の光路中
に短波長カットフィルタを設置することは公知技術であ
る。ただし、光束を目視できた方が調整確認が容易であ
るから、検出器15の直前に配置(図示省略)されるの
が好ましい。
トルとして、アンモニア水と純水の例を示したが、過酸
化水素も似た傾向の吸光度スペクトルが得られることは
いうまでもない。
と、図9のそれの順序が異なるが、未知濃度に対する吸
光度値群が、横ベクトル90であるか、縦ベクトル12
8であるかの違いだけで、全く同じ結果を得られること
もいうまでもない。
分析法を用いた多成分水溶液の温度特性の補償方法とし
て、図11に示すような希望する温度範囲内で複数の温
度毎に校正を行う考え方がある。例えば温度T1 ,
T2 ,T3 に対応する校正データ群111,112,1
13と、スペクトル群121,122,123とから各
温度に対する中間出力行列146,147,148を予
め求めておき、未知濃度の被検液を測定する際に、ま
ず、その液温を測定し、その温度に相当する中間出力行
列の1組を選び、その間行列と負荷行列を用いて成分濃
度を求める方法である。ただし、この場合、校正時には
各温度群毎に厳密な温度管理が必要となる。
求項2に記載の方法の発明では、濃度の測定対象となる
被検液の未知濃度成分の1つに純水を含めたので、測定
波長領域で、純水とアンモニア水または過酸化水素水等
が明瞭な吸光度スペクトルの差を示すことから、特に半
導体プロセス等に用いられるアンモニア水、過酸化水素
の水溶液等の各濃度を簡易・迅速かつ高精度で求められ
る。また、1成分として独立に測定した純水の濃度を含
めた合計濃度値が100%になるか否かで測定値の確認
をできる利点もある。
用いたことによる効果も大きい。すなわち、測定波長に
おいて他成分の干渉は全く問題にならず、測定波長を多
数用いることができ、S/N比が向上し、高い信頼性が
得られる。また、推定段階における行列演算の際、最適
の因子の数hを指定することができ、広い濃度範囲にわ
たり同一の負荷行列、間行列を用いて高精度の測定結果
が得られる。
階で、溶液温度を特性項目の1つに加えたことにより、
推定段階にて、温調を要することなく、各濃度とその温
度(特性)とを同時に求めることができ、濃度分析にお
けるいわゆる温度補償が可能となり、半導体プロセス等
における広い温度範囲(略20〜90℃)の薬液に対応
(補償)できる。また、別途、被検液の液温センサを設
けることにより、両者の差異の安定性から濃度計の信頼
度をチェックすることもできる。
ローセルによって、校正段階で校正用標準液の適切な温
度の設定が可能となり、また、推定段階では被検液を温
調する必要がないため、恒温バスが不要でコンパクトと
なり、広い温度範囲で被検液の信頼性の高い分析を簡易
・迅速におこなえる分析装置を安価に提供できる。
示す構成図である。
明図である。
すグラフである。
説明図である。
例における校正段階で使用する主要部分を示す構成図で
ある。
明図である。
る。
方の一例を示す説明図である。
る検量線のグラフである。
構成図である。
75,175…負荷行列(中間出力行列)、80,18
0…間行列(中間出力行列)、100…近赤外分光・検
出手段。
Claims (3)
- 【請求項1】 所望の波長間を反復走査させた単色光を
標準液および被検液に透過させてその吸光度を検出し、
その検出信号に基づいて、多変量解析により、多成分水
溶液中の各成分の濃度値をその温度特性とともに求める
多成分水溶液の分析方法であって、校正段階にて、特性
項目の1つに溶液温度を加え、所望の測定温度条件下で
各標準液の吸光度スペクトルから行列を求め、推定段階
にて、未知濃度の被検液の吸光度スペクトルを求め、そ
の吸光度スペクトルと前記校正段階で求めた行列とか
ら、行列演算により、前記被検液中の各成分の濃度値を
その溶液温度とともに求めることを特徴とする多成分水
溶液の分析方法。 - 【請求項2】 標準液を取り入れる温調可能なフローセ
ルと被検液を取り入れるフローセルを有し、所望の波長
間を反復走査させた単色光をそのフローセル中の前記標
準液または被検液に透過させ、その吸光度を検出する近
赤外分光・検出手段と、その検出信号を受け、請求項1
に記載の方法により前記被検液中の各成分の濃度値をそ
の溶液温度とともに求めるための演算手段とを具備して
なることを特徴とする多成分水溶液の分析装置。 - 【請求項3】 所望の波長間を反復走査させた単色光を
空気および被検液に透過させてその吸光度を検出し、そ
の検出信号に基づいて、多変量解析により、多成分水溶
液中の各成分の濃度値をその温度特性とともに求める多
成分水溶液の分析方法であって、校正段階にて、特性項
目の1つに溶液温度を加え、所望の測定温度条件下で各
標準液の吸光度スペクトルから行列を求め、推定段階に
て、未知濃度の被検液の吸光度スペクトルを求め、その
吸光度スペクトルと前記校正段階で求めた行列とから、
行列演算により、前記被検液中の各成分の濃度値を求め
ることを特徴とする多成分水溶液の分析方法。
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