JP3225103B2 - 発光・受光素子及びそれらの製造方法 - Google Patents
発光・受光素子及びそれらの製造方法Info
- Publication number
- JP3225103B2 JP3225103B2 JP22399292A JP22399292A JP3225103B2 JP 3225103 B2 JP3225103 B2 JP 3225103B2 JP 22399292 A JP22399292 A JP 22399292A JP 22399292 A JP22399292 A JP 22399292A JP 3225103 B2 JP3225103 B2 JP 3225103B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- substrate
- layer
- semiconductor
- junction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Description
源に用いられる発光素子、センサ等に用いられる発光・
受光素子及び光通信等に用いられる発光・受光素子の構
造と、それらの製造方法に関するものである。
の発光素子は、ある導電型の基板501の上にバッファ層5
02が形成され、更にこのバッファ層502上に、基板501と
同一の導電型のエピタキシャル層503が形成されてい
る。そして、表面に形成された拡散マスク505をマスク
として不純物拡散が行われ、エピタキシャル層503に逆
導電型の拡散層504が形成されている。この結果、エピ
タキシャル層503と拡散層504の間にPN接合が形成され
る。
一であり、従来の発光素子あるいは受光素子は、ある導
電型の基板の上に、この基板と同一の導電型の第1のエ
ピタキシャル層を形成し、この第1のエピタキシャル層
に逆導電型の拡散層を形成するか、あるいは第1のエピ
タキシャル層上に逆導電型の第2のエピタキシャル層を
形成していた。この2つの導電型領域のPN接合部によ
って、発光素子では電流を光に、受光素子では光を電流
に変換していた。
光素子および受光素子には、以下に述べる問題点があっ
た。従来の発光素子に於いては、図6の断面図に示すよ
うに、発光部である、エピタキシャル層503と逆導電型
の拡散層504が形成するPN接合部から、表面方向に放
射された光E1しか利用することができず、裏面方向に
放射された光E2は利用することができなかった。この
ため、目的とする光出力を得るためには、裏面方向に無
駄に放射される光のための電流も供給しなければなら
ず、供給される電流と、光出力の関係を示す、発光効率
がよくなかった。
断面図に示すように、受光部である、エピタキシャル層
503と逆導電型の拡散層504が形成するPN接合部に入射
された光S1が全て電流に変換されるのではなく、入射
光S1の一部はPN接合部を透過した透過光S2として、
無駄に用いられていた。更に、PN接合部外周域の拡散
マスク505部へ入射された入射光も、PN接合部で電流
に変換されることなく、無駄に用いられていた。その結
果、供給される光と、電流出力の関係を示す、光電変換
効率がよくなかった。
いては、PN接合部で発生した光のうち、一部しか取り
出していないことと、受光素子に於いては、PN接合部
及びその周辺に入射された光のうち、一部しか電流に変
換されていないことを解決した、優れた発光・受光素子
及びそれらの製造方法を提供することにある。
を解決するために、発光・受光素子に、底部および側壁
部を有する凹部が形成された基板と、前記底部から前記
側壁部まで延在する屈折率の異なる2種類の薄膜を数十
層積み重ねた半導体DBR(Distributed Bragg Reflec
tion)反射膜と、前記反射膜上に形成された第1導電型
の第1の半導体層および前記反射膜上に形成された第2
導電型の第2の半導体層との間に形成されるPN接合部
とを有するものである。
凹部を、円錐形状あるいは台形状にしたものである。
と、前記凹部を含む前記基板上に、反射膜を形成する工
程と、前記反射膜上に、連続して第1導電型の第1の半
導体層および第2導電型の第2の半導体層を形成するこ
とで、PN接合部を形成する工程と、前記凹部に前記第
1の半導体層と前記第2の半導体層と前記反射膜とを残
すように前記第1の半導体層と前記第2の半導体層と前
記反射膜とを研磨することによって、前記基板表面を露
出する工程とを有するものである。
表面をエッチングすることにより、この半導体基板表面
上に凸部を形成する工程と、前記凸部を含む前記基板表
面上に反射膜を形成する工程と、前記反射膜上に支持基
板を形成する工程と、前記半導体基板裏面を研磨し、少
なくとも前記凸部には前記半導体基板と前記反射膜とが
存在する状態で、前記半導体基板と前記反射膜とを含む
前記支持基板裏面を平坦化する工程と、前記凸部内の前
記半導体基板に、前記第1導電型とは異なる第2導電型
の第1の半導体領域を形成する工程と、を有するもので
ある。
の薄膜を数十層積み重ねた半導体DBR反射膜をPN接
合部を囲むように設けたので、発光状態にある時、発光
部であるPN接合部から、表面方向に放射された光だけ
でなく、裏面方向に放射された光も半導体DBR反射膜
層に反射させて、表面方向に放射する。
R反射膜をPN接合部を囲むように設けたので、受光状
態にある時、受光部であるPN接合部に入射された光の
うち、PN接合部を透過した透過光も、半導体DBR反
射膜層に反射させて、再度PN接合部に入射することが
可能となる。更に、PN接合部の外周域へ入射された入
射光も、半導体DBR反射膜層に反射させて、PN接合
部に入射することができる。
光素子の構造を示す断面図であり、図2は、その発光・
受光素子の製造方法を示す工程断面図である。この発明
は、発光素子と受光素子の両方に適用可能であり、実施
例中で述べた構造によって、従来の発光素子及び受光素
子がそれぞれ有する問題を解決することができる。よっ
て、この明細書中で発光・受光素子とある場合、発光・
受光素子とは、PN接合部で電流を光に変換して発光す
る発光素子と、PN接合部で受光した光を電流に変換す
る受光素子と、場合によって上記発光あるいは受光を行
うことができる素子、これらを総称したものとする。
GaAs等からなる特定の導電型を有する基板101上
に、凹部が形成され、この凹部の表面に、n−GaAs
等からなる第1バッファ層102,GaAs/AlAs等
からなり屈折率の異なる2種類の薄膜を数十層積み重ね
た半導体DBR反射膜層103,n−GaAs等からなる
第2バッファ層104,及び低欠損のn−GaAs等から
なるエピタキシャル層105が、順に積層されている。そ
して、このエピタキシャル層105の選択された領域に、
拡散マスク108を用いた選択拡散によって、このエピタ
キシャル層105と逆導電型の不純物を有する拡散層106を
形成し、エピタキシャル層105と拡散層106との接合面に
PN接合部107を形成している。
施例の発光・受光素子の製造方法を説明する。まず図2
(a)に示すように、例えばn−GaAs等からなる特
定の導電型を有する基板101上に、レジストパターン109
を形成する。次に図2(b)に示すように、このレジス
トパターン109をマスクとして、基板101を円錐形状ある
いは、側壁部と底部を有する台形状にエッチングする。
ターン109を除去した基板101上に、MBE法やMOCV
D法などによって、n−GaAs等からなる第1バッフ
ァ層102,GaAs/AlAs等からなる半導体DBR
反射膜層103,n−GaAs等からなる第2バッファ層1
04,及び低欠損のn−GaAs等からなるエピタキシャ
ル層105を、順にエピタキシャル成長させる。
面に積層された第1バッファ層102,半導体DBR反射
膜層103,第2バッファ層104,及びエピタキシャル層10
5を研磨し、平坦化する。この時の研磨量は任意に設定
でき、凹部の上部を研磨除去しても、凹部の下方部分が
残っていれば、本発明の効果を得ることができる。
膜110を形成する。次に図2(f)に示すように、絶縁
膜110を基板のパターンに合わせてパターニングし、拡
散窓を有する拡散マスク108を形成する。
108の拡散窓より、エピタキシャル層105中に、このエピ
タキシャル層105と逆導電型の不純物を拡散させ、拡散
層106を形成する。この結果、エピタキシャル層105と拡
散層106との接合面に、PN接合部107が形成される。
よって製造した本発明の発光・受光素子について、半導
体DBR反射膜層103の働きを、発光素子と受光素子の
各々について図8及び図9を用いて説明する。
示した断面図であり、発光部であるPN接合部107か
ら、表面方向に放射された光E1だけでなく、裏面方向
に放射された光E2も半導体DBR反射膜層103に反射さ
せて、表面方向に放射することができる。
示した断面図であり、受光部であるPN接合部107に入
射された光S1のうち、PN接合部107を透過した透過光
S2も、半導体DBR反射膜層103に反射させて、再度P
N接合部107に入射することが可能となる。更に、PN
接合部107外周域へ入射された入射光も、半導体DBR
反射膜層103に反射させて、PN接合部107に入射するこ
とができる。
方法の第2及び第3の実施例を示す断面図であり、図
1,2と同一の構成要件については、同一の符号で示
す。図3に示す第2の実施例の発光・受光素子は、第1
の実施例と同様に、基板101上に第1バッファ層102,半
導体DBR反射膜層103,第2バッファ層104,及びエピ
タキシャル層105からなる積層構造を形成した後、基板1
01側も研磨し、この基板101中に不純物拡散を行って、
PN接合部107を形成したものである。
明する。まず、特定の導電型を有する基板101の表面上
に、レジストパターン109を形成する。このとき注意す
べきは、前記第1の実施例の製造方法とは逆に、レジス
トパターン109が存在する領域下に、PN接合部107が形
成されることである。つまり、第1の実施例では、凹部
を形成する部分に開口部を有するレジストパターン109
を、基板101表面上に形成するのに対して、第2の実施
例では、台形状の突起を形成する部分に島状のパターン
を有するレジストパターン109を、基板101表面上に形成
する。
として、基板101表面を、台形状の突起が残留するよう
にエッチングする。次に、レジストパターン109を除去
した基板101表面上に、第1バッファ層102,半導体DB
R反射膜層103,第2バッファ層104,エピタキシャル層
105を、順にエピタキシャル成長させる。
とするため、表面を研磨し平坦化する。この時の研磨
は、第1の実施例の場合と比べて少ない量でよい。次
に、基板101裏面を研磨し、前記台形状の領域を残し
て、基板101を除去する。この時の研磨量は任意に設定
でき、台形状の領域の下部を研磨除去しても、台形状の
領域の上方部分が残っていれば、本発明の効果を得るこ
とができる。
成し、拡散マスク108の拡散窓より、基板101中に、この
基板101と逆導電型の不純物を拡散させ、拡散層106を形
成する。この結果、基板101と拡散層106との接合面に、
PN接合部107が形成される。この第2の実施例の製造
方法を用いれば、半導体DBR反射膜層を、容易に台形
状に加工することができる。半導体DBR反射膜層が側
壁部と底部を有する台形状であれば、発光・受光素子の
発光部あるいは受光部の下部に、半導体DBR反射膜層
が平行に存在することになり、半導体DBR反射膜層で
反射された光の反射方向の調整が容易になる。
は、エピタキシャル成長により、連続的に逆電動型の層
を積層し、PN接合部を形成したものである。この第3
の実施例の発光・受光素子は、特定の導電型を有する基
板101上に、凹部が形成され、この凹部の表面に、第1バ
ッファ層102,半導体DBR反射膜層103,第2バッファ
層104,エピタキシャル層105,及びエピタキシャル層10
5とは逆電動型の第2のエピタキシャル層206が、順に積
層されている。そして、このエピタキシャル層105と逆
電動型の第2のエピタキシャル層206との接合面にPN
接合部107を形成している。
を以下に説明する。まず、特定の導電型を有する基板10
1上に、レジストパターン109を形成する。次に、このレ
ジストパターンをマスクとして、基板101を円錐形状あ
るいは台形状にエッチングする。
1上に、第1バッファ層102,半導体DBR反射膜層10
3,第2バッファ層104,エピタキシャル層105,エピタ
キシャル層105と逆導電型の第2のエピタキシャル層206
を、順にエピタキシャル成長させる。
ファ層102,半導体DBR反射膜層103,第2バッファ層
104,エピタキシャル層105,及び第2のエピタキシャル
層206を研磨し、平坦化する。
のエピタキシャル層206との間にPN接合部107が形成さ
れる。この第3の実施例の製造方法を用いれば、不純物
を選択的に拡散させるための、拡散マスクを形成する必
要がなく、工程を単純化することができる。
よれば、受光・発光素子の、受光部あるいは発光部とな
るPN接合部の下方に半導体DBR反射膜を円錐形状あ
るいは台形状に設けたので、発光素子に於ては、発光部
であるPN接合部から、裏面方向へ放射された光を、半
導体DBR反射膜に反射させて、表面に取り出すことが
できる。
る、PN接合部を透過した透過光も、半導体DBR反射
膜に反射させて再度PN接合部に入射することができ
る。更に、PN接合部外周域へ入射された入射光も、半
導体DBR反射膜に反射させてPN接合部に入射するこ
とが可能となる。
電変換効率の高い受光素子を形成することが可能とな
る。
である。
程断面図である。
である。
である。
ある。
ある。
ある。
図である。
図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 底部および側壁部を有する凹部が形成さ
れた基板と、 前記底部から前記側壁部まで延在する反射膜と、 前記反射膜上に形成された第1導電型の第1の半導体層
および前記反射膜上に形成された第2導電型の第2の半
導体層との間に形成されるPN接合部とを有することを
特徴とする発光・受光素子。 - 【請求項2】 前記凹部が、円錐形状あるいは台形状で
あることを特徴とする請求項1記載の発光・受光素子。 - 【請求項3】 基板表面に凹部を形成する工程と、 前記凹部を含む前記基板上に、反射膜を形成する工程
と、 前記反射膜上に、連続して第1導電型の第1の半導体層
および第2導電型の第2の半導体層を形成することで、
PN接合部を形成する工程と、 前記凹部に前記第1の半導体層と前記第2の半導体層と
前記反射膜とを残すように前記第1の半導体層と前記第
2の半導体層と前記反射膜とを研磨することによって、
前記基板表面を露出する 工程とを有することを特徴とす
る発光・受光素子の製造方法。 - 【請求項4】 第1導電型を有する半導体基板表面をエ
ッチングすることにより、この半導体基板表面上に凸部
を形成する工程と、 前記凸部を含む半導体基板表面上に反射膜を形成する工
程と、 前記反射膜上に支持基板を形成する工程と、 前記半導体基板裏面を研磨し、少なくとも前記凸部には
前記半導体基板と前記反射膜とが存在する状態で、前記
半導体基板と前記反射膜とを含む前記支持基板裏面を平
坦化する工程と、 前記凸部内の前記半導体基板に、前記第1導電型とは異
なる第2導電型の第1の半導体領域を形成する工程と、 を有することを特徴とする発光・受光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22399292A JP3225103B2 (ja) | 1992-08-24 | 1992-08-24 | 発光・受光素子及びそれらの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22399292A JP3225103B2 (ja) | 1992-08-24 | 1992-08-24 | 発光・受光素子及びそれらの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0677522A JPH0677522A (ja) | 1994-03-18 |
JP3225103B2 true JP3225103B2 (ja) | 2001-11-05 |
Family
ID=16806893
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22399292A Expired - Fee Related JP3225103B2 (ja) | 1992-08-24 | 1992-08-24 | 発光・受光素子及びそれらの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3225103B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1179397C (zh) | 2001-09-27 | 2004-12-08 | 同济大学 | 一种制造含有复合缓冲层半导体器件的方法 |
KR20040001181A (ko) * | 2002-06-27 | 2004-01-07 | 주식회사 하이닉스반도체 | 씨모스 이미지 센서 및 그의 제조방법 |
JP5183173B2 (ja) * | 2007-11-29 | 2013-04-17 | 株式会社ジャパンディスプレイウェスト | 光センサーおよび表示装置 |
JP2009290161A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-10 | Mitsubishi Electric Corp | 光半導体装置 |
JP4798205B2 (ja) | 2008-10-23 | 2011-10-19 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置とその製造方法、及び撮像装置 |
JP5195864B2 (ja) * | 2010-10-13 | 2013-05-15 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置とその製造方法、及び撮像装置 |
CN103022278A (zh) * | 2011-09-27 | 2013-04-03 | 大连美明外延片科技有限公司 | 一种图形化蓝宝石衬底的制备方法 |
CN102838080B (zh) * | 2012-09-12 | 2015-06-03 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 三维光子限制光学微腔结构及其制备方法 |
CN104241478B (zh) * | 2014-09-24 | 2017-03-22 | 杭州士兰明芯科技有限公司 | Led衬底结构及其制作方法 |
US20230387346A1 (en) * | 2020-11-18 | 2023-11-30 | Enkris Semiconductor, Inc. | Semiconductor structure and manufacturing method therefor, and light-emitting device and manufacturing method therefor |
-
1992
- 1992-08-24 JP JP22399292A patent/JP3225103B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0677522A (ja) | 1994-03-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5453405A (en) | Method of making light emitting diode bars and arrays | |
US6570190B2 (en) | LED having angled sides for increased side light extraction | |
US6111272A (en) | Semiconductor light source formed of layer stack with total thickness of 50 microns | |
KR100707218B1 (ko) | 개선된 전류 확산 구조를 갖는 조절 가능한 발광 다이오드 | |
US5406095A (en) | Light emitting diode array and production method of the light emitting diode | |
US6420732B1 (en) | Light emitting diode of improved current blocking and light extraction structure | |
JPH04294591A (ja) | 高密度、個別アドレス可能型表面発光半導体レーザー/発光ダイオードアレイ | |
CA1253607A (en) | Photodetector array and a method of making same | |
JP3225103B2 (ja) | 発光・受光素子及びそれらの製造方法 | |
JPH02174272A (ja) | 発光ダイオードアレイの製造方法 | |
JPH02155278A (ja) | 光機能素子 | |
JPS59205774A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2947155B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
EP0772248B1 (en) | Microactivity LED with photon recycling | |
US4911765A (en) | Method for fabricating a monolithic integration of a laser diode and a wide aperture photo diode | |
JPH10335696A (ja) | 発光ダイオードアレイ | |
JPH07176788A (ja) | 発光ダイオード | |
JPH07131066A (ja) | 発光ダイオード | |
US20050059182A1 (en) | Light emitting diode and method of making the same | |
JPH06224469A (ja) | 半導体発光装置 | |
JP2981361B2 (ja) | フォトカプラ | |
JPS61108179A (ja) | 発光半導体装置及びその製造方法 | |
US6596556B2 (en) | Light emitting diode and a method for manufacturing the same | |
JPS61280686A (ja) | 半導体発光素子およびその製造方法 | |
JPS59103387A (ja) | ホトカプラ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010814 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070824 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080824 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090824 Year of fee payment: 8 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090824 Year of fee payment: 8 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090824 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100824 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100824 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110824 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |