JP3212003B2 - ペレットボンディング装置のウエハステージ - Google Patents
ペレットボンディング装置のウエハステージInfo
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Description
シートを介してウエハを保持したウエハリングユニット
を設置するペレットボンディング装置のウエハステージ
に関する。
ディング工程がある。この工程では、ウエハから1個ず
つペレットをピックアップし、その後直接、あるいは必
要に応じて位置決めポジションを経由して、上記ペレッ
トをリードフレームへ移送し、このリードフレームの所
定位置にボンディングする作業が行なわれる。
グ装置では、例えば、特開昭60-173848 号公報記載の発
明(従来例)のように、ウエハリングに粘着シートを介
してウエハを保持したウエハリングユニットをウエハス
テージに設置し、このウエハステージにてウエハリング
ユニットの粘着シートを引き延ばす作業が実施される。
支持枠台に配設されて、ステッピングモータにより回転
可能に設けられた支持リングと、この支持リングの外周
面に支持リングの軸方向に移動可能に配設され、クラン
パとの間にウエハリングユニットを収容可能とするイン
ナリング及びアウタリングと、上記支持枠台に設置され
たシリンダにより揺動されるとともに、先端部に凸部が
形成されたクランプアームと、を有し、上記クランプア
ームの凸部が、アウタリングの凹部に係合するよう構成
されている。
ガジンから搬送されたウエハリングユニットをインナリ
ング及びクランパ間に収容し、シリンダを作動させてク
ランプアームを下方へ揺動させ、このクランプアームの
凸部及びアウタリングの凹部を介してアウタリング、ク
ランプ及びインナリングを下方へ押し下げる。この押し
下げ操作により、ウエハリングユニットの粘着シートが
支持リングの支持部に強く押し付けられて、この粘着シ
ートが引き延ばされ、ウエハがダイシングされて多数形
成されたペレット間に所定寸法の隙間が形成される。
ットボンディングヘッドのコレットによりペレットがピ
ックアップされるが、ペレットの回転ずれ修正のため
に、あるいはコレットによるペレットのピックアップ領
域を狭めるために、ステッピングモータによって支持リ
ングが所定角度回転される。
な従来のウエハステージでは、アウタリング、クランパ
及びインナリングを押し下げるクランプアームは、支持
枠台に支持されるものであり、アウタリング、クランパ
及びインナリング並びに支持リングとともには回転しな
いものである。このため、上記クランプアームの押し下
げ力は支持リングと支持枠台間にも作用し、この支持リ
ングの回転に対し抵抗力(負荷)となってしまう。この
結果、万一の場合には、ステッピングモータによる支持
リングの回転動作に不都合が生ずる虞れがある。
たものであり、ウエハリングユニットをクランプするた
めのクランプ力が回転部材に対する回転方向の負荷とな
ることなく、押え部材と支持部材との間でウエハリング
ユニットをクランプできるペレットボンディング装置の
ウエハステージを提供することを目的とする。
回転可能に配設され、ウエハリングユニットを支持する
環状の支持部を備えた回転部材と、この回転部材の前記
支持部の外周に配設されるリング形状の押え部材とを有
し、前記支持部と前記押え部材との協働により前記ウエ
ハリングユニットをクランプするペレットボンディング
装置のウエハステージにおいて、前記回転部材と前記押
え部材との間に配設され、前記押え部材にクランプ方向
への付勢力を付与する弾性部材と、上記支持台に配設さ
れ、上記押え部材を前記弾性部材の付勢力に抗して反ク
ランプ方向に押圧するクランプ解除手段と、を有するこ
とを特徴とする。
エハリングユニットをクランプするための付勢力を付与
する弾性部材は、回転部材と押圧部材との間に配設され
たことから、ウエハリングユニットをクランプするため
のクランプ力が、回転部材の回転時における抵抗力(負
荷)とならない。
明する。図1は、この発明に係るペレットボンディング
装置のウエハステージの一実施例を示す平面図である。
図2は、図1のII-II 線に沿う断面図である。図3は、
図2のIII-III 線に沿う断面図である。図4は、図2の
ウエハステージにウエハリングユニットが収容される前
の状態を示すウエハステージの断面図である。
トボンディング装置のウエハステージ10は、図示しな
いウエハマガジンから供給されたウエハリングユニット
1を固定(保持)するものである。このウエハリングユ
ニット1は、ウエハリング2に粘着シート3を介してウ
エハ4が粘着されたものであり、ウエハステージ10に
供給される前段階でウエハ4がダイシングされて、多数
のペレット5に分割されている。
ユニット1の固定保持に際し、粘着シート3を引き延ば
して、多数のペレット5間に適切な隙間を形成し、ペレ
ット5を取り出し易くするものである。このウエハステ
ージ10は、回転部材としての回転台11、押え部材と
しての上押えプレート12及び下押えプレート13、弾
性部材としてのコイルスプリング14、並びにクランプ
解除手段としての押圧ロッド15及びエアシリンダ16
を有して構成される。
筒形状であり、固定台17に対しベアリング18を介し
て回転自在に配設される。固定台17は、支持台19に
支持プレート20を介して固着されている。支持プレー
ト20には、ステッピングモータ21が配置され、この
ステッピングモータ21のモータシャフトにプーリ22
が取り付けられている。このプーリ22と、上記回転台
11との間に、図3にも示すようにベルト23が巻き掛
けられて、回転台11がステッピングモータ21により
回転可能に構成される。更に、図2に示すように、回転
台11における環状の上端部は、支持部24として機能
する。
回転台11のフランジ11Aに載置される。この下押え
プレート13には、後に詳説する押圧ロッド15が垂下
され、この押圧ロッド15を介して、下押えプレート1
3は、回転台11の軸方向に沿って移動自在にフランジ
11Aに配設される。この下押えプレート13の上面に
は、図1に示すように切欠25が形成され、この切欠2
5が、ウエハリングユニット1を保持してウエハステー
ジ10へ供給する搬送アームの保持部(共に図示せず)
を通過可能とする。
形状であり、上記切欠25の両側に固定ボルト26を用
いて下押えプレート13に固定される。この上押えプレ
ート12には、円弧形状の壁面27が形成される。上記
搬送アームにて供給されたウエハリングユニット1は、
図4に示すように、下押えプレート13の上面、上押え
プレート12の下面及び上押えプレート12の壁面27
に囲まれた領域に収容可能とされる。
に、下押えプレート13においてその周方向に沿い略等
間隔位置に垂設される。これらの押圧ロッド15は、回
転台11のフランジ11Aに穿設された挿通孔28(図
2)に挿通され、この押圧ロッド15の下端部と、フラ
ンジ11Aの下面との間に上記コイルスプリング14が
介装される。
ように、上押えプレート12及び下押えプレート13を
回転台11の軸方向に沿って内側(図2では下向き)に
付勢して、上押えプレート12及び下押えプレート13
間に収容されたウエハリングユニット1を、これらの上
押えプレート12及び下押えプレート13と回転台11
の支持部24との間で、図2に示すようにクランプす
る。このウエハリングユニット1のクランプ状態では、
ウエハリングユニット1のウエハリング2が上押えプレ
ート12及び下押えプレート13間に挟持されて押し下
げられ、ウエハリングユニット1の粘着シート3が回転
台11の支持部24に押し付けられる。これにより、粘
着シート3が引き延ばされて、ウエハリングユニット1
の各ペレット5間の隙間が、ペレット5をピックアップ
し易い所定寸法に拡大される。
1の回転中心を中心とする各押圧ロッド15の回転軌跡
上には、各押圧ロッド15と対応する前記エアシリンダ
16が設置される。このエアシリンダ16は、ピストン
ロッド29を伸長させたときに、対応する押圧ロッド1
5を押し上げるよう設置される。これにより、上押えプ
レート12及び下押えプレート13が、コイルスプリン
グ14の付勢力に抗し、回転台11の軸方向に沿って外
側(図2では上向き)に押し上げられ、図4に示すよう
に、ウエハリングユニット1の上押えプレート12、下
押えプレート13及び回転台11による上記クランプが
解除される。
に、エアシリンダ16のピストンロッド29を伸長させ
た状態で待機し、搬送アームによってウエハマガジンか
らウエハリングユニット1をウエハステージ10へ搬送
する。ウエハリングユニット1が、下押えプレート13
の上面、上押えプレート12の下面及び壁面27内に収
容された段階で、シリンダ16のピストンロッド29を
収縮させると、コイルスプリング14の付勢力によっ
て、図2に示すように、ウエハリングユニット1が上押
えプレート12、下押えプレート13及び回転台11に
よってクランプされ、ウエハリングユニット1の粘着シ
ート3が引き延ばされる。
引き延ばされた状態で、図示しないコレットによりペレ
ット5がピックアップされるが、不図示のカメラを用い
たペレットの回転ずれ修正のために、あるいはコレット
によるペレット5のピックアップ領域を狭めるために、
ステッピングモータ21を作動させて、回転台11を所
定角度回転させる。
ット5がすべてピックアップされた段階で、ステッピン
グモータ21の作動により回転台11を回転させて各押
圧ロッド15を対応するエアシリンダ16の直上に位置
付け、その後、エアシリンダ16のピストンロッド29
を図4に示すように再び伸長させ、上押えプレート1
2、下押えプレート13及び回転台11によるウエハリ
ングユニット1のクランプを解除して、搬送アームによ
り、この使用済のウエハリングユニット1を搬出させ、
新たなウエハリングユニット1を搬入する。
ト1をクランプするための付勢力(クランプ力)を付与
するコイルスプリング14は、回転台11とこの回転台
11に対し一体回転される上押えプレート12及び下押
えプレート13との間に押圧ロッド15を介して介在さ
れたことから、ウエハリングユニット1をクランプする
ためのクランプ力が回転台11の回転時における抵抗力
(負荷)とならない。このため、ウエハリングユニット
1をクランプするためのクランプ力により、回転台11
に対して回転方向の負荷が与えられることなく、この回
転台11の支持部24と上押えプレート12及び下押え
プレート13との間でウエハリングユニット1をクラン
プすることができる。
ート13並びに回転台11間に配設されて、ウエハリン
グユニット1を、上押えプレート12及び下押えプレー
ト13と回転台11の支持部24との間でクランプする
コイルスプリング14は、例えば電動モータやエアシリ
ンダ等の比較的大型の駆動エネルギー源に比べ軽量であ
る。このため、回転体として一体回転する回転台11、
上押えプレート12、下押えプレート13、コイルスプ
リング14の重量が小さいので、回転台11を支持台1
9に対し回転させるステッピングモータ21を小型化さ
せることができ、コストを低減できる。
プリングの場合を述べたが、板ばねやゴム等の他の弾性
体で構成されても良い。また、クランプ解除手段として
のエアシリンダ16も、油圧シリンダ、あるいは電動モ
ータにより作動するスクリュー軸であっても良い。
をクランプするためのクランプ力が回転部材に対する回
転方向の負荷となることなく、押え部材と支持部材との
間でウエハリングユニットをクランプすることができ
る。
装置のウエハステージの一実施例を示す平面図である。
る。
ユニットが収容される前の状態を示すウエハステージの
断面図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 支持台に対し回転可能に配設され、ウエ
ハリングユニットを支持する環状の支持部を備えた回転
部材と、この回転部材の前記支持部の外周に配設される
リング形状の押え部材とを有し、前記支持部と前記押え
部材との協働により前記ウエハリングユニットをクラン
プするペレットボンディング装置のウエハステージにお
いて、 前記回転部材と前記押え部材との間に配設され、前記押
え部材にクランプ方向への付勢力を付与する弾性部材
と、 上記支持台に配設され、上記押え部材を前記弾性部材の
付勢力に抗して反クランプ方向に押圧するクランプ解除
手段と、 を有することを特徴とするペレットボンディング装置の
ウエハステージ。 - 【請求項2】 上記クランプ解除手段は、押え部材に固
定された押圧ロッドと、固定台に設置されて上記押圧ロ
ッドを押圧可能とするエアシリンダと、を備えてなる請
求項1に記載のペレットボンディング装置のウエハステ
ージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31925993A JP3212003B2 (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | ペレットボンディング装置のウエハステージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31925993A JP3212003B2 (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | ペレットボンディング装置のウエハステージ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07153785A JPH07153785A (ja) | 1995-06-16 |
JP3212003B2 true JP3212003B2 (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=18108204
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31925993A Expired - Fee Related JP3212003B2 (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | ペレットボンディング装置のウエハステージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3212003B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8174340B2 (en) | 2006-05-31 | 2012-05-08 | Cts Corporation | Ceramic monoblock filter with inductive direct-coupling and quadruplet cross-coupling |
Families Citing this family (3)
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---|---|---|---|---|
JP5090217B2 (ja) * | 2008-03-12 | 2012-12-05 | キヤノンマシナリー株式会社 | エキスパンド装置 |
CN103552739B (zh) * | 2013-11-11 | 2016-10-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种支撑部件和支撑装置 |
CN117524971B (zh) * | 2023-12-29 | 2024-04-12 | 迈为技术(珠海)有限公司 | 一种晶圆夹持搬运装置 |
-
1993
- 1993-11-26 JP JP31925993A patent/JP3212003B2/ja not_active Expired - Fee Related
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US8174340B2 (en) | 2006-05-31 | 2012-05-08 | Cts Corporation | Ceramic monoblock filter with inductive direct-coupling and quadruplet cross-coupling |
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JPH07153785A (ja) | 1995-06-16 |
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