JPH06180381A - 微小移動XYθテーブル - Google Patents
微小移動XYθテーブルInfo
- Publication number
- JPH06180381A JPH06180381A JP33324292A JP33324292A JPH06180381A JP H06180381 A JPH06180381 A JP H06180381A JP 33324292 A JP33324292 A JP 33324292A JP 33324292 A JP33324292 A JP 33324292A JP H06180381 A JPH06180381 A JP H06180381A
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- JP
- Japan
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- cam
- cams
- pairs
- pair
- guide bar
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Abstract
と。 【構成】 それぞれが一対の同一形状の回転カムを有し
正方形の各隅部に配された4対のカム組(C1−C8)
からなり、これらカム組の隣り合うもの同士の距離がと
もに等しく、且つ対向するもの同士の距離がともに等し
くなるように配置されており、これらカムが所定方向に
等角度づつ回転するとき相互間距離が所定値を保つよう
に配されたカム組と、それぞれが、前記カムの周面に接
する一対の転がりリニアガイド(13)、これら転がり
リニアガイド間に転がり要素(12)を介して配される
ガイドバー(11)を有し、前記カム組のカム相互間に
配されて前記カム組のカムが回転することにより移動す
る4個の移動部材と、前記ガイドバーに固着された移動
テーブル(10)と、前記4対のカムのうち少なくとも
2対を選択して所定方向に同期的に回転させる駆動手段
(M)とをそなえる微小移動XYθテーブル。
Description
向およびY軸方向に沿う微小距離の直線運動およびX、
Y両軸に対する微小角度θの回転運動を行うXYθテー
ブルに係り、とくに剛性の高いものに関する。
各軸が独立した送り系および回転系にネジや歯車などに
よる送り機構とウォーム、ウォームホイルなどの減速機
構とを結合し、各テーブルを独立駆動しているのが通例
である。
内とか回転軸の剛性をはじめネジの剛性、ウォームとウ
ォームホイルとの噛み合い剛性および各軸受けの剛性な
どにより高剛性のXYθテーブルを製作することは困難
である。
で、高剛性を持ったXYθテーブルを提供することを目
的とする。
してなされたもので、それぞれが一対の同一形状の回転
カムを有し正方形の各隅部に配された4対のカム組から
なり、これらカム組の隣り合うもの同士の距離がともに
等しく、且つ対向するもの同士の距離がともに等しくな
るように配置されており、これらカムが所定方向に等角
度づつ回転するとき相互間距離が所定値を保つように配
されたカム組と、それぞれが、前記カムの周面に接する
一対の転がりリニアガイド、これら転がりリニアガイド
間に転がり要素を介して配されるガイドバーを有し、前
記カム組のカム相互間に配されて前記カム組のカムが回
転することにより移動する4個の移動部材と、前記ガイ
ドバーに固着された移動テーブルと、前記4対のカムの
うち少なくとも2対を選択して所定方向に同期的に回転
させる駆動手段とをそなえる微小移動XYθテーブル、
を提供するものである。
にあるいづれか一方の2対のみをカム相互間距離がX軸
またはY軸に沿って直進移動するように方向を揃えて同
期回転させると、移動部材を介して作用力が伝達されX
軸またはY軸に沿って移動テーブルが移動する。
カム相互間距離がX軸およびY軸に対して回転移動する
ように方向を揃えて同期回転させると、移動部材を介し
て作用力が伝達されX軸およびY軸に対して移動テーブ
ルが回転する。
組のカム対相互間に転がりリニアガイド、転がり要素お
よびガイドバーからなる4個の移動部材を設け、ガイド
バーを移動テーブルに固着して構成するものであり、回
転カムを回転させることにより移動テーブルをX軸、Y
軸に沿って直動させたりこれら両軸に対して回転させた
りすることができる。
面形状を示したものである。同図において、10は移動
テーブルであり、平面案内ボールガイドとか平面静圧ガ
イドなどでX−Y平面に支持される。移動テーブル10
は、その中心にある原点を中心にして図示のX軸方向、
Y軸方向への直進運動ならびにX軸およびY軸に対する
回転運動を行うものである。
よびY軸に位置が一致するように4個のガイドバー11
が固着されている。このガイドバー11は、平板状であ
って移動テーブル10に底面に立設されており、その両
側面が転がり要素12を介してガイドバー11に対して
平行に対向配置された転がりリニアガイド13に係合し
ている。
2を介してガイドバー11に対向し、反対面で回転カム
C1ないしC8に当接している。カムC1ないしC8
は、たとえばインボリュートカムであり、高剛性のスピ
ンドル軸に取り付けられて各別に駆動モータMに連結さ
れている。各駆動モータMは、パルスモータとかサーボ
モータであり、図示しないコンピュータを用いた制御装
置により駆動制御されて正逆転する。
4、C5とC6、C7とC8とが対をなしており、各対
は正方形の各隅部に配されている。そして各対におい
て、一方の回転カムたとえばC1が反時計方向に回転す
るとき他方の回転カムC2が時計方向に同角度だけ回転
すると、両カムのカム面間の距離が一定のまま両カムC
1、C2の間隔が図示下方に向かって移動していく。
11、転がり要素12および転がりリニアガイド13か
らなる移動部材が挿入されており、この移動部材が図示
下方に移動する。この結果、ガイドバー11に固着され
ている移動テーブル10の図示右側部分には、図示下方
への作用力が働く。
反時計方向に回転させると両カムC1、C2の間隔が図
示上方に向かって移動していく。これと同様のことがカ
ムC5、C6のカム組でも起きる。
カムC5とC6の組を同時に同様に動作させると、カム
対間の間隔が図示上下方向に移動する。そして、移動部
材が図示上下方向に移動して移動テーブルを同様に図示
上下方向に移動させる。このとき他の2つのカム組は動
作させないでおく。
はり同様にカム対を形成しており、図示左右方向に移動
部材11ないし13、移動テーブル10を移動させる。
2つのカム対C1とC2、C5とC6につき、C1とC
2のカム対は図示下方に、C5とC6のカム対は図示上
方に移動させれば移動テーブル10が時計方向の回転運
動を行なうようになる。これに合わせてY軸に沿う2つ
のカム対C3とC4、C7とC8につき、C3とC4の
カム対は図示左方に、C7とC8のカム対は図示右方に
移動させればよい。
トカムとしたが、カムを所定量回転させたときにカム対
間の間隔を一定に保ちつつ移動させることができれば、
他の特性カムを用いてもよいことはいうまでもない。
Claims (2)
- 【請求項1】それぞれが一対の同一形状の回転カムを有
し正方形の各隅部に配された4対のカム組からなり、こ
れらカム組の隣り合うもの同士の距離がともに等しく、
且つ対向するもの同士の距離がともに等しくなるように
配置されており、これらカムが所定方向に等角度づつ回
転するとき相互間距離が所定値を保つように配されたカ
ム組と、 それぞれが、前記カムの周面に接する一対の転がりリニ
アガイド、これら転がりリニアガイド間に転がり要素を
介して配されるガイドバーを有し、前記カム組のカム相
互間に配されて前記カム組のカムが回転することにより
移動する4個の移動部材と、 前記ガイドバーに固着された移動テーブルと、 前記4対のカムのうち少なくとも2対を選択して所定方
向に同期的に回転させる駆動手段とをそなえる微小移動
XYθテーブル。 - 【請求項2】請求項1のテーブルにおいて、 前記回転カムはインボリュートカムである微小移動XY
θテーブル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33324292A JP3222230B2 (ja) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | 微小移動XYθテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33324292A JP3222230B2 (ja) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | 微小移動XYθテーブル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06180381A true JPH06180381A (ja) | 1994-06-28 |
JP3222230B2 JP3222230B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=18263920
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33324292A Expired - Lifetime JP3222230B2 (ja) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | 微小移動XYθテーブル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3222230B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5794541A (en) * | 1996-02-07 | 1998-08-18 | Hihaisuto Seiko Co., Ltd. | Multi-degree-of-freedom table support unit, and a multi-degree-of-freedom table mechanism |
US5836080A (en) * | 1995-01-12 | 1998-11-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Positioning table |
-
1992
- 1992-12-14 JP JP33324292A patent/JP3222230B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5836080A (en) * | 1995-01-12 | 1998-11-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Positioning table |
US5794541A (en) * | 1996-02-07 | 1998-08-18 | Hihaisuto Seiko Co., Ltd. | Multi-degree-of-freedom table support unit, and a multi-degree-of-freedom table mechanism |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3222230B2 (ja) | 2001-10-22 |
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